JP3575893B2 - Resin molding device with temperature control mechanism for resin tablet - Google Patents
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Description
【0001】
【産業上の利用分野】
本発明は温度管理された樹脂タブレットをモールド金型に供給して樹脂モールドを行う樹脂タブレットの温度管理機構を備えた樹脂モールド装置に関する。
【0002】
【従来の技術】
樹脂モールドタイプの半導体装置の製造に使用するマルチポットタイプのトランスファモールド装置では、一回のモールド操作ごとモールド金型の各々のポットに樹脂タブレットを供給して樹脂モールドする。
図5は温度管理された樹脂タブレットを保管場所からモールド金型へ供給する樹脂モールド装置の従来例を示す。この樹脂モールド装置は、円柱状の樹脂タブレット101を収納するパーツフィーダ102よりテーブル103上に樹脂タブレット101が長手方向に順次送り出される。そして、チャック爪を有するチャック機構104によりチャックされて長手方向に収納穴を設けたホルダー105a、105bに整列して収納する。上記チャック機構104は回動可能なチャックを両側に開き、樹脂タブレット101を立てた状態でホルダー105a,105bの収納穴に収納する。
【0003】
上記ホルダー105a、105bに設ける収納穴はモールド金型のポットの位置に合わせて設けられており、パーツフィーダ102から各収納穴に樹脂タブレット101を移載した後、該ホルダー105a、105bをモールド金型107へ樹脂タブレット101を移送するインローダー106まで移動させて、樹脂タブレット101を突き上げシリンダ等により突き上げてインローダー106に移載する。また、上記インローダー106には供給マガジン110より半導体素子を搭載したリードフレームがモールド金型の成形品収容部に合わせて移載され、該リードフレームはカートリッジが内蔵された熱板によりプレヒートされる。上記インローダー106をモールド金型107上に移動させて樹脂タブレット101をポットへリードフレームを成形品収容部へそれぞれ供給する。
そして、金型の型締めが行われて、樹脂モールドが行われた後、取り出し位置108に移送され、ゲートブレイクが行われて不要樹脂を分離或いは除去させた後、各成形品は収納部109に回収される。
【0004】
上記樹脂モールド装置において、タブレット供給部に装備されたパーツフィーダ102の温度管理機構について図6を参照して説明する。パーツフィーダ102は、樹脂タブレット101が送り出されるにしたがって、サブタンク111内のタブレットはホッパー112を介してパーツフィーダ102内に供給する。上記サブタンク111内に保管される樹脂タブレット101は、品種にもよるが通常20°C〜30°Cに保管されるのが望ましい。上記樹脂タブレット101は、熱硬化性樹脂が用いられるため、所定温度で保管しないと、樹脂が劣化して成形不良の要因となる。
また、図5に示すように、上記パーツフィーダ102は、高温のモールド金型107と仕切壁113を介して隣接して配置されているため、フィーダ部の温度は高温となりやすい。
上記樹脂タブレット101は、低温貯蔵された冷蔵庫より取り出して常温に戻してから使用される。即ち、常温での使用が一般的であるため、パーツフィーダ102が配置されている装置壁面に外気を取り込むための冷却ファン114を設けて、パーツフィーダ102やサブタンク111に外気を吹きつけて樹脂タブレット101の温度管理を行っていた。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、上記従来の樹脂モールド装置においては、モールド金型107付近はおよそ180°Cに加熱されており、リードフレームも100°C〜120°C程度にプレヒートされているため、これらの輻射熱等により樹脂タブレット101周辺の温度は40°C近くまで上がる場合がある。この場合、気温に左右される外気を冷却ファン114により取り込むだけでは冷却効果が十分得られない。
特に、熱硬化性樹脂の場合、30°C〜35°C以上の高温になると架橋反応が進み樹脂が硬化して流れ難くなるため、樹脂モールドの際にボイド発生の要因となったり、ワイヤー流れを生じたりするおそれがあった。
また、パーツフィーダ102に供給するサブタンク111内に収容された樹脂タブレット101は、共用のものでモールド金型107の品種交換を何度か繰り返して行うと、1日ぐらい収容されたままになるという実情もある。
よって、樹脂タブレット101の保管場所の温度管理をより厳格に行う必要性が生じている。
【0006】
本発明はこのような要請に鑑みてなされたものであり、樹脂タブレットの保管場所の温度管理を厳格に行うことが可能な樹脂タブレットの温度管理機構を備えた樹脂モールド装置を提供することを目的とする。
【0007】
【課題を解決するための手段】
上記課題を解決するため、本発明は次の構成を備える。
すなわち、温度管理された樹脂タブレットをモールド金型に供給して樹脂モールドを行う樹脂タブレットの温度管理機構を備えた樹脂モールド装置において、仕切壁により周囲を取り囲む部屋内に配置され、複数の樹脂タブレットが収容保管されたタンクからホッパーを通じてパーツフィーダへ樹脂タブレットが供給され、該パーツフィーダにより樹脂タブレットを連続してテーブル上へ供給するタブレット供給手段と、前記タブレット供給手段によりテーブル上に供給された樹脂タブレットを収納保持してモールド金型に移送するためのタブレット移送手段と、前記パーツフィーダを収容する部屋の上部に設けられ、該部屋内の空気を吸引して冷気をパーツフィーダに向けて吹き付けることにより、部屋内の温度を所定温度以下に維持する冷却手段と、前記冷却手段の冷却動作を制御するための制御手段とを具備したことを特徴とする。
【0008】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の好適な実施例を添付図面に基づいて詳細に説明する。
図1は本発明に係る樹脂モールド装置の平面図、図2は温度管理機構の制御系のブロック図、図3はパーツフィーダを内蔵した部屋の構成を示す説明図、図4はチャック機構及び排出機構の構成を示す説明図である。
【0009】
先ず、図1を参照して樹脂モールド装置の全体構成について説明する。
1はタブレット供給手段としてのタブレット供給部であり、円柱状の樹脂タブレット2を収容保管するパーツフィーダ3を装備している。このパーツフィーダ3は、樹脂タブレット2をフィーダで長手方向に一列に向きを揃えて連続的にタブレットテーブル4上に供給するものである。上記パーツフィーダ3は、後述するホルダーの収納穴の数に対応した数を単位として供給される。
また、上記パーツフィーダ3は周囲を仕切壁に取り囲まれた部屋5内に収容されており、該部屋5内には温度センサー6aが設けられている。上記温度センサー6aとしては、熱電対等が好適に用いられる。尚、必要に応じて湿度センサー6bを設けても良い。
【0010】
7はタブレット移送手段を構成するタブレット収納部である。このタブレット収納部7には、パーツフィーダ3によりタブレットテーブル4上に供給された樹脂タブレット2をチャックしてホルダー9a,9bに移載するチャック機構8が装備されている。このチャック機構8は、一回に2個の樹脂タブレット2をチャック可能な開閉可能なチャックアームをチャック側及び収納側に2対有している。上記チャックアームはアーム回転テーブル10上に回転可能に支持されており、一方のアーム対が樹脂タブレット2をチャックするとき、他方のアーム対がホルダー9a,9bに樹脂タブレット2を振り分けて収納する動作を繰り返す。詳しくは、上記ホルダー9a,9bの長手方向にポット配置に合わせて形成された収納穴に収納し、該ホルダー9a,9bを定寸送りしながらアーム回転テーブル10を例えば180°回転させるごとにチャックアーム対を交互に開閉動作させて樹脂タブレット2のピックアップ及び収納作業を行う。このため、タブレットテーブル4上に供給された2つの樹脂タブレット2はストッパーに突き当ててチャック位置に位置決めしてセットするようにしている。
【0011】
11はタブレット移送手段を構成するタブレット移送部であり、上記ホルダー9a,9bに収納されて搬送された樹脂タブレット2をプレヒート部において高周波加熱してインローダー12へ受渡しが行われる。具体的には、押し上げシリンダ等により樹脂タブレット2を押し上げることによりローダハンドに受渡しが行われる。
また、熱板11a上に設けられたセットプレートには、供給マガジン13より半導体素子がボンディングされたリードフレームがフレーム切り出しプッシャー14によりモールド金型の成形位置に合わせて順次積載される。
上記セットプレートは、リードフレームのプレヒート部を兼用しており、リードフレームを100°C〜120°C程度に加熱する。上記高周波加熱を使うと、タブレットの中心部まで加熱できるためモールド金型内で均一な溶融が可能となる。
上記インローダー12は、半導体素子を搭載したリードフレーム及び樹脂タブレット2を保持したままガイドレールに沿って図1の矢印方向に移動してモールド金型へ移送し、下型上にリードフレーム及び樹脂タブレット2の受渡しをした後、元の位置に戻る。
【0012】
15はモールド金型であり、上記インローダー12により搬送されたリードフレーム及び樹脂タブレット2を下型上にセットされ、下型を上昇させて型締めを行った後、樹脂モールドが行われる。
上記モールド金型15には、品種検出部16が形成されており、金型を交換したときに樹脂モールドされる成形品17の品種が判別できるように構成されている。具体的には、使用する樹脂タブレット2の品種、即ち保管温度や、その他成形品の種類、リードフレームの種類等のその品種に関するデータが全て判別できるように構成されている。
【0013】
18は成形品取り出し部であり、該成形品取り出し部18にはガイドレールに沿ってモールド金型15上に往復移動可能なアンローダー19を装備している。このアンローダー19は、樹脂モールド後下型上に移動して、金型より離型した成形品17を移載して該成形品を17を保持したまま元の位置に戻る。
上記アンローダー19に保持された成形品17は、成形品取り出し方向とは直交する方向に移動可能な移動テーブル18a上のディゲートパレットに移載され、ツイストを行うことによりゲートブレイクを行い不要樹脂が除去される。
【0014】
20は不要樹脂除去後の成形品17を収納する収納マガジンである。不要樹脂除去後の成形品17は、移動テーブル18aにより収納マガジン20上に移送されてマガジン内に収納される。
【0015】
次に、上記樹脂モールド装置に装備される温度管理機構の構成を図2に示すフロック図を参照して説明する。
図2において、21は制御手段としての制御部であり、後述する部屋5の温度管理をする冷却ユニット22の冷却動作を制御したり、所定温度以上に昇温した樹脂タブレット2をタブレットテーブル4上より排出する排出機構23の動作を制御する。上記制御部21は、温度管理機構全体の制御を行うMPU(マイクロプロセッサ)、入力データの一時保存やMPUのワークエリアとして使用されるRAM,制御プログラムや成形品種に応じた樹脂タブレット2の管理温度データ等を記憶したROM等を備えたデータ記憶部21a、該データ記憶部21aの記憶値と検出値との比較を行うコンパレータ等を備えた比較部21bを備えている。
【0016】
上記制御部21には、部屋4内に装備した温度センサー6aによる温度データや、後述する樹脂タブレット2の移送経路に設けた温度センサーによるタブレット自体の温度検出データが入力され、また、モールド金型15の品種検出部16における品種データやキーボード24から入力される金型品種や該使用する樹脂タブレットの品種に応じた管理温度等の情報が入力され、制御部21は管理温度データの変更を行う。
また、制御部21からは、冷却ユニット22の冷却動作を制御して部屋5内の温度を所定管理温度(例えば30°C以下)に維持したり、排出機構23による昇温したタブレットを排出させたり、昇温した不良樹脂タブレットが存在する旨をアラーム表示したり、樹脂タブレット2の管理温度をモニター25に表示したりする。
【0017】
次に、図3を参照してパーツフィーダ3を内蔵した部屋の構成を説明する。
パーツフィーダ3は、樹脂タブレット2を長手方向に連続して送り出すフィーダ部3a、該フィーダ部3aにポッパー3bを介して樹脂タブレット2を供給するサブタンク3cを装備している。上記フィーダ部3aとしては、ボウルフィーダ,リニアフィーダ等があるが、本実施の態様では、ボールフィーダを採用している。
上記サブタンク3c内には、円柱状の樹脂タブレット2が100ショット分ぐらい収容保管されている。この樹脂タブレット2は、冷蔵庫に入れて低温保存されており、使用する最に常温に戻してからパーツフィーダ3に装填される。
上記パーツフィーダ3の周囲は仕切壁3dにより囲まれており、該仕切壁3dの上面外側には、冷却ユニット22が設けられており、部屋5内の空気を吸入して冷媒により冷やした空気をパーツフィーダ3に向かって吹きつけることにより、部屋5内の温度を常温、即ち30°C以下、好ましくは20°C〜25°Cに維持するように温度管理を行う。樹脂モールド工程を繰り返すことにより部屋5内の温度が30°Cより上昇した場合には、温度センサー6aにより温度検出を行っているため、制御部21は冷却ユニット22の冷却能力を高めることにより部屋5内の温度を常に30°C以下となるように調整する。
【0018】
これによって、例えば樹脂タブレット2は交換せずにモールド金型15のみを交換する場合等、パーツフィーダ3内の樹脂タブレット2の保管時間が長くなっても、部屋5内は常温を維持することができるため樹脂タブレットの性能が劣化することなく、安定した樹脂モールド工程を行うことができる。
【0019】
また、樹脂タブレット2の温度管理は、部屋5内のみならず、該樹脂タブレット2の移送経路においても温度管理を行うことが可能である。
例えば、図4において、温度センサーをタブレット収納部7に配置した実施例について説明する。パーツフィーダ3よりタブレットテーブル4上に供給された樹脂タブレット2はチャック機構8によるチャック位置にセットするためストッパー26に突き当てられて位置決めされる。上記ストッパー26の近傍に温度センサー6c(赤外線センサー)を配置しても良い。上記タブレットテーブル4は図示しない駆動手段により矢印方向(図の左右方向)に移動可能に構成されており、該テーブル4の下部には開閉可能なシャッター27が設けられている。該シャッター27の下方には不良のタブレットを回収するタブレット廃棄ボックス28が設けられている。
上記温度センサー6cによりタブレットテーブル4上にセットされた樹脂タブレット2の温度が30°C以上であることを検出すると、樹脂タブレットの供給動作を停止してタブレットテーブル4を移動させると共に、シャッター27を開放して昇温した樹脂タブレット2をタブレット廃棄ボックス28へ回収する。
【0020】
また、上記タブレット収納部7には、ホルダー9a,9bの収納穴に収納する樹脂タブレット2の大きさ(長さ)が許容範囲内にあるか否かを検出する不良検出機構が装備されている。タブレットの長さが短すぎると樹脂量が不足して成形不良の要因となり、長すぎると成形品の取り出しが困難になる等の不都合があるためである。この不良排出機構に温度センサーを装備しても良い。
【0021】
具体的には、チャック位置に位置決めされた樹脂タブレット2はチャック機構8によって2個ずつチャックされた後上昇し、アーム回転テーブル10により180°回転させて、タブレットをチャックしたチャックアーム8a,8bを収納側位置(図面奥側)に移動させた後、該チャックアーム8a,8bをそれぞれ90°回転させることにより、図の二点鎖線に示すように水平位置(検査位置)まで両側に開く。このとき他のチャックアーム8c,8d(図示せず)はチャック側位置(図面手前側)に配置される。
【0022】
この状態で図示しないエアシリンダに検査ピン29a,29bを下降させてチャックアーム8a,8bによってチャックされた樹脂タブレット2の上端面に当接させる。このとき、図示しない検知センサが検査片が許容範囲にあるか否かを検査し、検査後チャック機構8を下降させて収納側位置(図面奥側)に配置されたチャックアーム8a,8bのチャックを開放してホルダー9a,9bの収納穴に樹脂タブレット2を収納する。このとき、チャックアーム8c,8dによりタブレットテーブル4上の樹脂タブレット2のチャックを同時に行う。そして、チャック機構8は再び上昇して、収納後のチャックアーム8a,8を垂直方向位置まで閉じるよう90°回転させた後、アーム回転テーブル10により180°回転させると、樹脂タブレット2をチャックしたチャックアーム8c,8dは収納側位置(図面奥側)に移動し、チャックアーム8a,8bはチャック側位置(図面手前側)に移動する。そして、チャックアーム8c,8dをそれぞれ90°回転させることにより図の二点鎖線に示す水平位置(検査位置)まで両側に開いて、タブレットの収納及びチャック動作を同時に行う。なお、図4において、31はチャックアーム8a,8b,8c,8dを開閉させるためのアーム開閉シリンダであり、32は上記チャックアーム8a,8b及び8c,8dを180°回転させるための回動シリンダである。
以上の動作を交互に繰り返すことにより、樹脂タブレット2の検査を行いながらホルダー9a,9bの収納穴に樹脂タブレット2を収納する。
【0023】
上記検査片が許容範囲内にあるときは、チャックアーム8a,8bによる次の樹脂タブレット2の移載操作に移行し、許容範囲外にあるときは不良樹脂タブレットの排出操作に移行する。
不良樹脂タブレットを排出する場合には、先ずホルダー9a,9bを移動させて、不良樹脂タブレットが収納された収納穴位置を排出シリンダ30a,30bの上方に位置させる。次いで、排出シリンダ30a,30bを作動させてホルダー9a,9bから不良樹脂タブレットを突き上げ、収納側に配置され水平位置に開かせたいずれかのチャックアームにより不良タブレットをチャックさせる。
次いで、チャック機構8を上昇させた後、アームを垂直方向に閉じ、アーム回転テーブル10により180°回転させてチャック側位置に移動させる。また、前記タブレットテーブル4を移動させてシャッター27を開放し、不良樹脂タブレットのチャックを開放することによりタブレット廃棄ボックス28に落下させる。
また、上記不良樹脂タブレットの排出は、排出シリンダで排出シュータ(図示せず)内へ突き上げてシュータを通って上記タブレット廃棄ボックス28まで滑り落としても良い。
【0024】
上記構成において、樹脂タブレット2がチャック機構8により保持された検査位置に対応した両側位置に温度センサー(赤外線センサー等)6dをそれぞれ設けても良い。この場合、温度センサー6dにより樹脂タブレット2が30°C以上に昇温した場合には、上述したチャック機構8によるホルダー9a,9b内の不良樹脂タブレットの排出機構と同様の動作によりタブレット廃棄ボックス28へ回収される。
【0025】
このように、樹脂タブレット移送経路に温度センサー6c,6d等を設けてきめ細かな温度管理を行い、所定温度より昇温した樹脂タブレット2を排出機構23により回収することにより、樹脂モールドにおいて成形不良等の要因を未然に除去することができるので、高品質な成形品を安定供給できる。
【0026】
また、成形品種を変更するためモールド金型15を交換すると、品種検出部16により使用する樹脂タブレット2の種類に対応した管理温度データが特定され、制御部21のデータ記憶部21aに記憶された管理温度を自動的に書き換えて冷却ユニット22の冷却動作を制御する。
【0027】
なお、本発明は上述した実施例に限定されるものではなく、例えば樹脂タブレットの温度検出は、タブレット移送部11におけるプレヒート部等で行っても良く、発明の精神を逸脱しない範囲で他の改変を行うことができるのはもちろんである。
【0028】
【発明の効果】
本発明は、前述したように、タブレット供給手段に保管される樹脂タブレットの保管時間が長くなっても、前記タブレット供給手段を収容する部屋内を冷却手段により常温を維持するように温度制御されているので、樹脂タブレットの性能が劣化することなく、安定した樹脂モールド工程を行うことができる。
特に、樹脂タブレット移送経路に温度センサー等を設けてきめ細かな温度管理を行い、所定温度より昇温した樹脂タブレットを排出機構により回収することにより、樹脂モールドにおいて成形不良等の要因を未然に除去することができるので、高品質な成形品を安定供給できる等の著効を奏する。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明に係る樹脂モールド装置の平面図である。
【図2】樹脂モールド装置に装備した温度管理機構の制御系のブロック図である。
【図3】パーツフィーダを内蔵した部屋の構成を示す説明図である。
【図4】チャック機構及び排出機構の構成を示す説明図である。
【図5】従来の樹脂モールド装置の平面図である。
【図6】従来のパーツフィーダの温度管理機構の構成を示す説明図である。
【符号の説明】
1 タブレット供給部
2 樹脂タブレット
3 パーツフィーダ
3a フィーダ部
3b ホッパー
3c サブタンク
3d 仕切壁
4 タブレットテーブル
5 部屋
6a,6b,6c,6d 温度センサー
6b 湿度センサー
7 タブレット収納部
8 チャック機構
9a,9b ホルダー
10 アーム回転テーブル
11 タブレット移送部
11a 熱板
12 インローダー
13 供給マガジン
14 フレーム切り出しプッシャー
15 モールド金型
16 品種検出部
17 成形品
18 成形品取り出し部
19 アンローダー
20 収納マガジン
21 制御部
21a データ記憶部
21b 比較部
22 冷却ユニット
23 排出機構
24 キーボード
25 モニター
26 ストッパー
27 シャッター
28 タブレット廃棄ボックス
29a,29b 検査ピン
30a,30b 排出シリンダ
31 アーム開閉シリンダ
32 回動シリンダ[0001]
[Industrial applications]
The present invention relates to a resin molding apparatus having a temperature control mechanism for a resin tablet that supplies a temperature-controlled resin tablet to a mold and performs resin molding.
[0002]
[Prior art]
2. Description of the Related Art In a multi-pot type transfer molding apparatus used for manufacturing a resin mold type semiconductor device, a resin tablet is supplied to each pot of a mold die for one molding operation to perform resin molding.
FIG. 5 shows a conventional example of a resin molding apparatus for supplying a temperature-controlled resin tablet from a storage location to a mold. In this resin molding apparatus, the
[0003]
The storage holes provided in the
Then, after the mold is clamped and the resin molding is performed, the molded product is transferred to the take-
[0004]
With reference to FIG. 6, a description will be given of a temperature management mechanism of the
Further, as shown in FIG. 5, the
The
[0005]
[Problems to be solved by the invention]
However, in the above conventional resin molding apparatus, the vicinity of the
In particular, in the case of a thermosetting resin, when the temperature is higher than 30 ° C. to 35 ° C., a crosslinking reaction proceeds, and the resin is hardened and hardly flows. Or may occur.
Further, the
Therefore, there is a need to more strictly control the temperature of the storage location of the
[0006]
The present invention has been made in view of such a demand, and an object of the present invention is to provide a resin molding apparatus having a resin tablet temperature management mechanism capable of strictly controlling the temperature of a storage location of a resin tablet. And
[0007]
[Means for Solving the Problems]
In order to solve the above problems, the present invention has the following configuration.
That is, in a resin molding apparatus provided with a temperature control mechanism of a resin tablet that supplies a temperature-controlled resin tablet to a mold and performs resin molding, the resin tablet is disposed in a room surrounding the periphery by a partition wall, and a plurality of resin tablets are arranged. A resin tablet is supplied to the parts feeder through a hopper from a tank in which is stored and stored, and a tablet supply means for continuously supplying the resin tablet onto the table by the parts feeder; and a resin supplied on the table by the tablet supply means Tablet transfer means for storing and holding a tablet and transferring it to a mold die , provided at the top of a room for housing the parts feeder , sucking air in the room and blowing cool air toward the parts feeder. by maintaining the temperature in the room below a predetermined temperature A retirement unit, characterized in that the ingredients Bei and control means for controlling the cooling operation of the cooling means.
[0008]
BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION
Hereinafter, preferred embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.
FIG. 1 is a plan view of a resin molding apparatus according to the present invention, FIG. 2 is a block diagram of a control system of a temperature management mechanism, FIG. 3 is an explanatory view showing a configuration of a room containing a parts feeder, and FIG. FIG. 3 is an explanatory diagram illustrating a configuration of a mechanism.
[0009]
First, the overall configuration of the resin molding device will be described with reference to FIG.
The
[0010]
[0011]
Further, a lead frame to which the semiconductor element is bonded from the
The set plate also serves as a preheating portion of the lead frame, and heats the lead frame to about 100 ° C. to 120 ° C. The use of the high-frequency heating enables heating to the center of the tablet, thereby enabling uniform melting in the mold.
The
[0012]
A
[0013]
The molded
[0014]
[0015]
Next, a configuration of a temperature management mechanism provided in the resin molding apparatus will be described with reference to a block diagram shown in FIG.
In FIG. 2, a
[0016]
Temperature data from the
In addition, the
[0017]
Next, a configuration of a room in which the
The
In the sub-tank 3c, about 100 shots of the
The periphery of the
[0018]
Thereby, even if the storage time of the
[0019]
The temperature of the
For example, in FIG. 4, an embodiment in which a temperature sensor is disposed in the
When the temperature sensor 6c detects that the temperature of the
[0020]
Further, the
[0021]
Specifically, the
[0022]
In this state, the inspection pins 29a and 29b are lowered to an air cylinder (not shown), and are brought into contact with the upper end surface of the
By repeating the above operations alternately, the
[0023]
When the test piece is within the allowable range, the operation shifts to a transfer operation of the
When discharging the defective resin tablet, first, the
Next, after raising the
Further, the defective resin tablet may be discharged by pushing up into a discharge shooter (not shown) by a discharge cylinder and sliding down to the
[0024]
In the above configuration, temperature sensors (such as infrared sensors) 6d may be provided at both sides corresponding to the inspection position where the
[0025]
As described above, the
[0026]
When the
[0027]
Note that the present invention is not limited to the above-described embodiment. For example, the temperature detection of the resin tablet may be performed in the preheating section or the like in the
[0028]
【The invention's effect】
According to the present invention, as described above, even if the storage time of the resin tablet stored in the tablet supply unit is long, the temperature in the room accommodating the tablet supply unit is controlled by the cooling unit so as to maintain the room temperature. Therefore, a stable resin molding process can be performed without deteriorating the performance of the resin tablet.
In particular, by providing a temperature sensor and the like in the resin tablet transfer path and performing fine temperature control, and collecting the resin tablet heated to a predetermined temperature by a discharge mechanism, a factor such as molding failure in the resin mold is removed beforehand. Therefore, it has a remarkable effect that a high-quality molded product can be supplied stably.
[Brief description of the drawings]
FIG. 1 is a plan view of a resin molding apparatus according to the present invention.
FIG. 2 is a block diagram of a control system of a temperature management mechanism provided in the resin molding apparatus.
FIG. 3 is an explanatory diagram showing a configuration of a room in which a parts feeder is built.
FIG. 4 is an explanatory diagram showing a configuration of a chuck mechanism and a discharge mechanism.
FIG. 5 is a plan view of a conventional resin molding apparatus.
FIG. 6 is an explanatory diagram showing a configuration of a conventional temperature management mechanism of a parts feeder.
[Explanation of symbols]
Claims (4)
仕切壁により周囲を取り囲む部屋内に配置され、複数の樹脂タブレットが収容保管されたタンクからホッパーを通じてパーツフィーダへ樹脂タブレットが供給され、該パーツフィーダにより樹脂タブレットを連続してテーブル上へ供給するタブレット供給手段と、
前記タブレット供給手段によりテーブル上に供給された樹脂タブレットを収納保持してモールド金型に移送するためのタブレット移送手段と、
前記パーツフィーダを収容する部屋の上部に設けられ、該部屋内の空気を吸引して冷気をパーツフィーダに向けて吹き付けることにより、部屋内の温度を所定温度以下に維持する冷却手段と、
前記冷却手段の冷却動作を制御するための制御手段と、を具備したことを特徴とする温度管理機構を備えた樹脂モールド装置。In a resin molding apparatus provided with a temperature control mechanism of a resin tablet that supplies a temperature-controlled resin tablet to a mold and performs resin molding,
A tablet placed in a room surrounding the periphery by a partition wall , a resin tablet is supplied to a parts feeder through a hopper from a tank in which a plurality of resin tablets are stored and stored, and the resin tablet is continuously supplied to the table by the parts feeder. Supply means;
Tablet transfer means for storing and holding the resin tablet supplied on the table by the tablet supply means and transferring the resin tablet to a mold,
Cooling means provided at the upper part of the room accommodating the parts feeder , and sucking air in the room and blowing cool air toward the parts feeder to maintain the temperature in the room at a predetermined temperature or less,
Resin molding apparatus having a temperature control mechanism, wherein the control means, that it has ingredients Bei a for controlling the cooling operation of the cooling means.
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Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP30714095A JP3575893B2 (en) | 1995-11-27 | 1995-11-27 | Resin molding device with temperature control mechanism for resin tablet |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP30714095A JP3575893B2 (en) | 1995-11-27 | 1995-11-27 | Resin molding device with temperature control mechanism for resin tablet |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH09141685A JPH09141685A (en) | 1997-06-03 |
JP3575893B2 true JP3575893B2 (en) | 2004-10-13 |
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ID=17965521
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Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP30714095A Expired - Lifetime JP3575893B2 (en) | 1995-11-27 | 1995-11-27 | Resin molding device with temperature control mechanism for resin tablet |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP3575893B2 (en) |
Families Citing this family (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2009116158A1 (en) * | 2008-03-21 | 2009-09-24 | 株式会社ルネサステクノロジ | Method for manufacturing semiconductor device |
JP5985402B2 (en) * | 2013-01-08 | 2016-09-06 | Towa株式会社 | Resin sealing device and resin sealing method |
-
1995
- 1995-11-27 JP JP30714095A patent/JP3575893B2/en not_active Expired - Lifetime
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPH09141685A (en) | 1997-06-03 |
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Date | Code | Title | Description |
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A977 | Report on retrieval |
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|
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