JP3557866B2

JP3557866B2 - Disk-shaped recording medium manufacturing equipment

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Publication number: JP3557866B2
Application number: JP24914697A
Authority: JP
Inventors: 稔菊地
Original assignee: Sony Corp
Current assignee: Sony Corp
Priority date: 1997-09-12
Filing date: 1997-09-12
Publication date: 2004-08-25
Anticipated expiration: 2017-09-12
Also published as: JPH1186362A

Description

【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、ディスク状記録媒体の製造装置に関する。詳しくは、塗液を均一に塗布することを可能とするディスク状記録媒体の製造装置に係わるものである。
【０００２】
【従来の技術】
光磁気記録方式は、磁性材料からなる記録層を部分的にキュリー点または温度補償点以上に昇温させることによってこの部分の保磁力を小さくし、この部分に外部から記録磁界を印可することによって記録層の磁化方向を部分的に変化させて情報信号の記録を行う方式である。この光磁気記録方式は、光ファイリングシステムやコンピュータの外部記録装置、あるいは音響、映像情報の記録装置において実用化が進められている。
【０００３】
上記の光磁気記録方式によって記録が行われる光磁気記録媒体としては、例えば、ポリカーボネートのようなプラスチックやガラス等からなる透明基板上に磁性膜等からなる記録層及び保護膜を形成した光磁気ディスクが挙げられる。上記記録層は、情報信号が記録される磁性膜や、誘電体膜、反射膜が積層されてなる。ここで、磁性膜としては、膜面と垂直方向に磁化容易軸を有するとともに、大きな磁気光学効果を有する、例えば希土類−遷移金属合金非結晶薄膜等からなる磁性薄膜が挙げられる。
【０００４】
このような光磁気ディスクに情報信号を記録する光磁気記録方式としては、大別して光を変調させて信号を記録する光変調方式と、記録磁界を変調させて信号を記録する磁界変調方式とがある。
【０００５】
このうち磁界変調方式は、信号を記録する際、光を照射した状態で記録磁界を高速で反転させることにより磁性膜に信号を記録する方式であり、オーバーライトを容易に行うことが可能であるとともに、高記録密度化や高アクセス等が可能であるために、精力的に研究が進められている。
【０００６】
この磁界変調方式においては、磁界を発生させる磁気ヘッドによって記録層に磁界の印可を行って信号を記録するが、この磁気ヘッドとしては、信号を記録する際、高速で磁界を反転させる必要があるので、上記の光変調方式のように強磁界を発生する磁気ヘッドを使用することは不可能である。
【０００７】
また、磁気ヘッドによって光磁気ディスクに印可される磁界の強さは、光磁気ディスクと磁気ヘッドとの距離に反比例する。すなわち、光磁気ディスクに印可される磁界の大きさは、光磁気ディスクと磁気ヘッドとの距離が大きくなるほど小さくなる。したがって、このような磁気ヘッドにおいては、信号を記録する際、光磁気ディスクとの距離を近接させる必要がある。
【０００８】
そのため、単板構成の光磁気ディスクにおいては、光磁気ディスクの透明基板側にレーザ光を照射する光学ピックアップ装置を配置し、光磁気ディスクの保護膜形成面側に磁気ヘッドを配設して情報の記録再生を行う方法とともに、光磁気ディスクの保護膜形成面側にレーザ光を照射する光学ピックアップ装置を配するとともに磁気ヘッドを配設して情報の記録再生を行う方法の両者が検討されている。
【０００９】
ところで、記録層の最上層に積層される反射膜上には、一般的に、記録層の腐食防止や傷防止の目的で紫外線硬化型樹脂等からなる上述の保護膜が形成されており、この保護膜は、通常、紫外線硬化型樹脂をいわゆるスピンコート法により塗布して形成される。
【００１０】
具体的には、図６に示すように、まず、予め記録層が形成されるディスク基板１２０を、上記ディスク基板１２０を面内方向に支持する図示しないターンテーブル上に載置し、このターンテーブルを図示しないスピンドルモータによって低速で回転させて図中矢印ｍで示すようにディスク基板１２０を面内方向に回転させる。そして、紫外線硬化型樹脂１２１を紫外線硬化型樹脂供給手段１２２によりディスク基板１２０の記録エリアの内周部１２０ａに沿って円環状に供給する。続いて、ディスク基板１２０を高速で回転させて、遠心力により内周部１２０ａに供給された紫外線硬化型樹脂１２１を外周部にまで広げて塗布し、ディスク基板１２０全面にわたって紫外線硬化型樹脂１２１の塗膜を形成し、これに紫外線を照射して硬化させ、保護膜を形成する。なお、この塗膜の厚さは、後工程で紫外線が照射された後において十分な保護効果を得るために、約１５μｍで形成される。
【００１１】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、上述のようにして形成される保護膜においては、ディスク基板１２０の外周側に行くほど膜厚が厚くなってしまう傾向がある。スピンコート法によって塗膜を形成する場合、塗液（ここでは紫外線硬化型樹脂）の粘度、被塗布物（ここではディスク基板）の回転速度、回転時間等の条件によって塗膜の厚さを変更することができる。しかし、上記保護膜においては、諸条件の調整により塗膜の厚さをディスク基板１２０の全面に亘って均一とすることが困難であり、ディスク基板１２０の外周部において内周部１２０ａより膜厚が厚くなってしまう。
【００１２】
この保護膜においては、膜厚を極端に薄くすると、光磁気ディスクの記録層の腐食等を防止することができなくなるため、最低でも光磁気ディスクの全面において平均１５μｍ程度の膜厚が必要とされるが、このように保護膜の光磁気ディスクの全面における膜厚の平均を１５μｍとすると、実際には内周部と外周部とで約５μｍの膜厚差が生じてしまう。
【００１３】
このように、光磁気ディスクの内周側と外周側で保護膜の膜厚に差が生じていると、保護膜側からレーザ光を照射することによって記録再生を行う光学ピックアップ装置を用いた場合に、レーザ光の波面収差が生じてしまう。上記光学ピックアップ装置において、保護膜の膜厚差により波面収差が生じると、照射されるレーザ光が不安定になり、記録再生特性が劣化してしまう。
【００１４】
ここで波面収差をＷ_４０ｄとし、保護膜の屈折率をｎとし、保護膜の膜厚誤差をΔｄとし、光学系のレンズの開口数をＮＡとすると、下記数１に示すような関係が成り立つ。
【００１５】
【数１】

【００１６】
ここで、現行の光磁気ディスクの場合、保護膜の屈折率ｎが１．５８であり、光学系のレーザ波長λが７８０（ｎｍ）、レンズの開口数ＮＡが０．５である。このような条件において、保護膜の膜厚誤差Δｄが５（μｍ）であると、上記数１より波面収差Ｗ_４０ｄは０．１９λ（０．１４８（μｍ））となる。
【００１７】
ところで、光磁気ディスクの光学系においては、近年の記録密度向上に伴って、光学系のレーザ波長λを短くするとともに、レンズの開口数ＮＡを大きくすることが行われている。このことは、光学レンズで集光させたレーザ光のスポット径が、レーザ波長λに比例し、レンズの開口数ＮＡに反比例することによる。ここで、現在、レーザスポット径は、約１．６（μｍ）であるが、例えばレーザ光の波長を４８０（ｎｍ）、レンズの開口数ＮＡを０．９とすると、レーザスポット径が０．５（μｍ）となり、結果として現行のレーザスポット径の約１／３のレーザスポット径とすることができる。したがって、このような光学系を使用すれば、光磁気ディスクの面記録密度を現行の９倍の面記録密度とすることが可能となる。
【００１８】
しかしながら、上述したようにして形成された保護膜に、約５（μｍ）程度の膜厚誤差が生じている場合に、上記のように短波長化及び高開口数化された光学系を使用すると、上記の数１から算出される波面収差Ｗ_４０ｄが大きな値となってしまい、安定な記録再生を行うことが困難になる。例えば、レーザ光の波長を４８０（ｎｍ）とし、レンズの開口数ＮＡを０．９としたときには、波面収差Ｗ_４０ｄが非常に大きくなり、安定した記録再生を行うことができない。すなわち、このような光磁気ディスクの光学系において、波面収差Ｗ_４０ｄを少なくとも現行と同じ０．１９λ程度に抑えるためには、保護膜の内周部と外周部との膜厚差Δｄを２．９（μｍ）以下に抑える必要がある。
【００１９】
また、上述のように保護膜に膜厚差が生じると、上述した光学系によるレーザ光の照射のみならず、磁気ヘッドによる磁界の印加にも影響する。例えば上述した磁界変調方式において使用される磁気ヘッドには、光磁気ディスクの保護膜から数（μｍ）〜数十（μｍ）程度の微少な間隙を介して信号の記録を行う浮上型磁気ヘッドや、光磁気ディスクの保護膜を摺動しながら信号の記録を行う摺動型磁気ヘッドがある。このような磁気ヘッドが使用される磁界変調方式においては、保護膜に膜厚差が生じていると、記録層と磁気ヘッドとの間隔が変化することになる。すなわち、磁界変調方式において、保護膜に膜厚差があると、記録層と磁気ヘッドとの距離がこの膜厚差を反映して不均一となり、磁気ヘッドの磁界の印加に大きく影響を及ぼす。
【００２０】
そこで、保護膜の膜厚差を抑制する方法として、光磁気ディスクを１０００（ｒｐｍ）以上の回転数で回転させた状態で、紫外線を照射し、保護膜を形成するという方法が提案されている。しかし、この方法においても、ディスク基板の内周部と外周部とで保護膜に膜厚差が生じてしまい、外周部において膜厚が厚くなってしまう。
【００２１】
これは、以下に示すような理由による。スピンコート時、紫外線硬化型樹脂にはディスク基板の回転により遠心力と粘性抵抗力とが加わり、ディスク基板の内周部に供給された後、外周部に向かって移動する。しかしながら、上記の方法において、紫外線をディスク基板の外周部から内周部に向かって照射すると、紫外線硬化型樹脂は外周部では硬化するが、紫外線が照射されていない内周部では、遠心力により外周部へ移動し、徐々に薄くなってしまう。そして、紫外線が照射されて硬化した外周部には、硬化していない内周部から紫外線硬化型樹脂が供給され、当該外周部は徐々に厚くなってしまう。つまり、結果的には、光磁気ディスクを回転させないで硬化させる場合よりも、内周部と外周部の膜厚差は増加してしまうこととなる。
【００２２】
そこで本発明は、従来の実状に鑑みて提案されたものであり、ディスク状媒体に塗膜を形成する場合に内周側と外周側での膜厚の差を抑えることを可能とするディスク状媒体製造装置を提供することを目的とする。
【００２３】
【課題を解決するための手段】
上述の課題を解決するために本発明者等が鋭意検討した結果、スピンコート法により塗布を行う場合、周方向において塗液の供給開始位置が径方向にばらついていると、塗膜の膜厚の径方向におけるばらつきに大きく影響することを見出した。そして、上記のような周方向における塗液の供給開始位置の径方向でのばらつきを抑えるためには、塗液の供給開始位置の回転中心からの距離をできるだけ小さくすれば良いことを見出した。従って、光磁気ディスクのディスク基板のように中心に孔部を有する被塗布物においては、上記孔部が回転中心となることから、中心の孔部を避けずに紫外線硬化型樹脂を供給することが望ましい。
【００２４】
すなわち、本発明のディスク状記録媒体の製造装置は、一端側にディスク状記録媒体を面内方向に支持する鍔部を有し、その中心に鍔部形成端側に臨んで開口する凹部が形成される回転軸部と、ディスク状記録媒体の中心穴を面内方向に覆う円板部と、その一端が上記円板部に接合され、上記回転軸部の凹部に嵌合する中心軸よりなる回転円板部と、塗液供給手段とを備えてなるものであり、回転軸部の凹部の少なくとも底面側が磁性を有する金属よりなり、回転円板部の中心軸の少なくとも先端側が磁石よりなることを特徴とするものである。
【００２５】
なお、上記本発明のディスク状記録媒体の製造装置においては、回転軸部にコイルが配設され、回転軸部の磁性を有する金属よりなる部分とコイルで電磁石が構成されていることが好ましい。
【００２６】
さらに、上記本発明のディスク状記録媒体の製造装置においては、電磁石のコイルに電流を流すことにより、回転円板部の中心軸の磁石の磁界と反発する向きの磁界が発生するようになされていることが好ましい。
【００２７】
本発明のディスク状記録媒体の製造装置においては、一端側にディスク状記録媒体を面内方向に支持する鍔部を有し、その中心に鍔部形成端側に臨んで開口する凹部が形成される回転軸部と、ディスク状記録媒体の中心穴を面内方向に覆う円板部と、その一端が上記円板部に接合され、上記回転軸部の凹部に嵌合する中心軸よりなる回転円板部を備えている。
【００２８】
従って、上記回転軸部の凹部に回転円板部の中心軸をはめ込み、上記回転軸部の鍔部と回転円板部の円板部によりディスク状記録媒体を厚さ方向に挟み込めば、上記ディスク状記録媒体は中心穴を回転円板部の円板部により塞がれた状態で面内方向に支持されることとなり、回転軸部を回転させることにより面内方向に回転する。すなわち、ディスク状記録媒体の中心穴が塞がれていることから、塗液供給手段によりディスク状記録媒体の略中心に塗液が供給され、言い換えれば塗液が回転中心を避けることなく供給されることから、塗布開始位置における回転中心からの距離が非常に小さくなり、径方向における塗膜の膜厚のばらつきが抑えられる。
【００２９】
また、本発明のディスク状記録媒体の製造装置においては、回転軸部の凹部の少なくとも底面側が磁性を有する金属よりなり、回転円板部の中心軸の少なくとも先端側が磁石よりなることから、回転軸部の凹部と回転円板部の中心軸が強固に嵌合する。
【００３０】
なお、上記本発明のディスク状記録媒体の製造装置において、回転軸部にコイルを配設し、回転軸部の磁性を有する金属よりなる部分とコイルで電磁石を構成すれば、電磁石に発生する磁界の向きを調節することにより、発生する磁力により回転円板部の中心軸を回転軸部の凹部に対して着脱自在となされる。
【００３１】
さらに、上記本発明のディスク状記録媒体の製造装置において、電磁石のコイルに電流を流すことにより、回転円板部の中心軸の磁石の磁界と反発する向きの磁界が発生するようにすれば、回転円板部の中心軸の回転軸部の凹部に対する着脱が比較的容易に行われる。
【００３２】
【発明の実施の形態】
以下、本発明を適用したディスク状記録媒体の製造装置について図面を参照しながら詳細に説明する。なお、本例においては、いわゆる磁界変調方式により再生記録が行われる光磁気ディスクを製造する例について述べることとし、一主面に記録層が形成されたディスク基板上に紫外線硬化型樹脂からなる保護膜を形成する例について述べる。
【００３３】
本発明を適用したディスク状記録媒体の製造装置は、図１、図２、及び図３に示すように、一端１ａ側にディスク状記録媒体を形成するためのディスク基板２を面内方向に支持する平面略円環状の鍔部３を有し、その中心に鍔部３が形成される一端１ａ側に臨んで開口する凹部４が形成される回転軸部１と、ディスク状記録媒体を形成するディスク基板２の中心穴５を面内方向に覆う円板部６と、その一端側が上記円板部６に接合され、上記回転軸部１の凹部４に嵌合する中心軸７よりなる回転円板部８を備えてなるものである。
【００３４】
上記回転軸部１は略円柱状をなし、その一端１ａ側に鍔部３を有するが、上記鍔部３は一端１ａ側の先端部に設けられるのではなく、若干後退した位置に設けられており、鍔部３の上面に突出した凸部２１が形成されることとなる。そして上記凸部２１は、中心に凹部４が形成されていることから、平面円環状をなし、図３中Ｄ_２で示す外径が図３中Ｄ_３で示すディスク基板２の中心穴５の直径と略同等となされ、この凸部２１がディスク基板２の中心穴５に嵌合するようになされている。
【００３５】
さらに、図２中に示されるように、この回転軸部１の鍔部３が設けられる一端１ａとは反対側の他端１ｂ側には、ギア９，１０，１１を介してスピンドルモータ１２が配されている。すなわち、上記スピンドルモータ１２の回転駆動力が上記ギア１１，１０，９を介して回転軸部１の他端１ｂに伝達され、この回転軸部１が回転し、中心穴５が回転軸部１の凸部２１に嵌合し、鍔部３により面内方向に支持されているディスク基板２は図１中矢印Ａで示すように面内方向に回転する。
【００３６】
そして、図２中に示されるように、本例のディスク状記録媒体の製造装置においては特に、回転軸部１の凹部４の少なくとも底面側が磁性を有する金属により形成されている。なお、本例においては、凹部４の底面側にあたる底面部分１ｃを鉄により形成するようにしている。さらに、本例のディスク状記録媒体の製造装置においては、特に、図２中に示すように回転軸部１の底面部分１ｃにコイル１３が配設され、底面部分１ｃとコイル１３で電磁石が構成されて、凹部４内に磁界を発生させることが可能となされている。
【００３７】
一方の回転円板部８であるが、円板部６は平面円形をなし、図３中Ｄ_４で示す円板部６の直径は、ディスク基板２の中心穴５の図中Ｄ_３で示す直径よりも大となされており、円板部６により中心穴５を面内方向に塞ぐことが可能なようになされている。さらに、本例のディスク状記録媒体の製造装置においては、図３中Ｄ_４で示す円板部６の直径をディスク基板２の情報が記録されるデータ領域よりも内周側に平面円環状に形成される溝部１４の外径となる図中Ｄ_５で示す直径よりも大とし、当該溝部１４も塞ぐ大きさとなされている。
【００３８】
さらにまた、図２及び図３に示すように円板部６のディスク基板２への対向面６ａの内周側を凹面として外周部のみがディスク基板２に接するようにしており、これにより対向面６ａとディスク基板２間に塗液が入り込むことを防止するようにしている。また、円板部６のディスク基板２への接触面側を塗液の表面張力よりも、表面張力の小さい材料により形成するようにしている。さらには、本例のディスク状記録媒体の製造装置においては、図３中に示すように、回転円板部８の中心軸７の円板部６との接続部近傍に気体を噴出可能な噴出孔１５が形成されている。
【００３９】
そして、本例のディスク状記録媒体の製造装置においては、特に、回転円板部８の中心軸７の円板部６との接続端とは反対側の少なくとも先端側が永久磁石１６により形成されている。
【００４０】
すなわち、本例のディスク状記録媒体の製造装置においては、回転軸部１の凹部４に回転円板部８の中心軸７を嵌合させると、回転軸部１の底面部分１ｃの鉄と回転円板部８の中心軸７の先端の永久磁石１６が引き合い、回転円板部８は回転軸部１に対して強固に固定される。
【００４１】
また、本例のディスク状記録媒体の製造装置においては、回転軸部１の底面部分１ｃにコイル１３を配設しており、これらが電磁石として機能することから、コイル１３に供給する電流の向きによって電磁石に発生する磁界の向きを調節することが可能であり、発生する磁力により回転円板部８の中心軸７を回転軸部１の凹部４に対して着脱自在とすることが可能である。
【００４２】
さらに、上記本例のディスク状記録媒体の製造装置において、電磁石のコイル１３に電流を流すことにより、回転円板部８の中心軸７の永久磁石１６の磁界と反発する向きの磁界が発生するようにすれば、回転円板部８の中心軸７の回転軸部１の凹部４に対する着脱が比較的容易に行われる。
【００４３】
また、本例のディスク状記録媒体の製造装置は、図１中に示すように、ディスク基板２上に紫外線硬化型樹脂１７を供給するノズル１８を有する。このノズル１８は、樹脂供給部１９に樹脂供給管２０を介して取り付けられて塗液供給手段となされている。そして、このノズル１８は、スピンコート時において、ディスク基板２及び回転円板部８が回転する略中心点である回転円板部８の円板部６の中心の直上に配設され、紫外線硬化型樹脂１７をディスク基板２及び回転円板部８の回転中心に供給するように出射する。
【００４４】
さらに、本例のディスク状記録媒体の製造装置においては、図４に示すように、回転円板部８を移送するためのアーム２１が設けられている。このアーム２１は、回転円板部８を保持する保持部２２と、一端が保持部２２に接続され他端が図示しない移送手段と接続される腕部２３により構成される。上記保持部２２は、図４中に示すように、先端２２ａに回転円板部８の中心軸７に嵌合する大きさの凹部２４が設けられ、その上面２２ｂ側で円板部６の対向面６ａ側を面内方向に支持する略板状の部材であり、腕部２３の移動に伴って移動する。なお、上記アーム２１は図示しない移送手段により図４中矢印Ｃ，Ｄで示すようにディスク基板２の厚さ方向及び面内方向に移動自在となされている。
【００４５】
なお、ここでは、保持部２２の形状を中心軸７に嵌合する凹部２４を有する形状としたが、単に回転円板部８を載置する形状としても良く、回転円板部８の端部に残留した樹脂が付着しない構造であることが望ましい。
【００４６】
次に、本例のディスク状記録媒体の製造装置により、ディスク基板上に保護膜を形成する方法について述べる。先ず、ディスク基板２の中心穴５を回転軸部１の凸部２１に嵌合させて鍔部３上にディスク基板２を載置する。上記ディスク基板２としては、図３中Ｔ_１で示す厚さが１．２（ｍｍ）、外径が８６（ｍｍ）、溝部１４の外径Ｄ_５が３４（ｍｍ）、中心孔５の直径Ｄ_３が１５（ｍｍ）のディスク基板が挙げられる。上記溝部１４は、ディスク基板２成形時においてスタンパー等によって形成された溝であり、情報信号が記録されるデータ領域より内周側に形成されるものである。なお、上記ディスク基板２に記録層が形成されていることは言うまでもない。
【００４７】
次に、アーム２１により回転円板部８を保持して、回転円板部８の中心軸７が回転軸部１の凹部４の真上に来るようにアーム２１を図４中矢印Ｄで示すディスク基板２の面内方向に移動する。そして、中心軸７が回転軸部１の凹部４に挿入されるようにアーム２１を図４中矢印Ｃで示すディスク基板２の厚さ方向に移動する。なお、この上記回転円板部８としては、例えば図３中Ｔ_２で示す円板部６の厚さが３．０（ｍｍ）、円板部６の直径Ｄ_４が３５（ｍｍ）のものが挙げられる。
【００４８】
そして、アーム２１により中心軸７を凹部４の途中まで挿入した状態で、コイル１３に電流を供給して電磁石により、永久磁石１６の磁界と反発する方向の磁界を凹部４内に発生させる。続いて磁界による反発力と回転円板部８の自重による力が釣り合ったところで、アーム２１を図４中矢印Ｄで示すディスク基板２の面内方向に移動させ、アーム２１を回転円板部８から引き抜く。このとき、上述のように磁界による反発力と回転円板部８の自重による力が釣り合うようになされていることから、回転円板部８が急激に落下することはない。
【００４９】
続いて、コイル１３に供給する電流を徐々に減少させ、電磁石から発生する磁界を徐々に小さくしていくと、回転円板部８は下方向に徐々に降下する。そして、コイル１３に供給される電流値が零になったところで永久磁石１６が底面部分１ｃを形成する鉄に吸着し、回転円板部８が回転軸部１に対して強固に固定される。
【００５０】
このとき、回転円板部８の円板部６と回転軸部１の鍔部３によりディスク基板２は厚さ方向に挟み込まれることとなり、ディスク基板２は中心穴５を回転円板部８の円板部６により塞がれた状態で面内方向に支持されることとなり、ディスク基板２は回転軸部１を回転させることにより図１中矢印Ａで示すように面内方向に回転することとなる。なお、本例においては、円板部６の直径Ｄ_４を３５（ｍｍ）とし、ディスク基板２の溝部１４の外径Ｄ_５を３４（ｍｍ）としていることから、上記円板部６により溝部１４まで覆われることとなり、情報信号が記録されたデータ領域より内周側全体が円板部６により覆われることとなる。
【００５１】
続いて、スピンドルモータ１２を回転駆動させ、ギア１１，１０，９を介して回転軸部１を３０（ｒｐｍ）程度の回転数で回転させる。これにより、この回転軸部１の鍔部３上に載置されたディスク基板２及び回転円板部８も回転軸部１と同速度で回転される。
【００５２】
次に、上記のような回転数でディスク基板２及び回転円板部８を回転させながら、図１中に示すように、ディスク基板２上にノズル１８から紫外線硬化型樹脂１７を供給する。このとき、本例においては、前述のように塗液供給手段であるノズル１８がディスク基板２及び回転円板部８が回転する略中心点である回転円板部８の円板部６の中心の直上に配設され、ディスク基板２の中心穴５が回転円板部８の円板部６によって塞がれていることから、ディスク基板２の略中心に紫外線硬化型樹脂１７を供給することが可能であり、言い換えれば紫外線硬化型樹脂１７を回転中心を避けることなく供給することが可能である。なお、本例においては、紫外線硬化型樹脂１７として、粘度が５００（ｃｐｓ）程度のものを使用している。
【００５３】
次に、回転軸部１の回転数を３０００（ｒｐｍ）まで上昇させ、３０００（ｒｐｍ）の回転数で８秒間保持する。このように、３０００（ｒｐｍ）の回転数で８秒間保持することにより、回転円板部８の回転中心に供給された紫外線硬化型樹脂１７を、遠心力によりディスク基板２の外周部に向かって広げ、ディスク基板２の全面、すなわち、記録層上に塗布し、ディスク基板２に紫外線硬化型樹脂１７の塗膜を形成する。
【００５４】
このとき、本例のディスク状記録媒体の製造装置においては、前述のように、回転円板部８の円板部６の対向面６ａの内周側を凹面として外周部のみがディスク基板２に接するようにしていることから、対向面６ａとディスク基板２間に紫外線硬化型樹脂１７が入り込むことが防止される。
【００５５】
そして、回転軸部１の回転を停止させた後、コイル１３に電流を供給し、電磁石より永久磁石１６から発生する磁界と反発する方向の磁界を凹部４内に発生させる。すると、これら磁界の反発力により、回転円板部８の中心軸７は上方向に押し上げられ、反発力と回転円板部８の自重による力が釣り合った位置に浮上した状態となる。
【００５６】
このとき、本例のディスク状記録媒体の製造装置においては、前述のように、回転円板部８の中心軸７の円板部６との接続部近傍に気体を噴出可能な噴出孔１５が設けられていることから、回転円板部８の上昇時に当該噴出孔１５から気体を噴出させるようにすれば、対向面６ａとディスク基板２間に紫外線硬化型樹脂１７が入り込むことが防止される。
【００５７】
そして、アーム２１を図４中矢印Ｄで示すようにディスク基板２の面内方向に移動させ、保持部２２の凹部２４に中心軸７を嵌合させるとともに上面側で円板部６の対向面６ａ側を面内方向に支持した後、アーム２１を図４中矢印Ｃで示すようにディスク基板２の厚さ方向に移動させ、回転円板部８を回転軸部１から完全に引き抜く。さらに、アーム２１を図４中矢印Ｄで示すようにディスク基板２の面内方向に後退するように移動させる。
【００５８】
次いで、紫外線硬化型樹脂１７が塗布されたディスク基板２に紫外線を照射するために、ディスク基板２を回転軸部１から取り外し、図示しない紫外線照射部へと移動させる。そして、この紫外線硬化型樹脂１７に対して紫外線を照射し、硬化させ、保護膜を形成する。
【００５９】
本例のディスク状記録媒体の製造装置においては、上記回転軸部１の凹部４に回転円板部８の中心軸７をはめ込み、上記回転軸部１の鍔部３と回転円板部８の円板部６によりディスク基板２を厚さ方向に挟み込めば、上記ディスク基板２は中心穴５を回転円板部８の円板部６により塞がれた状態で面内方向に支持されることとなり、回転軸部１を回転させることにより面内方向に回転する。すなわち、ディスク基板２の中心穴５が塞がれていることから、ディスク基板２の略中心に紫外線硬化型樹脂１７が供給され、言い換えれば紫外線硬化型樹脂１７が回転中心を避けることなく供給されることから、塗布開始位置における回転中心からの距離が非常に小さくなり、径方向における塗膜の膜厚のばらつきが抑えられ、内周側と外周側での膜厚の差が抑えられた保護膜を有するディスク状記録媒体が製造される。
【００６０】
また、本例のディスク状記録媒体の製造装置においては、回転軸部１の凹部４の少なくとも底面側が磁性を有する金属よりなり、回転円板部８の中心軸７の少なくとも先端側が永久磁石１６よりなることから、回転軸部１の凹部４と回転円板部８の中心軸７が強固に嵌合する。
【００６１】
さらに、上記本例のディスク状記録媒体の製造装置においては、電磁石のコイル１３に電流を流すことにより、回転円板部８の中心軸７の永久磁石１６の磁界と反発する向きの磁界が発生するようにしており、回転円板部８の中心軸７の回転軸部１の凹部４に対する着脱が比較的容易に行われる。
【００６２】
なお、上記本例のディスク状記録媒体の製造装置においては、電磁石のコイル１３に電流を流すことにより、回転円板部８の中心軸７の永久磁石１６の磁界と反発する向きの磁界が発生するようにしているが、電流の向きにより電磁石に発生する磁界の向きを調節するようにしても良く、電磁石と永久磁石１６の磁界の向きを合わせれば、回転軸部１の凹部４と回転円板部８の中心軸６をさらに強固に嵌合することが可能となる。
【００６３】
さらに、上述したディスク状記録媒体の製造装置においては、塗液としてアクリル系紫外線硬化型樹脂等、光磁気ディスクの保護膜材料として使用されているものを使用することが可能である。また、上述の例においては、紫外線硬化型樹脂の粘度を約５００（ｃｐｓ）程度としたが、例えば重合度等を制御して変化させたものを使用しても良い。
【００６４】
なお、上述の例においては、保護膜が形成されるディスク基板として、基板の片面のみに記録層が形成された単板構成のものを例示し、単板構成の光磁気ディスクを製造する例を示したが、製造される光磁気ディスクはこれに限られるものではない。すなわち、上記のような単板構成のディスク基板同士を対向させて貼り合わせて一体として両板構成の光磁気ディスクを製造しても良い。この両板構成の光磁気ディスクでは、記録再生時において、両面からレーザ光が照射されるとともに、磁気ヘッドにより磁界が印可される。すなわち、保護膜が形成された記録層が両面に形成されることになる。このような両板構成の光磁気ディスクにおいても、上述したように、光磁気ディスクの保護膜が内周部と外周部との膜厚差がないように形成されることによって、レーザ光の照射及び記録磁界の印可を安定して行うことが可能である。
【００６５】
さらに、上述したディスク状記録媒体製造装置は、上述した光磁気ディスクに限らず、例えば、表面に物理的な凹凸が形成されることによって信号が記録されている、再生専用の光ディスク等の製造にも適用可能である。さらに、このディスク状記録媒体製造装置が、広く、磁気ディスクや、光ディスク、相変化型ディスク等、保護膜材料をスピンコート法によって塗布して保護膜が形成されるディスク状記録媒体の製造に適用可能であることは言うまでもない。
【００６６】
【実施例】
次に、本発明の効果を確認するべく、以下に示すような実験を行った。すなわち、上述したようなディスク状記録媒体の製造装置を使用し、上述したようなディスク基板を使用して、ディスク基板上に保護膜を形成した。この保護膜におけるディスク基板の回転中心からの距離と保護膜の膜厚の関係を図５に示す。なお、図５中横軸はディスク基板の回転中心からの距離（ｍｍ）を示し、縦軸は保護膜の膜厚（μｍ）を示す。
【００６７】
そして、この図５においては、上述のようにして成膜されたディスク基板の回転中心からの所定の距離における保護膜の膜厚を×で示し、比較のために、従来の方法でディスク基板を回転させて保護膜を形成したときの計算値を実線ｂで示す。さらに、図５においては、上述のディスク基板において記録層となる範囲を２４（ｍｍ）〜４０（ｍｍ）の範囲Ｂとして示す。すなわち、範囲Ｂが、保護膜を形成すべき領域ということになる。
【００６８】
図５を見てわかるように、上述のようにして形成された保護膜の膜厚は、ディスク基板の回転中心からの距離が２４（ｍｍ）〜４０（ｍｍ）の範囲内において、約１６（μｍ）程度となっている。このように、膜厚を１５（μｍ）以上とすることにより、記録層の腐食を十分に防止することが可能となる。また、上記保護膜の膜厚は、ディスク基板の回転中心からの距離が２４（ｍｍ）〜４０（ｍｍ）の範囲内において、２．０（μｍ）以下の誤差となっている。
【００６９】
一方、図５中の実線ｂで示される比較例は、ディスク基板全域において、内周側から外周側に向かって保護膜の膜厚が厚くなる傾向にある。また、この比較例においては、ディスク基板の回転中心からの距離が２４（ｍｍ）〜４０（ｍｍ）の範囲内においても、外周部側において保護膜の膜厚が厚くなっている。
【００７０】
すなわち、上記実験の結果から、上述のようにして保護膜を形成すれば、図５中に示すように、記録層が形成されている範囲Ｂ内において、約１５（μｍ）以上の膜厚の保護膜を形成することができるとともに、ディスク基板の内周側と外周側との膜厚差を２（μｍ）以下に抑制した保護膜を形成することが可能であることが確認された。
【００７１】
また、このようにして形成された保護膜においては、ディスク基板の全面において保護膜の膜厚差が２（μｍ）以下となされているので、レーザ光を保護膜側から入射させても、ディスク基板の全面において波面収差の誤差が大きくなってしまうような部分がない。
【００７２】
すなわち、上記保護膜は、その膜厚差が、例えば、レーザ光を保護膜側から入射する光学装置を用い、レーザ光の波長λを４８０（ｎｍ）とし、ディスク基板上にレーザ光を集光させるレンズの開口数ＮＡを０．９とした場合において、波面収差が０．１９λ以下となる膜厚差の上限である２．９（μｍ）以下となるように形成されている。
【００７３】
したがって、このような保護膜が形成された光磁気ディスクによれば、高記録密度用に設計された光学系を使用して記録再生を行っても、保護膜の膜厚差による波面収差の誤差が大きくなるようなことはなく、レーザ光を記録層に安定して照射させることが可能である。
【００７４】
また、このようにして保護膜を形成すれば、光磁気ディスク上を摺動しながら信号の記録を行う磁気ヘッドを使用しても、保護膜の膜厚差により、光磁気ディスクの表面に対して損傷を与えることなく、信号の記録を行うことが可能である。
【００７５】
さらに、このようにして保護膜を形成すれば、光磁気ディスク上の表面と微少間隔を介して浮上する磁気ヘッドを使用して信号の記録を行っても、磁気ヘッドが光磁気ディスクの表面と接触することはなく、所定の間隔を保持して信号を記録することができる。
【００７６】
従って、このようにして保護膜を形成すれば、記録層に対して安定して磁界を印可することができ、光磁気ディスクの全面において記録ピットを安定して形成することができる。
【００７７】
【発明の効果】
以上の説明からも明らかなように、本発明のディスク状記録媒体の製造装置においては、一端側にディスク状記録媒体を面内方向に支持する鍔部を有し、その中心に鍔部形成端側に臨んで開口する凹部が形成される回転軸部と、ディスク状記録媒体の中心穴を面内方向に覆う円板部と、その一端が上記円板部に接合され、上記回転軸部の凹部に嵌合する中心軸よりなる回転円板部を備えている。
【００７８】
従って、上記回転軸部の凹部に回転円板部の中心軸をはめ込み、上記回転軸部の鍔部と回転円板部の円板部によりディスク状記録媒体を厚さ方向に挟み込めば、上記ディスク状記録媒体は中心穴を回転円板部の円板部により塞がれた状態で面内方向に支持されることとなり、回転軸部を回転させることにより面内方向に回転する。すなわち、ディスク状記録媒体の中心穴が塞がれていることから、塗液供給手段によりディスク状記録媒体の略中心に塗液が供給され、言い換えれば塗液が回転中心を避けることなく供給されることから、塗布開始位置における回転中心からの距離が非常に小さくなり、径方向における塗膜の膜厚のばらつきが抑えられ、内周側と外周側での膜厚の差が抑えられた保護膜等の塗膜を有するディスク状記録媒体の製造が可能となる。
【００７９】
また、本発明のディスク状記録媒体の製造装置においては、回転軸部の凹部の少なくとも底面側が磁性を有する金属よりなり、回転円板部の中心軸の少なくとも先端側が磁石よりなることから、回転軸部の凹部と回転円板部の中心軸が強固に嵌合する。
【００８０】
なお、上記本発明のディスク状記録媒体の製造装置において、回転軸部にコイルを配設し、回転軸部の磁性を有する金属よりなる部分とコイルで電磁石を構成すれば、電磁石に発生する磁界の向きを調節することにより、発生する磁力により回転円板部の中心軸を回転軸部の凹部に対して安定して着脱することが可能となる。
【００８１】
さらに、上記本発明のディスク状記録媒体の製造装置において、電磁石のコイルに電流を流すことにより、回転円板部の中心軸の磁石の磁界と反発する向きの磁界が発生するようにすれば、回転円板部の中心軸の回転軸部の凹部に対する着脱が比較的容易に行われる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明に係るディスク状記録媒体の製造装置の構成を示す要部概略斜視図である。
【図２】本発明に係るディスク状記録媒体の製造装置の構成を示す要部概略断面図である。
【図３】本発明に係るディスク状記録媒体の製造装置の構成を分解して示す要部概略断面図である。
【図４】本発明に係るディスク状記録媒体の製造装置の構成を示す要部概略斜視図である。
【図５】ディスク基板の回転中心からの距離と保護膜の膜厚の関係を示す特性図である。
【図６】ディスク基板上に紫外線硬化型樹脂を供給する様子を示す斜視図である。
【符号の説明】
１回転軸部、１ａ一端、２ディスク基板、３鍔部、４凹部、５中心穴、６円板部、７中心軸、８回転円板部、１３コイル、１６永久磁石、１７紫外線硬化型樹脂[0001]
TECHNICAL FIELD OF THE INVENTION
The present invention relates to an apparatus for manufacturing a disk-shaped recording medium. More specifically, the present invention relates to an apparatus for manufacturing a disk-shaped recording medium capable of uniformly applying a coating liquid.
[0002]
[Prior art]
In the magneto-optical recording method, the recording layer made of a magnetic material is partially heated to a temperature higher than the Curie point or the temperature compensation point to reduce the coercive force in this part, and a recording magnetic field is externally applied to this part. In this method, information signals are recorded by partially changing the magnetization direction of the recording layer. This magneto-optical recording method is being put to practical use in an optical filing system, an external recording device of a computer, or a recording device for audio and video information.
[0003]
As a magneto-optical recording medium on which recording is performed by the above-described magneto-optical recording method, for example, a magneto-optical disk in which a recording layer made of a magnetic film or the like and a protective film are formed on a transparent substrate made of plastic such as polycarbonate or glass. Is mentioned. The recording layer is formed by laminating a magnetic film on which an information signal is recorded, a dielectric film, and a reflective film. Here, examples of the magnetic film include a magnetic thin film made of, for example, a rare earth-transition metal alloy amorphous thin film, which has an easy axis of magnetization in a direction perpendicular to the film surface and has a large magneto-optical effect.
[0004]
Magneto-optical recording methods for recording information signals on such a magneto-optical disk are roughly classified into an optical modulation method for recording a signal by modulating light and a magnetic field modulation method for recording a signal by modulating a recording magnetic field. is there.
[0005]
Among these, the magnetic field modulation method is a method of recording a signal on a magnetic film by reversing a recording magnetic field at a high speed in a state of irradiating light when recording a signal, and can easily perform overwriting. At the same time, studies are being made vigorously to enable high recording density and high access.
[0006]
In this magnetic field modulation system, a magnetic head that generates a magnetic field applies a magnetic field to a recording layer to record a signal. However, when recording a signal, the magnetic head needs to invert the magnetic field at high speed. Therefore, it is impossible to use a magnetic head that generates a strong magnetic field as in the light modulation method described above.
[0007]
The strength of the magnetic field applied to the magneto-optical disk by the magnetic head is inversely proportional to the distance between the magneto-optical disk and the magnetic head. That is, the magnitude of the magnetic field applied to the magneto-optical disk decreases as the distance between the magneto-optical disk and the magnetic head increases. Therefore, in such a magnetic head, when recording a signal, the distance from the magneto-optical disk must be reduced.
[0008]
Therefore, in a magneto-optical disk having a single-plate configuration, an optical pickup device for irradiating a laser beam is disposed on the transparent substrate side of the magneto-optical disk, and a magnetic head is disposed on the protective film forming surface side of the magneto-optical disk to store information. In addition to the method of recording and reproducing information, both methods of arranging an optical pickup device for irradiating a laser beam on the protective film forming surface side of the magneto-optical disk and arranging a magnetic head to record and reproduce information have been studied. I have.
[0009]
By the way, on the reflection film laminated on the uppermost layer of the recording layer, generally, the above-mentioned protective film made of an ultraviolet curable resin or the like is formed for the purpose of preventing corrosion and damage of the recording layer. The protective film is usually formed by applying a UV curable resin by a so-called spin coating method.
[0010]
Specifically, as shown in FIG. 6, first, a disk substrate 120 on which a recording layer is formed in advance is placed on a turntable (not shown) that supports the disk substrate 120 in an in-plane direction. Is rotated at a low speed by a spindle motor (not shown) to rotate the disk substrate 120 in the in-plane direction as shown by the arrow m in the figure. Then, the ultraviolet curable resin 121 is supplied in an annular shape along the inner peripheral portion 120 a of the recording area of the disk substrate 120 by the ultraviolet curable resin supply means 122. Subsequently, the disk substrate 120 is rotated at a high speed, and the ultraviolet curable resin 121 supplied to the inner peripheral portion 120a by the centrifugal force is spread and applied to the outer peripheral portion. A coating film is formed, and cured by irradiating ultraviolet rays to form a protective film. The thickness of this coating film is about 15 μm in order to obtain a sufficient protective effect after being irradiated with ultraviolet rays in a later step.
[0011]
[Problems to be solved by the invention]
However, the thickness of the protective film formed as described above tends to increase toward the outer peripheral side of the disk substrate 120. When forming a coating film by the spin coating method, the thickness of the coating film is changed depending on conditions such as the viscosity of the coating liquid (here, an ultraviolet curable resin), the rotation speed of the object to be coated (here, a disk substrate), and the rotation time. can do. However, in the protective film, it is difficult to make the thickness of the coating film uniform over the entire surface of the disk substrate 120 by adjusting various conditions. Becomes thicker.
[0012]
In this protective film, if the film thickness is extremely thin, it becomes impossible to prevent corrosion of the recording layer of the magneto-optical disk, so that a film thickness of about 15 μm on average is required at least over the entire surface of the magneto-optical disk. However, assuming that the average thickness of the protective film on the entire surface of the magneto-optical disk is 15 μm, a thickness difference of about 5 μm actually occurs between the inner peripheral portion and the outer peripheral portion.
[0013]
As described above, when there is a difference in the thickness of the protective film between the inner peripheral side and the outer peripheral side of the magneto-optical disk, when an optical pickup device that performs recording and reproduction by irradiating laser light from the protective film side is used. Then, the wavefront aberration of the laser light is generated. In the above-described optical pickup device, when a wavefront aberration occurs due to a difference in thickness of the protective film, the emitted laser light becomes unstable, and the recording / reproducing characteristics deteriorate.
[0014]
Where the wavefront aberration is W _40d Assuming that n is the refractive index of the protective film, Δd is the thickness error of the protective film, and NA is the numerical aperture of the lens of the optical system, the following equation 1 holds.
[0015]
(Equation 1)

[0016]
Here, in the case of the current magneto-optical disk, the refractive index n of the protective film is 1.58, the laser wavelength λ of the optical system is 780 (nm), and the numerical aperture NA of the lens is 0.5. Under such conditions, if the thickness error Δd of the protective film is 5 (μm), the wavefront aberration W _40d Is 0.19λ (0.148 (μm)).
[0017]
By the way, in the optical system of a magneto-optical disk, the laser wavelength λ of the optical system has been shortened and the numerical aperture NA of the lens has been increased with the recent increase in recording density. This is because the spot diameter of the laser light condensed by the optical lens is proportional to the laser wavelength λ and inversely proportional to the numerical aperture NA of the lens. Here, at present, the laser spot diameter is about 1.6 (μm). For example, when the wavelength of the laser beam is 480 (nm) and the numerical aperture NA of the lens is 0.9, the laser spot diameter is 0.1 μm. 5 (μm), resulting in a laser spot diameter that is about １／ of the current laser spot diameter. Therefore, if such an optical system is used, it is possible to increase the areal recording density of the magneto-optical disk to nine times that of the current case.
[0018]
However, when the protective film formed as described above has a film thickness error of about 5 (μm), using the optical system with a shorter wavelength and a higher numerical aperture as described above. , The wavefront aberration W calculated from Equation 1 above _40d Becomes a large value, and it is difficult to perform stable recording and reproduction. For example, when the wavelength of the laser beam is 480 (nm) and the numerical aperture NA of the lens is 0.9, the wavefront aberration W _40d Becomes very large, and stable recording and reproduction cannot be performed. That is, in such an optical system of a magneto-optical disk, the wavefront aberration W _40d Is required to be at least about 0.19λ, which is the same as the current level, the thickness difference Δd between the inner and outer peripheral portions of the protective film needs to be suppressed to 2.9 (μm) or less.
[0019]
Further, when the thickness difference occurs in the protective film as described above, it affects not only the irradiation of the laser beam by the optical system described above but also the application of the magnetic field by the magnetic head. For example, a magnetic head used in the above-described magnetic field modulation method includes a floating magnetic head that records signals through a small gap of about several (μm) to several tens (μm) from a protective film of a magneto-optical disk, There is a sliding magnetic head that records signals while sliding on a protective film of a magneto-optical disk. In a magnetic field modulation system using such a magnetic head, if there is a difference in the thickness of the protective film, the distance between the recording layer and the magnetic head changes. That is, in the magnetic field modulation method, if there is a difference in the film thickness of the protective film, the distance between the recording layer and the magnetic head becomes non-uniform reflecting the difference in the film thickness, which greatly affects the application of the magnetic field to the magnetic head.
[0020]
Therefore, as a method for suppressing the difference in the thickness of the protective film, a method has been proposed in which the protective film is formed by irradiating ultraviolet rays while rotating the magneto-optical disk at a rotation speed of 1000 (rpm) or more. . However, also in this method, a difference in the thickness of the protective film occurs between the inner peripheral portion and the outer peripheral portion of the disk substrate, and the thickness increases in the outer peripheral portion.
[0021]
This is for the following reasons. At the time of spin coating, a centrifugal force and a viscous resistance force are applied to the ultraviolet curable resin by the rotation of the disk substrate, and after being supplied to the inner peripheral portion of the disk substrate, the resin moves toward the outer peripheral portion. However, in the above method, when ultraviolet rays are irradiated from the outer peripheral portion of the disk substrate toward the inner peripheral portion, the ultraviolet curable resin is cured at the outer peripheral portion, but at the inner peripheral portion not irradiated with the ultraviolet light, due to centrifugal force. It moves to the outer periphery and gradually becomes thinner. Then, the ultraviolet curable resin is supplied from the uncured inner peripheral portion to the outer peripheral portion cured by the irradiation of the ultraviolet rays, and the outer peripheral portion gradually becomes thicker. That is, as a result, the difference in film thickness between the inner peripheral portion and the outer peripheral portion increases as compared with the case where the magneto-optical disk is cured without rotating.
[0022]
Accordingly, the present invention has been proposed in view of the actual situation in the related art, and has a disk-like shape capable of suppressing a difference in film thickness between an inner peripheral side and an outer peripheral side when a coating film is formed on a disk-like medium. It is an object to provide a medium manufacturing apparatus.
[0023]
[Means for Solving the Problems]
As a result of intensive studies by the present inventors and others to solve the above-described problems, when the coating is performed by the spin coating method, if the supply start position of the coating liquid in the circumferential direction varies in the radial direction, the thickness of the coating film is increased. Was found to have a large effect on the variation in the radial direction. And, in order to suppress the variation in the radial direction of the coating liquid supply start position in the circumferential direction as described above, it has been found that the distance from the rotation center of the coating liquid supply start position should be made as small as possible. Therefore, in an object to be coated having a hole at the center, such as a disk substrate of a magneto-optical disk, since the hole serves as a center of rotation, it is necessary to supply the ultraviolet curable resin without avoiding the center hole. Is desirable.
[0024]
In other words, the apparatus for manufacturing a disk-shaped recording medium of the present invention has a flange portion at one end side for supporting the disk-shaped recording medium in the in-plane direction, and has a recess formed at the center thereof, opening toward the flange-formed end side. A rotating shaft portion, a disk portion covering the center hole of the disk-shaped recording medium in an in-plane direction, and a central shaft having one end joined to the disk portion and fitted into a concave portion of the rotating shaft portion. A rotating disk portion and a coating liquid supply means, wherein at least the bottom surface side of the concave portion of the rotating shaft portion is made of a metal having magnetism, and at least the tip end of the central axis of the rotating disk portion is made of a magnet. It is characterized by the following.
[0025]
In the apparatus for manufacturing a disk-shaped recording medium according to the present invention, it is preferable that the coil is disposed on the rotating shaft portion, and the electromagnet is formed by the portion of the rotating shaft portion made of magnetic metal and the coil.
[0026]
Furthermore, in the disk-shaped recording medium manufacturing apparatus according to the present invention, a current is applied to the coil of the electromagnet to generate a magnetic field in a direction repelling the magnetic field of the magnet on the center axis of the rotating disk portion. Is preferred.
[0027]
In the apparatus for manufacturing a disk-shaped recording medium of the present invention, a flange portion for supporting the disk-shaped recording medium in an in-plane direction is provided at one end side, and a concave portion which is open toward the flange-formed end side is formed at the center thereof. A rotating shaft portion, a disk portion that covers the center hole of the disk-shaped recording medium in an in-plane direction, and one end of which is joined to the disk portion and has a center shaft that fits into the recess of the rotating shaft portion. It has a disk part.
[0028]
Therefore, if the center axis of the rotating disk portion is fitted into the concave portion of the rotating shaft portion and the disk-shaped recording medium is sandwiched in the thickness direction by the flange portion of the rotating shaft portion and the disk portion of the rotating disk portion, The disc-shaped recording medium is supported in the in-plane direction with the center hole closed by the disc portion of the rotating disc portion, and is rotated in the in-plane direction by rotating the rotating shaft portion. That is, since the center hole of the disk-shaped recording medium is closed, the coating liquid is supplied to the approximate center of the disk-shaped recording medium by the coating liquid supply means, in other words, the coating liquid is supplied without avoiding the rotation center. Therefore, the distance from the rotation center at the coating start position is very small, and the variation in the thickness of the coating film in the radial direction is suppressed.
[0029]
In the apparatus for manufacturing a disk-shaped recording medium according to the present invention, at least the bottom surface side of the concave portion of the rotating shaft portion is made of a magnetic metal, and at least the tip end of the center axis of the rotating disk portion is made of a magnet. The central axis of the rotating disk part and the concave part of the part are firmly fitted.
[0030]
In the above-described apparatus for manufacturing a disk-shaped recording medium according to the present invention, if a coil is disposed on the rotating shaft and an electromagnet is constituted by the portion of the rotating shaft made of magnetic metal and the coil, the magnetic field generated in the electromagnet can be obtained. , The center axis of the rotating disk portion can be freely attached to and removed from the concave portion of the rotating shaft portion by the generated magnetic force.
[0031]
Further, in the disk-shaped recording medium manufacturing apparatus of the present invention, if a current is applied to the coil of the electromagnet to generate a magnetic field in a direction that repels the magnetic field of the magnet on the center axis of the rotating disk portion, It is relatively easy to attach and detach the center shaft of the rotating disk portion to and from the recess of the rotating shaft portion.
[0032]
BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION
Hereinafter, an apparatus for manufacturing a disk-shaped recording medium to which the present invention is applied will be described in detail with reference to the drawings. In this example, an example of manufacturing a magneto-optical disk on which reproduction and recording are performed by a so-called magnetic field modulation method will be described, and a protective layer made of an ultraviolet-curable resin is formed on a disk substrate having a recording layer formed on one main surface. An example of forming a film will be described.
[0033]
As shown in FIGS. 1, 2 and 3, a manufacturing apparatus for a disk-shaped recording medium to which the present invention is applied supports a disk substrate 2 for forming a disk-shaped recording medium at one end 1a in an in-plane direction. A rotating shaft portion 1 having a substantially annular flange portion 3 having a flat surface and a concave portion 4 opening toward the one end 1a side at the center of which the flange portion 3 is formed, and a disk-shaped recording medium are formed. A rotating disk composed of a disk portion 6 that covers the center hole 5 of the disk substrate 2 in the in-plane direction, and a central shaft 7 that is joined to the disk portion 6 at one end thereof and fits into the recess 4 of the rotating shaft portion 1. It is provided with a plate portion 8.
[0034]
The rotating shaft 1 has a substantially cylindrical shape and has a flange 3 on one end 1a side. However, the flange 3 is not provided at the tip of the one end 1a, but is provided at a position slightly retreated. As a result, a protruding portion 21 is formed on the upper surface of the flange portion 3. The convex portion 21 has a flat annular shape because the concave portion 4 is formed at the center, and the convex portion 21 has a D shape in FIG. ₂ The outside diameter indicated by D in FIG. ₃ Is approximately equal to the diameter of the center hole 5 of the disk substrate 2, and the projection 21 fits into the center hole 5 of the disk substrate 2.
[0035]
Further, as shown in FIG. 2, a spindle motor 12 is provided via

gears

9, 10, 11 on the other end 1 b side of the rotating shaft 1 opposite to the one end 1 a on which the flange 3 is provided. Are arranged. That is, the rotational driving force of the spindle motor 12 is transmitted to the other end 1b of the rotary shaft 1 via the

gears

11, 10, and 9, the rotary shaft 1 rotates, and the center hole 5 is The disk substrate 2 fitted in the convex portion 21 and supported in the in-plane direction by the flange portion 3 rotates in the in-plane direction as shown by an arrow A in FIG.
[0036]
As shown in FIG. 2, in the manufacturing apparatus of the disk-shaped recording medium of this embodiment, at least the bottom surface side of the concave portion 4 of the rotating shaft portion 1 is formed of a metal having magnetism. In this example, the bottom surface portion 1c on the bottom surface side of the concave portion 4 is formed of iron. Further, in the manufacturing apparatus of the disk-shaped recording medium of this example, the coil 13 is disposed on the bottom portion 1c of the rotating shaft portion 1 as shown in FIG. 2, and the bottom portion 1c and the coil 13 constitute an electromagnet. Thus, it is possible to generate a magnetic field in the recess 4.
[0037]
One of the rotating disk portions 8 has a flat circular shape, and D in FIG. ₄ The diameter of the disk portion 6 indicated by the symbol D in FIG. ₃ The diameter of the central hole 5 is made larger than the diameter indicated by the circle, and the center hole 5 can be closed in the in-plane direction by the disk portion 6. Further, in the apparatus for manufacturing a disk-shaped recording medium according to the present embodiment, D in FIG. ₄ In the figure, the diameter of the disk portion 6 shown by D is the outer diameter of the groove portion 14 formed in a flat annular shape on the inner peripheral side of the data area of the disk substrate 2 where information is recorded. ₅ The diameter is larger than the diameter indicated by, and is set to a size that also covers the groove.
[0038]
Further, as shown in FIGS. 2 and 3, the inner peripheral side of the surface 6a of the disk portion 6 facing the disk substrate 2 is a concave surface, and only the outer peripheral portion is in contact with the disk substrate 2. The coating liquid is prevented from entering between the disk substrate 2 and the disk substrate 2. Further, the contact surface side of the disk portion 6 with the disk substrate 2 is formed of a material having a lower surface tension than the surface tension of the coating liquid. Further, in the apparatus for manufacturing a disk-shaped recording medium according to the present embodiment, as shown in FIG. 3, the ejection can be performed in the vicinity of the connection between the center axis 7 of the rotating disk 8 and the disk 6. A hole 15 is formed.
[0039]
In the apparatus for manufacturing a disk-shaped recording medium according to the present embodiment, at least the distal end of the rotating disk portion 8 opposite to the connection end of the central shaft 7 with the disk portion 6 is formed by the permanent magnet 16. I have.
[0040]
That is, in the manufacturing apparatus of the disk-shaped recording medium of the present example, when the center shaft 7 of the rotating disk portion 8 is fitted into the concave portion 4 of the rotating shaft portion 1, the iron and the rotation of the bottom portion 1 c of the rotating shaft portion 1 rotate. The permanent magnet 16 at the tip of the central axis 7 of the disk portion 8 attracts, and the rotating disk portion 8 is firmly fixed to the rotating shaft portion 1.
[0041]
Further, in the apparatus for manufacturing a disk-shaped recording medium according to the present embodiment, the coil 13 is disposed on the bottom surface portion 1c of the rotating shaft portion 1 and functions as an electromagnet. Thus, the direction of the magnetic field generated in the electromagnet can be adjusted, and the center axis 7 of the rotating disk portion 8 can be detachably attached to the concave portion 4 of the rotating shaft portion 1 by the generated magnetic force. .
[0042]
Further, in the apparatus for manufacturing a disk-shaped recording medium according to the present embodiment, by passing a current through the coil 13 of the electromagnet, a magnetic field is generated which repels the magnetic field of the permanent magnet 16 on the central axis 7 of the rotating disk portion 8. By doing so, the attachment / detachment of the center shaft 7 of the rotating disk portion 8 to / from the concave portion 4 of the rotating shaft portion 1 is relatively easily performed.
[0043]
The apparatus for manufacturing a disk-shaped recording medium according to the present embodiment has a nozzle 18 for supplying an ultraviolet-curable resin 17 onto the disk substrate 2 as shown in FIG. The nozzle 18 is attached to a resin supply unit 19 via a resin supply pipe 20 to serve as a coating liquid supply unit. The nozzle 18 is disposed just above the center of the disk portion 6 of the rotating disk portion 8 which is a substantially central point at which the disk substrate 2 and the rotating disk portion 8 rotate during spin coating, and is cured by ultraviolet light. The resin 17 is emitted so as to supply the mold resin 17 to the center of rotation of the disk substrate 2 and the rotating disk portion 8.
[0044]
Further, in the manufacturing apparatus of the disk-shaped recording medium of the present example, as shown in FIG. 4, an arm 21 for transferring the rotating disk portion 8 is provided. The arm 21 includes a holding portion 22 for holding the rotating disk portion 8, and an arm portion 23 having one end connected to the holding portion 22 and the other end connected to a transfer unit (not shown). As shown in FIG. 4, the holding portion 22 is provided at its tip 22a with a recess 24 having a size that fits into the center shaft 7 of the rotating disk portion 8, and the upper surface 22b of the holding portion 22 faces the disk portion 6. It is a substantially plate-shaped member that supports the surface 6 a in the in-plane direction, and moves with the movement of the arm 23. The arm 21 can be moved in the thickness direction and the in-plane direction of the disk substrate 2 by transfer means (not shown) as shown by arrows C and D in FIG.
[0045]
Here, the shape of the holding portion 22 is a shape having the concave portion 24 fitted to the central shaft 7, but may be a shape in which the rotating disk portion 8 is simply placed, and the end portion of the rotating disk portion 8 may be used. It is desirable that the resin does not adhere to the resin.
[0046]
Next, a method for forming a protective film on a disk substrate using the apparatus for manufacturing a disk-shaped recording medium of the present example will be described. First, the center hole 5 of the disk substrate 2 is fitted to the projection 21 of the rotating shaft 1, and the disk substrate 2 is placed on the flange 3. As the disk substrate 2, T in FIG. ₁ Is 1.2 (mm), the outer diameter is 86 (mm), and the outer diameter D of the groove 14 is ₅ Is 34 (mm), the diameter D of the center hole 5 ₃ Is 15 (mm). The groove 14 is a groove formed by a stamper or the like when the disk substrate 2 is formed, and is formed on the inner peripheral side of a data area where an information signal is recorded. Needless to say, a recording layer is formed on the disk substrate 2.
[0047]
Next, the rotating disk 8 is held by the arm 21, and the arm 21 is indicated by an arrow D in FIG. 4 so that the center axis 7 of the rotating disk 8 is directly above the recess 4 of the rotating shaft 1. It moves in the in-plane direction of the disk substrate 2. Then, the arm 21 is moved in the thickness direction of the disk substrate 2 indicated by the arrow C in FIG. 4 so that the center shaft 7 is inserted into the concave portion 4 of the rotating shaft portion 1. The rotating disk portion 8 is, for example, T ₂ The thickness of the disk portion 6 is 3.0 (mm) and the diameter D of the disk portion 6 ₄ Is 35 (mm).
[0048]
Then, with the center shaft 7 inserted halfway into the recess 4 by the arm 21, a current is supplied to the coil 13, and a magnetic field in a direction repelling the magnetic field of the permanent magnet 16 is generated in the recess 4 by the electromagnet. Subsequently, when the repulsive force due to the magnetic field and the force due to the own weight of the rotating disk portion 8 are balanced, the arm 21 is moved in the in-plane direction of the disk substrate 2 indicated by an arrow D in FIG. Pull out from. At this time, since the repulsive force by the magnetic field and the force by the weight of the rotating disk portion 8 are balanced as described above, the rotating disk portion 8 does not drop suddenly.
[0049]
Subsequently, when the current supplied to the coil 13 is gradually reduced and the magnetic field generated from the electromagnet is gradually reduced, the rotating disk portion 8 gradually descends downward. Then, when the current value supplied to the coil 13 becomes zero, the permanent magnet 16 is attracted to the iron forming the bottom surface portion 1c, and the rotating disk portion 8 is firmly fixed to the rotating shaft portion 1.
[0050]
At this time, the disk substrate 2 is sandwiched in the thickness direction by the disk portion 6 of the rotating disk portion 8 and the flange portion 3 of the rotating shaft portion 1, and the disk substrate 2 has the center hole 5 of the rotating disk portion 8. The disk substrate 2 is supported in the in-plane direction while being closed by the disk portion 6, and the disk substrate 2 is rotated in the in-plane direction by rotating the rotating shaft portion 1 as shown by an arrow A in FIG. It becomes. In this example, the diameter D of the disk portion 6 ₄ Is 35 (mm), and the outer diameter D of the groove 14 of the disk substrate 2 is ₅ Is set to 34 (mm), the disk portion 6 covers the groove portion 14, and the entire inner peripheral side of the data area where the information signal is recorded is covered by the disk portion 6.
[0051]
Subsequently, the spindle motor 12 is driven to rotate, and the rotation shaft 1 is rotated at a rotation speed of about 30 (rpm) via the

gears

11, 10, and 9. As a result, the disk substrate 2 and the rotating disk 8 placed on the flange 3 of the rotating shaft 1 are also rotated at the same speed as the rotating shaft 1.
[0052]
Next, while rotating the disk substrate 2 and the rotating disk portion 8 at the above-described rotation speed, the ultraviolet curable resin 17 is supplied from the nozzle 18 onto the disk substrate 2 as shown in FIG. At this time, in this example, as described above, the nozzle 18 serving as the coating liquid supply means is the center of the disk portion 6 of the rotating disk portion 8 which is a substantially center point at which the disk substrate 2 and the rotating disk portion 8 rotate. Since the center hole 5 of the disk substrate 2 is closed by the disk portion 6 of the rotating disk portion 8, the ultraviolet curable resin 17 is supplied to substantially the center of the disk substrate 2. In other words, the ultraviolet curable resin 17 can be supplied without avoiding the center of rotation. In this example, a resin having a viscosity of about 500 (cps) is used as the ultraviolet curable resin 17.
[0053]
Next, the rotation speed of the rotating shaft 1 is increased to 3000 (rpm), and the rotation speed is maintained at 3000 (rpm) for 8 seconds. In this way, by holding at a rotation speed of 3000 (rpm) for 8 seconds, the ultraviolet curable resin 17 supplied to the rotation center of the rotating disk portion 8 is moved toward the outer peripheral portion of the disk substrate 2 by centrifugal force. It is spread and applied on the entire surface of the disk substrate 2, that is, on the recording layer, and a coating film of the ultraviolet curing resin 17 is formed on the disk substrate 2.
[0054]
At this time, in the manufacturing apparatus of the disk-shaped recording medium of this example, as described above, only the outer peripheral portion is formed on the disk substrate 2 with the inner peripheral side of the facing surface 6a of the disk portion 6 of the rotating disk portion 8 being concave. Since it is in contact, the ultraviolet curable resin 17 is prevented from entering between the facing surface 6a and the disk substrate 2.
[0055]
Then, after the rotation of the rotating shaft portion 1 is stopped, a current is supplied to the coil 13, and a magnetic field in a direction repelling the magnetic field generated from the permanent magnet 16 by the electromagnet is generated in the concave portion 4. Then, the repulsive force of these magnetic fields pushes the central axis 7 of the rotating disk portion 8 upward, and floats at a position where the repulsive force and the force of the own weight of the rotating disk portion 8 are balanced.
[0056]
At this time, in the manufacturing apparatus of the disk-shaped recording medium of the present example, as described above, the ejection hole 15 capable of ejecting gas is provided near the connection between the center axis 7 of the rotating disk portion 8 and the disk portion 6. Since the gas is ejected from the ejection holes 15 when the rotating disk portion 8 rises, the ultraviolet curing resin 17 is prevented from entering between the facing surface 6 a and the disk substrate 2. .
[0057]
Then, the arm 21 is moved in the in-plane direction of the disk substrate 2 as shown by an arrow D in FIG. 4 so that the central shaft 7 is fitted into the concave portion 24 of the holding portion 22 and the upper surface of the disk portion 6 faces the opposite surface. After supporting the side 6a in the in-plane direction, the arm 21 is moved in the thickness direction of the disk substrate 2 as shown by an arrow C in FIG. 4 and the rotating disk portion 8 is completely pulled out from the rotating shaft portion 1. Further, the arm 21 is moved so as to retreat in the in-plane direction of the disk substrate 2 as shown by an arrow D in FIG.
[0058]
Next, in order to irradiate the ultraviolet light to the disk substrate 2 on which the ultraviolet-curable resin 17 has been applied, the disk substrate 2 is removed from the rotating shaft 1 and moved to an ultraviolet irradiation unit (not shown). Then, the ultraviolet ray curable resin 17 is irradiated with ultraviolet rays and cured to form a protective film.
[0059]
In the apparatus for manufacturing a disk-shaped recording medium according to the present embodiment, the center shaft 7 of the rotating disk portion 8 is fitted into the concave portion 4 of the rotating shaft portion 1, and the flange 3 and the rotating disk portion 8 of the rotating shaft portion 1 are fitted. When the disk substrate 2 is sandwiched between the disk portions 6 in the thickness direction, the disk substrate 2 is supported in the in-plane direction with the center hole 5 closed by the disk portion 6 of the rotating disk portion 8. In other words, the rotation of the rotation shaft 1 causes the rotation in the in-plane direction. That is, since the center hole 5 of the disk substrate 2 is closed, the ultraviolet-curable resin 17 is supplied substantially at the center of the disk substrate 2, in other words, the ultraviolet-curable resin 17 is supplied without avoiding the center of rotation. Therefore, the distance from the rotation center at the coating start position is extremely small, the variation in the film thickness in the radial direction is suppressed, and the difference in the film thickness between the inner peripheral side and the outer peripheral side is suppressed. A disk-shaped recording medium having a film is manufactured.
[0060]
Further, in the disc-shaped recording medium manufacturing apparatus of this example, at least the bottom surface of the concave portion 4 of the rotating shaft portion 1 is made of a metal having magnetism, and at least the distal end of the central shaft 7 of the rotating disk portion 8 is made of a permanent magnet 16. Therefore, the concave portion 4 of the rotating shaft portion 1 and the central shaft 7 of the rotating disk portion 8 are firmly fitted.
[0061]
Further, in the disk-shaped recording medium manufacturing apparatus of the present embodiment, a current is applied to the coil 13 of the electromagnet to generate a magnetic field in a direction repelling the magnetic field of the permanent magnet 16 on the central axis 7 of the rotating disk portion 8. The attachment and detachment of the center shaft 7 of the rotating disk portion 8 to and from the concave portion 4 of the rotating shaft portion 1 are relatively easily performed.
[0062]
In the apparatus for manufacturing a disk-shaped recording medium according to the present embodiment, a current is applied to the coil 13 of the electromagnet to generate a magnetic field in a direction repelling the magnetic field of the permanent magnet 16 on the central axis 7 of the rotating disk portion 8. However, the direction of the magnetic field generated in the electromagnet may be adjusted according to the direction of the current. If the direction of the magnetic field of the electromagnet and the direction of the magnetic field of the permanent magnet 16 are matched, the concave portion 4 of the rotating shaft 1 and the rotating circle may be adjusted. The center shaft 6 of the plate portion 8 can be fitted more firmly.
[0063]
Further, in the above-described apparatus for manufacturing a disk-shaped recording medium, it is possible to use a coating liquid such as an acrylic ultraviolet curable resin, which is used as a protective film material for a magneto-optical disk. Further, in the above-described example, the viscosity of the ultraviolet curable resin is set to about 500 (cps). However, for example, a resin whose viscosity is controlled and changed may be used.
[0064]
In the above-described example, the disk substrate on which the protective film is formed is exemplified by a single-plate configuration in which a recording layer is formed on only one side of the substrate, and an example of manufacturing a magneto-optical disk having a single-plate configuration is described. Although shown, the magneto-optical disk manufactured is not limited to this. That is, a magneto-optical disk having a two-plate configuration may be manufactured by integrally bonding the disk substrates having the single-plate configuration as described above to face each other. In the magneto-optical disk having the two-plate configuration, at the time of recording and reproduction, laser light is irradiated from both sides and a magnetic field is applied by a magnetic head. That is, the recording layer on which the protective film is formed is formed on both surfaces. In the magneto-optical disk having such a double-plate configuration, as described above, the protective film of the magneto-optical disk is formed such that there is no difference in film thickness between the inner peripheral portion and the outer peripheral portion. Further, it is possible to stably apply the recording magnetic field.
[0065]
Further, the above-described disk-shaped recording medium manufacturing apparatus is not limited to the above-described magneto-optical disk, but may be used for manufacturing a read-only optical disk or the like in which signals are recorded by forming physical irregularities on the surface. Is also applicable. Furthermore, this disk-shaped recording medium manufacturing apparatus is widely applied to the manufacture of disk-shaped recording media in which a protective film is formed by applying a protective film material by a spin coating method, such as a magnetic disk, an optical disk, and a phase change disk. It goes without saying that it is possible.
[0066]
【Example】
Next, in order to confirm the effect of the present invention, the following experiment was performed. That is, the protective film was formed on the disk substrate by using the disk substrate as described above using the disk-shaped recording medium manufacturing apparatus as described above. FIG. 5 shows the relationship between the distance of the protective film from the center of rotation of the disk substrate and the thickness of the protective film. In FIG. 5, the horizontal axis indicates the distance (mm) from the center of rotation of the disk substrate, and the vertical axis indicates the thickness (μm) of the protective film.
[0067]
In FIG. 5, the thickness of the protective film at a predetermined distance from the center of rotation of the disk substrate formed as described above is indicated by x, and for comparison, the disk substrate is formed by a conventional method. The calculated value when rotating to form the protective film is shown by a solid line b. Further, in FIG. 5, the range which becomes the recording layer in the above-mentioned disk substrate is shown as a range B of 24 (mm) to 40 (mm). That is, the range B is a region where the protective film is to be formed.
[0068]
As can be seen from FIG. 5, the thickness of the protective film formed as described above is about 16 (approximately) within a range of 24 (mm) to 40 (mm) from the center of rotation of the disk substrate. μm). As described above, by setting the film thickness to 15 (μm) or more, it becomes possible to sufficiently prevent corrosion of the recording layer. The thickness of the protective film has an error of 2.0 (μm) or less when the distance from the rotation center of the disk substrate is within a range of 24 (mm) to 40 (mm).
[0069]
On the other hand, in the comparative example shown by the solid line b in FIG. 5, the thickness of the protective film tends to increase from the inner peripheral side toward the outer peripheral side in the entire area of the disk substrate. Further, in this comparative example, even when the distance from the rotation center of the disk substrate is in the range of 24 (mm) to 40 (mm), the thickness of the protective film is large on the outer peripheral side.
[0070]
That is, from the results of the above experiment, if the protective film is formed as described above, as shown in FIG. 5, within the range B where the recording layer is formed, a film having a thickness of about 15 (μm) or more is formed. It was confirmed that it was possible to form a protective film and to form a protective film in which the difference in film thickness between the inner and outer peripheral sides of the disk substrate was suppressed to 2 (μm) or less.
[0071]
In the protective film thus formed, the difference in thickness of the protective film over the entire surface of the disk substrate is 2 (μm) or less. There is no portion where the error of the wavefront aberration becomes large on the entire surface of the substrate.
[0072]
That is, the protective film has a film thickness difference of, for example, an optical device that irradiates the laser light from the protective film side, sets the wavelength λ of the laser light to 480 (nm), and focuses the laser light on the disk substrate. When the numerical aperture NA of the lens to be set is 0.9, the wavefront aberration is formed to be 2.9 (μm) or less, which is the upper limit of the film thickness difference at which the wavefront aberration becomes 0.19λ or less.
[0073]
Therefore, according to the magneto-optical disk on which such a protective film is formed, even when recording / reproducing is performed using an optical system designed for high recording density, the error of the wavefront aberration due to the difference in the film thickness of the protective film. Does not increase, and the recording layer can be stably irradiated with the laser beam.
[0074]
Further, if the protective film is formed in this manner, even if a magnetic head that records signals while sliding on the magneto-optical disk is used, due to the difference in the thickness of the protective film, the surface of the magneto-optical disk may be damaged. It is possible to record a signal without causing any damage.
[0075]
Furthermore, by forming a protective film in this way, even if a magnetic head is used to record signals using a magnetic head that floats at a very small distance from the surface on the magneto-optical disk, the magnetic head will not contact the surface of the magneto-optical disk. Signals can be recorded at predetermined intervals without contact.
[0076]
Therefore, by forming the protective film in this manner, a magnetic field can be stably applied to the recording layer, and recording pits can be stably formed on the entire surface of the magneto-optical disk.
[0077]
【The invention's effect】
As is clear from the above description, in the apparatus for manufacturing a disk-shaped recording medium of the present invention, a flange for supporting the disk-shaped recording medium in the in-plane direction is provided at one end, and a flange-forming end is provided at the center thereof. A rotating shaft portion formed with a concave portion opening toward the side, a disk portion covering the center hole of the disk-shaped recording medium in an in-plane direction, and one end thereof is joined to the disk portion, and the rotating shaft portion A rotating disk portion having a central shaft fitted into the recess is provided.
[0078]
Therefore, if the center axis of the rotating disk portion is fitted into the concave portion of the rotating shaft portion and the disk-shaped recording medium is sandwiched in the thickness direction by the flange portion of the rotating shaft portion and the disk portion of the rotating disk portion, The disc-shaped recording medium is supported in the in-plane direction with the center hole closed by the disc portion of the rotating disc portion, and is rotated in the in-plane direction by rotating the rotating shaft portion. That is, since the center hole of the disk-shaped recording medium is closed, the coating liquid is supplied to the approximate center of the disk-shaped recording medium by the coating liquid supply means, in other words, the coating liquid is supplied without avoiding the rotation center. Therefore, the distance from the rotation center at the coating start position is extremely small, the variation in the film thickness in the radial direction is suppressed, and the difference in the film thickness between the inner peripheral side and the outer peripheral side is suppressed. It becomes possible to manufacture a disk-shaped recording medium having a coating film such as a film.
[0079]
In the apparatus for manufacturing a disk-shaped recording medium according to the present invention, at least the bottom surface side of the concave portion of the rotating shaft portion is made of a magnetic metal, and at least the tip end of the center axis of the rotating disk portion is made of a magnet. The central axis of the rotating disk part and the concave part of the part are firmly fitted.
[0080]
In the above-described apparatus for manufacturing a disk-shaped recording medium according to the present invention, if a coil is disposed on the rotating shaft and an electromagnet is constituted by the portion of the rotating shaft made of magnetic metal and the coil, the magnetic field generated in the electromagnet can be obtained. , The center axis of the rotating disk portion can be stably attached to and detached from the concave portion of the rotating shaft portion by the generated magnetic force.
[0081]
Further, in the disk-shaped recording medium manufacturing apparatus of the present invention, if a current is applied to the coil of the electromagnet to generate a magnetic field in a direction that repels the magnetic field of the magnet on the center axis of the rotating disk portion, It is relatively easy to attach and detach the center shaft of the rotating disk portion to and from the recess of the rotating shaft portion.
[Brief description of the drawings]
FIG. 1 is a schematic perspective view of a main part showing a configuration of an apparatus for manufacturing a disk-shaped recording medium according to the present invention.
FIG. 2 is a schematic cross-sectional view of a main part showing a configuration of an apparatus for manufacturing a disk-shaped recording medium according to the present invention.
FIG. 3 is an exploded schematic cross-sectional view of a main part of a disc-shaped recording medium manufacturing apparatus according to the present invention.
FIG. 4 is a schematic perspective view of a main part showing a configuration of an apparatus for manufacturing a disk-shaped recording medium according to the present invention.
FIG. 5 is a characteristic diagram showing a relationship between a distance from a rotation center of a disk substrate and a thickness of a protective film.
FIG. 6 is a perspective view showing a state in which an ultraviolet curable resin is supplied onto a disk substrate.
[Explanation of symbols]
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Rotation shaft part, 1a one end, 2 disk board, 3 flange parts, 4 concave parts, 5 center holes, 6 disk parts, 7 center axis, 8 rotation disk parts, 13 coils, 16 permanent magnets, 17 UV curable resin

Claims

A rotating shaft portion having a flange portion on one end side for supporting the disc-shaped recording medium in an in-plane direction, and a recess formed at the center thereof and opening toward the flange portion forming end side;
A disk portion that covers the center hole of the disk-shaped recording medium in an in-plane direction, and one end of which is joined to the disk portion, and a rotating disk portion having a central shaft fitted into a recess of the rotating shaft portion;
Coating liquid supply means,
At least the bottom surface side of the concave portion of the rotating shaft portion is made of a metal having magnetism,
An apparatus for manufacturing a disk-shaped recording medium, characterized in that at least the tip side of the center axis of the rotating disk portion is made of a magnet.

2. The apparatus for manufacturing a disk-shaped recording medium according to claim 1, wherein a coil is disposed on the rotating shaft portion, and an electromagnet is configured by the portion of the rotating shaft portion made of magnetic metal and the coil.

3. The disk-shaped recording medium according to claim 2, wherein a current is applied to a coil of the electromagnet to generate a magnetic field in a direction repelling the magnetic field of the magnet on the central axis of the rotating disk portion. manufacturing device.