JPH1186362A - Apparatus for production of disk-shaped recording medium - Google Patents
Apparatus for production of disk-shaped recording mediumInfo
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- JPH1186362A JPH1186362A JP24914697A JP24914697A JPH1186362A JP H1186362 A JPH1186362 A JP H1186362A JP 24914697 A JP24914697 A JP 24914697A JP 24914697 A JP24914697 A JP 24914697A JP H1186362 A JPH1186362 A JP H1186362A
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Abstract
Description
【０００１】[0001]
【発明の属する技術分野】本発明は、ディスク状記録媒
体の製造装置に関する。詳しくは、塗液を均一に塗布す
ることを可能とするディスク状記録媒体の製造装置に係
わるものである。[0001] The present invention relates to an apparatus for manufacturing a disk-shaped recording medium. More specifically, the present invention relates to an apparatus for manufacturing a disk-shaped recording medium capable of uniformly applying a coating liquid.
【０００２】[0002]
【従来の技術】光磁気記録方式は、磁性材料からなる記
録層を部分的にキュリー点または温度補償点以上に昇温
させることによってこの部分の保磁力を小さくし、この
部分に外部から記録磁界を印可することによって記録層
の磁化方向を部分的に変化させて情報信号の記録を行う
方式である。この光磁気記録方式は、光ファイリングシ
ステムやコンピュータの外部記録装置、あるいは音響、
映像情報の記録装置において実用化が進められている。2. Description of the Related Art In a magneto-optical recording system, a recording layer made of a magnetic material is partially heated to a temperature higher than a Curie point or a temperature compensation point to reduce a coercive force in this portion, and a recording magnetic field is externally applied to this portion. Is applied to change the magnetization direction of the recording layer to record information signals. This magneto-optical recording method uses an optical filing system, an external recording device of a computer,
Practical application is progressing in a video information recording device.
【０００３】上記の光磁気記録方式によって記録が行わ
れる光磁気記録媒体としては、例えば、ポリカーボネー
トのようなプラスチックやガラス等からなる透明基板上
に磁性膜等からなる記録層及び保護膜を形成した光磁気
ディスクが挙げられる。上記記録層は、情報信号が記録
される磁性膜や、誘電体膜、反射膜が積層されてなる。
ここで、磁性膜としては、膜面と垂直方向に磁化容易軸
を有するとともに、大きな磁気光学効果を有する、例え
ば希土類−遷移金属合金非結晶薄膜等からなる磁性薄膜
が挙げられる。As a magneto-optical recording medium on which recording is performed by the above-described magneto-optical recording method, for example, a recording layer made of a magnetic film or the like and a protective film are formed on a transparent substrate made of plastic such as polycarbonate or glass. A magneto-optical disk may be used. The recording layer is formed by laminating a magnetic film on which an information signal is recorded, a dielectric film, and a reflective film.
Here, examples of the magnetic film include a magnetic thin film made of, for example, a rare earth-transition metal alloy amorphous thin film that has an easy axis of magnetization in a direction perpendicular to the film surface and has a large magneto-optical effect.
【０００４】このような光磁気ディスクに情報信号を記
録する光磁気記録方式としては、大別して光を変調させ
て信号を記録する光変調方式と、記録磁界を変調させて
信号を記録する磁界変調方式とがある。The magneto-optical recording system for recording information signals on such a magneto-optical disk is roughly classified into an optical modulation system for recording a signal by modulating light, and a magnetic field modulation for recording a signal by modulating a recording magnetic field. There is a method.
【０００５】このうち磁界変調方式は、信号を記録する
際、光を照射した状態で記録磁界を高速で反転させるこ
とにより磁性膜に信号を記録する方式であり、オーバー
ライトを容易に行うことが可能であるとともに、高記録
密度化や高アクセス等が可能であるために、精力的に研
究が進められている。The magnetic field modulation system records a signal on a magnetic film by reversing a recording magnetic field at a high speed while irradiating light when recording a signal, so that overwriting can be easily performed. In order to be able to achieve high recording density, high access, and the like, research is being actively conducted.
【０００６】この磁界変調方式においては、磁界を発生
させる磁気ヘッドによって記録層に磁界の印可を行って
信号を記録するが、この磁気ヘッドとしては、信号を記
録する際、高速で磁界を反転させる必要があるので、上
記の光変調方式のように強磁界を発生する磁気ヘッドを
使用することは不可能である。In this magnetic field modulation system, a magnetic head for generating a magnetic field applies a magnetic field to a recording layer to record a signal, but this magnetic head inverts the magnetic field at a high speed when recording a signal. Because of the necessity, it is impossible to use a magnetic head that generates a strong magnetic field as in the above-described light modulation method.
【０００７】また、磁気ヘッドによって光磁気ディスク
に印可される磁界の強さは、光磁気ディスクと磁気ヘッ
ドとの距離に反比例する。すなわち、光磁気ディスクに
印可される磁界の大きさは、光磁気ディスクと磁気ヘッ
ドとの距離が大きくなるほど小さくなる。したがって、
このような磁気ヘッドにおいては、信号を記録する際、
光磁気ディスクとの距離を近接させる必要がある。[0007] The strength of the magnetic field applied to the magneto-optical disk by the magnetic head is inversely proportional to the distance between the magneto-optical disk and the magnetic head. That is, the magnitude of the magnetic field applied to the magneto-optical disk decreases as the distance between the magneto-optical disk and the magnetic head increases. Therefore,
In such a magnetic head, when recording a signal,
The distance from the magneto-optical disk must be reduced.
【０００８】そのため、単板構成の光磁気ディスクにお
いては、光磁気ディスクの透明基板側にレーザ光を照射
する光学ピックアップ装置を配置し、光磁気ディスクの
保護膜形成面側に磁気ヘッドを配設して情報の記録再生
を行う方法とともに、光磁気ディスクの保護膜形成面側
にレーザ光を照射する光学ピックアップ装置を配すると
ともに磁気ヘッドを配設して情報の記録再生を行う方法
の両者が検討されている。Therefore, in a magneto-optical disk having a single-plate structure, an optical pickup device for irradiating a laser beam on the transparent substrate side of the magneto-optical disk is arranged, and a magnetic head is arranged on the protective film forming surface side of the magneto-optical disk. Both the method of recording and reproducing information and the method of arranging an optical pickup device for irradiating a laser beam on the protective film forming surface side of the magneto-optical disk and the method of recording and reproducing information by disposing a magnetic head are used. Are being considered.
【０００９】ところで、記録層の最上層に積層される反
射膜上には、一般的に、記録層の腐食防止や傷防止の目
的で紫外線硬化型樹脂等からなる上述の保護膜が形成さ
れており、この保護膜は、通常、紫外線硬化型樹脂をい
わゆるスピンコート法により塗布して形成される。On the reflective film laminated on the uppermost layer of the recording layer, generally, the above-mentioned protective film made of an ultraviolet curable resin or the like is formed for the purpose of preventing corrosion and damage of the recording layer. Usually, this protective film is formed by applying an ultraviolet curable resin by a so-called spin coating method.
【００１０】具体的には、図６に示すように、まず、予
め記録層が形成されるディスク基板１２０を、上記ディ
スク基板１２０を面内方向に支持する図示しないターン
テーブル上に載置し、このターンテーブルを図示しない
スピンドルモータによって低速で回転させて図中矢印ｍ
で示すようにディスク基板１２０を面内方向に回転させ
る。そして、紫外線硬化型樹脂１２１を紫外線硬化型樹
脂供給手段１２２によりディスク基板１２０の記録エリ
アの内周部１２０ａに沿って円環状に供給する。続い
て、ディスク基板１２０を高速で回転させて、遠心力に
より内周部１２０ａに供給された紫外線硬化型樹脂１２
１を外周部にまで広げて塗布し、ディスク基板１２０全
面にわたって紫外線硬化型樹脂１２１の塗膜を形成し、
これに紫外線を照射して硬化させ、保護膜を形成する。
なお、この塗膜の厚さは、後工程で紫外線が照射された
後において十分な保護効果を得るために、約１５μｍで
形成される。More specifically, as shown in FIG. 6, first, a disk substrate 120 on which a recording layer is formed in advance is placed on a turntable (not shown) that supports the disk substrate 120 in an in-plane direction. This turntable is rotated at a low speed by a spindle motor (not shown),
The disk substrate 120 is rotated in the in-plane direction as shown by. Then, the ultraviolet curable resin 121 is supplied in an annular shape along the inner peripheral portion 120 a of the recording area of the disk substrate 120 by the ultraviolet curable resin supply means 122. Subsequently, the disk substrate 120 is rotated at high speed, and the ultraviolet curable resin 12 supplied to the inner peripheral portion 120a by centrifugal force is rotated.
1 is spread out to the outer periphery and applied to form a coating film of the ultraviolet-curable resin 121 over the entire surface of the disk substrate 120,
This is irradiated with ultraviolet rays to be cured to form a protective film.
The thickness of the coating is about 15 μm in order to obtain a sufficient protective effect after being irradiated with ultraviolet rays in a later step.
【００１１】[0011]
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上述の
ようにして形成される保護膜においては、ディスク基板
１２０の外周側に行くほど膜厚が厚くなってしまう傾向
がある。スピンコート法によって塗膜を形成する場合、
塗液（ここでは紫外線硬化型樹脂）の粘度、被塗布物
（ここではディスク基板）の回転速度、回転時間等の条
件によって塗膜の厚さを変更することができる。しか
し、上記保護膜においては、諸条件の調整により塗膜の
厚さをディスク基板１２０の全面に亘って均一とするこ
とが困難であり、ディスク基板１２０の外周部において
内周部１２０ａより膜厚が厚くなってしまう。However, in the protective film formed as described above, the film thickness tends to increase toward the outer peripheral side of the disk substrate 120. When forming a coating film by spin coating,
The thickness of the coating film can be changed according to conditions such as the viscosity of the coating liquid (here, an ultraviolet curable resin), the rotation speed of the object to be coated (here, a disk substrate), and the rotation time. However, in the protective film, it is difficult to make the thickness of the coating film uniform over the entire surface of the disk substrate 120 by adjusting various conditions, and the outer peripheral portion of the disk substrate 120 has a larger thickness than the inner peripheral portion 120a. Becomes thicker.
【００１２】この保護膜においては、膜厚を極端に薄く
すると、光磁気ディスクの記録層の腐食等を防止するこ
とができなくなるため、最低でも光磁気ディスクの全面
において平均１５μｍ程度の膜厚が必要とされるが、こ
のように保護膜の光磁気ディスクの全面における膜厚の
平均を１５μｍとすると、実際には内周部と外周部とで
約５μｍの膜厚差が生じてしまう。In this protective film, if the film thickness is extremely thin, it becomes impossible to prevent the recording layer of the magneto-optical disk from being corroded or the like. Although required, if the average thickness of the protective film over the entire surface of the magneto-optical disk is set to 15 μm, a thickness difference of about 5 μm actually occurs between the inner peripheral portion and the outer peripheral portion.
【００１３】このように、光磁気ディスクの内周側と外
周側で保護膜の膜厚に差が生じていると、保護膜側から
レーザ光を照射することによって記録再生を行う光学ピ
ックアップ装置を用いた場合に、レーザ光の波面収差が
生じてしまう。上記光学ピックアップ装置において、保
護膜の膜厚差により波面収差が生じると、照射されるレ
ーザ光が不安定になり、記録再生特性が劣化してしま
う。As described above, if there is a difference in the thickness of the protective film between the inner peripheral side and the outer peripheral side of the magneto-optical disk, an optical pickup device that performs recording and reproduction by irradiating laser light from the protective film side is provided. When used, the wavefront aberration of the laser light occurs. In the above optical pickup device, when wavefront aberration occurs due to a difference in the thickness of the protective film, the irradiated laser beam becomes unstable, and the recording / reproducing characteristics deteriorate.
【００１４】ここで波面収差をＷ40d とし、保護膜の屈
折率をｎとし、保護膜の膜厚誤差をΔｄとし、光学系の
レンズの開口数をＮＡとすると、下記数１に示すような
関係が成り立つ。Here, assuming that the wavefront aberration is W 40 d , the refractive index of the protective film is n, the thickness error of the protective film is Δd, and the numerical aperture of the lens of the optical system is NA, The relationship holds.
【００１５】[0015]
【数１】 (Equation 1)
【００１６】ここで、現行の光磁気ディスクの場合、保
護膜の屈折率ｎが１．５８であり、光学系のレーザ波長
λが７８０（ｎｍ）、レンズの開口数ＮＡが０．５であ
る。このような条件において、保護膜の膜厚誤差Δｄが
５（μｍ）であると、上記数１より波面収差Ｗ40d は
０．１９λ（０．１４８（μｍ））となる。In the case of the current magneto-optical disk, the refractive index n of the protective film is 1.58, the laser wavelength λ of the optical system is 780 (nm), and the numerical aperture NA of the lens is 0.5. . Under such conditions, if the thickness error Δd of the protective film is 5 (μm), the wavefront aberration W 40d is 0.19λ (0.148 (μm)) from the above equation (1).
【００１７】ところで、光磁気ディスクの光学系におい
ては、近年の記録密度向上に伴って、光学系のレーザ波
長λを短くするとともに、レンズの開口数ＮＡを大きく
することが行われている。このことは、光学レンズで集
光させたレーザ光のスポット径が、レーザ波長λに比例
し、レンズの開口数ＮＡに反比例することによる。ここ
で、現在、レーザスポット径は、約１．６（μｍ）であ
るが、例えばレーザ光の波長を４８０（ｎｍ）、レンズ
の開口数ＮＡを０．９とすると、レーザスポット径が
０．５（μｍ）となり、結果として現行のレーザスポッ
ト径の約１／３のレーザスポット径とすることができ
る。したがって、このような光学系を使用すれば、光磁
気ディスクの面記録密度を現行の９倍の面記録密度とす
ることが可能となる。Incidentally, in the optical system of a magneto-optical disk, the laser wavelength λ of the optical system has been shortened and the numerical aperture NA of the lens has been increased with the recent increase in recording density. This is because the spot diameter of the laser light focused by the optical lens is proportional to the laser wavelength λ and inversely proportional to the numerical aperture NA of the lens. Here, at present, the laser spot diameter is about 1.6 (μm). For example, when the wavelength of the laser beam is 480 (nm) and the numerical aperture NA of the lens is 0.9, the laser spot diameter is 0.1 μm. 5 (μm), resulting in a laser spot diameter that is about ３ of the current laser spot diameter. Therefore, if such an optical system is used, the areal recording density of the magneto-optical disk can be made nine times as large as that of the current case.
【００１８】しかしながら、上述したようにして形成さ
れた保護膜に、約５（μｍ）程度の膜厚誤差が生じてい
る場合に、上記のように短波長化及び高開口数化された
光学系を使用すると、上記の数１から算出される波面収
差Ｗ40d が大きな値となってしまい、安定な記録再生を
行うことが困難になる。例えば、レーザ光の波長を４８
０（ｎｍ）とし、レンズの開口数ＮＡを０．９としたと
きには、波面収差Ｗ40d が非常に大きくなり、安定した
記録再生を行うことができない。すなわち、このような
光磁気ディスクの光学系において、波面収差Ｗ40d を少
なくとも現行と同じ０．１９λ程度に抑えるためには、
保護膜の内周部と外周部との膜厚差Δｄを２．９（μ
ｍ）以下に抑える必要がある。However, when a thickness error of about 5 (μm) occurs in the protective film formed as described above, the optical system having a shorter wavelength and a higher numerical aperture as described above is used. Is used, the wavefront aberration W 40d calculated from the above equation 1 becomes a large value, and it becomes difficult to perform stable recording and reproduction. For example, if the wavelength of the laser light is 48
When the numerical aperture NA of the lens is set to 0 (nm) and the numerical aperture NA of the lens is set to 0.9, the wavefront aberration W40d becomes extremely large, and stable recording and reproduction cannot be performed. That is, in such an optical system of a magneto-optical disk, in order to suppress the wavefront aberration W 40d to at least about 0.19λ which is the same as the current one,
The thickness difference Δd between the inner peripheral portion and the outer peripheral portion of the protective film is set to 2.9 (μ
m) It is necessary to keep it below.
【００１９】また、上述のように保護膜に膜厚差が生じ
ると、上述した光学系によるレーザ光の照射のみなら
ず、磁気ヘッドによる磁界の印加にも影響する。例えば
上述した磁界変調方式において使用される磁気ヘッドに
は、光磁気ディスクの保護膜から数（μｍ）〜数十（μ
ｍ）程度の微少な間隙を介して信号の記録を行う浮上型
磁気ヘッドや、光磁気ディスクの保護膜を摺動しながら
信号の記録を行う摺動型磁気ヘッドがある。このような
磁気ヘッドが使用される磁界変調方式においては、保護
膜に膜厚差が生じていると、記録層と磁気ヘッドとの間
隔が変化することになる。すなわち、磁界変調方式にお
いて、保護膜に膜厚差があると、記録層と磁気ヘッドと
の距離がこの膜厚差を反映して不均一となり、磁気ヘッ
ドの磁界の印加に大きく影響を及ぼす。Further, when the film thickness difference occurs in the protective film as described above, it affects not only the irradiation of the laser beam by the optical system described above but also the application of the magnetic field by the magnetic head. For example, a magnetic head used in the above-described magnetic field modulation system has a number (μm) to several tens (μm) from a protective film of a magneto-optical disk.
m) There are a floating magnetic head that records signals through a very small gap of about m) and a sliding magnetic head that records signals while sliding on a protective film of a magneto-optical disk. In a magnetic field modulation system using such a magnetic head, if there is a film thickness difference in the protective film, the distance between the recording layer and the magnetic head changes. That is, in the magnetic field modulation method, if there is a difference in the thickness of the protective film, the distance between the recording layer and the magnetic head becomes non-uniform, reflecting the difference in the thickness, which greatly affects the application of the magnetic field to the magnetic head.
【００２０】そこで、保護膜の膜厚差を抑制する方法と
して、光磁気ディスクを１０００（ｒｐｍ）以上の回転
数で回転させた状態で、紫外線を照射し、保護膜を形成
するという方法が提案されている。しかし、この方法に
おいても、ディスク基板の内周部と外周部とで保護膜に
膜厚差が生じてしまい、外周部において膜厚が厚くなっ
てしまう。Therefore, as a method of suppressing the difference in the thickness of the protective film, a method is proposed in which the protective film is formed by irradiating ultraviolet rays while rotating the magneto-optical disk at a rotation speed of 1000 (rpm) or more. Have been. However, even in this method, a difference in the thickness of the protective film occurs between the inner peripheral portion and the outer peripheral portion of the disk substrate, and the thickness increases in the outer peripheral portion.
【００２１】これは、以下に示すような理由による。ス
ピンコート時、紫外線硬化型樹脂にはディスク基板の回
転により遠心力と粘性抵抗力とが加わり、ディスク基板
の内周部に供給された後、外周部に向かって移動する。
しかしながら、上記の方法において、紫外線をディスク
基板の外周部から内周部に向かって照射すると、紫外線
硬化型樹脂は外周部では硬化するが、紫外線が照射され
ていない内周部では、遠心力により外周部へ移動し、徐
々に薄くなってしまう。そして、紫外線が照射されて硬
化した外周部には、硬化していない内周部から紫外線硬
化型樹脂が供給され、当該外周部は徐々に厚くなってし
まう。つまり、結果的には、光磁気ディスクを回転させ
ないで硬化させる場合よりも、内周部と外周部の膜厚差
は増加してしまうこととなる。This is based on the following reasons. At the time of spin coating, a centrifugal force and a viscous resistance force are applied to the ultraviolet curable resin by the rotation of the disk substrate, and after being supplied to the inner peripheral portion of the disk substrate, the resin moves toward the outer peripheral portion.
However, in the above method, when ultraviolet rays are irradiated from the outer peripheral portion to the inner peripheral portion of the disk substrate, the ultraviolet curable resin is cured at the outer peripheral portion, but at the inner peripheral portion where the ultraviolet light is not irradiated, due to centrifugal force. It moves to the outer periphery and gradually becomes thinner. Then, the ultraviolet curable resin is supplied from the uncured inner peripheral portion to the outer peripheral portion that has been cured by the irradiation of the ultraviolet rays, and the outer peripheral portion gradually becomes thicker. That is, as a result, the difference in film thickness between the inner peripheral portion and the outer peripheral portion increases as compared with the case where the magneto-optical disk is cured without rotating.
【００２２】そこで本発明は、従来の実状に鑑みて提案
されたものであり、ディスク状媒体に塗膜を形成する場
合に内周側と外周側での膜厚の差を抑えることを可能と
するディスク状媒体製造装置を提供することを目的とす
る。Accordingly, the present invention has been proposed in view of the conventional situation, and it is possible to suppress the difference in film thickness between the inner peripheral side and the outer peripheral side when forming a coating film on a disk-shaped medium. It is an object of the present invention to provide a disk-shaped medium manufacturing apparatus.
【００２３】[0023]
【課題を解決するための手段】上述の課題を解決するた
めに本発明者等が鋭意検討した結果、スピンコート法に
より塗布を行う場合、周方向において塗液の供給開始位
置が径方向にばらついていると、塗膜の膜厚の径方向に
おけるばらつきに大きく影響することを見出した。そし
て、上記のような周方向における塗液の供給開始位置の
径方向でのばらつきを抑えるためには、塗液の供給開始
位置の回転中心からの距離をできるだけ小さくすれば良
いことを見出した。従って、光磁気ディスクのディスク
基板のように中心に孔部を有する被塗布物においては、
上記孔部が回転中心となることから、中心の孔部を避け
ずに紫外線硬化型樹脂を供給することが望ましい。Means for Solving the Problems As a result of intensive studies by the present inventors to solve the above-mentioned problems, when applying by the spin coating method, the supply start position of the coating liquid in the circumferential direction varies in the radial direction. It has been found that the influence greatly affects the radial variation of the film thickness of the coating film. Then, in order to suppress the variation in the radial direction of the coating liquid supply start position in the circumferential direction as described above, it has been found that the distance from the rotation center of the coating liquid supply start position should be as small as possible. Therefore, in an object to be coated having a hole at the center, such as a disk substrate of a magneto-optical disk,
Since the hole serves as the center of rotation, it is desirable to supply the ultraviolet curable resin without avoiding the center hole.
【００２４】すなわち、本発明のディスク状記録媒体の
製造装置は、一端側にディスク状記録媒体を面内方向に
支持する鍔部を有し、その中心に鍔部形成端側に臨んで
開口する凹部が形成される回転軸部と、ディスク状記録
媒体の中心穴を面内方向に覆う円板部と、その一端が上
記円板部に接合され、上記回転軸部の凹部に嵌合する中
心軸よりなる回転円板部と、塗液供給手段とを備えてな
るものであり、回転軸部の凹部の少なくとも底面側が磁
性を有する金属よりなり、回転円板部の中心軸の少なく
とも先端側が磁石よりなることを特徴とするものであ
る。That is, the apparatus for manufacturing a disk-shaped recording medium of the present invention has a flange at one end side for supporting the disk-shaped recording medium in an in-plane direction, and opens at the center thereof facing the flange-formed end side. A rotating shaft portion having a recess formed therein, a disk portion covering the center hole of the disk-shaped recording medium in an in-plane direction, and one end of which is joined to the disk portion and a center fitted into the recess of the rotating shaft portion. A rotating disk portion comprising a shaft, and a coating liquid supply means, wherein at least the bottom surface side of the concave portion of the rotating shaft portion is made of a metal having magnetism, and at least a tip end of the central axis of the rotating disk portion is a magnet. It is characterized by comprising.
【００２５】なお、上記本発明のディスク状記録媒体の
製造装置においては、回転軸部にコイルが配設され、回
転軸部の磁性を有する金属よりなる部分とコイルで電磁
石が構成されていることが好ましい。In the apparatus for manufacturing a disk-shaped recording medium according to the present invention, a coil is disposed on the rotating shaft, and an electromagnet is constituted by the portion of the rotating shaft made of magnetic metal and the coil. Is preferred.
【００２６】さらに、上記本発明のディスク状記録媒体
の製造装置においては、電磁石のコイルに電流を流すこ
とにより、回転円板部の中心軸の磁石の磁界と反発する
向きの磁界が発生するようになされていることが好まし
い。Further, in the above-mentioned apparatus for manufacturing a disk-shaped recording medium according to the present invention, a current is applied to the coil of the electromagnet to generate a magnetic field in a direction repelling the magnetic field of the magnet on the central axis of the rotating disk portion. It is preferred that the
【００２７】本発明のディスク状記録媒体の製造装置に
おいては、一端側にディスク状記録媒体を面内方向に支
持する鍔部を有し、その中心に鍔部形成端側に臨んで開
口する凹部が形成される回転軸部と、ディスク状記録媒
体の中心穴を面内方向に覆う円板部と、その一端が上記
円板部に接合され、上記回転軸部の凹部に嵌合する中心
軸よりなる回転円板部を備えている。In the apparatus for manufacturing a disk-shaped recording medium according to the present invention, a flange for supporting the disk-shaped recording medium in an in-plane direction is provided at one end side, and a concave portion which is opened at the center thereof facing the flange-formed end side. Is formed, a disk portion that covers the center hole of the disk-shaped recording medium in an in-plane direction, and a center shaft that has one end joined to the disk portion and fits into a recess of the rotation shaft portion. And a rotating disk portion.
【００２８】従って、上記回転軸部の凹部に回転円板部
の中心軸をはめ込み、上記回転軸部の鍔部と回転円板部
の円板部によりディスク状記録媒体を厚さ方向に挟み込
めば、上記ディスク状記録媒体は中心穴を回転円板部の
円板部により塞がれた状態で面内方向に支持されること
となり、回転軸部を回転させることにより面内方向に回
転する。すなわち、ディスク状記録媒体の中心穴が塞が
れていることから、塗液供給手段によりディスク状記録
媒体の略中心に塗液が供給され、言い換えれば塗液が回
転中心を避けることなく供給されることから、塗布開始
位置における回転中心からの距離が非常に小さくなり、
径方向における塗膜の膜厚のばらつきが抑えられる。Accordingly, the center axis of the rotating disk portion is fitted into the concave portion of the rotating shaft portion, and the disk-shaped recording medium is sandwiched in the thickness direction by the flange portion of the rotating shaft portion and the disk portion of the rotating disk portion. For example, the disk-shaped recording medium is supported in the in-plane direction with the center hole closed by the disk portion of the rotating disk portion, and is rotated in the in-plane direction by rotating the rotating shaft portion. . That is, since the center hole of the disk-shaped recording medium is closed, the coating liquid is supplied to substantially the center of the disk-shaped recording medium by the coating liquid supply means, in other words, the coating liquid is supplied without avoiding the center of rotation. Therefore, the distance from the rotation center at the coating start position becomes very small,
Variations in the thickness of the coating film in the radial direction can be suppressed.
【００２９】また、本発明のディスク状記録媒体の製造
装置においては、回転軸部の凹部の少なくとも底面側が
磁性を有する金属よりなり、回転円板部の中心軸の少な
くとも先端側が磁石よりなることから、回転軸部の凹部
と回転円板部の中心軸が強固に嵌合する。In the disk-shaped recording medium manufacturing apparatus according to the present invention, at least the bottom surface of the concave portion of the rotating shaft portion is made of a metal having magnetism, and at least the tip end of the center axis of the rotating disk portion is made of a magnet. Then, the concave portion of the rotating shaft portion and the central axis of the rotating disk portion are firmly fitted.
【００３０】なお、上記本発明のディスク状記録媒体の
製造装置において、回転軸部にコイルを配設し、回転軸
部の磁性を有する金属よりなる部分とコイルで電磁石を
構成すれば、電磁石に発生する磁界の向きを調節するこ
とにより、発生する磁力により回転円板部の中心軸を回
転軸部の凹部に対して着脱自在となされる。In the apparatus for manufacturing a disk-shaped recording medium according to the present invention, if the coil is disposed on the rotating shaft and the electromagnet is constituted by the portion of the rotating shaft made of magnetic metal and the coil, the electromagnet can be formed. By adjusting the direction of the generated magnetic field, the center axis of the rotating disk portion can be detachably attached to the concave portion of the rotating shaft portion by the generated magnetic force.
【００３１】さらに、上記本発明のディスク状記録媒体
の製造装置において、電磁石のコイルに電流を流すこと
により、回転円板部の中心軸の磁石の磁界と反発する向
きの磁界が発生するようにすれば、回転円板部の中心軸
の回転軸部の凹部に対する着脱が比較的容易に行われ
る。Further, in the above-mentioned apparatus for manufacturing a disk-shaped recording medium according to the present invention, by supplying a current to the coil of the electromagnet, a magnetic field in a direction repelling the magnetic field of the magnet on the central axis of the rotating disk portion is generated. Then, the attachment and detachment of the center axis of the rotating disk portion to and from the concave portion of the rotating shaft portion can be performed relatively easily.
【００３２】[0032]
【発明の実施の形態】以下、本発明を適用したディスク
状記録媒体の製造装置について図面を参照しながら詳細
に説明する。なお、本例においては、いわゆる磁界変調
方式により再生記録が行われる光磁気ディスクを製造す
る例について述べることとし、一主面に記録層が形成さ
れたディスク基板上に紫外線硬化型樹脂からなる保護膜
を形成する例について述べる。DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS Hereinafter, an apparatus for manufacturing a disk-shaped recording medium to which the present invention is applied will be described in detail with reference to the drawings. In this example, an example of manufacturing a magneto-optical disk in which reproduction and recording are performed by a so-called magnetic field modulation method will be described, and a protective layer made of an ultraviolet-curable resin is formed on a disk substrate having a recording layer formed on one main surface. An example of forming a film will be described.
【００３３】本発明を適用したディスク状記録媒体の製
造装置は、図１、図２、及び図３に示すように、一端１
ａ側にディスク状記録媒体を形成するためのディスク基
板２を面内方向に支持する平面略円環状の鍔部３を有
し、その中心に鍔部３が形成される一端１ａ側に臨んで
開口する凹部４が形成される回転軸部１と、ディスク状
記録媒体を形成するディスク基板２の中心穴５を面内方
向に覆う円板部６と、その一端側が上記円板部６に接合
され、上記回転軸部１の凹部４に嵌合する中心軸７より
なる回転円板部８を備えてなるものである。As shown in FIGS. 1, 2 and 3, an apparatus for manufacturing a disk-shaped recording medium to which the present invention is applied has one end.
On the side a, there is provided a substantially annular flat flange 3 for supporting a disk substrate 2 for forming a disk-shaped recording medium in an in-plane direction, and the center faces the one end 1a side where the flange 3 is formed. One end of the rotating shaft portion 1 having the opening 4 formed therein, the disk portion 6 covering the center hole 5 of the disk substrate 2 forming the disk-shaped recording medium in an in-plane direction, and one end of the disk portion 6 joined to the disk portion 6 The rotary disk unit 8 includes a rotary disk portion 8 including a central shaft 7 fitted into the concave portion 4 of the rotary shaft portion 1.
【００３４】上記回転軸部１は略円柱状をなし、その一
端１ａ側に鍔部３を有するが、上記鍔部３は一端１ａ側
の先端部に設けられるのではなく、若干後退した位置に
設けられており、鍔部３の上面に突出した凸部２１が形
成されることとなる。そして上記凸部２１は、中心に凹
部４が形成されていることから、平面円環状をなし、図
３中Ｄ2 で示す外径が図３中Ｄ3 で示すディスク基板２
の中心穴５の直径と略同等となされ、この凸部２１がデ
ィスク基板２の中心穴５に嵌合するようになされてい
る。The rotary shaft 1 has a substantially cylindrical shape and has a flange 3 on one end 1a side. The flange 3 is not provided at the end on the one end 1a side, but at a position slightly retreated. The protrusion 21 is provided on the upper surface of the flange 3 so as to be formed. And the convex portion 21, since the recess 4 is formed at the center, flat-annular disk substrate 2 having an outer diameter shown in FIG. 3 D 2 is shown in Figure 3 in D 3
The diameter of the center hole 5 is substantially equal to the diameter of the center hole 5, and the projection 21 is fitted into the center hole 5 of the disk substrate 2.
【００３５】さらに、図２中に示されるように、この回
転軸部１の鍔部３が設けられる一端１ａとは反対側の他
端１ｂ側には、ギア９，１０，１１を介してスピンドル
モータ１２が配されている。すなわち、上記スピンドル
モータ１２の回転駆動力が上記ギア１１，１０，９を介
して回転軸部１の他端１ｂに伝達され、この回転軸部１
が回転し、中心穴５が回転軸部１の凸部２１に嵌合し、
鍔部３により面内方向に支持されているディスク基板２
は図１中矢印Ａで示すように面内方向に回転する。Further, as shown in FIG. 2, a spindle 9 is provided via gears 9, 10 and 11 to the other end 1b of the rotary shaft 1 opposite to the end 1a where the flange 3 is provided. A motor 12 is provided. That is, the rotational driving force of the spindle motor 12 is transmitted to the other end 1 b of the rotary shaft 1 via the gears 11, 10, 9.
Rotates, and the center hole 5 is fitted into the convex portion 21 of the rotating shaft portion 1,
Disk substrate 2 supported in the in-plane direction by flange 3
Rotates in the in-plane direction as indicated by arrow A in FIG.
【００３６】そして、図２中に示されるように、本例の
ディスク状記録媒体の製造装置においては特に、回転軸
部１の凹部４の少なくとも底面側が磁性を有する金属に
より形成されている。なお、本例においては、凹部４の
底面側にあたる底面部分１ｃを鉄により形成するように
している。さらに、本例のディスク状記録媒体の製造装
置においては、特に、図２中に示すように回転軸部１の
底面部分１ｃにコイル１３が配設され、底面部分１ｃと
コイル１３で電磁石が構成されて、凹部４内に磁界を発
生させることが可能となされている。As shown in FIG. 2, in the disk-shaped recording medium manufacturing apparatus of this embodiment, at least the bottom surface of the concave portion 4 of the rotary shaft 1 is formed of a metal having magnetism. In this example, the bottom surface portion 1c on the bottom surface side of the concave portion 4 is formed of iron. Further, in the disc-shaped recording medium manufacturing apparatus of the present example, the coil 13 is disposed on the bottom portion 1c of the rotating shaft portion 1 as shown in FIG. 2, and the bottom portion 1c and the coil 13 constitute an electromagnet. Thus, it is possible to generate a magnetic field in the recess 4.
【００３７】一方の回転円板部８であるが、円板部６は
平面円形をなし、図３中Ｄ4 で示す円板部６の直径は、
ディスク基板２の中心穴５の図中Ｄ3 で示す直径よりも
大となされており、円板部６により中心穴５を面内方向
に塞ぐことが可能なようになされている。さらに、本例
のディスク状記録媒体の製造装置においては、図３中Ｄ
4 で示す円板部６の直径をディスク基板２の情報が記録
されるデータ領域よりも内周側に平面円環状に形成され
る溝部１４の外径となる図中Ｄ5 で示す直径よりも大と
し、当該溝部１４も塞ぐ大きさとなされている。[0037] One is a rotary disc portion 8, the disc portion 6 forms a flat circular, the diameter of the circular plate portion 6 shown in FIG. 3 D 4 is
Have been made larger than the diameter shown in the figure D 3 of the center hole 5 of the disc substrate 2, it is made to be able to close the center hole 5 in the plane direction by the disc portion 6. Further, in the apparatus for manufacturing a disk-shaped recording medium of the present example, D in FIG.
Than the diameter indicating the diameter of the disk 6 shown in 4 in the figure D 5 as the outer diameter of the groove 14 in which information of the disk substrate 2 is formed in a planar ring shape on the inner circumferential side than the data area recorded The size is set to be large, so that the groove 14 is also closed.
【００３８】さらにまた、図２及び図３に示すように円
板部６のディスク基板２への対向面６ａの内周側を凹面
として外周部のみがディスク基板２に接するようにして
おり、これにより対向面６ａとディスク基板２間に塗液
が入り込むことを防止するようにしている。また、円板
部６のディスク基板２への接触面側を塗液の表面張力よ
りも、表面張力の小さい材料により形成するようにして
いる。さらには、本例のディスク状記録媒体の製造装置
においては、図３中に示すように、回転円板部８の中心
軸７の円板部６との接続部近傍に気体を噴出可能な噴出
孔１５が形成されている。Further, as shown in FIGS. 2 and 3, the inner peripheral side of the surface 6a of the disk portion 6 facing the disk substrate 2 is concave and only the outer peripheral portion is in contact with the disk substrate 2. This prevents the coating liquid from entering between the facing surface 6a and the disk substrate 2. Further, the contact surface side of the disk portion 6 with the disk substrate 2 is formed of a material having a lower surface tension than the surface tension of the coating liquid. Further, in the apparatus for manufacturing a disk-shaped recording medium of the present embodiment, as shown in FIG. A hole 15 is formed.
【００３９】そして、本例のディスク状記録媒体の製造
装置においては、特に、回転円板部８の中心軸７の円板
部６との接続端とは反対側の少なくとも先端側が永久磁
石１６により形成されている。In the apparatus for manufacturing a disk-shaped recording medium according to the present embodiment, at least the tip end of the rotating disk portion 8 opposite to the connection end of the center axis 7 of the rotating disk portion 8 with the disk portion 6 is formed by the permanent magnet 16. Is formed.
【００４０】すなわち、本例のディスク状記録媒体の製
造装置においては、回転軸部１の凹部４に回転円板部８
の中心軸７を嵌合させると、回転軸部１の底面部分１ｃ
の鉄と回転円板部８の中心軸７の先端の永久磁石１６が
引き合い、回転円板部８は回転軸部１に対して強固に固
定される。That is, in the manufacturing apparatus of the disk-shaped recording medium of the present embodiment, the rotating disk 8
When the center shaft 7 of the rotary shaft 1 is fitted,
The iron and the permanent magnet 16 at the end of the center shaft 7 of the rotating disk portion 8 attract each other, and the rotating disk portion 8 is firmly fixed to the rotating shaft portion 1.
【００４１】また、本例のディスク状記録媒体の製造装
置においては、回転軸部１の底面部分１ｃにコイル１３
を配設しており、これらが電磁石として機能することか
ら、コイル１３に供給する電流の向きによって電磁石に
発生する磁界の向きを調節することが可能であり、発生
する磁力により回転円板部８の中心軸７を回転軸部１の
凹部４に対して着脱自在とすることが可能である。In the apparatus for manufacturing a disk-shaped recording medium according to the present embodiment, the coil 13 is provided on the bottom 1 c of the rotating shaft 1.
Since these function as electromagnets, it is possible to adjust the direction of the magnetic field generated in the electromagnet by the direction of the current supplied to the coil 13, and to generate the rotating disk portion 8 by the generated magnetic force. Center shaft 7 can be detachably attached to the concave portion 4 of the rotating shaft portion 1.
【００４２】さらに、上記本例のディスク状記録媒体の
製造装置において、電磁石のコイル１３に電流を流すこ
とにより、回転円板部８の中心軸７の永久磁石１６の磁
界と反発する向きの磁界が発生するようにすれば、回転
円板部８の中心軸７の回転軸部１の凹部４に対する着脱
が比較的容易に行われる。Further, in the apparatus for manufacturing a disk-shaped recording medium according to the present embodiment, a current is applied to the coil 13 of the electromagnet to repel the magnetic field of the permanent magnet 16 on the central axis 7 of the rotating disk portion 8. Is caused, the attachment and detachment of the center shaft 7 of the rotating disk portion 8 to and from the recess 4 of the rotating shaft portion 1 are relatively easily performed.
【００４３】また、本例のディスク状記録媒体の製造装
置は、図１中に示すように、ディスク基板２上に紫外線
硬化型樹脂１７を供給するノズル１８を有する。このノ
ズル１８は、樹脂供給部１９に樹脂供給管２０を介して
取り付けられて塗液供給手段となされている。そして、
このノズル１８は、スピンコート時において、ディスク
基板２及び回転円板部８が回転する略中心点である回転
円板部８の円板部６の中心の直上に配設され、紫外線硬
化型樹脂１７をディスク基板２及び回転円板部８の回転
中心に供給するように出射する。The apparatus for manufacturing a disk-shaped recording medium of this embodiment has a nozzle 18 for supplying an ultraviolet-curable resin 17 onto the disk substrate 2 as shown in FIG. The nozzle 18 is attached to a resin supply unit 19 via a resin supply pipe 20 to serve as a coating liquid supply unit. And
The nozzle 18 is disposed immediately above the center of the disk portion 6 of the rotating disk portion 8 which is a substantially central point at which the disk substrate 2 and the rotating disk portion 8 rotate during spin coating, and is provided with an ultraviolet curable resin. The light 17 is emitted so as to be supplied to the center of rotation of the disk substrate 2 and the rotating disk portion 8.
【００４４】さらに、本例のディスク状記録媒体の製造
装置においては、図４に示すように、回転円板部８を移
送するためのアーム２１が設けられている。このアーム
２１は、回転円板部８を保持する保持部２２と、一端が
保持部２２に接続され他端が図示しない移送手段と接続
される腕部２３により構成される。上記保持部２２は、
図４中に示すように、先端２２ａに回転円板部８の中心
軸７に嵌合する大きさの凹部２４が設けられ、その上面
２２ｂ側で円板部６の対向面６ａ側を面内方向に支持す
る略板状の部材であり、腕部２３の移動に伴って移動す
る。なお、上記アーム２１は図示しない移送手段により
図４中矢印Ｃ，Ｄで示すようにディスク基板２の厚さ方
向及び面内方向に移動自在となされている。Further, in the apparatus for manufacturing a disk-shaped recording medium of this embodiment, as shown in FIG. 4, an arm 21 for transferring the rotating disk portion 8 is provided. The arm 21 includes a holding portion 22 for holding the rotating disk portion 8, and an arm portion 23 having one end connected to the holding portion 22 and the other end connected to a transfer unit (not shown). The holding unit 22 includes:
As shown in FIG. 4, a concave portion 24 having a size to be fitted to the central shaft 7 of the rotating disk portion 8 is provided at the tip end 22a, and the opposing surface 6a side of the disk portion 6 is in-plane on the upper surface 22b side. It is a substantially plate-shaped member that supports in the direction, and moves as the arm 23 moves. The arm 21 can be moved in the thickness direction and the in-plane direction of the disk substrate 2 by transfer means (not shown) as shown by arrows C and D in FIG.
【００４５】なお、ここでは、保持部２２の形状を中心
軸７に嵌合する凹部２４を有する形状としたが、単に回
転円板部８を載置する形状としても良く、回転円板部８
の端部に残留した樹脂が付着しない構造であることが望
ましい。Here, the shape of the holding portion 22 is a shape having the concave portion 24 to be fitted to the central shaft 7, but it may be a shape in which the rotating disk portion 8 is simply placed.
It is desirable that the structure be such that the residual resin does not adhere to the end of the substrate.
【００４６】次に、本例のディスク状記録媒体の製造装
置により、ディスク基板上に保護膜を形成する方法につ
いて述べる。先ず、ディスク基板２の中心穴５を回転軸
部１の凸部２１に嵌合させて鍔部３上にディスク基板２
を載置する。上記ディスク基板２としては、図３中Ｔ1
で示す厚さが１．２（ｍｍ）、外径が８６（ｍｍ）、溝
部１４の外径Ｄ5 が３４（ｍｍ）、中心孔５の直径Ｄ3
が１５（ｍｍ）のディスク基板が挙げられる。上記溝部
１４は、ディスク基板２成形時においてスタンパー等に
よって形成された溝であり、情報信号が記録されるデー
タ領域より内周側に形成されるものである。なお、上記
ディスク基板２に記録層が形成されていることは言うま
でもない。Next, a method for forming a protective film on a disk substrate using the apparatus for manufacturing a disk-shaped recording medium of this embodiment will be described. First, the center hole 5 of the disk substrate 2 is fitted to the convex portion 21 of the rotating shaft portion 1 so that the disk substrate 2
Is placed. As the disk substrate 2, T 1 in FIG.
The thickness indicated by the 1.2 (mm), an outer diameter of 86 (mm), the outer diameter D 5 of the groove 14 is 34 (mm), the diameter D 3 of the central hole 5
Is 15 (mm). The groove portion 14 is a groove formed by a stamper or the like at the time of molding the disk substrate 2, and is formed on the inner peripheral side of a data area where an information signal is recorded. Needless to say, a recording layer is formed on the disk substrate 2.
【００４７】次に、アーム２１により回転円板部８を保
持して、回転円板部８の中心軸７が回転軸部１の凹部４
の真上に来るようにアーム２１を図４中矢印Ｄで示すデ
ィスク基板２の面内方向に移動する。そして、中心軸７
が回転軸部１の凹部４に挿入されるようにアーム２１を
図４中矢印Ｃで示すディスク基板２の厚さ方向に移動す
る。なお、この上記回転円板部８としては、例えば図３
中Ｔ2 で示す円板部６の厚さが３．０（ｍｍ）、円板部
６の直径Ｄ4 が３５（ｍｍ）のものが挙げられる。Next, the rotating disk portion 8 is held by the arm 21, and the center axis 7 of the rotating disk portion 8 is aligned with the concave portion 4 of the rotating shaft portion 1.
The arm 21 is moved in the in-plane direction of the disk substrate 2 as indicated by an arrow D in FIG. And the central axis 7
The arm 21 is moved in the thickness direction of the disk substrate 2 shown by the arrow C in FIG. The rotating disk portion 8 is, for example, as shown in FIG.
The thickness of the disk 6 shown in the middle T 2 is 3.0 (mm), the diameter D 4 of the disc portion 6 include the 35 (mm).
【００４８】そして、アーム２１により中心軸７を凹部
４の途中まで挿入した状態で、コイル１３に電流を供給
して電磁石により、永久磁石１６の磁界と反発する方向
の磁界を凹部４内に発生させる。続いて磁界による反発
力と回転円板部８の自重による力が釣り合ったところ
で、アーム２１を図４中矢印Ｄで示すディスク基板２の
面内方向に移動させ、アーム２１を回転円板部８から引
き抜く。このとき、上述のように磁界による反発力と回
転円板部８の自重による力が釣り合うようになされてい
ることから、回転円板部８が急激に落下することはな
い。Then, with the center shaft 7 inserted halfway into the recess 4 by the arm 21, a current is supplied to the coil 13 to generate a magnetic field in the recess 4 in a direction repelling the magnetic field of the permanent magnet 16 by the electromagnet. Let it. Subsequently, when the repulsive force due to the magnetic field and the force due to the weight of the rotating disk portion 8 are balanced, the arm 21 is moved in the in-plane direction of the disk substrate 2 indicated by the arrow D in FIG. Pull out from. At this time, since the repulsive force by the magnetic field and the force by the weight of the rotating disk portion 8 are balanced as described above, the rotating disk portion 8 does not drop suddenly.
【００４９】続いて、コイル１３に供給する電流を徐々
に減少させ、電磁石から発生する磁界を徐々に小さくし
ていくと、回転円板部８は下方向に徐々に降下する。そ
して、コイル１３に供給される電流値が零になったとこ
ろで永久磁石１６が底面部分１ｃを形成する鉄に吸着
し、回転円板部８が回転軸部１に対して強固に固定され
る。Subsequently, when the current supplied to the coil 13 is gradually reduced and the magnetic field generated by the electromagnet is gradually reduced, the rotating disk portion 8 gradually descends downward. Then, when the current value supplied to the coil 13 becomes zero, the permanent magnet 16 is attracted to the iron forming the bottom surface portion 1c, and the rotating disk portion 8 is firmly fixed to the rotating shaft portion 1.
【００５０】このとき、回転円板部８の円板部６と回転
軸部１の鍔部３によりディスク基板２は厚さ方向に挟み
込まれることとなり、ディスク基板２は中心穴５を回転
円板部８の円板部６により塞がれた状態で面内方向に支
持されることとなり、ディスク基板２は回転軸部１を回
転させることにより図１中矢印Ａで示すように面内方向
に回転することとなる。なお、本例においては、円板部
６の直径Ｄ4 を３５（ｍｍ）とし、ディスク基板２の溝
部１４の外径Ｄ5 を３４（ｍｍ）としていることから、
上記円板部６により溝部１４まで覆われることとなり、
情報信号が記録されたデータ領域より内周側全体が円板
部６により覆われることとなる。At this time, the disk substrate 2 is sandwiched in the thickness direction by the disk portion 6 of the rotary disk portion 8 and the flange portion 3 of the rotary shaft portion 1, and the disk substrate 2 has the center hole 5 The disk substrate 2 is supported in the in-plane direction while being closed by the disk portion 6 of the portion 8, and the disk substrate 2 is rotated in the in-plane direction by rotating the rotation shaft portion 1 as shown by an arrow A in FIG. It will rotate. In this example, since the diameter D 4 of the disk portion 6 is 35 (mm) and the outer diameter D 5 of the groove portion 14 of the disk substrate 2 is 34 (mm),
The groove 6 is covered by the disk 6,
The entire inner peripheral side of the data area in which the information signal is recorded is covered with the disk portion 6.
【００５１】続いて、スピンドルモータ１２を回転駆動
させ、ギア１１，１０，９を介して回転軸部１を３０
（ｒｐｍ）程度の回転数で回転させる。これにより、こ
の回転軸部１の鍔部３上に載置されたディスク基板２及
び回転円板部８も回転軸部１と同速度で回転される。Subsequently, the spindle motor 12 is driven to rotate, and the rotating shaft 1 is moved through the gears 11, 10 and 9 for 30 seconds.
(Rpm). As a result, the disk substrate 2 and the rotating disk 8 placed on the flange 3 of the rotating shaft 1 are also rotated at the same speed as the rotating shaft 1.
【００５２】次に、上記のような回転数でディスク基板
２及び回転円板部８を回転させながら、図１中に示すよ
うに、ディスク基板２上にノズル１８から紫外線硬化型
樹脂１７を供給する。このとき、本例においては、前述
のように塗液供給手段であるノズル１８がディスク基板
２及び回転円板部８が回転する略中心点である回転円板
部８の円板部６の中心の直上に配設され、ディスク基板
２の中心穴５が回転円板部８の円板部６によって塞がれ
ていることから、ディスク基板２の略中心に紫外線硬化
型樹脂１７を供給することが可能であり、言い換えれば
紫外線硬化型樹脂１７を回転中心を避けることなく供給
することが可能である。なお、本例においては、紫外線
硬化型樹脂１７として、粘度が５００（ｃｐｓ）程度の
ものを使用している。Next, as shown in FIG. 1, an ultraviolet curable resin 17 is supplied from a nozzle 18 onto the disk substrate 2 while rotating the disk substrate 2 and the rotating disk portion 8 at the above-mentioned rotation speed. I do. At this time, in this example, as described above, the nozzle 18 serving as the coating liquid supply means is the center of the disk portion 6 of the rotating disk portion 8 which is a substantially center point at which the disk substrate 2 and the rotating disk portion 8 rotate. Since the center hole 5 of the disk substrate 2 is closed by the disk portion 6 of the rotating disk portion 8, the ultraviolet curable resin 17 is supplied to substantially the center of the disk substrate 2. In other words, the ultraviolet curable resin 17 can be supplied without avoiding the center of rotation. In this example, a resin having a viscosity of about 500 (cps) is used as the ultraviolet curable resin 17.
【００５３】次に、回転軸部１の回転数を３０００（ｒ
ｐｍ）まで上昇させ、３０００（ｒｐｍ）の回転数で８
秒間保持する。このように、３０００（ｒｐｍ）の回転
数で８秒間保持することにより、回転円板部８の回転中
心に供給された紫外線硬化型樹脂１７を、遠心力により
ディスク基板２の外周部に向かって広げ、ディスク基板
２の全面、すなわち、記録層上に塗布し、ディスク基板
２に紫外線硬化型樹脂１７の塗膜を形成する。Next, the number of rotations of the rotating shaft 1 is set to 3000 (r
pm) and 8 at 3000 (rpm) rpm.
Hold for seconds. In this way, by holding at a rotation speed of 3000 (rpm) for 8 seconds, the ultraviolet curable resin 17 supplied to the rotation center of the rotating disk portion 8 is moved toward the outer peripheral portion of the disk substrate 2 by centrifugal force. It is spread and applied on the entire surface of the disk substrate 2, that is, on the recording layer, and a coating film of the ultraviolet curing resin 17 is formed on the disk substrate 2.
【００５４】このとき、本例のディスク状記録媒体の製
造装置においては、前述のように、回転円板部８の円板
部６の対向面６ａの内周側を凹面として外周部のみがデ
ィスク基板２に接するようにしていることから、対向面
６ａとディスク基板２間に紫外線硬化型樹脂１７が入り
込むことが防止される。At this time, in the apparatus for manufacturing a disk-shaped recording medium of the present embodiment, as described above, the inner peripheral side of the facing surface 6a of the disk portion 6 of the rotating disk portion 8 is concave and only the outer peripheral portion is a disk. The contact with the substrate 2 prevents the ultraviolet curing resin 17 from entering between the facing surface 6 a and the disk substrate 2.
【００５５】そして、回転軸部１の回転を停止させた
後、コイル１３に電流を供給し、電磁石より永久磁石１
６から発生する磁界と反発する方向の磁界を凹部４内に
発生させる。すると、これら磁界の反発力により、回転
円板部８の中心軸７は上方向に押し上げられ、反発力と
回転円板部８の自重による力が釣り合った位置に浮上し
た状態となる。After the rotation of the rotary shaft 1 is stopped, a current is supplied to the coil 13 so that the permanent magnet 1 is
A magnetic field in a direction repelling the magnetic field generated from 6 is generated in the recess 4. Then, the center axis 7 of the rotating disk portion 8 is pushed upward by the repulsive force of these magnetic fields, and the revolving force and the force of the own weight of the rotating disk portion 8 float up to a position where the force is balanced.
【００５６】このとき、本例のディスク状記録媒体の製
造装置においては、前述のように、回転円板部８の中心
軸７の円板部６との接続部近傍に気体を噴出可能な噴出
孔１５が設けられていることから、回転円板部８の上昇
時に当該噴出孔１５から気体を噴出させるようにすれ
ば、対向面６ａとディスク基板２間に紫外線硬化型樹脂
１７が入り込むことが防止される。At this time, in the disk-shaped recording medium manufacturing apparatus of the present embodiment, as described above, the ejection is performed so that gas can be ejected near the connection between the center axis 7 of the rotating disk 8 and the disk 6. Since the holes 15 are provided, if the gas is ejected from the ejection holes 15 when the rotating disk portion 8 rises, the ultraviolet curable resin 17 may enter between the facing surface 6a and the disk substrate 2. Is prevented.
【００５７】そして、アーム２１を図４中矢印Ｄで示す
ようにディスク基板２の面内方向に移動させ、保持部２
２の凹部２４に中心軸７を嵌合させるとともに上面側で
円板部６の対向面６ａ側を面内方向に支持した後、アー
ム２１を図４中矢印Ｃで示すようにディスク基板２の厚
さ方向に移動させ、回転円板部８を回転軸部１から完全
に引き抜く。さらに、アーム２１を図４中矢印Ｄで示す
ようにディスク基板２の面内方向に後退するように移動
させる。Then, the arm 21 is moved in the in-plane direction of the disk substrate 2 as shown by an arrow D in FIG.
After the center shaft 7 is fitted into the recess 24 of the disk 2 and the opposing surface 6a of the disk portion 6 is supported in the in-plane direction on the upper surface side, the arm 21 is mounted on the disk substrate 2 as shown by an arrow C in FIG. The disk is moved in the thickness direction, and the rotating disk 8 is completely pulled out of the rotating shaft 1. Further, the arm 21 is moved so as to retreat in the in-plane direction of the disk substrate 2 as shown by an arrow D in FIG.
【００５８】次いで、紫外線硬化型樹脂１７が塗布され
たディスク基板２に紫外線を照射するために、ディスク
基板２を回転軸部１から取り外し、図示しない紫外線照
射部へと移動させる。そして、この紫外線硬化型樹脂１
７に対して紫外線を照射し、硬化させ、保護膜を形成す
る。Next, in order to irradiate the disk substrate 2 coated with the ultraviolet-curable resin 17 with ultraviolet rays, the disk substrate 2 is detached from the rotating shaft 1 and moved to an ultraviolet irradiation unit (not shown). And, this ultraviolet curing type resin 1
7 is irradiated with ultraviolet rays and cured to form a protective film.
【００５９】本例のディスク状記録媒体の製造装置にお
いては、上記回転軸部１の凹部４に回転円板部８の中心
軸７をはめ込み、上記回転軸部１の鍔部３と回転円板部
８の円板部６によりディスク基板２を厚さ方向に挟み込
めば、上記ディスク基板２は中心穴５を回転円板部８の
円板部６により塞がれた状態で面内方向に支持されるこ
ととなり、回転軸部１を回転させることにより面内方向
に回転する。すなわち、ディスク基板２の中心穴５が塞
がれていることから、ディスク基板２の略中心に紫外線
硬化型樹脂１７が供給され、言い換えれば紫外線硬化型
樹脂１７が回転中心を避けることなく供給されることか
ら、塗布開始位置における回転中心からの距離が非常に
小さくなり、径方向における塗膜の膜厚のばらつきが抑
えられ、内周側と外周側での膜厚の差が抑えられた保護
膜を有するディスク状記録媒体が製造される。In the apparatus for manufacturing a disk-shaped recording medium according to the present embodiment, the center axis 7 of the rotary disk portion 8 is fitted into the concave portion 4 of the rotary shaft portion 1, and the flange 3 of the rotary shaft portion 1 and the rotary disk When the disk substrate 2 is sandwiched in the thickness direction by the disk portion 6 of the portion 8, the disk substrate 2 extends in the in-plane direction with the center hole 5 closed by the disk portion 6 of the rotating disk portion 8. It is supported, and rotates in the in-plane direction by rotating the rotating shaft portion 1. That is, since the center hole 5 of the disk substrate 2 is closed, the ultraviolet-curable resin 17 is supplied to substantially the center of the disk substrate 2, in other words, the ultraviolet-curable resin 17 is supplied without avoiding the center of rotation. Therefore, the distance from the rotation center at the coating start position is extremely small, the variation in the film thickness in the radial direction is suppressed, and the difference in the film thickness between the inner and outer peripheral sides is suppressed. A disk-shaped recording medium having a film is manufactured.
【００６０】また、本例のディスク状記録媒体の製造装
置においては、回転軸部１の凹部４の少なくとも底面側
が磁性を有する金属よりなり、回転円板部８の中心軸７
の少なくとも先端側が永久磁石１６よりなることから、
回転軸部１の凹部４と回転円板部８の中心軸７が強固に
嵌合する。In the apparatus for manufacturing a disk-shaped recording medium according to the present embodiment, at least the bottom surface of the concave portion 4 of the rotating shaft 1 is made of a metal having magnetic properties.
Since at least the distal end side is composed of the permanent magnet 16,
The recess 4 of the rotating shaft 1 and the central shaft 7 of the rotating disk 8 are firmly fitted.
【００６１】さらに、上記本例のディスク状記録媒体の
製造装置においては、電磁石のコイル１３に電流を流す
ことにより、回転円板部８の中心軸７の永久磁石１６の
磁界と反発する向きの磁界が発生するようにしており、
回転円板部８の中心軸７の回転軸部１の凹部４に対する
着脱が比較的容易に行われる。Further, in the apparatus for manufacturing a disk-shaped recording medium according to the present embodiment, by passing a current through the coil 13 of the electromagnet, the magnetic field of the permanent magnet 16 of the center shaft 7 of the rotating disk portion 8 is repelled. To generate a magnetic field,
The attachment and detachment of the center shaft 7 of the rotating disk portion 8 to the concave portion 4 of the rotating shaft portion 1 is relatively easily performed.
【００６２】なお、上記本例のディスク状記録媒体の製
造装置においては、電磁石のコイル１３に電流を流すこ
とにより、回転円板部８の中心軸７の永久磁石１６の磁
界と反発する向きの磁界が発生するようにしているが、
電流の向きにより電磁石に発生する磁界の向きを調節す
るようにしても良く、電磁石と永久磁石１６の磁界の向
きを合わせれば、回転軸部１の凹部４と回転円板部８の
中心軸６をさらに強固に嵌合することが可能となる。In the apparatus for manufacturing a disk-shaped recording medium according to the present embodiment, by passing a current through the coil 13 of the electromagnet, the magnetic field of the permanent magnet 16 of the central axis 7 of the rotating disk portion 8 is repelled. Although a magnetic field is generated,
The direction of the magnetic field generated in the electromagnet may be adjusted according to the direction of the current. If the direction of the magnetic field of the electromagnet and the direction of the magnetic field of the permanent magnet 16 are matched, the concave portion 4 of the rotating shaft 1 and the central axis 6 of the rotating disk portion 8 can be adjusted. Can be fitted more firmly.
【００６３】さらに、上述したディスク状記録媒体の製
造装置においては、塗液としてアクリル系紫外線硬化型
樹脂等、光磁気ディスクの保護膜材料として使用されて
いるものを使用することが可能である。また、上述の例
においては、紫外線硬化型樹脂の粘度を約５００（ｃｐ
ｓ）程度としたが、例えば重合度等を制御して変化させ
たものを使用しても良い。Further, in the above-mentioned apparatus for manufacturing a disk-shaped recording medium, it is possible to use a coating liquid such as an acrylic UV-curable resin which is used as a protective film material for a magneto-optical disk. In the above-described example, the viscosity of the ultraviolet curable resin is set to about 500 (cp).
s), but may be changed by controlling the degree of polymerization or the like.
【００６４】なお、上述の例においては、保護膜が形成
されるディスク基板として、基板の片面のみに記録層が
形成された単板構成のものを例示し、単板構成の光磁気
ディスクを製造する例を示したが、製造される光磁気デ
ィスクはこれに限られるものではない。すなわち、上記
のような単板構成のディスク基板同士を対向させて貼り
合わせて一体として両板構成の光磁気ディスクを製造し
ても良い。この両板構成の光磁気ディスクでは、記録再
生時において、両面からレーザ光が照射されるととも
に、磁気ヘッドにより磁界が印可される。すなわち、保
護膜が形成された記録層が両面に形成されることにな
る。このような両板構成の光磁気ディスクにおいても、
上述したように、光磁気ディスクの保護膜が内周部と外
周部との膜厚差がないように形成されることによって、
レーザ光の照射及び記録磁界の印可を安定して行うこと
が可能である。In the above-mentioned example, a disk substrate on which a recording layer is formed only on one side of the substrate is exemplified as a disk substrate on which a protective film is formed, and a magneto-optical disk having a single plate configuration is manufactured. However, the magneto-optical disk manufactured is not limited to this. That is, a magneto-optical disk having a two-plate structure may be manufactured by integrally bonding the disk substrates having the single-plate structure as described above so as to face each other. In the magneto-optical disk having the two-plate configuration, at the time of recording and reproduction, laser light is irradiated from both sides and a magnetic field is applied by a magnetic head. That is, the recording layer on which the protective film is formed is formed on both surfaces. Even in such a magneto-optical disk having a two-plate configuration,
As described above, the protective film of the magneto-optical disk is formed such that there is no difference in film thickness between the inner peripheral portion and the outer peripheral portion.
Irradiation of a laser beam and application of a recording magnetic field can be performed stably.
【００６５】さらに、上述したディスク状記録媒体製造
装置は、上述した光磁気ディスクに限らず、例えば、表
面に物理的な凹凸が形成されることによって信号が記録
されている、再生専用の光ディスク等の製造にも適用可
能である。さらに、このディスク状記録媒体製造装置
が、広く、磁気ディスクや、光ディスク、相変化型ディ
スク等、保護膜材料をスピンコート法によって塗布して
保護膜が形成されるディスク状記録媒体の製造に適用可
能であることは言うまでもない。Further, the disk-shaped recording medium manufacturing apparatus described above is not limited to the above-described magneto-optical disk, but may be, for example, a read-only optical disk or the like in which signals are recorded by forming physical irregularities on the surface. It can also be applied to the manufacture of Furthermore, this disk-shaped recording medium manufacturing apparatus is widely applied to the manufacture of disk-shaped recording media in which a protective film is formed by applying a protective film material by a spin coating method, such as a magnetic disk, an optical disk, and a phase-change disk. It goes without saying that it is possible.
【００６６】[0066]
【実施例】次に、本発明の効果を確認するべく、以下に
示すような実験を行った。すなわち、上述したようなデ
ィスク状記録媒体の製造装置を使用し、上述したような
ディスク基板を使用して、ディスク基板上に保護膜を形
成した。この保護膜におけるディスク基板の回転中心か
らの距離と保護膜の膜厚の関係を図５に示す。なお、図
５中横軸はディスク基板の回転中心からの距離（ｍｍ）
を示し、縦軸は保護膜の膜厚（μｍ）を示す。EXAMPLES Next, in order to confirm the effects of the present invention, the following experiments were conducted. That is, the protective film was formed on the disk substrate by using the disk-shaped recording medium manufacturing apparatus as described above and using the disk substrate as described above. FIG. 5 shows the relationship between the distance of the protective film from the center of rotation of the disk substrate and the thickness of the protective film. The horizontal axis in FIG. 5 is the distance (mm) from the center of rotation of the disk substrate.
The vertical axis indicates the thickness (μm) of the protective film.
【００６７】そして、この図５においては、上述のよう
にして成膜されたディスク基板の回転中心からの所定の
距離における保護膜の膜厚を×で示し、比較のために、
従来の方法でディスク基板を回転させて保護膜を形成し
たときの計算値を実線ｂで示す。さらに、図５において
は、上述のディスク基板において記録層となる範囲を２
４（ｍｍ）〜４０（ｍｍ）の範囲Ｂとして示す。すなわ
ち、範囲Ｂが、保護膜を形成すべき領域ということにな
る。In FIG. 5, the thickness of the protective film at a predetermined distance from the rotation center of the disk substrate formed as described above is indicated by x, and for comparison,
The solid line b shows the calculated value when the protective film is formed by rotating the disk substrate by the conventional method. Further, in FIG. 5, the range to be a recording layer in the above-described disc substrate is 2
It is shown as a range B of 4 (mm) to 40 (mm). That is, the range B is a region where the protective film is to be formed.
【００６８】図５を見てわかるように、上述のようにし
て形成された保護膜の膜厚は、ディスク基板の回転中心
からの距離が２４（ｍｍ）〜４０（ｍｍ）の範囲内にお
いて、約１６（μｍ）程度となっている。このように、
膜厚を１５（μｍ）以上とすることにより、記録層の腐
食を十分に防止することが可能となる。また、上記保護
膜の膜厚は、ディスク基板の回転中心からの距離が２４
（ｍｍ）〜４０（ｍｍ）の範囲内において、２．０（μ
ｍ）以下の誤差となっている。As can be seen from FIG. 5, the thickness of the protective film formed as described above is within a range of 24 (mm) to 40 (mm) from the center of rotation of the disk substrate. It is about 16 (μm). in this way,
By setting the film thickness to 15 (μm) or more, it becomes possible to sufficiently prevent corrosion of the recording layer. The thickness of the protective film is set at a distance of 24 from the center of rotation of the disk substrate.
(Mm) to 40 (mm), 2.0 (μ)
m) The error is as follows.
【００６９】一方、図５中の実線ｂで示される比較例
は、ディスク基板全域において、内周側から外周側に向
かって保護膜の膜厚が厚くなる傾向にある。また、この
比較例においては、ディスク基板の回転中心からの距離
が２４（ｍｍ）〜４０（ｍｍ）の範囲内においても、外
周部側において保護膜の膜厚が厚くなっている。On the other hand, in the comparative example shown by the solid line b in FIG. 5, the thickness of the protective film tends to increase from the inner peripheral side toward the outer peripheral side over the entire area of the disk substrate. Further, in this comparative example, even when the distance from the rotation center of the disk substrate is within the range of 24 (mm) to 40 (mm), the thickness of the protective film is large on the outer peripheral side.
【００７０】すなわち、上記実験の結果から、上述のよ
うにして保護膜を形成すれば、図５中に示すように、記
録層が形成されている範囲Ｂ内において、約１５（μ
ｍ）以上の膜厚の保護膜を形成することができるととも
に、ディスク基板の内周側と外周側との膜厚差を２（μ
ｍ）以下に抑制した保護膜を形成することが可能である
ことが確認された。That is, from the results of the above experiment, if the protective film is formed as described above, as shown in FIG. 5, within the range B where the recording layer is formed, about 15 (μm)
m) or more, and the thickness difference between the inner and outer peripheral sides of the disk substrate is 2 (μm).
m) It was confirmed that it was possible to form a protective film suppressed to the following.
【００７１】また、このようにして形成された保護膜に
おいては、ディスク基板の全面において保護膜の膜厚差
が２（μｍ）以下となされているので、レーザ光を保護
膜側から入射させても、ディスク基板の全面において波
面収差の誤差が大きくなってしまうような部分がない。In the protective film formed in this manner, since the thickness difference of the protective film over the entire surface of the disk substrate is 2 (μm) or less, laser light is incident from the protective film side. Also, there is no portion where the error of the wavefront aberration becomes large on the entire surface of the disk substrate.
【００７２】すなわち、上記保護膜は、その膜厚差が、
例えば、レーザ光を保護膜側から入射する光学装置を用
い、レーザ光の波長λを４８０（ｎｍ）とし、ディスク
基板上にレーザ光を集光させるレンズの開口数ＮＡを
０．９とした場合において、波面収差が０．１９λ以下
となる膜厚差の上限である２．９（μｍ）以下となるよ
うに形成されている。That is, the protective film has a difference in film thickness.
For example, when an optical device for injecting laser light from the protective film side is used, the wavelength λ of the laser light is set to 480 (nm), and the numerical aperture NA of the lens for condensing the laser light on the disk substrate is set to 0.9. Are formed so that the upper limit of the film thickness difference at which the wavefront aberration is 0.19λ or less is 2.9 (μm) or less.
【００７３】したがって、このような保護膜が形成され
た光磁気ディスクによれば、高記録密度用に設計された
光学系を使用して記録再生を行っても、保護膜の膜厚差
による波面収差の誤差が大きくなるようなことはなく、
レーザ光を記録層に安定して照射させることが可能であ
る。Therefore, according to the magneto-optical disk on which such a protective film is formed, even if recording / reproducing is performed using an optical system designed for high recording density, the wavefront due to the difference in the film thickness of the protective film. Aberration error does not increase,
It is possible to stably irradiate the recording layer with laser light.
【００７４】また、このようにして保護膜を形成すれ
ば、光磁気ディスク上を摺動しながら信号の記録を行う
磁気ヘッドを使用しても、保護膜の膜厚差により、光磁
気ディスクの表面に対して損傷を与えることなく、信号
の記録を行うことが可能である。Further, if the protective film is formed in this manner, even if a magnetic head that records signals while sliding on the magneto-optical disk is used, the magnetic film of the magneto-optical disk will not be formed due to the difference in thickness of the protective film. It is possible to record signals without damaging the surface.
【００７５】さらに、このようにして保護膜を形成すれ
ば、光磁気ディスク上の表面と微少間隔を介して浮上す
る磁気ヘッドを使用して信号の記録を行っても、磁気ヘ
ッドが光磁気ディスクの表面と接触することはなく、所
定の間隔を保持して信号を記録することができる。Further, by forming the protective film in this way, even if a magnetic head is used to record a signal using a magnetic head that floats at a very small distance from the surface on the magneto-optical disk, the magnetic head can be used for the magnetic head. The signal can be recorded while maintaining a predetermined interval without contact with the surface of the optical disc.
【００７６】従って、このようにして保護膜を形成すれ
ば、記録層に対して安定して磁界を印可することがで
き、光磁気ディスクの全面において記録ピットを安定し
て形成することができる。Therefore, by forming the protective film in this manner, a magnetic field can be stably applied to the recording layer, and recording pits can be formed stably on the entire surface of the magneto-optical disk.
【００７７】[0077]
【発明の効果】以上の説明からも明らかなように、本発
明のディスク状記録媒体の製造装置においては、一端側
にディスク状記録媒体を面内方向に支持する鍔部を有
し、その中心に鍔部形成端側に臨んで開口する凹部が形
成される回転軸部と、ディスク状記録媒体の中心穴を面
内方向に覆う円板部と、その一端が上記円板部に接合さ
れ、上記回転軸部の凹部に嵌合する中心軸よりなる回転
円板部を備えている。As is clear from the above description, the disk-shaped recording medium manufacturing apparatus of the present invention has a flange at one end side for supporting the disk-shaped recording medium in the in-plane direction. A rotating shaft portion in which a concave portion opening toward the flange forming end side is formed, a disk portion covering the center hole of the disk-shaped recording medium in an in-plane direction, and one end thereof is joined to the disk portion, A rotating disk portion including a central shaft fitted into the concave portion of the rotating shaft portion is provided.
【００７８】従って、上記回転軸部の凹部に回転円板部
の中心軸をはめ込み、上記回転軸部の鍔部と回転円板部
の円板部によりディスク状記録媒体を厚さ方向に挟み込
めば、上記ディスク状記録媒体は中心穴を回転円板部の
円板部により塞がれた状態で面内方向に支持されること
となり、回転軸部を回転させることにより面内方向に回
転する。すなわち、ディスク状記録媒体の中心穴が塞が
れていることから、塗液供給手段によりディスク状記録
媒体の略中心に塗液が供給され、言い換えれば塗液が回
転中心を避けることなく供給されることから、塗布開始
位置における回転中心からの距離が非常に小さくなり、
径方向における塗膜の膜厚のばらつきが抑えられ、内周
側と外周側での膜厚の差が抑えられた保護膜等の塗膜を
有するディスク状記録媒体の製造が可能となる。Therefore, the center axis of the rotating disk portion is fitted into the concave portion of the rotating shaft portion, and the disk-shaped recording medium is sandwiched in the thickness direction by the flange portion of the rotating shaft portion and the disk portion of the rotating disk portion. For example, the disk-shaped recording medium is supported in the in-plane direction with the center hole closed by the disk portion of the rotating disk portion, and is rotated in the in-plane direction by rotating the rotating shaft portion. . That is, since the center hole of the disk-shaped recording medium is closed, the coating liquid is supplied to substantially the center of the disk-shaped recording medium by the coating liquid supply means, in other words, the coating liquid is supplied without avoiding the center of rotation. Therefore, the distance from the rotation center at the coating start position becomes very small,
Variations in the thickness of the coating film in the radial direction are suppressed, and it is possible to manufacture a disk-shaped recording medium having a coating film such as a protective film in which the difference in film thickness between the inner peripheral side and the outer peripheral side is suppressed.
【００７９】また、本発明のディスク状記録媒体の製造
装置においては、回転軸部の凹部の少なくとも底面側が
磁性を有する金属よりなり、回転円板部の中心軸の少な
くとも先端側が磁石よりなることから、回転軸部の凹部
と回転円板部の中心軸が強固に嵌合する。In the apparatus for manufacturing a disk-shaped recording medium according to the present invention, at least the bottom surface of the concave portion of the rotating shaft portion is made of a magnetic metal, and at least the leading end of the center axis of the rotating disk portion is made of a magnet. Then, the concave portion of the rotating shaft portion and the central axis of the rotating disk portion are firmly fitted.
【００８０】なお、上記本発明のディスク状記録媒体の
製造装置において、回転軸部にコイルを配設し、回転軸
部の磁性を有する金属よりなる部分とコイルで電磁石を
構成すれば、電磁石に発生する磁界の向きを調節するこ
とにより、発生する磁力により回転円板部の中心軸を回
転軸部の凹部に対して安定して着脱することが可能とな
る。In the above-described apparatus for manufacturing a disk-shaped recording medium according to the present invention, if the coil is disposed on the rotating shaft and the electromagnet is formed by the coil and the portion of the rotating shaft made of magnetic metal, the electromagnet can be formed. By adjusting the direction of the generated magnetic field, it becomes possible to stably attach / detach the central axis of the rotating disk portion to / from the concave portion of the rotating shaft portion by the generated magnetic force.
【００８１】さらに、上記本発明のディスク状記録媒体
の製造装置において、電磁石のコイルに電流を流すこと
により、回転円板部の中心軸の磁石の磁界と反発する向
きの磁界が発生するようにすれば、回転円板部の中心軸
の回転軸部の凹部に対する着脱が比較的容易に行われ
る。Further, in the above-mentioned apparatus for manufacturing a disk-shaped recording medium according to the present invention, by passing a current through the coil of the electromagnet, a magnetic field is generated in a direction repelling the magnetic field of the magnet on the central axis of the rotating disk. Then, the attachment and detachment of the center axis of the rotating disk portion to and from the concave portion of the rotating shaft portion can be performed relatively easily.
【図１】本発明に係るディスク状記録媒体の製造装置の
構成を示す要部概略斜視図である。FIG. 1 is a schematic perspective view of a main part showing a configuration of an apparatus for manufacturing a disk-shaped recording medium according to the present invention.
【図２】本発明に係るディスク状記録媒体の製造装置の
構成を示す要部概略断面図である。FIG. 2 is a schematic cross-sectional view of a main part showing a configuration of an apparatus for manufacturing a disk-shaped recording medium according to the present invention.
【図３】本発明に係るディスク状記録媒体の製造装置の
構成を分解して示す要部概略断面図である。FIG. 3 is an exploded schematic cross-sectional view of a main part of a disk-shaped recording medium manufacturing apparatus according to the present invention.
【図４】本発明に係るディスク状記録媒体の製造装置の
構成を示す要部概略斜視図である。FIG. 4 is a schematic perspective view of a main part showing a configuration of an apparatus for manufacturing a disk-shaped recording medium according to the present invention.
【図５】ディスク基板の回転中心からの距離と保護膜の
膜厚の関係を示す特性図である。FIG. 5 is a characteristic diagram showing a relationship between a distance from a rotation center of a disk substrate and a thickness of a protective film.
【図６】ディスク基板上に紫外線硬化型樹脂を供給する
様子を示す斜視図である。FIG. 6 is a perspective view showing a state in which an ultraviolet curable resin is supplied onto a disk substrate.
１ 回転軸部、１ａ 一端、２ ディスク基板、３ 鍔
部、４ 凹部、５ 中心穴、６ 円板部、７ 中心軸、
８ 回転円板部、１３ コイル、１６ 永久磁石、１７
紫外線硬化型樹脂1 rotating shaft portion, 1a one end, 2 disk substrate, 3 flange portion, 4 concave portion, 5 center hole, 6 disk portion, 7 center axis,
8 rotating disk, 13 coils, 16 permanent magnets, 17
UV curable resin
Claims (3)
に支持する鍔部を有し、その中心に鍔部形成端側に臨ん
で開口する凹部が形成される回転軸部と、 ディスク状記録媒体の中心穴を面内方向に覆う円板部
と、その一端が上記円板部に接合され、上記回転軸部の
凹部に嵌合する中心軸よりなる回転円板部と、 塗液供給手段とを備えてなり、 回転軸部の凹部の少なくとも底面側が磁性を有する金属
よりなり、 回転円板部の中心軸の少なくとも先端側が磁石よりなる
ことを特徴とするディスク状記録媒体の製造装置。A rotating shaft portion having a flange portion at one end side for supporting a disk-shaped recording medium in an in-plane direction, and a center formed with a concave portion opening toward the flange portion forming end side; A disk portion covering the center hole of the recording medium in an in-plane direction, a rotating disk portion having one end joined to the disk portion and having a central shaft fitted into a concave portion of the rotating shaft portion; Means for producing a disk-shaped recording medium, characterized in that at least the bottom surface side of the concave portion of the rotating shaft portion is made of a metal having magnetism, and at least the distal end side of the central axis of the rotating disk portion is made of a magnet.
の磁性を有する金属よりなる部分とコイルで電磁石が構
成されている請求項１記載のディスク状記録媒体の製造
装置。2. An apparatus for manufacturing a disk-shaped recording medium according to claim 1, wherein a coil is disposed on the rotating shaft portion, and an electromagnet is constituted by a portion of the rotating shaft portion made of magnetic metal and the coil.
り、回転円板部の中心軸の磁石の磁界と反発する向きの
磁界が発生するようになされていることを特徴とする請
求項２記載のディスク状記録媒体の製造装置。3. The apparatus according to claim 2, wherein a current is applied to the coil of the electromagnet to generate a magnetic field in a direction repelling the magnetic field of the magnet on the center axis of the rotating disk portion. Equipment for manufacturing disk-shaped recording media.
Priority Applications (4)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP24914697A JP3557866B2 (en) | 1997-09-12 | 1997-09-12 | Disk-shaped recording medium manufacturing equipment |
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| KR1019980033592A KR100528112B1 (en) | 1997-08-20 | 1998-08-19 | Apparatus and method for manufacturing disc-shaped recording medium |
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1997
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