JP2522585B2 - Magneto-optical memory device and manufacturing method thereof - Google Patents

Magneto-optical memory device and manufacturing method thereof

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JP2522585B2
JP2522585B2 JP2121472A JP12147290A JP2522585B2 JP 2522585 B2 JP2522585 B2 JP 2522585B2 JP 2121472 A JP2121472 A JP 2121472A JP 12147290 A JP12147290 A JP 12147290A JP 2522585 B2 JP2522585 B2 JP 2522585B2
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純一郎 中山
博之 片山
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Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、浮上型磁気ヘッドを備えた光磁気記録再生
装置用の光磁気メモリ素子及びその製造方法に関するも
のである。
The present invention relates to a magneto-optical memory element for a magneto-optical recording / reproducing apparatus having a floating magnetic head and a method for manufacturing the same.

〔従来の技術〕[Conventional technology]

近年、いわゆるコンパクトディスク等の再生専用の光
メモリ素子に代えて、情報の記録・再生及び消去が可能
な大容量メモリである光磁気メモリ素子の研究開発が活
発に行われ、実用化段階に至っている。最近では、より
高速、高密度での記録を実現するための方式が研究され
ており、なかでもオーバライトと呼ばれる記録方式が注
目されている。このオーバライト方式は、情報の消去動
作を必要とせず、直接記録済の情報の書換えが行えるた
め、記録に要する時間を短縮できる利点がある。
In recent years, in place of a read-only optical memory element such as a so-called compact disc, a magneto-optical memory element, which is a large-capacity memory capable of recording / reproducing and erasing information, has been actively researched and developed, and has reached a stage of practical application. . Recently, a method for realizing recording at higher speed and higher density has been researched, and among them, a recording method called overwrite has attracted attention. This overwrite method has an advantage that the time required for recording can be shortened because information already recorded can be rewritten directly without the need for erasing information.

以下、従来の記録方式と併せてオーバライト方式につ
いて説明する。
Hereinafter, the overwrite method will be described together with the conventional recording method.

説明を簡単にするため、記録媒体である垂直磁化膜の
磁化の向きは所定の方向、例えば、膜面と直交する方向
における上向きに揃っているものとする。記録を行う場
合は、記録すべき部位にレーザビームを高出力状態で照
射し、記録部位を記録媒体のキュリー温度又は磁気的補
償温度近傍或いはそれ以上の温度に上昇させる。これに
より、記録部位の保磁力の値はほぼ“0"となるので、外
部から上記膜面と直交する方向における下向きの磁界を
印加することで記録部位の磁化は下向きに反転し、記録
が行われる。
In order to simplify the explanation, it is assumed that the magnetization direction of the perpendicular magnetization film as the recording medium is aligned in a predetermined direction, for example, upward in a direction orthogonal to the film surface. In the case of recording, a laser beam is irradiated onto a portion to be recorded in a high output state to raise the recording portion to a temperature near or above the Curie temperature or magnetic compensation temperature of the recording medium. As a result, the value of the coercive force in the recording area becomes almost "0", so by applying a downward magnetic field in the direction perpendicular to the film surface from the outside, the magnetization in the recording area is reversed downward, and recording is performed. Be seen.

情報の再生時には、昇温による磁化反転が生じない範
囲の低出力のレーザビームを照射し、磁化の向きにより
偏光面の回転方向が相違する現象に基づいて光学的に情
報を検出する。
At the time of reproducing information, a low output laser beam is irradiated in a range in which magnetization reversal due to temperature rise does not occur, and information is optically detected based on a phenomenon in which the rotation direction of the polarization plane differs depending on the magnetization direction.

ところで、既に情報が書き込まれている領域に対し、
新たな情報の書込きを行う場合の書換え方式には、
(i)消去動作により記録媒体の磁化の向きを一定方向
に揃え直すことにより初期化を行った後、新たな情報を
記録する方式と、(ii)記録媒体又は外部磁界発生装置
に工夫を加え、消去動作を介さずに直接情報の書換えを
行うオーバライト方式の2方式がある。
By the way, for the area where information is already written,
The rewriting method when writing new information is
(I) A method of recording new information after initializing by reorienting the magnetization direction of the recording medium to a fixed direction by the erasing operation, and (ii) adding a device to the recording medium or the external magnetic field generator. There are two overwrite methods, in which information is directly rewritten without an erase operation.

その内、(i)の方式では、消去専用ヘッドを別個に
設けるか、又は磁気ヘッドが1個のみであれば、一旦消
去を行った後に記録を行うことになる。ところが、消去
専用ヘッドを設ける場合はコスト高及び装置の大型化を
招き、一方、従来多用されている如く、磁気ヘッドを1
個のみとすると、書換えに長時間を要することになる。
Among them, in the method (i), an erasing dedicated head is separately provided, or if there is only one magnetic head, erasing is performed and then recording is performed. However, the provision of an erasing head leads to high cost and an increase in the size of the apparatus.
If only one is used, rewriting will take a long time.

一方、(ii)の方式の内、外部磁界印加装置に工夫を
加える方式、つまり、レーザビームを高出力状態に保持
し、外部磁界の向きを記録すべき情報に応じて上向きと
下向きに変調する方式は、記録媒体を従来のものから大
きく変更する必要がなく、最も有望であると思われる。
On the other hand, in the method (ii), a method in which the external magnetic field applying device is devised, that is, the laser beam is held in a high output state, and the direction of the external magnetic field is modulated upward and downward according to the information to be recorded The method seems to be the most promising, as it does not require a significant change in the recording medium from the conventional one.

ところで、高密度記録を行うために外部磁化の向きを
非常に高い周波数、例えば、10MHz程度でスイッチング
する場合、外部磁界発生装置におけるコイル及びコイル
芯を充分に小さくする必要がある。従って、発生磁界強
度及び磁界発生領域も小さくなるので、磁気ヘッドと記
録媒体とを充分に、具体的には、数μm〜数10μm程度
の距離まで接近させねばならない。その際、記録媒体表
面に面振れ、つまり、円周方向の凹凸が存在することを
考慮すると、磁気ヘッドを固定型としたのでは、上記の
ような微小間隔は得られにくい。
By the way, when switching the direction of the external magnetization at a very high frequency, for example, about 10 MHz for high density recording, it is necessary to make the coil and the coil core in the external magnetic field generator sufficiently small. Therefore, since the generated magnetic field strength and the magnetic field generation region are also reduced, the magnetic head and the recording medium must be sufficiently close to each other, specifically, a distance of several μm to several tens of μm. At that time, considering that surface wobbling, that is, unevenness in the circumferential direction exists on the surface of the recording medium, if the magnetic head is of a fixed type, it is difficult to obtain the above-mentioned minute interval.

従って、板ばね等のサスペンションにより光磁気メモ
リ素子の表面側に付勢されるとともに、光磁気メモリ素
子の回転に伴って生じる空気流により光磁気メモリ素子
の表面から浮上する浮上型磁気ヘッドを採用することが
考えられる。なお、このような浮上型磁気ヘッドは既存
のハードディスクにて採用されており、ハードディスク
における浮上量は、通常、サブミクロンオーダである。
Therefore, a floating magnetic head is adopted which is urged toward the surface side of the magneto-optical memory element by a suspension such as a leaf spring and levitated from the surface of the magneto-optical memory element by the airflow generated by the rotation of the magneto-optical memory element. It is possible to do it. It should be noted that such a flying type magnetic head is adopted in an existing hard disk, and the flying height of the hard disk is usually on the order of submicron.

ところで、上記の浮上型磁気ヘッドを用いた光磁気記
録において、浮上型磁気ヘッドは光磁気メモリ素子の定
速回転中には光磁気メモリ素子との間に生じる空気流に
より一定の浮上量を保つが、光磁気メモリ素子の回転開
始及び終了時並びに光磁気メモリ素子の停止中には浮上
型磁気ヘッドを何らかの方法で支持する必要がある。こ
の支持方法としては、(i)浮上型磁気ヘッドの支持機
構に工夫を加え、光磁気メモリ素子の停止中等に浮上型
磁気ヘッドが光磁気メモリ素子に接触しないように支持
する方法、(ii)光磁気メモリ素子の回転の開始、終了
時及び停止中に浮上型磁気ヘッドを光磁気メモリ素子上
で摺動又は接触させる方法がある。
By the way, in magneto-optical recording using the above-mentioned floating magnetic head, the floating magnetic head maintains a constant flying height due to an airflow generated between the floating magnetic head and the magneto-optical memory element during constant speed rotation of the magneto-optical memory element. However, it is necessary to support the levitation type magnetic head by some method at the time of starting and ending the rotation of the magneto-optical memory element and during the stop of the magneto-optical memory element. As the supporting method, (i) a method of supporting the floating magnetic head so that the floating magnetic head does not come into contact with the magneto-optical memory element while the magneto-optical memory element is stopped, etc., (ii) There is a method of sliding or contacting a floating magnetic head on the magneto-optical memory element at the start, end, and stop of rotation of the magneto-optical memory element.

その内、(i)の方法は、支持機構がかなり複雑とな
る問題がある。一方、(ii)の方法はハードディスクの
分野では一般的であり、CSS(コンタクト・スタート・
アンド・ストップ)方式と呼ばれている。このCSS方式
では、まず、光磁気メモリ素子の表面の耐摺動性が極め
て重要になる。既存のハードディスクにおいては、この
耐摺動性に優れた潤滑層を記録媒体上に形成している。
潤滑層は、例えば、液体潤滑剤であるフッ素系潤滑油
(主にパーフルオロポリエーテル)、固体潤滑剤である
PTFE(ポリテトラフルオロエチレン)等を塗布すること
で形成される。
Among them, the method (i) has a problem that the supporting mechanism is considerably complicated. On the other hand, the method (ii) is generally used in the field of hard disks, and CSS (contact start
And stop) method. In this CSS method, first, the sliding resistance of the surface of the magneto-optical memory element becomes extremely important. In the existing hard disk, this lubricating layer having excellent sliding resistance is formed on the recording medium.
The lubricating layer is, for example, a fluorine-based lubricating oil (mainly perfluoropolyether) that is a liquid lubricant, or a solid lubricant.
It is formed by applying PTFE (polytetrafluoroethylene) or the like.

又、CSS方式においては、回転の開始及び終了時、つ
まり、浮上型磁気ヘッドの摺動時のヘッドクラッシュに
よる情報破壊を防止する必要がある。このため、ハード
ディスクにおいては、通常、記録領域より内周側に設定
されたCSS専用の領域で浮上型磁気ヘッドの摺動・接触
が行われている。なお、光磁気記録再生装置においても
浮上型磁気ヘッドは記録領域以外の領域で摺動させるの
が好ましいと思われる。
Further, in the CSS method, it is necessary to prevent information destruction due to head crash at the start and end of rotation, that is, when the flying magnetic head slides. For this reason, in the hard disk, the flying magnetic head is normally slid and contacted in an area dedicated to CSS which is set on the inner circumference side of the recording area. Also in the magneto-optical recording / reproducing apparatus, it is considered preferable to slide the flying magnetic head in a region other than the recording region.

ところで、従来提案されている光磁気メモリ素子は、
例えば、第5図(a)(b)に示すように、透光性基板
1、記録媒体層2、保護樹脂層3及びセンタハブ4を含
む構成である。
By the way, the conventionally proposed magneto-optical memory device is
For example, as shown in FIGS. 5 (a) and 5 (b), the structure includes a transparent substrate 1, a recording medium layer 2, a protective resin layer 3, and a center hub 4.

透光性基板1としては、射出整形による量産が可能な
ポリカーボネイトが多く用いられ、この透光性基板1に
は情報の記録再生に使用する光ビームを所定位置に案内
するためのトラック及び番地情報が記録されたガイドト
ラック及びガラス番地溝1aが形成されている。なお、ガ
イドトラック及びガイド番地溝1aは射出整形時に、成形
金型(図示せず)内に設けられたスタンパにより透光性
基板1の成形と同時に形成される。この際に、金型内に
スタンパを固定する部材、いわゆる、スンタパ押えによ
ってスンタパ押え溝1bも副次的に形成される。
Polycarbonate, which can be mass-produced by injection molding, is often used as the translucent substrate 1. The translucent substrate 1 has track and address information for guiding a light beam used for recording and reproducing information to a predetermined position. A guide track in which is recorded and a glass address groove 1a are formed. The guide track and the guide address groove 1a are formed simultaneously with the molding of the translucent substrate 1 by a stamper provided in a molding die (not shown) during injection molding. At this time, the member for fixing the stamper in the mold, that is, the so-called suntaper pressing, also forms the suntapa pressing groove 1b as a subordinate.

記録媒体層2はガイドトラック及びガイド番地溝1aを
覆う状態で形成され、例えば、透光性基板1側から順
次、第1の透明誘電体膜、光磁気記録媒体である希土類
遷移金属合金薄膜、第2の透明誘電体及び反射膜が積層
された多層構造をなしている(図では単に1層として示
す)。
The recording medium layer 2 is formed in a state of covering the guide track and the guide address groove 1a. For example, the first transparent dielectric film, the rare earth-transition metal alloy thin film which is a magneto-optical recording medium are sequentially arranged from the transparent substrate 1 side. It has a multi-layer structure in which the second transparent dielectric and the reflective film are laminated (only one layer is shown in the figure).

保護樹脂層3は記録媒体層2に損傷及び塵埃等が付く
のを防止するとともに、酸化を防止する役割を果たすも
のである。保護樹脂層3の材料としては、耐水性、耐環
境性に優れており、かつ、作業性、プロセス時間等の点
でも有利な紫外線硬化型樹脂が多用されている。保護樹
脂層3は主にスピンコート法により形成される。その
際、上記紫外線硬化型樹脂は、例えば、スンタパ押え溝
1bの外側エッジ部に滴下させて記録媒体層2を覆う状態
でスピンコート法により塗布した後、紫外線を照射して
硬化させる。
The protective resin layer 3 serves to prevent damage and dust from adhering to the recording medium layer 2 and to prevent oxidation. As the material of the protective resin layer 3, an ultraviolet curable resin which is excellent in water resistance and environment resistance and is advantageous in terms of workability and process time is often used. The protective resin layer 3 is mainly formed by a spin coating method. At that time, the ultraviolet curable resin is, for example, a suntapa holding groove.
After being dropped on the outer edge portion of 1b and applied by spin coating while covering the recording medium layer 2, it is irradiated with ultraviolet rays to be cured.

センタハブ4は透光性基板1の中央に設けられた穴1c
の中心と、ガイドトラック及びガイド番地溝1aとの間に
通常若干の偏心があるので、これを吸収しつつ、光磁気
メモリ素子を記録再生装置の回転スピンドルに装着する
ための治具である。センタハブ4には記録再生装置の回
転スピンドル5(第6図(b)参照)に装着するための
ガイド穴4aが設けられる。センタハブ4の材料として
は、回転スピンドル5に対し、マグネット装着が多用さ
れるため、SUS430等のステンレス鋼が用いられる。
The center hub 4 is a hole 1c provided in the center of the transparent substrate 1.
Since there is usually a slight eccentricity between the center of the disk and the guide track and the guide address groove 1a, the jig is a jig for absorbing the eccentricity and mounting the magneto-optical memory element on the rotary spindle of the recording / reproducing apparatus. The center hub 4 is provided with a guide hole 4a for mounting the rotary spindle 5 (see FIG. 6B) of the recording / reproducing apparatus. The center hub 4 is made of stainless steel, such as SUS430, because a magnet is often attached to the rotary spindle 5.

又、センタハブ4の形状としては、第5図(b)のよ
うに、上端部に外向きフランジ4bが形成されたものが多
用され、外向きフランジ4bが透光性基板1における記録
媒体層2の形成された表面に適宜の接着剤、例えば、エ
ポキシ系接着剤、シリコーン系接着剤、紫外線硬化型樹
脂又は両面テープ等により取り付けられている。
Further, as the shape of the center hub 4, as shown in FIG. 5 (b), a shape in which an outward flange 4b is formed at the upper end is often used, and the outward flange 4b is used as the recording medium layer 2 on the transparent substrate 1. It is attached to the surface on which is formed an appropriate adhesive, for example, an epoxy adhesive, a silicone adhesive, an ultraviolet curable resin or a double-sided tape.

上記の光磁気メモリ素子に対し、CSS方式で記録再生
を行う記録再生装置を第6図(a)(b)に示す。
FIGS. 6A and 6B show a recording / reproducing apparatus for performing recording / reproducing on the magneto-optical memory element by the CSS method.

回転スピンドル5上に第5図(a)(b)の光磁気メ
モリ素子がマグネット装着され、この光磁気メモリ素子
の図中上側に浮上型磁気ヘッド6が配置されている。浮
上型磁気ヘッド6は板ばねからなるサスペンション7の
突出端部により支持され、サスペンション7の基端部は
支持ベース8に接続されている。浮上型磁気ヘッド6
は、光磁気メモリ素子上で摺動するスライダ6aと、コイ
ル及びコイル芯(具体的に図示せず)からなる磁界発生
部材6bとを備えている。
The magneto-optical memory element shown in FIGS. 5A and 5B is magnet-mounted on the rotary spindle 5, and the floating magnetic head 6 is arranged above the magneto-optical memory element in the figure. The floating magnetic head 6 is supported by a projecting end of a suspension 7 made of a leaf spring, and the base end of the suspension 7 is connected to a support base 8. Flying magnetic head 6
Includes a slider 6a that slides on the magneto-optical memory device, and a magnetic field generating member 6b that includes a coil and a coil core (not specifically shown).

一方、光磁気メモリ素子の図中下側に光学系ユニット
を含む光ヘッド9が配置されている。この光ヘッド9と
浮上型磁気ヘッド6は連動して光磁気メモリ素子の半径
方向に移動する必要があるため、支持ベース8が光ヘッ
ド9に接続されている。光ヘッド9の対物レンズ9aは浮
上型磁気ヘッド6の磁界発生部材6bに対応する位置に配
置されている。
On the other hand, an optical head 9 including an optical system unit is arranged on the lower side of the magneto-optical memory device in the figure. Since the optical head 9 and the floating magnetic head 6 need to move in the radial direction of the magneto-optical memory element in conjunction with each other, the support base 8 is connected to the optical head 9. The objective lens 9a of the optical head 9 is arranged at a position corresponding to the magnetic field generating member 6b of the floating magnetic head 6.

上記の構成において、浮上型磁気ヘッド6がCSS方式
による摺動を行い得る範囲がどの程度であるか、仮に求
めてみると以下のようになる。
In the above-mentioned configuration, the range in which the flying magnetic head 6 can slide by the CSS method is tentatively calculated as follows.

まず、透光性基板1が民生用としての需要が最も期待
される直径3.5インチ(8.6mm)のものであるとすると、
ガイドトラック及びガイド番地溝1aが設けられる記録領
域は半径22〜40mm程度の範囲となる。この記録領域での
光磁気記録特性を確保するには、記録媒体層2を半径
r1′(第5図(a))=20.5mm〜半径r2′=41.5mm程度
の範囲に形成することが望ましい。
First, assuming that the transparent substrate 1 has a diameter of 3.5 inches (8.6 mm), which is expected to be most demanded for consumer use,
The recording area in which the guide track and the guide address groove 1a are provided has a radius of 22 to 40 mm. In order to secure the magneto-optical recording characteristics in this recording area, the radius of the recording medium layer 2 is set.
It is desirable to form r 1 ′ (FIG. 5 (a)) = 20.5 mm to radius r 2 ′ = 41.5 mm.

又、浮上型磁気ヘッド6におけるスライダ6aのサイズ
は浮上特性等から決定されるが、上記の光磁気メモリ素
子に対しては半径方向に4mm、円周方向に5mm程度の摺動
面が必要となる。
Further, the size of the slider 6a in the flying type magnetic head 6 is determined by the flying characteristics and the like, but a sliding surface of about 4 mm in the radial direction and about 5 mm in the circumferential direction is required for the above magneto-optical memory element. Become.

上記の各サイズに基づいて考慮すると、光磁気メモリ
素子の記録領域より外周側で浮上型磁気ヘッド6の摺動
を行わせることは困難であり、摺動領域(CSS領域)は
必然的に記録領域より内周側となる。ここで、記録領域
の情報の破壊を避けるためには、記録領域が半径r1′=
20.5mmより外側に設けられるのであれば、CSS領域は半
径20mmより内側に設けるのが好ましい。
Considering each of the above sizes, it is difficult to slide the flying magnetic head 6 on the outer peripheral side of the recording area of the magneto-optical memory element, and the sliding area (CSS area) is inevitably recorded. It is on the inner side of the area. Here, in order to avoid destruction of information in the recording area, the recording area has a radius r 1 ′ =
If it is provided outside of 20.5 mm, it is preferable that the CSS area is provided within a radius of 20 mm.

次に、CSS領域が内周側にどの程度の半径位置まで取
り得るかを考慮すると、内周側での制限は回転スピンド
ル5の外周面と光ヘッド9の内周端との接触が生じない
ようにという点から決定される。
Next, considering how far the CSS area can be located on the inner peripheral side, the inner peripheral restriction does not cause contact between the outer peripheral surface of the rotary spindle 5 and the inner peripheral end of the optical head 9. It is decided from the point that.

回転スピンドル5の外径は、モータトルク及び、光磁
気メモリ素子を装着する際の基準面となるクランピング
ゾーンの面積等により決定され、ここでは、ほぼ21mm
(半径10.5mm)となる。一方、光ヘッド9は対物レンズ
9aを中心として光ビームのサーボを安定して行うための
アクチュエータ(図示せず)が設けられ、又、塵埃等か
ら光学部品を保護するための筐体で覆われるため、ビー
ム中心から光ヘッド9の内周端までの距離は最小でも8.
5mm程度必要である。これらの寸法から回転スピンドル
5と光ヘッド9が接触しない光ビーム中心位置(つま
り、磁界発生部材6bの位置)は半径19mmより外側とな
る。
The outer diameter of the rotary spindle 5 is determined by the motor torque and the area of the clamping zone that serves as a reference surface when the magneto-optical memory element is mounted.
(Radius 10.5 mm). On the other hand, the optical head 9 is an objective lens
An actuator (not shown) for stably performing the servo of the light beam centering on 9a is provided, and since it is covered with a housing for protecting optical components from dust and the like, the optical head The minimum distance to the inner edge of is 8.
About 5 mm is required. Due to these dimensions, the center position of the light beam (that is, the position of the magnetic field generating member 6b) where the rotary spindle 5 and the optical head 9 do not contact is outside the radius of 19 mm.

従って、CSS動作時における磁界発生部材6bの半径位
置は半径20〜19mmの範囲となり、浮上型磁気ヘッド6が
CSS動作を行う領域は極めて限られた範囲に限定され
る。
Therefore, the radial position of the magnetic field generating member 6b during CSS operation is in the range of 20 to 19 mm in radius, and the floating magnetic head 6 is
The area where CSS operation is performed is limited to a very limited range.

更に、透光性基板1上のスンタパ押え溝1bは、前述の
如く、スンタパを金型に固定するためのスンタパ押え部
材が透光性基板1に転写されることにより、単に副次的
に形成されるものであるから、スンタパ押え溝1bの形成
位置はあまり内周側にずらすことはできず、最も内周側
にずらしたとしてもその外周端は半径15mm前後の位置と
なる(なお、スンタパ押え溝1bは溝幅は約1mm)。
Further, as described above, the suntaper pressing groove 1b on the transparent substrate 1 is formed as a secondary by simply transferring the suntapa pressing member for fixing the suntapa to the mold to the transparent substrate 1. Therefore, the formation position of the suntapa pressing groove 1b cannot be shifted to the inner peripheral side so much, and even if it is shifted to the innermost peripheral side, the outer peripheral end is a position with a radius of about 15 mm (note that the suntapa The holding groove 1b has a groove width of about 1 mm).

又、センタハブ4は透光性基板1に対する接着強度、
平面度の点からある程度の接着面積を確保する必要があ
るの、その直径が、例えば28mm程度とされる。以上のよ
うに、スンタパ押え溝1bの位置及びセンタハブ4の接着
面積等の点からもCSS領域が制限を受ける。
Further, the center hub 4 has an adhesive strength to the transparent substrate 1,
It is necessary to secure a certain adhesion area from the viewpoint of flatness, and the diameter is, for example, about 28 mm. As described above, the CSS area is also limited in terms of the position of the suntapa pressing groove 1b, the bonding area of the center hub 4, and the like.

〔発明が解決しようとする課題〕[Problems to be Solved by the Invention]

以上の点からCSS動作を行い得る領域は、半径15〜20m
mの極めて狭い範囲となる。この結果、磁界発生部材6b
を含めた浮上型磁気ヘッド6の形状に制約が加えられる
ことになり、浮上特性に関する自由度が小さくなる。
From the above points, the area that can perform CSS operation is a radius of 15 to 20 m.
It is an extremely narrow range of m. As a result, the magnetic field generation member 6b
The shape of the flying magnetic head 6 including the above is restricted, and the degree of freedom regarding the flying characteristics is reduced.

更に、記録媒体層2を保護する保護樹脂層3は、スン
タパ押え溝1bの外周エッジを基準として同心円状に形成
されるものである。ところで、浮上型磁気ヘッド6は保
護樹脂層3の表面との間で生じる空気流により浮上力を
得るため、CSS動作時に浮上型磁気ヘッド6のスライダ6
a全面に対向して保護樹脂層3が存在する必要がある。
その場合、スライダ6aの一部が保護樹脂層3より内周側
にずれ込むと、空気流の乱れにより浮上特性に悪影響が
生じる。
Further, the protective resin layer 3 for protecting the recording medium layer 2 is formed concentrically with the outer peripheral edge of the suntapa pressing groove 1b as a reference. By the way, since the floating magnetic head 6 obtains a floating force by the air flow generated between the floating magnetic head 6 and the surface of the protective resin layer 3, the slider 6 of the floating magnetic head 6 is operated during CSS operation.
a The protective resin layer 3 must be present so as to face the entire surface.
In that case, if a part of the slider 6a shifts inward from the protective resin layer 3, the turbulence of the air flow adversely affects the flying characteristics.

なお、スライダ6aが保護樹脂層3より内周側にずれ込
まないとしても、保護樹脂層3のエッジとスライダ6aの
エッジが極めて近接している第6図(a)(b)の構成
においても、空気流の乱れの心配があり、理想的な状態
であるとは言えない。
Even if the slider 6a does not slip inward from the protective resin layer 3, the edge of the protective resin layer 3 and the edge of the slider 6a are extremely close to each other in the configuration of FIGS. 6 (a) and 6 (b). However, there is concern about turbulence in the air flow, so it cannot be said that it is in an ideal state.

又、保護樹脂層3は極めて酸化されやすい希土類遷移
金属合金薄膜を保護するための耐水、耐湿性等の耐環境
性に主眼が置かれているために、CSS動作に対する耐摺
動性、耐磨耗性の点で充分な特性が得られず、スライダ
6aが保護樹脂層3に粘着したり、磨耗粉が生じる等の問
題がある。耐摺動性、耐磨耗性と耐環境性を兼ね備えた
保護樹脂は未だ開発途上である。一方、耐摺動性、耐磨
耗性に優れたフッ素系高分子材料では、充分な耐環境性
が得られないことが確認されている。
Further, since the protective resin layer 3 is focused on environment resistance such as water resistance and moisture resistance for protecting the rare earth transition metal alloy thin film which is extremely easily oxidized, it has sliding resistance and abrasion resistance against CSS operation. In terms of wear resistance, sufficient characteristics were not obtained, and the slider
There are problems such as 6a sticking to the protective resin layer 3 and abrasion powder. A protective resin that has both sliding resistance, abrasion resistance and environmental resistance is still under development. On the other hand, it has been confirmed that a fluoropolymer material having excellent sliding resistance and abrasion resistance cannot provide sufficient environment resistance.

そこで、保護樹脂層3上に更にフッ素系高分子樹脂を
形成することは容易に考えられるが、これが工数の増
加、コスト高に結び付くとともに、2種類の樹脂間の親
和性も不充分であることが懸念され、有効な方法と言え
ない。
Therefore, it is easily conceivable to further form a fluoropolymer resin on the protective resin layer 3, but this leads to an increase in the number of steps and cost, and the affinity between the two resins is insufficient. There is a concern that this is not an effective method.

〔課題を解決するための手段〕[Means for solving the problem]

本発明に係る光磁気メモリ素子は、上記の課題を解決
するために、基板と、基板上に形成された光磁気記録媒
体と、光磁気記録媒体を覆う保護樹脂層と、光磁気記録
媒体より内周側で基板に取り付けられたセンタハブとを
有し、浮上型磁気ヘッドを用いて情報の記録を行う光磁
気メモリ素子において、上記基板における光磁気記録媒
体の形成位置より内周側に凹状段差部が設けられ、この
凹状段差部にセンタハブは上記保護樹脂層とほぼ同一面
をなすように取り付けられるとともに、センタハブ上に
浮上型磁気ヘッドの摺動・接触領域が設けられているこ
とを特徴とするものである。
In order to solve the above problems, a magneto-optical memory device according to the present invention comprises a substrate, a magneto-optical recording medium formed on the substrate, a protective resin layer covering the magneto-optical recording medium, and a magneto-optical recording medium. In a magneto-optical memory element having a center hub attached to the substrate on the inner peripheral side and recording information using a floating magnetic head, a concave step on the inner peripheral side from the formation position of the magneto-optical recording medium on the substrate The center hub is attached to the concave stepped portion so as to be substantially flush with the protective resin layer, and the sliding / contact area of the floating magnetic head is provided on the center hub. To do.

又、本発明に係る光磁気メモリ素子の製造方法は、上
記の光磁気メモリ素子を製造するに際して、センタハブ
を基板の凹状段差部に取り付けた後に、センタハブの外
周端に密着させて保護樹脂層をセンタハブとほぼ同一面
をなすように形成するようにしたことを特徴としてい
る。
Further, in the method of manufacturing a magneto-optical memory element according to the present invention, in manufacturing the magneto-optical memory element described above, after attaching the center hub to the concave stepped portion of the substrate, it is adhered to the outer peripheral end of the center hub to form the protective resin layer. It is characterized in that it is formed so as to be substantially flush with the center hub.

〔作用〕[Action]

本発明の光磁気メモリ素子によれば、浮上型磁気ヘッ
ドの摺動・接触がセンタハブ上で行われるので、保護樹
脂層上で摺動・接触が行われる場合に比して磨耗粉の発
生及びスクラッチ等の傷の発生が少なくなり、安定した
CSS動作を行うことができるようになる。更に、従来の
センタハブの外径を必要に応じて若干大きくするのみで
本発明の構成を実現できるので、コスト及び工数の点で
不利益は生じない。
According to the magneto-optical memory element of the present invention, since the floating magnetic head slides and contacts on the center hub, abrasion powder is generated and Stable with less scratches
You will be able to perform CSS actions. Further, since the configuration of the present invention can be realized by only slightly increasing the outer diameter of the conventional center hub, no disadvantage occurs in terms of cost and man-hours.

又、センタハブ上には充分広いスペースが存在するの
で、浮上型磁気ヘッドの形状の自由度が増し、それに伴
って浮上特性の設定の自由度も増すとともに、摺動中に
浮上型磁気ヘッドがセンタハブ上からはみ出る恐れはな
いで、浮上特性の安定化をも図ることができる。
In addition, since there is a sufficiently large space above the center hub, the freedom of the shape of the floating magnetic head increases, and so does the freedom of setting the floating characteristics. There is no fear of protruding from above, and it is possible to stabilize the floating characteristics.

更に、基板上に凹状段差部を設けて、この凹状段差部
にセンタハブを取り付けるようにしたので、センタハブ
と保護樹脂層とがほぼ同一面をなすようにすることがで
き、これにより、浮上型磁気ヘッドがセンタハブと保護
樹脂層との境界部を通過する際にも、ヘッドクラッシュ
が生じる恐れはなくなる。
Further, since the concave step portion is provided on the substrate and the center hub is attached to the concave step portion, the center hub and the protective resin layer can be made to be substantially flush with each other, which allows the floating magnetic field to be formed. Even when the head passes through the boundary between the center hub and the protective resin layer, there is no risk of head crash.

一方、本発明に係る光磁気メモリ素子の製造方法によ
れば、基板上にセンタハブを取り付けた後、保護樹脂層
を形成するようにしたので、センタハブの外周端に密着
させて保護樹脂層が形成された光磁気メモリ素子を再現
性良く製造することができる。この光磁気メモリ素子で
は、センタハブの外周端と保護樹脂層との間に間隙が生
じないので、浮上型磁気ヘッドがセンタハブと保護樹脂
層との境界部を通過する際にも浮上特性に変化は生じ
ず、ヘッドクラッシュは更に生じにくくなる。
On the other hand, according to the method of manufacturing a magneto-optical memory device of the present invention, the protective resin layer is formed after the center hub is mounted on the substrate, so that the protective resin layer is formed by closely contacting the outer peripheral edge of the center hub. The manufactured magneto-optical memory device can be manufactured with good reproducibility. In this magneto-optical memory element, since there is no gap between the outer peripheral edge of the center hub and the protective resin layer, the floating characteristic does not change even when the floating magnetic head passes through the boundary between the center hub and the protective resin layer. It does not occur, and head crush is even less likely to occur.

〔実施例〕〔Example〕

本発明の一実施例を第1図乃至第4図に基づいて説明
すれば、以下の通りである。
One embodiment of the present invention will be described below with reference to FIGS. 1 to 4.

本実施例に係る光磁気メモリ素子は、第2図(a)
(b)及び第3図(a)に示すように、透光性基板11
と、透光性基板11上に形成された光磁気記録媒体として
の記録媒体層12(図の簡略化のため第2図(b)には不
図示)と、透光性基板11を覆う保護樹脂層13と、透光性
基板11の中央に取り付けられたセンタハブ14とを備えて
いる。
The magneto-optical memory device according to this embodiment is shown in FIG.
As shown in FIGS. 3B and 3A, the transparent substrate 11
A recording medium layer 12 as a magneto-optical recording medium formed on the transparent substrate 11 (not shown in FIG. 2B for simplification of the figure), and protection for covering the transparent substrate 11. A resin layer 13 and a center hub 14 attached to the center of the transparent substrate 11 are provided.

透光性基板11はポリカーボネイト等の透光性を有する
樹脂を射出成形することで得られたもので、光ヘッド20
(第1図(b)参照)から出射されるレーザビームを所
望の記録・再生部位に案内するためのトラック及び番地
情報が記録されているガイドトラック及びガイド番地溝
11a(第2図(b)には図示せず)が射出成形時に同時
に形成されている。
The translucent substrate 11 is obtained by injection molding a translucent resin such as polycarbonate, and the optical head 20
A guide track and a guide address groove in which track information and address information for guiding a laser beam emitted from (see FIG. 1B) to a desired recording / reproducing portion are recorded.
11a (not shown in FIG. 2 (b)) is simultaneously formed at the time of injection molding.

更に、透光性基板11上の記録媒体層12より内周側のセ
ンタハブ14を接着する範囲には、センタハブ14の外向き
フランジ14bの外径より若干大きい内径を有する凹状段
差部11bが設けられている。この凹状段差部11bは、透光
性基板11を射出成形により製造する際に、スタンパ及び
スタンパ押え部材(図示せず)の形状を工夫することに
より形成される。
Further, a concave step portion 11b having an inner diameter slightly larger than the outer diameter of the outward flange 14b of the center hub 14 is provided in the range where the center hub 14 on the inner peripheral side of the recording medium layer 12 on the translucent substrate 11 is bonded. ing. The recessed step portion 11b is formed by devising the shapes of the stamper and the stamper pressing member (not shown) when the translucent substrate 11 is manufactured by injection molding.

記録媒体層12は透光性基板11上のガイドトラック及び
ガイド番地溝11aを覆う状態で形成されている。記録媒
体層12は、透光性基板11側から、例えば、順次第1の透
明誘電体膜、光磁気記録媒体である希土類遷移金属合金
薄膜、第2の透明誘電体膜及び順次金属反射膜が積層さ
れた多層構造となっている(第3図(a)には、簡単の
ため単に1層として示す)。
The recording medium layer 12 is formed so as to cover the guide track and the guide address groove 11a on the transparent substrate 11. The recording medium layer 12 includes, for example, a first transparent dielectric film, a rare earth transition metal alloy thin film that is a magneto-optical recording medium, a second transparent dielectric film, and a sequential metal reflective film in that order from the transparent substrate 11 side. It has a laminated multi-layer structure (only one layer is shown in FIG. 3A for simplicity).

保護樹脂層13は記録媒体層12を覆う状態で、記録媒体
層12よりやや広い半径範囲に渡って形成され、記録媒体
層12の酸化及び損傷を防止するようになっている。保護
樹脂層13の材料としては、例えば、紫外線硬化型樹脂が
使用される。
The protective resin layer 13 covers the recording medium layer 12 and is formed over a slightly wider radius range than the recording medium layer 12 so as to prevent the recording medium layer 12 from being oxidized and damaged. As a material for the protective resin layer 13, for example, an ultraviolet curable resin is used.

センタハブ14は、透光性基板11の中央の穴11cの中心
とガイドトラック及びガイド番地溝11aとの間の偏心を
吸収しつつ光磁気メモリ素子を第1図(a)(b)に示
す記録再生装置の回転スピンドル21に装着するためのも
のである。センタハブ14上で浮上型磁気ヘッド16の摺動
・接触を行わせるために、センタハブ14の外径は従来の
ものより大きくされている。
The center hub 14 absorbs the eccentricity between the center of the hole 11c at the center of the transparent substrate 11 and the guide track and the guide address groove 11a, while recording the magneto-optical memory device as shown in FIGS. 1 (a) and 1 (b). It is for mounting on the rotary spindle 21 of the reproducing apparatus. The outer diameter of the center hub 14 is made larger than that of the conventional one so that the floating magnetic head 16 can slide and contact on the center hub 14.

センタハブ14の材料としては、中心のガイド穴14aを
利用し、上記回転スピンドル21にマグネット装着させる
必要上、及び加工性の点からステンレス鋼(SUS430等)
が使用される。
As the material of the center hub 14, a stainless steel (SUS430 etc.) is used because the center guide hole 14a is used and it is necessary to attach a magnet to the rotary spindle 21 and in terms of workability.
Is used.

センタハブ14は、上端部に設けた外向きフランジ14b
の部位で透光性基板11の凹状段差部11b内に接着剤層15
により接着されている。接着剤層15としては、接着強
度、作業性等を考慮して速乾性エポキシ系接着剤或いは
紫外線硬化型樹脂等が使用される。
The center hub 14 has an outward facing flange 14b provided on the upper end.
The adhesive layer 15 is formed in the concave step portion 11b of the transparent substrate 11 at
Are glued by. As the adhesive layer 15, a quick-drying epoxy adhesive, an ultraviolet curable resin, or the like is used in consideration of adhesive strength, workability, and the like.

上記光磁気メモリ素子の各部の寸法は、例えば、透光
性基板11として外径が86mm、中央の穴11cの内径が15m
m、厚みが1.2mmのポリカーボネイト製基板を使用する場
合、ガイドトラック及びガイド番地溝11aを設ける領域
は半径22〜40mmの範囲とする。又、記録媒体層12を形成
する領域は、半径r1(第2図(a))=20.5mm〜半径r2
=41.5mmの範囲とする。
The dimensions of each part of the magneto-optical memory element are, for example, an outer diameter of the transparent substrate 11 of 86 mm and an inner diameter of the central hole 11c of 15 m.
When a polycarbonate substrate having a thickness of m and a thickness of 1.2 mm is used, the area where the guide track and the guide address groove 11a are provided has a radius of 22 to 40 mm. Further, the area where the recording medium layer 12 is formed has a radius r 1 (FIG. 2A) = 20.5 mm to a radius r 2
= 41.5mm range.

浮上型磁気ヘッド16が摺動・接触(CSS)を行う領域
を半径20mmの位置より内周側とすると、センタハブ14の
外径は40mmとするのが好ましい。又、センタハブ14の板
厚はマグネットによる吸着性及び機械特性(剛性、平面
特性等)等を考慮して0.3mm程度とされる。
When the area where the floating magnetic head 16 slides / contacts (CSS) is located on the inner peripheral side of the position with a radius of 20 mm, the outer diameter of the center hub 14 is preferably 40 mm. Further, the plate thickness of the center hub 14 is set to about 0.3 mm in consideration of the attraction by the magnet and mechanical characteristics (rigidity, flatness characteristics, etc.).

上記の光磁気メモリ素子においては、センタハブ14と
保護樹脂層13の表面高さを同一とするか又は浮上型磁気
ヘッド16の浮上特性に悪影響を及ぼさない程度の僅かな
高さずれに留めることが重要である。
In the magneto-optical memory device described above, the center hub 14 and the protective resin layer 13 may have the same surface height, or may have a slight height deviation that does not adversely affect the floating characteristics of the floating magnetic head 16. is important.

すなわち、浮上型磁気ヘッド6は、光磁気メモリ素子
の回転の開始に伴ってセンタハブ14上の摺動・接触領域
(CSS領域)で摺動して浮上した後、光ヘッド20から出
射されるレーザビームと連動して光磁気メモリ素子上を
半径方向にアクセス動作するものであるが、センタハブ
14と保護樹脂層13の境界部で大きな高さずれがあると、
ヘッドクラッシュが生じる恐れがある。
That is, the floating magnetic head 6 slides and floats in the sliding / contact area (CSS area) on the center hub 14 with the start of rotation of the magneto-optical memory element, and then the laser emitted from the optical head 20. The center hub operates to access the magneto-optical memory element in the radial direction in conjunction with the beam.
If there is a large height difference at the boundary between 14 and the protective resin layer 13,
Head crash may occur.

従って、上記のように、センタハブ14の板厚が0.3mm
であり、かつ、接着剤層15の厚みが0.05mm前後、保護樹
脂層13の厚みが0.01mm(10μm)前後であれば、凹状段
差部11bの深さを0.34mm前後として置くことにより、セ
ンタハブ14の外向きフランジ14bと保護樹脂層13の表面
高さをほぼ一致させることができる。
Therefore, as described above, the thickness of the center hub 14 is 0.3 mm.
If the adhesive layer 15 has a thickness of about 0.05 mm and the protective resin layer 13 has a thickness of about 0.01 mm (10 μm), the concave stepped portion 11b is set to have a depth of about 0.34 mm, thereby providing a center hub. The surface height of the outward flange 14b of 14 and the surface height of the protective resin layer 13 can be made substantially the same.

凹状段差部11bの内径は、センタハブ14がガイドトラ
ック及びガイド番地溝11aの偏心を吸収する役割を有し
ていることを考慮し、前述の如く、センタハブ14の外径
より若干大きくする必要がある。具体的には凹状段差部
11bの内径はセンタハブ14の外径より0.3mm程度大きくし
て、40.3mm程度とすれば良い。
Considering that the center hub 14 has a role of absorbing the eccentricity of the guide track and the guide address groove 11a, the inner diameter of the concave step portion 11b needs to be slightly larger than the outer diameter of the center hub 14 as described above. . Specifically, the concave step
The inner diameter of 11b may be about 0.3 mm larger than the outer diameter of the center hub 14 to be about 40.3 mm.

第1図(a)(b)に示すように、本実施例の光磁気
メモリ素子を使用する記録再生装置は、光磁気メモリ素
子の回転の開始及び終了時並びに停止時にセンタハブ14
の外向きフランジ14b上で摺動・接触するスライダ16a
と、スライダ16aに取り付けられた磁界発生部材16bから
なる浮上型磁気ヘッド16を備え、浮上型磁気ヘッド16
は、その基端部が支持ベース18に固定されたサスペンシ
ョン17により光磁気メモリ素子側に付勢されている。
As shown in FIGS. 1 (a) and 1 (b), the recording / reproducing apparatus using the magneto-optical memory element of this embodiment has a center hub 14 at the start and end of rotation of the magneto-optical memory element and at the time of stop thereof.
Slider 16a that slides and contacts on the outward flange 14b of
And a flying magnetic head 16 comprising a magnetic field generating member 16b attached to the slider 16a.
Is urged toward the magneto-optical memory device side by a suspension 17 whose base end is fixed to a support base 18.

光磁気メモリ素子の下方には、磁界発生部材16bに対
応する位置に対物レンズ20aを有する光ヘッド20が配置
されている。支持ベース18は光ヘッド20に接続され、光
ヘッド20と浮上型磁気ヘッド16が一体的に光磁気メモリ
素子の半径方向に移動するようになっている。
An optical head 20 having an objective lens 20a at a position corresponding to the magnetic field generating member 16b is arranged below the magneto-optical memory element. The support base 18 is connected to the optical head 20, and the optical head 20 and the floating magnetic head 16 are integrally moved in the radial direction of the magneto-optical memory element.

又、光磁気メモリ素子は、センタハブ14のガイド穴14
aの部位で回転スピンドル21により、例えば、マグネッ
ト装着され、図示しないスピンドルモータにより回転さ
れるようになっている。
In addition, the magneto-optical memory device has a guide hole 14 in the center hub 14.
For example, a magnet is attached to the portion a by the rotary spindle 21 and is rotated by a spindle motor (not shown).

上記の構成において、浮上型磁気ヘッド16のスライダ
16aは光磁気メモリ素子の回転の停止時にはセンタハブ1
4の外向きフランジ14b上に接触している。
In the above configuration, the slider of the flying magnetic head 16
16a is the center hub 1 when the rotation of the magneto-optical memory element is stopped.
4 is touching on the outward flange 14b.

記録時には光磁気メモリ素子の回転に伴って外向きフ
ランジ14bとスライダ16aとの間で生じる空気流により浮
上型磁気ヘッド16が浮上する。その後、浮上型磁気ヘッ
ド16及び光ヘッド20を外向きフランジ14b上から記録媒
体層12上に移動させ、レーザビームの照射及び磁界の印
加により、オーバライト方式で所望の情報を記録する。
At the time of recording, the floating magnetic head 16 is levitated by the air flow generated between the outward flange 14b and the slider 16a as the magneto-optical memory element rotates. After that, the flying magnetic head 16 and the optical head 20 are moved from the outward flange 14b onto the recording medium layer 12, and desired information is recorded by an overwrite method by irradiating a laser beam and applying a magnetic field.

記録が終了すると、再度浮上型磁気ヘッド16を外向き
フランジ14b上に移動させた後、光磁気メモリ素子の回
転速度を次第に低下させると、浮上型磁気ヘッド16が外
向きフランジ16a上で摺動した後、光磁気メモリ素子の
回転の停止に伴って外向きフランジ14b上で静止する。
After the recording is completed, the floating magnetic head 16 is moved again onto the outward flange 14b, and then the rotating speed of the magneto-optical memory element is gradually decreased, so that the floating magnetic head 16 slides on the outward flange 16a. After that, the magneto-optical memory device stops on the outward flange 14b as the rotation of the magneto-optical memory device stops.

上記の構成では、浮上型磁気ヘッド16の摺動・接触動
作がSUS430等のステンレス鋼からなるセンタハブ14上で
行われるため、磨耗・摺動性の点で何ら問題は生じず、
安定したCSS動作を行うことができる。
In the above configuration, since the sliding / contacting operation of the floating magnetic head 16 is performed on the center hub 14 made of stainless steel such as SUS430, there is no problem in terms of wear and slidability.
Stable CSS operation can be performed.

又、センタハブ14の取付けに用いられる凹状段差部11
bは、透光性基板11の射出成形時に、スタンパ押え部材
の形状に工夫を加えるのみで形成することができるの
で、製造コスト、工数の点で従来より不利になることは
ない。
In addition, the concave step portion 11 used for mounting the center hub 14
Since b can be formed by simply modifying the shape of the stamper pressing member when the transparent substrate 11 is injection-molded, there is no disadvantage in comparison with the conventional method in terms of manufacturing cost and man-hours.

更に、センタハブ14の材質を従来のものから変更する
必要はなく、外径のみを大きくすれば良いので、CSS動
作のために、別の部材又は潤滑層等を設ける場合に比し
て、コスト、工数の点で有利である。
Furthermore, it is not necessary to change the material of the center hub 14 from the conventional one, and only the outer diameter needs to be increased.Therefore, compared to the case where another member or a lubricating layer is provided for CSS operation, the cost, It is advantageous in terms of man-hours.

又、第1図(a)(b)及び従来例を示す第6図
(a)(b)を比較すれば明らかなように、本実施例で
は、従来より外径が大きくされた外向きフランジ14b上
で浮上型磁気ヘッド16の摺動を行うようにしているの
で、摺動・接触領域を従来より大幅に広く取ることがで
きる。その結果、浮上型磁気ヘッド16のスライダ16aの
形状の自由度が増すので、浮上特性(浮上量等)の設定
の自由度が増し、かつ、摺動時に浮上型磁気ヘッド16
が、摺動領域である外向きフランジ14bからはみ出す恐
れもないので、浮上特性の安定化も図ることができる。
Further, as is clear by comparing FIGS. 1 (a) and (b) with FIGS. 6 (a) and (b) showing the conventional example, in the present embodiment, the outward flange having a larger outer diameter than the conventional one. Since the floating magnetic head 16 is slid on 14b, the sliding / contact area can be made much wider than before. As a result, the degree of freedom in the shape of the slider 16a of the flying magnetic head 16 is increased, so that the degree of freedom in setting the flying characteristics (flying amount, etc.) is increased, and the flying magnetic head 16 during sliding is increased.
However, since there is no fear of protruding from the outward flange 14b, which is a sliding region, it is possible to stabilize the floating characteristic.

ところで、本実施例の光磁気メモリ素子では、センタ
ハブ14の外径より凹状段差部11bの内径を若干大きくし
ている。例えば、上記の如く、センタハブ14の外径より
凹状段差部11bの内径を0.3mm程度大きくすると、外向き
フランジ14bの外周面と凹状段差部11bの内側面との間に
0.15mm程度の間隙が生じる。光磁気メモリ素子の完成時
にこの間隙がそのまま残っていると、光磁気メモリ素子
表面の空気流に乱れが生じ、浮上型磁気ヘッド16の浮上
特性に悪影響を及ぼす恐れがある。従って、光磁気メモ
リ素子の完成時には、上記の間隙は存在しないことが好
ましい。
By the way, in the magneto-optical memory element of the present embodiment, the inner diameter of the concave step portion 11b is slightly larger than the outer diameter of the center hub 14. For example, as described above, when the inner diameter of the recessed stepped portion 11b is made larger than the outer diameter of the center hub 14 by about 0.3 mm, the space between the outer peripheral surface of the outward flange 14b and the inner side surface of the recessed stepped portion 11b is increased.
A gap of about 0.15 mm occurs. If this gap is left as it is when the magneto-optical memory element is completed, the air flow on the surface of the magneto-optical memory element is disturbed, which may adversely affect the flying characteristics of the floating magnetic head 16. Therefore, it is preferable that the above gap does not exist when the magneto-optical memory device is completed.

ところが、本実施例の光磁気メモリ素子の製造に際し
て、従来と同様に透光性基板11に記録媒体層12及び保護
樹脂層13を形成した後、センタハブ14を取り付けるよう
にすると、第3図(b)に示すよう、外向きフランジ14
bの外周面と凹状段差部11bの内側面との間の間隙24が残
る不具合がある。
However, when the magneto-optical memory element of this embodiment is manufactured, if the center hub 14 is attached after forming the recording medium layer 12 and the protective resin layer 13 on the translucent substrate 11 as in the conventional case, as shown in FIG. outward flange 14 as shown in b)
There is a problem that a gap 24 remains between the outer peripheral surface of b and the inner surface of the concave step portion 11b.

すなわち、センタハブ14の取付け前に、透光性基板11
にスピンコート法で保護樹脂層13を形成する場合、保護
樹脂層13の材料である液状の紫外線硬化型樹脂は凹状段
差部11bの内側面上端の角部Aを基準に滴下され、スピ
ンナの回転により透光性基板11及び記録媒体層12上に同
心円状に拡がるが、凹状段差部11b内には若干の回り込
みが生じる程度である。従って、上記紫外線硬化型樹脂
を硬化させて保護樹脂層13を形成した後、センタハブ14
を取り付けると、凹状段差部11bの内側面とセンタハブ1
4との間に間隙24が生じることになる。
That is, before the center hub 14 is attached, the transparent substrate 11
When the protective resin layer 13 is formed by the spin coating method, the liquid ultraviolet curable resin, which is the material of the protective resin layer 13, is dropped with reference to the corner A at the upper end of the inner side surface of the concave step 11b, and the spinner is rotated. Thus, it spreads concentrically on the translucent substrate 11 and the recording medium layer 12, but a slight wraparound occurs within the concave stepped portion 11b. Therefore, after the ultraviolet curable resin is cured to form the protective resin layer 13, the center hub 14
, The inner surface of the concave step 11b and the center hub 1
There will be a gap 24 between 4 and 4.

逆に言えば、上記の紫外線硬化型樹脂が凹状段差部11
b内に流入して凹状段差部11b内まで保護樹脂層13が形成
されると、センタハブ14の取付けの障害となるので、セ
ンタハブ14の取付け前に保護樹脂層13を形成するのであ
れば、間隙24は不可欠である。以上のように、本実施例
において、従来と同様にセンタハブ14の取付けを保護樹
脂層13の形成後に行うと、間隙24はなくすことができな
い。
To put it the other way around, the above-mentioned UV curable resin causes the concave step 11
If the protective resin layer 13 is formed into the concave stepped portion 11b by flowing into b, it hinders the attachment of the center hub 14, so if the protective resin layer 13 is formed before attaching the center hub 14, the gap 24 is essential. As described above, in this embodiment, if the center hub 14 is attached after the protective resin layer 13 is formed as in the conventional case, the gap 24 cannot be eliminated.

そこで、本実施例では、センタハブ14を取り付けた
後、保護樹脂層13を形成することにより、両者間の間隙
をなくすようにしている。
Therefore, in this embodiment, after the center hub 14 is attached, the protective resin layer 13 is formed to eliminate the gap between the two.

すなわち、本実施例においては、光磁気メモリ素子の
製造に際し、まず、ガイドトラック及びガイド番地溝11
a及び凹状段差部11bが設けられた透光性基板11を射出成
形により得る。
That is, in this embodiment, when manufacturing the magneto-optical memory device, first, the guide track and the guide address groove 11 are formed.
The translucent substrate 11 provided with a and the concave step portion 11b is obtained by injection molding.

そして、必要に応じて、洗浄、ベイク(脱ガスのた
め)等の成形前処理を行った後、スパッタリングによ
り、多層膜からなる記録媒体層12を形成する。
Then, if necessary, after pre-processing such as cleaning and baking (for degassing), the recording medium layer 12 made of a multilayer film is formed by sputtering.

次に、記録媒体層12の形成された透光性基板11の凹状
段差部11bにセンタハブ14の外向きフランジ14bを、ガイ
ドトラック及びガイド番地溝11aに対してガイド穴14aが
同心となるように接着剤層15により接着する。この上記
で、外向きフランジ14bの表面は透光性基板11に形成さ
れた記録媒体層12の表面より若干高くなっている。
Next, the outward flange 14b of the center hub 14 is provided on the concave step portion 11b of the transparent substrate 11 on which the recording medium layer 12 is formed, and the guide hole 14a is concentric with the guide track and the guide address groove 11a. Adhesion is made by the adhesive layer 15. At this point, the surface of the outward flange 14b is slightly higher than the surface of the recording medium layer 12 formed on the translucent substrate 11.

続いて、保護樹脂層13の形成工程に移る。まず、第4
図(a)に示すように、記録媒体層12(同図には図示せ
ず)の形成及びセンタハブ14の取付けの行われた透光性
基板11をスピンナーの回転テーブル22上に装着する。装
着は回転テーブル22に設置されたマグネット23により行
われ、必要であれば、真空チャックも同時に行えば良
い。
Then, the process of forming the protective resin layer 13 is performed. First, the fourth
As shown in FIG. 3A, the transparent substrate 11 on which the recording medium layer 12 (not shown in the figure) is formed and the center hub 14 is attached is mounted on the rotary table 22 of the spinner. The attachment is performed by the magnet 23 installed on the rotary table 22, and if necessary, the vacuum chuck may be performed at the same time.

上記の装着状態で、まず、外向きフランジ14bの外周
面と凹状段差部11bの内側面との間の間隙を埋めるた
め、紫外線硬化型樹脂13′をセンタハブ14の外向きフラ
ンジ14bの外周端よりやや外側の透光性基板11上に滴下
させる。紫外線硬化型樹脂13′の滴下は滴下口を固定し
て置いて、回転テーブル22を緩やかに回転させながら行
っても良く、或いは、滴下口を透光性基板11の円周方向
に移動させながら滴下しても良い。
In the above-mentioned mounted state, first, in order to fill the gap between the outer peripheral surface of the outward flange 14b and the inner surface of the concave stepped portion 11b, the ultraviolet curable resin 13 'is removed from the outer peripheral end of the outward flange 14b of the center hub 14. It is dropped on the translucent substrate 11 slightly outside. The dropping of the ultraviolet curable resin 13 ′ may be performed while the dropping port is fixed and the rotary table 22 is gently rotated, or while the dropping port is moved in the circumferential direction of the transparent substrate 11. You may drop it.

上記のようにして滴下された紫外線硬化型樹脂13′は
透光性基板11の外周側及び内周側に拡がるが、内周側は
第4図(a)に示すように、外向きフランジ14bの外周
面に密着し、更に、第3図(a)に示すように、硬化後
の保護樹脂層13が凹状段差部11bの内側面と外向きフラ
ンジ14bの外周面との間の間隙にも形成されるように、
上記間隙にも流れ込む。
The ultraviolet curable resin 13 'dropped as described above spreads to the outer peripheral side and the inner peripheral side of the translucent substrate 11, but the inner peripheral side is the outward flange 14b as shown in FIG. 4 (a). 3A, the protective resin layer 13 after curing is also formed in the gap between the inner surface of the concave step portion 11b and the outer surface of the outward flange 14b, as shown in FIG. 3A. As it is formed
It also flows into the gap.

次に、回転テーブル22を所定の速度で回転させながら
紫外線硬化型樹脂13′の滴下を続けると、紫外線硬化型
樹脂13′は外向きフランジ14bより外周側の透光性基板1
1の全面を覆う(第4図(b))。
Next, while continuing to drop the ultraviolet curable resin 13 'while rotating the rotary table 22 at a predetermined speed, the ultraviolet curable resin 13' is placed on the outer peripheral side of the outward flange 14b.
Cover the entire surface of 1 (Fig. 4 (b)).

その後、第4図(c)に示すように、上方から紫外線
を照射することにより、紫外線硬化型樹脂13′が硬化
し、保護樹脂層13が形成される。
Thereafter, as shown in FIG. 4 (c), by irradiating ultraviolet rays from above, the ultraviolet curable resin 13 'is cured and the protective resin layer 13 is formed.

以上のように、本実施例の製造方法によれば、外向き
フランジ14bの外周面と凹状段差部11bの内側面との間に
間隙の存在しない光磁気メモリ素子が提供できる。
As described above, according to the manufacturing method of the present embodiment, it is possible to provide the magneto-optical memory element in which there is no gap between the outer peripheral surface of the outward flange 14b and the inner side surface of the concave step portion 11b.

なお、上記の実施例において、センタハブ14はSUS430
等のステンレス鋼からなるものとしたが、これは他の金
属であっても良い。但し、マグネット吸着可能なものが
望ましい。
In the above embodiment, the center hub 14 is made of SUS430.
Although it is made of stainless steel, it may be made of other metals. However, it is desirable that the magnet can be attracted.

又、凹状段差部11bの内側面の上端の角部A(第3図
(a))は直角形状としたが、この角部Aは、例えば、
円弧形状等、凹状段差部11bの内側面と外向きフランジ1
4bとの間の間隙に紫外線硬化型樹脂13′が流入しやすい
他の形状としても良い。
Further, the corner portion A (FIG. 3 (a)) at the upper end of the inner surface of the concave stepped portion 11b has a right-angled shape.
Inner surface of concave step 11b such as arc shape and outward flange 1
The UV curable resin 13 'may have another shape which allows the UV curable resin 13' to easily flow into the gap between the 4b and 4b.

更に、上記した光磁気メモリ素子の製造方法において
は、透光性基板11上に記録媒体層12を形成した後、セン
タハブ14の取付けを行うようにしたが、透光性基板11に
センタハブ14を取り付けた後、記録媒体層12及び保護樹
脂層13の形成を行うようにしても良い。
Further, in the above-described method for manufacturing the magneto-optical memory device, the center hub 14 is attached after the recording medium layer 12 is formed on the transparent substrate 11, but the center hub 14 is attached to the transparent substrate 11. After attachment, the recording medium layer 12 and the protective resin layer 13 may be formed.

又、透光性基板11は、センタハブ14の取付け用の凹状
段差部11bが設けられている限り、ポリカーボネイト以
外にアクリル、エポキシ等の透光性樹脂から形成されて
いても良い。更に、センタハブ14の接着は、所定の接着
強度、信頼性が満足される限り、両面テープ等で行われ
ていても良い。
Further, the translucent substrate 11 may be formed of translucent resin such as acrylic or epoxy other than polycarbonate as long as the concave step portion 11b for mounting the center hub 14 is provided. Further, the center hub 14 may be adhered with a double-sided tape or the like as long as a predetermined adhesion strength and reliability are satisfied.

〔発明の効果〕〔The invention's effect〕

本発明に係る光磁気メモリ素子は、以上のように、基
板の光磁気記録媒体の形成位置より内周側に凹状段差部
が設けられ、この凹状段差部にセンタハブが保護樹脂層
ととほぼ同一面をなすように取り付けられるとともに、
センタハブ上に浮上型磁気ヘッドの摺動・接触領域が設
けられている構成である。
As described above, the magneto-optical memory device according to the present invention is provided with the concave step portion on the inner peripheral side of the formation position of the magneto-optical recording medium on the substrate, and the center hub is almost the same as the protective resin layer in the concave step portion. While being attached to form a surface,
This is a configuration in which the sliding / contact area of the floating magnetic head is provided on the center hub.

これにより、浮上型磁気ヘッドの摺動・接触がセンタ
ハブ上で行われるので、保護樹脂層上で摺動・接触が行
われる場合に比して磨耗粉の発生及びスクラッチ等の傷
の発生が少なくなり、安定したCSS動作を行うことがで
きるようになる。又、従来のセンタハブの外径を必要に
応じて若干大きくするのみで本発明の構成を実現できる
ので、コスト及び工数の点で不利益は生じない。
As a result, the floating magnetic head slides and contacts on the center hub, so there is less generation of abrasion powder and scratches than scratches when compared to sliding and contact on the protective resin layer. It becomes possible to perform stable CSS operation. Further, since the configuration of the present invention can be realized by only slightly increasing the outer diameter of the conventional center hub, there is no disadvantage in terms of cost and man-hours.

又、センタハブ上には充分広いスペースが存在するの
で、浮上型磁気ヘッドの形状の自由度が増し、それに伴
って浮上特性の設定の自由度も増すとともに摺動中に浮
上型磁気ヘッドが、摺動領域であるセンタハブ上からは
み出る恐れはないので、浮上特性の安定化をも図ること
ができる。
In addition, since there is a sufficiently large space above the center hub, the degree of freedom in the shape of the floating magnetic head increases, which in turn increases the degree of freedom in setting the floating characteristics, and the flying magnetic head slides during sliding. Since there is no fear of protruding from the center hub, which is the moving area, the floating characteristics can be stabilized.

更に、基板上に凹状段差部を設けて、この凹状段差部
にセンタハブを取り付けるようにしたので、センタハブ
と保護樹脂層とがほぼ同一面をなすようにすることがで
き、これにより、浮上型磁気ヘッドがセンタハブと保護
樹脂層との境界部を通過する際にも、ヘッドクラッシュ
が生じる恐れはなくなる。
Further, since the concave step portion is provided on the substrate and the center hub is attached to the concave step portion, the center hub and the protective resin layer can be made to be substantially flush with each other, which allows the floating magnetic field to be formed. Even when the head passes through the boundary between the center hub and the protective resin layer, there is no risk of head crash.

又、本発明に係る光磁気メモリ素子の製造方法は、上
記の光磁気メモリ素子を製造するに際して、センタハブ
を基板の凹状段差部に取り付けた後に、センタハブの外
周端に密着させて保護樹脂層をセンタハブとほぼ同一面
をなすように形成するようにした構成である。
Further, in the method of manufacturing a magneto-optical memory element according to the present invention, in manufacturing the magneto-optical memory element described above, after attaching the center hub to the concave stepped portion of the substrate, it is adhered to the outer peripheral end of the center hub to form the protective resin layer. It is configured so as to be substantially flush with the center hub.

これにより、センタハブの外周端に密着させて保護樹
脂層が形成された光磁気メモリ素子を再現性良く製造す
ることができる。この光磁気メモリ素子では、センタハ
ブの外周端と保護樹脂層との間に間隙が生じないので、
浮上型磁気ヘッドがセンタハブと保護樹脂層との境界部
を通過する際にも浮上特性に変化は生じず、ヘッドクラ
ッシュが更に生じにくくなるという効果を奏する。
As a result, the magneto-optical memory element having the protective resin layer formed in close contact with the outer peripheral edge of the center hub can be manufactured with good reproducibility. In this magneto-optical memory element, since there is no gap between the outer peripheral edge of the center hub and the protective resin layer,
Even when the flying type magnetic head passes through the boundary between the center hub and the protective resin layer, the flying characteristics do not change, and the head crash is further less likely to occur.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

第1図乃至第4図は本発明の一実施例を示すものであ
る。 第1図(a)は光磁気メモリ素子及び記録再生装置を示
す概略平面図である。 同図(b)は同概略縦断面図である。 第2図(a)は光磁気メモリ素子を示す概略平面図であ
る。 同図(b)は同概略縦断面図である。 第3図(a)は第2図(a)の部分拡大図である。 同図(b)は本発明の光磁気メモリ素子を従来の製造手
順で製造した場合の同部分拡大図である。 第4図(a)〜(c)はそれぞれ保護樹脂層の形成手順
を示す概略縦断面図である。 第5図及び第6図は従来例を示すものである。 第5図(a)は光磁気メモリ素子を示す概略平面図であ
る。 同図(b)は同概略縦断面図である。 第6図(a)は光磁気メモリ素子及び記録再生装置を示
す概略平面図である。 同図(b)は同概略縦断面図である。 11は透光性基板、11bは凹状段差部、12は記録媒体層
(光磁気記録媒体)、13は保護樹脂層、14はセンタハ
ブ、16は浮上型磁気ヘッドである。
1 to 4 show an embodiment of the present invention. FIG. 1A is a schematic plan view showing a magneto-optical memory element and a recording / reproducing apparatus. FIG. 2B is a schematic vertical sectional view of the same. FIG. 2A is a schematic plan view showing a magneto-optical memory element. FIG. 2B is a schematic vertical sectional view of the same. FIG. 3 (a) is a partially enlarged view of FIG. 2 (a). FIG. 2B is an enlarged view of the part of the magneto-optical memory device of the present invention manufactured by the conventional manufacturing procedure. 4A to 4C are schematic vertical cross-sectional views showing the procedure for forming the protective resin layer. 5 and 6 show a conventional example. FIG. 5 (a) is a schematic plan view showing a magneto-optical memory element. FIG. 2B is a schematic vertical sectional view of the same. FIG. 6A is a schematic plan view showing a magneto-optical memory device and a recording / reproducing device. FIG. 2B is a schematic vertical sectional view of the same. Reference numeral 11 is a translucent substrate, 11b is a concave stepped portion, 12 is a recording medium layer (magneto-optical recording medium), 13 is a protective resin layer, 14 is a center hub, and 16 is a floating magnetic head.

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 高橋 明 大阪府大阪市阿倍野区長池町22番22号 シャープ株式会社内 (72)発明者 太田 賢司 大阪府大阪市阿倍野区長池町22番22号 シャープ株式会社内 (56)参考文献 特開 昭64−64148(JP,A) 特開 平1−220280(JP,A) 実開 昭62−101126(JP,U) 実開 平2−60969(JP,U) ─────────────────────────────────────────────────── ─── Continuation of the front page (72) Akira Takahashi 22-22 Nagaike-cho, Abeno-ku, Osaka-shi, Osaka Sharp Corporation (72) Kenji Ota 22-22 Nagaike-cho, Abeno-ku, Osaka, Osaka Sharp Corporation (56) References JP-A 64-64148 (JP, A) JP-A 1-220280 (JP, A) Actually opened 62-101126 (JP, U) Actually opened 2-60969 (JP, U)

Claims (2)

(57)【特許請求の範囲】(57) [Claims] 【請求項1】基板と、基板上に形成された光磁気記録媒
体と、光磁気記録媒体を覆う保護樹脂層と、光磁気記録
媒体より内周側で基板に取り付けられたセンタハブとを
有し、浮上型磁気ヘッドを用いて情報の記録を行う光磁
気メモリ素子において、 上記基板における光磁気記録媒体の形成位置より内周側
に凹状段差部が設けられ、この凹状段差部にセンタハブ
が上記保護樹脂層とほぼ同一面をなすように取り付けら
れるとともに、センタハブ上に浮上型磁気ヘッドの摺動
・接触領域が設けられていることを特徴とする光磁気メ
モリ素子。
1. A substrate, a magneto-optical recording medium formed on the substrate, a protective resin layer covering the magneto-optical recording medium, and a center hub attached to the substrate on the inner peripheral side of the magneto-optical recording medium. In a magneto-optical memory element for recording information using a floating magnetic head, a concave step portion is provided on an inner peripheral side of a formation position of a magneto-optical recording medium on the substrate, and the center hub is protected by the concave step portion. A magneto-optical memory device, which is mounted so as to be substantially flush with a resin layer, and has a sliding / contact area of a floating magnetic head provided on a center hub.
【請求項2】請求項第1項に記載の光磁気メモリ素子の
製造方法において、 センタハブを基板の凹状段差部に取り付けた後に、セン
タハブの外周端に密着させてセンタハブとほぼ同一面を
なすように保護樹脂層を形成するようにしたことを特徴
とする光磁気メモリ素子の製造方法。
2. The method of manufacturing a magneto-optical memory device according to claim 1, wherein after the center hub is attached to the concave step portion of the substrate, the center hub is brought into close contact with the outer peripheral end of the center hub so as to be substantially flush with the center hub. A method of manufacturing a magneto-optical memory element, characterized in that a protective resin layer is formed on the substrate.
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