JP3556180B2 - 自動分解可能な排気ガス処理用ガススクラバー - Google Patents

Description

【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は排気ガス処理用ガススクラバーに関するものであり、さらに詳細には自動分解可能な排気ガス処理用ガススクラバーに関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
一般的に半導体製造中に生じる排気ガスには毒性物質が比較的高濃度に含まれているので、このような排気ガスは大気中に放出される前に毒性物質を除去しなければならない。
【０００３】
このような排気ガスの毒性物質を取り除くための排気ガス処理用ガススクラバーは図１に示されたように排気ガスが流入する流入口１と、流入した排気ガスをバーニング処理するためのバーニングチャンバ３と、前記バーニングチャンバ３の下端に連結されて前記バーニングチャンバ３でバーニング処理された排気ガスから水溶性有害物質を取り除くためのウェッティングチャンバ５と、このような処理過程を経た排気ガスが排出される排出口（図示せず）とを含んで構成される。
【０００４】
このようなガススクラバーは米国特許第５、９９７、８２４号に詳細に記述されている。
【０００５】
このように構成される排気ガス処理用ガススクラバーの内部装置、すなわち、バーニングチャンバとウェッティングチャンバとは有毒ガス処理中固着されるパウダー除去及びクリーニングのために定期的に装置を分解してクリーニング作業をしなければならない。
【０００６】
しかし、従来の排気ガス処理用ガススクラバーは単純に組立てられているので各々の装置をいちいち分解して洗浄しなければならない不便があった。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】
それで本発明は前記したような問題を解決して分解が簡便で洗浄が便利な排気ガス処理用ガススクラバーを提供することにその目的がある。
【０００８】
【課題を解決するための手段】
前記の目的を達成するための本発明の排気ガス処理用ガススクラバーは自動で分解が可能なように構成される。すなわち、流入口を通して流入した排気ガスをバーニング処理するためのバーニングチャンバと、バーニング処理された排気ガスから水溶性有害物質を取り除くためのウェッティングチャンバと、処理された排気ガスを排出する排出口及び前記バーニングチャンバとウェッティングチャンバとを受容するハウジングとを含む排気ガス処理用ガススクラバーにおいて、特にウェッティングチャンバの両側面下端には水平移動ガイドが設けられてこの移動ガイドを沿ってウェッティングチャンバがハウジングのそとに押し出されて、バーニングチャンバは一端が前記ウェッティングチャンバにピボット連結されて側面には回転軸が設定されて、ウェッティングチャンバが水平移動ガイドを沿ってハウジングのそとに押し出されることによってバーニングチャンバは９０度内で回転移動するように構成されることである。
【０００９】
また、前記ウェッティングチャンバの後面下端部にはスクリューが挿入可能に備わって、前記ハウジングの下端面には前記スクリューを回転駆動するためのモータが設けられてモータの駆動により前記バーニングチャンバの回転と前記ウェッティングチャンバの移動とが制御される。
【００１０】
このように構成される本発明の排気ガス処理用ガススクラバーは自動分解が可能であってクリーニング作業が極めて簡便な長所がある。
【００１１】
【発明の実施の形態】
以下、本発明を添付した例示図面を参照して詳細に説明する。
【００１２】
図２は、本発明の一実施例による自動分解可能な排気ガス処理用ガススクラバーの一部折欠斜視図である。
【００１３】
示されたように本発明の排気ガス処理用ガススクラバーも排気ガスが流入する流入口１１と、前記流入口１１の一端に連結されて流入した排気ガスをバーニング処理するためのバーニングチャンバ１３と、前記バーニングチャンバ１３の下端に連結されて前記バーニングチャンバ１３でバーニング処理された排気ガスから水溶性有害物質を取り除くためのウェッティングチャンバ１５と、前記ウェッティングチャンバ１５の一端に連結されて処理された排気ガスを排出する排出口（図示せず）及び前記バーニングチャンバ１３とウェッティングチャンバ１５とを受容するハウジングを含んで構成される。
【００１４】
このように構成される排気ガス処理用ガススクラバーは特に前記ウェッティングチャンバ１５の両側面下端に水平移動ガイド１７ａ、１７ｂが設けられて、前記水平移動ガイド１７ａ、１７ｂを沿ってウェッティングチャンバ１５がハウジング１０のそとに押し出されたり、ハウジング１０内部に入るように移動するようになる。
【００１５】
この時前記ウェッティングチャンバ１５の後面下端部にはスクリュー１９ａ、１９ｂが挿入可能に備わって、前記ハウジング１０の下端面には前記スクリューを回転させるためのモータ２１ａ、２１ｂが設けられてこのモータ１７ａ、１７ｂの駆動により前記ウェッティングチャンバ１５の移動を制御できることである。
【００１６】
このようなウェッティングチャンバの水平移動はもちろん手動で行なわれることもあり、別にモータとスクリュー以外に一般的に使用できる他の水平移動手段が用いられることもある。
【００１７】
また、前記バーニングチャンバ１３はその後面下端角が前記ウェッティングチャンバ１５の後面上端角にピボット連結されて両側面には回転軸２３が設定されており、前記ウェッティングチャンバ１５が前記水平移動ガイド１７ａ、１７ｂを沿ってハウジング１０のそとに押し出されることによってバーニングチャンバ１３はハウジング１０内で９０度程回転するようになる。
【００１８】
図３、図４、図５は、前記したようなウェッティングチャンバの移動とバーニングチャンバの回転を順次的に示したことである。
【００１９】
バーニングチャンバ１３がこのようにハウジング１０内で回転する時は最小限の空間を利用することが望ましい。そのために前記ハウジング１０内部側面にはバーニングチャンバ１３の側面回転軸２３が移動するガイドが形成できる。このような側面ガイドは多くの形状を有することができるが、最小限の空間内での回転のために望ましい形状の例が図６に示されている。
【００２０】
図６にはひさご状ガイド２５が示されているが、すなわち前記バーニングチャンバ１３の側面回転軸２３が前記ひさご状ガイド２５を沿って一回りを移動する中前記バーニングチャンバ１３は９０度回転するようになって、再び一回りを回転する中前記バーニングチャンバ１３は元の場所に戻るようになる。
【００２１】
前記バーニングチャンバ１３とウェッティングチャンバ１５との自動分解及び空間活用に有利なように前記ハウジング１０は前面と後面の両門開閉式に形成できる。
【００２２】
このように構成される本発明の排気ガス処理用ガススクラバーは使用中には従来のガススクラバーと同一な方法で用いられるが、定期的に施行されるクリーニング作業時には装置をすべて手作業で分解する必要なく自動分解して洗浄するようになる。
【００２３】
すなわち、前面開閉門を開けてモータ２１ａ、２１ｂを作動させるとスクリュー１９ａ、１９ｂの回転によってウェッティングチャンバ１５が水平移動ガイド１７ａ、１７ｂを沿って押し出されて、同時に前記ウェッティングチャンバ１５の上部にピボット連結されたバーニングチャンバ１３は側面回転軸２３がひさご状ガイド２５を沿って移動しながら９０度回転して下端部が開かれるようになる。
【００２４】
そして、バーニングチャンバ１３は下端部出口を通して内部を洗浄して、ウェッティングチャンバ１５は上端部入口を通して内部を洗浄するようになる。
【００２５】
この時ウェッティングチャンバ１５の洗浄のためには排気ガス処理過程でウェッティング作業のために水を供給するウォーターガン（Ｗａｔｅｒ Ｇｕｎ、図示せず）を用いればさらに簡便であって効果的である。
このように本発明の排気ガス処理用ガススクラバーは自動分解が可能であってクリーニング作業を容易で効果的に遂行できる。
【００２６】
【発明の効果】
以上で説明したように本発明による排気ガス処理用ガススクラバーはウェッティングチャンバの水平移動とバーニングチャンバの回転移動によって自動分解が可能であってクリーニング作業が簡便であって、したがって効果的に維持管理できる効果がある。これによってガススクラバーの使用寿命も延長できる。
【００２７】
以上では本発明の望ましい実施例に対して示してまた説明したが、本発明は前記した実施例に限らず、前記請求範囲で請求する本発明の要旨を逸脱しない範囲内で該発明の分野で通常の知識を有する者であれば誰でも多様な変形実施が可能なことはもちろんであり、そのような変形は請求範囲の記載範囲内にあるようになる。
【図面の簡単な説明】
【図１】従来の排気ガス処理用ガススクラバーの構造を示した一部折欠斜視図、
【図２】本発明の一実施例による自動分解可能な排気ガス処理用ガススクラバーの構造を示した一部折欠斜視図、
【図３】図２に示された本発明による排気ガス処理用ガススクラバーの内部装置の移動を順次的に示した側面図
【図４】図２に示された本発明による排気ガス処理用ガススクラバーの内部装置の移動を順次的に示した側面図
【図５】図２に示された本発明による排気ガス処理用ガススクラバーの内部装置の移動を順次的に示した側面図
【図６】本発明による排気ガス処理用ガススクラバーでバーニングチャンバの最少空間回転のための側面プレートの形状の一実施例を示したことである。
【符号の説明】
１１：流入口
１３：バーニングチャンバ
１５：ウェッティングチャンバ
１７ａ、１７ｂ：水平移動ガイド
１９Ａ、１９Ｂ：スクリュー
２１ａ、２１ｂ：モータ
２３：側面回転軸
２５：ひさご状ガイド

Claims (4)

1. 排気ガスが流入する流入口と、前記流入口の一端に連結されて流入した排気ガスをバーニング処理するためのバーニングチャンバと、前記バーニングチャンバの下端が連結されて前記バーニングチャンバでバーニング処理された排気ガスから水溶性有害物質を取り除くためのウェッティングチャンバと、前記ウェッティングチャンバの一端に連結されて処理された排気ガスを排出する排出口及び前記バーニングチャンバとウェッティングチャンバとを受容するハウジングとを含んで構成される排気ガス処理用ガススクラバーにおいて、
   前記ハウジングの内部側面には側面ガイドが形成されて、
   前記ウェッティングチャンバの両側面には水平移動ガイドが設けられて、前記移動ガイドを沿って前記ウェッティングチャンバがハウジングのそとに押し出されて、
   前記バーニングチャンバは、後面下端角が前記ウェッティングチャンバの後面上端角にピボット連結されて、側面には回転軸が設定されて前記側面ガイドに沿って移動して、前記ウェッティングチャンバが前記水平移動ガイドを沿ってハウジングのそとに押し出されることによって前記バーニングチャンバは９０度内で回転移動することを特徴とする自動分解可能な排気ガス処理用ガススクラバー。
2. 前記ウェッティングチャンバの後面下端部にはスクリューが挿入可能に備わって、前記ハウジングの下端面には前記スクリューを回転駆動させるためのモータが設けられてモータの駆動により前記ウェッティングチャンバの水平移動と前記バーニングチャンバの回転の制御が可能なことを特徴とする自動分解可能なことを特徴とする請求項１に記載の排気ガス処理用ガススクラバー。
3. 前記ハウジングの内部側面に形成された側面ガイドはひさご状ガイドであることを特徴とする請求項１または２に記載の排気ガス処理用ガススクラバー。
4. 前記バーニングチャンバと前記ウェッティングチャンバとの自動分解及び空間活用に有利なように前記ハウジングは前面と後面の両門開閉式に形成されることを特徴とする自動分解可能なことを特徴とする請求項１ないし３に記載の排気ガス処理用ガススクラバー。

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