JP2002143635A - 自動分解可能な排気ガス処理用ガススクラバー - Google Patents

自動分解可能な排気ガス処理用ガススクラバー

Info

Publication number
JP2002143635A
JP2002143635A JP2001128411A JP2001128411A JP2002143635A JP 2002143635 A JP2002143635 A JP 2002143635A JP 2001128411 A JP2001128411 A JP 2001128411A JP 2001128411 A JP2001128411 A JP 2001128411A JP 2002143635 A JP2002143635 A JP 2002143635A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
chamber
exhaust gas
wetting
burning
gas
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP2001128411A
Other languages
English (en)
Other versions
JP3556180B2 (ja
Inventor
Toshu Kin
東秀 金
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Korea MAT Co Ltd
Original Assignee
Korea MAT Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Korea MAT Co Ltd filed Critical Korea MAT Co Ltd
Publication of JP2002143635A publication Critical patent/JP2002143635A/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP3556180B2 publication Critical patent/JP3556180B2/ja
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Lifetime legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01D—SEPARATION
    • B01D53/00—Separation of gases or vapours; Recovering vapours of volatile solvents from gases; Chemical or biological purification of waste gases, e.g. engine exhaust gases, smoke, fumes, flue gases, aerosols
    • B01D53/14—Separation of gases or vapours; Recovering vapours of volatile solvents from gases; Chemical or biological purification of waste gases, e.g. engine exhaust gases, smoke, fumes, flue gases, aerosols by absorption
    • B01D53/18—Absorbing units; Liquid distributors therefor

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
  • Oil, Petroleum & Natural Gas (AREA)
  • General Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Analytical Chemistry (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Computer Hardware Design (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
  • Treating Waste Gases (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【課題】 分解が簡便であって洗浄が便利な排気ガス
処理用ガススクラバーを提供する。 【解決手段】排気ガスが流入する流入口と、流入した排
気ガスをバーニング処理するためのバーニングチャンバ
と、バーニング処理された排気ガスから水溶性有害物質
を取り除くためのウェッティングチャンバと、処理され
た排気ガスを排出する排出口とを含んで構成されるが、
本発明では特にウェッティングチャンバの側面に移動ガ
イドが設けられてこの移動ガイドを沿ってウェッティン
グチャンバがハウジングのそとに押し出されて、バーニ
ングチャンバは一端が前記ウェッティングチャンバにピ
ボット連結されて側面には回転軸が設定されて、ウェッ
ティングチャンバが移動ガイドを沿ってハウジングのそ
とに押し出されることによってバーニングチャンバは９
０度内で回転移動するようになる。

Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は排気ガス処理用ガス
スクラバーに関するものであり、さらに詳細には自動分
解可能な排気ガス処理用ガススクラバーに関するもので
ある。
【０００２】
【従来の技術】一般的に半導体製造中に生じる排気ガス
には毒性物質が比較的高濃度に含まれているので、この
ような排気ガスは大気中に放出される前に毒性物質を除
去しなければならない。
【０００３】このような排気ガスの毒性物質を取り除く
ための排気ガス処理用ガススクラバーは図１に示された
ように排気ガスが流入する流入口１と、流入した排気ガ
スをバーニング処理するためのバーニングチャンバ３
と、前記バーニングチャンバ３の下端に連結されて前記
バーニングチャンバ３でバーニング処理された排気ガス
から水溶性有害物質を取り除くためのウェッティングチ
ャンバ５と、このような処理過程を経た排気ガスが排出
される排出口(図示せず)とを含んで構成される。
【０００４】このようなガススクラバーは米国特許第
５、９９７、８２４号に詳細に記述されている。
【０００５】このように構成される排気ガス処理用ガス
スクラバーの内部装置、すなわち、バーニングチャンバ
とウェッティングチャンバとは有毒ガス処理中固着され
るパウダー除去及びクリーニングのために定期的に装置
を分解してクリーニング作業をしなければならない。
【０００６】しかし、従来の排気ガス処理用ガススクラ
バーは単純に組立てられているので各々の装置をいちい
ち分解して洗浄しなければならない不便があった。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】それで本発明は前記し
たような問題を解決して分解が簡便で洗浄が便利な排気
ガス処理用ガススクラバーを提供することにその目的が
ある。
【０００８】
【課題を解決するための手段】前記の目的を達成するた
めの本発明の排気ガス処理用ガススクラバーは自動で分
解が可能なように構成される。すなわち、流入口を通し
て流入した排気ガスをバーニング処理するためのバーニ
ングチャンバと、バーニング処理された排気ガスから水
溶性有害物質を取り除くためのウェッティングチャンバ
と、処理された排気ガスを排出する排出口及び前記バー
ニングチャンバとウェッティングチャンバとを受容する
ハウジングとを含む排気ガス処理用ガススクラバーにお
いて、特にウェッティングチャンバの両側面下端には水
平移動ガイドが設けられてこの移動ガイドを沿ってウェ
ッティングチャンバがハウジングのそとに押し出され
て、バーニングチャンバは一端が前記ウェッティングチ
ャンバにピボット連結されて側面には回転軸が設定され
て、ウェッティングチャンバが水平移動ガイドを沿って
ハウジングのそとに押し出されることによってバーニン
グチャンバは９０度内で回転移動するように構成される
ことである。
【０００９】また、前記ウェッティングチャンバの後面
下端部にはスクリューが挿入可能に備わって、前記ハウ
ジングの下端面には前記スクリューを回転駆動するため
のモータが設けられてモータの駆動により前記バーニン
グチャンバの回転と前記ウェッティングチャンバの移動
とが制御される。
【００１０】このように構成される本発明の排気ガス処
理用ガススクラバーは自動分解が可能であってクリーニ
ング作業が極めて簡便な長所がある。
【００１１】
【発明の実施の形態】以下、本発明を添付した例示図面
を参照して詳細に説明する。
【００１２】図２は、本発明の一実施例による自動分解
可能な排気ガス処理用ガススクラバーの一部折欠斜視図
である。
【００１３】示されたように本発明の排気ガス処理用ガ
ススクラバーも排気ガスが流入する流入口１１と、前記
流入口１１の一端に連結されて流入した排気ガスをバー
ニング処理するためのバーニングチャンバ１３と、前記
バーニングチャンバ１３の下端に連結されて前記バーニ
ングチャンバ１３でバーニング処理された排気ガスから
水溶性有害物質を取り除くためのウェッティングチャン
バ１５と、前記ウェッティングチャンバ１５の一端に連
結されて処理された排気ガスを排出する排出口(図示せ
ず)及び前記バーニングチャンバ１３とウェッティング
チャンバ１５とを受容するハウジングを含んで構成され
る。
【００１４】このように構成される排気ガス処理用ガス
スクラバーは特に前記ウェッティングチャンバ１５の両
側面下端に水平移動ガイド１７ａ、１７ｂが設けられ
て、前記水平移動ガイド１７ａ、１７ｂを沿ってウェッ
ティングチャンバ１５がハウジング１０のそとに押し出
されたり、ハウジング１０内部に入るように移動するよ
うになる。
【００１５】この時前記ウェッティングチャンバ１５の
後面下端部にはスクリュー１９ａ、１９ｂが挿入可能に
備わって、前記ハウジング１０の下端面には前記スクリ
ューを回転させるためのモータ２１ａ、２１ｂが設けら
れてこのモータ１７ａ、１７ｂの駆動により前記ウェッ
ティングチャンバ１５の移動を制御できることである。
【００１６】このようなウェッティングチャンバの水平
移動はもちろん手動で行なわれることもあり、別にモー
タとスクリュー以外に一般的に使用できる他の水平移動
手段が用いられることもある。
【００１７】また、前記バーニングチャンバ１３はその
後面下端角が前記ウェッティングチャンバ１５の後面上
端角にピボット連結されて両側面には回転軸２３が設定
されており、前記ウェッティングチャンバ１５が前記水
平移動ガイド１７ａ、１７ｂを沿ってハウジング１０の
そとに押し出されることによってバーニングチャンバ１
３はハウジング１０内で９０度程回転するようになる。
【００１８】図３、図４、図５は、前記したようなウェ
ッティングチャンバの移動とバーニングチャンバの回転
を順次的に示したことである。
【００１９】バーニングチャンバ１３がこのようにハウ
ジング１０内で回転する時は最小限の空間を利用するこ
とが望ましい。そのために前記ハウジング１０内部側面
にはバーニングチャンバ１３の側面回転軸２３が移動す
るガイドが形成できる。このような側面ガイドは多くの
形状を有することができるが、最小限の空間内での回転
のために望ましい形状の例が図６に示されている。
【００２０】図６にはひさご状ガイド２５が示されてい
るが、すなわち前記バーニングチャンバ１３の側面回転
軸２３が前記ひさご状ガイド２５を沿って一回りを移動
する中前記バーニングチャンバ１３は９０度回転するよ
うになって、再び一回りを回転する中前記バーニングチ
ャンバ１３は元の場所に戻るようになる。
【００２１】前記バーニングチャンバ１３とウェッティ
ングチャンバ１５との自動分解及び空間活用に有利なよ
うに前記ハウジング１０は前面と後面の両門開閉式に形
成できる。
【００２２】このように構成される本発明の排気ガス処
理用ガススクラバーは使用中には従来のガススクラバー
と同一な方法で用いられるが、定期的に施行されるクリ
ーニング作業時には装置をすべて手作業で分解する必要
なく自動分解して洗浄するようになる。
【００２３】すなわち、前面開閉門を開けてモータ２１
ａ、２１ｂを作動させるとスクリュー１９ａ、１９ｂの
回転によってウェッティングチャンバ１５が水平移動ガ
イド１７ａ、１７ｂを沿って押し出されて、同時に前記
ウェッティングチャンバ１５の上部にピボット連結され
たバーニングチャンバ１３は側面回転軸２３がひさご状
ガイド２５を沿って移動しながら９０度回転して下端部
が開かれるようになる。
【００２４】そして、バーニングチャンバ１３は下端部
出口を通して内部を洗浄して、ウェッティングチャンバ
１５は上端部入口を通して内部を洗浄するようになる。
【００２５】この時ウェッティングチャンバ１５の洗浄
のためには排気ガス処理過程でウェッティング作業のた
めに水を供給するウォーターガン(Ｗａｔｅｒ Ｇｕ
ｎ、図示せず)を用いればさらに簡便であって効果的で
ある。このように本発明の排気ガス処理用ガススクラバ
ーは自動分解が可能であってクリーニング作業を容易で
効果的に遂行できる。
【００２６】
【発明の効果】以上で説明したように本発明による排気
ガス処理用ガススクラバーはウェッティングチャンバの
水平移動とバーニングチャンバの回転移動によって自動
分解が可能であってクリーニング作業が簡便であって、
したがって効果的に維持管理できる効果がある。これに
よってガススクラバーの使用寿命も延長できる。
【００２７】以上では本発明の望ましい実施例に対して
示してまた説明したが、本発明は前記した実施例に限ら
ず、前記請求範囲で請求する本発明の要旨を逸脱しない
範囲内で該発明の分野で通常の知識を有する者であれば
誰でも多様な変形実施が可能なことはもちろんであり、
そのような変形は請求範囲の記載範囲内にあるようにな
る。
【図面の簡単な説明】
【図1】従来の排気ガス処理用ガススクラバーの構造を
示した一部折欠斜視図、
【図２】本発明の一実施例による自動分解可能な排気ガ
ス処理用ガススクラバーの構造を示した一部折欠斜視
図、
【図３】図２に示された本発明による排気ガス処理用ガ
ススクラバーの内部装置の移動を順次的に示した側面図
【図４】図２に示された本発明による排気ガス処理用ガ
ススクラバーの内部装置の移動を順次的に示した側面図
【図５】図２に示された本発明による排気ガス処理用ガ
ススクラバーの内部装置の移動を順次的に示した側面図
【図６】本発明による排気ガス処理用ガススクラバーで
バーニングチャンバの最少空間回転のための側面プレー
トの形状の一実施例を示したことである。
【符号の説明】
１１：流入口 １３：バーニングチャンバ １５：ウェッティングチャンバ １７ａ、１７ｂ：水平移動ガイド １９Ａ、１９Ｂ：スクリュー ２１ａ、２１ｂ：モータ ２３：側面回転軸 ２５：ひさご状ガイド

Claims (4)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 排気ガスが流入する流入口と、前記流入
    口の一端に連結されて流入した排気ガスをバーニング処
    理するためのバーニングチャンバと、前記バーニングチ
    ャンバの下端が連結されて前記バーニングチャンバでバ
    ーニング処理された排気ガスから水溶性有害物質を取り
    除くためのウェッティングチャンバと、前記ウェッティ
    ングチャンバの一端に連結されて処理された排気ガスを
    排出する排出口及び前記バーニングチャンバとウェッテ
    ィングチャンバとを受容するハウジングとを含んで構成
    される排気ガス処理用ガススクラバーにおいて、 前記ウェッティングチャンバの両側面には水平移動ガイ
    ドが設けられて、前記移動ガイドを沿って前記ウェッテ
    ィングチャンバがハウジングのそとに押し出されて、 前記バーニングチャンバは、後面下端角が前記ウェッテ
    ィングチャンバの後面上端角にピボット連結されて、側
    面には回転軸が設定されて、前記ウェッティングチャン
    バが前記水平移動ガイドを沿ってハウジングのそとに押
    し出されることによって前記バーニングチャンバは９０
    度内で回転移動することを特徴とする自動分解可能な排
    気ガス処理用ガススクラバー。
  2. 【請求項２】 前記ウェッティングチャンバの後面下端
    部にはスクリューが挿入可能に備わって、前記ハウジン
    グの下端面には前記スクリューを回転駆動させるための
    モータが設けられてモータの駆動により前記ウェッティ
    ングチャンバの水平移動と前記バーニングチャンバの回
    転の制御が可能なことを特徴とする自動分解可能なこと
    を特徴とする請求項１に記載の排気ガス処理用ガススク
    ラバー。
  3. 【請求項３】 前記ハウジング内部側面にはひさご状ガ
    イド２５が形成されて、前記バーニングチャンバの側面
    回転軸は前記ひさご状ガイド２５を沿って移動してバー
    ニングチャンバが回転することを特徴とする自動分解可
    能なことを特徴とする請求項１または２に記載の排気ガ
    ス処理用ガススクラバー。
  4. 【請求項４】 前記バーニングチャンバと前記ウェッテ
    ィングチャンバとの自動分解及び空間活用に有利なよう
    に前記ハウジングは前面と後面の両門開閉式に形成され
    ることを特徴とする自動分解可能なことを特徴とする請
    求項１ないし３に記載の排気ガス処理用ガススクラバ
    ー。
JP2001128411A 2000-10-24 2001-04-25 自動分解可能な排気ガス処理用ガススクラバー Expired - Lifetime JP3556180B2 (ja)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR2000-62565 2000-10-24
KR10-2000-0062565A KR100395376B1 (ko) 2000-10-24 2000-10-24 자동 분해 가능한 배기가스 처리용 가스 스크러버

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP2002143635A true JP2002143635A (ja) 2002-05-21
JP3556180B2 JP3556180B2 (ja) 2004-08-18

Family

ID=19695088

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2001128411A Expired - Lifetime JP3556180B2 (ja) 2000-10-24 2001-04-25 自動分解可能な排気ガス処理用ガススクラバー

Country Status (6)

Country Link
US (1) US6776969B2 (ja)
JP (1) JP3556180B2 (ja)
KR (1) KR100395376B1 (ja)
CN (1) CN1231285C (ja)
GB (1) GB2368297B (ja)
TW (1) TW491726B (ja)

Families Citing this family (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100623368B1 (ko) * 2005-09-02 2006-09-12 크린시스템스코리아(주) 반도체 제조 장비용 직접 연소식 스크러버
KR101285937B1 (ko) * 2011-11-09 2013-07-12 엠에이티플러스 주식회사 무 화염 촉매 열 산화 소각장치

Family Cites Families (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH04298211A (ja) * 1991-01-30 1992-10-22 Ina Res:Kk スクラバー
KR100197335B1 (ko) * 1995-12-22 1999-06-15 윤종용 반도체 장치의 가스 세정기 및 이를 이용한 필터링법
GB2323312B (en) * 1997-03-21 2001-08-08 Korea M A T Co Ltd Gas scrubber and methods of disposing a gas using the same
KR100208402B1 (ko) * 1997-03-21 1999-07-15 김동수 배기가스 처리용 가스 스크러버
KR100242956B1 (ko) * 1997-06-03 2000-02-01 윤종용 가스 배기 시스템의 잔류물 제거 및 차단장치
JPH1133332A (ja) * 1997-07-18 1999-02-09 Shinko Pantec Co Ltd スクラバー
US6110256A (en) * 1998-06-17 2000-08-29 Croll Reynolds Clean Air Technologies, Inc. Apparatus and method for removing particulates and corrosive gases from a gas stream
KR100310747B1 (ko) * 1998-11-28 2002-01-15 남우호 배기가스 처리용 스크러버
US6544483B1 (en) * 1999-03-25 2003-04-08 Korea M.A.T. Co., Ltd. Adsorbent gas scrubber to dispose the gas generated during the semiconductor manufacturing process
KR200170777Y1 (ko) * 1999-08-14 2000-03-15 주식회사태양테크 복합 가스 스크러버 시스템

Also Published As

Publication number Publication date
US6776969B2 (en) 2004-08-17
JP3556180B2 (ja) 2004-08-18
GB0104239D0 (en) 2001-04-11
US20020048538A1 (en) 2002-04-25
TW491726B (en) 2002-06-21
KR100395376B1 (ko) 2003-08-21
KR20020031824A (ko) 2002-05-03
GB2368297B (en) 2004-03-24
CN1231285C (zh) 2005-12-14
GB2368297A (en) 2002-05-01
CN1349842A (zh) 2002-05-22

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR101139046B1 (ko) 오염토양 선별 및 정화장치
CN108942633B (zh) 抛光除锈设备及抛光工艺
KR20030039305A (ko) 스크러버
KR20010009613A (ko) 혼합 액체를 이용한 공기 정화 장치 및 방법
JP2002143635A (ja) 自動分解可能な排気ガス処理用ガススクラバー
KR200225505Y1 (ko) 자동 분해 가능한 배기가스 처리용 가스 스크러버
CN217473106U (zh) 一种基于环保的rto的废气处理装置
CN211659609U (zh) 一种节能环保的除尘设备
TWI687629B (zh) 廢氣處理裝置
JP2004275819A (ja) 洗浄装置
JPH09167747A (ja) 基板処理装置
CN213761147U (zh) 可移动式催化燃烧废气处理装置
KR101014188B1 (ko) 오염토양 정화장치
CN213761169U (zh) 一种工业废气净化设备用能源回收装置
KR100491117B1 (ko) 폐기가스 정화방법 및 정화장치
CN219091299U (zh) 一种工业脱硫残渣处理装置
JP2007303749A (ja) 高含水廃棄物乾燥処理装置
CN221950850U (zh) 一种氮氧化物废气处理设备
CN219128758U (zh) 一种有机废气处理装置
CN214778888U (zh) 一种脱硫石膏输送机
CN214635207U (zh) 一种沸石转轮用有机废气处理设备
CN212855084U (zh) 一种膏药生产的尾气处理装置
JP2003520122A (ja) 空気を浄化するための装置
CN220825308U (zh) 一种石油污染土壤的处理装置
CN221267558U (zh) 一种工业粉尘废气排放处理设备

Legal Events

Date Code Title Description
A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20031219

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20040315

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20040412

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20040511

R150 Certificate of patent or registration of utility model

Ref document number: 3556180

Country of ref document: JP

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

RD02 Notification of acceptance of power of attorney

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R3D02

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090521

Year of fee payment: 5

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100521

Year of fee payment: 6

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100521

Year of fee payment: 6

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110521

Year of fee payment: 7

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120521

Year of fee payment: 8

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130521

Year of fee payment: 9

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130521

Year of fee payment: 9

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20140521

Year of fee payment: 10

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

EXPY Cancellation because of completion of term