JP3536288B2 - ナノチューブ探針の製造方法 - Google Patents
ナノチューブ探針の製造方法Info
- Publication number
- JP3536288B2 JP3536288B2 JP2001106641A JP2001106641A JP3536288B2 JP 3536288 B2 JP3536288 B2 JP 3536288B2 JP 2001106641 A JP2001106641 A JP 2001106641A JP 2001106641 A JP2001106641 A JP 2001106641A JP 3536288 B2 JP3536288 B2 JP 3536288B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- holder
- nanotube
- tip
- nanotubes
- manufacturing
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、走査トンネル顕微
鏡（Scanning Tunneling Microscope;ＳＴＭ）、原子間
力顕微鏡（Atomic Force Microscope;ＡＦＭ）等の走査
プローブ型顕微鏡、或いは、物質の表面を原子単位で操
作するナノ操作装置（Atomic/Molecular Manipulator）
等に用いられる探針（プローブ）に関する。
鏡（Scanning Tunneling Microscope;ＳＴＭ）、原子間
力顕微鏡（Atomic Force Microscope;ＡＦＭ）等の走査
プローブ型顕微鏡、或いは、物質の表面を原子単位で操
作するナノ操作装置（Atomic/Molecular Manipulator）
等に用いられる探針（プローブ）に関する。
【０００２】
【従来の技術】高分解能の実空間像を得る装置としてＳ
ＴＭやＡＦＭが広く用いられるようになってきたが、そ
れらの最も重要な部品の一つが探針（プローブ）であ
る。これらの顕微鏡は、探針の先端と対象物の表面との
トンネル電流や原子間力により表面の性状を検出するも
のであるため、その先端の品質が像の分解能を左右す
る。
ＴＭやＡＦＭが広く用いられるようになってきたが、そ
れらの最も重要な部品の一つが探針（プローブ）であ
る。これらの顕微鏡は、探針の先端と対象物の表面との
トンネル電流や原子間力により表面の性状を検出するも
のであるため、その先端の品質が像の分解能を左右す
る。
【０００３】この探針として、導電性が要求されるＳＴ
Ｍでは先端を鋭く化学エッチした金属線、或いは単には
さみで切り落としただけの金属線が使われている。ま
た、導電性が要求されないＡＦＭでは、微細加工により
作製されたシリコン又は窒化シリコンのピラミッドがよ
く用いられている。どちらの場合も探針の先端は数十nm
程度の広がりを持っているが、このような鈍な先端でも
サブナノメートルオーダーの分解能が得られるのは、広
がりを持った先端の中に原子スケールの突起がたまたま
都合の良い場所にできていて、それが試料表面との主要
な接触点となるからである。しかし、そのような突起が
存在する場合でも、そのサイズ、形、組成は全くわから
ないし、走査中もよく変化するといわれている。
Ｍでは先端を鋭く化学エッチした金属線、或いは単には
さみで切り落としただけの金属線が使われている。ま
た、導電性が要求されないＡＦＭでは、微細加工により
作製されたシリコン又は窒化シリコンのピラミッドがよ
く用いられている。どちらの場合も探針の先端は数十nm
程度の広がりを持っているが、このような鈍な先端でも
サブナノメートルオーダーの分解能が得られるのは、広
がりを持った先端の中に原子スケールの突起がたまたま
都合の良い場所にできていて、それが試料表面との主要
な接触点となるからである。しかし、そのような突起が
存在する場合でも、そのサイズ、形、組成は全くわから
ないし、走査中もよく変化するといわれている。
【０００４】そこで、カーボンナノチューブを探針とし
て使用するという提案がなされた（Nature, 384(1996),
p.147）。カーボンナノチューブはネットワーク状のグ
ラファイト型炭素により形成されるチューブであり、単
層壁であるシングルウォールタイプと多層壁を持つマル
チプルウォールタイプがある。長さはいずれも数十nmか
ら数μm程度であるが、直径はシングルウォールタイプ
のものが0.4〜5nmであるのに対し、マルチプルウォール
タイプのものは2〜50nmと大きく異なる。しかし、いず
れにせよこのように高いアスペクト比を有するナノチュ
ーブを探針として用いれば、上記従来の探針よりも遙か
に鋭い先端を得ることができる。その結果、例えば図５
(a)のように従来のピラミッド型の探針では十分トレー
スすることができないような急峻な表面凹凸も、同図
(b)に示すように精度良く検出することができるように
なる。また、マルチプルウォールタイプのような導電性
のカーボンナノチューブを用いた場合には、ＳＴＭとＡ
ＦＭの双方に探針として使用することができる。
て使用するという提案がなされた（Nature, 384(1996),
p.147）。カーボンナノチューブはネットワーク状のグ
ラファイト型炭素により形成されるチューブであり、単
層壁であるシングルウォールタイプと多層壁を持つマル
チプルウォールタイプがある。長さはいずれも数十nmか
ら数μm程度であるが、直径はシングルウォールタイプ
のものが0.4〜5nmであるのに対し、マルチプルウォール
タイプのものは2〜50nmと大きく異なる。しかし、いず
れにせよこのように高いアスペクト比を有するナノチュ
ーブを探針として用いれば、上記従来の探針よりも遙か
に鋭い先端を得ることができる。その結果、例えば図５
(a)のように従来のピラミッド型の探針では十分トレー
スすることができないような急峻な表面凹凸も、同図
(b)に示すように精度良く検出することができるように
なる。また、マルチプルウォールタイプのような導電性
のカーボンナノチューブを用いた場合には、ＳＴＭとＡ
ＦＭの双方に探針として使用することができる。
【０００５】カーボンナノチューブはこのように小さな
ものであるため、これを実際に探針の先端に固定するに
は困難が伴う。特開2000-227435及び特開2000-249712に
はカーボンナノチューブをホルダに固定するための方法
が開示されているが、いずれも、複数本のナノチューブ
を束ね、その中の１本のナノチューブを突出させたもの
（ＮＴ束）をコーティング膜でホルダーに固定するとい
うものである。コーティング膜としては、浮遊炭素物質
を電子ビームで堆積させるカーボン膜やＣＶＤ（化学気
相析出法）・ＰＶＤ（物理蒸着法）等により形成するこ
とが考えられている。
ものであるため、これを実際に探針の先端に固定するに
は困難が伴う。特開2000-227435及び特開2000-249712に
はカーボンナノチューブをホルダに固定するための方法
が開示されているが、いずれも、複数本のナノチューブ
を束ね、その中の１本のナノチューブを突出させたもの
（ＮＴ束）をコーティング膜でホルダーに固定するとい
うものである。コーティング膜としては、浮遊炭素物質
を電子ビームで堆積させるカーボン膜やＣＶＤ（化学気
相析出法）・ＰＶＤ（物理蒸着法）等により形成するこ
とが考えられている。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】上記特開2000-227435
には、ナノチューブをホルダーに固定する具体的方法が
次のように記載されている（同公報の請求項１０）。カ
ーボンナノチューブを分散させた電気泳動液４１内の電
極４２、４３間に電圧を印加して（図４(a)）、電極４
２にナノチューブ４４を突出状に付着させる（第１工
程。同図(b)）。このようにしてナノチューブ４４を突
出状に付着させた電極４２とホルダー４５とを極微接近
させ（同図(c)）、ナノチューブ４４の先端部が突出し
た状態で、その基端部がホルダー面に付着するようにナ
ノチューブ４４をホルダー４５に転移させる（第２工
程）。ホルダー面に付着したナノチューブ４４の基端部
を少なくとも含む所要領域をコーティング処理する。こ
のコーティング膜により、ナノチューブがホルダーに固
着される（第３工程）。
には、ナノチューブをホルダーに固定する具体的方法が
次のように記載されている（同公報の請求項１０）。カ
ーボンナノチューブを分散させた電気泳動液４１内の電
極４２、４３間に電圧を印加して（図４(a)）、電極４
２にナノチューブ４４を突出状に付着させる（第１工
程。同図(b)）。このようにしてナノチューブ４４を突
出状に付着させた電極４２とホルダー４５とを極微接近
させ（同図(c)）、ナノチューブ４４の先端部が突出し
た状態で、その基端部がホルダー面に付着するようにナ
ノチューブ４４をホルダー４５に転移させる（第２工
程）。ホルダー面に付着したナノチューブ４４の基端部
を少なくとも含む所要領域をコーティング処理する。こ
のコーティング膜により、ナノチューブがホルダーに固
着される（第３工程）。
【０００７】なお、特開2000-249712では上記第３工程
が「ナノチューブとホルダーの間に電流を流して基端部
をホルダーに融着させる」（請求項９）又は「電子ビー
ム照射によりナノチューブの基端部をホルダーに融着さ
せる」（請求項１０）とされている。
が「ナノチューブとホルダーの間に電流を流して基端部
をホルダーに融着させる」（請求項９）又は「電子ビー
ム照射によりナノチューブの基端部をホルダーに融着さ
せる」（請求項１０）とされている。
【０００８】しかし、いずれにおいても、ナノチューブ
４４をホルダー４５に移転させる第２工程では、「電子
顕微鏡内で実観察しながら操作する」こととされている
（両公報とも請求項１１及び[００４２]〜[００４
４]）。前記の通り、ナノチューブは太さが1nm以下から
数十nmという極微のものであるため、このように電子顕
微鏡内で実際にナノチューブの先端とホルダーの先端と
を３次元的に突き合わせる（図４(c)）ことは非常に困
難であり、職人的な技術が必要とされる。すなわち、従
来の方法では誰でもが容易に探針を製造するということ
ができず、また、１本の探針を作製するために非常に長
い時間がかかるという欠点があった。
４４をホルダー４５に移転させる第２工程では、「電子
顕微鏡内で実観察しながら操作する」こととされている
（両公報とも請求項１１及び[００４２]〜[００４
４]）。前記の通り、ナノチューブは太さが1nm以下から
数十nmという極微のものであるため、このように電子顕
微鏡内で実際にナノチューブの先端とホルダーの先端と
を３次元的に突き合わせる（図４(c)）ことは非常に困
難であり、職人的な技術が必要とされる。すなわち、従
来の方法では誰でもが容易に探針を製造するということ
ができず、また、１本の探針を作製するために非常に長
い時間がかかるという欠点があった。
【０００９】本発明はこのような課題を解決するために
成されたものであり、その目的とするところは、容易に
且つ短時間で、ナノチューブを尖端に有する探針を製造
することのできる方法を提供することにある。
成されたものであり、その目的とするところは、容易に
且つ短時間で、ナノチューブを尖端に有する探針を製造
することのできる方法を提供することにある。
【００１０】
【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
に成された本発明に係るナノチューブ探針の製造方法
は、尖端を有するホルダーと対向電極との間にナノチュ
ーブを含む泳動液を介在させ、所定の交流電圧を印加す
ることによりホルダーの該尖端にナノチューブを固定す
るというものである。
に成された本発明に係るナノチューブ探針の製造方法
は、尖端を有するホルダーと対向電極との間にナノチュ
ーブを含む泳動液を介在させ、所定の交流電圧を印加す
ることによりホルダーの該尖端にナノチューブを固定す
るというものである。
【００１１】
【発明の実施の形態】ホルダーと対向電極との間に電圧
を印加すると、両電極を結ぶ電気力線がホルダーの尖端
に集中する。この状態で図１に示すようにホルダー１０
の尖端１１と対向電極１２との間にナノチューブを含む
液（泳動液）１３を介在させることにより、ナノチュー
ブはその長手方向が電気力線に沿うように配向する。そ
して、電気力線が集中するホルダー１０の尖端１１には
多くのナノチューブが集中する。これらのナノチューブ
１４の一部は、図２(a)に示すようにホルダー１０の尖
端１１に付着する。同図(b)に示すように複数のナノチ
ューブ１４が付着する場合もあるが、多くの場合、いず
れか１本のナノチューブが最も突出して付着するので、
それを探針の尖端として使用することができる。仮に、
複数のナノチューブがほぼ同一の長さに突出するように
付着したものがあれば、それは検査により排除するよう
にすればよい。
を印加すると、両電極を結ぶ電気力線がホルダーの尖端
に集中する。この状態で図１に示すようにホルダー１０
の尖端１１と対向電極１２との間にナノチューブを含む
液（泳動液）１３を介在させることにより、ナノチュー
ブはその長手方向が電気力線に沿うように配向する。そ
して、電気力線が集中するホルダー１０の尖端１１には
多くのナノチューブが集中する。これらのナノチューブ
１４の一部は、図２(a)に示すようにホルダー１０の尖
端１１に付着する。同図(b)に示すように複数のナノチ
ューブ１４が付着する場合もあるが、多くの場合、いず
れか１本のナノチューブが最も突出して付着するので、
それを探針の尖端として使用することができる。仮に、
複数のナノチューブがほぼ同一の長さに突出するように
付着したものがあれば、それは検査により排除するよう
にすればよい。
【００１２】付着したナノチューブ１４は、ファン・デ
ル・ワールス(Van der Vaals)力によりホルダー１０の
尖端１１に固定される。ナノチューブ１４は上記のよう
に径が小さいものであるため、この固定力は非常に強
く、何らの接着手段を必要としない。このナノチューブ
１４の固定は、泳動液１３を介在させた後数分程度で行
われる。従って、両電極間１０、１２に泳動液１３を介
在させてから数分後にホルダー１０を泳動液１３から引
き揚げることにより、ホルダー１０の尖端１１にナノチ
ューブ１４が固定された探針が得られる。
ル・ワールス(Van der Vaals)力によりホルダー１０の
尖端１１に固定される。ナノチューブ１４は上記のよう
に径が小さいものであるため、この固定力は非常に強
く、何らの接着手段を必要としない。このナノチューブ
１４の固定は、泳動液１３を介在させた後数分程度で行
われる。従って、両電極間１０、１２に泳動液１３を介
在させてから数分後にホルダー１０を泳動液１３から引
き揚げることにより、ホルダー１０の尖端１１にナノチ
ューブ１４が固定された探針が得られる。
【００１３】ホルダー１０としては、従来よりＳＴＭや
ＡＦＭ等の探針として用いられていた金属線やシリコン
又は窒化シリコンのピラミッドを使用することができ
る。金属線の場合はそのまま使用することができるが、
シリコンや窒化シリコンのように非導電体又は半導体の
場合は、予めＣＶＤ、ＰＶＤ等により表面を導体膜（金
属膜、炭素膜等）で覆っておく。なお、従来のＳＴＭや
ＡＦＭ等で用いられているカンチレバーそのものをホル
ダーとしてもよい。
ＡＦＭ等の探針として用いられていた金属線やシリコン
又は窒化シリコンのピラミッドを使用することができ
る。金属線の場合はそのまま使用することができるが、
シリコンや窒化シリコンのように非導電体又は半導体の
場合は、予めＣＶＤ、ＰＶＤ等により表面を導体膜（金
属膜、炭素膜等）で覆っておく。なお、従来のＳＴＭや
ＡＦＭ等で用いられているカンチレバーそのものをホル
ダーとしてもよい。
【００１４】本発明者の実験によると、ホルダー１０の
尖端１１と対向電極１２との間に印加する電圧は、交流
とする必要がある。また、その周波数は1〜20MHzである
ことが望ましい。電圧の大きさはホルダー１０の尖端１
１と対向電極１２との間の距離に応じて適宜設定する必
要があるが、例えば、通常それ自身で探針として使用さ
れているシリコンピラミッド（に金属膜を被覆したも
の）をホルダー１０として使用した場合、その尖端１１
と対向電極１２との間の距離を30μmとしたときに電圧
は1V程度としておく。
尖端１１と対向電極１２との間に印加する電圧は、交流
とする必要がある。また、その周波数は1〜20MHzである
ことが望ましい。電圧の大きさはホルダー１０の尖端１
１と対向電極１２との間の距離に応じて適宜設定する必
要があるが、例えば、通常それ自身で探針として使用さ
れているシリコンピラミッド（に金属膜を被覆したも
の）をホルダー１０として使用した場合、その尖端１１
と対向電極１２との間の距離を30μmとしたときに電圧
は1V程度としておく。
【００１５】ナノチューブを含む液（泳動液）１３につ
いては特に限定されることはなく、メタノール、エタノ
ール等の一般に用いられている液を用いることができ
る。
いては特に限定されることはなく、メタノール、エタノ
ール等の一般に用いられている液を用いることができ
る。
【００１６】ホルダー１０と対向電極１２との間の距離
を定めるには種々の方法をとることができるが、一例と
してはＡＦＭ装置を用いることができる。すなわち、一
旦ホルダー１０の尖端１１と対向電極１２とを原子間力
が働く距離まで近づけた後、所定の距離だけ離すという
方法で、両者間の正確な距離を定めることができる。
を定めるには種々の方法をとることができるが、一例と
してはＡＦＭ装置を用いることができる。すなわち、一
旦ホルダー１０の尖端１１と対向電極１２とを原子間力
が働く距離まで近づけた後、所定の距離だけ離すという
方法で、両者間の正確な距離を定めることができる。
【００１７】泳動液は、ホルダー１０の尖端１１と対向
電極１２の間の距離を定める前に導入しておいても構わ
ないし、距離を定めた後、電圧を印加する前でもよい。
更には、泳動液の液のみの導入と、その液へのナノチュ
ーブの投入とを時間的に分離してもよい。
電極１２の間の距離を定める前に導入しておいても構わ
ないし、距離を定めた後、電圧を印加する前でもよい。
更には、泳動液の液のみの導入と、その液へのナノチュ
ーブの投入とを時間的に分離してもよい。
【００１８】具体的には、例えば、まずホルダー１０の
尖端１１と対向電極１２との間の距離を定めて両者を配
置し、電圧を印加した後にナノチューブが入った泳動液
を流し込む。或いは、距離を定めた後、液のみを流し込
み、電圧を印加した後に液にナノチューブを投入する。
更には、液の中にホルダー１０の尖端と対向電極１２と
を漬けた状態で両者間の距離を定め、電圧を印加した後
にナノチューブを投入してもよい。
尖端１１と対向電極１２との間の距離を定めて両者を配
置し、電圧を印加した後にナノチューブが入った泳動液
を流し込む。或いは、距離を定めた後、液のみを流し込
み、電圧を印加した後に液にナノチューブを投入する。
更には、液の中にホルダー１０の尖端と対向電極１２と
を漬けた状態で両者間の距離を定め、電圧を印加した後
にナノチューブを投入してもよい。
【００１９】
【発明の効果】本発明に係る方法では、ホルダーともう
一方の電極とを対向させ、印加電圧に応じた距離だけ離
しておけばよいため、何らの熟練や時間を要することな
く、非常に容易且つ短時間に必要な設定を行うことがで
きる。
一方の電極とを対向させ、印加電圧に応じた距離だけ離
しておけばよいため、何らの熟練や時間を要することな
く、非常に容易且つ短時間に必要な設定を行うことがで
きる。
【００２０】本発明が優れている点は、上記のような方
法であるため、多数のホルダーに対して上記操作を一挙
に行うことができるということである。すなわち図３に
示すように、対向電極を平板電極２２とし、複数のホル
ダー２０の尖端２１を平板電極２２に対して略同一距離
に対向して配置した状態で両者間にナノチューブを分散
させた泳動液を介在させることにより（或いは、泳動液
を介在させた状態で電圧を印加することにより）、複数
のホルダー２０に対して一度に、それらの尖端２１にナ
ノチューブを固定することができる。これにより、探針
の大量生産が可能となる。
法であるため、多数のホルダーに対して上記操作を一挙
に行うことができるということである。すなわち図３に
示すように、対向電極を平板電極２２とし、複数のホル
ダー２０の尖端２１を平板電極２２に対して略同一距離
に対向して配置した状態で両者間にナノチューブを分散
させた泳動液を介在させることにより（或いは、泳動液
を介在させた状態で電圧を印加することにより）、複数
のホルダー２０に対して一度に、それらの尖端２１にナ
ノチューブを固定することができる。これにより、探針
の大量生産が可能となる。
【００２１】なお、本発明に係る方法は、現時点で最も
一般的に用いられているカーボンナノチューブの他、そ
の炭素原子の一部又は全部がホウ素（Ｂ）やチッ素
（Ｎ）に置き換わったＢＣＮナノチューブやＢＮナノチ
ューブ等に対しても適用することが可能である。
一般的に用いられているカーボンナノチューブの他、そ
の炭素原子の一部又は全部がホウ素（Ｂ）やチッ素
（Ｎ）に置き換わったＢＣＮナノチューブやＢＮナノチ
ューブ等に対しても適用することが可能である。
【図１】 本発明の実施態様の一例を示す側面図。
【図２】 本発明に係る方法により製造された探針の先
端の状態を示す側面図。
端の状態を示す側面図。
【図３】 本発明に係る方法を用いて行われるナノチュ
ーブ探針の大量生産方法の概念を示す斜視図。
ーブ探針の大量生産方法の概念を示す斜視図。
【図４】 従来のナノチューブ探針の製造方法を示す工
程図。
程図。
【図５】 ピラミッド型探針とナノチューブ探針との検
出動作における差異を示す説明図。
出動作における差異を示す説明図。
１０、２０…ホルダー
１１、２１…ホルダーの尖端
１２…対向電極
２２…平板対向電極
１３…ナノチューブ泳動液
１４…ナノチューブ
─────────────────────────────────────────────────────
フロントページの続き
(72)発明者 松重 和美
京都市左京区吉田本町 京都大学ベンチ
ャービジネスラボラトリー内
(56)参考文献 特開2000−249712（ＪＰ，Ａ)
特開2000−227435（ＪＰ，Ａ)
特開2001−167192（ＪＰ，Ａ)
特開2003−287488（ＪＰ，Ａ)
Ｒ．Ｓｔｅｖｅｎｓ， Ｃ．Ｎｇｕｙ
ｅｎ， Ａ．Ｃａｓｓｅｌｌ， Ｌ．Ｄ
ｅｌｚｅｉｔ， Ｍ．Ｍｅｙｙａｐｐａ
ｎ， ａｎｄ Ｊｉｅ Ｈａｎ，Ｉｍｐ
ｒｏｖｅｄ ｆａｂｒｉｃａｔｉｏｎ
ａｐｐｒｏａｃｈ ｆｏｒ ｃａｒｂｏ
ｎ ｎａｎｏｔｕｂｅ ｐｒｏｂｅ ｄ
ｅｖｉｃｅｓ，ＡＰＰＬＩＥＤ ＰＨＹ
ＳＩＣＳ ＬＥＴＴＥＲＳ，米国，Ａｍ
ｅｒｉｃａｎ Ｉｎｓｔｉｔｕｔｅ ｏ
ｆ Ｐｈｙｓｉｃｓ，2000年11月20日,
77／21，3453−3455
Ｔｏｍｏａｋｉ Ｎｉｓｈｉｎｏ，
Ｔａｋａｓｈｉ Ｉｔｏ， ａｎｄ Ｙ
ｏｓｈｉｏ Ｕｍｅｚａｗａ，Ｃａｒｂ
ｏｎ Ｎａｎｏｔｕｂｅ Ｓｃａｎｎｉ
ｎｇ Ｔｕｎｎｅｌｉｎｇ Ｍｉｃｒｏ
ｓｃｏｐｙ Ｔｉｐｓ ｆｏｒ Ｃｈｅ
ｍｉｃａｌｌｙ Ｓｅｌｅｃｔｉｖｅ
Ｉｍａｇｉｎｇ，Ａｎａｌｙｔｉｃａｌ
Ｃｈｅｍｉｓｔｒｙ，米国，Ａｍｅｒ
ｉｃａｎ Ｃｈｅｍｉｃａｌ Ｓｏｃｉ
ｅｔｙ，2002年 ８月15日，74，4275−
4278
(58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名)
B82B 1/00 - 3/00
C01B 31/02 101
G01N 13/12,13/16
H01J 1/30,9/02
Claims (7)
- 【請求項１】 尖端を有するホルダーと対向電極との間
にナノチューブを含む液を介在させ、所定の交流電圧を
印加することによりホルダーの該尖端にナノチューブを
固定することを特徴とするナノチューブ探針の製造方
法。 - 【請求項２】 対向電極を平板電極とし、複数のホルダ
ーの尖端を平板電極に対して略同一距離に対向して配置
することを特徴とする請求項１記載のナノチューブ探針
の製造方法。 - 【請求項３】 ナノチューブがカーボンナノチューブで
あることを特徴とする請求項１又は２に記載のナノチュ
ーブ探針の製造方法。 - 【請求項４】 尖端を有するホルダーが、表面を導体膜
で覆った非導体又は半導体から成ることを特徴とする請
求項１〜３のいずれかに記載のナノチューブ探針の製造
方法。 - 【請求項５】 上記ホルダーとして導電性カンチレバー
を利用する請求項１〜３のいずれかに記載のナノチュー
ブ探針の製造方法。 - 【請求項６】 a)ナノチューブを含む液を入れる水槽
と、 b)前記水槽の底部に設けた対向電極と、 c)ホルダーの尖端が前記ナノチューブを含む液に浸るよ
うに、ホルダーを固定する装置と、 d)前記ホルダーの尖端と前記対向電極との間に交流電圧
を印加する交流電源と、 を備えることを特徴とするナノチューブ探針の製造装
置。 - 【請求項７】 a)ナノチューブを含む液を入れる水槽
と、 b)前記水槽の底部に設けた板状電極と、 c)各ホルダーの尖端が前記ナノチューブを含む液に浸
り、且つ前記板状電極に対して略同一距離に対向するよ
うに、複数のホルダーを固定する装置と、 d)前記複数のホルダーの尖端と前記板状電極との間に並
列に交流電圧を印加する交流電源と、 を備えることを特徴とするナノチューブ探針の製造装
置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2001106641A JP3536288B2 (ja) | 2001-04-05 | 2001-04-05 | ナノチューブ探針の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2001106641A JP3536288B2 (ja) | 2001-04-05 | 2001-04-05 | ナノチューブ探針の製造方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2002301700A JP2002301700A (ja) | 2002-10-15 |
| JP3536288B2 true JP3536288B2 (ja) | 2004-06-07 |
Family
ID=18959105
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2001106641A Expired - Fee Related JP3536288B2 (ja) | 2001-04-05 | 2001-04-05 | ナノチューブ探針の製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3536288B2 (ja) |
Families Citing this family (13)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7252749B2 (en) | 2001-11-30 | 2007-08-07 | The University Of North Carolina At Chapel Hill | Deposition method for nanostructure materials |
| US7455757B2 (en) | 2001-11-30 | 2008-11-25 | The University Of North Carolina At Chapel Hill | Deposition method for nanostructure materials |
| CN100537052C (zh) * | 2002-12-09 | 2009-09-09 | 北卡罗来纳-查佩尔山大学 | 用于组装和分选含纳米结构的材料的方法和相关制品 |
| JP2006513048A (ja) * | 2002-12-09 | 2006-04-20 | ザ ユニバーシティ オブ ノース カロライナ アット チャペル ヒル | ナノ構造を含む材料を集めるおよび分類する方法および関連する物品 |
| JP4652679B2 (ja) * | 2003-10-03 | 2011-03-16 | エスアイアイ・ナノテクノロジー株式会社 | ナノメータスケールの構造物の作製方法 |
| WO2005069337A1 (en) * | 2004-01-19 | 2005-07-28 | M2N Inc. | Method for massive assembling of carbon nanotubes |
| US8308930B2 (en) | 2008-03-04 | 2012-11-13 | Snu R&Db Foundation | Manufacturing carbon nanotube ropes |
| US8673258B2 (en) | 2008-08-14 | 2014-03-18 | Snu R&Db Foundation | Enhanced carbon nanotube |
| US8357346B2 (en) | 2008-08-20 | 2013-01-22 | Snu R&Db Foundation | Enhanced carbon nanotube wire |
| US8021640B2 (en) | 2008-08-26 | 2011-09-20 | Snu R&Db Foundation | Manufacturing carbon nanotube paper |
| KR101097217B1 (ko) | 2008-09-17 | 2011-12-22 | 한국기계연구원 | 카본 나노 튜브가 코팅된 프로브 카드용 미세 접촉 프로브 및 그 제조방법 |
| JP5876999B2 (ja) * | 2011-07-12 | 2016-03-02 | セイコーインスツル株式会社 | プローブ及びその製造方法 |
| KR101343012B1 (ko) * | 2011-08-12 | 2013-12-18 | 포항공과대학교 산학협력단 | 나노 전극 및 그 제조 방법 |
-
2001
- 2001-04-05 JP JP2001106641A patent/JP3536288B2/ja not_active Expired - Fee Related
Non-Patent Citations (2)
| Title |
|---|
| Ｒ．Ｓｔｅｖｅｎｓ， Ｃ．Ｎｇｕｙｅｎ， Ａ．Ｃａｓｓｅｌｌ， Ｌ．Ｄｅｌｚｅｉｔ， Ｍ．Ｍｅｙｙａｐｐａｎ， ａｎｄ Ｊｉｅ Ｈａｎ，Ｉｍｐｒｏｖｅｄ ｆａｂｒｉｃａｔｉｏｎ ａｐｐｒｏａｃｈ ｆｏｒ ｃａｒｂｏｎ ｎａｎｏｔｕｂｅ ｐｒｏｂｅ ｄｅｖｉｃｅｓ，ＡＰＰＬＩＥＤ ＰＨＹＳＩＣＳ ＬＥＴＴＥＲＳ，米国，Ａｍｅｒｉｃａｎ Ｉｎｓｔｉｔｕｔｅ ｏｆ Ｐｈｙｓｉｃｓ，２０００年１１月２０日，７７／２１，３４５３−３４５５ |
| Ｔｏｍｏａｋｉ Ｎｉｓｈｉｎｏ， Ｔａｋａｓｈｉ Ｉｔｏ， ａｎｄ Ｙｏｓｈｉｏ Ｕｍｅｚａｗａ，Ｃａｒｂｏｎ Ｎａｎｏｔｕｂｅ Ｓｃａｎｎｉｎｇ Ｔｕｎｎｅｌｉｎｇ Ｍｉｃｒｏｓｃｏｐｙ Ｔｉｐｓ ｆｏｒ Ｃｈｅｍｉｃａｌｌｙ Ｓｅｌｅｃｔｉｖｅ Ｉｍａｇｉｎｇ，Ａｎａｌｙｔｉｃａｌ Ｃｈｅｍｉｓｔｒｙ，米国，Ａｍｅｒｉｃａｎ Ｃｈｅｍｉｃａｌ Ｓｏｃｉｅｔｙ，２００２年 ８月１５日，７４，４２７５−４２７８ |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2002301700A (ja) | 2002-10-15 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP3536288B2 (ja) | ナノチューブ探針の製造方法 | |
| KR100398276B1 (ko) | 전자장치의 표면신호조작용 프로우브 및 그 제조방법 | |
| Stevens et al. | Improved fabrication approach for carbon nanotube probe devices | |
| KR101159074B1 (ko) | 도전성 탄소나노튜브 팁, 이를 구비한 스캐닝 프로브마이크로스코프의 탐침 및 상기 도전성 탄소나노튜브 팁의제조 방법 | |
| Li et al. | Carbon nanotubes as AFM tips: measuring DNA molecules at the liquid/solid interface | |
| US7115864B2 (en) | Method for purification of as-produced single-wall carbon nanotubes | |
| KR100697323B1 (ko) | 나노 팁 및 이의 제조방법 | |
| JP2004325428A (ja) | 棒形状のナノ構造物が付着された信号検出用プローブおよびその製造方法 | |
| JP2002162337A (ja) | 集束イオンビーム加工による走査型顕微鏡用プローブ | |
| SG183584A1 (en) | Method and apparatus for characterizing a probe tip | |
| JP3441397B2 (ja) | 電子装置の表面信号操作用融着プローブ及びその製造方法 | |
| Wu et al. | Visualizing the path of DNA through proteins using DREEM imaging | |
| US20020069505A1 (en) | Nanotube cartridge and a method for manufacturing the same | |
| JP3441396B2 (ja) | 電子装置の表面信号操作用プローブ及びその製造方法 | |
| Bykov | Langmuir-Blodgett films and nanotechnology | |
| JP3557589B2 (ja) | 走査型プローブ顕微鏡用探針の作製方法、該作製方法によって作製された探針及び作製装置 | |
| Collier | Carbon nanotube tips for scanning probe microscopy | |
| Sedman et al. | Thermomechanical manipulation of aromatic peptide nanotubes | |
| JP2002214112A (ja) | 走査型プローブ顕微鏡 | |
| JP4244936B2 (ja) | 走査型プローブ顕微鏡及びそのプローブ装置 | |
| KR100553028B1 (ko) | 막대 형상의 나노 구조물이 부착된 신호 검출용 프로브 및그의 제조방법 | |
| Xu et al. | Application of calibrated and reusable probes on a home-made scanning probe microscope platform | |
| Murray | Scanning probe microscopy of biomolecules | |
| Myhra | Tip-induced local anodic oxidation: Nanolithography and nanobiotechnology | |
| Patil | Enhanced functionality of carbon nanotube modified atomic force probes and applications |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A975 | Report on accelerated examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971005 Effective date: 20031217 |
|
| TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
| A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20040203 |
|
| A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20040305 |
|
| R150 | Certificate of patent (=grant) or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090326 Year of fee payment: 5 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Year of fee payment: 6 Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100326 |
|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |