JP3534226B2 - 圧電アクチュエータ用ステータの製造方法および製造装置 - Google Patents
圧電アクチュエータ用ステータの製造方法および製造装置Info
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Description
持台が固着され、リード線と圧電素子が結線される圧電
アクチュエータ用ステータの製造方法および製造装置の
改良に関する。
曲振動させ、この屈曲振動により駆動させる圧電アクチ
ュエータが注目されている。従来、この圧電アクチュエ
ータのステータは、圧電素子に電極パターンを蒸著し、
圧電素子と振動体とを接合し、電極パターンにリード線
基板から延出させたリード線を結線した後に、支持台に
固定された中心軸を振動体の圧電素子側から圧入し、支
持台の圧電素子と対向する面にリード線基板を接着して
製造されていた(特開平9−168287号公報参
照)。これによれば、図8に示すように、リード線と圧
電素子を結線した後に、支持台に振動体を圧入してい
た。
造方法では、圧電素子の電極パターンと支持台との間の
空間が狭いため、リード線基板と支持台の間に塗布した
接着剤を十分に押し広げることができない。また、熱硬
化樹脂系の接着剤を用いた場合、熱は接着剤全体に行き
渡らず、また、紫外線硬化型の接着剤を用いた場合、紫
外線は接着剤の全面に照射されず、上記接着剤は十分に
硬化しなかった。以上の事態により、リード線基板と支
持台は確実に接着されないという問題を有していた。
硬化のための熱を加えた場合、既に圧電素子が実装され
ているため、圧電素子は、高熱を被って劣化し、圧電効
化は減少してしまう問題もあった。
線と圧電素子の電極パターンの正確な位置合わせは、リ
ード線の振れ、リード線基板の伸縮等の理由から困難で
あるという問題を有していた。
確実な接着を行い、圧電素子の熱による劣化を防止し、
さらに、リード線基板のリード線と圧電素子の電極パタ
ーンとの位置合わせを容易にする圧電アクチュエータ用
ステータの製造方法およびこれに用いる製造装置を提供
することにある。
は、圧電アクチュエータ用ステータの製造方法であっ
て、支持軸を固定した支持台に、リード線が配線された
リード線基板を固着し、前記支持台の支持軸に、圧電素
子が接合された振動体を圧入し、その後、前記リード線
基板のリード線と圧電素子とを結線したことを特徴とす
る。
ミド樹脂製、シリコン樹脂製、フェノール樹脂製、エポ
キシ樹脂製等が含まれる。圧電素子には、チタン酸ジル
コン酸鉛、チタン酸バリウム、チタン酸鉛、ニオブ酸リ
チウム、タンタル酸リチウムを用いて製作されたものを
含む。支持台とリード線基板との固着に用いる手段とし
ては、乾燥して硬化する接着剤、熱硬化性の接着剤、紫
外線硬化型の接着剤を含む。
間に接着剤を塗布したとき、障害物の無い状態で、リー
ド線基板の全面に押し圧力を加えることができ、接着剤
はリード線基板と支持台間の全面に押し広げられる。し
たがって、リード線基板と支持台は確実に接着できる。
また、リード線基板と支持台との固着に熱硬化性の接着
剤を用い、接着剤を熱で硬化させたとき、圧電素子は、
未だ実装されていないので、熱による影響を受けない。
したがって、圧電素子の劣化は防止され、圧電効果は維
持される。また、リード線基板と支持台を一体とした後
に、リード線と圧電素子の位置合わせを行うようにした
ので、支持台を位置合わせに利用することができる。し
たがって、複雑な位置合わせ機構を必要としない。
造方法であって、支持台に固定した支持軸に、圧電素子
が接合された振動体を圧入し、前記支持台の前記振動体
に対して反対側の面に、リード線が配線されたリード線
基板を固着し、その後に、前記リード線基板のリード線
と前記圧電素子とを結線したことを特徴とする。
の前記振動体に対して反対側の面に固着し、このリード
線基板と支持台との間に接着剤を塗布したとき、障害物
の無い状態で、接着剤はリード線基板と支持台間の全面
に押し広げられる。また、支持台に振動体を圧入した後
に、支持台にリード線基板を接着するようにしたので、
圧電素子の電極パターンとリード線基板から延出させた
リード線との位置合わせが容易にできる。
造方法を用いる製造装置であって、リード線が配線され
たリード線基板にフィルム状のテープ部材を用い、前記
テープ部材の移動方向に沿って、前記リード線基板と支
持軸が固定された支持台とを固着する接着手段と、前記
支持台の支持軸と圧電素子が接合された振動体とを圧入
する圧入手段と、前記振動体の圧電素子と前記リード線
基板のリード線とを結線する結線手段と、を備えたこと
を特徴とする。
順は、接着手段、圧入手段、結線手段の順に配置する場
合、圧入手段、接着手段、結線手段の順に配置する場合
も含まれる。
って、リード線基板と支持台を固着し、支持台の支持軸
と振動体を圧入し、圧電素子とリード線とを結線する。
したがって、支持台の固着、振動体の圧入、リード線の
結線は、テープ部材上で連続かつ自動的に行われ、さら
に効率的な製造が行われる。
造方法に用いる製造装置であって、前記支持台に固着し
たリード線基板と前記振動体に接合された圧電素子との
横方向の位置合わせを行い、前記支持台に固定した支持
軸と前記振動体とを圧入する仮圧入手段と、前記支持台
と前記振動体との高さ方向の位置合わせを行いつつ、前
記支持台の支持軸と前記振動体とを圧入する本圧入手段
と、を備えたことを特徴とする。
向の位置合わせは、画像処理方式、支持台に位置決め穴
を設ける方式の何れも含まれる。画像処理方式とは、例
えば、CCD(Charge Coupled Device)でリード線基板
と圧電素子の電極パターンを撮影して画像データを取得
し、この画像データを用いてコンピュータシステムで位
置関係を解析し、3軸に移動するロボットでリード線基
板から延出させたリード線を圧電素子の電極パターンの
所定位置に移動させる方式である。支持台と振動体との
高さ方向の位置合わせは、圧入荷重値を検知する方式、
支持台と振動体との相対距離を検知する方式の何れのも
のも含まれる。圧入荷重値を検知する手段としては、例
えば、ロードセル、電磁力平衡式等が含まれる。また、
支持台と振動体との相対距離を検知する手段としては、
圧入作業するロッドを駆動するモータのパルス検出、エ
ンコーダ検出、干渉光の強度を検知する光束干渉計、2
周波レーザー干渉計等が含まれる。
方向の位置合わせ、および本圧入工程における高さ方向
の位置合わせを自動制御する。したがって、生産時の品
質が安定するとともに人的労力が著しく軽減される。
に係わる実施の形態を詳細に説明する。 (実施の形態1)先ず、本発明を適用した圧電アクチュ
エータ用ステータの製造装置により製造された圧電アク
チュエータ用ステータについて説明する。図1は、実施
の形態2に係わる製造装置を用いて製造した圧電アクチ
ュエータ用ステータの断面構造を示し、図2は、ステー
タについてリード線基板17側から観察した平面構造を
示す。図1において、圧電アクチュエータ用ステータ
は、振動体10と、振動体10の中心を貫通する本発明
の支持軸としての中心軸16と、中心軸16を固定する
支持台15と、支持台15を挟んで振動体10と反対側
に支持台15と接着剤21で固着されたリード線基板1
7と、リード線基板17に配線されたリード線18、1
9から構成されている。
圧電素子12の周方向に例えば、扇形状の各電極を配し
た電極パターン13と、電極パターン13の反対側で圧
電素子12に接合された弾性体14からなる。詳細に
は、圧電素子12は、略円盤状に成形され、チタン酸ジ
ルコン酸鉛、チタン酸バリウム、チタン酸鉛、ニオブ酸
リチウム、タンタル酸リチウムで作製されている。ま
た、電極パターン13は周方向へ扇形状に12等分に分
割され、隣合わせた分割部を1組として総て6組の分極処
理部を設ける。分極処理は、各組の分極処理部が交互に
分極処理の方向を反対となるように施す。
の1つおきの分割部を1組とした総て2組の配線を施すた
め、PVDまたはCVD等の手段で導電膜を形成し、各分極処
理部を交互に短絡する。そして、一方の電極パターン1
3は後述するリード線延出部18aに結線し、他方の電
極パターン13はリード線延出部19aに結線されてい
る。弾性体14は、圧電素子12に対応した円盤状であ
り、その材質は例えばアルミ合金、ステンレス、鋼等の
弾性材料からなる。また、圧電素子12の分割部の境界
に対応する位置に等間隔で、柱状の突起14aを設け、
中心部に中心軸16を挿通する中心軸孔14bを設け
る。
状の切り出した板状体であり、その中央部には、リード
線基板17から延出したリード線延出部18a、19aを
挿通させる窓穴15aを形成し、図2に示すように、縁部
には位置決め穴15bを形成する。この位置決め穴15b
の位置を合わせることにより、リード線基板17のリー
ド線18、19と圧電素子12の電極パターン13の位
置合わせを行う。また、中心軸16は、剛性材料からな
る棒状体であり、振動体10を支持する。
ドを用いたフィルム状であり、中央部に窓穴17aを形
成し、周縁部に位置決め用の位置決め穴17bを形成し
ている。また、その表面には、図2に示すように、銅を
用いた2系統のリード線18、19が接着されており、
このリード線18、19は、窓穴17aから電極パター
ン13に結線するために延出させたリード線延出部18
a、19aを有し、このリード線延出部18a、19aは電
極パターン13に結線されている。なお、実施の形態1の
製造装置を用いて製造した圧電アクチュエータ用ステー
タは、略同じ構成である。
タ用ステータに係わる製造装置の実施の形態1について
説明する。図3は、圧電アクチュエータ用ステータの製
造装置の平面構造を示す。即ち、本製造装置は、振動体
位置決めパレット11を各工程の装置に搬送するフリー
フローライン1と、フリーフローライン1に沿って設置さ
れた振動体整列機2と、振動体整列機2に対してフリーフ
ローライン1を挟んで設置した振動体供給ロボット3と、
振動体供給ロボット3の下流に設置された支持台供給・
仮圧入ロボット4と、支持台供給・仮圧入ロボット4に対
してフリーフローライン1を挟んで設置したTAB(Tape A
utomated Bonding)装置5と、TAB装置5の下流に設置さ
れた本圧入プレス機6と、本圧入プレス機6の下流に設置
されたILB(Inner Lead Bonding)機7と、ILB機7の下流
に設置されたステータ排出ロボット8と、ステータ排出
ロボット8に対してフリーフローライン1を挟んで設置し
たステータ整列トレイ9から構成されている。
送手段であり、例えば、弾性のベルトをローラに載置し
て各装置に渡し、ローラを回転させてベルトを移動させ
る。これにより、ベルトに載せられた振動体位置決めパ
レット11は各装置へ搬送される。ここで、振動体位置
決めパレット11は、矩形状であり、中央部に振動体1
0を位置決めするための位置決め溝11aを設け、端部
には、支持台15の位置合わせに用いる支持台位置決め
ピン11cを設ける(図4(a)参照)。そして、この支
持台位置決めピン11aと支持台15の位置決め穴15b
とを位置合わせすることにより、同時に圧電素子12の
電極パターン13とリード線基板17のリード線延出部
18a、19aとの回転方向(横方向)の位置合わせも行
う。
たパーツフイーダ(振動型整列機)である。
引保持する真空チャック3aと、この真空チャック3aを
水平方向および高さ方向へ移動させる3軸移動装置3bか
ら構成されている。そして、振動体整列機2内の振動体
10を取り出し、振動体10を振動体位置決めパレット
11上に載置する。
供給ロボット3と同様に真空チャック4aと、3軸移動装
置4bから構成されている。支持台供給・仮圧入ロボッ
トはTAB装置5からリード線基板を固着した支持台をチャ
ッキングし、支持台15と振動体10との位置合わせを
行った後、この支持台15の中心軸16を振動体10に
仮圧入する。なお、このロボット4には、位置合わせ用
の画像処理装置を搭載してもよい。
TABリール5b、5cと、TABリール5b、5cの回転軸に連
結されたモータ5h、5iと、TAB5aに沿って配置され
た支持台整列機5d、接着剤塗布用ディスペンサ5e、接
着剤硬化のための支持台加熱機5f、リード基板型抜き
機5gから構成されている(図7参照)。
例えば、ポリイミドを材料に用いたフィルム状に成形し
たテープ体であり、進行方向の両縁部に搬送用のガイド
穴51を形成している。また、テープ体に沿って所定の
形状のリード線基板17が等間隔で形成されている。TA
Bリール5b、5cは、中心に回転軸を配した円盤体であ
り、モータ5h、5iに連動して回転し、TAB5aを巻き取
りつつ下流へ移動させる。支持台とリード線基板の接着
は、TAB5aに沿って配置された支持台整列機5dで供給
する支持台に接着剤21を所定量滴下するデイスペンサ
5eと、21は、例えば、熱硬化性であるが、紫外線硬
化性、乾燥させて硬化するタイプを用いてもよい。この
ようにして支持台を接着したリード基板は、テープ体か
らリード基板型抜き機5gで切り取られた後、支持台供
給・仮圧入ロボット4に連動して受け渡す。
方式を用い、圧入荷重値を検知するロードセルを有して
いる。そして、ロードセルが所定の圧力を検知するまで
振動体10を中心軸16に本圧入する。なお、液圧プレ
ス方式を用いてもよい。
先端と電極パターン13を押しつける押圧機構と、リー
ド線延出部18a、19aと電極パターン13を融着する
熱源からなる。これによれば、リード線延出部18a、
19aと圧電素子12の電極パターン13とを結線す
る。
引保持するする真空チャックと、縦方向および横方向へ
運動する水平方向移動装置からなる。そして、本圧入を
行ったステータを吸引固定し、ステータをフリーフロー
ライン1からステータ整列トレイ9へ移動させる。
エータ用ステータの製造方法について説明する。図4
は、ステータの製造工程を示す図であり、図5はステー
タの製造工程のフローチャートである。本製造方法は、
図5に示すように、リード線基板17と支持台15とを
接着し、支持台15に振動体10を圧入した後に、リー
ド線延出部18a、19aと圧電素子12とを結線する点
に特徴を有する。以下、これについて詳細に説明する。
0は、振動体供給ロボット3の真空チャック3aにより、
振動体整列機2から取り出され、弾性体14の突起14a
を用いてフリーフローライン1に載せられた振動体位置
決めパレット11の位置決め溝11aに位置を合わせる
(以上A工程)。振動体位置決めパレット11と一体に
なった振動体10はフリーフローライン1により次工程
へ搬送される。
持台整列機5dで供給されディスペンサ5eにより接着剤
21を所定量塗布される。この支持台15の位置決め穴
15bと、リード線基板17の位置決め穴17bとで機械
的に位置を合わせ、TAB5a上のリード線基板17に当接
される。そして、接着剤21は支持台加熱機5fのヒー
タにより加温されて硬化し、支持台15とリード線基板
17は接着され、リード基板型抜き機5gでテープ体のT
AB5aから切り離される(以上B1工程)。このとき、接
着剤21は、障害物がないので、リード線基板17と支
持台15の間に、薄く全面に広がり、リード線基板17
と支持台15は、強く接着される。また、未だ圧電素子
12は組み込まれていないので、圧電素子12はヒータ
の高熱を被らず、圧電効果は維持される。
基板17に接着された支持台15は、前記ロボット4に
よりフリーフローライン1上の振動体10へ移動され
る。そして、支持台15の位置決め穴15bと振動体位
置決めパレット11の支持台位置決めピン11bの位置
が合わされる。このとき、圧電素子12とリード線延出
部18a、19aとの回転方向(横方向)の位置合わせも
同時に行われる。図4(d)において、支持台15の中心
軸16は前記ロボット4の真空チャック4aにより高さ方
向に可動され、弾性体14の中心軸孔14bに仮圧入さ
れる(以上B2工程)。支持台15に仮圧入された振動
体10は、振動体位置決めパレット11とともに、フリ
ーフローライン1により次工程へ搬送される。
心軸16は、本圧入プレス機6により、ロードセルで圧
入荷重値を検知して高さ方向の位置合わせを行いつつ本
圧入される。そして、例えば、支持台15と振動体10
が接触して圧入荷重値が高くなったとき、本圧入プレス
機6は停止し、本圧入は終了する(以上C工程)。なお、
高さ方向の位置合わせは、支持台15と振動体10との
相対距離を干渉光の強度を検知する光束干渉計、2周波
レーザー干渉計等で測定してもよい。
7のリード繰延出部18a、19aは、ILB機7の押圧機構
により圧電素子12の電極パターン13に押圧され、ヒ
ータにより融着され、リード線延出部18a、19aと電
極パターン13は結線される(以上D工程)。
ステータは、ステータ排出ロボット8により、吸引され
て、振動体位置決めパレット11から離反され、吸引保
持された状態で、ステータ整列トレイ9に移動される
(以上E工程)。そして、図1と略同じ構造の圧電アクチ
ュエータ用ステータが製造される。
線基板17と支持台15とを接着する際、障害物の無い
状態でリード線基板17に当接し、接着剤21はリード
線基板17と支持台15間の全面に押し広げられるよう
にしたので、リード線基板17と支持台15とを確実に
接着する。また、リード線基板17と支持台15との接
着に熱硬化性の接着剤21を用いた場合、圧電素子12
を実装する前に、ヒータで加温して接着剤21を硬化さ
せるようにしたので、圧電素子12は熱により劣化せ
ず、圧電効果は維持される。また、リード線基板17と
支持台15を接着した後に、リード線基板17のリード
線延出部18a、19aと圧電素子12の電極パターン1
3との位置合わせを行うようにしたので、支持台15の
位置決め穴15bと振動体位置決めパレット11の位置
決めピン11bとを位置を合わせると同時に、電極パタ
ーン13とリード線延出部18a、19aの位置合わせを
行い、複雑な位置合わせ機構を必要としない。また、仮
圧入工程の回転方向の位置決めおよび本圧入の高さ方向
の位置決めが自動制御されるようにしたので、人的労力
が著しく軽減される。
製造方法の変形の態様に係わるブロック図である。変形
の態様は、実施の形態1と略同様の構成であり、フリー
フローライン1に沿って、振動体10の供給、支持台1
5の仮圧入、本圧入、支持台15とリード線基板17と
の接着、圧電素子12の電極パターン13とリード線延
出部18a、19aの結線、ステータの排出の順で製造す
る点に特徴を有する。
トにより、支持台15の位置決め穴15bと振動体位置
決めパレット11の支持台位置決めピン11bとの横方
向の位置合わせを行い、支持台15の中心軸16を弾性
体14の中心軸孔14bに仮圧入する。本圧入プレス機6
と同様な装置により、支持台15と振動体10の高さ方
向の位置を制御しつつ中心軸16を振動体10に本圧入
する。
と一体になった支持台15に接着剤21を滴下し、TAB
5a上のリード線基板17に、支持台15の振動体10
に対して反対側の面を当接させ、接着剤21を加温して
硬化させ、支持台15とリード線基板17を接着する。
部18a、19aを圧電素子12の電極パターン13に押
圧し、両者を加熱して融着させる。そして、図1と略同
じ構造の圧電アクチュエータ用ステータが製造される。
た圧電アクチュエータ用ステ一夕の製造装置に係わる実
施の形態2の側面構造を示す。本形態の製造装置は、ス
テータ組立TAB装置50を用いて実現される。ステータ
組立TAB装置50は、図7に示すように、TAB50aと、TA
B50aを巻き取るTABリール50b、50cと、TABリール
50b、50cの回転軸に連結されたモータ50d、50e
と、TAB50aの上流に設置されたデイスペンサ50f
と、デイスペンサ50fの下流に設置された支持台供給
装置50gと、支持台供給装置50gに対してTAB50aを
挟んで設置されたヒータ50hと、ヒータ50hの下流に
設けられた振動体供給圧入装置50iと、振動体供給圧
入装置50iの下流に設置されたILB機50jから構成さ
れている。以上において、TAB50aは本発明のテープ部
材であり、デイスペンサ50f、ヒータ50hは本発明の
接着手段であり、振動体供給圧入装置50iは本発明の
圧入手段、ILB機50jは本発明の結線手段である。な
お、TAB50a、TABリール50b、50c、モータ50d、
50eは実施の形態1と同一構成なので説明を省略する。
状の排出口を有し、所定の量の接着剤21をリード線基
板17に供給する。ヒータ50hは、例えば、電熱線、
赤外線ランプ等を用い、熱硬化性の接着剤21を硬化さ
せ、リード線基板17と支持台15とを接着する。支持
台供給装置50gは、支持台供給・仮圧入ロボット4と同
様な構成を有し、真空チャックで保持した支持台15を
TAB50a上に案内する。振動体供給圧入装置50iは、
支持台供給・仮圧入ロボット4と本圧入プレス機6を合わ
せた構成を有する。ILB機50jは、ILB機7と同様の構成
を有し、リード線基板17のリード線延出部18a、1
9aと圧電素子12の電極パターン13とを融着させる。
を用いた製造方法について説明する。TAB50a上のリー
ド線基板17は、ディスペンサ50fにより適量の接着
剤21が滴下される。このリード線基板17は、TAB5
0aに伴って支持台供給装置50gに移動される。一方、
支持台15は、支持台供給装置50gにより、図2に示す
リード線基板位置決め穴17a、17bを用いて位置合わ
せが行われ、リード線基板17上に当接させる。そし
て、ヒータ50hにより接着剤21を十分加温して硬化
させ、リード線基板17と支持台15とは接着される。
リード線基板17に接着された支持台15は、TAB50a
により次工程へ搬送される。
出され、振動体供給圧入装置50iにより支持台15の
中心軸16に仮圧入される。また、振動体10は、支持
台15と中心軸16との高さ方向の位置制御を行いつ
つ、中心軸16に本圧入される。本圧入された振動体1
0および支持台15は、TAB50aにより次工程へ搬送さ
れる。
極パターン13とリード線基板17のリード線延出部1
8a、19aは、ILB機50kにより押圧、融着され、図2
に示すように、電極パターン13とリード線延出部18
a、19aとは結線される。そして、図1、図2に示すよう
な、圧電アクチュエータ用ステータが製造される。
0aの搬送にしたがって、リード線基板17と支持台1
5が接着され、振動体10を支持台15の中心軸16に
圧入し、電極パターン13とリード線延出部18a、1
9aとを結線するようにしたので、TAB50a上で連続か
つ自動的に製造され、さらに効率的な製造が行われる。
着する際、障害物の無い状態でリード線基板を押圧し、
接着剤はリード線基板と支持台間の全面に押し広げられ
るようにしたので、リード線基板と支持台とを確実に接
着する。また、リード線基板と支持台との固着に熱硬化
性の接着剤を用いた場合、圧電素子を実装する前に、硬
化させるようにしたので、圧電素子は熱による影響を受
けず、圧電効果は維持される。また、リード線基板と支
持台を一体とした後に、リード線と圧電素子の位置合わ
せを行うようにしたので、支持台を位置合わせに利用す
ることができ、複雑な位置合わせ機構を必要としない。
更に、リード線基板を前記支持台の振動体に対して反対
側の面に固着し、リード線基板と支持台との間に接着す
るとき、障害物の無い状態で、リード線基板に押圧し、
接着剤はリード線基板と支持台間の全面に押し広げられ
ようにしたので、リード線基板と支持台との確実な接着
が行われる。また、リード線基板と支持台を固着した後
に、リード線と圧電素子の位置合わせを行うようにした
ので、支持台を位置合わせに利用することができ、複雑
な位置合わせ機構を必要としない。テープ部材の搬送に
したがって、リード線基板と支持台が固着され、支持軸
に振動体が圧入され、リード線基板と圧電素子とが結線
されるようにしたので、テープ部材上で連続かつ自動的
に製造され、さらに効率的な製造が行われる。仮圧入工
程の横方向の位置合わせおよび本圧入の高さ方向の位置
合わせが自動制御されるようにしたので、人的労力が著
しく軽減される
た圧電アクチュエータ用ステータの断面構造を示す説明
図である。
から観察した平面構造を示す説明図である。
タの製造装置に係わる実施の形態1の平面構造を示す説
明図である。
製造工程を示す説明図である。
製造方法を示すブロック図である。
製造方法の変形の態様を示すブロック図である。
タの製造装置に係わる実施の形態2の側面構造を示す説
明図である。
タの製造方法を示すフローチャートである。
Claims (4)
- 【請求項1】 リード線基板と支持台が固着され、該リ
ード線基板から延出するリード延出部と圧電素子が結線
される圧電アクチュエータ用ステータにおいて、 圧電素子が接合された振動体を用意する工程と、 支持軸を固定した支持台に前記リード線基板を固着する
工程と、 前記リード延出部と前記圧電素子の位置を合わせる工程
と、 前記支持台の支持軸に、前記振動体を圧入する工程と、 前記リード線基板のリード延出部と圧電素子とを結線す
る工程と、を有することを特徴とする圧電アクチュエー
タ用ステータの製造方法。 - 【請求項2】 位置決め穴を有する支持台に支持軸を固
定する工程と、 一つ以上の突起を有する振動体に前記支持軸を圧入する
工程と、 位置決め穴を有するリード線基板と前記支持台を、互い
の位置決め穴の位置を合わせて固着する工程と、 前記振動体に接合されている複数に分割される電極パタ
ーンを有する圧電素子とリード線とを結線する工程とを
有することを特徴とする圧電アクチュエータ用ステータ
の製造方法。 - 【請求項3】 リード線が配線されたリード線基板にフ
ィルム状のテープ部材を用い、前記テープ部材の移動方
向に沿って、 前記リード線基板と支持軸が固定された支持台とを固着
する手段と、 前記支持台の支持軸と圧電素子が接合された振動体とを
圧入する手段と、 前記圧電素子と前記リード線基板から延出するリード延
出部とを結線する手段と、を備えたことを特徴とする請
求項1または請求項2記載の圧電アクチュエータ用ステ
一夕の製造方法に用いる製造装置。 - 【請求項4】 前記支持台に固着したリード線基板と前
記振動体に接合された圧電素子との横方向の位置合わせ
を行い、前記支持台に固定した支持軸と前記振動体とを
圧入する仮圧入手段と、 前記支持台と前記振動体との高さ方向の位置合わせを行
いつつ、前記支持台の支持軸と前記振動体とを圧入する
本圧入手段と、を備えたことを特徴とする請求項1また
は請求項2記載の圧電アクチュエータ用ステータの製造
方法に用いる製造装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP14811698A JP3534226B2 (ja) | 1998-05-28 | 1998-05-28 | 圧電アクチュエータ用ステータの製造方法および製造装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP14811698A JP3534226B2 (ja) | 1998-05-28 | 1998-05-28 | 圧電アクチュエータ用ステータの製造方法および製造装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH11341843A JPH11341843A (ja) | 1999-12-10 |
JP3534226B2 true JP3534226B2 (ja) | 2004-06-07 |
Family
ID=15445623
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP14811698A Expired - Lifetime JP3534226B2 (ja) | 1998-05-28 | 1998-05-28 | 圧電アクチュエータ用ステータの製造方法および製造装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP3534226B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2003309983A (ja) * | 2002-04-15 | 2003-10-31 | Kyocera Corp | 案内装置 |
-
1998
- 1998-05-28 JP JP14811698A patent/JP3534226B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPH11341843A (ja) | 1999-12-10 |
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