JP3532273B2 - 流体圧作動弁装置 - Google Patents
流体圧作動弁装置Info
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- JP3532273B2 JP3532273B2 JP31635594A JP31635594A JP3532273B2 JP 3532273 B2 JP3532273 B2 JP 3532273B2 JP 31635594 A JP31635594 A JP 31635594A JP 31635594 A JP31635594 A JP 31635594A JP 3532273 B2 JP3532273 B2 JP 3532273B2
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Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は空気圧などの流体圧を使
用して、弁体の開度を全開、全閉およびこれらの中間の
位置に作動させる流体圧作動弁装置に関する。
用して、弁体の開度を全開、全閉およびこれらの中間の
位置に作動させる流体圧作動弁装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】空気圧を利用して弁体の開度を制御する
ようにした弁装置は、通常、エアーオペレートバルブと
も言われ、電磁弁と相違して電気的に弁体の作動を制御
することがないので、防爆性が必要とされる雰囲気にお
いて使用する際にも有用となっている。また、電磁弁と
相違して耐久性が良く、悪環境における使用にも有利で
あり、木工機械などの一般産業機械にも多用されてい
る。
ようにした弁装置は、通常、エアーオペレートバルブと
も言われ、電磁弁と相違して電気的に弁体の作動を制御
することがないので、防爆性が必要とされる雰囲気にお
いて使用する際にも有用となっている。また、電磁弁と
相違して耐久性が良く、悪環境における使用にも有利で
あり、木工機械などの一般産業機械にも多用されてい
る。
【０００３】このようなエアーオペレートバルブとして
は、従来、実開平４−２７２７９号公報に記載されるよ
うなものがある。これに記載された弁装置は、それぞれ
空気圧ピストンにより作動される２つの弁体をハウジン
グ内に並列に配置し、流入ポートと流出ポートとの間を
連通させてハウジング内に形成された流路を２つの弁体
を介して直列に接続し、弁体の全開時の開度を調整する
ことにより、全開と全閉以外に、これらの中間の開度を
得るようにしている。
は、従来、実開平４−２７２７９号公報に記載されるよ
うなものがある。これに記載された弁装置は、それぞれ
空気圧ピストンにより作動される２つの弁体をハウジン
グ内に並列に配置し、流入ポートと流出ポートとの間を
連通させてハウジング内に形成された流路を２つの弁体
を介して直列に接続し、弁体の全開時の開度を調整する
ことにより、全開と全閉以外に、これらの中間の開度を
得るようにしている。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、この弁
装置は弁体とこれを作動させるためのピスントとが２組
ずつ必要となり、部品点数が増加するだけでなく、弁装
置の取付面積が大きくなってしまうという問題点があ
る。さらに、２つの弁体に対して流路を直列に形成する
と、流路をハウジング内に蛇行させて入り組んで形成す
る必要があり、液体の流れを制御する場合には、流路内
に液溜まりが発生することがある。
装置は弁体とこれを作動させるためのピスントとが２組
ずつ必要となり、部品点数が増加するだけでなく、弁装
置の取付面積が大きくなってしまうという問題点があ
る。さらに、２つの弁体に対して流路を直列に形成する
と、流路をハウジング内に蛇行させて入り組んで形成す
る必要があり、液体の流れを制御する場合には、流路内
に液溜まりが発生することがある。
【０００５】特に、半導体ウエハの製造技術の分野を始
め、液晶基板製造技術の分野などにおいて、フォトレジ
スト液、純水、アルカリ性や酸性の処理液などの液体が
使用される分野において、このような液体の流れを制御
するための弁装置にあっては、液体が流路内に溜まる液
溜まりの発生をなくすようにすることが重要な解決課題
となっている。
め、液晶基板製造技術の分野などにおいて、フォトレジ
スト液、純水、アルカリ性や酸性の処理液などの液体が
使用される分野において、このような液体の流れを制御
するための弁装置にあっては、液体が流路内に溜まる液
溜まりの発生をなくすようにすることが重要な解決課題
となっている。
【０００６】実開平３−３８４６４号公報に記載された
弁装置は、流路の開度を変化させる弁体に連結された第
１ピストンと、このピストンの後退限位置を変化させる
第２ピストンとの２つのピストンを有し、第１ピストン
を前進限位置とした全開開度と、両方のピストンを後退
限位置とした全閉開度と、第２ピストンを前進限位置と
してこれに当接させる位置まで第１ピストンを後退させ
た中間開度との３種類の開度に弁体を作動させるように
している。
弁装置は、流路の開度を変化させる弁体に連結された第
１ピストンと、このピストンの後退限位置を変化させる
第２ピストンとの２つのピストンを有し、第１ピストン
を前進限位置とした全開開度と、両方のピストンを後退
限位置とした全閉開度と、第２ピストンを前進限位置と
してこれに当接させる位置まで第１ピストンを後退させ
た中間開度との３種類の開度に弁体を作動させるように
している。
【０００７】しかしながら、このタイプの弁装置は、２
つのピストンの外径を相互に相違させることが不可避で
あり、弁体の作動に要する最小の圧力を得るためのピス
トン径に比して大径のピストンを用いることとなり、弁
装置の形状が大型となり、設置スペースが限られる場合
には使用することが容易でないことがある。また、この
タイプの弁装置にあっては、多段階の流量調整は不可能
である。
つのピストンの外径を相互に相違させることが不可避で
あり、弁体の作動に要する最小の圧力を得るためのピス
トン径に比して大径のピストンを用いることとなり、弁
装置の形状が大型となり、設置スペースが限られる場合
には使用することが容易でないことがある。また、この
タイプの弁装置にあっては、多段階の流量調整は不可能
である。
【０００８】本発明の目的は、少ない部品点数により全
開と全閉とこれらの間の中間位置に作動する小型の流体
圧作動弁装置を提供することにある。
開と全閉とこれらの間の中間位置に作動する小型の流体
圧作動弁装置を提供することにある。
【０００９】本発明の前記ならびにその他の目的と新規
な特徴は、本明細書の記述および添付図面から明らかに
なるであろう。
な特徴は、本明細書の記述および添付図面から明らかに
なるであろう。
【００１０】
【課題を解決するための手段】本願において開示される
発明のうち、代表的なものの概要を簡単に説明すれば、
以下のとおりである。
発明のうち、代表的なものの概要を簡単に説明すれば、
以下のとおりである。
【００１１】すなわち、本発明の流体圧作動弁装置は、
連通開口部の開度を変化させる駆動軸が軸方向に往復動
自在となったハウジングを有し、この駆動軸にはこれを
一方向に押圧して弁体を第１の位置に作動させる第１加
圧室を形成する第１ピストンが設けられ、駆動軸を逆方
向に押圧して弁体を第２の位置に作動させる付勢手段が
ハウジングに設けられている。駆動軸にはこれの一方向
の移動を許容させて摺動自在に第２ピストンが嵌合さ
れ、第２加圧室が形成されている。第２加圧室内に流体
を供給して第２ピストンを一方向に向けて移動させる際
には、係合手段によって第２ピストンは駆動軸に係合さ
れる。ハウジングにはこれにねじ結合される雄ねじ部を
有し、第２ピストンに当接して弁体を前記第１の位置と
前記第２の位置の中間位置に規制する調整ねじ部材が設
けられている。
連通開口部の開度を変化させる駆動軸が軸方向に往復動
自在となったハウジングを有し、この駆動軸にはこれを
一方向に押圧して弁体を第１の位置に作動させる第１加
圧室を形成する第１ピストンが設けられ、駆動軸を逆方
向に押圧して弁体を第２の位置に作動させる付勢手段が
ハウジングに設けられている。駆動軸にはこれの一方向
の移動を許容させて摺動自在に第２ピストンが嵌合さ
れ、第２加圧室が形成されている。第２加圧室内に流体
を供給して第２ピストンを一方向に向けて移動させる際
には、係合手段によって第２ピストンは駆動軸に係合さ
れる。ハウジングにはこれにねじ結合される雄ねじ部を
有し、第２ピストンに当接して弁体を前記第１の位置と
前記第２の位置の中間位置に規制する調整ねじ部材が設
けられている。
【００１２】また、本発明の流体圧作動装置は、駆動軸
に設けられた主ピストンに加えて、複数の副ピストンが
これの一方向の移動を許容するように摺動自在に嵌合さ
れ、それぞれの副ピストンに調整ねじ部材を当接させる
ことにより、弁体が複数の中間位置に設定される。
に設けられた主ピストンに加えて、複数の副ピストンが
これの一方向の移動を許容するように摺動自在に嵌合さ
れ、それぞれの副ピストンに調整ねじ部材を当接させる
ことにより、弁体が複数の中間位置に設定される。
【００１３】
【作用】前記流体圧作動弁装置にあっては、第１加圧室
内に供給される流体圧により第１ピストンが押圧されて
弁体は流路を全開状態などの第１の位置に設定され、流
体圧を供給しない状態では付勢手段によって全閉状態な
どの第２の位置に設定される。第２加圧室に流体圧を供
給すると、第２ピストンが係合手段によって駆動軸に係
合してこれを一方向に押圧し、弁体は第１の位置と第２
の位置との中間の位置に設定される。
内に供給される流体圧により第１ピストンが押圧されて
弁体は流路を全開状態などの第１の位置に設定され、流
体圧を供給しない状態では付勢手段によって全閉状態な
どの第２の位置に設定される。第２加圧室に流体圧を供
給すると、第２ピストンが係合手段によって駆動軸に係
合してこれを一方向に押圧し、弁体は第１の位置と第２
の位置との中間の位置に設定される。
【００１４】また、前記流体圧作動弁装置にあっては、
中間位置を複数の副ピストンの一方向に向かう移動スト
ロークをそれぞれ相違させることにより、多数の中間位
置に弁体の開度を変化させることができる。
中間位置を複数の副ピストンの一方向に向かう移動スト
ロークをそれぞれ相違させることにより、多数の中間位
置に弁体の開度を変化させることができる。
【００１５】
【実施例】以下、本発明の実施例を図面に基づいて詳細
に説明する。
に説明する。
【００１６】（実施例１）図１は本発明の一実施例であ
る流体圧作動弁装置を示す図であり、弁のハウジング１
は、一端から他端に向けて順次配置される第１ブロック
１ａ、第２ブロック１ｂおよび第３ブロック１ｃと、一
端部に位置する取付プレート１ｅと他端部に位置するカ
バー１ｆとにより形成されており、これらは図示しない
ねじ部材により組み付けられている。
る流体圧作動弁装置を示す図であり、弁のハウジング１
は、一端から他端に向けて順次配置される第１ブロック
１ａ、第２ブロック１ｂおよび第３ブロック１ｃと、一
端部に位置する取付プレート１ｅと他端部に位置するカ
バー１ｆとにより形成されており、これらは図示しない
ねじ部材により組み付けられている。
【００１７】ハウジング１の第１ブロック１ａには、薬
液などの液体が流入し流入ポートを構成する流入側通路
２と、液体が流出し流出ポートを構成する流出側通路３
とが形成され、これらの流路が連通開口部４の部分で連
通し合っている。
液などの液体が流入し流入ポートを構成する流入側通路
２と、液体が流出し流出ポートを構成する流出側通路３
とが形成され、これらの流路が連通開口部４の部分で連
通し合っている。
【００１８】ハウジング１内には軸方向に往復動自在に
駆動軸５が装着されており、この駆動軸５の先端にはダ
イヤフラム式の弁体６が設けられている。この弁体６は
ポリテトラフルオロエチレン（ＰＴＦＥ）などのフッ素
樹脂により形成されており、駆動軸５の先端部にねじ結
合される軸部６ａと、弾性変形自在のディスク部６ｂと
を有し、ディスク部６ｂの外周部は、第１ブロック１ａ
と第２ブロック１ｂの間に挟み付けられている。
駆動軸５が装着されており、この駆動軸５の先端にはダ
イヤフラム式の弁体６が設けられている。この弁体６は
ポリテトラフルオロエチレン（ＰＴＦＥ）などのフッ素
樹脂により形成されており、駆動軸５の先端部にねじ結
合される軸部６ａと、弾性変形自在のディスク部６ｂと
を有し、ディスク部６ｂの外周部は、第１ブロック１ａ
と第２ブロック１ｂの間に挟み付けられている。
【００１９】駆動軸５を軸方向に移動させることによ
り、連通開口部４を形成する弁座７と弁体６との間の隙
間を変化させると、流入側通路２と流出側通路３との間
の連通開口部４の開度が変化して、流出側通路３に向け
て流出する液体の流量が変化する。
り、連通開口部４を形成する弁座７と弁体６との間の隙
間を変化させると、流入側通路２と流出側通路３との間
の連通開口部４の開度が変化して、流出側通路３に向け
て流出する液体の流量が変化する。
【００２０】駆動軸５は弁体６の軸部６ａがねじ結合さ
れるねじ軸部５ａと、第１ピストン８が設けられてねじ
軸部５ａにねじ結合されるピストンロッド５ｂと、この
ピストンロッド５ｂにねじ結合されるねじ部材５ｃとに
より形成されている。
れるねじ軸部５ａと、第１ピストン８が設けられてねじ
軸部５ａにねじ結合されるピストンロッド５ｂと、この
ピストンロッド５ｂにねじ結合されるねじ部材５ｃとに
より形成されている。
【００２１】第１ピストン８によりハウジング１の第２
ブロック１ｂ内には第１ピストン８の前端面側つまり弁
体６側に第１加圧室９が区画形成され、この第１加圧室
９に連通させてハウジング１には第１制御ポート１１が
形成されている。この第１制御ポート１１から第１加圧
室９内に圧縮空気を供給すると、駆動軸５は後退する方
向つまり一方向に押圧され、第１ピストン８は後退限位
置まで駆動されて弁体６を後退限位置（第１の位置）ま
で作動させることになる。
ブロック１ｂ内には第１ピストン８の前端面側つまり弁
体６側に第１加圧室９が区画形成され、この第１加圧室
９に連通させてハウジング１には第１制御ポート１１が
形成されている。この第１制御ポート１１から第１加圧
室９内に圧縮空気を供給すると、駆動軸５は後退する方
向つまり一方向に押圧され、第１ピストン８は後退限位
置まで駆動されて弁体６を後退限位置（第１の位置）ま
で作動させることになる。
【００２２】図１は弁体６が前進限位置（第２の位置）
となり、弁座７に接触している状態を示す。第１ピスト
ン８はその前進限位置から後退限位置までのストローク
Ｓ1の範囲で前進後退移動するようになっており、第１
ピストン８が第３ブロック１ｃの当接面１４に接触する
後退限位置となると、弁体６により連通開口部４は最大
の開度に設定される。
となり、弁座７に接触している状態を示す。第１ピスト
ン８はその前進限位置から後退限位置までのストローク
Ｓ1の範囲で前進後退移動するようになっており、第１
ピストン８が第３ブロック１ｃの当接面１４に接触する
後退限位置となると、弁体６により連通開口部４は最大
の開度に設定される。
【００２３】第１ピストン８の後端面側にはばね室１５
が形成され、このばね室１５内には駆動軸５を前記一方
向とは逆の方向、つまり前進させる方向に押圧し、第１
ピストン８および弁体６を前進限位置に向けて押圧する
ための付勢手段として圧縮コイルばね１６が設けられて
いる。したがって、第１制御ポート１１から圧縮空気を
第１加圧室９内に供給すると、弁体６は流路を全開す
る。そして、圧縮空気の供給を停止して第１加圧室９内
の空気を外部に排出させると、圧縮コイルばね１６のば
ね力により弁体６は流路を閉塞する。ただし、ばね室１
５を加圧室とし、この中に圧縮空気を供給することによ
り、駆動軸５を逆方向に押圧し、第１ピストン８に対し
て前進限位置に向かう付勢力を加えるようにしても良
い。
が形成され、このばね室１５内には駆動軸５を前記一方
向とは逆の方向、つまり前進させる方向に押圧し、第１
ピストン８および弁体６を前進限位置に向けて押圧する
ための付勢手段として圧縮コイルばね１６が設けられて
いる。したがって、第１制御ポート１１から圧縮空気を
第１加圧室９内に供給すると、弁体６は流路を全開す
る。そして、圧縮空気の供給を停止して第１加圧室９内
の空気を外部に排出させると、圧縮コイルばね１６のば
ね力により弁体６は流路を閉塞する。ただし、ばね室１
５を加圧室とし、この中に圧縮空気を供給することによ
り、駆動軸５を逆方向に押圧し、第１ピストン８に対し
て前進限位置に向かう付勢力を加えるようにしても良
い。
【００２４】駆動軸５を構成するねじ部材５ｃには第２
ピストン１７が嵌合されており、この第２ピストン１７
によって、ハウジング１内には第２ピストン１７の前端
面側に第２加圧室１８が区画形成されている。第２ピス
トン１７は、駆動軸５が弁体６を開く方向つまり後退さ
せる方向に移動した場合には、停止した状態を維持して
駆動軸５の後退移動を許容するように、ねじ部材５ｃに
対して摺動自在に嵌合されている。
ピストン１７が嵌合されており、この第２ピストン１７
によって、ハウジング１内には第２ピストン１７の前端
面側に第２加圧室１８が区画形成されている。第２ピス
トン１７は、駆動軸５が弁体６を開く方向つまり後退さ
せる方向に移動した場合には、停止した状態を維持して
駆動軸５の後退移動を許容するように、ねじ部材５ｃに
対して摺動自在に嵌合されている。
【００２５】第２加圧室１８に連通させてハウジング１
には第２制御ポート１２が形成されている。この第２制
御ポート１２から第２加圧室１８内に圧縮空気を供給す
ると、第２ピストン１７は後退移動つまり一方向に移動
することになり、この後退移動時に第２ピストン１７を
駆動軸５に係合させるために、ねじ部材５ｃには係合手
段としての頭部２１が設けられている。
には第２制御ポート１２が形成されている。この第２制
御ポート１２から第２加圧室１８内に圧縮空気を供給す
ると、第２ピストン１７は後退移動つまり一方向に移動
することになり、この後退移動時に第２ピストン１７を
駆動軸５に係合させるために、ねじ部材５ｃには係合手
段としての頭部２１が設けられている。
【００２６】ハウジング１のカバー１ｆには、第２ピス
トン１７の後端面に対向する筒部２２を有する調整ねじ
部材２３がその雄ねじ部２４の部分でねじ結合されてお
り、筒部２２の前面は当接面２５となっている。この当
接面２５と第２ピストン１７との間のストロークＳ2 は
ストロークＳ1 よりも小さく設定されている。第１加圧
室９内に圧縮空気が供給されていない状態のもとで、第
２加圧室１８内に第２制御ポート１２から圧縮空気を供
給すると、第２ピストン１７は後退移動する。この後退
移動によって駆動軸５は後退移動して調整ねじ部材２３
の当接面２５に当接する。この当接状態では、弁体６は
前進限位置と後退限位置との中間の位置に設定される。
トン１７の後端面に対向する筒部２２を有する調整ねじ
部材２３がその雄ねじ部２４の部分でねじ結合されてお
り、筒部２２の前面は当接面２５となっている。この当
接面２５と第２ピストン１７との間のストロークＳ2 は
ストロークＳ1 よりも小さく設定されている。第１加圧
室９内に圧縮空気が供給されていない状態のもとで、第
２加圧室１８内に第２制御ポート１２から圧縮空気を供
給すると、第２ピストン１７は後退移動する。この後退
移動によって駆動軸５は後退移動して調整ねじ部材２３
の当接面２５に当接する。この当接状態では、弁体６は
前進限位置と後退限位置との中間の位置に設定される。
【００２７】中間位置を変化させるために、位置決め部
材としての調整ねじ部材２３の後端部には治具嵌合部２
６が形成されており、この治具嵌合部２６に図示しない
スパナなどを用いて調整ねじ部材２３を回転させると、
第２ピストン１７と調整ねじ部材２３の先端の当接面２
５との間隔（ストロークＳ2 ）が調整されることにな
り、弁体６の中間位置が調整される。
材としての調整ねじ部材２３の後端部には治具嵌合部２
６が形成されており、この治具嵌合部２６に図示しない
スパナなどを用いて調整ねじ部材２３を回転させると、
第２ピストン１７と調整ねじ部材２３の先端の当接面２
５との間隔（ストロークＳ2 ）が調整されることにな
り、弁体６の中間位置が調整される。
【００２８】調整ねじ部材２３をハウジング１に対して
締結するために、調整ねじ部材２３の雄ねじ部２４にロ
ックナット２７がねじ結合している。中間位置を変化さ
せる必要がない場合には、調整ねじ部材２３に代えて、
位置決め部材としてハウジング１内に固定部材を取り付
けるようにし、その固定部材に第２ピストン１７を当接
させることにより、第２ピストン１７の後退限位置を規
制して中間位置を設定するようにしても良い。
締結するために、調整ねじ部材２３の雄ねじ部２４にロ
ックナット２７がねじ結合している。中間位置を変化さ
せる必要がない場合には、調整ねじ部材２３に代えて、
位置決め部材としてハウジング１内に固定部材を取り付
けるようにし、その固定部材に第２ピストン１７を当接
させることにより、第２ピストン１７の後退限位置を規
制して中間位置を設定するようにしても良い。
【００２９】なお、駆動軸５の往復動に際してこれを円
滑に行わせるために、ハウジング１に形成されたばね室
１５などのスペースとその外部とを連通させ、それぞれ
のスペース内への空気の流出入を行うために、ブリード
孔２８ａ〜２８ｃがハウジング１に形成されている。ま
た、相互に摺動関係となる部材相互間には、Ｏリングな
どのシール材が設けられている。
滑に行わせるために、ハウジング１に形成されたばね室
１５などのスペースとその外部とを連通させ、それぞれ
のスペース内への空気の流出入を行うために、ブリード
孔２８ａ〜２８ｃがハウジング１に形成されている。ま
た、相互に摺動関係となる部材相互間には、Ｏリングな
どのシール材が設けられている。
【００３０】図示する場合には、流路内を流れる流体が
薬液などの金属腐食性の液体であることから、第１ブロ
ック１ａは弁体５と同様にＰＴＦＥにより形成されてお
り、同様にハウジング１を構成する他のブロックを同様
の樹脂により形成するようにしても良い。
薬液などの金属腐食性の液体であることから、第１ブロ
ック１ａは弁体５と同様にＰＴＦＥにより形成されてお
り、同様にハウジング１を構成する他のブロックを同様
の樹脂により形成するようにしても良い。
【００３１】次に、前記した流体圧作動弁装置の動作に
ついて説明すると、両方の加圧室９，１８内に作動制御
用の空気圧が供給されていない状態では、圧縮コイルば
ね１６のばね力により、駆動軸５と弁体６は前進限位置
（第２の位置）となる。図示する場合には、前進限位置
においては、弁体６が弁座７に接触して連通開口部４を
閉塞する位置となっており、液体の流れは停止される。
ついて説明すると、両方の加圧室９，１８内に作動制御
用の空気圧が供給されていない状態では、圧縮コイルば
ね１６のばね力により、駆動軸５と弁体６は前進限位置
（第２の位置）となる。図示する場合には、前進限位置
においては、弁体６が弁座７に接触して連通開口部４を
閉塞する位置となっており、液体の流れは停止される。
【００３２】この状態のもとで、第１制御ポート１１か
ら第１加圧室９内に圧縮空気を供給すると、第１ピスト
ン８は圧縮コイルばね１６のばね力に抗して当接面１４
に接触する後退限の位置まで移動して、弁体６は後退限
位置（第１の位置）となり、連通開口部４を全開状態と
なる。このときには、駆動軸５が一方向に後退移動する
が、駆動軸５の後端部に位置するねじ部材５ｃは調整ね
じ部材２３の筒部２２内に入り込み、第２ピストン１７
は駆動されることなく、図１に示す位置に停止された状
態のままとなる。
ら第１加圧室９内に圧縮空気を供給すると、第１ピスト
ン８は圧縮コイルばね１６のばね力に抗して当接面１４
に接触する後退限の位置まで移動して、弁体６は後退限
位置（第１の位置）となり、連通開口部４を全開状態と
なる。このときには、駆動軸５が一方向に後退移動する
が、駆動軸５の後端部に位置するねじ部材５ｃは調整ね
じ部材２３の筒部２２内に入り込み、第２ピストン１７
は駆動されることなく、図１に示す位置に停止された状
態のままとなる。
【００３３】一方、第１加圧室９内に圧縮空気を供給せ
ず、弁体６が前進限位置となっている状態のもとで、第
２加圧室１８内に圧縮空気を供給すると、第２ピストン
１７は調整ねじ部材２３の当接面２５に当接するまで一
方向に後退移動する。この後退移動の過程では、頭部２
１によって駆動軸５は第２ピストン１７に係合している
ので、駆動軸５はストロークＳ2 だけ後退移動する。こ
れにより、弁体６は全開位置と全閉位置との中間位置に
設定されて、少量の液体が流路内を流れることになる。
ず、弁体６が前進限位置となっている状態のもとで、第
２加圧室１８内に圧縮空気を供給すると、第２ピストン
１７は調整ねじ部材２３の当接面２５に当接するまで一
方向に後退移動する。この後退移動の過程では、頭部２
１によって駆動軸５は第２ピストン１７に係合している
ので、駆動軸５はストロークＳ2 だけ後退移動する。こ
れにより、弁体６は全開位置と全閉位置との中間位置に
設定されて、少量の液体が流路内を流れることになる。
【００３４】たとえば、この弁装置が薬液の流れを制御
するために使用されるときには、流路内に薬液の液溜ま
りの発生を抑えるために、少量の薬液を頻繁に流すよう
にする場合があり、その場合には弁体６を中間位置に設
定する。中間位置における薬液の流量は、調整ねじ部材
２３の回転量を調整することにより調整される。
するために使用されるときには、流路内に薬液の液溜ま
りの発生を抑えるために、少量の薬液を頻繁に流すよう
にする場合があり、その場合には弁体６を中間位置に設
定する。中間位置における薬液の流量は、調整ねじ部材
２３の回転量を調整することにより調整される。
【００３５】図示する流体圧作動弁装置にあっては、駆
動軸５にこれと一体に作動する第１ピストン８と、後退
移動時にのみ駆動軸５を移動させて駆動軸５が第１ピス
トン８により駆動される際には停止状態を維持する第２
ピストン１７を駆動軸５に嵌合させたことから、それぞ
れのピストン８，１７の外径を大きくすることなく、弁
装置全体のサイズを小型化することが可能となる。
動軸５にこれと一体に作動する第１ピストン８と、後退
移動時にのみ駆動軸５を移動させて駆動軸５が第１ピス
トン８により駆動される際には停止状態を維持する第２
ピストン１７を駆動軸５に嵌合させたことから、それぞ
れのピストン８，１７の外径を大きくすることなく、弁
装置全体のサイズを小型化することが可能となる。
【００３６】（実施例２）図２および図３は本発明の他
の実施例である流体圧作動弁装置を示す図であり、これ
らの図において前記実施例における部材と共通する部材
には同一の符号が付されている。
の実施例である流体圧作動弁装置を示す図であり、これ
らの図において前記実施例における部材と共通する部材
には同一の符号が付されている。
【００３７】図示するように、ハウジング１は４つのブ
ロック１ａ〜１ｄと、取付プレート１ｅとカバー１ｆと
により形成されており、図２に示すように、全体的に直
方体となっている。それぞれ第１ブロック１ａに形成さ
れた流入側通路２と流出側通路３は連通開口部４の部分
で連通し合っている。
ロック１ａ〜１ｄと、取付プレート１ｅとカバー１ｆと
により形成されており、図２に示すように、全体的に直
方体となっている。それぞれ第１ブロック１ａに形成さ
れた流入側通路２と流出側通路３は連通開口部４の部分
で連通し合っている。
【００３８】ダイヤフラム式の弁体６は、１本の駆動軸
５の先端部にねじ結合されており、この駆動軸５には止
めリング３１ａ，３１ｂにより主ピストン８ａが固定さ
れ、この主ピストン８ａによりハウジング１内に主加圧
室９ａが区画形成されている。この主加圧室９ａには第
１制御ポート１１から圧縮空気が供給されるようになっ
ており、この圧縮空気により駆動軸５と主ピストン８ａ
は一方向に押圧されて移動し、弁体６は後退限位置（第
１の位置）に設定される。
５の先端部にねじ結合されており、この駆動軸５には止
めリング３１ａ，３１ｂにより主ピストン８ａが固定さ
れ、この主ピストン８ａによりハウジング１内に主加圧
室９ａが区画形成されている。この主加圧室９ａには第
１制御ポート１１から圧縮空気が供給されるようになっ
ており、この圧縮空気により駆動軸５と主ピストン８ａ
は一方向に押圧されて移動し、弁体６は後退限位置（第
１の位置）に設定される。
【００３９】この後退限位置は、ブロック１ｃに形成さ
れた当接面１４により規制されるようになっており、主
ピストン８ａはストロークＳ1 の範囲で往復動する。主
加圧室９ａに圧縮空気が供給されていない場合には、ば
ね室１５内に設けられた圧縮コイルばね１６により付勢
されて主ピストン８ａは前進限位置まで移動し、弁体６
は前進限位置（第２の位置）となる。
れた当接面１４により規制されるようになっており、主
ピストン８ａはストロークＳ1 の範囲で往復動する。主
加圧室９ａに圧縮空気が供給されていない場合には、ば
ね室１５内に設けられた圧縮コイルばね１６により付勢
されて主ピストン８ａは前進限位置まで移動し、弁体６
は前進限位置（第２の位置）となる。
【００４０】駆動軸５には第１副ピストン１７ａが嵌合
されており、この第１副ピストン１７ａによってハウジ
ング１内には第１副加圧室１８ａが区画形成され、この
第１副加圧室１８ａには第２制御ポート１２から圧縮空
気が供給されるようになっている。この第１副ピストン
１７ａは駆動軸５が後退移動する場合には、停止した状
態を維持して駆動軸５の後退移動を許容するように、駆
動軸５に対して摺動自在に嵌合されている。
されており、この第１副ピストン１７ａによってハウジ
ング１内には第１副加圧室１８ａが区画形成され、この
第１副加圧室１８ａには第２制御ポート１２から圧縮空
気が供給されるようになっている。この第１副ピストン
１７ａは駆動軸５が後退移動する場合には、停止した状
態を維持して駆動軸５の後退移動を許容するように、駆
動軸５に対して摺動自在に嵌合されている。
【００４１】第１副加圧室１８ａに圧縮空気を供給する
ことにより第１副ピストン１７ａが後退移動するとき
に、この後退移動を駆動軸５に伝達するために、係合手
段として止めリング３２が駆動軸５に第１副ピストン１
７ａの後方に位置させて取り付けられている。
ことにより第１副ピストン１７ａが後退移動するとき
に、この後退移動を駆動軸５に伝達するために、係合手
段として止めリング３２が駆動軸５に第１副ピストン１
７ａの後方に位置させて取り付けられている。
【００４２】第３ブロック１ｃに形成された雄ねじ部３
３ａには、環状に形成された調整ねじ部材（つまみ）２
３ａがねじ結合されており、この調整ねじ部材２３ａの
外周部の一部は、図２に示すように、ハウジング１の側
面に形成された窓部３４ａで外部に露出している。した
がって、この窓部３４ａで露出した部分を操作して調整
ねじ部材２３ａを回転することにより、この調整ねじ部
材２３ａの下面に形成された当接面２５ａと第１副ピス
トン１７ａとの間のストロークＳ2 を変化させることが
できる。所定のストロークＳ2 を設定した後に、ロック
ねじ２７ａを締結することにより、調整ねじ部材２３ａ
のゆるみが防止される。
３ａには、環状に形成された調整ねじ部材（つまみ）２
３ａがねじ結合されており、この調整ねじ部材２３ａの
外周部の一部は、図２に示すように、ハウジング１の側
面に形成された窓部３４ａで外部に露出している。した
がって、この窓部３４ａで露出した部分を操作して調整
ねじ部材２３ａを回転することにより、この調整ねじ部
材２３ａの下面に形成された当接面２５ａと第１副ピス
トン１７ａとの間のストロークＳ2 を変化させることが
できる。所定のストロークＳ2 を設定した後に、ロック
ねじ２７ａを締結することにより、調整ねじ部材２３ａ
のゆるみが防止される。
【００４３】駆動軸５には第２副ピストン１７ｂが嵌合
されており、この第２副ピストン１７ｂによってハウジ
ング１内には第２副加圧室１８ｂが区画形成され、この
第２副加圧室１８ｂには第３制御ポート１３から圧縮空
気が供給されるようになっている。この第２副ピストン
１７ｂは駆動軸５が後退移動する場合には、停止した状
態を維持して駆動軸５の後退移動を許容するように、駆
動軸５に対して摺動自在に嵌合されている。
されており、この第２副ピストン１７ｂによってハウジ
ング１内には第２副加圧室１８ｂが区画形成され、この
第２副加圧室１８ｂには第３制御ポート１３から圧縮空
気が供給されるようになっている。この第２副ピストン
１７ｂは駆動軸５が後退移動する場合には、停止した状
態を維持して駆動軸５の後退移動を許容するように、駆
動軸５に対して摺動自在に嵌合されている。
【００４４】第２副加圧室１８ｂに圧縮空気を供給する
ことにより第２副ピストン１７ｂが後退移動するとき
に、この後退移動を駆動軸５に伝達するために、係合手
段として止めリング３５が駆動軸５に第２副ピストン１
７ｂの後方に位置させて取り付けられている。
ことにより第２副ピストン１７ｂが後退移動するとき
に、この後退移動を駆動軸５に伝達するために、係合手
段として止めリング３５が駆動軸５に第２副ピストン１
７ｂの後方に位置させて取り付けられている。
【００４５】カバー１ｆに形成された雄ねじ部３３ｂに
は、環状に形成された調整ねじ部材２３ｂがねじ結合さ
れており、この調整ねじ部材２３ｂの外周部の一部は、
図２に示すように、ハウジング１の側面に形成された窓
部３４ｂで外部に露出している。したがって、この窓部
３４ｂで露出した部分を操作して調整ねじ部材２３ｂを
回転することにより、この調整ねじ部材２３ｂの下面に
形成された当接面２５ｂと第２副ピストン１７ｂとの間
のストロークＳ3 を変化させることができる。所定のス
トロークＳ3 を設定した後に、ロックねじ２７ｂを締結
することにより、調整ねじ部材２３ｂのゆるみが防止さ
れる。それぞれのストロークＳ2 ，Ｓ3はストロークＳ
1 よりも小さく設定されている。
は、環状に形成された調整ねじ部材２３ｂがねじ結合さ
れており、この調整ねじ部材２３ｂの外周部の一部は、
図２に示すように、ハウジング１の側面に形成された窓
部３４ｂで外部に露出している。したがって、この窓部
３４ｂで露出した部分を操作して調整ねじ部材２３ｂを
回転することにより、この調整ねじ部材２３ｂの下面に
形成された当接面２５ｂと第２副ピストン１７ｂとの間
のストロークＳ3 を変化させることができる。所定のス
トロークＳ3 を設定した後に、ロックねじ２７ｂを締結
することにより、調整ねじ部材２３ｂのゆるみが防止さ
れる。それぞれのストロークＳ2 ，Ｓ3はストロークＳ
1 よりも小さく設定されている。
【００４６】図２および図３に示す装置にあっては、第
１制御ポート１１から主加圧室９ａ内に圧縮空気を供給
すると弁体６は後退限位置（第１の位置）となり、図示
する場合には流路は全開となる。主加圧室９ａ内への圧
縮空気の供給を停止して、この中の空気を排出すると、
圧縮コイルばね１６のばね力により弁体６は前進限位置
（第２の位置）となり、図示する場合には流路は全閉と
なる。
１制御ポート１１から主加圧室９ａ内に圧縮空気を供給
すると弁体６は後退限位置（第１の位置）となり、図示
する場合には流路は全開となる。主加圧室９ａ内への圧
縮空気の供給を停止して、この中の空気を排出すると、
圧縮コイルばね１６のばね力により弁体６は前進限位置
（第２の位置）となり、図示する場合には流路は全閉と
なる。
【００４７】一方、主加圧室９ａ内へ圧縮空気を供給し
ていない状態のもとで、第２制御ポート１２あるいは第
３制御ポート１３のいずれか一方から圧縮空気を供給す
ると、第１副ピストン１７ａあるいは第２副ピストン１
７ｂが後退移動して、調整ねじ部材２３ａ，２３ｂによ
り調整された開度に対応した流量に制御される。
ていない状態のもとで、第２制御ポート１２あるいは第
３制御ポート１３のいずれか一方から圧縮空気を供給す
ると、第１副ピストン１７ａあるいは第２副ピストン１
７ｂが後退移動して、調整ねじ部材２３ａ，２３ｂによ
り調整された開度に対応した流量に制御される。
【００４８】図示する実施例にあっては、ストロークＳ
2 ，Ｓ3 を相違させると、弁体６は２種類の中間の開度
となり、複数段階に流量を制御することができる。この
タイプの弁装置にあっては、駆動軸５を長くして、その
前進限と後退限の間のストロークＳ1 を長くし、副ピス
トンの数を図示する場合よりも増加させることにより、
弁体６を多段階の中間開度に作動するように設定するこ
とができる。
2 ，Ｓ3 を相違させると、弁体６は２種類の中間の開度
となり、複数段階に流量を制御することができる。この
タイプの弁装置にあっては、駆動軸５を長くして、その
前進限と後退限の間のストロークＳ1 を長くし、副ピス
トンの数を図示する場合よりも増加させることにより、
弁体６を多段階の中間開度に作動するように設定するこ
とができる。
【００４９】この実施例にあっても、前記実施例のよう
にそれぞれの中間位置を変化させる必要がない場合に
は、調整ねじ部材２３に代えて固定部材を位置決め部材
とするようにしても良い。その場合には、図３に示され
たハウジング１内の段部２９ａ，２９ｂをそれぞれ当接
面として、これにそれぞれの副ピストン１７ａ，１７ｂ
の後端面を当接させるようにしても良く、段部２９ａ，
２９ｂと副ピストン１７ａ，１７ｂとの間の最大隙間を
必要なストロークＳ2 ，Ｓ3 に対応させるようにする。
にそれぞれの中間位置を変化させる必要がない場合に
は、調整ねじ部材２３に代えて固定部材を位置決め部材
とするようにしても良い。その場合には、図３に示され
たハウジング１内の段部２９ａ，２９ｂをそれぞれ当接
面として、これにそれぞれの副ピストン１７ａ，１７ｂ
の後端面を当接させるようにしても良く、段部２９ａ，
２９ｂと副ピストン１７ａ，１７ｂとの間の最大隙間を
必要なストロークＳ2 ，Ｓ3 に対応させるようにする。
【００５０】図４は図２および図３に示された弁装置の
変形例を示す図であり、この場合には、弁体がニードル
弁式の弁体３６となっており、先端にはテーパ部３７が
設けられている。他の構造は図２および図３に示す場合
と同様であり、図４においては、図２および図３に示さ
れた部材と共通する部材には同一の符号が付されてい
る。
変形例を示す図であり、この場合には、弁体がニードル
弁式の弁体３６となっており、先端にはテーパ部３７が
設けられている。他の構造は図２および図３に示す場合
と同様であり、図４においては、図２および図３に示さ
れた部材と共通する部材には同一の符号が付されてい
る。
【００５１】図４に示す弁体３６は駆動軸５が前進限位
置となった状態では、弁体３６が弁座７に接触しないよ
うになっているが、弁体３６が前進限位置となったとき
に弁座７に弁体３６を接触させて流路を閉塞するように
しても良い。
置となった状態では、弁体３６が弁座７に接触しないよ
うになっているが、弁体３６が前進限位置となったとき
に弁座７に弁体３６を接触させて流路を閉塞するように
しても良い。
【００５２】図２〜図４の実施例にあっては、駆動軸５
に対して主ピストン８ａを設けるとともに複数の副ピス
トン１７ａ，１７ｂを嵌合させることにより、弁装置の
設置面積を大きくすることなく、弁体６，３６の開度を
多段階に設定することができる。
に対して主ピストン８ａを設けるとともに複数の副ピス
トン１７ａ，１７ｂを嵌合させることにより、弁装置の
設置面積を大きくすることなく、弁体６，３６の開度を
多段階に設定することができる。
【００５３】以上、本発明者によってなされた発明を実
施例に基づき具体的に説明したが、本発明は前記実施例
に限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲
で種々変更可能であることはいうまでもない。
施例に基づき具体的に説明したが、本発明は前記実施例
に限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲
で種々変更可能であることはいうまでもない。
【００５４】たとえば、図示する場合にはいずれも駆動
軸５が前進限位置となった状態では、弁体が流路を閉じ
る方向に移動するようにしているが、連通開口部４内に
駆動軸５を貫通させたり、駆動軸の中央部に弁体を設け
るなどによって、駆動軸５が前進限位置となった状態で
は弁体が流路を開く位置となるようにすることもでき
る。また、スプールタイプの弁体を用いるようにするこ
とも可能である。さらに、図示する場合には加圧室内に
は圧縮空気を供給するようにしているが、油圧を供給す
るようにしても良く、流路内を流れる流体としては、薬
液などの液体以外に気体としても良い。
軸５が前進限位置となった状態では、弁体が流路を閉じ
る方向に移動するようにしているが、連通開口部４内に
駆動軸５を貫通させたり、駆動軸の中央部に弁体を設け
るなどによって、駆動軸５が前進限位置となった状態で
は弁体が流路を開く位置となるようにすることもでき
る。また、スプールタイプの弁体を用いるようにするこ
とも可能である。さらに、図示する場合には加圧室内に
は圧縮空気を供給するようにしているが、油圧を供給す
るようにしても良く、流路内を流れる流体としては、薬
液などの液体以外に気体としても良い。
【００５５】
【発明の効果】本願において開示される発明のうち、代
表的なものによって得られる効果を簡単に説明すれば、
以下のとおりである。
表的なものによって得られる効果を簡単に説明すれば、
以下のとおりである。
【００５６】(1).簡単な構造により全開と全閉などの２
つの位置以外に中間位置に弁体を駆動することが可能な
弁装置が得られる。
つの位置以外に中間位置に弁体を駆動することが可能な
弁装置が得られる。
【００５７】(2).それぞれピストンを最小の相互に同一
のサイズに設定することができ、設置面積の小さい弁装
置が得られる。
のサイズに設定することができ、設置面積の小さい弁装
置が得られる。
【００５８】(3).中間位置を多数に設定することができ
る。
る。
【図１】本発明の一実施例である流体圧作動弁装置を示
す断面図である。
す断面図である。
【図２】本発明の他の実施例である流体圧作動弁装置の
外観を示す斜視図である。
外観を示す斜視図である。
【図３】図２におけるIII-III 線に沿う断面図である。
【図４】図２および図３に示す流体圧作動弁装置の変形
例を示す断面図である。
例を示す断面図である。
１ ハウジング
１ａ〜１ｄ ブロック
１ｅ 取付プレート
１ｆ カバー
２ 流入側通路
３ 流出側通路
４ 連通開口部
５ 駆動軸
６ 弁体
７ 弁座
８ 第１ピストン
８ａ 主ピストン
９ 第１加圧室
９ａ 主加圧室
１１ 第１制御ポート
１２ 第２制御ポート
１３ 第３制御ポート
１４ 当接面
１５ ばね室
１６ 圧縮コイルばね（付勢手段）
１７ 第２ピストン
１７ａ 第１副ピストン
１７ｂ 第２副ピストン
１８ 第２加圧室
１８ａ 第１副加圧室
１８ｂ 第２副加圧室
２１ 頭部（係合手段）
２２ 筒部
２３ 調整ねじ部材（位置決め部材）
２４ 雄ねじ部
２５ 当接面
２６ 治具嵌合部
２７ ロックナット
２８ａ〜２８ｃ ブリード孔
２９ａ，２９ｂ 段部
３１ａ，３１ｂ 止めリング
３２，３５ 止めリング（係合手段）
３６ 弁体
３７ テーパ部
フロントページの続き
(58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名)
F16K 31/12 - 31/165
F16K 31/36 - 31/42
F16K 35/04
Claims (3)
- 【請求項１】 流入側流路と流出側流路とが形成されこ
れらの流路を結ぶ連通開口部を有するハウジングと、 前記連通開口部の開度を変化させる弁体が設けられ、前
記ハウジング内に軸方向に往復動自在に装着される駆動
軸と、 前記駆動軸に設けられ、この駆動軸を一方向に押圧して
前記弁体を第１の位置に作動させる第１加圧室を前記ハ
ウジング内に形成する第１ピストンと、 前記ハウジング内に設けられ、前記駆動軸を逆方向に押
圧して前記弁体を第２の位置に作動させる付勢手段と、 前記駆動軸にこの駆動軸の一方向の移動を許容させて摺
動自在に嵌合され、前記駆動軸を一方向に向けて作動さ
せる第２加圧室を前記ハウジング内に形成する第２ピス
トンと、 前記第２加圧室内に流体を供給して前記第２ピストンを
一方向に向けて移動させる際に前記第２ピストンを前記
駆動軸に係合させる係合手段と、 前記ハウジングにねじ結合される雄ねじ部を有し、前記
第２ピストンに当接して前記弁体を前記第１の位置と前
記第２の位置の中間位置に規制する調整ねじ部材とを有
することを特徴とする流体圧作動弁装置。 - 【請求項２】 請求項１記載の流体圧作動弁装置におい
て、前記調整ねじ部材は、前記第２ピストンに対向する
当接面が設けられた筒部を有することを特徴とする流体
圧作動弁装置。 - 【請求項３】 流入側流路と流出側流路とが形成されこ
れらの流路を結ぶ連通開口部を有するハウジングと、 前記連通開口部の開度を変化させる弁体が設けられ、前
記ハウジング内に軸方向に往復動自在に装着される駆動
軸と、 前記駆動軸に設けられ、この駆動軸を一方向に押圧して
前記弁体を第１の位置に作動させる主加圧室を前記ハウ
ジング内に形成する主ピストンと、 前記ハウジング内に設けられ、前記駆動軸を逆方向に押
圧して前記弁体を第２の位置に作動させる付勢手段と、 それぞれ前記駆動軸にこの駆動軸の一方向の移動を許容
させて摺動自在に嵌合され、それぞれ前記駆動軸を一方
向に向けて作動させる複数の副加圧室を前記ハウジング
内に形成する複数の副ピストンと、 それぞれの前記副加圧室内に流体を供給してそれぞれの
前記副ピストンを一方向に向けて移動させる際に前記副
ピストンを前記駆動軸にそれぞれ係合させる複数の係合
手段と、 前記ハウジングにそれぞれ設けられ、前記副ピストンに
当接して前記弁体を前記第１の位置と前記第２の位置の
中間位置にそれぞれ規制する複数の位置決め部材とを有
することを特徴とする流体圧作動弁装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP31635594A JP3532273B2 (ja) | 1994-12-20 | 1994-12-20 | 流体圧作動弁装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP31635594A JP3532273B2 (ja) | 1994-12-20 | 1994-12-20 | 流体圧作動弁装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH08170755A JPH08170755A (ja) | 1996-07-02 |
| JP3532273B2 true JP3532273B2 (ja) | 2004-05-31 |
Family
ID=18076184
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP31635594A Expired - Fee Related JP3532273B2 (ja) | 1994-12-20 | 1994-12-20 | 流体圧作動弁装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3532273B2 (ja) |
Families Citing this family (11)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
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| WO2004079243A1 (ja) * | 2003-03-07 | 2004-09-16 | Ckd Corporation | 流量制御弁 |
| JP2004308717A (ja) * | 2003-04-03 | 2004-11-04 | Asahi Organic Chem Ind Co Ltd | 流体作動弁 |
| US20050139061A1 (en) * | 2003-12-29 | 2005-06-30 | Swagelok Company | Stackable actuator housing |
| CN1704615A (zh) | 2004-06-01 | 2005-12-07 | 斯瓦戈洛克公司 | 流体致动器 |
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| EP1860359B1 (en) * | 2005-03-01 | 2013-07-10 | Fujikura Rubber Ltd. | Normally closed valve having minute flow amount regulating mechanism |
| KR100812560B1 (ko) * | 2005-09-07 | 2008-03-13 | 씨케이디 가부시키 가이샤 | 유량 제어 밸브 |
| US7540468B2 (en) * | 2006-04-26 | 2009-06-02 | Honeywell International, Inc. | Angled poppet valve manual override mechanism |
| US11098819B2 (en) | 2016-11-08 | 2021-08-24 | Fujikin Incorporated | Valve device, flow control method using the same, and semiconductor manufacturing method |
| KR102237042B1 (ko) * | 2016-11-30 | 2021-04-08 | 가부시키가이샤 후지킨 | 밸브장치, 이 밸브장치를 사용한 유량제어방법 및 반도체 제조방법 |
-
1994
- 1994-12-20 JP JP31635594A patent/JP3532273B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
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|---|---|
| JPH08170755A (ja) | 1996-07-02 |
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