JP3531924B2

JP3531924B2 - 表面性状測定機

Info

Publication number: JP3531924B2
Application number: JP2001073365A
Authority: JP
Inventors: 和志埜口; 宏幸日高; 孝明手島
Original assignee: Mitutoyo Corp
Current assignee: Mitutoyo Corp
Priority date: 2001-03-15
Filing date: 2001-03-15
Publication date: 2004-05-31
Anticipated expiration: 2021-03-15
Also published as: JP2002277203A

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、被測定物の表面粗
さ、うねり、形状等を測定する表面性状測定機に関し、
特に、先端に触針を有する検出器をもつ表面性状測定機
に関する。

【０００２】

【従来の技術】周知のように、触針（センサー）を先端
に有する検出器をもつ表面性状測定機においては、触針
をワーク表面に沿って移動させることで触針（スタイラ
スアーム）の変位をデータとして取り込むが、例えば特
願平１１−３１０９４１号出願に示されたような小型表
面性状測定機では、ワーク表面の粗さ測定の際などに、
必要なトレース距離を確保できずに、表面性状測定機の
据え付け状態を変えて、測定をやり直さなければならな
い場合が多かった。

【０００３】すなわち、この小型表面性状測定機は、ハ
ウジング中に進退可能に支持するスライダに固定された
棒状ケーシングに対して回動自在なアーム部材を回動自
在に取り付け、先端に触針を有するスタイラスアームを
前記アーム部材に着脱可能に固定する構造であるから、
ワーク表面の通常の粗さ測定の場合、棒状ケーシングを
ハウジングから可動限まで前進させて引き出し、バック
ラッシュ量よりも充分に大きな距離だけ棒状ケーシング
をハウジングに対して後退させ、この後退位置を測定開
始点としてワーク表面のトレースを行うから、スライダ
の後退距離は充分に確保されており、特別に確認を行わ
なく共、必要なトレース距離の測定を行うことができ
る。

【０００４】しかし、ワークの特定表面位置の表面粗さ
を測定する際には、同特定表面位置と前述した測定開始
点を一致させにくい場合がある。例えば、ワークの測定
したい表面部位が非常に小さい場合には、目視観察によ
りワークと棒状ケーシングの駆動部を内蔵するハウジン
グとの位置関係を設定することは困難である。このた
め、このような小さな特定部位の測定の場合、一旦、棒
状ケーシングを可動限まで引き出した状態としてワーク
に対して測定機本体（ハウジング）を据え付け、同棒状
ケーシングをゆっくり後退させながらスタイラスアーム
の変位量を観測して特定部位を見つけ、同特定部位の近
くを測定開始位置とした後、同測定開始位置から必要な
トレース距離の測定を行うことになる。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、測定し
たい位置を目視で確認できないような測定の場合、棒状
ケーシングの可動限から前記の測定開始位置までの距離
は一定ではなくなり、セットした測定開始位置から棒状
ケーシングを支持するスライダの残された後退距離は特
定できなくなるから、測定を開始後に必要なトレース距
離がないことを発見し、測定自体をやり直す必要が生じ
ることが多くある。つまり、測定自体のやり直しのため
には、ワークから測定機本体（ハウジング）を離して再
セットし、棒状ケーシングの測定開始位置から充分な後
退距離を確保した後、再度、前述した測定開始操作を行
なわざるを得ず、測定作業がやっかいになる。

【０００６】勿論、大型表面性状測定機では、微小検出
器を取り付けるスライダのトレース方向の現在位置を示
すリニヤスケールを備えているので、同リニヤスケール
の表示値から必要なトレース距離があるか否かを事前に
確認できる。しかし、前述したような小型表面性状測定
機においては、棒状ケーシング（検出器）の現在位置を
客観的に示す方法がなく、測定やり直しを避けることが
できなかった。

【０００７】本発明の目的は、以上に述べたような従来
の小型表面性状測定機の現状に鑑み、触針スタイラスを
支持する棒状ケーシングの測定機本体ハウジングからの
突出量、即ちトレース可能距離を簡単に知ることがで
き、製造原価の割安な表面性状測定機を得るにある。

【０００８】

【課題を解決するための手段】この目的を達成するた
め、本発明は、測定機本体ハウジング中に進退可能に支
持するスライダに固定された棒状ケーシングに対してワ
ーク表面を測定するセンサーを固定する表面性状測定機
において、前記ハウジング端板または前記スライダをガ
イドする開口スライダガイドから外部に露呈される前記
棒状ケーシングの外表面に、前記スライダの進退方向に
延長する目視メモリを設け、前記ハウジング端板または
前記開口スライダガイドの開口縁を標点とし、前記目視
メモリの“０”位置は前記棒状ケーシングを前記測定機
本体ハウジング中に最も後退させた際に前記標点に一致
する位置として、前記目視メモリにより前記センサーの
トレース可能距離を表示させる表面性状測定機を提案す
るものである。

【０００９】後述する本発明の好ましい実施の形態の説
明においては、1)前記目視メモリは、表面に長さスケー
ルを印刷されて前記棒状ケーシングの外表面に貼着され
る目盛シートである構成、2)前記目視メモリは、前記棒
状ケーシングの外表面に直接に刻印または印刷される構
成が説明される。

【００１０】

【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態を図面
に基づいて説明する。図１は、本発明の一実施形態によ
る表面性状測定機のハウジングを取り除いて示した全体
斜視図である。図１において、表面性状測定機は、被測
定物の測定表面の性状を測定する検出器１０と、この検
出器１０を測定表面に沿って進退させる駆動部２０を内
蔵する測定機本体ハウジング２１とを備える。駆動部２
０は、箱形のハウジング２１内に断面略門型のスライダ
ガイド２２を長手方向に沿って固定し、このスライダガ
イド２２に検出器１０が取り付けられたスライダ２３を
長手方向に摺動自在に設け、このスライダ２３を前記長
手方向に沿って進退させる進退機構２４を設けた構造で
ある。

【００１１】進退機構２４は、ハウジング２１内に配置
された送りねじ軸２５と、この送りねじ軸２５に螺合さ
れスライダ２３と連結部材２６を介して連結されたナッ
ト部材２７と、送りねじ軸２５を回転駆動する回転駆動
機構２８とを備えて構成されている。送りねじ軸２５
は、スライダガイド２２の長手方向と平行に配置され、
その両端部が軸受を介して回動自在にハウジング２１に
固定されている。回転駆動機構２８は、送りねじ軸２５
と平行に配置されたモータ２９と、このモータの正逆方
向の回転を送りねじ軸２５に伝達する第１及び第２の歯
車３０，３１とから構成されている。送りねじ軸２５及
びモータ２９は、ハウジング２１の内部に設けられた取
付ブロック２１Ａに取り付けられている。

【００１２】スライダ２３は、その内側面が断面コ字形
に形成されており、互いに対向する内側面の一側面が第
１基準面とされる。この第１基準面は、スライダガイド
２２の一の外側面（第１基準面２２Ａ）に当接される。
これらの第１基準面同士でスライダ２３とスライダガイ
ド２２とが位置決めするために、スライダ２３の一側部
には２枚の位置決め用板ばね３２が取り付けられられて
いる。この位置決め用板ばね３２の開放端部にはスライ
ダ２３とスライダガイド２２との円滑な摺動を確保する
ためのパッド３３が取り付けられている。このパッド３
３はテフロン等の摩擦係数の小さい素材を用いて形成さ
れる。

【００１３】スライダ２３は、断面コ字形の内側面のう
ち前記第１基準面と直交する面が第２基準面２３Ｂとさ
れ、この第２基準面２３Ｂは、スライダガイド２２の第
１基準面２２Ａと直交する外側面（第２基準面２２Ｂ）
に当接される。図２において、スライダ２３の開口端部
（図２では一側のみ示す）にはスライダ２３の抜け止め
をする保持ブロック３４がねじ３４Ａで取り付けられ、
この保持ブロック３４にはスライダ２３の第２基準面を
スライダガイド２２の第２基準面に当接させるための位
置決め用板ばね３５がねじ３５Ａで取り付けられてい
る。この位置決め用板ばね３５にはスライダ２３とスラ
イダガイド２２との円滑な摺動を確保するためのパッド
３６が取り付けられている。このパッド３６はテフロン
（登録商標）等の摩擦係数の小さい素材を用いて形成さ
れる。

【００１４】検出器１０と駆動部２０との連結構造が図
３に示されている。図３において、検出器１０は、スラ
イダガイド２２の開口部に長手方向に沿って収納されて
おり、その先端側が駆動部２０の端面から露出されてい
る。検出器１０は、中空棒状ケーシング１１を有する検
出器本体１２の内部に表面性状測定用の触針１３を揺動
自在に支持し、この触針１３の先端部の周囲を覆うスキ
ッド１４を棒状ケーシング１１に取り付けた構造であ
る。

【００１５】また、図示実施形態においては、図１及び
図３に示すように、棒状ケーシング１１の外側表面には
棒状ケーシング１１の長さ方向に延長する目視メモリが
設けられ、ハウジング端板２１Ｂから外部に露呈された
目視メモリで示された値から棒状ケーシング１１の残り
のトレース距離を知ることができる。即ち、図示実施形
態の目視メモリは、裏のりとされた透明な目盛シート３
７の表面に棒状ケーシング１１の長さ方向に延長した長
さスケール３８を印刷したもので、同長さスケール３８
の数字「０〜７」は残りのトレース距離を表し、”０”
位置は棒状ケーシング１１を測定機本体ハウジング２１
中に最も後退させた際にハウジング端板２１Ｂの開口縁
に一致する位置に選ばれる。

【００１６】したがって、測定機本体ハウジング２１か
ら引き出された棒状ケーシング１１の任意の状態におい
て、標点であるハウジング端板２１Ｂの開口縁が一致す
る長さスケール３８上の数値は、検出器の一部である触
針１３のトレース可能距離を表すことになる。

【００１７】この長さスケール３８で示される値は、ス
ライダガイド２２の端部がハウジング端板２１Ｂを貫通
して外部へ露呈される構造の表面性状測定機の場合、ス
ライダガイド２２の対応端部の開口部縁を標点として表
示されることになる。

【００１８】本発明による目視メモリは、棒状ケーシン
グ１１の外周面に直接に刻印または印刷されるスケール
であることもできるが、このような刻印または印刷スケ
ールを付す外周面は予め幾何学平面に加工したものであ
ってもよい。また、目盛シート３７も予め加工した平面
状の棒状ケーシング１１の外面に貼着してもよい。

【００１９】検出器本体１２は、その基端に略円筒状の
コネクタ１２Ａを備え、このコネクタ１２Ａがコネクタ
取付部材４０に着脱自在に取り付けられている。コネク
タ取付部材４０は、第１の板ばね４１、第２の板ばね４
２及びコイルばね４３を介して駆動部側取付部材４４に
連結され、この駆動部側取付部材４４は保持ブロック３
４に取り付けられている。駆動側取付部材４４を中心と
してコネクタ取付部材４０及び検出器１０が回動自在と
され、コネクタ取付部材４０及び検出器１０の回動範囲
が保持ブロック３４に取り付けられたストッパ５０で規
制される。

【００２０】コネクタ取付部材４０と駆動部側取付部材
４４との連結構造が図４及び図５に拡大して示されてい
る。図４において、第１の板ばね４１及び第２の板ばね
４２は、スキッド１４を測定表面に押圧するために検出
器１０を一方向Ｐに回転付勢するものである。このう
ち、第１の板ばね４１は、検出器側の一端部がコネクタ
取付部材４０に固定され、その他端側が駆動部側取付部
材４４に固定されるものであって、主に、検出器１０を
保持する保持用付勢手段として機能する。

【００２１】第２の板ばね４２は、第１の板ばね４１と
所定間隔をもって並んで配置され、検出器１０側の一端
部がコネクタ取付部材４０に取付ねじ４５で取り付けら
れている。第１の板ばね４１と第２の板ばね４２との一
端部同士にはスペーサ４６が介装されており、これらの
一端部は互いに所定間隔離されている。この第２の板ば
ね４２は、検出器１０を測定表面側に加圧する加圧用付
勢手段として機能するものであり、第２の板ばね４２の
他端部が第１の板ばね４１の他端部に近接することで第
２の板ばね４２の一端部にばね力が生じ、検出器１０が
付勢される力が大きくなる。

【００２２】第２の板ばね４２の他端部は、付勢力制御
手段としての調整ねじ部材４７が駆動部側取付部材４４
に取り付けられている。この調整ねじ部材４７は、その
頭部４７Ａと駆動部側取付部材４４との間で第１の板ば
ね４１の他端部と第２の板ばね４２の他端部とを挟持す
る構成であり、そのねじ込み量を調整することで第２の
板ばね４２の他端部と第１の板ばね４１の他端部とを近
接離隔させるものである。

【００２３】調整ねじ部材４７のねじ込み量を最大限に
大きくすると、第２の板ばね４２の他端部が第１の板ば
ね４１の他端部に最も近接（当接）して検出器１０に所
定の付勢力が付与される。すると、検出器１０は前記一
方向に回動するが、その回動がストッパ５０で規制され
る（図５参照）。ここで、ストッパ５０は、検出器１０
の付勢方向の移動（前記一方向の回動）を規制してスキ
ッドレス測定を行う規制手段として機能する。調整ねじ
部材４７のねじ部先端には抜け止め用のリング４７Ｂが
設けられている。

【００２４】コイルばね４３は、その一端部がコネクタ
取付部材４０の凹部４０Ａに支持され、その他端部が駆
動部側取付部材４４の孔部４４Ａに支持された圧縮ばね
である。このばね４３は、常時、コネクタ取付部材４０
を駆動部側取付部材４４から離隔する方向（検出器１０
を前記一方向に回動する方向）に付勢する補助付勢手段
として機能する。駆動部側取付部材４４の孔部４４Ａに
は、ばね力調整ねじ４８が螺合されており、このばね力
調整ねじ４８の頭部がコイルばね４３の他端部に当接さ
れる。このばね力調整ねじ４８のねじ込み量を調整する
ことで、コイルばね４３は、その長さが変更されて付勢
力の調整が行われる。

【００２５】本実施形態の検出器１０の内部構造が図６
から図８に示されている。全体構成を示す図６におい
て、検出器本体１２は、棒状ケーシング１１の内部に軸
受部５１を介して回動（揺動）自在に略角柱状のアーム
部材５２を支持し、触針１３を先端に有するスタイラス
アーム５３をアーム部材５２に着脱自在に取り付け、触
針１３の上下方向の進退量を検出する検出部５４を棒状
ケーシング１１の内部に設けた構造である。棒状ケーシ
ング１１の先端部にはスキッド１４がボルト５５によっ
て着脱自在に取り付けられており、このスキッド１４
は、その先端部分が触針１３を覆うとともに中央部から
基端にかけてスタイラスアーム５３を収納するための凹
部１４Ａが形成されている。

【００２６】スタイラスアーム５３は、略軸状の本体の
先端部分に触針１３を備え、その基端部分がスタイラス
取付具５６でアーム部材５２に取り付けられている。ア
ーム部材５２の長手方向に沿ってスタイラスアーム５３
が取り付けられている。スタイラス取付具５６は、アー
ム部材５２の先端部に形成された凹部５２Ａとの間でス
タイラスアーム５３の基端部を挟持するばね部材５６Ａ
を備えて構成され、スタイラスアーム５３はアーム部材
５２に対して挿抜可能とされる。

【００２７】棒状ケーシング１１は、筒状部材１２Ａ
と、この筒状部材１２Ａの内部に設けられた取付ブロッ
ク５７とを備えており、この取付ブロック５７に対して
筒状部材１２Ａが固定されている。取付ブロック５７
と、この取付ブロック５７において互いに所定間隔離れ
て埋設された２個の検出コイル５８と、これらの検出コ
イル５８にそれぞれ対応するようにアーム部材５２に埋
設された２個のコア蓋５９とを備えて検出部５４が構成
され、この検出部５４は、触針１３の進退に伴うアーム
部材５２の変位量を触針１３の変位量として検出する。

【００２８】アーム部材５２の先端部と取付ブロック５
７との間には、触針１３を常時測定表面側に付勢するた
めのコイルばね６０が介装されている。触針１３は、コ
イルばね６０によって、常時、その先端がスキッド１４
の先端部より突出するようにされている。このコイルば
ね６０の一端部には、ばね力調整ねじ６１が当接され、
このばね力調整ねじ６１は、取付ブロック５７に螺合さ
れている。このばね力調整ねじ６１のねじ込み量を調整
することで、コイルばね６０は、その長さが変更されて
付勢力の調整が行われる。

【００２９】取付ブロック５７のスキッド１４に対向し
た部分には、リミットスイッチ６２が取り付けられてい
る。このリミットスイッチ６２は、スキッド１４の棒状
ケーシング１２への着脱の有無をボルト５５を介して検
知するものであり、ボルト５５の先端部に当接可能とさ
れる検知板６２Ａと、この検知板６２Ａをボルト５５が
押したことを検知するスイッチ本体６２Ｂとを備えて構
成される。

【００３０】スイッチ本体６２Ｂは、図示しないデータ
処理回路と接続されており、ボルト５５の先端部が検知
板６２Ａに当接した場合には、スキッド付き測定を行う
ため、駆動部２０の真直度補正機能を無効にする信号を
データ処理回路に送り、ボルト５５の先端部が検知板６
２Ａに当接していない場合には、スキッドレス測定を行
うため、駆動部２０の真直度補正機能を有効とする信号
をデータ処理回路に送る。なお、図６は、ボルト５５で
スキッド１４が棒状ケーシング１１に取り付けられた状
態を示すものであり、検知板６２Ａは、スイッチ本体６
２Ｂに当接されている。

【００３１】アーム部材５２の基端側には第１のバラン
スウェイト６３が設けられ、スタイラスアーム５３には
第２のバランスウェイト６４が設けられている。これ
らのバランスウェイト６３，６４は、スタイラスアーム
５３及びアーム部材５２の重量を軸受部５１を中心とし
て釣り合わせるものである。第１のバランスウェイト
６３は、アーム部材５２の基端部と取付ブロック５７と
の間のスペースに配置される略円柱状のウェイト本体６
５と、このウェイト本体６５の端面軸芯部に同軸上に固
定されたねじ部６６とから構成され、このねじ部６６
は、アーム部材５２の長手方向に延びて形成された雌ね
じ部５２Ｂに螺合される。第１のバランスウェイト６５
は、そのねじ込み量を調整することで、軸方向移動自在
とされる。

【００３２】第１のバランスウェイト６３の軸方向での
位置決めをする位置決めねじ６７がアーム部材５２に取
り付けられている。この位置決めねじ６７は、雌ねじ部
５２Ｂと直交する方向に延びて配置されている。第２の
バランスウェイト６４は、内周部がスタイラスアーム５
３に係合され、かつ、軸方向移動自在とされた筒状部材
である。

【００３３】軸受部５１の詳細な構造が図７及び図８に
示されている。これらの図において、アーム部材５２の
両側にはピボット軸６８がそれぞれ取り付けられてい
る。図では、ピボット軸６８は、両端に円錐部が形成さ
れアーム部材５２を貫通した１本の円柱部材から形成さ
れており、回り止めねじ６９で回り止めされているが、
本実施形態では、２本のピボット軸をアーム部材５２の
両側面に接着等で固定したものでもよい。

【００３４】これらのピボット軸６８の先端部には、そ
れぞれ玉軸受７０が係合されている。これらの玉軸受７
０は、それぞれ筒状棒状ケーシング７１と、複数のボー
ルを有する軸受機構７２とを備えて構成されており、こ
のうち、一方の玉軸受７０は取付ブロック５７に止めね
じ７３に固定され、他方の玉軸受７０は取付ブロック５
７に軸方向摺動自在に設けられている。他方の玉軸受７
０は、ピボット軸６８とは反対側の端面にキャップ７４
が設けられ、このキャップ７４には、玉軸受７０をピボ
ット軸６８に向けて付勢する板ばね７５の一端部が接着
剤等によって固定されている。この板ばね７５の他端部
は、２本のねじ７６で取付ブロック５７に固定されてい
る。

【００３５】このように構成された本実施形態の作用を
説明する。まず、スキッドレス測定を行うには、スキッ
ド１４を棒状ケーシング１２から取り外され、調整ねじ
部材４７によって所定の付勢力が検出器１０に付与され
る。これにより、ボルト５５の先端部が検知板６２Ａに
当接することがないから、リミットスイッチ６２からス
キッドレスの信号が出力され、これによって図示しない
データ処理回路において、駆動部２０の真直度補正機能
が「有効」に切り換えられるとともに、計算処理が表面
粗さ計算ではなく、表面形状計算に切り換えられる。さ
らに、検出器１０から出力されたデータの保存時には、
スキッドレスの信号が合わせて保存される。

【００３６】これに対して、スキッド付き測定を行うに
は、スキッド１４をボルト５５によって棒状ケーシング
１１に取り付け、調整ねじ部材４７のねじ込み量を緩く
して所定未満の付勢力を検出器１０に付与すればよい。
これにより、ボルト５５の先端部が検知板６２Ａに当接
するため、リミットスイッチ６２からスキッド有りの信
号が出力され、これによって図示しないデータ処理回路
において、駆動部２０の真直度補正機能が「無効」に切
り換えられるとともに、計算処理が表面形状計算ではな
く、表面粗さ計算に切り換えられ、さらに、検出器１０
から出力されたデータの保存時には、スキッド有りの信
号が抱き合わせで保存される。

【００３７】また、ワークの表面粗さの測定の場合、触
針１３をワークの表面に当てがった状態とすれば、棒状
ケーシング１１の外表面に設けられる長さスケール３８
で大まかな残りのトレース可能距離が表示されるから、
測定者は、長さスケール３８の目視により、予定するト
レース距離が得られるか否かを事前に判断できるから、
測定開始後にワークと表面性状測定機との関係を改めて
いた無駄な作業を回避できる。つまり、標点であるハウ
ジング端板２１Ｂの開口縁と長さスケール３８により、
例えば「４．５cm」なる値が表示されている場合、触針
１３による後退方向のトレース可能距離は、約「４．５
cm」であることを測定者が直ちに知ることができるか
ら、試行測定を行わなく共、直ちに測定可能であるか否
かを判断でき、無駄な作業をなくして能率よく測定を行
うことができる。

【００３８】なお、本発明は前記実施形態に限定される
ものではなく、本発明の目的を達成できる範囲での変
形、改良は、本発明に含まれるものである。例えば、前
記実施形態では、検知スイッチ６２をリミットスイッチ
から構成したが、検知スイッチを圧電素子を用いたスイ
ッチ等としてもよい。さらに、バランスウェイト６３，
６４を２種類用意したが、これらのバランスウェイト６
３，６４のうち一方のみを用いてもよく、あるいは、第
３のバランスウェイトとして第２のバランスウェイト６
４と同様構造のものを用いた構造でもよい。さらに、バ
ランスウェイト６３は、アーム部材５２から長手方向に
突出した雄ねじに螺合したナット部材から構成してもよ
い。

【００３９】また、前記付勢手段は、検出器１０を主に
保持する保持用付勢手段４１と、検出器１０を測定表面
側に加圧する加圧用付勢手段４２とを備えて構成した
が、本発明では、付勢手段を１つとしてもよく、あるい
は、設けないものでもよい。仮に、付勢手段を保持用付
勢手段４１と加圧用付勢手段４２とから構成した場合で
も、これらの付勢手段を必ずしも板ばねから構成するこ
とを要しない。例えば、板ばねに代えてコイルばねを用
いてもよい。その上、付勢力制御手段として調整ねじ部
材４７を用いたが、モータ及び歯車機構を用いて自動的
に付勢手段の付勢力を調整するものでもよい。

【００４０】さらに、補助付勢手段４３を必ずしも設け
ることを要しないが、補助付勢手段４３を設ける場合に
あっては、コイルばねに代えて板ばねを用いてもよい。
また、前記実施形態において説明したスライダ２３を、
丸軸の棒状部材からなるスライダガイドで進退させる構
成でもよい。

【００４１】また、検出器１０を負の付勢方向に付勢
し、コネクタ取付部材４０に押し当てることにより、検
出器１０の移動を規制してもよい。さらに、付勢力調整
手段は、コネクタ取付部材４０と駆動側取付部４４を相
互に締結あるいは固定するものであってもよい。さらに
前記実施形態においては、センサーとして触針式のもの
を示したが、非接触センサーであってもよい。

【００４２】

【発明の効果】以上の説明から明らかなように、本発明
によれば、比較的安価な簡単な構造で、触針を取り付け
る検出器の棒状ケーシングの残りのトレース可能距離を
目視により簡単に知ることができるから、不適切な位置
からの測定開始を行うことを未然に防止できる。このた
め、本発明によれば、測定段取りや測定時間の短縮化に
よる測定効率の向上や、試行測定が繰り返されることに
より触針で測定面が損傷されるのを回避できる。

【図面の簡単な説明】

【図１】ハウジングを取り除いて示す本発明による表面
性状測定機の全体斜視図である。

【図２】図１の符号IIで示す矢示方向底面図である。

【図３】同表面性状測定機の断面図である。

【図４】検出器の付勢構造を示す要部拡大断面図であ
る。

【図５】スキッドレス測定を行う場合の図４と同様の断
面図である。

【図６】検出器の図３に平行な面での断面図である。

【図７】検出器の要部拡大水平断面図である。

【図８】図７のVIII-VIII 線に沿った拡大断面図であ
る。

【符号の説明】

１０検出器１１棒状ケーシング１３触針１４スキッド２０駆動部２１ハウジング２１Ｂハウジング端板２２スライダガイド２３スライダ３７目盛シート３８長さスケール５２アーム部材５３スタイラスアーム５４検出部

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献実開平７−2910（ＪＰ，Ｕ) 実開昭56−155310（ＪＰ，Ｕ) (58)調査した分野(Int.Cl.⁷，ＤＢ名) G01B 5/00 - 5/30 G01B 21/00 - 21/30

Claims

(57)【特許請求の範囲】

【請求項１】測定機本体ハウジング中に進退可能に支
持するスライダに固定された棒状ケーシングに対してワ
ーク表面を測定するセンサーを固定する表面性状測定機
において、前記ハウジング端板または前記スライダをガ
イドする開口スライダガイドから外部に露呈される前記
棒状ケーシングの外表面に、前記スライダの進退方向に
延長する目視メモリを設け、前記ハウジング端板または
前記開口スライダガイドの開口縁を標点とし、前記目視
メモリの“０”位置は前記棒状ケーシングを前記測定機
本体ハウジング中に最も後退させた際に前記標点に一致
する位置として、前記目視メモリにより前記センサーの
トレース可能距離を表示させることを特徴とする表面性
状測定機。
【請求項２】前記目視メモリは、表面に長さスケール
を印刷されて前記棒状ケーシングの外表面に貼着される
目盛シートであることを特徴とする請求項１記載の表面
性状測定機。
【請求項３】前記目視メモリは、前記棒状ケーシング
の外表面に直接に刻印または印刷されることを特徴とす
る請求項１記載の表面性状測定機。