JP3530463B2 - 光導波路 - Google Patents
光導波路Info
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- JP3530463B2 JP3530463B2 JP2000167338A JP2000167338A JP3530463B2 JP 3530463 B2 JP3530463 B2 JP 3530463B2 JP 2000167338 A JP2000167338 A JP 2000167338A JP 2000167338 A JP2000167338 A JP 2000167338A JP 3530463 B2 JP3530463 B2 JP 3530463B2
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- optical
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Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、光導波路に関する
ものであり、さらに詳しくは光導波路中の光のフィール
ドの形状を変化させるための光導波路に関するものであ
る。
ものであり、さらに詳しくは光導波路中の光のフィール
ドの形状を変化させるための光導波路に関するものであ
る。
【０００２】
【従来の技術】光通信の急速な進展に伴い、光導波路部
品の高機能化・経済化への要求が高まっている。光導波
路部品を高機能化する、あるいは経済化するためには、
光導波路の光の閉じ込めを強くすることが有効である。
品の高機能化・経済化への要求が高まっている。光導波
路部品を高機能化する、あるいは経済化するためには、
光導波路の光の閉じ込めを強くすることが有効である。
【０００３】光の閉じ込めを強くすれば、光導波路の曲
げ半径を小さくでき、寄り添う光導波路の間隔を狭くで
き、かつ光導波路要素のそれぞれのサイズを小さくでき
る。この結果、光導波路部品の大きさを小さくできるの
で、多くの機能を集積化した光回路を製造することが可
能となり、あるいは一回の工程で製造できる光導波路部
品の数を多くすることが可能となる。
げ半径を小さくでき、寄り添う光導波路の間隔を狭くで
き、かつ光導波路要素のそれぞれのサイズを小さくでき
る。この結果、光導波路部品の大きさを小さくできるの
で、多くの機能を集積化した光回路を製造することが可
能となり、あるいは一回の工程で製造できる光導波路部
品の数を多くすることが可能となる。
【０００４】しかしながら、光の閉じ込めを強くする
と、光導波路部品と、光ファイバを始めとするその他の
光部品との結合損夫が大きくなるという問題がある。
と、光導波路部品と、光ファイバを始めとするその他の
光部品との結合損夫が大きくなるという問題がある。
【０００５】従来、光導波路部品と他の光部品との結合
損失を低減するために光のフィールドを変化させる構造
として、（１）コアの幅だけを広げる横方向テーパ光導
波路、（２）コアの幅とともに高さを広げる縦・横方向
テーパ光導波路、（３）通常のコア層の上に第２のコア
層を作製する２層テーパ光導波路、（４）コアの屈折率
をドーパント（添加剤）の拡散現象等を用いて徐々に変
化させる屈折率変化光導波路、（５）屈折率の異なる異
種のコアを互いに入り組むように構成する断熱光導波路
構造変換等が知られている。
損失を低減するために光のフィールドを変化させる構造
として、（１）コアの幅だけを広げる横方向テーパ光導
波路、（２）コアの幅とともに高さを広げる縦・横方向
テーパ光導波路、（３）通常のコア層の上に第２のコア
層を作製する２層テーパ光導波路、（４）コアの屈折率
をドーパント（添加剤）の拡散現象等を用いて徐々に変
化させる屈折率変化光導波路、（５）屈折率の異なる異
種のコアを互いに入り組むように構成する断熱光導波路
構造変換等が知られている。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】これらの構造により、
光導波路部品と他の光部品との結合損失の低減が実現さ
れているが、実用化には次のような課題があった。
光導波路部品と他の光部品との結合損失の低減が実現さ
れているが、実用化には次のような課題があった。
【０００７】即ち、（１）の構造は通常の光導波路の製
造工程だけで形成できるが、光のフィールドを横方向に
しか広げないため、接続損失が小さくできないという問
題があった。また、（２）乃至（５）の構造では、光の
フィールドを横方向だけでなく縦方向にも広げるために
接続損失を低減できるが、付加的で複雑な製造工程が必
要であるという問題があった。このような付加的な製造
工程が加わると、単に光導波路部品の価格が高くなるだ
けでなく、光導波路部品自身の性能も劣化する可能性が
あって歩留まりが悪くなるという問題があった。
造工程だけで形成できるが、光のフィールドを横方向に
しか広げないため、接続損失が小さくできないという問
題があった。また、（２）乃至（５）の構造では、光の
フィールドを横方向だけでなく縦方向にも広げるために
接続損失を低減できるが、付加的で複雑な製造工程が必
要であるという問題があった。このような付加的な製造
工程が加わると、単に光導波路部品の価格が高くなるだ
けでなく、光導波路部品自身の性能も劣化する可能性が
あって歩留まりが悪くなるという問題があった。
【０００８】図１は前述した（１）の構造、即ち従来の
横方向テーパ光導波路による結合損失の低減構造を示す
もので、基板１上にテーパ光導波路１１と入出力用光導
波路１２とが形成されている。この場合、図面の左方向
から入力された光は、テーパ光導波路１１により横方向
に広げられて、入出力用光導波路１２より外に出力す
る。
横方向テーパ光導波路による結合損失の低減構造を示す
もので、基板１上にテーパ光導波路１１と入出力用光導
波路１２とが形成されている。この場合、図面の左方向
から入力された光は、テーパ光導波路１１により横方向
に広げられて、入出力用光導波路１２より外に出力す
る。
【０００９】また、図２は従来の横方向テーパ光導波路
の端部における光のフィールドの断面形状を示すもので
あり、基板１上に、下部クラッド１１１、横方向に幅を
広げられたコア１１２及び上部クラッド１１３が形成さ
れてなっている。この場合の光のフィールド１１４は、
図示するように、主に横方向にだけ広がった形となり、
縦方向には広がらないため、横も縦も広い光ファイバ中
のフィールドと形状が一致せず、損失が発生する。
の端部における光のフィールドの断面形状を示すもので
あり、基板１上に、下部クラッド１１１、横方向に幅を
広げられたコア１１２及び上部クラッド１１３が形成さ
れてなっている。この場合の光のフィールド１１４は、
図示するように、主に横方向にだけ広がった形となり、
縦方向には広がらないため、横も縦も広い光ファイバ中
のフィールドと形状が一致せず、損失が発生する。
【００１０】例えば、コアとクラッドとの比屈折率差が
１．５％、高さ４．３μｍ、幅４．０μｍの矩形のコア
を有する石英系光導波路では、通常の光ファイバとの接
続損失は一点あたり約１．５ｄＢとなる。この石英系光
導波路において図１に示した横方向テーパ光導波路を適
用して、入出力端部でコア幅を１２μｍ程度まで広げれ
ば、接続損失はおよそ一点あたり０．８ｄＢまで低減で
きる。しかし、一点あたりの接続損失が０．８ｄＢある
と入出力での接続損失は１．６ｄＢとなり、３０％もの
光が入出力で失われることになる。
１．５％、高さ４．３μｍ、幅４．０μｍの矩形のコア
を有する石英系光導波路では、通常の光ファイバとの接
続損失は一点あたり約１．５ｄＢとなる。この石英系光
導波路において図１に示した横方向テーパ光導波路を適
用して、入出力端部でコア幅を１２μｍ程度まで広げれ
ば、接続損失はおよそ一点あたり０．８ｄＢまで低減で
きる。しかし、一点あたりの接続損失が０．８ｄＢある
と入出力での接続損失は１．６ｄＢとなり、３０％もの
光が入出力で失われることになる。
【００１１】本発明の目的は、簡易な構造で光のフィー
ルドの形状を横方向及び縦方向に拡大でき、結合損失を
低減できる光導波路を提供することにある。
ルドの形状を横方向及び縦方向に拡大でき、結合損失を
低減できる光導波路を提供することにある。
【００１２】
【課題を解決するための手段】上述の目的を達成するた
めに、本発明の請求項１では、基板上にクラッド及びコ
アが形成されてなる光導波路において、前記光導波路の
一部が、コアの幅をなめらかに拡大するテーパ光導波路
と、該テーパ光導波路の一端に接続された第２の光導波
路とよりなり、前記第２の光導波路は、前記基板面内に
並列配置された幅及び間隔が光の伝播方向に一定の少な
くとも３つのコア層からなり、各コア層は光が閉じ込め
られないような薄さを有し、前記テーパ光導波路では光
のフィールドを横方向に拡大し、前記第２の光導波路で
は光のフィールドを縦方向に拡大することを特徴とする
光導波路を提案する。
めに、本発明の請求項１では、基板上にクラッド及びコ
アが形成されてなる光導波路において、前記光導波路の
一部が、コアの幅をなめらかに拡大するテーパ光導波路
と、該テーパ光導波路の一端に接続された第２の光導波
路とよりなり、前記第２の光導波路は、前記基板面内に
並列配置された幅及び間隔が光の伝播方向に一定の少な
くとも３つのコア層からなり、各コア層は光が閉じ込め
られないような薄さを有し、前記テーパ光導波路では光
のフィールドを横方向に拡大し、前記第２の光導波路で
は光のフィールドを縦方向に拡大することを特徴とする
光導波路を提案する。
【００１３】前記構成によれば、テーパ光導波路の一端
に接続される第２の光導波路を、基板面内に並列配置さ
れた幅及び間隔が光の伝播方向に一定の少なくとも３つ
のコア層からなり、各コア層は光が閉じ込められないよ
うな薄さを有するものとすることで、コアにおける光の
閉じ込めを局所的に弱くし、これによって光のフィール
ドを縦に広げることができ、テーパ光導波路による光の
フィールドを横に広げる効果と相俟って、光のフィール
ドを縦と横にそれぞれ広げることができる。
に接続される第２の光導波路を、基板面内に並列配置さ
れた幅及び間隔が光の伝播方向に一定の少なくとも３つ
のコア層からなり、各コア層は光が閉じ込められないよ
うな薄さを有するものとすることで、コアにおける光の
閉じ込めを局所的に弱くし、これによって光のフィール
ドを縦に広げることができ、テーパ光導波路による光の
フィールドを横に広げる効果と相俟って、光のフィール
ドを縦と横にそれぞれ広げることができる。
【００１４】また、本発明の請求項２では、前記第２の
光導波路のコア層は前記クラッドに覆われていることを
特徴とする請求項１記載の光導波路を提案する。
光導波路のコア層は前記クラッドに覆われていることを
特徴とする請求項１記載の光導波路を提案する。
【００１５】前記構成によれば、通常の光導波路の製造
工程と同一の工程で、本発明の光導波路を製造すること
ができる。
工程と同一の工程で、本発明の光導波路を製造すること
ができる。
【００１６】また、本発明の請求項３では、前記第２の
光導波路のテーパ光導波路に接続されない一端が開放端
であることを特徴とする請求項１または２記載の光導波
路を提案する。
光導波路のテーパ光導波路に接続されない一端が開放端
であることを特徴とする請求項１または２記載の光導波
路を提案する。
【００１７】前記構成によれば、光ファイバを始めとす
る他の光部品との接続損失の小さな光導波路を提供する
ことができる。
る他の光部品との接続損失の小さな光導波路を提供する
ことができる。
【００１８】また、本発明の請求項４では、前記光導波
路が石英系光導波路であることを特徴とする請求項１乃
至３いずれか記載の光導波路を提案する。
路が石英系光導波路であることを特徴とする請求項１乃
至３いずれか記載の光導波路を提案する。
【００１９】前記構成によれば、作製が容易で安定な光
導波路構造を提供することができる。
導波路構造を提供することができる。
【００２０】
【発明の実施の形態】以下、図面に基づいて本発明の実
施の形態を詳細に説明する。
施の形態を詳細に説明する。
【００２１】なお、以下に説明する実施の形態では、光
導波路としてシリコン基板上に形成した矩形の断面を有
する石英系光導波路を使用した光導波路について説明す
る。これは、この組み合わせが安定で制御性の良い光導
波路を提供できるからである。しかしながら、本発明は
この例に限定されるものではない。
導波路としてシリコン基板上に形成した矩形の断面を有
する石英系光導波路を使用した光導波路について説明す
る。これは、この組み合わせが安定で制御性の良い光導
波路を提供できるからである。しかしながら、本発明は
この例に限定されるものではない。
【００２２】図３は本発明の光導波路の実施の形態の一
例を示すものである。
例を示すものである。
【００２３】図３に示すように、本実施の形態の光導波
路２０は、シリコン基板上２に形成された、コアの幅を
なめらかに拡大するテーパ光導波路２１と、該テーパ光
導波路２１の一端に接続された第２の光導波路（以下、
光フィールド変換用光導波路と呼ぶ。）２２とよりなっ
ている。また、光フィールド変換用光導波路２２は、基
板面内に並列配置された幅及び間隔が光の伝播方向に一
定の少なくとも３つのコア層からなり、各コア層は光が
閉じ込められないような薄さを有している。
路２０は、シリコン基板上２に形成された、コアの幅を
なめらかに拡大するテーパ光導波路２１と、該テーパ光
導波路２１の一端に接続された第２の光導波路（以下、
光フィールド変換用光導波路と呼ぶ。）２２とよりなっ
ている。また、光フィールド変換用光導波路２２は、基
板面内に並列配置された幅及び間隔が光の伝播方向に一
定の少なくとも３つのコア層からなり、各コア層は光が
閉じ込められないような薄さを有している。
【００２４】ここで、本実施の形態では、光フィールド
変換用光導波路２２のコアがクラッドに覆われている例
について説明する。これは、この組み合わせが通常の光
導波路の製造と全く同じ工程での、本発明の光導波路の
製造を可能にするからである。しかしながら、本発明は
この例に限定されるものではなく、クラッドともコアと
も異なる材料を用いて多層構造を構成することも、もち
ろん可能である。
変換用光導波路２２のコアがクラッドに覆われている例
について説明する。これは、この組み合わせが通常の光
導波路の製造と全く同じ工程での、本発明の光導波路の
製造を可能にするからである。しかしながら、本発明は
この例に限定されるものではなく、クラッドともコアと
も異なる材料を用いて多層構造を構成することも、もち
ろん可能である。
【００２５】また、本実施の形態では、光導波路２０が
光導波路の端部にある、即ち光フィールド変換用光導波
路２２のテーパ光導波路２１に接続されない一端が開放
端である例を示しているが、これはこの配置が光ファイ
バ等の他の光部品との接続損失を低減できる光導波路を
提供できるからである。しかしながら、本発明はこの例
に限定されるものではなく、光導波路２０は中央にあっ
ても良い。
光導波路の端部にある、即ち光フィールド変換用光導波
路２２のテーパ光導波路２１に接続されない一端が開放
端である例を示しているが、これはこの配置が光ファイ
バ等の他の光部品との接続損失を低減できる光導波路を
提供できるからである。しかしながら、本発明はこの例
に限定されるものではなく、光導波路２０は中央にあっ
ても良い。
【００２６】例えば、異種の光導波路を基板上に形成す
るような場合には、光導波路２０を異種光導波路の境界
付近に配設することで、これら光導波路間の接続損失を
低減することが可能となる。さらに、光導波路に溝を設
けてフィルタや波長板等の他の部品を搭載するような場
合にも、光導波路２０を溝の近辺に配設することで、溝
における回折損失を抑制することができる。このよう
に、光導波路２０は光導波路端部にあっても良く、ま
た、光導波路中央部にあっても良い。
るような場合には、光導波路２０を異種光導波路の境界
付近に配設することで、これら光導波路間の接続損失を
低減することが可能となる。さらに、光導波路に溝を設
けてフィルタや波長板等の他の部品を搭載するような場
合にも、光導波路２０を溝の近辺に配設することで、溝
における回折損失を抑制することができる。このよう
に、光導波路２０は光導波路端部にあっても良く、ま
た、光導波路中央部にあっても良い。
【００２７】さらに、本実施の形態の光導波路２０で
は、テーパ光導波路２１と光フィールド変換用光導波路
２２がそれぞれ独立にあるとしたが、本発明はこの例に
限定されるものではなく、例えば光フィールド変換用光
導波路が横方向に幅をなめらかに変化させるテーパ光導
波路となっていても、もちろん良い。
は、テーパ光導波路２１と光フィールド変換用光導波路
２２がそれぞれ独立にあるとしたが、本発明はこの例に
限定されるものではなく、例えば光フィールド変換用光
導波路が横方向に幅をなめらかに変化させるテーパ光導
波路となっていても、もちろん良い。
【００２８】さて、図１の実施の形態において、導波路
の比屈折率は１．５％とし、導波路の厚みは４．３μ
ｍ、テーパ光導波路２１の入力用光導波路側の幅は４．
０μｍ、出力用光導波路側の幅は１１μｍ、光フィール
ド変換用光導波路２２のコアの層数は５とし、コア材料
の層の幅は１μｍ、クラッド材料の層の幅は２μｍとし
た。
の比屈折率は１．５％とし、導波路の厚みは４．３μ
ｍ、テーパ光導波路２１の入力用光導波路側の幅は４．
０μｍ、出力用光導波路側の幅は１１μｍ、光フィール
ド変換用光導波路２２のコアの層数は５とし、コア材料
の層の幅は１μｍ、クラッド材料の層の幅は２μｍとし
た。
【００２９】このようにすると、光フィールド変換用光
導波路２２では、光はコアの屈折率とクラッドの屈折率
との平均の屈折率を感じるために、光のフィールドは縦
方向にも広がることとなり、光ファイバを始めとする比
較的光の閉じ込めの弱い光部品との接続損失を低減する
ことが可能となる。
導波路２２では、光はコアの屈折率とクラッドの屈折率
との平均の屈折率を感じるために、光のフィールドは縦
方向にも広がることとなり、光ファイバを始めとする比
較的光の閉じ込めの弱い光部品との接続損失を低減する
ことが可能となる。
【００３０】図４は本実施の形態の光導波路の製造工程
を示すもので、以下、工程順に説明する。
を示すもので、以下、工程順に説明する。
【００３１】（ａ）基板２としてシリコン基板を用い、
基板２上に下部クラッド２２１と、コア層２２２とを火
炎堆積法により形成する。
基板２上に下部クラッド２２１と、コア層２２２とを火
炎堆積法により形成する。
【００３２】火炎堆積法はＳｉＣｌ4を主成分とするガ
ラス形成原料ガスにより、酸水素バーナーの火炎内でＳ
ｉＯ2を主成分とするガラス微粒子を形成し、基板にガ
ラス微粒子層を堆積する方法であり、堆積したガラス微
粒子層を基板とともに電気炉で加熱して、透明なガラス
膜を形成する。
ラス形成原料ガスにより、酸水素バーナーの火炎内でＳ
ｉＯ2を主成分とするガラス微粒子を形成し、基板にガ
ラス微粒子層を堆積する方法であり、堆積したガラス微
粒子層を基板とともに電気炉で加熱して、透明なガラス
膜を形成する。
【００３３】始めに、基板２上に下部クラッド２２１用
ガラス微粒子を堆積し、コア層２２２用ガラス微粒子を
堆積した後、電気炉にて透明ガラス化した。コア層２２
２用ガラス微粒子層には、屈折率を高くするためにＧｅ
Ｏ2を添加している。
ガラス微粒子を堆積し、コア層２２２用ガラス微粒子を
堆積した後、電気炉にて透明ガラス化した。コア層２２
２用ガラス微粒子層には、屈折率を高くするためにＧｅ
Ｏ2を添加している。
【００３４】（ｂ）コア層２２２の不要部分を反応性イ
オンエッチング法により除去して、櫛の歯状のコア２２
２ａを形成する。
オンエッチング法により除去して、櫛の歯状のコア２２
２ａを形成する。
【００３５】（ｃ）下部クラッド２２１と同等の屈折率
を有する上部クラッド２２３を、コア２２２ａを覆うよ
うに形成する。上部クラッド２２３の形成には、再度、
火炎堆積法によりガラス微粒子を堆積し、電気炉で加熱
した。
を有する上部クラッド２２３を、コア２２２ａを覆うよ
うに形成する。上部クラッド２２３の形成には、再度、
火炎堆積法によりガラス微粒子を堆積し、電気炉で加熱
した。
【００３６】以上説明した本実施の形態の光導波路の製
造工程は、通常の石英系光導波路の製造工程とほぼ同じ
である。本実施の形態の光導波路は、余分な製造工程を
必要とすることなく実現できる利点を有する。
造工程は、通常の石英系光導波路の製造工程とほぼ同じ
である。本実施の形態の光導波路は、余分な製造工程を
必要とすることなく実現できる利点を有する。
【００３７】ここで、多層構造のコアを備えた光フィー
ルド変換用光導波路２２において、光がコアの屈折率と
クラッドの屈折率との平均値を感じるためには、コアの
材料からなる層を光が閉じ込められないような薄さにす
ることが必要である。石英系光導波路のようにコアとク
ラッドとの屈折率差が比較的小さな光導波路では、この
必要な薄さが大きくて済むので、作製に対する負担が極
めて小さいという特徴がある。
ルド変換用光導波路２２において、光がコアの屈折率と
クラッドの屈折率との平均値を感じるためには、コアの
材料からなる層を光が閉じ込められないような薄さにす
ることが必要である。石英系光導波路のようにコアとク
ラッドとの屈折率差が比較的小さな光導波路では、この
必要な薄さが大きくて済むので、作製に対する負担が極
めて小さいという特徴がある。
【００３８】図５は、前記作製した本実施の形態の光導
波路と、比屈折率０．３％を有する通常の光ファイバと
の接続損失を測定した結果を示すものである。接続損失
の再現性を確認するために同じ構造を３３個作製し、そ
れぞれＴＭ，ＴＥの各モードについて接続損失を測定し
た。平均損失は約０．４５ｄＢであり、偏波依存性は
０．１ｄＢ以下、ばらつきは０．１ｄＢ以内であった。
従来のテーパ光導波路を用いる手法と比べて、約０．３
５ｄＢの改善が得られていることが分かる。
波路と、比屈折率０．３％を有する通常の光ファイバと
の接続損失を測定した結果を示すものである。接続損失
の再現性を確認するために同じ構造を３３個作製し、そ
れぞれＴＭ，ＴＥの各モードについて接続損失を測定し
た。平均損失は約０．４５ｄＢであり、偏波依存性は
０．１ｄＢ以下、ばらつきは０．１ｄＢ以内であった。
従来のテーパ光導波路を用いる手法と比べて、約０．３
５ｄＢの改善が得られていることが分かる。
【００３９】また、図６は前記作製した本実施の形態の
光導波路の端部における光のフィールドの断面形状を示
すものである。図６に示すように、本実施の形態の光導
波路端部での断面には、基板２上に、下部クラッド２２
１と、コア２２２ａと、上部クラッド２２３とが配設さ
れている。この時、コアがクラッドに覆われているの
で、光のフィールド２２４は横だけでなく縦にも広が
り、光ファイバ中の横も縦も広い光のフィールドとほぼ
形状が一致するので、上述のような損失の低減が図れ
る。
光導波路の端部における光のフィールドの断面形状を示
すものである。図６に示すように、本実施の形態の光導
波路端部での断面には、基板２上に、下部クラッド２２
１と、コア２２２ａと、上部クラッド２２３とが配設さ
れている。この時、コアがクラッドに覆われているの
で、光のフィールド２２４は横だけでなく縦にも広が
り、光ファイバ中の横も縦も広い光のフィールドとほぼ
形状が一致するので、上述のような損失の低減が図れ
る。
【００４０】
【発明の効果】以上詳細に説明したように、本発明によ
れば、光の閉じ込めの強い光導波路において、光ファイ
バ等の他の光部品との接続損失を簡易に低減することが
できる光導波路を提供することができ、量産性、機能性
に富んだ低損失で実用的な光導波路部品を提供すること
ができる。
れば、光の閉じ込めの強い光導波路において、光ファイ
バ等の他の光部品との接続損失を簡易に低減することが
できる光導波路を提供することができ、量産性、機能性
に富んだ低損失で実用的な光導波路部品を提供すること
ができる。
【図１】従来の横方向テーパ光導波路を示す説明図
【図２】従来の横方向テーパ光導波路における光のフィ
ールドの断面形状を示す説明図
ールドの断面形状を示す説明図
【図３】本発明の光導波路の実施の形態の一例を示す説
明図
明図
【図４】本実施の形態の光導波路の製造工程を示す説明
図
図
【図５】本実施の形態の光導波路と通常の光ファイバと
の接続損失の測定結果を示す図
の接続損失の測定結果を示す図
【図６】本実施の形態の光導波路における光のフィール
ドの断面形状を示す説明図
ドの断面形状を示す説明図
２：基板、２０：光導波路、２１：テーパ光導波路、２
２：光フィールド変換用光導波路、２２１：下部クラッ
ド、２２２ａ：コア、２２３：上部クラッド、２２４：
光のフィールド。
２：光フィールド変換用光導波路、２２１：下部クラッ
ド、２２２ａ：コア、２２３：上部クラッド、２２４：
光のフィールド。
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(72)発明者 杉田 彰夫
東京都千代田区大手町二丁目３番１号
日本電信電話株式会社内
(72)発明者 田中 拓也
東京都千代田区大手町二丁目３番１号
日本電信電話株式会社内
(56)参考文献 特開 平６−194536（ＪＰ，Ａ)
特開 平８−146248（ＪＰ，Ａ)
特開 平７−174929（ＪＰ，Ａ)
特開 平10−90537（ＪＰ，Ａ)
特開 平３−288102（ＪＰ，Ａ)
特開 平10−221554（ＪＰ，Ａ)
特開 平５−323139（ＪＰ，Ａ)
(58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名)
G02B 6/12 - 6/14
H01S 5/022 - 5/026
Claims (4)
- 【請求項１】 基板上にクラッド及びコアが形成されて
なる光導波路において、 前記光導波路の一部が、コアの幅をなめらかに拡大する
テーパ光導波路と、該テーパ光導波路の一端に接続され
た第２の光導波路とよりなり、 前記第２の光導波路は、前記基板面内に並列配置された
幅及び間隔が光の伝播方向に一定の少なくとも３つのコ
ア層からなり、各コア層は光が閉じ込められないような
薄さを有し、 前記テーパ光導波路では光のフィールドを横方向に拡大
し、前記第２の光導波路では光のフィールドを縦方向に
拡大する ことを特徴とする光導波路。 - 【請求項２】 前記第２の光導波路のコア層は前記クラ
ッドに覆われておることを特徴とする請求項１記載の光
導波路。 - 【請求項３】 前記第２の光導波路のテーパ導波路に接
続されていない一端が開放端であることを特徴とする請
求項１または２記載の光導波路。 - 【請求項４】 前記光導波路が石英系光導波路であるこ
とを特徴とする請求項１乃至３いずれか記載の光導波
路。
Priority Applications (1)
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|---|---|---|---|
| JP2000167338A JP3530463B2 (ja) | 2000-06-05 | 2000-06-05 | 光導波路 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000167338A JP3530463B2 (ja) | 2000-06-05 | 2000-06-05 | 光導波路 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2001350045A JP2001350045A (ja) | 2001-12-21 |
| JP3530463B2 true JP3530463B2 (ja) | 2004-05-24 |
Family
ID=18670506
Family Applications (1)
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|---|---|---|---|
| JP2000167338A Expired - Lifetime JP3530463B2 (ja) | 2000-06-05 | 2000-06-05 | 光導波路 |
Country Status (1)
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|---|---|
| JP (1) | JP3530463B2 (ja) |
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-
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