JP3527089B2 - 光ファイバの製造方法 - Google Patents
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- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03B—MANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
- C03B37/00—Manufacture or treatment of flakes, fibres, or filaments from softened glass, minerals, or slags
- C03B37/01—Manufacture of glass fibres or filaments
- C03B37/012—Manufacture of preforms for drawing fibres or filaments
- C03B37/01205—Manufacture of preforms for drawing fibres or filaments starting from tubes, rods, fibres or filaments
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- C03B37/014—Manufacture of preforms for drawing fibres or filaments made entirely or partially by chemical means, e.g. vapour phase deposition of bulk porous glass either by outside vapour deposition [OVD], or by outside vapour phase oxidation [OVPO] or by vapour axial deposition [VAD]
- C03B37/018—Manufacture of preforms for drawing fibres or filaments made entirely or partially by chemical means, e.g. vapour phase deposition of bulk porous glass either by outside vapour deposition [OVD], or by outside vapour phase oxidation [OVPO] or by vapour axial deposition [VAD] by glass deposition on a glass substrate, e.g. by inside-, modified-, plasma-, or plasma modified- chemical vapour deposition [ICVD, MCVD, PCVD, PMCVD], i.e. by thin layer coating on the inside or outside of a glass tube or on a glass rod
- C03B37/01861—Means for changing or stabilising the diameter or form of tubes or rods
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Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、光ファイバの製造
方法に関し、特に、プリフォーム製造技術に関する。
方法に関し、特に、プリフォーム製造技術に関する。
【０００２】
【従来の技術】光ファイバの製造にあたっては、一般的
に、２つの基本的なアプローチの一方を使用している。
いずれにおいても、ラッチを回転させ、化学的気相堆積
法（ＣＶＤ法）あるいはその修正法によって回転するプ
リフォーム上に純粋なガラス材料を累積させている。初
期の技術では、回転するプリフォームの外側に材料を付
着させていた。この場合、プリフォームは一般的に中空
チューブであり、その固体チューブの外側に、気相堆積
ガラス材料を累積させることによって、ゆっくりと直径
を増大させていた。
に、２つの基本的なアプローチの一方を使用している。
いずれにおいても、ラッチを回転させ、化学的気相堆積
法（ＣＶＤ法）あるいはその修正法によって回転するプ
リフォーム上に純粋なガラス材料を累積させている。初
期の技術では、回転するプリフォームの外側に材料を付
着させていた。この場合、プリフォームは一般的に中空
チューブであり、その固体チューブの外側に、気相堆積
ガラス材料を累積させることによって、ゆっくりと直径
を増大させていた。
【０００３】この技術分野において、大きな進歩が果た
されたのは、ＭａｃＣｈｅｓｎｅｙｅｔ ａｌによっ
て、いわゆる修正化学的気相堆積法（ＭＣＶＤ法）が採
用されたことによる。このＭＣＶＤ法においては、回転
する中空チューブ内にガラス原料を流すことによって、
その中空チューブ内の内壁にガラス材料を付着させる。
この方法においては、非常に純粋な材料を重要なコア領
域に導入することができる。このことはまた、反応環境
の制御を向上する。
されたのは、ＭａｃＣｈｅｓｎｅｙｅｔ ａｌによっ
て、いわゆる修正化学的気相堆積法（ＭＣＶＤ法）が採
用されたことによる。このＭＣＶＤ法においては、回転
する中空チューブ内にガラス原料を流すことによって、
その中空チューブ内の内壁にガラス材料を付着させる。
この方法においては、非常に純粋な材料を重要なコア領
域に導入することができる。このことはまた、反応環境
の制御を向上する。
【０００４】このＭＣＶＤ法は、高度に洗練された製造
技術に発展しており、現在では商業的に広く使用されて
いる。しかしながら、中空チューブを使用することによ
って基本的な技術的問題が本質的に存在している。すな
わち、ＭＣＶＤ法の発見以来存続している問題は、堆積
プロセス中においてチューブの真円度を確保するという
問題である。
技術に発展しており、現在では商業的に広く使用されて
いる。しかしながら、中空チューブを使用することによ
って基本的な技術的問題が本質的に存在している。すな
わち、ＭＣＶＤ法の発見以来存続している問題は、堆積
プロセス中においてチューブの真円度を確保するという
問題である。
【０００５】堆積プロセスに本質的に存在する熱力学条
件として、ガラスチューブを強化してつぶす間に使用さ
れる温度が、そのプロセスにおいてガラスチューブを変
形し易くするために、初期のガラスチューブの軟化温度
を越えるという点が挙げられる。一般的に、そのような
変形によって、そのチューブの円断面は若干長円形に変
化する。そして、チューブのコラップスプロセスの間、
チューブはそのような変形を最も生じやすい。
件として、ガラスチューブを強化してつぶす間に使用さ
れる温度が、そのプロセスにおいてガラスチューブを変
形し易くするために、初期のガラスチューブの軟化温度
を越えるという点が挙げられる。一般的に、そのような
変形によって、そのチューブの円断面は若干長円形に変
化する。そして、チューブのコラップスプロセスの間、
チューブはそのような変形を最も生じやすい。
【０００６】初期状態にチューブの全長に沿って連続的
な円形断面を持つチューブを提供する試みはなされてき
た。したがって、コラップスプロセスの間チューブの真
円度の低下を防止可能な技術があれば、堆積前処理によ
って初期状態のチューブにおける長円性を解消すること
が可能となる。ここで、堆積前処理は、初期状態のチュ
ーブの真円度を調節するためにラッチの下方までトーチ
を高温で通過させるものである。
な円形断面を持つチューブを提供する試みはなされてき
た。したがって、コラップスプロセスの間チューブの真
円度の低下を防止可能な技術があれば、堆積前処理によ
って初期状態のチューブにおける長円性を解消すること
が可能となる。ここで、堆積前処理は、初期状態のチュ
ーブの真円度を調節するためにラッチの下方までトーチ
を高温で通過させるものである。
【０００７】チューブのコラップスプロセス中に伸展す
る長円化問題を回避するために、従来のＭＣＶＤ法にお
いては、トーチを多数通過させて、チューブをゆっくり
とつぶすことが慣例となっている。その目的は、真円度
を維持し易くするガラスの表面張力を平衡状態に近づけ
て、長円化し易くする重力などの他の力を相殺すること
である。
る長円化問題を回避するために、従来のＭＣＶＤ法にお
いては、トーチを多数通過させて、チューブをゆっくり
とつぶすことが慣例となっている。その目的は、真円度
を維持し易くするガラスの表面張力を平衡状態に近づけ
て、長円化し易くする重力などの他の力を相殺すること
である。
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、現在の
製造においては、そのようなコラップスプロセスは不都
合に長時間化してしまい、一般的には、製造時間の約半
分近くを費やすことになる。したがって、ＭＣＶＤ法に
おける重要な目的は、チューブコラップス時間を短縮す
ることである。そのような長円化問題を管理可能な技術
を実現すれば、より積極的なチューブコラップス予定を
立てることが可能となり、それによってプリフォームの
製造コストをかなり削減することができる。
製造においては、そのようなコラップスプロセスは不都
合に長時間化してしまい、一般的には、製造時間の約半
分近くを費やすことになる。したがって、ＭＣＶＤ法に
おける重要な目的は、チューブコラップス時間を短縮す
ることである。そのような長円化問題を管理可能な技術
を実現すれば、より積極的なチューブコラップス予定を
立てることが可能となり、それによってプリフォームの
製造コストをかなり削減することができる。
【０００９】ＭＣＶＤプロセス中における長円化問題を
管理または解消するための周知の従来技術として、チュ
ーブをつぶす間にチューブ内における不活性ガス、例え
ば、窒素やアルゴンなどの加圧を維持する技術がある。
初期状態のチューブが円形である場合には、チューブ内
側の均一な静水圧は、理論上は、チューブの長さ方向と
周方向におけるガラスの表面張力に等しく、チューブ全
体における均一なコラップス力が維持される。このアプ
ローチは、長円化問題の解消には成功したが、チューブ
における内圧の使用は、コラップス速度を遅くしてしま
う。
管理または解消するための周知の従来技術として、チュ
ーブをつぶす間にチューブ内における不活性ガス、例え
ば、窒素やアルゴンなどの加圧を維持する技術がある。
初期状態のチューブが円形である場合には、チューブ内
側の均一な静水圧は、理論上は、チューブの長さ方向と
周方向におけるガラスの表面張力に等しく、チューブ全
体における均一なコラップス力が維持される。このアプ
ローチは、長円化問題の解消には成功したが、チューブ
における内圧の使用は、コラップス速度を遅くしてしま
う。
【００１０】したがって、本発明の目的は、上述したよ
うな従来のＭＣＶＤ法の持つ問題を解消して、コラップ
スプロセスにおけるチューブの長円化を防止すると共
に、コラップス時間を短縮可能な、優れた光ファイバの
製造方法を提供することである。
うな従来のＭＣＶＤ法の持つ問題を解消して、コラップ
スプロセスにおけるチューブの長円化を防止すると共
に、コラップス時間を短縮可能な、優れた光ファイバの
製造方法を提供することである。
【００１１】
【課題を解決するための手段】本発明による光ファイバ
の製造方法によれば、ＭＣＶＤプロセスの間にチューブ
の真円度を確保することができる。本発明においてはま
ず、チューブにおける長円化領域の存在または兆候を検
出するために、コンピュータシステムを用いてチューブ
外形の真円度を正確に監視する。そのモニタによる長円
化領域の検出に応答して、その長円化領域に対して外部
からガス圧を与えることにより、チューブの外形を訂正
する。
の製造方法によれば、ＭＣＶＤプロセスの間にチューブ
の真円度を確保することができる。本発明においてはま
ず、チューブにおける長円化領域の存在または兆候を検
出するために、コンピュータシステムを用いてチューブ
外形の真円度を正確に監視する。そのモニタによる長円
化領域の検出に応答して、その長円化領域に対して外部
からガス圧を与えることにより、チューブの外形を訂正
する。
【００１２】本発明によるコラップスの間にチューブの
真円度を維持するための自動システムを使用することに
より、より攻撃的なコラップス技術を使用することがで
き、その結果、コラップス時間を実質的に短縮すること
ができる。コラップス時間をさらに短縮するために、コ
ラップスプロセスの間、チューブ内を外部環境に対して
減圧したり真空引きしてもよい。
真円度を維持するための自動システムを使用することに
より、より攻撃的なコラップス技術を使用することがで
き、その結果、コラップス時間を実質的に短縮すること
ができる。コラップス時間をさらに短縮するために、コ
ラップスプロセスの間、チューブ内を外部環境に対して
減圧したり真空引きしてもよい。
【００１３】
【発明の実施の形態】改善されたチューブコラップスプ
ロセスを理解するためには、まず、プロセスの熱力学を
理解する必要がある。この熱力学は、コラップスの間に
ガラスチューブに作用する主要な駆動力を含む。チュー
ブコラップスプロセスにおけるこの駆動力σは、ガラス
の表面張力γと、チューブの外部圧力Ｐb と内部圧力Ｐ
a 間の圧力差とによって決定される。コラップスにおけ
るより小さな駆動力が、トーチからチューブ外面に加わ
る酸素燃料と水素燃料の圧力ＰF によって発揮される。
チューブの回転による遠心力は、コラップスプロセスを
妨げる比較的小さな力である。
ロセスを理解するためには、まず、プロセスの熱力学を
理解する必要がある。この熱力学は、コラップスの間に
ガラスチューブに作用する主要な駆動力を含む。チュー
ブコラップスプロセスにおけるこの駆動力σは、ガラス
の表面張力γと、チューブの外部圧力Ｐb と内部圧力Ｐ
a 間の圧力差とによって決定される。コラップスにおけ
るより小さな駆動力が、トーチからチューブ外面に加わ
る酸素燃料と水素燃料の圧力ＰF によって発揮される。
チューブの回転による遠心力は、コラップスプロセスを
妨げる比較的小さな力である。
【００１４】チューブをつぶすための正味の力は、外形
をＲ、内径をｒとした場合に、次の式で表される。
をＲ、内径をｒとした場合に、次の式で表される。
【数１】
ここで、この式の最終項は、秒当たりｎ回転のチューブ
回転によって生じる遠心力を表しており、ρA は、単位
表面積当たりのガラスチューブの質量である。表面張力
と火炎の圧力は、チューブ半径を低減する加圧を引き起
こす。チュープの回転は、チューブコラップスを妨害す
る遠心力を引き起こす。付加された内圧は、上記のよう
に、コラップスを防止して、チューブを拡張することさ
えありうる。
回転によって生じる遠心力を表しており、ρA は、単位
表面積当たりのガラスチューブの質量である。表面張力
と火炎の圧力は、チューブ半径を低減する加圧を引き起
こす。チュープの回転は、チューブコラップスを妨害す
る遠心力を引き起こす。付加された内圧は、上記のよう
に、コラップスを防止して、チューブを拡張することさ
えありうる。
【００１５】コラップス速度ｄＲ／ｄｔは、駆動力とガ
ラスの粘度の両方によって決定される。これは、次の式
で表される。
ラスの粘度の両方によって決定される。これは、次の式
で表される。
【数２】
ここで、この式には、粘度の半径方向の変化η（ｘ）が
含まれている。高温下においてガラスの粘度が低下した
場合にコラップス速度が高くなることは明らかである。
含まれている。高温下においてガラスの粘度が低下した
場合にコラップス速度が高くなることは明らかである。
【００１６】コラップスプロセスの間、初期のチューブ
の楕円率は、かなりの大きさまで拡大する可能性があ
る。これは、楕円のファイバコアを生成し、多くのファ
イバ応用技術に有害な偏光モード分散（ＰＭＤ）を引き
起こす。分析と実験によれば、外部圧力Ｐb が内部圧力
Ｐa を臨界値まで越えた場合に、初期のチューブの楕円
率がコラップスの間に拡大することが明らかになってい
る。
の楕円率は、かなりの大きさまで拡大する可能性があ
る。これは、楕円のファイバコアを生成し、多くのファ
イバ応用技術に有害な偏光モード分散（ＰＭＤ）を引き
起こす。分析と実験によれば、外部圧力Ｐb が内部圧力
Ｐa を臨界値まで越えた場合に、初期のチューブの楕円
率がコラップスの間に拡大することが明らかになってい
る。
【００１７】臨界圧は、チューブの寸法によって決定さ
れる。例えば、１９×２５mm径（内径１９mm、外径２５
mm）の均質なチューブは、２２mm外径までつぶされ、圧
力差（Ｐb −Ｐa ）が水圧で０．０３２インチ（０．８
１３ｍｍ）より小さい場合には楕円率が高くなる。その
チューブが１７．２mmの外径まで収縮する場合には、楕
円率を生じることなしに、水圧で０．２８インチ（７．
１１ｍｍ）もの高い圧力差に耐えられる。実際には、チ
ューブ内の圧力は、一般的に外部環境よりも高い値に維
持される。すなわち、Ｐb −Ｐa ＜０である。この内部
加圧状態は、円形のチューブ外形を維持するが、前述し
たように、コラップス速度を遅くする。
れる。例えば、１９×２５mm径（内径１９mm、外径２５
mm）の均質なチューブは、２２mm外径までつぶされ、圧
力差（Ｐb −Ｐa ）が水圧で０．０３２インチ（０．８
１３ｍｍ）より小さい場合には楕円率が高くなる。その
チューブが１７．２mmの外径まで収縮する場合には、楕
円率を生じることなしに、水圧で０．２８インチ（７．
１１ｍｍ）もの高い圧力差に耐えられる。実際には、チ
ューブ内の圧力は、一般的に外部環境よりも高い値に維
持される。すなわち、Ｐb −Ｐa ＜０である。この内部
加圧状態は、円形のチューブ外形を維持するが、前述し
たように、コラップス速度を遅くする。
【００１８】以上のように、初期のチューブにおける楕
円率は、つぶされたプリフォームの楕円率に直接的に反
映する。それはまた、図１に示すように、プリフォーム
のコアの楕円率に直接的に反映する。図１は、楕円形の
プリフォーム１１とそれに対応する楕円形のコア１２を
示す断面図である。一般的なシングルモードファイバに
おけるコア径対プリフォーム径の比は、１／１０〜１／
２０の範囲内である。コアの断面形状は、プリフォーム
全体の形状のレプリカに近いが、図１においては、コア
１２において容認できない楕円率が示されている。
円率は、つぶされたプリフォームの楕円率に直接的に反
映する。それはまた、図１に示すように、プリフォーム
のコアの楕円率に直接的に反映する。図１は、楕円形の
プリフォーム１１とそれに対応する楕円形のコア１２を
示す断面図である。一般的なシングルモードファイバに
おけるコア径対プリフォーム径の比は、１／１０〜１／
２０の範囲内である。コアの断面形状は、プリフォーム
全体の形状のレプリカに近いが、図１においては、コア
１２において容認できない楕円率が示されている。
【００１９】過度のコア楕円率によって生じる問題とし
て、不都合な偏光モード分散（ＰＭＤ）と過度のスプラ
イス損失が挙げられる。理想的な円対称シングルモード
ファイバは、２つの独立した変性モードの直交偏光を支
持するが、過度のコア楕円率は、その円対称を壊し、そ
の２つの偏光モードの変性を除去する。これらの２つの
モードは、異なる位相速度で伝播し、それによってファ
イバ内に複屈折が引き起こされる。
て、不都合な偏光モード分散（ＰＭＤ）と過度のスプラ
イス損失が挙げられる。理想的な円対称シングルモード
ファイバは、２つの独立した変性モードの直交偏光を支
持するが、過度のコア楕円率は、その円対称を壊し、そ
の２つの偏光モードの変性を除去する。これらの２つの
モードは、異なる位相速度で伝播し、それによってファ
イバ内に複屈折が引き起こされる。
【００２０】さらに、偏光の出力状態は、熱とモード結
合の影響の結果として、予測できない不安定なものとな
る。平均的に、偏光の出力状態は、所定の偏光の「ビー
ト」長で、ファイバに沿って周期的に変化する。このよ
うに、コア楕円率に起因する複屈折によって、高ビット
速度伝送またはアナログ伝送を含む応用技術に対して望
ましくないシングル偏光モード分散を生じてしまう。こ
のことは、「Ｕ．Ｓ．Ｐａｔ．Ｎｏ．５，４１８，８８
１」、および「Ａｐｐｌｉｅｄ Ｏｐｔｉｃｓ，Ｖｏ
ｌ．２０（１７）２９６２」に記載されている。
合の影響の結果として、予測できない不安定なものとな
る。平均的に、偏光の出力状態は、所定の偏光の「ビー
ト」長で、ファイバに沿って周期的に変化する。このよ
うに、コア楕円率に起因する複屈折によって、高ビット
速度伝送またはアナログ伝送を含む応用技術に対して望
ましくないシングル偏光モード分散を生じてしまう。こ
のことは、「Ｕ．Ｓ．Ｐａｔ．Ｎｏ．５，４１８，８８
１」、および「Ａｐｐｌｉｅｄ Ｏｐｔｉｃｓ，Ｖｏ
ｌ．２０（１７）２９６２」に記載されている。
【００２１】図２は、上述したようなファイバコアにお
ける過度の楕円率による他の否定的な結果、すなわち、
過度のスプライス損失を示している。この問題は、その
欠陥のあるファイバがスプライスされた場合に生じる。
光学システムの製造と補修において、ファイバ断面は通
常は円形であるため、ファイバの円形性は、一般的なス
プライス内でランダムである。ファイバが過度の楕円率
を持つ場合には、伝播ビームのモードフィールド分光
は、円形にはならない。図２に示すようにファイバ端部
２１と２２が突き合わせられた場合、そのスプライス断
面は、２３に示すようになり、影付きの領域２４内に向
かう伝播ビーム中のエネルギーが消失する。
ける過度の楕円率による他の否定的な結果、すなわち、
過度のスプライス損失を示している。この問題は、その
欠陥のあるファイバがスプライスされた場合に生じる。
光学システムの製造と補修において、ファイバ断面は通
常は円形であるため、ファイバの円形性は、一般的なス
プライス内でランダムである。ファイバが過度の楕円率
を持つ場合には、伝播ビームのモードフィールド分光
は、円形にはならない。図２に示すようにファイバ端部
２１と２２が突き合わせられた場合、そのスプライス断
面は、２３に示すようになり、影付きの領域２４内に向
かう伝播ビーム中のエネルギーが消失する。
【００２２】以上のような分析と技術背景は、従来技術
の課題と、本発明による課題解決手段、すなわち、プロ
セス中にチューブ外形を監視し、監視データに従ってプ
ロセス条件を選択的に修正することにより課題を解決す
る手段、を理解するために提示されたものである。修正
されるプロセス条件は、例えば、トーチの熱出力、ある
いは、選択的な局部的外部加圧である。局部的な加圧
は、チューブの長円化を訂正するために好ましいメカニ
ズムである。
の課題と、本発明による課題解決手段、すなわち、プロ
セス中にチューブ外形を監視し、監視データに従ってプ
ロセス条件を選択的に修正することにより課題を解決す
る手段、を理解するために提示されたものである。修正
されるプロセス条件は、例えば、トーチの熱出力、ある
いは、選択的な局部的外部加圧である。局部的な加圧
は、チューブの長円化を訂正するために好ましいメカニ
ズムである。
【００２３】従来技術において教示されている内部加圧
の使用は、潜在的なコラップス率を減速するが、本発明
者等の研究結果においては、プリフォームのコラップス
の間に外部からの圧力を局部的かつ選択的に加えること
により、楕円率を有効に制御することができ、コラップ
ス速度が増大することが確認された。
の使用は、潜在的なコラップス率を減速するが、本発明
者等の研究結果においては、プリフォームのコラップス
の間に外部からの圧力を局部的かつ選択的に加えること
により、楕円率を有効に制御することができ、コラップ
ス速度が増大することが確認された。
【００２４】本発明に従って、好ましくない楕円率を低
減あるいは除去するための技術について、図３と図４を
参照して説明する。基本的なＭＣＶＤプロセスは、この
プロセスにおいて使用される装置と同様に周知である。
参照文献としては、例えば、「Ｊ．Ｂ．ＭａｃＣｈｅｓ
ｎｅｙ ｅｔ ａｌ，“Ｐｒｅｐａｒａｔｉｏｎ ｏｆ
Ｌｏｗ Ｌｏｓｓ Ｏｐｔｉｃａｌ Ｆｉｂｅｒｓ
Ｕｓｉｎｇ Ｓｉｍｕｌｔａｎｅｏｕｓ Ｖａｐｏｒ
Ｐｈａｓｅ Ｄｅｐｏｓｉｔｉｏｎ ａｎｄＦｕｓｉｏ
ｎ”， Ｘｔｈ Ｉｎｔ． Ｃｏｎｇｒｅｓｓ ｏｎ
Ｇｌａｓｓ，Ｋｙｏｔｏ， Ｊａｐａｎ（１９７３）６
−４０」がある。
減あるいは除去するための技術について、図３と図４を
参照して説明する。基本的なＭＣＶＤプロセスは、この
プロセスにおいて使用される装置と同様に周知である。
参照文献としては、例えば、「Ｊ．Ｂ．ＭａｃＣｈｅｓ
ｎｅｙ ｅｔ ａｌ，“Ｐｒｅｐａｒａｔｉｏｎ ｏｆ
Ｌｏｗ Ｌｏｓｓ Ｏｐｔｉｃａｌ Ｆｉｂｅｒｓ
Ｕｓｉｎｇ Ｓｉｍｕｌｔａｎｅｏｕｓ Ｖａｐｏｒ
Ｐｈａｓｅ Ｄｅｐｏｓｉｔｉｏｎ ａｎｄＦｕｓｉｏ
ｎ”， Ｘｔｈ Ｉｎｔ． Ｃｏｎｇｒｅｓｓ ｏｎ
Ｇｌａｓｓ，Ｋｙｏｔｏ， Ｊａｐａｎ（１９７３）６
−４０」がある。
【００２５】図３に示すように、シリカ製のチューブ４
１は、ＭＣＶＤガラスラッチ（図示せず）内で回転する
ように取り付けられる。ガラス原料ガス、例えば、Ｓｉ
Ｃｌ4 、ＧｅＣｌ4 、Ｏ2 は、酸水素トーチ４２によっ
てチューブ４１が加熱される間に、その回転するチュー
ブ４１内を流れる。ガラス材料の付着と固化を完了する
際に、チューブ４１は、周知の技術によってつぶされ
る。すなわち、２０００〜２４００℃のガラス軟化温度
を越える温度まで十分に加熱して、チューブ４１の表面
張力によってチューブ径を収縮させることにより、最終
的に、トーチの多数の通過を経た後に、所望の固体プリ
フォームが得られる。コラップスの間にガラスが軟化温
度を越えると、チューブの長円化は、コラップスの間に
拡大し易い。
１は、ＭＣＶＤガラスラッチ（図示せず）内で回転する
ように取り付けられる。ガラス原料ガス、例えば、Ｓｉ
Ｃｌ4 、ＧｅＣｌ4 、Ｏ2 は、酸水素トーチ４２によっ
てチューブ４１が加熱される間に、その回転するチュー
ブ４１内を流れる。ガラス材料の付着と固化を完了する
際に、チューブ４１は、周知の技術によってつぶされ
る。すなわち、２０００〜２４００℃のガラス軟化温度
を越える温度まで十分に加熱して、チューブ４１の表面
張力によってチューブ径を収縮させることにより、最終
的に、トーチの多数の通過を経た後に、所望の固体プリ
フォームが得られる。コラップスの間にガラスが軟化温
度を越えると、チューブの長円化は、コラップスの間に
拡大し易い。
【００２６】酸水素トーチ４２の温度は、この酸水素ト
ーチ４２に供給される燃料混合物における水素対酸素の
比率と、その絶対流量率とによって制御される。このガ
ス流量の制御は、図３中にガス流量制御装置４３として
示すように、Ｈ2 とＯ2 の流量率を個別に制御し、それ
によって、水素対酸素比率を制御することにより行わ
れ、その結果、酸水素トーチ４２に対して計量されたガ
ス流が供給される。複数のガスは、周知の技術によって
火炎部分で混合される。
ーチ４２に供給される燃料混合物における水素対酸素の
比率と、その絶対流量率とによって制御される。このガ
ス流量の制御は、図３中にガス流量制御装置４３として
示すように、Ｈ2 とＯ2 の流量率を個別に制御し、それ
によって、水素対酸素比率を制御することにより行わ
れ、その結果、酸水素トーチ４２に対して計量されたガ
ス流が供給される。複数のガスは、周知の技術によって
火炎部分で混合される。
【００２７】本発明によれば、円形チューブの外形を維
持するために、コラップス中におけるフィードバック制
御が行われる。外形制御装置に対する入力を提供するた
めに、チューブを回転させる間にチューブ寸法が測定さ
れる。第１の実施の形態においては、図３に示すよう
に、この測定値は、チューブ外形を修正するために、ガ
ス流量制御装置４３に送られる。
持するために、コラップス中におけるフィードバック制
御が行われる。外形制御装置に対する入力を提供するた
めに、チューブを回転させる間にチューブ寸法が測定さ
れる。第１の実施の形態においては、図３に示すよう
に、この測定値は、チューブ外形を修正するために、ガ
ス流量制御装置４３に送られる。
【００２８】本発明のこの実施の形態においては、チュ
ーブ円周に沿ったコラップス速度を調節するために、チ
ューブの周囲における空間的な、すなわち、方位角温度
分布が使用される。この方位角温度分布は、ガラス粘度
において同様の分布グラフを生じさせる。チューブ収縮
の間、チューブの真円度は、平均値よりも大きな半径を
持つかあるいは半径が増大しつつあるチューブ領域を選
択的に加熱することによって維持される。チューブの収
縮に対して、他の等価的な動的な力を加えることによ
り、すなわち、より強く加熱することにより、その領域
の粘度をより低下させてそのコラップス速度を増大する
ことができる。中央の円周から突出するチューブ領域を
優先的に収縮するこの方法は、チューブの長円化を制御
可能なフィードバックメカニズムを提供する。
ーブ円周に沿ったコラップス速度を調節するために、チ
ューブの周囲における空間的な、すなわち、方位角温度
分布が使用される。この方位角温度分布は、ガラス粘度
において同様の分布グラフを生じさせる。チューブ収縮
の間、チューブの真円度は、平均値よりも大きな半径を
持つかあるいは半径が増大しつつあるチューブ領域を選
択的に加熱することによって維持される。チューブの収
縮に対して、他の等価的な動的な力を加えることによ
り、すなわち、より強く加熱することにより、その領域
の粘度をより低下させてそのコラップス速度を増大する
ことができる。中央の円周から突出するチューブ領域を
優先的に収縮するこの方法は、チューブの長円化を制御
可能なフィードバックメカニズムを提供する。
【００２９】図３を再度参照すれば、市販のレーザマイ
クロメータ４７（例えば、ｋｅｙｅｎｃｅ社によって販
売されている）を使用して、チューブの回転の間に異な
る方位角でチューブ径を測定するようになっている。他
の監視装置、例えば、ビデオカメラなどを、チューブ外
形寸法を記録するために使用してもよい。これらの測定
値は、チューブ外形と長円度を計算するマイクロプロセ
ッサ４６に送られる。この外形入力データは、次に、同
じマイクロプロセッサ４６または別のマイクロプロセッ
サによって処理され、ガス流量制御装置４３を動作させ
るためのコマンドが発せられる。ガス流量制御装置４３
の動作によって酸水素トーチ４２を制御してその温度を
変化させ、チューブ形状を動的に変化させる。
クロメータ４７（例えば、ｋｅｙｅｎｃｅ社によって販
売されている）を使用して、チューブの回転の間に異な
る方位角でチューブ径を測定するようになっている。他
の監視装置、例えば、ビデオカメラなどを、チューブ外
形寸法を記録するために使用してもよい。これらの測定
値は、チューブ外形と長円度を計算するマイクロプロセ
ッサ４６に送られる。この外形入力データは、次に、同
じマイクロプロセッサ４６または別のマイクロプロセッ
サによって処理され、ガス流量制御装置４３を動作させ
るためのコマンドが発せられる。ガス流量制御装置４３
の動作によって酸水素トーチ４２を制御してその温度を
変化させ、チューブ形状を動的に変化させる。
【００３０】本発明の他の実施の形態について、図４を
参照して説明する。ここで、図４は、回転するチューブ
５１とそれを加熱するトーチ５２を示している。トーチ
５２は、燃料供給源５８から燃料を供給される。この形
態においては、ガスノズル５３によって外部圧力パルス
を供給することにより、チューブの円周に沿ったコラッ
プス力を方位角で調節するようになっている。チューブ
外形監視装置５７は、上記のように動作して、コンピュ
ータ制御装置５６に外形信号を送る。このコンピュータ
制御装置５６は、ガス流量制御装置５５を動作させるた
めのチューブ外形訂正信号を発生する。ガス供給源５４
は、空気でもよいが、窒素、アルゴン等の不活性ガスや
その他の適当なガスでもよい。
参照して説明する。ここで、図４は、回転するチューブ
５１とそれを加熱するトーチ５２を示している。トーチ
５２は、燃料供給源５８から燃料を供給される。この形
態においては、ガスノズル５３によって外部圧力パルス
を供給することにより、チューブの円周に沿ったコラッ
プス力を方位角で調節するようになっている。チューブ
外形監視装置５７は、上記のように動作して、コンピュ
ータ制御装置５６に外形信号を送る。このコンピュータ
制御装置５６は、ガス流量制御装置５５を動作させるた
めのチューブ外形訂正信号を発生する。ガス供給源５４
は、空気でもよいが、窒素、アルゴン等の不活性ガスや
その他の適当なガスでもよい。
【００３１】コラップスの間にチューブ外形を制御する
ためにガスノズル５３によって供給される圧力は、正圧
でも負圧でもよい。後者の場合には、真空源（図示せ
ず）がガスノズル５３に接続され、コンピュータ制御装
置５６によって要求される負圧を提供するためにガス流
量制御装置５５によって真空制御が行われる。いずれの
場合でも、その圧力は、周囲の圧力に比べて高いかある
いは低くなるようにして、チューブの表面に局部的に生
成された圧力を意味する。
ためにガスノズル５３によって供給される圧力は、正圧
でも負圧でもよい。後者の場合には、真空源（図示せ
ず）がガスノズル５３に接続され、コンピュータ制御装
置５６によって要求される負圧を提供するためにガス流
量制御装置５５によって真空制御が行われる。いずれの
場合でも、その圧力は、周囲の圧力に比べて高いかある
いは低くなるようにして、チューブの表面に局部的に生
成された圧力を意味する。
【００３２】正圧の場合には、圧力パルスは、チューブ
外形監視装置５７が平均値よりも大きいチューブ半径を
検出した場合にその表面部分に選択的に圧力を加えるよ
うに制御される。負圧の場合には、圧力パルスは、所望
の値よりも小さいチューブ径を持つチューブの表面部分
に選択的に加えられる。負圧の圧力パルスは、少なくと
も２つの方法によって生成できる。すなわち、一つに
は、周知のベルヌーイの原理によってチューブ表面にお
ける負圧を生成するためにチュープ外周にガス流を正接
的に流すことによって、あるいはまた、上述したよう
に、真空引きを使用することによって、それぞれ、負圧
の圧力パルスを生成できる。
外形監視装置５７が平均値よりも大きいチューブ半径を
検出した場合にその表面部分に選択的に圧力を加えるよ
うに制御される。負圧の場合には、圧力パルスは、所望
の値よりも小さいチューブ径を持つチューブの表面部分
に選択的に加えられる。負圧の圧力パルスは、少なくと
も２つの方法によって生成できる。すなわち、一つに
は、周知のベルヌーイの原理によってチューブ表面にお
ける負圧を生成するためにチュープ外周にガス流を正接
的に流すことによって、あるいはまた、上述したよう
に、真空引きを使用することによって、それぞれ、負圧
の圧力パルスを生成できる。
【００３３】図４においては、単一のガスノズル５３の
みを示しているが、多数のノズルを使用してチューブ径
の周囲の他の位置に配置することも可能である。図中に
示すようにトーチ５２を配置して、図中に示す方向にチ
ューブ５１を回転させることにより、ガラスの粘度を、
ガスノズル５３が配置された側においてわずかに高くす
ることができるため、この配置は有利である。あるいは
また、チューブ外形監視装置５７とガスノズル５３の配
置を逆転するなど、当業者であれば、他の有効な配置を
容易に考えうる。一つ以上のガス噴出口をトーチ５２に
組み込んでもよい。ガスノズル５３に供給される空気や
ガスは、チューブの過度の冷却を防止するために、ヒー
タ（図示せず）によって予熱することが望ましい。
みを示しているが、多数のノズルを使用してチューブ径
の周囲の他の位置に配置することも可能である。図中に
示すようにトーチ５２を配置して、図中に示す方向にチ
ューブ５１を回転させることにより、ガラスの粘度を、
ガスノズル５３が配置された側においてわずかに高くす
ることができるため、この配置は有利である。あるいは
また、チューブ外形監視装置５７とガスノズル５３の配
置を逆転するなど、当業者であれば、他の有効な配置を
容易に考えうる。一つ以上のガス噴出口をトーチ５２に
組み込んでもよい。ガスノズル５３に供給される空気や
ガスは、チューブの過度の冷却を防止するために、ヒー
タ（図示せず）によって予熱することが望ましい。
【００３４】上記の例においては、図４のガスノズル５
３からの圧力パルスを使用して、チュープのコラップス
速度を制御する力を変化させる点について説明した。別
の例として、図４のガスノズル配置を図３の構成中にお
いて同様に使用して、ガラスチューブの温度を局部的に
制御することもできる。ガス供給源５４から供給される
空気または他のガスが室温である場合、あるいは少なく
ともガラスチューブの軟化温度よりも十分に低い場合に
は、図３について説明した原則に従い、ガスノズル５３
からの冷却ガスの吹き付けによって、チューブのガラス
粘度が変化し、コラップス速度を減速させる。
３からの圧力パルスを使用して、チュープのコラップス
速度を制御する力を変化させる点について説明した。別
の例として、図４のガスノズル配置を図３の構成中にお
いて同様に使用して、ガラスチューブの温度を局部的に
制御することもできる。ガス供給源５４から供給される
空気または他のガスが室温である場合、あるいは少なく
ともガラスチューブの軟化温度よりも十分に低い場合に
は、図３について説明した原則に従い、ガスノズル５３
からの冷却ガスの吹き付けによって、チューブのガラス
粘度が変化し、コラップス速度を減速させる。
【００３５】外的に調節されたガス圧力は有効であり、
本発明の好ましい実施の形態であるが、ここで述べるよ
うな有効なチューブ真円度監視・フィードバックシステ
ムは、プロセスの設計者が内的に調節された圧力、すな
わち、チューブ内圧力を使用して、本発明の目的を達成
することを可能にする。この形態を実施する場合に、ガ
スノズル５３は、回転するチューブ内に単純に配置され
る。回転するチューブは、その円周に沿って均一な温度
を持つものではない。実際、チューブ壁内の熱拡散には
時間がかかるため、回転するチューブの最高温部は、ト
ーチから離れた位置にくる。
本発明の好ましい実施の形態であるが、ここで述べるよ
うな有効なチューブ真円度監視・フィードバックシステ
ムは、プロセスの設計者が内的に調節された圧力、すな
わち、チューブ内圧力を使用して、本発明の目的を達成
することを可能にする。この形態を実施する場合に、ガ
スノズル５３は、回転するチューブ内に単純に配置され
る。回転するチューブは、その円周に沿って均一な温度
を持つものではない。実際、チューブ壁内の熱拡散には
時間がかかるため、回転するチューブの最高温部は、ト
ーチから離れた位置にくる。
【００３６】チューブの外形が、上述したような監視手
段によって監視され、チューブの楕円率を低減するため
に、その最高温部が存在するチューブ部分を局部的に拡
張すべきか収縮すべきかが決定される。図４のフィード
バックシステムは、チューブの真円度を回復するために
チューブの内部圧力を調節する。チューブの最高温部
は、粘度が最も低くなるため、内的に加わる圧力による
影響を最も受けやすい。
段によって監視され、チューブの楕円率を低減するため
に、その最高温部が存在するチューブ部分を局部的に拡
張すべきか収縮すべきかが決定される。図４のフィード
バックシステムは、チューブの真円度を回復するために
チューブの内部圧力を調節する。チューブの最高温部
は、粘度が最も低くなるため、内的に加わる圧力による
影響を最も受けやすい。
【００３７】図４のガス流量制御装置をチューブを局部
的に加熱するために使用してもよい。しかしながら、有
効に加熱するために要求されるガス温度は、非常に高い
ため、前述した例で説明したようにしてプロセスを制御
する方が実用的である。
的に加熱するために使用してもよい。しかしながら、有
効に加熱するために要求されるガス温度は、非常に高い
ため、前述した例で説明したようにしてプロセスを制御
する方が実用的である。
【００３８】ここで説明したプロセスは、火炎トーチと
酸素と水素の混合燃料を使用するものであるが、マイク
ロウェーブプラズマリングなどを使用したプラズマトー
チもまた、同様のプロセスにおいて使用可能である。そ
のようなプロセスにおいても、調節の動的速度は火炎ト
ーチの場合とは異なるが、温度を調節できる。酸水素ト
ーチ以外のガストーチを使用することもできる。実施の
形態において、本発明のプロセスは、どのような熱源を
使用する場合でも、その熱源の温度を調節する必要があ
る。
酸素と水素の混合燃料を使用するものであるが、マイク
ロウェーブプラズマリングなどを使用したプラズマトー
チもまた、同様のプロセスにおいて使用可能である。そ
のようなプロセスにおいても、調節の動的速度は火炎ト
ーチの場合とは異なるが、温度を調節できる。酸水素ト
ーチ以外のガストーチを使用することもできる。実施の
形態において、本発明のプロセスは、どのような熱源を
使用する場合でも、その熱源の温度を調節する必要があ
る。
【００３９】なお、本発明は、前記実施の形態に限定さ
れるものではなく、当業者であれば、他の多種多様な形
態を実施可能であり、それらは、いずれも特許請求の範
囲に記載された本発明の範囲に包含される。
れるものではなく、当業者であれば、他の多種多様な形
態を実施可能であり、それらは、いずれも特許請求の範
囲に記載された本発明の範囲に包含される。
【００４０】
【発明の効果】以上述べたように、本発明によれば、修
正化学的気相堆積法（ＭＣＶＤ法）中のコラップスプロ
セスにおけるチューブの長円化を防止すると共に、コラ
ップス時間を短縮可能な、優れた光ファイバの製造方法
を提供することができる。
正化学的気相堆積法（ＭＣＶＤ法）中のコラップスプロ
セスにおけるチューブの長円化を防止すると共に、コラ
ップス時間を短縮可能な、優れた光ファイバの製造方法
を提供することができる。
【図１】本発明に係るプロセスの目的を説明するために
プリフォーム外形を示す模式図である。
プリフォーム外形を示す模式図である。
【図２】図１に示すチューブの長円化の結果としてファ
イバスプライスに生じる損失を示す模式図である。
イバスプライスに生じる損失を示す模式図である。
【図３】本発明の原理を用いたプリフォーム製造装置を
示す模式図である。
示す模式図である。
【図４】本発明の原理を用いた別のプリフォーム製造装
置を示す模式図である。
置を示す模式図である。
１１…プリフォーム
１２…コア
２１、２２…ファイバ端部
２３…スプライス断面
２４…領域
４１…シリカチューブ
４１、５１…チューブ
４２…酸水素トーチ
４３、５５…ガス流量制御装置
４６…マイクロプロセッサ
４７…レーザマイクロメータ
５２…トーチ
５３…ガスノズル
５４…ガス供給源
５６…コンピュータ制御装置
５７…チューブ外形監視装置
５８…燃料供給源
─────────────────────────────────────────────────────
フロントページの続き
(72)発明者 スティーヴン アラン ジャコブズ
アメリカ合衆国，30342 ジョージア,
アトランタ，パイン フォレスト ロー
ド 585
(72)発明者 マン フェイ ヤン
アメリカ合衆国，07922 ニュージャー
ジー，バークレイ ハイツ，ハイランド
サークル 75
(56)参考文献 特開 昭53−108446（ＪＰ，Ａ)
特開 昭56−125234（ＪＰ，Ａ)
特開 昭51−20915（ＪＰ，Ａ)
特開 昭52−7742（ＪＰ，Ａ)
Claims (6)
- 【請求項１】 （ａ）プリフォームチューブの内側にガ
ラス材料を付着させるために、加熱したプリフォームチ
ューブ内にガラス原料ガスを流すステップと、 （ｂ）前記プリフォームチューブをつぶして固体プリフ
ォームを形成するために、プリフォームチューブを回転
させながら、このプリフォームチューブにガラスの軟化
温度を超える温度まで、トーチからの炎を印加するステ
ップと、 （ｃ）光ファイバを形成するために、前記固体プリフォ
ームを線引きするステップとを備えた光ファイバの製造
方法において、 （ｉ）前記プリフォームチューブの測定値を得るため
に、前記プリフォームチューブをつぶす間、回転するプ
リフォームチューブの直径を光学センサを用いて連続的
に監視するステップと、 （ii）前記回転するプリフォームチューブの局部的領域
に対して、前記ステップ（ｂ）のトーチとは独立にガス
流を向けるステップと、 （iii）前記光学センサーからの測定値に応じて、制御
装置を用いて前記ガス流の流量を変化させるステップと
を使用して、 前記ステップ（ｂ）を実行することを特徴とする光ファ
イバの製造方法。 - 【請求項２】 前記ガスは、空気、窒素、アルゴンおよ
びその混合物からなるグループから選択されることを特
徴とする請求項１記載の光ファイバの製造方法。 - 【請求項３】 前記（ii）のステップの前に、前記ガス
を室温より高く加熱するステップを含むことを特徴とす
る請求項１記載の光ファイバの製造方法。 - 【請求項４】 前記（ii）のステップの前に、前記ガス
を室温より低く冷却するステップを含むことを特徴とす
る請求項１記載の光ファイバ製造方法。 - 【請求項５】 前記ガスは、ほぼ室温であることを特徴
とする請求項１記載の光ファイバの製造方法。 - 【請求項６】 レーザマイクロメータが、前記（ｉ）の
ステップに使用されることを特徴とする請求項１記載の
光ファイバの製造方法。
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| US08/803,476 US5868815A (en) | 1997-02-20 | 1997-02-20 | Method of making an optical fiber by blowing on a preform tube to enhance collapse |
| US08/803476 | 1997-02-20 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH10245240A JPH10245240A (ja) | 1998-09-14 |
| JP3527089B2 true JP3527089B2 (ja) | 2004-05-17 |
Family
ID=25186615
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP03865398A Expired - Fee Related JP3527089B2 (ja) | 1997-02-20 | 1998-02-20 | 光ファイバの製造方法 |
Country Status (4)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US5868815A (ja) |
| EP (1) | EP0860719B1 (ja) |
| JP (1) | JP3527089B2 (ja) |
| DE (1) | DE69826160T2 (ja) |
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6314765B1 (en) * | 1998-10-06 | 2001-11-13 | Alcatel | Method and apparatus for controlling the shape and position of a deformable object |
| KR100306381B1 (ko) * | 1998-12-10 | 2001-11-30 | 윤종용 | 증착튜브의응축및클로징을위한광섬유모재제조장치및그방법 |
| US6035863A (en) * | 1999-02-08 | 2000-03-14 | Mao; Chun-Pi | Hair clip device |
| US6220060B1 (en) * | 1999-04-08 | 2001-04-24 | Lucent Technologies Inc. | Optical fiber manufacture |
| US6215092B1 (en) * | 1999-06-08 | 2001-04-10 | Alcatel | Plasma overcladding process and apparatus having multiple plasma torches |
| KR100342476B1 (ko) * | 1999-12-10 | 2002-06-28 | 윤종용 | 고효율 오버 클래딩용 버너 및 이를 이용한 대구경 광섬유모재 오버 클래딩 장치 |
| AU2001271239A1 (en) * | 2000-03-10 | 2001-09-24 | Flow Focusing, Inc. | Methods for producing optical fiber by focusing high viscosity liquid |
| JP2003029072A (ja) * | 2001-07-11 | 2003-01-29 | Fujikura Ltd | 偏波面保存型光ファイバ |
| EP1438267A1 (en) * | 2001-07-31 | 2004-07-21 | Corning Incorporated | Method for fabricating a low polarization mode dispersion optical fiber |
| KR100426394B1 (ko) * | 2001-10-26 | 2004-04-08 | 엘지전선 주식회사 | 외부증착공법을 이용한 대형 프리폼 제조시에 증착입자를제어하는 방법 및 장치 |
| KR100490135B1 (ko) * | 2001-11-12 | 2005-05-17 | 엘에스전선 주식회사 | 광섬유 비원율 개선을 통한 편광모드 분산 특성 향상을위한 광섬유 모재 제조 방법 |
| US6735985B2 (en) * | 2001-12-20 | 2004-05-18 | Furukawa Electric North America Inc | Method of impressing a twist on a multimode fiber during drawing |
| KR100526533B1 (ko) * | 2002-06-24 | 2005-11-08 | 삼성전자주식회사 | 광섬유 모재 증착용 버너 |
| US20040112089A1 (en) * | 2002-12-16 | 2004-06-17 | Digiovanni David J. | Manufacture of optical fibers using enhanced doping |
| NL2006962C2 (nl) * | 2011-06-17 | 2012-12-18 | Draka Comteq Bv | Inrichting en werkwijze voor het vervaardigen van een optische voorvorm. |
| NL2012868B1 (en) | 2014-05-22 | 2016-03-15 | Draka Comteq Bv | A method for manufacturing an optical preform. |
| JP6766012B2 (ja) * | 2017-06-05 | 2020-10-07 | 株式会社フジクラ | 炉心管の座屈変形検査方法および光ファイバ母材の製造方法 |
| DE102018105282B4 (de) * | 2018-03-07 | 2024-02-29 | J-Fiber Gmbh | Vorrichtung zum Ausrichten eines Schlags einer rohrförmigen Preform eines Lichtwellenleiters sowie Verfahren zur Schlagkorrektur |
Family Cites Families (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS60260439A (ja) * | 1984-06-04 | 1985-12-23 | Hitachi Cable Ltd | 光フアイバ母材の成形装置 |
| US4597785A (en) * | 1984-08-01 | 1986-07-01 | Itt Corporation | Method of and apparatus for making optical preforms with a predetermined cladding/core ratio |
| JPS6144729A (ja) * | 1984-08-06 | 1986-03-04 | Fujitsu Ltd | 光フアイバ寸法調整装置 |
| US5221306A (en) * | 1989-12-29 | 1993-06-22 | At&T Bell Laboratories | Method and apparatus for modifying the transverse cross section of a body |
| DE4020101A1 (de) * | 1990-06-23 | 1992-01-02 | Kabelmetal Electro Gmbh | Verfahren und vorrichtung zur herstellung einer vorform fuer glasfaser-lichtwellenleiter |
| FR2677972B1 (fr) * | 1991-06-21 | 1996-12-06 | France Telecom | Procede de fabrication de preformes pour fibres optiques et dispositif pour la mise en óoeuvre de ce procede. |
-
1997
- 1997-02-20 US US08/803,476 patent/US5868815A/en not_active Expired - Lifetime
-
1998
- 1998-02-10 DE DE69826160T patent/DE69826160T2/de not_active Expired - Fee Related
- 1998-02-10 EP EP98300949A patent/EP0860719B1/en not_active Expired - Lifetime
- 1998-02-20 JP JP03865398A patent/JP3527089B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
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| DE69826160T2 (de) | 2005-11-03 |
| JPH10245240A (ja) | 1998-09-14 |
| DE69826160D1 (de) | 2004-10-21 |
| US5868815A (en) | 1999-02-09 |
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