JP3525919B2 - Manufacturing equipment for multilayer ceramic electronic components - Google Patents

Manufacturing equipment for multilayer ceramic electronic components

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JP3525919B2
JP3525919B2 JP2001279961A JP2001279961A JP3525919B2 JP 3525919 B2 JP3525919 B2 JP 3525919B2 JP 2001279961 A JP2001279961 A JP 2001279961A JP 2001279961 A JP2001279961 A JP 2001279961A JP 3525919 B2 JP3525919 B2 JP 3525919B2
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Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明はグリーンシートに導
電層を貼り付けて形成される積層セラミック電子部品の
製造装置に関するものである。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an apparatus for manufacturing a laminated ceramic electronic component formed by attaching a conductive layer to a green sheet.

【0002】[0002]

【従来の技術】図5は従来の積層セラミック電子部品の
製造装置の外観図、図6は同積層セラミック電子部品の
製造装置の要部詳細図、図7は同積層セラミック電子部
品の製造装置を用いて製造される一般的な積層セラミッ
ク電子部品の一部切欠斜視図である。
2. Description of the Related Art FIG. 5 is an external view of a conventional manufacturing apparatus for a monolithic ceramic electronic component, FIG. 6 is a detailed view of a main part of the manufacturing apparatus for a monolithic ceramic electronic component, and FIG. FIG. 3 is a partially cutaway perspective view of a general laminated ceramic electronic component manufactured using the same.

【0003】図7において、101は積層セラミック電
子部品であり、この積層セラミック電子部品101は、
グリーンシート102を介して導電層103と104と
を積層して積層体105を形成し、この積層体105を
所定温度で焼成した後に前記導電層103,104の縁
端部と接続するように一対の外部電極106,107を
形成し、この一対の外部電極106,107間に前記グ
リーンシート102の特性に依存するコンデンサや半導
体などの電気特性を発現するものである。
In FIG. 7, reference numeral 101 is a monolithic ceramic electronic component, and the monolithic ceramic electronic component 101 is
The conductive layers 103 and 104 are laminated through the green sheet 102 to form a laminated body 105, and the laminated body 105 is fired at a predetermined temperature and then paired so as to be connected to the edge portions of the conductive layers 103 and 104. The external electrodes 106 and 107 are formed, and the electrical characteristics of the capacitor, the semiconductor and the like that depend on the characteristics of the green sheet 102 are developed between the pair of external electrodes 106 and 107.

【0004】次いで図5、図6を用いて前記積層セラミ
ック電子部品の製造装置の構成を説明する。
Next, the construction of the manufacturing apparatus for the monolithic ceramic electronic component will be described with reference to FIGS.

【0005】図5、図6において、110は積層セラミ
ック電子部品の製造装置であり、この積層セラミック電
子部品の製造装置110はあらかじめキャリアフィルム
111の表面にセラミックスラリーを印刷して乾燥して
グリーンシート112を形成したグリーンシート積層フ
ィルム113を巻き付けた供給ローラ114と、あらか
じめキャリアフィルム115の表面に導電性ペーストを
印刷して導電層116を形成した導電層積層フィルム1
17を巻き付けた供給ローラ118と、前記グリーンシ
ート積層フィルム113と前記導電層積層フィルム11
7とを重ねて圧着し積層体フィルム119を形成する一
対の圧着ローラ120,121と、前記積層体フィルム
119の導電層116から前記キャリアフィルム115
を剥離する剥離ローラ122と、前記キャリアフィルム
115を巻き取る巻き取りローラ123、前記キャリア
フィルム115を剥離した後の前記積層体フィルム11
9を巻き取る巻き取りローラ124とより構成されてい
る。
In FIGS. 5 and 6, reference numeral 110 denotes a monolithic ceramic electronic component manufacturing apparatus. The monolithic ceramic electronic component manufacturing apparatus 110 previously prints a ceramic slurry on the surface of a carrier film 111 and dries the green sheet. A supply roller 114 around which a green sheet laminated film 113 having 112 formed thereon is wound, and a conductive layer laminated film 1 in which a conductive layer 116 is formed by printing a conductive paste on the surface of a carrier film 115 in advance.
Supply roller 118 around which 17 is wound, the green sheet laminated film 113, and the conductive layer laminated film 11
7 and the pair of pressure bonding rollers 120 and 121 that form a laminated film 119 by pressure bonding, and the carrier film 115 from the conductive layer 116 of the laminated film 119.
A peeling roller 122 for peeling the carrier film 115, a take-up roller 123 for winding the carrier film 115, and the laminated film 11 after peeling the carrier film 115.
It is composed of a take-up roller 124 for taking up 9 pieces.

【0006】また、125は前記導電層積層フィルム1
17を前記圧着ローラ120,121に案内する案内ロ
ーラ、126は前記積層体フィルム119の案内板、1
27は前記積層体フィルム119から剥離したキャリア
フィルム115を前記巻き取りローラ123に案内する
案内ローラである。
Reference numeral 125 is the conductive layer laminated film 1
A guide roller for guiding 17 to the pressure bonding rollers 120 and 121, a guide plate 126 for the laminated film 119,
A guide roller 27 guides the carrier film 115 separated from the laminated film 119 to the winding roller 123.

【0007】次に前記構成の積層セラミック電子部品の
製造装置110を用いて積層セラミック電子部品101
の製造方法を説明する。
Next, the monolithic ceramic electronic component 101 is manufactured by using the monolithic ceramic electronic component manufacturing apparatus 110 having the above structure.
The manufacturing method of will be described.

【0008】先ず、あらかじめポリエステルを主成分と
する数十μm厚みのキャリアフィルム115の表面にA
gやCuなどを主成分とする電極ペーストを印刷し乾燥
して導電層116を形成した導電層積層フィルム117
と、ポリエステルを主成分とする数十μm厚みのキャリ
アフィルム111の表面にセラミック原料から成るスラ
リーを塗布して乾燥しグリーンシート112を形成した
グリーンシート積層フィルム113とを作成する。
First, the surface of a carrier film 115 containing polyester as a main component and having a thickness of several tens of μm is previously coated with A.
Conductive layer laminated film 117 having conductive layer 116 formed by printing an electrode paste containing g or Cu as a main component and drying it.
And a green sheet laminated film 113 in which a green sheet 112 is formed by applying a slurry made of a ceramic raw material on the surface of a carrier film 111 having a thickness of several tens of μm and containing polyester as a main component, and drying the slurry.

【0009】次いで、前記グリーンシート積層フィルム
113を供給ローラ114に巻き付けると共に前記導電
層積層フィルム117を供給ローラ118に巻き付けて
積層セラミック電子部品の製造装置110に装着する。
Next, the green sheet laminated film 113 is wound around the supply roller 114 and the conductive layer laminated film 117 is wound around the supply roller 118 and mounted on the laminated ceramic electronic component manufacturing apparatus 110.

【0010】次いで、前記導電層積層フィルム117を
圧着ローラ120,121の間に通過させると共に前記
グリーンシート積層フィルム113を圧着ローラ12
0,121の間に前記導電層116とグリーンシート1
12が重なるように通過させて前記圧着ローラ120,
121で順次圧着して積層体フィルム119を形成し、
この積層体フィルム119を案内板126の上面に搬送
する。
Next, the conductive layer laminated film 117 is passed between the pressure bonding rollers 120 and 121 and the green sheet laminated film 113 is pressed against the pressure roller 12.
0, 121 between the conductive layer 116 and the green sheet 1
12 so as to pass through so that the pressure-bonding rollers 120,
121 is sequentially pressure-bonded to form a laminated film 119,
This laminated film 119 is conveyed to the upper surface of the guide plate 126.

【0011】次いで、前記積層体フィルム119を案内
板126上に搬送し、前記キャリアフィルム115を導
電層116から剥離して剥離ローラ122に搬送し、ガ
イドローラ127を経て巻き取りローラ123に連続し
て巻き取り、前記キャリアフィルム115を剥離した積
層体フィルム119を巻き取りローラ124に連続して
巻き取る。
Next, the laminated film 119 is conveyed onto the guide plate 126, the carrier film 115 is peeled from the conductive layer 116 and conveyed to the peeling roller 122, and is continuously fed to the take-up roller 123 via the guide roller 127. The laminated film 119 from which the carrier film 115 has been peeled off is continuously wound around the winding roller 124.

【0012】その後、前記積層セラミック電子部品の製
造装置110を用いて製造された積層体フィルム119
から前記キャリアフィルム111を剥離してグリーンシ
ート112と導電層116とを積層した積層シートを得
て、この積層シートを複数積層し圧着して積層体ブロッ
ク(図示せず)を形成し、この積層体ブロックを所定の
寸法に切断して積層体105を形成する。その後、前記
積層体105を焼成し、この積層体105の表面に電極
ペーストを塗布して焼き付けて外部電極106,107
を形成した積層セラミック電子部品101を完成するも
のである。
Thereafter, a laminated film 119 manufactured by using the manufacturing apparatus 110 for the laminated ceramic electronic component.
The carrier film 111 is peeled from the laminated sheet to obtain a laminated sheet in which the green sheet 112 and the conductive layer 116 are laminated, and a plurality of the laminated sheets are laminated and pressure-bonded to form a laminated body block (not shown). The body block is cut into a predetermined size to form a laminated body 105. Then, the laminated body 105 is baked, and an electrode paste is applied to the surface of the laminated body 105 and baked to form the external electrodes 106 and 107.
Thus, the monolithic ceramic electronic component 101 having the structure described above is completed.

【0013】[0013]

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、前記従
来の積層セラミック電子部品の製造装置では、グリーン
シート112と導電層116との重なり合う面があらか
じめ露出しているのでグリーンシート112と導電層1
16とを積層する前に乾燥され易く十分な接着状態を得
ることができず、これを用いて製造した積層セラミック
電子部品にヒビや、デラミネーション等の構造欠陥不良
が発生し易く、電気特性を損なうという問題点を有して
いた。
However, in the conventional apparatus for manufacturing a laminated ceramic electronic component, the overlapping surface of the green sheet 112 and the conductive layer 116 is exposed in advance, so that the green sheet 112 and the conductive layer 1 are exposed.
It is easy to be dried before laminating 16 and 16 and a sufficient adhesion state cannot be obtained, and thus a laminated ceramic electronic component manufactured using this is liable to suffer from structural defects such as cracks and delamination, and electrical characteristics It had a problem of being damaged.

【0014】本発明は前記従来の問題点を解決するもの
で、グリーンシートと導電層とを優れた接着効果を有し
た状態で積層でき、機械的特性及び電気的特性の優れた
積層セラミック電子部品の製造装置を提供するものであ
る。
The present invention solves the above-mentioned conventional problems and is capable of laminating a green sheet and a conductive layer in a state of having an excellent adhesive effect, and a laminated ceramic electronic component having excellent mechanical and electrical characteristics. The manufacturing apparatus of

【0015】[0015]

【課題を解決するための手段】前記目的を達成するた
め、以下の構成を有するものである。
In order to achieve the above-mentioned object, it has the following constitution.

【0016】本発明の請求項1に記載の発明は、第1の
キャリアフィルムに形成したグリーンシートをフィルム
の長手方向に沿って両端を切断する第1の手段と、第1
のキャリアフィルムを第2の回転ローラから、間隙を形
成して互いに向き合う第3の回転ローラと第4の回転ロ
ーラの間隙に向かって送り出し、前記第2の回転ローラ
と前記第3、第4の回転ローラとの間で張力を加えなが
前記第1のキャリアフィルムをグリーンシートから剥
離する第2の手段と、第2のキャリアフィルムに形成し
た導電層の上面に前記グリーンシートの剥離面を貼り付
けて積層体フィルムを得る第3の手段とで構成した積層
セラミック電子部品の製造装置であり、第1のキャリア
フィルムから剥離した後のグリーンシートに一定の張力
を加えることによりグリーンシートのしわや歪みを矯正
しつつ連続してグリーンシートを剥離できるので導電層
との圧着強度に優れ、外観精度の良好な積層セラミック
電子部品の製造装置を得ることができるという作用効果
が得られる。
[0016] According to a first aspect of the present invention includes a first means for cutting the ends along the green sheet formed on the first carrier film in the longitudinal direction of the film, first
The carrier film from the second rotating roller to form a gap
A third rotating roller and a fourth rotating roller which are formed to face each other.
The second rotating roller, which is fed toward the gap of the roller
And apply tension between the third and fourth rotating rollers.
A second means for peeling the first carrier film from the green sheet, and a third means for obtaining a laminate film by sticking the peeling surface of the green sheet on the upper surface of the conductive layer formed on the second carrier film. And a first carrier , which is an apparatus for manufacturing a monolithic ceramic electronic component configured by means.
Constant tension on the green sheet after peeling from the film
Correct wrinkles and distortion of green sheet by adding
Since the green sheet can be continuously peeled off while
Monolithic ceramic with excellent crimp strength and good appearance accuracy
Function and effect of being able to obtain an electronic component manufacturing apparatus
Is obtained.

【0017】本発明の請求項2に記載の発明は、第1の
手段として、第1の回転ローラの上面に第1のキャリア
フィルムに形成したグリーンシートのキャリアフィルム
面を密着させながら送り出しこの第1の回転ローラの両
端にグリーンシートを載せて切断刃を押し当て前記第1
のキャリアフィルムに形成したグリーンシートの長手方
向に沿って両端を切断する切断機構を構成した請求項1
に記載の積層セラミック電子部品の製造装置であり、こ
れにより、キャリアフィルムの端面に生じ易いキズや歪
み等の影響を受けること無く極めて薄いグリーンシート
を安定して剥離する積層セラミック電子部品の製造装置
を得ることができるという作用効果が得られる。
According to a second aspect of the present invention, as a first means, the carrier film surface of the green sheet formed on the first carrier film is closely attached to the upper surface of the first rotating roller and is sent out. The green sheet is placed on both ends of the first rotating roller, and the cutting blade is pressed against the first sheet.
2. A cutting mechanism for cutting both ends along the longitudinal direction of the green sheet formed on the carrier film of claim 1.
An apparatus for producing a monolithic ceramic electronic component according to claim 1, which is capable of stably peeling an extremely thin green sheet without being affected by scratches, distortions and the like that are likely to occur on the end surface of a carrier film. It is possible to obtain the action and effect.

【0018】本発明の請求項3に記載の発明は、第1の
手段として、切断刃に重なる第1の回転ローラの両端に
凹溝を形成し、この凹溝に重なるように前記切断刃を配
置してキャリアフィルムを切断することなくキャリアフ
ィルムに形成したグリーンシートを切断する切断機構を
構成した請求項2に記載の積層セラミック電子部品の製
造装置であり、これにより、第1の回転ローラの表面に
キズや凹凸等があっても影響を受けること無く精度良く
グリーンシートを切断することができる積層セラミック
電子部品の製造装置を得ることができるという作用効果
が得られる。
In a third aspect of the present invention, as a first means, concave grooves are formed at both ends of the first rotating roller overlapping the cutting blade, and the cutting blade is overlapped with the concave groove. The multilayer ceramic electronic component manufacturing apparatus according to claim 2, further comprising a cutting mechanism configured to cut a green sheet formed on the carrier film without disposing the carrier film and cutting the carrier film. It is possible to obtain an operation effect that it is possible to obtain an apparatus for manufacturing a monolithic ceramic electronic component that can accurately cut a green sheet without being affected even if the surface has scratches or irregularities.

【0019】[0019]

【0020】[0020]

【0021】本発明の請求項に記載の発明は、第3の
手段として、第3の回転ローラと第4の回転ローラとの
間隙内に第1の手段で剥離したグリーンシートと第2の
キャリアフィルムに形成した導電層とを送り出し、重ね
合わせて加圧し積層体フィルムを形成する積層機構を構
成した請求項1に記載の積層セラミック電子部品の製造
装置であり、これにより連続して均一な加圧力でグリー
ンシートと導電層とを圧着できるので圧着強度や外観精
度の良好な積層セラミック電子部品の製造装置を得るこ
とができるという作用効果が得られる。
In a fourth aspect of the present invention, as a third means, a green sheet and a second sheet separated by the first means are provided in a gap between the third rotating roller and the fourth rotating roller. The apparatus for producing a monolithic ceramic electronic component according to claim 1, wherein the electroconductive layer formed on the carrier film is sent out, laminated and pressed to form a laminated film. Since the green sheet and the conductive layer can be pressure-bonded with each other with a pressing force, it is possible to obtain a function and effect that it is possible to obtain a manufacturing apparatus for a monolithic ceramic electronic component having good pressure-bonding strength and appearance accuracy.

【0022】本発明の請求項に記載の発明は、第3の
手段として、第3、第4の回転ローラの内一方の面にキ
ャリアフィルムに形成した導電層のキャリアフィルム面
を密着させて加温し第3の回転ローラと第4の回転ロー
ラとの間隙を狭めるように加圧して積層体フィルムを形
成する積層機構を構成した請求項4に記載の積層セラミ
ック電子部品の製造装置であり、これにより一定の圧力
と温度を加え連続してグリーンシートと導電体層とを積
層できるので圧着強度や外観精度の良好な積層セラミッ
ク電子部品の製造装置を得ることができるという作用効
果が得られる。
In a fifth aspect of the present invention, as a third means, the carrier film surface of the conductive layer formed on the carrier film is brought into close contact with one of the inner surfaces of the third and fourth rotating rollers. 5. The apparatus for manufacturing a laminated ceramic electronic component according to claim 4, comprising a laminating mechanism that heats and pressurizes so as to narrow a gap between the third rotating roller and the fourth rotating roller to form a laminated body film. As a result, since the green sheet and the conductor layer can be continuously laminated by applying a constant pressure and temperature, it is possible to obtain an operation effect that a manufacturing apparatus for a laminated ceramic electronic component having good pressure bonding strength and appearance accuracy can be obtained. .

【0023】[0023]

【発明の実施の形態】積層セラミック電子部品の製造装
置として、以下、一実施の形態を用いて本発明の請求項
1〜7に記載の発明について説明する。
BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION The invention described in claims 1 to 7 of the present invention will be described below by using one embodiment as an apparatus for producing a monolithic ceramic electronic component.

【0024】図1は本発明の一実施の形態における積層
セラミック電子部品の製造装置の外観図、図2は同実施
の形態における積層セラミック電子部品の製造装置のレ
イアウト図、図3、図4は同実施の形態における積層セ
ラミック電子部品の製造装置の詳細図である。
FIG. 1 is an external view of a manufacturing apparatus for a monolithic ceramic electronic component according to an embodiment of the present invention, FIG. 2 is a layout diagram of a manufacturing apparatus for a monolithic ceramic electronic component according to the embodiment, and FIGS. FIG. 3 is a detailed view of a manufacturing apparatus for a monolithic ceramic electronic component according to the same embodiment.

【0025】図1〜図4において1は積層セラミック電
子部品の製造装置であり、この積層セラミック電子部品
の製造装置1は第1のキャリアフィルム9に形成したグ
リーンシート10を供給ローラ14から連続して送り出
し前記第1のキャリアフィルム9の長手方向に沿って両
端を切断する第1の手段2と、前記第1のキャリアフィ
ルム9を前記グリーンシート10から剥離する第2の手
段3と、第2のキャリアフィルム11に形成した導電層
12を供給ローラ15から連続して送り出し、この導電
層12の上面に前記グリーンシート10の剥離面を貼り
付けて積層体フィルム13を得る第3の手段4とで構成
し、前記第2の手段3において剥離した前記第1のキャ
リアフィルム9を巻き取りローラ16に巻き取り、前記
積層体フィルム13を巻き取りローラ17に巻き取ると
いう構成を有する。
In FIG. 1 to FIG. 4, reference numeral 1 denotes a monolithic ceramic electronic component manufacturing apparatus. The monolithic ceramic electronic component manufacturing apparatus 1 continues a green sheet 10 formed on a first carrier film 9 from a supply roller 14. First means 2 for cutting out both ends of the first carrier film 9 along the longitudinal direction of the first carrier film 9, second means 3 for peeling the first carrier film 9 from the green sheet 10, and second means 2. The third means 4 for continuously feeding the conductive layer 12 formed on the carrier film 11 from the supply roller 15 and sticking the release surface of the green sheet 10 on the upper surface of the conductive layer 12 to obtain the laminated film 13. And the first carrier film 9 separated by the second means 3 is wound around a winding roller 16, and the laminated film 1 Has a configuration that wound on the take-up roller 17.

【0026】前記第1の手段2として、第1の回転ロー
ラ5の上面に第1のキャリアフィルム9の面を密着させ
ながら送り出し、この第1の回転ローラ5の両端にグリ
ーンシート10を載せて切断刃20,21を押し当て、
このグリーンシート10の長手方向に沿って両端を切断
する切断機構を構成し、この切断機構は、前記第1の回
転ローラ5の両端に切断刃20,21に重なる凹溝1
8,19を形成し、前記第1のキャリアフィルム9を切
断することなくグリーンシート10を切断できる構成と
している。
As the first means 2, the upper surface of the first rotating roller 5 is fed out while the surface of the first carrier film 9 is closely contacted, and the green sheets 10 are placed on both ends of the first rotating roller 5. Press the cutting blades 20 and 21,
A cutting mechanism that cuts both ends along the longitudinal direction of the green sheet 10 is configured, and the cutting mechanism includes a concave groove 1 that overlaps the cutting blades 20 and 21 at both ends of the first rotating roller 5.
8 and 19 are formed so that the green sheet 10 can be cut without cutting the first carrier film 9.

【0027】前記第2の手段3として、第2の回転ロー
ラ6に沿って第1のキャリアフィルム9を送り出し、間
隙を形成して互いに向き合う第3の回転ローラ7と第4
の回転ローラ8との間隙内に前記グリーンシート10を
送り出して第1のキャリアフィルム9とグリーンシート
10とを剥離する剥離機構を構成している。尚、前記第
2の回転ローラ6のスピードは前記第3、第4の回転ロ
ーラ7,8のスピードより遅く設定し、前記グリーンシ
ート10は第2の回転ローラ6と第3、第4の回転ロー
ラ7,8との間で張力を加えながら搬送する構成として
いる。
As the second means 3, the first carrier film 9 is sent out along the second rotary roller 6, and the third rotary roller 7 and the fourth rotary roller 7 which face each other with a gap therebetween are formed.
The peeling mechanism configured to feed the green sheet 10 into the gap between the rotating roller 8 and the first carrier film 9 and the green sheet 10 is peeled off. The speed of the second rotary roller 6 is set to be slower than the speed of the third and fourth rotary rollers 7 and 8, and the green sheet 10 is rotated by the second rotary roller 6 and the third and fourth rotary rollers 6. The rollers 7 and 8 are configured to be conveyed while applying tension.

【0028】前記第3の手段4として、前記第3、第4
の回転ローラ7,8の間隙内に前記第1の手段2で剥離
したグリーンシート10と第2のキャリアフィルム11
に貼り付けた導電層12とを送り出し、重ね合わせて加
圧して積層体フィルム13を形成する積層機構を構成
し、この積層機構は前記第3、第4の回転ローラ7,8
の内一方の面に前記第2のキャリアフィルム11の面を
密着させて加温するヒータ(図示せず)を内蔵し、前記
第3、第4の回転ローラ7,8の間隙は狭めるよう動作
し加圧力を調整できる構成としている。
[0028] As the third means 4, the third and fourth
The green sheet 10 and the second carrier film 11 separated by the first means 2 in the gap between the rotating rollers 7, 8.
The conductive layer 12 attached to the substrate is sent out, and the laminated film is laminated and pressed to form a laminated film 13. This laminated mechanism is composed of the third and fourth rotating rollers 7 and 8.
A heater (not shown) for closely heating the surface of the second carrier film 11 is built in one surface of the above, and operates to narrow the gap between the third and fourth rotating rollers 7 and 8. The pressure can be adjusted.

【0029】22は前記グリーンシート10を積層した
第1のキャリアフィルム9を搬送する案内ローラ、23
は前記グリーンシート10を剥離した後に第1のキャリ
アフィルム9の巻き取りローラ16に搬送する案内ロー
ラ、24は前記導電層12を積層した第2のキャリアフ
ィルム11を搬送する案内ローラ、25は前記積層体フ
ィルム13を巻き取りローラ17に搬送する案内ローラ
であり、極薄厚みのグリーンシート10や導電層12を
損傷無しに搬送できる構成としている。
A guide roller 22 conveys the first carrier film 9 having the green sheets 10 laminated thereon, and 23.
Is a guide roller that conveys the green sheet 10 to the take-up roller 16 of the first carrier film 9 after peeling, 24 is a guide roller that conveys the second carrier film 11 on which the conductive layer 12 is laminated, and 25 is the guide roller. It is a guide roller that conveys the laminated film 13 to the winding roller 17, and is configured to convey the ultrathin green sheet 10 and the conductive layer 12 without damage.

【0030】以下に本発明の一実施の形態における積層
セラミック電子部品の製造装置の動作を説明する。
The operation of the apparatus for manufacturing a monolithic ceramic electronic component according to the embodiment of the present invention will be described below.

【0031】まず、あらかじめ幅14mm、厚み10μ
mのグリーンシート10を幅140mm、厚み30μm
の第1のキャリアフィルム9に形成して供給ローラ14
に巻き付け、他方数μmの厚みの導電層12を幅140
mm、厚み30μmの第2のキャリアフィルム11に
成して供給ローラ15に巻き付ける。
First, the width is 14 mm and the thickness is 10 μ in advance.
m green sheet 10 having a width of 140 mm and a thickness of 30 μm
Forming the first carrier film 9 on the supply roller 14
And the conductive layer 12 having a thickness of several μm on the other hand.
mm, the shape on the second carrier film 11 having a thickness of 30μm
It is formed and wound around the supply roller 15.

【0032】次いで、前記グリーンシート10を形成し
第1のキャリアフィルム9を引出し、前記第1の手段
2でこのグリーンシート10の長さ方向の両端から2m
mの幅を切断刃20,21で切り込みながら第1の回転
ローラ5を回転して第2の手段3に搬送する。この時前
記切断刃20,21は円板状のものを用い、前記供給ロ
ーラ14の第1のキャリアフィルム9の巻き径を随時セ
ンサーにより検出し、前記第1のキャリアフィルム9に
約8Nの張力を維持できるように制御しながら搬送し、
前記グリーンシート10の両端部分を均一に切断できる
ようにしている。
Next, the green sheet 10 is formed.
First lead the carrier film 9, 2m from both ends in the longitudinal direction of the green sheet 10 in the first unit 2
While cutting the width of m with the cutting blades 20 and 21, the first rotating roller 5 is rotated and conveyed to the second means 3. At this time, disc-shaped cutting blades 20 and 21 are used, and the winding diameter of the first carrier film 9 of the supply roller 14 is detected by a sensor at any time, and the tension of about 8 N is applied to the first carrier film 9. Transport while controlling so that
Both ends of the green sheet 10 can be cut uniformly.

【0033】次いで、前記第2の手段3に構成した第2
の回転ローラ6を用いて前記第1のキャリアフィルム9
からグリーンシート10を剥離し、前記第1のキャリア
フィルム9を第2の回転ローラ6の回転に沿って搬送
し、案内ローラ23により案内しながら巻き取りローラ
16に巻き取り、前記第1のキャリアフィルム9から剥
離したグリーンシート10を第3の手段4を構成する第
3の回転ローラ7と第4の回転ローラ8との間隙に通過
させる。
Then, the second means constructed in the second means 3
The first carrier film 9 using the rotating roller 6 of
The green sheet 10 is peeled from the sheet, the first carrier film 9 is conveyed along the rotation of the second rotating roller 6, and is wound around the winding roller 16 while being guided by the guide roller 23. The green sheet 10 peeled from the film 9 is passed through the gap between the third rotating roller 7 and the fourth rotating roller 8 forming the third means 4.

【0034】一方、前記供給ローラ15に巻き付けた導
電層12を積層した第2のキャリアフィルム11を、案
内ローラ24を経て前記グリーンシート10と重なるよ
うに第3の手段を構成する第3の回転ローラ7と第4の
回転ローラ8との間を通過させる。このとき、前記第2
のキャリアフィルム11を第3の回転ローラ7に密着さ
せるとともに、前記グリーンシート10の第1のキャリ
アフィルム9を剥離した面が導電層12と直に重なるよ
うに第3の回転ローラ7と第4の回転ローラ8との間を
通過させる。
On the other hand, the third rotation forming the third means so that the second carrier film 11 in which the conductive layer 12 wound around the supply roller 15 is laminated is overlapped with the green sheet 10 via the guide roller 24. It is passed between the roller 7 and the fourth rotating roller 8. At this time, the second
The carrier film 11 of No. 4 is closely attached to the third rotating roller 7, and the third rotating roller 7 and the fourth rotating roller 7 are arranged so that the surface of the green sheet 10 from which the first carrier film 9 is peeled off directly overlaps the conductive layer 12. And between the rotating roller 8 and.

【0035】前記グリーンシート10の搬送速度が遅す
ぎるとグリーンシート10が伸びてしまい所定の厚みが
得られず、速すぎると前記第2の回転ローラ6の所定位
置でグリーンシート10を第1のキャリアフィルム9か
ら剥離することが困難になるので、前記グリーンシート
10を形成するセラミック材料によって適切な速度を求
めて精度良く設定しており、ここでは1分間当たり5m
の移動速度としている。
If the conveying speed of the green sheet 10 is too slow, the green sheet 10 is stretched and a predetermined thickness cannot be obtained, and if too fast, the green sheet 10 is moved to the first position at a predetermined position of the second rotating roller 6. Since it becomes difficult to peel the carrier film 9 from the carrier film 9, an appropriate speed is determined and set accurately with the ceramic material forming the green sheet 10. Here, 5 m per minute is set.
And the moving speed.

【0036】次いで、前記第3の回転ローラ7と第4の
回転ローラ8とを互いに近づけるように加圧し、前記第
3の回転ローラ7に内蔵したヒータを起動させておよそ
50℃に加温しながら前記グリーンシート10と導電層
12とを圧着し積層体フィルム13を連続して形成す
る。
Next, the third rotating roller 7 and the fourth rotating roller 8 are pressed so that they come close to each other, and the heater incorporated in the third rotating roller 7 is activated to heat it to about 50.degree. Meanwhile, the green sheet 10 and the conductive layer 12 are pressure-bonded to each other to continuously form the laminated film 13.

【0037】次いで、前記積層体フィルム13を案内ロ
ーラ25を経て連続して巻き取りローラ17に巻き付け
て、ロール状に連続した積層体フィルム13を得る。
Next, the laminate film 13 is continuously wound around the winding roller 17 via the guide roller 25 to obtain the roll-shaped continuous laminate film 13.

【0038】次いで、図7に示すように前記積層体フィ
ルム13を複数枚交互に積層し、圧着して積層体ブロッ
ク(図示せず)を形成し、この積層体ブロックを所定の
寸法に切断し積層体105を形成する。その後、この積
層体107を焼成し、この積層体107の表面に電極ペ
ーストを塗布して焼き付けて外部電極106,107を
形成した積層セラミック電子部品101を完成する。
Next, as shown in FIG. 7, a plurality of the laminate films 13 are alternately laminated and pressure-bonded to form a laminate block (not shown), and the laminate block is cut into a predetermined size. The laminated body 105 is formed. After that, the laminated body 107 is fired, and an electrode paste is applied to the surface of the laminated body 107 and baked to complete the laminated ceramic electronic component 101 in which the external electrodes 106 and 107 are formed.

【0039】[0039]

【発明の効果】以上のように本発明の積層セラミック電
子部品の製造装置は、第1のキャリアフィルムに形成し
たグリーンシートをフィルムの長手方向に沿って両端を
切断する第1の手段と、前記第1のキャリアフィルムを
グリーンシートから剥離する第2の手段と、第2のキャ
リアフィルムに形成した導電層の上面に前記グリーンシ
ートの剥離面を貼り付けて積層体フィルムを得る第3の
手段とで構成することにより、導電層と重なるグリーン
シートの表面をあらかじめ第1のキャリアフィルムで覆
い乾燥や汚染などを防止できるので、前記第1のキャリ
アフィルムを剥離したグリーンシートの表面と導電層と
の接着強度が向上し、デラミネーションや接着不良等の
構造欠陥が少なく電気特性が良好で信頼性の高い積層セ
ラミック電子部品の製造装置を得ることができるという
効果が得られる。
As described above, the apparatus for manufacturing a monolithic ceramic electronic component of the present invention comprises first means for cutting both ends of the green sheet formed on the first carrier film along the longitudinal direction of the film, and Second means for peeling the first carrier film from the green sheet, and third means for sticking the peeling surface of the green sheet to the upper surface of the conductive layer formed on the second carrier film to obtain a laminate film. Since the surface of the green sheet which overlaps the conductive layer can be covered with the first carrier film in advance to prevent drying and contamination by the above constitution, the surface of the green sheet from which the first carrier film is peeled off and the conductive layer are Highly reliable monolithic ceramic electronic components with improved adhesive strength, less structural defects such as delamination and poor adhesion, and good electrical characteristics There is an advantage that it is possible to obtain a manufacturing apparatus.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】本発明の一実施の形態における積層セラミック
電子部品の製造装置の外観図
FIG. 1 is an external view of a manufacturing apparatus for a monolithic ceramic electronic component according to an embodiment of the present invention.

【図2】同実施の形態における積層セラミック電子部品
の製造装置のレイアウト図
FIG. 2 is a layout diagram of an apparatus for manufacturing a monolithic ceramic electronic component according to the same embodiment.

【図3】同実施の形態における積層セラミック電子部品
の製造装置の詳細図
FIG. 3 is a detailed view of an apparatus for manufacturing a monolithic ceramic electronic component according to the same embodiment.

【図4】同実施の形態における積層セラミック電子部品
の製造装置の詳細図
FIG. 4 is a detailed view of an apparatus for manufacturing a monolithic ceramic electronic component according to the same embodiment.

【図5】従来例における積層セラミック電子部品の製造
装置の外観図
FIG. 5 is an external view of a manufacturing apparatus for a monolithic ceramic electronic component in a conventional example.

【図6】同従来例における積層セラミック電子部品の製
造装置の詳細図
FIG. 6 is a detailed view of an apparatus for manufacturing a monolithic ceramic electronic component in the conventional example.

【図7】積層セラミック電子部品の一例を示す一部切欠
斜視図
FIG. 7 is a partially cutaway perspective view showing an example of a laminated ceramic electronic component.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1 積層セラミック電子部品の製造装置 2 第1の手段 3 第2の手段 4 第3の手段 5 第1の回転ローラ 6 第2の回転ローラ 7 第3の回転ローラ 8 第4の回転ローラ 9 第1のキャリアフィルム 10 グリーンシート 11 第2のキャリアフィルム 12 導電層 13 積層体フィルム 14,15 供給ローラ 16,17 巻き取りローラ 18,19 凹溝 20,21 切断刃 22,23,24,25 案内ローラ 101 積層セラミック電子部品 102 グリーンシート 103,104 導電層 105 積層体 106,107 外部電極 1 Multilayer ceramic electronic component manufacturing equipment 2 First means 3 second means 4 third means 5 First rotating roller 6 Second rotating roller 7 Third rotating roller 8 Fourth rotating roller 9 First carrier film 10 green sheets 11 Second carrier film 12 Conductive layer 13 Laminated film 14,15 Supply roller 16,17 Take-up roller 18,19 concave groove 20,21 cutting blade 22,23,24,25 Guide roller 101 multilayer ceramic electronic components 102 green sheets 103, 104 conductive layer 105 laminate 106,107 external electrodes

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 浅田 育孝 大阪府門真市大字門真1006番地 松下電 器産業株式会社内 (72)発明者 和田 健治 大阪府門真市大字門真1006番地 松下電 器産業株式会社内 (56)参考文献 特開2001−23854(JP,A) 特開 平8−56078(JP,A) (58)調査した分野(Int.Cl.7,DB名) H01G 4/00 - 17/00 ─────────────────────────────────────────────────── ─── Continuation of the front page (72) Inventor Ikutaka Asada 1006 Kadoma, Kadoma City, Osaka Prefecture Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. (72) Kenji Wada 1006 Kadoma, Kadoma City, Osaka Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. (56) References JP 2001-23854 (JP, A) JP 8-56078 (JP, A) (58) Fields investigated (Int.Cl. 7 , DB name) H01G 4 / 00-17 / 00

Claims (5)

(57)【特許請求の範囲】(57) [Claims] 【請求項1】 第1のキャリアフィルムに形成したグリ
ーンシートをフィルムの長手方向に沿って両端を切断す
る第1の手段と、第1のキャリアフィルムを第2の回転
ローラから、間隙を形成して互いに向き合う第3の回転
ローラと第4の回転ローラの間隙に向かって送り出し、
前記第2の回転ローラと前記第3、第4の回転ローラと
の間で張力を加えながら前記第1のキャリアフィルムを
グリーンシートから剥離する第2の手段と、第2のキャ
リアフィルムに形成した導電層の上面に前記グリーンシ
ートの剥離面を貼り付けて積層体フィルムを得る第3の
手段とで構成した積層セラミック電子部品の製造装置。
1. A first means for cutting both ends of a green sheet formed on a first carrier film along a longitudinal direction of the film, and a first carrier film for a second rotation.
Third rotation from the roller facing each other with a gap
Send it toward the gap between the roller and the fourth rotating roller,
The second rotating roller and the third and fourth rotating rollers
A second means for peeling the first carrier film from the green sheet while applying a tension between the second carrier film and the peeling surface of the green sheet on the upper surface of the conductive layer formed on the second carrier film; An apparatus for producing a monolithic ceramic electronic component comprising a third means for obtaining a film.
【請求項2】 第1の手段として、第1の回転ローラの
上面に第1のキャリアフィルムに形成したグリーンシー
トのキャリアフィルム面を密着させながら送り出し、こ
の第1の回転ローラの両端にグリーンシートを載せて切
断刃を押し当てて前記第1のキャリアフィルムに形成し
たグリーンシートの長手方向に沿って両端を切断する切
断機構を構成した請求項1に記載の積層セラミック電子
部品の製造装置。
2. As a first means, the green sheet formed on the first carrier film is fed while being brought into close contact with the upper surface of the first rotating roller, and the green sheet is attached to both ends of the first rotating roller. The apparatus for manufacturing a monolithic ceramic electronic component according to claim 1, wherein a cutting mechanism configured to cut the both ends of the green sheet formed on the first carrier film by pressing the cutting blade against the green sheet formed on the first carrier film.
【請求項3】 第1の手段として、切断刃に重なる第1
の回転ローラの両端に凹溝を形成し、この凹溝に重なる
ように前記切断刃を配置してキャリアフィルムを切断す
ることなくキャリアフィルムに形成したグリーンシート
を切断する切断機構を構成した請求項2に記載の積層セ
ラミック電子部品の製造装置。
3. A first means for overlapping a cutting blade as a first means.
Forming a groove at both ends of the rotary roller, and the cutting blade is arranged so as to overlap with the groove so as to cut a green sheet formed on the carrier film without cutting the carrier film. 2. An apparatus for manufacturing a monolithic ceramic electronic component according to 2.
【請求項4】 第3の手段として、第3の回転ローラと
第4の回転ローラとの間隙内に第1の手段で剥離したグ
リーンシートと第2のキャリアフィルムに形成した導電
層とを送り出し、重ね合わせて加圧し積層体フィルムを
形成する積層機構を構成した請求項1に記載の積層セラ
ミック電子部品の製造装置。
4. A third rotating roller as a third means
The gap separated from the fourth rotation roller by the first means
Conduction formed on the lean sheet and the second carrier film
Layer and send it out, stack and pressurize the laminated film
The manufacturing apparatus for a monolithic ceramic electronic component according to claim 1, which constitutes a laminating mechanism to be formed .
【請求項5】 第3の手段として、第3、第4の回転ロ
ーラの内一方の面にキャリアフィルムに形成した導電層
のキャリアフィルム面を密着させて加温し第3、第4の
回転ローラ間の間隙を狭めるように加圧して積層体フィ
ルムを形成する積層機構を構成した請求項4に記載の積
層セラミック電子部品の製造装置。
5. As a third means, third and fourth rotary rollers are provided.
Conductor layer formed on the carrier film on one side of the roller
The third and fourth carrier film surfaces are closely contacted and heated.
Apply pressure to close the gap between the rotating rollers and
The apparatus for manufacturing a monolithic ceramic electronic component according to claim 4, which constitutes a laminating mechanism that forms a rum .
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