JP3524460B2 - 冷凍機の冷却シリンダとクライオスタットの真空隔壁構造 - Google Patents
冷凍機の冷却シリンダとクライオスタットの真空隔壁構造Info
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- JP3524460B2 JP3524460B2 JP2000040353A JP2000040353A JP3524460B2 JP 3524460 B2 JP3524460 B2 JP 3524460B2 JP 2000040353 A JP2000040353 A JP 2000040353A JP 2000040353 A JP2000040353 A JP 2000040353A JP 3524460 B2 JP3524460 B2 JP 3524460B2
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Description
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、冷凍機冷却型クラ
イオスタットにおける冷凍機と真空容器の取付け構造に
関する。 【０００２】 【従来の技術】クライオスタット（極低温真空容器）の
冷却手段として近年液体ヘリウムに代わって図３に示す
ＧＭ冷凍機Ｒが使用されている。ＧＭ冷凍機の構造は大
別してモータ駆動部Ｍと、複数段の冷却シリンダＣ1、
Ｃ2と蓄熱体を内蔵し前記シリンダＣ1、Ｃ2内を往復動
するディスプレーサＤ1、Ｄ2から構成されており、第１
段冷却シリンダＣ1の下端部に第１段コールドヘッドＨ
1、第２段冷却シリンダＣ2の下端部に第２段コールドヘ
ッドＨ2がそれぞれ形成されている。 【０００３】上記２段のコールドヘッドを有するＧＭ冷
凍機にあっては、第１段コールドヘッドで７０〜４０Ｋ
に、第２段コールドヘッドで２０〜４Ｋまで極低温にす
ることが可能であり、各段のコールドヘッドにより被冷
却物が所定温度まで冷却される。 【０００４】上記ＧＭ冷凍機を超電導マグネット或いは
一般のクライオスタット等の冷却に長時間（稼働約１万
時間）使用する場合は必ずＧＭ冷凍機のメンテナンスが
必要である。通常のメンテナンスでは、常に運動してい
る部分の部品交換と点検である。この作業を行なう場合
はモータの駆動部Ｍとそれに連結されているディスプレ
ーサＤ1、Ｄ2を冷却シリンダＣ1、Ｃ2から引抜き取り外
すことが必要である。 【０００５】しかし、低温に冷却されているディスプレ
ーサを大気中でシリンダから引き抜くと、瞬時にディス
プレーサとシリンダ内面に水分が付着し氷が表面を覆
い、メンテナンス作業が不可能となる。そこで、装置を
停止して装置全体を常温に戻してから作業を行なわねば
ならなかった。装置が常温に戻るまでの必要時間は、被
冷却物の熱容量によって左右されるが、早いもので１
日、長いもので６日程度かかり、その間装置は停止した
ままで遊休状態である。 【０００６】冷凍機のメンテナンスに要する時間は１台
当り３時間程度であるので、生産設備等に組込まれて稼
働しているＧＭ冷凍機のメンテナンスの場合、長時間生
産ラインを停止させることはできないので、メンテナン
スの必要のあるＧＭ冷凍機は部品交換作業を行なうよう
なことはしないで、シリンダを含むＧＭ冷凍機一式をメ
ンテナンス済みのものとそっくり交換することが考えら
れ、図４に示す構造のものが考えられた。 【０００７】即ち、真空容器１の天板１’に、真空容器
内の真空領域と隔絶するための上方に開口部を有する真
空隔壁筒体２を設置し、該真空隔壁筒体２の上方開口部
からＧＭ冷凍機Ｒの冷却シリンダを挿入し、冷凍機の冷
却シリンダを真空容器内の真空領域と隔絶した状態でＧ
Ｍ冷凍機を設置するようにしたものである。 【０００８】上記真空隔壁筒体２の構造は、上方に開口
部を有し下端に第１冷却フランジＦ1を設けている第１
スリーブ２ａと、前記第１冷却フランジＦ1に上端が接
続され下端部に第２冷却フランジＦ2が取付けられてい
る第２スリーブ２ｂと、前記第１冷却フランジＦ1の上
面にバネＳを介して第１スリーブ２ａ内で伸縮可能に取
付けられている冷却フランジＦ1’から構成されてお
り、第１スリーブ２ａ開口部周縁には真空容器天板１’
に気密にボルト付けするためのフランジＦ3が溶接され
ている。 【０００９】なお、図４において冷凍機の第１段コール
ドヘッドＨ1と冷却フランジＦ1’の接触面および、冷凍
機の第２段コールドヘッドＨ2と第２冷却フランジＦ2の
接触面に、これらの接触面の熱接触を高めるため、それ
ぞれ約０．５〜１mm程度のインジウムシート３ａ、３ｂ
が挿入されている。 【００１０】真空隔壁筒体２に冷凍機を挿入設置し冷却
を開始すると、冷凍機の第１段冷却シリンダＣ1が第１
スリーブ２ａよりも早く低温になり、両者間に熱収縮差
（約０．５〜０．６mm）が生じ冷却シリンダが短くな
り、第１段コールドヘッドＨ1のインジウム界面への押
し付け圧力が低下し、遂には第１段コールドヘッドＨ1
とインジュウム３ａとの接触面が離間するという事態が
生じ、一旦そのような事態が生じると、もはや第１スリ
ーブ２ａは冷却されなくなる。 【００１１】そこで、かかる事態を避けるために、前記
従来のものは第１冷却フランジＦ1の上面にバネＳを介
して冷却フランジＦ1’を取付けることにより第１段コ
ールドヘッドＨ1のインジウム３ａ界面への押し付け力
が常時掛かるように配慮している。また、第２段コール
ドヘッドＨ2のインジウム３ｂ界面への押し付け力は冷
凍機モータ駆動部側の取付けネジ４の調整により行なっ
ている。 【００１２】上記従来のものは第１段コールドヘッドＨ
1のインジウム３ａ界面への押し付け力の調整と第２段
コールドヘッドＨ2のインジウム３ｂ界面への押し付け
力の調整はバネＳの弾性および取付けネジ４の両者の調
整で行なうために、調整が複雑で面倒であり、その上、
第１冷却フランジＦ1と冷却フランジＦ1’間にバネ部材
Ｓが介在されているため、第１段コールドヘッドＨ1と
第１冷却フランジＦ1間の伝熱性能が阻害されるという
問題点があった。 【００１３】 【発明が解決しようとする課題】本発明は上記従来の第
１段コールドヘッドＨ1と第１冷却フランジＦ1間の伝熱
性能を劣化させることがなく、簡単な構造でしかも第１
段コールドヘッドＨ1のインジウム３ａ界面への押し付
け力の調整と、第２段コールドヘッドＨ2のインジウム
３ｂ界面への押し付け力の調整が簡単容易にできる真空
隔壁筒体を提供することを目的とするものである。 【０００１４】 【課題を解決するための手段】冷凍機をクライオスタッ
ト内に真空領域と離隔して設置するための真空隔壁筒体
であって、該真空隔壁筒体２は上端部に冷凍機の冷却シ
リンダを挿入するための開口部と取付けフランジＦ3と
を有し、下端部に環状の第１冷却フランジＦ1を有する
第１スリーブ２ａと、該第１スリーブ２ａの前記第１冷
却フランジＦ1か ら垂下され、下端部に第２冷却フラン
ジＦ2を、途中にオーステナイト系ステンレス鋼製の環
状部材ないしは中空フランジ状部材からなるバネ機能を
有する筒体５をそれぞれ設けた第２スリーブ２ｂとから
構成されており、冷凍機の冷却シリンダを前記真空隔壁
筒体２に挿入した際、冷凍機の第１段コールドヘッドＨ
1の下端面が第１冷却フランジＦ1の上面にインジウムシ
ート３ａを介して当接されており、また、冷凍機の第２
段コールドヘッドＨ2の下端面が第２冷却フランジ Ｆ2
の上面にインジウムシート３ｂを介して当接されている
ことを特徴とする。 【００１５】 【発明の実施の形態】図１は本発明にかかる真空隔壁筒
体２をクライオスタット１に装着している状態を示す説
明図、図２は本発明にかかる真空隔壁筒体に冷凍機の冷
却シリンダを装着した状態の説明図である。なお、本発
明にかかる真空隔壁筒体の構造において前述の図４に示
す従来構造と同一部品には同一符号を付して説明する。 【００１６】本発明にかかる真空隔壁筒体２は上端部に
開口部と取付けフランジＦ3とを有し、下端部に環状の
第１冷却フランジＦ1を有する第１スリーブ２ａの前記
第１冷却フランジＦ1から垂下した第２スリーブ２ｂの
途中にバネ機能を有する筒体５を溶接し、第２スリーブ
２ｂの下端部に第２冷却フランジＦ2を設けた構造から
なっている。 【００１７】上記のバネ機能を有する筒体としては、コ
ールドヘッドＨ2への熱侵入を極力抑制する必要がある
ため、熱伝導度が小さくて弾性のある材料例えばＳＵＳ
３０４（オーステナイト系ステンレス鋼）を使用した環
状部材ないしは中空フランジ状部材、その他、バネ定数
の大きいベローズ等が採用される。 【００１８】上記本発明の真空隔壁筒体２は、上端部取
付けフランジＦ3でクライオスタット１の天板１’に気
密にボルト付けされており、第１冷却フランジＦ1に熱
シールド板６の天板部６’が、また、第２冷却フランジ
Ｆ2に超電導マグネット等の被冷却材がそれぞれ冷却さ
れるように伝熱的に接触している。 【００１９】ＧＭ冷凍機Ｒを真空隔壁筒体２内にその上
端開口部から挿入し、冷凍機の第１段コールドヘッドＨ
1の下端面が第１冷却フランジＦ1の上面にインジウムシ
ート３ａを介して当接するように、また、冷凍機の第２
段コールドヘッドＨ2の下端面が第２冷却フランジＦ2の
上面にインジウムシート３ｂを介して当接するように冷
凍機の駆動部Ｍの取付けボルト４を調節することにより
真空隔壁筒体２に設置される。 【００２０】冷凍機の運転を開始し、各段のコールドヘ
ッドが冷却されて収縮しても第１段コールドヘッドＨ1
は取付けボルト４の締め付け力により押圧されているた
めインジウムシート３ａから離間することがなく、ま
た、第２段コールドヘッドＨ2は収縮してもバネ機能を
有する筒体５の作用で第２冷却フランジＦ2が常時上方
へ押圧力を受けているため、インジウムシート３ｂから
離間することがないのでクライオスタットが効率よく冷
却される。なお、本実施例では冷凍機としてＧＭ冷凍機
を例にとって説明したが、ＧＭ冷凍機に限定されること
なくスターリング、パルス式冷凍機に対しても適用され
ることは云うまでもない。 【００２１】 【発明の効果】本発明では真空隔壁筒体の下段側の第２
スリーブの途中にバネ機能を有する筒体５を設置させた
ことにより、上記従来の第１段コールドヘッドＨ1と第
１冷却フランジＦ1間の伝熱性能を劣化させることがな
く、簡単な構造としたために製造コストを低減できると
ともに、しかも第１段コールドヘッドＨ1のインジウム
３ａ界面への押し付け力の調整と、第２段コールドヘッ
ドＨ2のインジウム３ｂ界面への押し付け力の調整が簡
単容易にできる。
イオスタットにおける冷凍機と真空容器の取付け構造に
関する。 【０００２】 【従来の技術】クライオスタット（極低温真空容器）の
冷却手段として近年液体ヘリウムに代わって図３に示す
ＧＭ冷凍機Ｒが使用されている。ＧＭ冷凍機の構造は大
別してモータ駆動部Ｍと、複数段の冷却シリンダＣ1、
Ｃ2と蓄熱体を内蔵し前記シリンダＣ1、Ｃ2内を往復動
するディスプレーサＤ1、Ｄ2から構成されており、第１
段冷却シリンダＣ1の下端部に第１段コールドヘッドＨ
1、第２段冷却シリンダＣ2の下端部に第２段コールドヘ
ッドＨ2がそれぞれ形成されている。 【０００３】上記２段のコールドヘッドを有するＧＭ冷
凍機にあっては、第１段コールドヘッドで７０〜４０Ｋ
に、第２段コールドヘッドで２０〜４Ｋまで極低温にす
ることが可能であり、各段のコールドヘッドにより被冷
却物が所定温度まで冷却される。 【０００４】上記ＧＭ冷凍機を超電導マグネット或いは
一般のクライオスタット等の冷却に長時間（稼働約１万
時間）使用する場合は必ずＧＭ冷凍機のメンテナンスが
必要である。通常のメンテナンスでは、常に運動してい
る部分の部品交換と点検である。この作業を行なう場合
はモータの駆動部Ｍとそれに連結されているディスプレ
ーサＤ1、Ｄ2を冷却シリンダＣ1、Ｃ2から引抜き取り外
すことが必要である。 【０００５】しかし、低温に冷却されているディスプレ
ーサを大気中でシリンダから引き抜くと、瞬時にディス
プレーサとシリンダ内面に水分が付着し氷が表面を覆
い、メンテナンス作業が不可能となる。そこで、装置を
停止して装置全体を常温に戻してから作業を行なわねば
ならなかった。装置が常温に戻るまでの必要時間は、被
冷却物の熱容量によって左右されるが、早いもので１
日、長いもので６日程度かかり、その間装置は停止した
ままで遊休状態である。 【０００６】冷凍機のメンテナンスに要する時間は１台
当り３時間程度であるので、生産設備等に組込まれて稼
働しているＧＭ冷凍機のメンテナンスの場合、長時間生
産ラインを停止させることはできないので、メンテナン
スの必要のあるＧＭ冷凍機は部品交換作業を行なうよう
なことはしないで、シリンダを含むＧＭ冷凍機一式をメ
ンテナンス済みのものとそっくり交換することが考えら
れ、図４に示す構造のものが考えられた。 【０００７】即ち、真空容器１の天板１’に、真空容器
内の真空領域と隔絶するための上方に開口部を有する真
空隔壁筒体２を設置し、該真空隔壁筒体２の上方開口部
からＧＭ冷凍機Ｒの冷却シリンダを挿入し、冷凍機の冷
却シリンダを真空容器内の真空領域と隔絶した状態でＧ
Ｍ冷凍機を設置するようにしたものである。 【０００８】上記真空隔壁筒体２の構造は、上方に開口
部を有し下端に第１冷却フランジＦ1を設けている第１
スリーブ２ａと、前記第１冷却フランジＦ1に上端が接
続され下端部に第２冷却フランジＦ2が取付けられてい
る第２スリーブ２ｂと、前記第１冷却フランジＦ1の上
面にバネＳを介して第１スリーブ２ａ内で伸縮可能に取
付けられている冷却フランジＦ1’から構成されてお
り、第１スリーブ２ａ開口部周縁には真空容器天板１’
に気密にボルト付けするためのフランジＦ3が溶接され
ている。 【０００９】なお、図４において冷凍機の第１段コール
ドヘッドＨ1と冷却フランジＦ1’の接触面および、冷凍
機の第２段コールドヘッドＨ2と第２冷却フランジＦ2の
接触面に、これらの接触面の熱接触を高めるため、それ
ぞれ約０．５〜１mm程度のインジウムシート３ａ、３ｂ
が挿入されている。 【００１０】真空隔壁筒体２に冷凍機を挿入設置し冷却
を開始すると、冷凍機の第１段冷却シリンダＣ1が第１
スリーブ２ａよりも早く低温になり、両者間に熱収縮差
（約０．５〜０．６mm）が生じ冷却シリンダが短くな
り、第１段コールドヘッドＨ1のインジウム界面への押
し付け圧力が低下し、遂には第１段コールドヘッドＨ1
とインジュウム３ａとの接触面が離間するという事態が
生じ、一旦そのような事態が生じると、もはや第１スリ
ーブ２ａは冷却されなくなる。 【００１１】そこで、かかる事態を避けるために、前記
従来のものは第１冷却フランジＦ1の上面にバネＳを介
して冷却フランジＦ1’を取付けることにより第１段コ
ールドヘッドＨ1のインジウム３ａ界面への押し付け力
が常時掛かるように配慮している。また、第２段コール
ドヘッドＨ2のインジウム３ｂ界面への押し付け力は冷
凍機モータ駆動部側の取付けネジ４の調整により行なっ
ている。 【００１２】上記従来のものは第１段コールドヘッドＨ
1のインジウム３ａ界面への押し付け力の調整と第２段
コールドヘッドＨ2のインジウム３ｂ界面への押し付け
力の調整はバネＳの弾性および取付けネジ４の両者の調
整で行なうために、調整が複雑で面倒であり、その上、
第１冷却フランジＦ1と冷却フランジＦ1’間にバネ部材
Ｓが介在されているため、第１段コールドヘッドＨ1と
第１冷却フランジＦ1間の伝熱性能が阻害されるという
問題点があった。 【００１３】 【発明が解決しようとする課題】本発明は上記従来の第
１段コールドヘッドＨ1と第１冷却フランジＦ1間の伝熱
性能を劣化させることがなく、簡単な構造でしかも第１
段コールドヘッドＨ1のインジウム３ａ界面への押し付
け力の調整と、第２段コールドヘッドＨ2のインジウム
３ｂ界面への押し付け力の調整が簡単容易にできる真空
隔壁筒体を提供することを目的とするものである。 【０００１４】 【課題を解決するための手段】冷凍機をクライオスタッ
ト内に真空領域と離隔して設置するための真空隔壁筒体
であって、該真空隔壁筒体２は上端部に冷凍機の冷却シ
リンダを挿入するための開口部と取付けフランジＦ3と
を有し、下端部に環状の第１冷却フランジＦ1を有する
第１スリーブ２ａと、該第１スリーブ２ａの前記第１冷
却フランジＦ1か ら垂下され、下端部に第２冷却フラン
ジＦ2を、途中にオーステナイト系ステンレス鋼製の環
状部材ないしは中空フランジ状部材からなるバネ機能を
有する筒体５をそれぞれ設けた第２スリーブ２ｂとから
構成されており、冷凍機の冷却シリンダを前記真空隔壁
筒体２に挿入した際、冷凍機の第１段コールドヘッドＨ
1の下端面が第１冷却フランジＦ1の上面にインジウムシ
ート３ａを介して当接されており、また、冷凍機の第２
段コールドヘッドＨ2の下端面が第２冷却フランジ Ｆ2
の上面にインジウムシート３ｂを介して当接されている
ことを特徴とする。 【００１５】 【発明の実施の形態】図１は本発明にかかる真空隔壁筒
体２をクライオスタット１に装着している状態を示す説
明図、図２は本発明にかかる真空隔壁筒体に冷凍機の冷
却シリンダを装着した状態の説明図である。なお、本発
明にかかる真空隔壁筒体の構造において前述の図４に示
す従来構造と同一部品には同一符号を付して説明する。 【００１６】本発明にかかる真空隔壁筒体２は上端部に
開口部と取付けフランジＦ3とを有し、下端部に環状の
第１冷却フランジＦ1を有する第１スリーブ２ａの前記
第１冷却フランジＦ1から垂下した第２スリーブ２ｂの
途中にバネ機能を有する筒体５を溶接し、第２スリーブ
２ｂの下端部に第２冷却フランジＦ2を設けた構造から
なっている。 【００１７】上記のバネ機能を有する筒体としては、コ
ールドヘッドＨ2への熱侵入を極力抑制する必要がある
ため、熱伝導度が小さくて弾性のある材料例えばＳＵＳ
３０４（オーステナイト系ステンレス鋼）を使用した環
状部材ないしは中空フランジ状部材、その他、バネ定数
の大きいベローズ等が採用される。 【００１８】上記本発明の真空隔壁筒体２は、上端部取
付けフランジＦ3でクライオスタット１の天板１’に気
密にボルト付けされており、第１冷却フランジＦ1に熱
シールド板６の天板部６’が、また、第２冷却フランジ
Ｆ2に超電導マグネット等の被冷却材がそれぞれ冷却さ
れるように伝熱的に接触している。 【００１９】ＧＭ冷凍機Ｒを真空隔壁筒体２内にその上
端開口部から挿入し、冷凍機の第１段コールドヘッドＨ
1の下端面が第１冷却フランジＦ1の上面にインジウムシ
ート３ａを介して当接するように、また、冷凍機の第２
段コールドヘッドＨ2の下端面が第２冷却フランジＦ2の
上面にインジウムシート３ｂを介して当接するように冷
凍機の駆動部Ｍの取付けボルト４を調節することにより
真空隔壁筒体２に設置される。 【００２０】冷凍機の運転を開始し、各段のコールドヘ
ッドが冷却されて収縮しても第１段コールドヘッドＨ1
は取付けボルト４の締め付け力により押圧されているた
めインジウムシート３ａから離間することがなく、ま
た、第２段コールドヘッドＨ2は収縮してもバネ機能を
有する筒体５の作用で第２冷却フランジＦ2が常時上方
へ押圧力を受けているため、インジウムシート３ｂから
離間することがないのでクライオスタットが効率よく冷
却される。なお、本実施例では冷凍機としてＧＭ冷凍機
を例にとって説明したが、ＧＭ冷凍機に限定されること
なくスターリング、パルス式冷凍機に対しても適用され
ることは云うまでもない。 【００２１】 【発明の効果】本発明では真空隔壁筒体の下段側の第２
スリーブの途中にバネ機能を有する筒体５を設置させた
ことにより、上記従来の第１段コールドヘッドＨ1と第
１冷却フランジＦ1間の伝熱性能を劣化させることがな
く、簡単な構造としたために製造コストを低減できると
ともに、しかも第１段コールドヘッドＨ1のインジウム
３ａ界面への押し付け力の調整と、第２段コールドヘッ
ドＨ2のインジウム３ｂ界面への押し付け力の調整が簡
単容易にできる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明にかかる真空隔壁筒体を装着したクライ
オスタットの全体説明図。 【図２】本発明にかかる真空隔壁筒体にＧＭ冷凍機を装
着した状態を示す説明図。 【図３】２段冷却型ＧＭ冷凍機の概略説明図。 【図４】従来型の真空隔壁筒体を装着したクライオスタ
ットの全体説明図。 【符号の説明】 １ クライオスタット Ｃ1 第１
段冷却シリンダ １’ クライオスタット天板 Ｃ2 第２
段冷却シリンダ ２ 真空隔壁筒体 Ｄ1 第１
段ディスプレーサ ２ａ 第１スリーブ Ｄ2 第２
段ディスプレーサ ２ｂ 第２スリーブ Ｆ1 第１
冷却フランジ ３ａ、３ｂ インジウムシート Ｆ2 第２
冷却フランジ ４ 取付けボルト Ｆ3 取付
けフランジ ５ 弾性機能を有する筒体 Ｈ1 第１
段コールドヘッド ６ 熱シールド板 Ｈ2 第２
段コールドヘッド Ｒ ＧＭ冷凍機 Ｓ バネ
オスタットの全体説明図。 【図２】本発明にかかる真空隔壁筒体にＧＭ冷凍機を装
着した状態を示す説明図。 【図３】２段冷却型ＧＭ冷凍機の概略説明図。 【図４】従来型の真空隔壁筒体を装着したクライオスタ
ットの全体説明図。 【符号の説明】 １ クライオスタット Ｃ1 第１
段冷却シリンダ １’ クライオスタット天板 Ｃ2 第２
段冷却シリンダ ２ 真空隔壁筒体 Ｄ1 第１
段ディスプレーサ ２ａ 第１スリーブ Ｄ2 第２
段ディスプレーサ ２ｂ 第２スリーブ Ｆ1 第１
冷却フランジ ３ａ、３ｂ インジウムシート Ｆ2 第２
冷却フランジ ４ 取付けボルト Ｆ3 取付
けフランジ ５ 弾性機能を有する筒体 Ｈ1 第１
段コールドヘッド ６ 熱シールド板 Ｈ2 第２
段コールドヘッド Ｒ ＧＭ冷凍機 Ｓ バネ
フロントページの続き
(58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名)
H01L 39/04 ZAA
F25B 9/00
H01F 6/04 ZAA
Claims (1)
- (57)【特許請求の範囲】 【請求項１】冷凍機をクライオスタット内に真空領域と
離隔して設置するための真空隔壁筒体であって、該真空
隔壁筒体（２）は上端部に冷凍機の冷却シリンダを挿入
するための開口部と取付けフランジ（Ｆ3）とを有し、
下端部に環状の第１冷却フラ ンジ（Ｆ1）を有する第１
スリーブ（２ａ）と、該第１スリーブ（２ａ）の前記
第１冷却フランジ（Ｆ1）から垂下され、下端部に第２
冷却フランジ（Ｆ2）を、途中にオーステナイト系ステ
ンレス鋼製の環状部材ないしは中空フランジ状部材から
なるバネ機能を有する筒体（５）をそれぞれ設けた第２
スリーブ（２ｂ）とから構成されており、冷凍機の冷却
シリンダを前記真空隔壁筒体（２）に挿入した際、冷凍
機の第１段コールドヘッド（Ｈ 1 ）の下端面が第１冷却
フランジ（Ｆ 1 ）の上面にインジウムシート（３ａ）を
介して当接されており、また、冷凍機の第２段コールド
ヘッド（Ｈ 2 ）の下端面が第２冷却フランジ（Ｆ 2 ）の上
面にインジウムシート（３ｂ）を介して当接されている
ことを特徴とする冷凍機の冷却シリンダとクライオスタ
ットの真空隔壁構造。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000040353A JP3524460B2 (ja) | 2000-02-17 | 2000-02-17 | 冷凍機の冷却シリンダとクライオスタットの真空隔壁構造 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000040353A JP3524460B2 (ja) | 2000-02-17 | 2000-02-17 | 冷凍機の冷却シリンダとクライオスタットの真空隔壁構造 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2001230459A JP2001230459A (ja) | 2001-08-24 |
| JP3524460B2 true JP3524460B2 (ja) | 2004-05-10 |
Family
ID=18563745
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2000040353A Expired - Fee Related JP3524460B2 (ja) | 2000-02-17 | 2000-02-17 | 冷凍機の冷却シリンダとクライオスタットの真空隔壁構造 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3524460B2 (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN104200950A (zh) * | 2014-09-19 | 2014-12-10 | 西安聚能超导磁体科技有限公司 | 一种传导冷却超导磁体制冷机结构及其安装、拆卸方法 |
| US11262119B2 (en) | 2017-10-12 | 2022-03-01 | Sumitomo Heavy Industries, Ltd. | Mounting structure and mounting method of cryocooler |
Families Citing this family (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP3992276B2 (ja) * | 2002-07-17 | 2007-10-17 | 住友重機械工業株式会社 | 冷凍機の装着構造及びメンテナンス方法 |
| JP4749661B2 (ja) | 2003-10-15 | 2011-08-17 | 住友重機械工業株式会社 | 単結晶引上げ装置用超電導磁石装置における冷凍機の装着構造及び冷凍機のメンテナンス方法 |
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