JP3521903B2 - 多孔質ガラス母材の製造方法 - Google Patents
多孔質ガラス母材の製造方法Info
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- C03B37/01—Manufacture of glass fibres or filaments
- C03B37/012—Manufacture of preforms for drawing fibres or filaments
- C03B37/014—Manufacture of preforms for drawing fibres or filaments made entirely or partially by chemical means, e.g. vapour phase deposition of bulk porous glass either by outside vapour deposition [OVD], or by outside vapour phase oxidation [OVPO] or by vapour axial deposition [VAD]
- C03B37/01406—Deposition reactors therefor
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- C03B37/0142—Reactant deposition burners
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- C03B—MANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
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Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、出発ロッドとガラ
ス微粒子合成用バーナとを相対的に往復運動させなが
ら、バーナで合成されるガラス微粒子を出発ロッドの表
面に一層ずつ堆積させる多孔質ガラス母材の製造方法に
関する。
ス微粒子合成用バーナとを相対的に往復運動させなが
ら、バーナで合成されるガラス微粒子を出発ロッドの表
面に一層ずつ堆積させる多孔質ガラス母材の製造方法に
関する。
【０００２】
【従来の技術】大型の多孔質ガラス母材を高速で製造す
る方法として、反応容器内の出発ロッドに対向させて複
数のガラス微粒子合成用バーナを一定間隔で配置し、回
転する出発ロッドと前記バーナの列を相対的に往復移動
させ、出発ロッドの表面にガラス微粒子を層状に堆積さ
せて多孔質ガラス母材を得る方法（多層付け法）があ
る。このような方法の場合、各バーナの特性の違い、折
り返し位置や端部における堆積条件の変動などにより多
孔質ガラス母材は外径変動を生じ、該多孔質ガラス母材
から得られるガラスの特性変動の原因となる。
る方法として、反応容器内の出発ロッドに対向させて複
数のガラス微粒子合成用バーナを一定間隔で配置し、回
転する出発ロッドと前記バーナの列を相対的に往復移動
させ、出発ロッドの表面にガラス微粒子を層状に堆積さ
せて多孔質ガラス母材を得る方法（多層付け法）があ
る。このような方法の場合、各バーナの特性の違い、折
り返し位置や端部における堆積条件の変動などにより多
孔質ガラス母材は外径変動を生じ、該多孔質ガラス母材
から得られるガラスの特性変動の原因となる。
【０００３】特開平４−２６０６１８号公報には、複数
本のバーナを使用する多孔質ガラス母材の製造方法にお
いて、迅速にかつ端部効果による損耗を最小限に抑え
て、実質的に均一な特性を有する多孔質ガラス母材を得
る方法として、多孔質ガラス母材の全長にわたって均一
な流量の空気流を形成させる手段を設ける方法が開示さ
れており、バーナアレイと多孔質ガラス母材が垂直方向
に配向されている場合には、多孔質ガラス母材の長さに
沿った熱勾配の効果を最小限に抑えるために母材の底の
領域に高出力のエンドヒータ設置すること、水平方向の
空気流の大きさは母材の長さに沿った対流の空気流によ
る母材内の不均一性を最小限に抑えるように選択（増
加）させなければならないことが記載されている。
本のバーナを使用する多孔質ガラス母材の製造方法にお
いて、迅速にかつ端部効果による損耗を最小限に抑え
て、実質的に均一な特性を有する多孔質ガラス母材を得
る方法として、多孔質ガラス母材の全長にわたって均一
な流量の空気流を形成させる手段を設ける方法が開示さ
れており、バーナアレイと多孔質ガラス母材が垂直方向
に配向されている場合には、多孔質ガラス母材の長さに
沿った熱勾配の効果を最小限に抑えるために母材の底の
領域に高出力のエンドヒータ設置すること、水平方向の
空気流の大きさは母材の長さに沿った対流の空気流によ
る母材内の不均一性を最小限に抑えるように選択（増
加）させなければならないことが記載されている。
【０００４】この方法では、装置構成が複雑となり、さ
らに反応容器内は強度の酸性雰囲気であり、ヒータの構
成素材が高価なものとなるだけでなく、母材に堆積でき
なかったガラス微粒子がヒータ上に堆積し、ヒータの熱
で透明化が進み、ヒータからガラス微粒子を取り除くこ
とが難しくなるなどのメンテナンス上の問題も発生す
る。設備メンテナンスに手間がかかる構成では、母材の
合成速度が早くなっても次の母材の製造を行うまでの準
備時間が長くなり、結果的に合成速度向上に見合う母材
製造の効率化効果が得られないことになる。
らに反応容器内は強度の酸性雰囲気であり、ヒータの構
成素材が高価なものとなるだけでなく、母材に堆積でき
なかったガラス微粒子がヒータ上に堆積し、ヒータの熱
で透明化が進み、ヒータからガラス微粒子を取り除くこ
とが難しくなるなどのメンテナンス上の問題も発生す
る。設備メンテナンスに手間がかかる構成では、母材の
合成速度が早くなっても次の母材の製造を行うまでの準
備時間が長くなり、結果的に合成速度向上に見合う母材
製造の効率化効果が得られないことになる。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】本発明はこのような従
来技術の実状に鑑み、より単純な装置構成で長さ方向の
外径変動を抑制することができる多孔質ガラス母材の製
造方法を提供することを目的とする。
来技術の実状に鑑み、より単純な装置構成で長さ方向の
外径変動を抑制することができる多孔質ガラス母材の製
造方法を提供することを目的とする。
【０００６】
【課題を解決するための手段】本発明は上記課題を解決
する手段として、次の（１）〜（１０）に示す構成を採
る。 （１）反応容器内に支持され回転する出発ロッドに対向
させて複数本のガラス微粒子合成用バーナを配置し、前
記出発ロッドとガラス微粒子合成用バーナとを平行に相
対的に往復運動させながらバーナで合成されるガラス微
粒子を出発ロッドの表面に一層ずつ堆積させて多孔質ガ
ラス母材を製造する方法において、前記バーナを反応容
器にセットした状態において、反応容器のバーナ取り込
み箇所の近傍に通風口を設け、該通風口から母材に向
け、母材の長さ方向に異なる流量で気体を供給すること
を特徴とする多孔質ガラス母材の製造方法。 （２）前記通風口がバーナ周囲にあることを特徴とする
前記（１）の多孔質ガラス母材の製造方法。 （３）前記通風口から母材に向け、母材の長さ方向で温
度の異なる気体を供給することを特徴とする前記（１）
又は（２）の多孔質ガラス母材の製造方法。（４） 前記通風口から供給する気体の温度を、各通風口
ごとに変えることを特徴とする前記（１）〜（３）のい
ずれか１つの多孔質ガラス母材の製造方法。
する手段として、次の（１）〜（１０）に示す構成を採
る。 （１）反応容器内に支持され回転する出発ロッドに対向
させて複数本のガラス微粒子合成用バーナを配置し、前
記出発ロッドとガラス微粒子合成用バーナとを平行に相
対的に往復運動させながらバーナで合成されるガラス微
粒子を出発ロッドの表面に一層ずつ堆積させて多孔質ガ
ラス母材を製造する方法において、前記バーナを反応容
器にセットした状態において、反応容器のバーナ取り込
み箇所の近傍に通風口を設け、該通風口から母材に向
け、母材の長さ方向に異なる流量で気体を供給すること
を特徴とする多孔質ガラス母材の製造方法。 （２）前記通風口がバーナ周囲にあることを特徴とする
前記（１）の多孔質ガラス母材の製造方法。 （３）前記通風口から母材に向け、母材の長さ方向で温
度の異なる気体を供給することを特徴とする前記（１）
又は（２）の多孔質ガラス母材の製造方法。（４） 前記通風口から供給する気体の温度を、各通風口
ごとに変えることを特徴とする前記（１）〜（３）のい
ずれか１つの多孔質ガラス母材の製造方法。
【０００７】（５）前記往復運動を、バーナを固定し出
発ロッドを往復運動させる方式とし、反応容器の外側に
バーナ列全体を囲む枠を設け、該枠にバーナ列全体を覆
う覆いを取り付けて空気溜を形成し、該空気溜内に清浄
気体を供給して該清浄気体を前記通風口から母材に向け
て供給することを特徴とする前記（１）〜（４）のいず
れか１つの多孔質ガラス母材の製造方法。（６） 各バーナごとにそれぞれのバーナで合成されるガ
ラス微粒子が堆積している堆積面の温度を測定し、各堆
積面の温度がほぼ均一に保たれるように通風口から供給
される気体の流量もしくは流量及び温度を調整すること
を特徴とする前記（１）〜（５）のいずれか１つの多孔
質ガラス母材の製造方法。
発ロッドを往復運動させる方式とし、反応容器の外側に
バーナ列全体を囲む枠を設け、該枠にバーナ列全体を覆
う覆いを取り付けて空気溜を形成し、該空気溜内に清浄
気体を供給して該清浄気体を前記通風口から母材に向け
て供給することを特徴とする前記（１）〜（４）のいず
れか１つの多孔質ガラス母材の製造方法。（６） 各バーナごとにそれぞれのバーナで合成されるガ
ラス微粒子が堆積している堆積面の温度を測定し、各堆
積面の温度がほぼ均一に保たれるように通風口から供給
される気体の流量もしくは流量及び温度を調整すること
を特徴とする前記（１）〜（５）のいずれか１つの多孔
質ガラス母材の製造方法。
【０００８】（７）通風口から母材に向けて供給される
気体の量の調整を、前記通風口の開口度を調整すること
によって行うことを特徴とする前記（１）〜（６）のい
ずれか１つの多孔質ガラス母材の製造方法。（８） 通風口から母材に向けて供給される気体の量の調
整を、前記通風口へ供給する気体の量を調整することに
よって行うことを特徴とする前記（１）〜（６）のいず
れか１つの多孔質ガラス母材の製造方法。（９） 前記気体が空気又は不活性ガスであることを特徴
とする前記（１）〜（８）のいずれか１つの多孔質ガラ
ス母材の製造方法。（１０） 前記ガラス微粒子合成用バーナとして、助燃性
ガス又は不活性ガスを噴出するポートのいずれかから噴
出するガスの流速が８ｍ／秒以上のものを使用すること
を特徴とする（１）〜（９）のいずれか１つのの多孔質
ガラス母材の製造方法。
気体の量の調整を、前記通風口の開口度を調整すること
によって行うことを特徴とする前記（１）〜（６）のい
ずれか１つの多孔質ガラス母材の製造方法。（８） 通風口から母材に向けて供給される気体の量の調
整を、前記通風口へ供給する気体の量を調整することに
よって行うことを特徴とする前記（１）〜（６）のいず
れか１つの多孔質ガラス母材の製造方法。（９） 前記気体が空気又は不活性ガスであることを特徴
とする前記（１）〜（８）のいずれか１つの多孔質ガラ
ス母材の製造方法。（１０） 前記ガラス微粒子合成用バーナとして、助燃性
ガス又は不活性ガスを噴出するポートのいずれかから噴
出するガスの流速が８ｍ／秒以上のものを使用すること
を特徴とする（１）〜（９）のいずれか１つのの多孔質
ガラス母材の製造方法。
【０００９】本発明者らは、大型の多孔質ガラス母材を
製造する際に生じる、母材の長さ方向で嵩密度が変化し
外径変動が生じるという問題は、本質的にガラス微粒子
堆積時の母材が包まれている熱雰囲気の長さ方向での違
いにあることから、先ず各バーナで発生する熱量を調整
する方法を検討した。これを実現するためには各バーナ
に供給される可燃性ガスや助燃性ガスの供給量を制御す
る必要が生じ、ガラス合成速度をさらに向上するためバ
ーナ本数を増やすと、制御を必要とするガス系統数が飛
躍的に増加していき、設備コストもそれに応じて上昇し
ていくため、この手段以外の方法を検討することとし
た。
製造する際に生じる、母材の長さ方向で嵩密度が変化し
外径変動が生じるという問題は、本質的にガラス微粒子
堆積時の母材が包まれている熱雰囲気の長さ方向での違
いにあることから、先ず各バーナで発生する熱量を調整
する方法を検討した。これを実現するためには各バーナ
に供給される可燃性ガスや助燃性ガスの供給量を制御す
る必要が生じ、ガラス合成速度をさらに向上するためバ
ーナ本数を増やすと、制御を必要とするガス系統数が飛
躍的に増加していき、設備コストもそれに応じて上昇し
ていくため、この手段以外の方法を検討することとし
た。
【００１０】次に母材全体の温度雰囲気を、嵩密度の変
化が許容範囲内となる±１５℃の略均一な雰囲気とし、
長さ方向の温度傾斜を解消することを試みた。そして堆
積効率を低下させず、かつ、効率よく温度を調整できる
気体の供給方法について検討した結果、反応容器にバー
ナをセットした状態で反応容器のバーナ取り込み箇所の
近傍に通風口を設け、そこから母材に向けて気体を供給
するのが最も効率的に母材に気体を供給できることを見
出した。ここで、反応容器内にバーナを取り込んでいる
部分で、反応容器とバーナとの間に隙間を設けて通風口
としてもよい。
化が許容範囲内となる±１５℃の略均一な雰囲気とし、
長さ方向の温度傾斜を解消することを試みた。そして堆
積効率を低下させず、かつ、効率よく温度を調整できる
気体の供給方法について検討した結果、反応容器にバー
ナをセットした状態で反応容器のバーナ取り込み箇所の
近傍に通風口を設け、そこから母材に向けて気体を供給
するのが最も効率的に母材に気体を供給できることを見
出した。ここで、反応容器内にバーナを取り込んでいる
部分で、反応容器とバーナとの間に隙間を設けて通風口
としてもよい。
【００１１】それ以外の位置から気体を供給すると反応
容器内の気流が乱され、多孔質ガラス母材へのガラス微
粒子付着効率を低下させるだけでなく、付着効率低下に
伴い反応容器内の浮遊ガラス微粒子量の増加を生み、反
応容器の壁面に付着するガラス微粒子量を増加させる結
果となった、それにより、掃除時間などの段取り時間を
増やしてしまうだけでなく、壁面からガラス微粒子が剥
がれ、多孔質ガラス母材へ落下する頻度を上げる結果と
なった。剥がれたガラス微粒子が多孔質ガラス母材に付
着することにより、焼結透明化後の母材に気泡を発生さ
せることとなった。
容器内の気流が乱され、多孔質ガラス母材へのガラス微
粒子付着効率を低下させるだけでなく、付着効率低下に
伴い反応容器内の浮遊ガラス微粒子量の増加を生み、反
応容器の壁面に付着するガラス微粒子量を増加させる結
果となった、それにより、掃除時間などの段取り時間を
増やしてしまうだけでなく、壁面からガラス微粒子が剥
がれ、多孔質ガラス母材へ落下する頻度を上げる結果と
なった。剥がれたガラス微粒子が多孔質ガラス母材に付
着することにより、焼結透明化後の母材に気泡を発生さ
せることとなった。
【００１２】母材全体の温度傾斜を制御すべく、各バー
ナと反応容器との間から各バーナで合成されるガラス微
粒子が堆積している堆積面の温度を放射温度計によって
測定し、その測定結果を基に各通風口から供給する気体
の風量の調整を行った。この場合、供給される気体量が
異なることにより各通風口から供給される気体の流れど
うしが干渉してバーナ火炎を乱す現象が発生し、堆積効
率の低下を招き、堆積量が不安定となってしまったため
に堆積量が変化し、外径変動を誘発する結果となる場合
があった。
ナと反応容器との間から各バーナで合成されるガラス微
粒子が堆積している堆積面の温度を放射温度計によって
測定し、その測定結果を基に各通風口から供給する気体
の風量の調整を行った。この場合、供給される気体量が
異なることにより各通風口から供給される気体の流れど
うしが干渉してバーナ火炎を乱す現象が発生し、堆積効
率の低下を招き、堆積量が不安定となってしまったため
に堆積量が変化し、外径変動を誘発する結果となる場合
があった。
【００１３】そこで火炎の乱れを抑えるべくバーナ構造
について検討を進めた結果、助燃性ガス又は不活性ガス
を噴出するポートからのガスの流速を８ｍ／秒以上とす
るのが好ましいことがわかった。これにより、助燃性ガ
ス又は不活性ガスが火炎をガイドする形となり、バーナ
火炎の指向性が高まり、供給する気体の流れの乱れの影
響が低減されるので、火炎の乱れを抑えることができ
る。
について検討を進めた結果、助燃性ガス又は不活性ガス
を噴出するポートからのガスの流速を８ｍ／秒以上とす
るのが好ましいことがわかった。これにより、助燃性ガ
ス又は不活性ガスが火炎をガイドする形となり、バーナ
火炎の指向性が高まり、供給する気体の流れの乱れの影
響が低減されるので、火炎の乱れを抑えることができ
る。
【００１４】
【発明の実施の形態】以下、本発明の方法について図面
を参照して説明する。なお、以下、供給する気体を空気
として説明するが、本発明の方法においては空気に代え
て窒素などの不活性ガスを使用することができる。図１
及び図２は、それぞれ本発明の方法を実施するための装
置構成の１例を模式的に示す説明図である。本発明の方
法は、基本的には排気管３を設けた反応容器２内に、た
て方向に支持され回転する出発ロッドに対向させて複数
本のガラス微粒子合成用バーナ４を略均等間隔に配置
し、出発ロッド１とバーナ４とを平行に相対的に往復運
動させながら（図の例では出発ロッド１を上下方向に往
復運動させる）、バーナ４で合成されるガラス微粒子を
出発ロッド１の表面に一層ずつ堆積させて多孔質ガラス
母材５を製造する方法である。
を参照して説明する。なお、以下、供給する気体を空気
として説明するが、本発明の方法においては空気に代え
て窒素などの不活性ガスを使用することができる。図１
及び図２は、それぞれ本発明の方法を実施するための装
置構成の１例を模式的に示す説明図である。本発明の方
法は、基本的には排気管３を設けた反応容器２内に、た
て方向に支持され回転する出発ロッドに対向させて複数
本のガラス微粒子合成用バーナ４を略均等間隔に配置
し、出発ロッド１とバーナ４とを平行に相対的に往復運
動させながら（図の例では出発ロッド１を上下方向に往
復運動させる）、バーナ４で合成されるガラス微粒子を
出発ロッド１の表面に一層ずつ堆積させて多孔質ガラス
母材５を製造する方法である。
【００１５】これらの例では、反応容器２に６本のバー
ナ４がセットされている。それぞれのバーナ４と反応容
器２との間には隙間が設けられ、それぞれのバーナ４の
周囲を囲む形で通風口６を形成している。本発明の方法
では、これらの通風口６から異なる流量及び／又は温度
の空気を、多孔質ガラス母材５の方向へ空気の流れを形
成するように供給し、多孔質ガラス母材５の周囲の温度
雰囲気が、嵩密度の変化が許容範囲内となる±１５℃の
略均一な雰囲気となるように制御する。供給する空気は
母材５への異物付着を防止するため、０．３μｍ以上の
ダストを９９．９７％以上集塵できるフィルタを通した
清浄空気（クリーンエア）とするのが好ましい。さらに
詳しくは本発明におけるバーナ周りの空気溜がクラス１
００の雰囲気となるようにするのが好ましい。
ナ４がセットされている。それぞれのバーナ４と反応容
器２との間には隙間が設けられ、それぞれのバーナ４の
周囲を囲む形で通風口６を形成している。本発明の方法
では、これらの通風口６から異なる流量及び／又は温度
の空気を、多孔質ガラス母材５の方向へ空気の流れを形
成するように供給し、多孔質ガラス母材５の周囲の温度
雰囲気が、嵩密度の変化が許容範囲内となる±１５℃の
略均一な雰囲気となるように制御する。供給する空気は
母材５への異物付着を防止するため、０．３μｍ以上の
ダストを９９．９７％以上集塵できるフィルタを通した
清浄空気（クリーンエア）とするのが好ましい。さらに
詳しくは本発明におけるバーナ周りの空気溜がクラス１
００の雰囲気となるようにするのが好ましい。
【００１６】図１の例における空気の供給方式は、反応
容器２の外側に各通風口６及びバーナ４の列全体を覆う
形で耐熱性の繊維で作製された覆い７を設けて空気溜８
を形成し、この空気溜８内にクリーンエア発生器９から
のクリーンエアを供給し、各通風口６から反応容器２内
へ供給する方法である。覆い７は反応容器２とは非接触
となるように隙間１０を開けて設置し、外気が覆い７内
に入らないように隙間１０からクリーンエアが漏れ出る
程度にクリーンエアの供給量を調整する。このような方
式としたのは反応容器２と覆い７とを接触させると、耐
熱繊維であってもガラス微粒子堆積中に劣化損傷して、
母材５への異物付着の原因となるおそれがあるためであ
る。通風口６は図７に示すように反応容器２のバーナ取
り込み箇所１５の近傍に設けた開口であってもよい。こ
の通風口の形状は矩形であっても長円であってもよい。
通風口は各バーナ取り込み箇所の横に設けなくともよ
く、例えば一つ置きにバーナ取り込み箇所の横に設けて
もよい。また、複数のバーナ取り込み箇所の横に一つの
細長い通風口を設けてもよい。
容器２の外側に各通風口６及びバーナ４の列全体を覆う
形で耐熱性の繊維で作製された覆い７を設けて空気溜８
を形成し、この空気溜８内にクリーンエア発生器９から
のクリーンエアを供給し、各通風口６から反応容器２内
へ供給する方法である。覆い７は反応容器２とは非接触
となるように隙間１０を開けて設置し、外気が覆い７内
に入らないように隙間１０からクリーンエアが漏れ出る
程度にクリーンエアの供給量を調整する。このような方
式としたのは反応容器２と覆い７とを接触させると、耐
熱繊維であってもガラス微粒子堆積中に劣化損傷して、
母材５への異物付着の原因となるおそれがあるためであ
る。通風口６は図７に示すように反応容器２のバーナ取
り込み箇所１５の近傍に設けた開口であってもよい。こ
の通風口の形状は矩形であっても長円であってもよい。
通風口は各バーナ取り込み箇所の横に設けなくともよ
く、例えば一つ置きにバーナ取り込み箇所の横に設けて
もよい。また、複数のバーナ取り込み箇所の横に一つの
細長い通風口を設けてもよい。
【００１７】反応容器２内への外気の混入を防ぐために
は隙間１０はない方が好ましい。図２はこの隙間１０の
ない構成の１例を示すもので、反応容器２の外側に各通
風口６及びバーナ４の列全体を囲む枠１１を反応容器２
との間に隙間を設けることなく設置し、この枠１１にこ
れも隙間のない形で覆い７を取り付けて空気溜８を形成
している。この方式による空気溜８の１例の詳細図を図
３に示す。ここで枠１１は金属等の耐熱性の高い材料で
形成されており、フィン１３を設けて熱の放散をよくし
ている。図１、２において供給する空気の流れを点線で
表示した。
は隙間１０はない方が好ましい。図２はこの隙間１０の
ない構成の１例を示すもので、反応容器２の外側に各通
風口６及びバーナ４の列全体を囲む枠１１を反応容器２
との間に隙間を設けることなく設置し、この枠１１にこ
れも隙間のない形で覆い７を取り付けて空気溜８を形成
している。この方式による空気溜８の１例の詳細図を図
３に示す。ここで枠１１は金属等の耐熱性の高い材料で
形成されており、フィン１３を設けて熱の放散をよくし
ている。図１、２において供給する空気の流れを点線で
表示した。
【００１８】本発明の方法においては、各通風口から流
量もしくは流量及び温度を変えた空気を供給する。通常
は流量は上にいくほど多くし、温度は上にいくほど低く
なるようにする。空気流量の調整手段は特に限定される
ものではないが、その１例を図４に示す。この例では図
４（ｃ）に示すような中央にバーナ４より径の大きい穴
を有する２分割された金属性の調整プレート１４を、バ
ーナ４を挟んで通風口６の一部を覆うように取付け、そ
の間隔を調整することによって通風口１４の開口度を調
整する。図４（ａ）はバーナ４に垂直な方向から見た断
面図、図４（ｂ）は上方から見た断面図である。この方
法は図１、２のように空気溜８を設ける形式の場合に好
適である。他の空気流量の調整手段として、各通風口ご
とに空気の供給配管を設け、それぞれの通風口への空気
供給量を調整する方法もあるが、空気溜を設ける方式に
比べて装置が複雑化する。
量もしくは流量及び温度を変えた空気を供給する。通常
は流量は上にいくほど多くし、温度は上にいくほど低く
なるようにする。空気流量の調整手段は特に限定される
ものではないが、その１例を図４に示す。この例では図
４（ｃ）に示すような中央にバーナ４より径の大きい穴
を有する２分割された金属性の調整プレート１４を、バ
ーナ４を挟んで通風口６の一部を覆うように取付け、そ
の間隔を調整することによって通風口１４の開口度を調
整する。図４（ａ）はバーナ４に垂直な方向から見た断
面図、図４（ｂ）は上方から見た断面図である。この方
法は図１、２のように空気溜８を設ける形式の場合に好
適である。他の空気流量の調整手段として、各通風口ご
とに空気の供給配管を設け、それぞれの通風口への空気
供給量を調整する方法もあるが、空気溜を設ける方式に
比べて装置が複雑化する。
【００１９】供給する空気の温度の調整手段も特に限定
されないが、各通風口ごとに空気の供給配管を設け、適
当な個所に冷却手段又は加熱手段を単独又は組み合わせ
て設置する方法が一般的である。
されないが、各通風口ごとに空気の供給配管を設け、適
当な個所に冷却手段又は加熱手段を単独又は組み合わせ
て設置する方法が一般的である。
【００２０】本発明の方法において通風口から供給する
空気の流量や温度は、多孔質ガラス母材５の周囲の温度
雰囲気が、嵩密度の変化が許容範囲内となる±１５℃の
略均一な雰囲気となるように制御する。各通風口への空
気の流量や温度の具体的な設定方法としては、例えば多
孔質ガラス母材の上端と下端の温度を測定しその温度差
に対応して、予め経験的に求めた設定値に準じて設定す
る方法が簡便である。また、適当な温度測定手段を設け
て各バーナごとにそれぞれのバーナで合成されるガラス
微粒子が堆積している堆積面の温度を測定し（図１、２
には放射温度計１２を設ける例を示した）、各堆積面の
温度がほぼ均一に保たれるように通風口から供給する空
気の流量や温度を調整するようにすれば、より精密な制
御が可能である。
空気の流量や温度は、多孔質ガラス母材５の周囲の温度
雰囲気が、嵩密度の変化が許容範囲内となる±１５℃の
略均一な雰囲気となるように制御する。各通風口への空
気の流量や温度の具体的な設定方法としては、例えば多
孔質ガラス母材の上端と下端の温度を測定しその温度差
に対応して、予め経験的に求めた設定値に準じて設定す
る方法が簡便である。また、適当な温度測定手段を設け
て各バーナごとにそれぞれのバーナで合成されるガラス
微粒子が堆積している堆積面の温度を測定し（図１、２
には放射温度計１２を設ける例を示した）、各堆積面の
温度がほぼ均一に保たれるように通風口から供給する空
気の流量や温度を調整するようにすれば、より精密な制
御が可能である。
【００２１】本発明の方法においては、ガラス微粒子合
成用バーナとしてできるだけ指向性の高いバーナ、例え
ば使用範囲において８ｍ／秒以上の流速で助燃性ガス又
は不活性ガスを噴出させることができるポートを有する
バーナを使用し、助燃性ガス又は不活性ガスを噴出する
ポートのいずれかから噴出するガスの流速が８ｍ／秒以
上となるようにするのが望ましい。これによって通風口
から供給する空気の流れによる火炎の乱れが抑制され堆
積量が安定する効果がある。
成用バーナとしてできるだけ指向性の高いバーナ、例え
ば使用範囲において８ｍ／秒以上の流速で助燃性ガス又
は不活性ガスを噴出させることができるポートを有する
バーナを使用し、助燃性ガス又は不活性ガスを噴出する
ポートのいずれかから噴出するガスの流速が８ｍ／秒以
上となるようにするのが望ましい。これによって通風口
から供給する空気の流れによる火炎の乱れが抑制され堆
積量が安定する効果がある。
【００２２】上記の指向性の高いバーナとしては、例え
ば図５に示すような多重管中に中心側の多重管を取り囲
むように開口部の小さいガス噴出ポートを有するバーナ
がある。図５において１７はＳｉＣｌ4 などの原料ガス
のみ又は原料ガスとＨ2 などの可燃性ガスを噴出させる
原料ガス噴出ポート、１８及び２１はＡｒやＮ2 などの
不活性ガスを噴出させる不活性ガス噴出ポート、１９は
Ｈ2 やメタンなどの炭化水素がすなどの可燃性ガスを噴
出させる可燃性ガス噴出ポート、２０及び２２はＯ2 な
どの助燃性ガスを噴出させる助燃性ガス噴出ポートであ
る。また、図６に示すような構造の多重管バーナも好適
に使用できる。図６において２３は原料ガス噴出ポー
ト、２４及び２７は可燃性ガス噴出ポート、２５及び２
８は不活性ガス噴出ポート、２６及び２９は助燃性ガス
噴出ポートであり、３０は風防（ガイド）である。
ば図５に示すような多重管中に中心側の多重管を取り囲
むように開口部の小さいガス噴出ポートを有するバーナ
がある。図５において１７はＳｉＣｌ4 などの原料ガス
のみ又は原料ガスとＨ2 などの可燃性ガスを噴出させる
原料ガス噴出ポート、１８及び２１はＡｒやＮ2 などの
不活性ガスを噴出させる不活性ガス噴出ポート、１９は
Ｈ2 やメタンなどの炭化水素がすなどの可燃性ガスを噴
出させる可燃性ガス噴出ポート、２０及び２２はＯ2 な
どの助燃性ガスを噴出させる助燃性ガス噴出ポートであ
る。また、図６に示すような構造の多重管バーナも好適
に使用できる。図６において２３は原料ガス噴出ポー
ト、２４及び２７は可燃性ガス噴出ポート、２５及び２
８は不活性ガス噴出ポート、２６及び２９は助燃性ガス
噴出ポートであり、３０は風防（ガイド）である。
【００２３】このような形式のバーナにおいては、各ポ
ートから噴出するガスの流速は図５の形式のバーナでは
１〜４０ｍ／秒程度であるが、助燃性ガス噴出ポート２
０から噴出するガスの流速は１０〜４０ｍ／秒程度であ
る。また、ず６の形式のバーナにおいては、助燃性ガス
噴出ポート２６又は２９のいずれかから噴出するガスの
流速が８ｍ／秒以上である。別のタイプのバーナにおい
ては、各ポートのうちの助燃性ガス噴出ポート又は不活
性ガス噴出ポート、特に最外側の助燃性ガス噴出ポート
からのガスの流速を８ｍ／秒以上とするのが好ましい。
ートから噴出するガスの流速は図５の形式のバーナでは
１〜４０ｍ／秒程度であるが、助燃性ガス噴出ポート２
０から噴出するガスの流速は１０〜４０ｍ／秒程度であ
る。また、ず６の形式のバーナにおいては、助燃性ガス
噴出ポート２６又は２９のいずれかから噴出するガスの
流速が８ｍ／秒以上である。別のタイプのバーナにおい
ては、各ポートのうちの助燃性ガス噴出ポート又は不活
性ガス噴出ポート、特に最外側の助燃性ガス噴出ポート
からのガスの流速を８ｍ／秒以上とするのが好ましい。
【００２４】上記のようにバーナの周囲に設けた通風口
から流量や温度を調整した空気を供給して、多孔質ガラ
ス母材の周囲の温度雰囲気を略均一に保持することによ
り、母材の嵩密度を均一化し、外径変動を抑制する効果
がある。それに加えて、ガラス微粒子の堆積中に母材に
堆積できなかったガラス微粒子の反応容器からの排出効
率が向上するという効果もあり、清掃の手間が減り、段
取り時間の減少という効果がある。
から流量や温度を調整した空気を供給して、多孔質ガラ
ス母材の周囲の温度雰囲気を略均一に保持することによ
り、母材の嵩密度を均一化し、外径変動を抑制する効果
がある。それに加えて、ガラス微粒子の堆積中に母材に
堆積できなかったガラス微粒子の反応容器からの排出効
率が向上するという効果もあり、清掃の手間が減り、段
取り時間の減少という効果がある。
【００２５】一般に母材に付着できなかったガラス微粒
子は、反応容器に設けられた排気管から排出するように
しているが、反応容器の壁面に堆積することがある。特
に反応容器の上部に付着したガラス微粒子は影響が大き
く、これが自重により剥がれて母材に再付着し、焼結透
明化後に気泡発生の要因となる。本発明の方法によれ
ば、通風口からの空気の流れは、通風口付近では多少乱
れるものの、母材に近づくにつれ噴流型バーナの火炎の
流れに乗り、スムースな流れを形成するようになる。こ
の流れは排気管にスムースに吸い込まれていき、その結
果、母材に付着し切れなかったガラス微粒子が排出され
やすくなる。これにより、容器壁から剥がれた微粒子が
再付着するおそれは少なくなる。
子は、反応容器に設けられた排気管から排出するように
しているが、反応容器の壁面に堆積することがある。特
に反応容器の上部に付着したガラス微粒子は影響が大き
く、これが自重により剥がれて母材に再付着し、焼結透
明化後に気泡発生の要因となる。本発明の方法によれ
ば、通風口からの空気の流れは、通風口付近では多少乱
れるものの、母材に近づくにつれ噴流型バーナの火炎の
流れに乗り、スムースな流れを形成するようになる。こ
の流れは排気管にスムースに吸い込まれていき、その結
果、母材に付着し切れなかったガラス微粒子が排出され
やすくなる。これにより、容器壁から剥がれた微粒子が
再付着するおそれは少なくなる。
【００２６】
【実施例】以下、実施例により本発明の方法をさらに具
体的に説明するが、本発明はこれに限定されるものでは
ない。図１の構成の装置により、多孔質ガラス母材の製
造試験を行った。ただし、バーナ４の本数は４本とし、
隙間１０の間隔は５ｍｍとした。使用したバーナ４は図
５に示した構造の多重管バーナであり、外径は６０ｍｍ
のものである。反応容器２のバーナ４を取り付ける部分
の穴の径を７５ｍｍとし、バーナ４の周囲に隙間を形成
させて通風口６とした。
体的に説明するが、本発明はこれに限定されるものでは
ない。図１の構成の装置により、多孔質ガラス母材の製
造試験を行った。ただし、バーナ４の本数は４本とし、
隙間１０の間隔は５ｍｍとした。使用したバーナ４は図
５に示した構造の多重管バーナであり、外径は６０ｍｍ
のものである。反応容器２のバーナ４を取り付ける部分
の穴の径を７５ｍｍとし、バーナ４の周囲に隙間を形成
させて通風口６とした。
【００２７】（例１）
出発ロッド１（直径３６ｍｍ、長さ１５００ｍｍ）に対
向させて４本のバーナ４を２００ｍｍ間隔で配置し、出
発ロッド１を軸回りに回転させながら往復運動させる方
式でガラス微粒子の堆積を行った。通風口６は四つとも
７５ｍｍの外径とした。堆積工程の間、クリーンエア発
生器９の平均吹き出し流量を２０ｍ3 ／ｍｉｎで、常温
のクリーンエア（大きさ０．５μｍ以上のダスト数が４
０個／ｍ3 ：レーザパーティクルカウンタを用いて散乱
光強度の検出により測定）を空気溜８に供給するように
した。その結果、得られた多孔質ガラス母材５の形状
は、外径が有効部（長さ６００ｍｍ）の最上部で２４５
ｍｍ、最下部で２６０ｍｍであった。多孔質ガラス母材
５の全長にクリーンエアを与えることで、多孔質ガラス
母材５の長さ方向の温度差が緩和され、得られた多孔質
ガラス母材は使用可能なものであった。
向させて４本のバーナ４を２００ｍｍ間隔で配置し、出
発ロッド１を軸回りに回転させながら往復運動させる方
式でガラス微粒子の堆積を行った。通風口６は四つとも
７５ｍｍの外径とした。堆積工程の間、クリーンエア発
生器９の平均吹き出し流量を２０ｍ3 ／ｍｉｎで、常温
のクリーンエア（大きさ０．５μｍ以上のダスト数が４
０個／ｍ3 ：レーザパーティクルカウンタを用いて散乱
光強度の検出により測定）を空気溜８に供給するように
した。その結果、得られた多孔質ガラス母材５の形状
は、外径が有効部（長さ６００ｍｍ）の最上部で２４５
ｍｍ、最下部で２６０ｍｍであった。多孔質ガラス母材
５の全長にクリーンエアを与えることで、多孔質ガラス
母材５の長さ方向の温度差が緩和され、得られた多孔質
ガラス母材は使用可能なものであった。
【００２８】（例２）
図４に示したような金属製の調整プレート１４を使用し
て各バーナ４の周囲の通風口６の大きさを調整した他は
例１と同じ条件で多孔質ガラス母材５を作製した。通風
口６の大きさは外径が上から順に７５ｍｍ、７３ｍｍ、
７０ｍｍ、６５ｍｍ程度となるようにした。その結果、
母材５の外径は有効部（長さ６００ｍｍ）の最上部で２
５２ｍｍ、最下部で２６０ｍｍであり、外径の均一化効
果が顕著に認められた。
て各バーナ４の周囲の通風口６の大きさを調整した他は
例１と同じ条件で多孔質ガラス母材５を作製した。通風
口６の大きさは外径が上から順に７５ｍｍ、７３ｍｍ、
７０ｍｍ、６５ｍｍ程度となるようにした。その結果、
母材５の外径は有効部（長さ６００ｍｍ）の最上部で２
５２ｍｍ、最下部で２６０ｍｍであり、外径の均一化効
果が顕著に認められた。
【００２９】（例３）
図７に示したように各バーナ横にバーナ取り込み箇所１
５から１０ｃｍ離れた位置に通風口６を設けた。各通風
口の縦の長さは６０ｍｍで一定とし、横幅をそれぞれ１
３、１１、９、４ｍｍとし、上に位置する通風口ほど横
幅が大きくなるようにした。通風口の形状以外は例２と
同じ条件とした。得られた母材の外径は最上部で２５８
ｍｍ、最下部で２６２ｍｍであり、実施例２と同等の効
果が得られた。
５から１０ｃｍ離れた位置に通風口６を設けた。各通風
口の縦の長さは６０ｍｍで一定とし、横幅をそれぞれ１
３、１１、９、４ｍｍとし、上に位置する通風口ほど横
幅が大きくなるようにした。通風口の形状以外は例２と
同じ条件とした。得られた母材の外径は最上部で２５８
ｍｍ、最下部で２６２ｍｍであり、実施例２と同等の効
果が得られた。
【００３０】（例４）例２
の方法において、各バーナ４の周囲の隙間（通風口
６）から、放射温度計１２により堆積面温度を測定し、
堆積面温度が７００℃となるように調整プレート１４を
使用して通風口６の大きさを微調整しながら多孔質ガラ
ス母材５を作製した。その結果、母材５の外径は有効部
（長さ６００ｍｍ）の最上部で２５８ｍｍ、最下部で２
６０ｍｍであり、さらに均一な母材５を得ることができ
た。
６）から、放射温度計１２により堆積面温度を測定し、
堆積面温度が７００℃となるように調整プレート１４を
使用して通風口６の大きさを微調整しながら多孔質ガラ
ス母材５を作製した。その結果、母材５の外径は有効部
（長さ６００ｍｍ）の最上部で２５８ｍｍ、最下部で２
６０ｍｍであり、さらに均一な母材５を得ることができ
た。
【００３１】（例５）
反応容器２、バーナ４、通風口６の構成は例１と同じに
し、各通風口６へは温度の異なるクリーンエアを供給で
きるように配管した。供給クリーンエアの温度を３０
℃、供給量をバーナ１本につき４ｍ3 ／ｍｉｎとして堆
積を開始したところ、堆積面の温度は有効部の最上部が
７２０℃であったのに対し、最下部は６９０℃で約３０
℃の温度差が認められた。均一な温度のクリーンエアを
多孔質ガラス母材５の全長に与えることで、多孔質ガラ
ス母材５の長さ方向の温度差が緩和され、堆積面の温度
を中心値に対して±１５℃以内の範囲に収めることがで
きた。
し、各通風口６へは温度の異なるクリーンエアを供給で
きるように配管した。供給クリーンエアの温度を３０
℃、供給量をバーナ１本につき４ｍ3 ／ｍｉｎとして堆
積を開始したところ、堆積面の温度は有効部の最上部が
７２０℃であったのに対し、最下部は６９０℃で約３０
℃の温度差が認められた。均一な温度のクリーンエアを
多孔質ガラス母材５の全長に与えることで、多孔質ガラ
ス母材５の長さ方向の温度差が緩和され、堆積面の温度
を中心値に対して±１５℃以内の範囲に収めることがで
きた。
【００３２】（例６）例５
で上下の温度差が認められたので、各通風口６の開
口度はそのままとし、供給するクリーンエアの温度を上
から順に３０℃、６０℃、９０℃、１２０℃として多孔
質ガラス母材５を作製した。その結果、母材５の外径は
有効部（長さ６００ｍｍ）の最上部で２５７ｍｍ、最下
部で２５８ｍｍであり、均一な母材５を得ることができ
た。また、堆積の間、ガラス堆積面の温度も有効部の最
上部が７２０℃、最下部は７１６℃と均一化されてい
た。
口度はそのままとし、供給するクリーンエアの温度を上
から順に３０℃、６０℃、９０℃、１２０℃として多孔
質ガラス母材５を作製した。その結果、母材５の外径は
有効部（長さ６００ｍｍ）の最上部で２５７ｍｍ、最下
部で２５８ｍｍであり、均一な母材５を得ることができ
た。また、堆積の間、ガラス堆積面の温度も有効部の最
上部が７２０℃、最下部は７１６℃と均一化されてい
た。
【００３３】
【発明の効果】本発明の方法によれば、大型の多孔質ガ
ラス母材の製造において、より単純な装置構成で、母材
の長さ方向の嵩密度を均一化し、外径変動を抑制できる
効果がある。さらに、ガラス微粒子の堆積中に母材に堆
積できなかったガラス微粒子の反応容器からの排出効率
が向上するという効果もあり、清掃の手間が減り、段取
り時間の減少という効果がある。
ラス母材の製造において、より単純な装置構成で、母材
の長さ方向の嵩密度を均一化し、外径変動を抑制できる
効果がある。さらに、ガラス微粒子の堆積中に母材に堆
積できなかったガラス微粒子の反応容器からの排出効率
が向上するという効果もあり、清掃の手間が減り、段取
り時間の減少という効果がある。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の方法を実施するための装置構成の１例
を模式的に示す説明図。
を模式的に示す説明図。
【図２】本発明の方法を実施するための装置構成の他の
１例を模式的に示す説明図。
１例を模式的に示す説明図。
【図３】図２の方式による空気溜８の１例を示す詳細
図。
図。
【図４】通風口への空気流量の調整手段の１例を示す説
明図。
明図。
【図５】本発明の方法において、好適に使用できるバー
ナ構造の１例を示す断面図。
ナ構造の１例を示す断面図。
【図６】本発明の方法において、好適に使用できるバー
ナ構造の他の１例を示す説明図。
ナ構造の他の１例を示す説明図。
【図７】通風口の設置方式の１例を示す説明図。
１ 出発ロッド ２ 反応容器 ３ 排気管 ４
バーナ ５ 多孔質ガラス母材 ６ 通風口 ７ 覆い
８ 空気溜 ９ クリーンエア発生器 １０ 隙間 １１ 枠
１２ 放射温度計 １３ フィン １４ 調整プレート １５ バーナ
取り込み箇所 １７ 原料ガス噴出ポート １８、２１ 不活性ガ
ス噴出ポート １９ 可燃性ガス噴出ポート ２０、２２ 助燃性ガ
ス噴出ポート ２３ 原料ガス噴出ポート ２４、２７ 可燃性ガス
噴出ポート ２５、２８ 不活性ガス噴出ポート ２６、２９ 助
燃性ガス噴出ポート ３０ 風防
バーナ ５ 多孔質ガラス母材 ６ 通風口 ７ 覆い
８ 空気溜 ９ クリーンエア発生器 １０ 隙間 １１ 枠
１２ 放射温度計 １３ フィン １４ 調整プレート １５ バーナ
取り込み箇所 １７ 原料ガス噴出ポート １８、２１ 不活性ガ
ス噴出ポート １９ 可燃性ガス噴出ポート ２０、２２ 助燃性ガ
ス噴出ポート ２３ 原料ガス噴出ポート ２４、２７ 可燃性ガス
噴出ポート ２５、２８ 不活性ガス噴出ポート ２６、２９ 助
燃性ガス噴出ポート ３０ 風防
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フロントページの続き
(51)Int.Cl.7 識別記号 ＦＩ
Ｇ０２Ｂ 6/00 ３５６ Ｇ０２Ｂ 6/00 ３５６Ａ
(56)参考文献 特開 平10−72229（ＪＰ，Ａ)
特開 平10−53430（ＪＰ，Ａ)
特開 平７−300332（ＪＰ，Ａ)
特開 昭60−231431（ＪＰ，Ａ)
特開 平４−260618（ＪＰ，Ａ)
特開 平５−306136（ＪＰ，Ａ)
(58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名)
C03B 8/04
C03B 20/00
C03B 37/00 - 37/16
Claims (10)
- 【請求項１】 反応容器内に支持され回転する出発ロッ
ドに対向させて複数本のガラス微粒子合成用バーナを配
置し、前記出発ロッドとガラス微粒子合成用バーナとを
平行に相対的に往復運動させながらバーナで合成される
ガラス微粒子を出発ロッドの表面に一層ずつ堆積させて
多孔質ガラス母材を製造する方法において、前記バーナ
を反応容器にセットした状態において、反応容器のバー
ナ取り込み箇所の近傍に通風口を設け、該通風口から母
材に向け、母材の長さ方向に異なる流量で気体を供給す
ることを特徴とする多孔質ガラス母材の製造方法。 - 【請求項２】 前記通風口がバーナ周囲にあることを特
徴とする請求項１に記載の多孔質ガラス母材の製造方
法。 - 【請求項３】 前記通風口から母材に向け、母材の長さ
方向で温度の異なる気体を供給することを特徴とする請
求項１又は２に記載の多孔質ガラス母材の製造方法。 - 【請求項４】 前記通風口から供給する気体の温度を、
各通風口ごとに変えることを特徴とする請求項１〜３の
いずれか１項に記載の多孔質ガラス母材の製造方法。 - 【請求項５】 前記往復運動を、バーナを固定し出発ロ
ッドを往復運動させる方式とし、反応容器の外側にバー
ナ列全体を囲む枠を設け、該枠にバーナ列全体を覆う覆
いを取り付けて空気溜を形成し、該空気溜内に清浄気体
を供給して該清浄気体を前記通風口から母材に向けて供
給することを特徴とする請求項１〜４のいずれか１項に
記載の多孔質ガラス母材の製造方法。 - 【請求項６】 各バーナごとにそれぞれのバーナで合成
されるガラス微粒子が堆積している堆積面の温度を測定
し、各堆積面の温度がほぼ均一に保たれるように通風口
から供給される気体の流量もしくは流量及び温度を調整
することを特徴とする請求項１〜５のいずれか１項に記
載の多孔質ガラス母材の製造方法。 - 【請求項７】 通風口から母材に向けて供給される気体
の量の調整を、前記通風口の開口度を調整することによ
って行うことを特徴とする請求項１〜６のいずれか１項
に記載の多孔質ガラス母材の製造方法。 - 【請求項８】 通風口から母材に向けて供給される気体
の量の調整を、前記通風口へ供給する気体の量を調整す
ることによって行うことを特徴とする請求項１〜６のい
ずれか１項に記載の多孔質ガラス母材の製造方法。 - 【請求項９】 前記気体が空気又は不活性ガスであるこ
とを特徴とする請求項１〜８のいずれか１項に記載の多
孔質ガラス母材の製造方法。 - 【請求項１０】 前記ガラス微粒子合成用バーナとし
て、助燃性ガス又は不活性ガスを噴出するポートのいず
れかから噴出するガスの流速が８ｍ／秒以上のものを使
用することを特徴とする請求項１〜９のいずれか１項に
記載の多孔質ガラス母材の製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2002233144A JP3521903B2 (ja) | 2001-08-09 | 2002-08-09 | 多孔質ガラス母材の製造方法 |
Applications Claiming Priority (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2001-241775 | 2001-08-09 | ||
| JP2001241775 | 2001-08-09 | ||
| JP2002233144A JP3521903B2 (ja) | 2001-08-09 | 2002-08-09 | 多孔質ガラス母材の製造方法 |
Publications (3)
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|---|---|
| JP2003119035A JP2003119035A (ja) | 2003-04-23 |
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ID=26620253
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| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2002233144A Expired - Fee Related JP3521903B2 (ja) | 2001-08-09 | 2002-08-09 | 多孔質ガラス母材の製造方法 |
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|---|---|---|---|---|
| JP4857172B2 (ja) * | 2007-04-16 | 2012-01-18 | 株式会社フジクラ | 光ファイバ用ガラス母材の製造装置及び製造方法 |
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| JP5671850B2 (ja) * | 2010-06-25 | 2015-02-18 | 住友電気工業株式会社 | ガラス微粒子堆積体の製造方法 |
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-
2002
- 2002-08-09 JP JP2002233144A patent/JP3521903B2/ja not_active Expired - Fee Related
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