JP3514122B2 - Surface defect inspection equipment - Google Patents

Surface defect inspection equipment

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JP3514122B2
JP3514122B2 JP17925998A JP17925998A JP3514122B2 JP 3514122 B2 JP3514122 B2 JP 3514122B2 JP 17925998 A JP17925998 A JP 17925998A JP 17925998 A JP17925998 A JP 17925998A JP 3514122 B2 JP3514122 B2 JP 3514122B2
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inspected
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    • G01NINVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N21/00Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
    • G01N21/84Systems specially adapted for particular applications
    • G01N21/88Investigating the presence of flaws or contamination
    • G01N21/8806Specially adapted optical and illumination features

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Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、被測定面が平面で
あるか曲面であるかを問わず、均一な精度で欠陥の検出
が可能な表面欠陥検査装置に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a surface defect inspection apparatus capable of detecting defects with uniform accuracy regardless of whether the surface to be measured is a flat surface or a curved surface.

【0002】[0002]

【従来の技術】従来の表面欠陥検査装置としては、特開
平8−285559号公報、および特開平9−7998
8号公報に開示されているものがある。これらは、被検
査面にストライプ模様を映し出し、このストライプ模様
をCCDカメラに取り込んで画像処理し、この処理結果
に基づいて欠陥を検出する装置に関するものであるが、
被検査面が傾斜、湾曲している場合でも、欠陥の検出精
度が低下しないように工夫されている。
2. Description of the Related Art As a conventional surface defect inspection apparatus, there are JP-A-8-285559 and JP-A-9-7998.
There is one disclosed in Japanese Patent No. These are related to a device that projects a stripe pattern on a surface to be inspected, captures the stripe pattern in a CCD camera, performs image processing, and detects a defect based on the processing result.
Even if the surface to be inspected is inclined or curved, it is devised so that the detection accuracy of defects does not decrease.

【0003】[0003]

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、このよ
うな従来の欠陥検査装置にあっては、被検査面の傾斜、
湾曲の状態に基づいてCCDカメラに取り込まれるスト
ライプ模様の均一化、つまり、ストライプのピッチの均
一化を図っているが、被検査面の形状は、車種や部位に
より形状差が大きいために、ストライプピッチの均一化
を図ることができてもCCDカメラに取り込まれるスト
ライプの本数が異なってしまうことが多いため、欠陥の
検出精度は完全に安定したものであるということはでき
ない。これは、ストライプの端に位置する欠陥の検出が
困難であることから、ストライプの本数が増えるとその
分、検出精度が低下することに起因する。
However, in such a conventional defect inspection apparatus, the inclination of the surface to be inspected,
The stripe pattern taken into the CCD camera is made uniform based on the curved state, that is, the stripe pitch is made uniform. However, the shape of the surface to be inspected varies greatly depending on the vehicle model and part, so the stripe pattern Even if the pitch can be made uniform, the number of stripes taken in by the CCD camera is often different, so that the defect detection accuracy cannot be said to be completely stable. This is because it is difficult to detect defects located at the edges of the stripes, and thus the detection accuracy decreases as the number of stripes increases.

【0004】本発明では、このような従来の不具合を解
決するためになされたものであり、CCDカメラに取り
込まれるストライプの本数が常に一定になるようにし
て、被測定面が平面であるか曲面であるかを問わず、均
一な精度での欠陥の検出を可能にする表面欠陥検査装置
の提供を目的とする。
The present invention has been made in order to solve such a conventional problem, and the number of stripes taken into the CCD camera is always constant so that the measured surface is a flat surface or a curved surface. It is an object of the present invention to provide a surface defect inspection apparatus capable of detecting defects with uniform accuracy regardless of whether the surface defect inspection device is a surface defect inspection device.

【0005】[0005]

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
の本発明は、次のように構成される。
The present invention for achieving the above object is configured as follows.

【0006】請求項1に記載の発明は、複数の照明を列
単位で点灯、消灯させることによって被検査面上にスト
ライプ模様を形成するストライプ模様形成手段と、前記
被検査面上に映っているストライプ模様を入力するスト
ライプ模様入力手段と、前記ストライプ模様入力手段に
よって入力されたストライプ模様からストライプの数を
抽出し、抽出したストライプの数が一定の数になるよう
に、前記ストライプ模様形成手段の照明の点灯と消灯を
列単位で制御する制御手段とを有することを特徴とす
る。
According to the first aspect of the invention, a plurality of lights are arranged in a row.
Stripe pattern forming means for forming a stripe pattern on the surface to be inspected by turning on and off in units, stripe pattern input means for inputting a stripe pattern reflected on the surface to be inspected, and stripe pattern input means The number of stripes from the entered stripe pattern
The lights of the stripe pattern forming means are turned on and off so that the number of the extracted stripes becomes a constant number.
It has a control means for controlling in a column unit .

【0007】請求項2に記載の発明は、請求項1に記載
の表面欠陥検査装置において、前記ストライプ模様形成
手段は、アーチ状の照明を複数列並列に配列してトンネ
ル状とした照明手段と、前記照明手段の照明の点灯を列
単位に制御する照明制御手段とを有し、前記被検査面上
にストライプ模様を形成するものであることを特徴とす
る。
The invention as defined in claim 2 is as set forth in claim 1.
In the surface defect inspection device of
Means, illumination means and an arcuate illumination arranged in a plurality of rows parallel tunnel, the lights of illumination of said illumination means and an illumination control means for controlling the column-by-column basis, on the surface to be inspected It is characterized in that it forms a stripe pattern.

【0008】請求項3に記載の発明は、請求項2に記載
の表面欠陥検査装置であって、前記照明手段を構成する
照明は、アーチ状に配列された複数のLEDであること
を特徴とする。
According to a third aspect of the present invention, in the surface defect inspection apparatus according to the second aspect, the illumination constituting the illumination means is a plurality of LEDs arranged in an arch shape. To do.

【0009】請求項4に記載の発明は、請求項1に記載
の表面欠陥検査装置において、前記ストライプ模様形成
手段は、ストライプの幅とピッチを自由に変化させるこ
とができる液晶シャッタと、前記液晶シャッタによって
形成されたストライプを被検査面上に照射する照射手段
を有し、前記被検査面上にストライプ模様を形成する
ものであり、前記制御手段は、ストライプの数が一定の
数になるように、前記液晶シャッタに形成されるストラ
イプのピッチや幅を制御することを特徴とする
The invention as defined in claim 4 is as set forth in claim 1.
In the surface defect inspection device of
Means comprises a liquid crystal shutter capable of the width and pitch of the stripes freely changed, and irradiating means for irradiating the stripes formed by the liquid crystal shutter on the inspected surface, stripes on the surface to be inspected Forming a pattern
Is intended, said control means, so that the number of stripes is constant number, and controls the pitch and width of stripes formed in the liquid crystal shutter.

【0010】[0010]

【発明の効果】以上のように構成された本発明は、各請
求項毎に次のような効果を奏する。
The present invention constructed as described above has the following effects for each claim.

【0011】請求項1に記載の発明にあっては、ストラ
イプ模様入力手段によって入力されるストライプの数が
一定の数になるようにしているので、被検査面が平坦で
あろうが湾曲していようがストライプの本数は常に同じ
本数であり、安定した状態で欠陥の検出をすることがで
きるようになる。したがって、均一な精度で欠陥の検出
をすることができるようになる。
According to the first aspect of the invention, since the number of stripes input by the stripe pattern input means is set to a fixed number, the surface to be inspected may be flat but curved. However, the number of stripes is always the same, and it becomes possible to detect defects in a stable state. Therefore, it becomes possible to detect defects with uniform accuracy.

【0012】請求項2に及び請求項3に記載の発明は、
アーチ状の照明を複数列並列に配列してトンネル状とし
た照明手段の照明の点灯を各列毎に制御することによっ
てストライプの数が一定の数になるようにしているの
で、請求項1の効果と同様の効果に加え、ストライプ本
数の一定化を照明の点灯を制御するという簡単な制御で
実現することができるようになる。
The inventions described in claim 2 and claim 3 are
The number of stripes is set to a constant number by controlling the lighting of the illumination means in a tunnel shape by arranging a plurality of arch-shaped illuminations in parallel in each column, so that the number of stripes is constant. In addition to the effect similar to the effect, the number of stripes can be made constant by a simple control of controlling lighting.

【0013】請求項4に記載の発明は、ストライプ本数
の一定化を液晶シャッタのストライプの幅やピッチを変
えることによって行なっているので、請求項1の効果と
同様の効果に加え、ストライプの照射を非常に小型の装
置で行なうことができるようになる。
According to the fourth aspect of the present invention, since the number of stripes is made constant by changing the width and pitch of the stripes of the liquid crystal shutter, in addition to the same effect as the first aspect, irradiation of the stripes is performed. Can be performed with a very small device.

【0014】[0014]

【発明の実施の形態】以下に、本発明の1実施の形態を
図面に基づいて詳細に説明する。
BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION An embodiment of the present invention will be described below in detail with reference to the drawings.

【0015】図1は、本発明にかかる表面欠陥検査装置
の概略構成図である。図に示す照明手段としての照明装
置10は、複数の照明を一列に配列してアーチ15を形
成し、これを複数列並列に配列してトンネル状(約1.
5m)としたものである。このアーチ15には、図2に
示すように、高輝度LED17が隙間なく一列に配列さ
れ、このLED17の背面側には、反射板が設けてあ
る。このアーチ15は隣りのアーチ15の照明光が入ら
ないように(ストライプのコントラストを向上させ、白
黒の境目がはっきりするようにするため)遮蔽板を介し
て隣り合わせに複数列隙間なく配列され、トンネル状の
照明装置10が形成されている。1つのアーチ15のみ
のLEDが点灯されれば、そのアーチの幅に応じた幅の
ストライプが車体の塗装面に映ることになる。したがっ
て、ストライプの幅は、アーチの点灯列数によって調整
することができる。
FIG. 1 is a schematic configuration diagram of a surface defect inspection apparatus according to the present invention. A lighting device 10 as a lighting unit shown in the figure has a plurality of lights arranged in a line to form an arch 15, and a plurality of lights are arranged in parallel in a tunnel shape (about 1.
5 m). As shown in FIG. 2, high-intensity LEDs 17 are arranged in a line in this arch 15 without a gap, and a reflecting plate is provided on the back side of the LEDs 17. The arches 15 are arranged side by side through a shield plate so as not to allow the illumination light of the adjacent arches 15 to enter (to improve the contrast of stripes and to make the black and white boundaries clear) and to form a tunnel. The illuminating device 10 is formed. When the LED of only one arch 15 is turned on, a stripe having a width corresponding to the width of the arch is reflected on the painted surface of the vehicle body. Therefore, the width of the stripe can be adjusted by the number of lighting columns of the arch.

【0016】塗装後の車体は、この照明装置10の内部
を通過することになるが、照明装置10には、車体に映
るストライプ模様を入力するストライプ模様入力手段と
してのCCDカメラ20が取り付けられている。このC
CDカメラからのストライプ画像は、画像処理装置30
に送られる。なお、図では1台のCCDカメラしか図示
していないが、実際には、検査部位に対応して複数台の
CCDカメラが設けられる。
The painted vehicle body will pass through the interior of the illuminating device 10. The illuminating device 10 is equipped with a CCD camera 20 as a stripe pattern input means for inputting a stripe pattern reflected on the vehicle body. There is. This C
The stripe image from the CD camera is processed by the image processing device 30.
Sent to. Although only one CCD camera is shown in the drawing, actually, a plurality of CCD cameras are provided corresponding to the inspection site.

【0017】画像処理装置30は、入力したストライプ
画像に基づいて、欠陥を抽出するための前処理をするも
のである。
The image processing apparatus 30 performs preprocessing for extracting a defect based on the input stripe image.

【0018】ホストコンピュータ40は、制御手段とし
て機能するものであって、車体の搬送ラインに設けられ
ている測定開始Ls(リミットスイッチ)の測定開始信
号及び搬送ラインのライン速度並びに画像処理装置30
からの画像処理結果に基づいて、CCDカメラ20が撮
像するストライプの本数が一定(規定された本数になる
ように)になるように、ストライプの幅、具体的には、
照明装置10の列毎の点灯を演算し、この結果をストラ
イプ幅指令として出力するものである。また、画像処理
装置30の画像処理結果から塗装面を欠陥を抽出し、そ
の結果をモニター60やプリンター70に表示またはプ
リントさせるものである。
The host computer 40 functions as a control means, and a measurement start signal of a measurement start Ls (limit switch) provided on the conveyance line of the vehicle body, a line speed of the conveyance line, and the image processing device 30.
Based on the image processing result from, the width of the stripes, specifically, the stripe width, specifically, so that the number of stripes captured by the CCD camera 20 becomes constant (so that the specified number).
The lighting of each column of the lighting device 10 is calculated, and the result is output as a stripe width command. Further, a defect on the coated surface is extracted from the image processing result of the image processing device 30, and the result is displayed or printed on the monitor 60 or the printer 70.

【0019】照明コントローラ50は、照明制御手段と
して機能するものであって、ホストコンピュータ40か
らのストライプ幅指令を受けて、照明装置10を構成す
る各アーチ15の照明を列毎に点灯、消灯するものであ
る。なお、照明装置10と照明コントローラ50とによ
ってストライプ模様形成手段が構成される。
The illumination controller 50 functions as illumination control means, and receives a stripe width command from the host computer 40 to turn on / off the illumination of each arch 15 constituting the illumination device 10 for each column. It is a thing. The illumination device 10 and the illumination controller 50 constitute a stripe pattern forming means.

【0020】図3は、本発明に係る表面欠陥検査装置の
動作フローチャートである。以下にこのフローチャート
及び図4乃至図6に基づいて本発明装置の動作を詳細に
説明する。
FIG. 3 is an operation flowchart of the surface defect inspection apparatus according to the present invention. The operation of the device of the present invention will be described in detail below with reference to this flowchart and FIGS.

【0021】このフローチャートにおいて、S1からS
5のステップでは、図4に示すように、車体が搬送され
るにしたがって検査面の形状が変化するが、この形状の
変化によらずに、CCDカメラが撮像するストライプの
本数を一定にするように、照明装置10の照明の点灯を
制御する処理が行なわれる。
In this flowchart, S1 to S
In step 5, as shown in FIG. 4, the shape of the inspection surface changes as the vehicle body is transported, but the number of stripes captured by the CCD camera should be constant regardless of the change in shape. Then, the process of controlling the lighting of the illumination device 10 is performed.

【0022】たとえば、図5に示すように、車体の被検
査面が平坦であるときには、CCDカメラは図のような
幅のストライプ模様を入力することになるが、図6に示
すような曲面になると、CCDカメラがその視野に捕ら
えるストライプ模様の幅は、被測定面が平坦の場合に比
較して狭くなる。もっと曲面の曲率が小さくなると線の
ような細いストライプ模様がたくさん映るようになる。
このように、ストライプの本数が多くなると、欠陥とス
トライプの境界線が一本化してしまい、欠陥が孤立点と
して現れなくなる可能性が増える。上記のステップの処
理では、このような不具合がなくなるようにしている。
For example, as shown in FIG. 5, when the inspected surface of the vehicle body is flat, the CCD camera inputs a stripe pattern having a width as shown in FIG. Then, the width of the stripe pattern captured by the CCD camera in its field of view becomes narrower than that when the surface to be measured is flat. As the curvature of the curved surface becomes smaller, many thin striped patterns such as lines appear.
As described above, when the number of stripes is increased, the boundary line between the defect and the stripe is unified, and the possibility that the defect does not appear as an isolated point increases. In the processing of the above steps, such a problem is eliminated.

【0023】S6のステップでは、前記の処理と並行し
て、CCDカメラの撮像画像に基づいて塗装面の欠陥を
抽出する処理が行なわれる。このフローチャートの1回
の処理に要する時間は60msec程度である。
In step S6, in parallel with the above process, a process for extracting defects on the painted surface based on the image picked up by the CCD camera is performed. The time required for one processing of this flowchart is about 60 msec.

【0024】まず、塗装後の車体が搬送ラインによって
搬送され、測定開始Lsをたたくと、ホストコンピュー
タ40は、照明コントローラ50に被塗装面が平坦であ
る場合のストライプ幅指令(たとえばアーチ15の20
列毎に点灯、消灯を繰り返すという指令)を出力し、照
明装置10はこの指令に基づく点灯間隔でアーチ15を
構成する全てのLED17を点灯させる。CCDカメラ
20は、照明装置10によって形成され、車体の塗装面
に投映されたストライプ模様を含む画像を入力し、これ
を画像処理装置30に送る(S1)。
First, when the vehicle body after painting is conveyed by the conveying line and the measurement start Ls is hit, the host computer 40 instructs the illumination controller 50 to specify a stripe width (for example, 20 of the arch 15 when the surface to be coated is flat).
A command to repeat lighting and extinguishing for each column) is output, and the lighting device 10 lights all the LEDs 17 forming the arch 15 at lighting intervals based on this command. The CCD camera 20 inputs the image including the stripe pattern formed by the lighting device 10 and projected on the painted surface of the vehicle body, and sends it to the image processing device 30 (S1).

【0025】画像処理装置30は、この入力した画像に
二値化処理や微分処理を施して、この画像をホストコン
ピュータ40に送る。ホストコンピュータ40は、画像
処理装置30から送られた画像処理後の画像からストラ
イプ本数を抽出し(S2)、ストライプ本数比を計算す
る。このストライプ本数比は、抽出された画面上のスト
ライプ本数を予め定められている規定ストライプ本数で
割ったものである。たとえば、画面上のストライプ本数
が8本で規定のストライプ本数が5本である場合には、
ストライプ本数比は1.6となる(S3)。
The image processing apparatus 30 performs binarization processing and differentiation processing on the input image and sends the image to the host computer 40. The host computer 40 extracts the number of stripes from the image after image processing sent from the image processing apparatus 30 (S2), and calculates the stripe number ratio. This stripe number ratio is obtained by dividing the number of extracted stripes on the screen by a predetermined number of prescribed stripes. For example, if the number of stripes on the screen is 8 and the prescribed number of stripes is 5,
The stripe number ratio is 1.6 (S3).

【0026】次に、ホストコンピュータ40は指令する
ストライプ幅を計算する。このストライプ幅は、現在の
ストライプ幅(照明比)に前ステップで計算したストラ
イプ本数比をかけることによって算出される。たとえ
ば、照明装置10が200列のアーチから構成されてい
たとすれば、上記の例では20列毎に点灯、消灯を繰り
返しているので、照明比は50%である。これにストラ
イプ本数比1.6をかけると、指令するストライプ幅
は、80%となる。したがって、ホストコンピュータ4
0は、照明コントローラ50に照明装置10のアーチ1
5の32列(ストライプの幅)を点灯させ、8列(スト
ライプのピッチ)を消灯させるというパターンを繰り返
すように指示し、照明コントローラ50は、このパター
ンで照明装置の点灯を制御する(S4,S5)。
Next, the host computer 40 calculates the commanded stripe width. This stripe width is calculated by multiplying the current stripe width (illumination ratio) by the stripe number ratio calculated in the previous step. For example, if the lighting device 10 is composed of 200 rows of arches, in the above example, the lighting ratio is 50% because lighting and turning off are repeated every 20 rows. When this is multiplied by the stripe count ratio of 1.6, the commanded stripe width becomes 80%. Therefore, the host computer 4
0 indicates the lighting controller 50 to the arch 1 of the lighting device 10.
5 is instructed to repeat the pattern of turning on 32 columns (stripe width) and turning off 8 columns (stripe pitch), and the illumination controller 50 controls the illumination of the illumination device by this pattern (S4). S5).

【0027】この処理と並行して、従来と同様の欠陥検
出処理が行なわれる。すなわち、画像処理装置30によ
り二値化処理や微分処理が行なわれた後の画像に基づい
て、孤立点を検出してこれを欠陥と判断する処理が行な
われる(S6)。以上の処理は、1台の車体に対して全
ての測定点の測定が終了するまで繰り返し行なわれる
(S7)。
In parallel with this process, a defect detection process similar to the conventional one is performed. That is, based on the image that has been binarized or differentiated by the image processing device 30, a process for detecting an isolated point and determining this as a defect is performed (S6). The above process is repeated until the measurement of all the measurement points for one vehicle body is completed (S7).

【0028】このように、本発明の表面欠陥検査装置で
は、CCDカメラ20によって撮像されるストライプの
本数が被検査面の形状にかかわらずに常に一定にするこ
とができる(曲率の大きい被検査面ではストライプの幅
が狭くなるように照明の点灯列数を制御し、曲率の小さ
い被検査面ではストライプの幅が広くなるように照明の
点灯列数を制御する)ので、様々な車種や測定部位の形
状に臨機応変に対応することができる。また、安定した
欠陥検出の精度を維持することができる。
As described above, in the surface defect inspection apparatus of the present invention, the number of stripes imaged by the CCD camera 20 can always be constant regardless of the shape of the surface to be inspected (the surface to be inspected having a large curvature). The number of lighting rows is controlled so that the width of the stripe becomes narrower, and the number of lighting rows is controlled so that the width of the stripe becomes wider on the surface having a small curvature.) The shape of can be flexibly accommodated. In addition, stable accuracy of defect detection can be maintained.

【0029】以上、本発明の実施の形態においては、照
明装置10を構成する照明にLEDを用いたものを例示
したが、これに限らず、たとえば、白熱電球や蛍光管の
使用も可能である。
As described above, in the embodiment of the present invention, the LED which is used for the illumination which constitutes the illuminating device 10 has been exemplified, but the present invention is not limited to this. For example, an incandescent lamp or a fluorescent tube can be used. .

【0030】図7は、本発明装置の第2の実施の形態を
示すものである。この実施の形態では、ストライプの幅
を自由に変えることができる液晶シャッタを持つ液晶プ
ロジェクター80によって照射手段として機能するスク
リーン90にストライプ画像を映し、このストライプ画
像が車体の被塗装面に反射して得られる画像をCCDカ
メラ20によって捕らえるように構成したものである。
FIG. 7 shows a second embodiment of the device of the present invention. In this embodiment, a stripe image is projected on a screen 90 functioning as an irradiation means by a liquid crystal projector 80 having a liquid crystal shutter capable of freely changing the width of the stripe, and the stripe image is reflected on the surface to be coated of the vehicle body. The image obtained is configured to be captured by the CCD camera 20.

【0031】その他の構成は図1に示す構成と同一であ
るので図示はしないが、ホストコンピュータでは、CC
Dカメラ20によって捕らえられるストライプの本数が
一定になるように、液晶プロジェクター80に形成され
るストライプのピッチや幅を制御する。そのピッチや幅
の演算は、第1の実施の形態と同じような考え方で行な
う。
Other configurations are not shown because they are the same as the configurations shown in FIG. 1, but in the host computer, CC
The pitch and width of the stripes formed on the liquid crystal projector 80 are controlled so that the number of stripes captured by the D camera 20 is constant. The pitch and width are calculated in the same way as in the first embodiment.

【0032】また、他の実施の形態としては、バックラ
イトにより被検査面にストライプが映るように設けられ
た伸縮自在のストライプシートを、モータで伸縮できる
ように構成し、CCDカメラに映るストライプの本数が
一定になるようにモータを制御して、ストライプシート
を伸縮するようにしても良い。
In another embodiment, a stretchable striped sheet provided so that the stripes are projected on the surface to be inspected by the backlight is constructed so that it can be expanded and contracted by a motor, and the stripes projected on the CCD camera are displayed. The stripe sheet may be expanded and contracted by controlling the motor so that the number is constant.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】 本発明にかかる表面欠陥検査装置の概略構成
図である。
FIG. 1 is a schematic configuration diagram of a surface defect inspection apparatus according to the present invention.

【図2】 図1に示した照明装置の一部拡大図である。FIG. 2 is a partially enlarged view of the lighting device shown in FIG.

【図3】 図1に示す装置の動作フローチャートであ
る。
FIG. 3 is an operation flowchart of the apparatus shown in FIG.

【図4】 本発明装置の動作説明に供する図である。FIG. 4 is a diagram for explaining the operation of the device of the present invention.

【図5】 本発明装置の動作説明に供する図である。FIG. 5 is a diagram for explaining the operation of the device of the present invention.

【図6】 本発明装置の動作説明に供する図である。FIG. 6 is a diagram for explaining the operation of the device of the present invention.

【図7】 本発明にかかる表面欠陥検査装置の他の実施
の形態の概略構成図である。
FIG. 7 is a schematic configuration diagram of another embodiment of the surface defect inspection apparatus according to the present invention.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

10…照明装置、 15…アーチ、 20…CCDカメラ、 30…画像処理装置、 40…ホストコンピュータ、 50…照明コントローラ。 10 ... Lighting device, 15 ... Arch, 20 ... CCD camera, 30 ... Image processing device, 40 ... Host computer, 50 ... Lighting controller.

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.7,DB名) G01B 11/30 G01N 21/89 ─────────────────────────────────────────────────── ─── Continuation of the front page (58) Fields surveyed (Int.Cl. 7 , DB name) G01B 11/30 G01N 21/89

Claims (4)

(57)【特許請求の範囲】(57) [Claims] 【請求項1】 複数の照明を列単位で点灯、消灯させる
ことによって被検査面上にストライプ模様を形成するス
トライプ模様形成手段と、 前記被検査面上に映っているストライプ模様を入力する
ストライプ模様入力手段と、 前記ストライプ模様入力手段によって入力されたストラ
イプ模様からストライプの数を抽出し、抽出したストラ
イプの数が一定の数になるように、前記ストライプ模様
形成手段の照明の点灯と消灯を列単位で制御する制御手
段とを有することを特徴とする表面欠陥検査装置。
1. A plurality of lights are turned on and off in units of columns.
And stripes forming means for forming a stripe pattern on the inspected surface by the a stripe pattern input means for inputting a stripe pattern is reflected on the inspected surface, Stra entered by the stripes input means
A control means for extracting the number of stripes from the stripe pattern , and controlling the lighting and extinguishing of the illumination of the stripe pattern forming means on a column-by-column basis so that the number of the extracted stripes becomes a constant number. A surface defect inspection apparatus having.
【請求項2】 前記ストライプ模様形成手段は、アーチ
状の照明を複数列並列に配列してトンネル状とした照明
手段と、前記照明手段の照明の点灯を列単位に制御する
照明制御手段とを有し、前記被検査面上にストライプ模
様を形成するものであることを特徴とする請求項1に記
載の表面欠陥検査装置。
2. The stripe pattern forming means comprises a lighting means in which a plurality of columns of arch-shaped lighting are arranged in parallel to form a tunnel shape, and a lighting control means for controlling lighting of the lighting means in units of columns. has, serial said to claim 1, characterized in that to form a striped onto the surface to be inspected
On-board surface defect inspection system.
【請求項3】 前記照明手段を構成する照明は、アーチ
状に配列された複数のLEDであることを特徴とする請
求項2に記載の表面欠陥検査装置。
3. The surface defect inspection apparatus according to claim 2, wherein the illumination constituting the illumination means is a plurality of LEDs arranged in an arch shape.
【請求項4】 前記ストライプ模様形成手段は、ストラ
イプの幅とピッチを自由に変化させることができる液晶
シャッタと、前記液晶シャッタによって形成されたスト
ライプを被検査面上に照射する照射手段とを有し、前記
被検査面上にストライプ模様を形成するものであり、 前記制御手段は、 ストライプの数が一定の数になるよう
に、前記液晶シャッタに形成されるストライプのピッチ
や幅を制御することを特徴とする請求項1に記載の表面
欠陥検査装置。
Wherein said striped forming means, chromatic liquid crystal shutter capable of the width and pitch of the stripes freely changed, and irradiating means for irradiating the stripes formed by the liquid crystal shutter on the surface to be inspected The above
Is intended to form a striped onto the test surface, wherein the control means includes a feature that the number of stripes to be constant number, controls the pitch and width of stripes formed in the liquid crystal shutter The surface defect inspection apparatus according to claim 1 .
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