JP3870494B2 - Surface defect inspection equipment - Google Patents
Surface defect inspection equipment Download PDFInfo
- Publication number
- JP3870494B2 JP3870494B2 JP18913297A JP18913297A JP3870494B2 JP 3870494 B2 JP3870494 B2 JP 3870494B2 JP 18913297 A JP18913297 A JP 18913297A JP 18913297 A JP18913297 A JP 18913297A JP 3870494 B2 JP3870494 B2 JP 3870494B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- light
- inspection
- light source
- surface defect
- curvature
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Images
Landscapes
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
- Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
- Image Processing (AREA)
Description
【0001】
【発明の属する技術分野】
本発明は、表面欠陥検査装置に係り、特に自動車の生産行程において、ボディ表面の塗装の状態を検査する作業を、光学的に自動で行うことができる表面欠陥検査装置に関する。
【0002】
【従来の技術】
従来より、自動車ボディ等の表面の検査は、塗装工程の後に人間が目視によって表面の欠陥検査を行っていた。しかし、この塗装表面の検査作業を、光学的に自動で検査する表面欠陥検査装置として、種々の方式が提案されている。たとえば、特開平8−086634号公報(表面欠陥検査装置)に開示されているものがある。当該従来例の表面欠陥検査装置は、光源として直線状に配列された蛍光灯、レーザ、LEDなどを用い、スリット光やスリットパターン光をつくり出して、これを塗装後のボディ表面に照射して、表面に凸凹があったときに生じる明度差や明度変化を受光画像として検出し、表面の欠陥を検査する装置である。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、上記従来例には以下のような不都合が有った。即ち、自動車のボディはそのほとんど全ての面が凹凸曲面となっている。曲面上の欠陥を如何に検出するかという問題に対し、上記従来例では、取り込んだ画像から欠陥を認識するときに、予め所定の画像処理を施すことによって、曲面の欠陥に対処する方法が提案されている。しかし、直線上(又は平面上)に配列された光源で検査光を照射する手法では、曲面に照明をあてて画像を取り込んだ場合、曲面の傾斜のために各部で均一な光度の反射光を得ることができない、という不都合を生じていた。
【0004】
また、検査光の被検査物上での照明パターンが歪んでしまう、という不都合を生じていた。このため、精度の高い認識が困難である。さらに、従来例に係る表面欠陥検査装置では、複数の光源を有しているために、同時に複数の光源から検査光が照射されてしまい、光軸上の光以外の周囲の光が欠陥にあたり、これを受光手段で受光してしまうので、精度の高い検出ができなくなってしまう、という問題があった。
【0005】
【発明の目的】
本発明は、かかる従来例の有する不都合を改善し、特に、被検査面に均一な検査光が照射でき、精度の高い表面欠陥の検査が可能な表面欠陥検査装置を提供することを、その目的とする。
【0006】
【課題を解決するための手段】
上記した目的を達成するために、請求項1記載の発明では、曲面状の被検査物の表面に所定パターンの検査光を照射する照明手段と、被検査物からの反射光を受光する受光手段とを備えた表面欠陥検査装置において、この表面欠陥検査装置は、前記照明手段として少なくとも2組の光源ユニットを装備すると共に、前記曲面状の被検査物の曲率を検出する曲率検出手段を装備し、これら各光源ユニットの相互間を当該光源ユニットの光軸の方向を可変設定する所定の曲折部材を介して連結する一方、前記曲率検出手段の検出値に基づいて各光源ユニットの角度を変更して被検査物の表面に対する検査光の角度を調整する、という構成を採っている。以上のように構成されたことにより、各光源ユニットの角度を任意に調整することができる。即ち、検査面の各領域に対して適切な光軸で検査光を照射できる。照射された光は正反射して受光手段に受光されるようになっている。
【0007】
また、請求項2記載の発明では、曲率検出手段の検出値に基づいて各光源ユニットにおいて前記光源ユニットの連結方向と交差して並ぶ各系統毎の発光のオン/オフの調節を可能とすることで周囲の光の影響を除去する。
【0008】
請求項3記載の発明では、主制御部は各光源ユニットの光度を調節する光度調整機能を有するという構成を採っている。以上のように構成されたことにより、光源ユニットから被検査物の表面までの距離や、被検査物の曲率に応じて光源ユニットの光度を調整する。
【0009】
更に、請求項4記載の発明では、曲折部材に所定の駆動モータを装備するという構成を採り、その他の構成は請求項1,2又は3記載の発明と同様である。以上のように構成されたことにより、被検査物の曲率に応じて駆動モータが各光源ユニットの角度を調節する。
【0010】
【発明の実施の形態】
本発明の一実施形態を図面に基づいて説明する。
本発明の表面欠陥検査装置は、図1に示すように、曲面状の被検査物3の表面に所定のパターンの検査光5を照射する照明手段7と、被検査物3からの反射光9を受光する受光手段11とを備え、照明手段7は少なくとも2組の光源ユニット7a,7b…を装備すると共に、これら各光源ユニット7a,7bの相互間に所定の曲折部材15が設けられている。この曲折部材15は各光源ユニット7a,7b…の光軸の方向を可変設定する。また、表面欠陥検査装置1には、被検査物3の曲率を測定する曲率検出手段17が装備されると共に、この曲率検出手段17の検出値に基づいて曲折部材15の曲折動作及び光源ユニット7a,7b…の発光動作を制御する主制御部18も装備されている。以下に詳述する。
【0011】
[照明手段]
先ず、表面欠陥検査装置1に装備される照明手段7は、図2に示すように、各光源ユニット7a,7b…に分割されている。そして、各光源ユニット7a,7b…は曲折部材15で連結されている。また、各光源ユニット7a,7b…の相互間の曲折部材15には所定の駆動モータ19が係合されている。この駆動モータ19は、後述するように隣接する各光源ユニット7a,7b…の角度を変えるためのものである。具体的には、駆動モータ19の回転軸(図示略)は隣接する2つの光源ユニットの一方側(例えば7a)に固定され、駆動モータ19の本体は他方の光源ユニット(例えば7b)に固定されている。
【0012】
各光源ユニット7a,7b…は、図3に示すように、複数のLED21と、このLED21を担持する基板23と、LED21の前面に配設される拡散板25により構成されている。本発明の光源ユニット7a,7b…は、平面形状が長方形となっており、LED21は図3(A)に示すように幅方向に5個配列され、図3(B)に示すように、長さ方向には12個配列されている。従って、一つの光源ユニット7aには全体で60個のLED21が装備されている。尚、基板23に実装するLED21の個数については一例であり、光源ユニット7a,7b…の幅方向及び長さ方向とも、LED21の数を増減することは可能である。
【0013】
また、光源ユニット7a,7b…の各LED21には、光度調整手段33からの電力線31が接続されている。より詳しくは、光源ユニット7a,7b…の長さ方向に配列された12個のLED21は同一系統の電力線31で接続され、幅方向に隣接するLED同士は異なる系統の電力線に接続されている(図2,図3参照)。従って、本発明の表面欠陥検査装置1では、各光源ユニット7a,7b…に5系統の電力線がそれぞれ接続されることになる。このため、各系統毎の発光のオン/オフおよび光度の調節が可能となっている。尚、LED21の数が増えた場合にはこれに合わせて上記電力線31の数をを増やす必要がある。
【0014】
LED21の前面に配設される拡散板25は、所定の脚部材27を介して基板23に取り付けられている。この拡散板25は、LED21が発した光を僅かに拡散させて、被検査物3に均一な検査光5を照射するためのものである。各光源ユニット7a,7b…のLED21の光度は、光度調整手段33によって適切に制御され、各光源ユニット毎に異なる光度の検査光5を被検査物3に照射することができる。尚、図2に示すように、本発明の表面欠陥検査装置1では、光源ユニット7a,7b…の数は全体で5組であるが、これは一例であって任意の個数とすることができる。
【0015】
また、照明手段7の各駆動モータ19にはそれぞれ角度調整回路35からの制御線37が接続されている(図2参照)。この制御線37は、主制御部18から駆動モータ19に対して各光源ユニット7a,7b…の相互の角度を変更するための制御信号を送信するものである。各駆動モータ19は主制御部18からの制御信号に基づいて、それぞれ独立に制御される。従って、相互に連結された各光源ユニット7a,7b…は任意の曲折形状を採ることができる。より詳しくは、後述するように被検査物3の曲率に応じて、各光源ユニット7a,7b…はその曲折角度が決定される。
【0016】
[曲率検出手段]
次に、曲率検出手段17について説明する。この曲率検出手段17は被検査物3の表面の曲率を検出するためのものである。具体的には、図4に示すように、同一ライン上に3個のセンサ41,42,43が配列されている。このセンサ41,42,43は、レーザ光を用いた距離計であり、被検査物3の表面にレーザ光を照射して、戻るレーザ光の遅れ時間を計測することによって、被検査物表面までの距離を計測している。尚、センサ41,42,43の数は3個に限定されるものではなく、4個以上であってもよい。
【0017】
図4(B)は、当該曲率検出手段17を用いた被検査物3の曲率計測の原理図を示す図である。上記したように、3個のセンサ41,42,43によって被検査物3の表面までの各距離L1,L2,L3をそれぞれ計測する。得られた値から曲率計測部44で曲率を計算する。このとき、センサ41とセンサ42の間隔をH1、センサ42とセンサ43の間隔をH2とすると、この領域の曲率半径Rは以下の式より求められる。
【0018】
R=(M1×M2×M3)/{2×H1×(L3-L2)+2×H2×(L1-L2)}
ここで、
M1={H1 2+(L1-L2)2}1/2
M2={H2 2+(L3-L2)2}1/2
M3={(H1+H2)2+(L1-L3)2}1/2
【0019】
[受光手段]
次に、本実施形態にかかる表面欠陥検査装置1に用いられる受光手段11について説明する。受光手段11は被検査物3の表面から反射される反射光9を受光して、画像を形成するものである。具体的に、本実施形態ではCCDカメラが用いられている。受光手段11は、図1に示すように、検査光5の反射光9が反射する方向に位置決めされている。そして、受光手段11によって得られた画像情報が欠陥認識部45に伝達されるようになっている。
【0020】
[欠陥検査の原理]
図5に、円曲面の正反射特性を示す。ここでは、曲面上の2点a,bについて説明する。即ち、照明手段7のうちの1つの光源ユニットから検査光5aが点aに照射されたとする。この検査光5aは入射角と同じ反射角で点aで反射する。
反射光5bは受光手段11側に反射する。また、異なる光源ユニットから点bに照射された検査光5bは、点bで正反射して点aの場合と同様に受光手段11側に反射したとする。この時、図5中の各角度θ1,θ2及びθ3 の間には、下記の式で表される関係がある。
【0021】
θ3=θ1+θ2
【0022】
即ち、上式の条件を満たすように点a用の光源ユニットと点b用の光源ユニットをそれぞれ位置決めすれば、各光源ユニットから照射された検査光5a,5bが正反射して共に受光手段11側に反射する。このため、受光手段11では異なる点(ここではa,b)からの反射光9a,9bは全て正反射光となる。従って、点a及び点bで反射した各反射光9a,9bはいずれも同じ光度の反射光となる。
【0023】
図6は、被検査物3の曲率がR=100mmのときの正反射特性を示す具体例である。受光手段(CCDカメラ)の設置角度θ1 (図5参照)を20度とする。点aから点fは被検査物3表面の反射面を示す。そして、図中の点線は点aから点fまでの各点に対する光源ユニット(図示略)からの光軸を示す。曲面から100mmおよび200mm離れた位置に、光軸に対して直交する直線(以下「照明面」という)47a,47b…を引いた。c点に対する光軸における照明面47cの延長線を一点鎖線で示す。
【0024】
平面状の照明手段で曲面を照明しようとする場合、一点鎖線49上に照明手段を置くとすると、点aまたは点fでは、各光軸と各照明面47a,47fの角度が点cに対する照明面47cの場合と比べて狭くなってしまい、均一な照明が得られないという欠点がある。即ち、即ち、各光源ユニットから出力される最も光度の高い検査光は、一点鎖線と直交する方向となる。ここで、点cに対する光軸と一点鎖線とは略直交しているため、高光度の検査光が点cに照射される。一方、点a用の検査光5aの光軸と一点鎖線とは直交していない。このため、点aに照射される検査光5aの光度は、点cに比較して低下してしまう。
【0025】
一方、図6に示すように、各光源ユニットの照明面47a,47b…を、被検査物への検査光5a,5b…の光軸と直交させると、いずれの光源ユニットからの検査光5a,5b…も高光度のものとなる。即ち、本発明において使用する照明手段7では、各点a,b…への検査光5a,5b…の光軸と各照明面47a,47bとが直交するように、各光源ユニットの角度を調整することによって、常に光度の均一な検査光5a,5b…を照射することができ、同様に光度の均一な反射光9a,9b…を受光手段11で得ることができる。
【0026】
ここで、各光源ユニット間相互の角度の求め方について概説する。図5に示すように、曲面上の各点の光軸の角度は下記の数式で求まる。
【0027】
θ3=θ1+θ2
【0028】
このことから、図6において、点cと点dに対する光軸5c,5dの角度差は、以下の式によって求めることができる。
【0029】
θ3d−θ3c=θ1+θ2d−θ1−θ2c
よって、
θ3d−θ3c=θ2d−θ2c
θ3d−θ3c=(xd-c)/r [r:被検査物の曲率半径]
ここで、xd-c は、曲面上の点cと点dの相互間距離であり、予め所定値に設定されている。具体的には、表面欠陥検査をしたい領域の全長をxf-a とし、使用する光源ユニットの数を5個とすると、以下の式で求められる。
【0030】
xd-c=(xf-a)/5
【0031】
以上のことから、照明手段の各光源ユニット間の角度は、計測したrの値から求めることができ、各光源ユニットの最適な角度を制御することができる。
【0032】
以上の照明装置で検査光を照射して、被検査物3の表面に欠陥が存在すると、欠陥の部分が黒くなる。これは、欠陥の凹凸によって検査光は正反射しないからである。特に、本発明の照明手段7では、各部に照射される検査光5a,5b…の光度が均一であるので、精度良く広い範囲の表面欠陥検査を行うことができる。
【0033】
図7は、具体的に光源ユニット7a,7bを用いて検査光5を照射している状態を説明する図である。尚、図7では説明の便宜上2個の光源ユニット7a,7bを用いた場合を説明する。そして、それぞれの光源ユニット7a,7bの各LED21の系統に、Line1〜Line10と番号を付ける。ここで例えば、Line2のLEDの光によって曲面上の欠陥を検出しようとする場合、他のLineのLEDもすべて点灯していると、Line7やLine8などのLEDの拡散光によって、Line2による検出が妨げられてしまうという欠点がある。即ち、Line7は本来点bを照射するためのものであるが、Line7から照射される検査光の一部が点aにも照射されて、実際に点aに照射される光の光度が高まってしまうからである。これは、従来提案されている平面の照明手段を使用した場合でも同様である。
【0034】
そこで、この問題を解決するために、Line2を点灯している間は他のLineはすべてオフにすることによって、周囲の光の影響を除去しする。これは、光源としてLEDを用いることによる効果である。LEDは他の光源よりも高速にオン/オフの制御ができる、という特性を利用している。尚、実際に表面欠陥の検査を行う場合には、順次隣接するLineを発光させて順に異なる領域の表面欠陥検査を行うが、被検査物3の形状によっては、例えばLine1を発光させた後Line2の発光をせずにLine3を発光させたり、或いはLine2及びLine3を発光させずにLine4を発光させるようにしてもよい。
【0035】
[表面欠陥検査行程]
次に、本発明の表面欠陥検査装置の方法について、図1に基づいて説明する。
先ず、曲率検出手段17で被検査物3の表面の曲率を検出する(図3参照)。そして、検出された曲率に基づいて、照明制御部34で照明手段7の各光源ユニット7a,7b…の被検査物の表面に対する検査光5の光軸角度、光度が調整される。調整された検査光5を被検査物3の表面に照射する。被検査物3の表面で反射された反射光9を受光手段11としてのCCDカメラで撮像して画像を得る。
そして、得られた画像に基づいて、表面欠陥の有無を判定する。
【0036】
図8に画像の取り込み方法を示す。照明手段7の光源ユニット7a,7b…を各Lineごとに順次点灯させ、そのときの画像を上記したようにCCDカメラで撮り、欠陥認識部45のメモリに取り込む。取り込んだ画像は、M×Nドットの二次元画像で、1ドットあたり2N 階調の濃度値で表される。例えば、N=8ならば256階調(0〜255)となる。ここで、一般的に0が黒で255が白である。図9は、被検査物の3箇所の欠陥検査をした場合を示している。
【0037】
1Lineの画像を取り込み欠陥認識を行ったら、次のLineを点灯させ、画像の取り込みと欠陥認識を行う。以下、順次繰り返す。図9は欠陥の判定のフローチャートを示す。即ち、画像を取り込んだ後(ステップS1)に認識ブロックの描出を行う(ステップS2)。この認識ブロックの抽出は、1LineのLEDによって検査光が照射され、白くなっている部分のみを認識対象とし、それ以外は認識対象外とする。そして、以下の処理は認識対象部分だけについて行う。
【0038】
認識ブロックの描出をした後には、ある濃度値を閾値として閾値未満の画素を0(黒)、閾値以上の画素を255(白)とする二値化処理を行う(ステップS3)。閾値の決定は、画像処理の手法で一般的に用いられている、モード法、P−タイル法、判別分析法などを用いる。二値化処理の後には、ラベリング処理を行う(ステップS4)。ラベリング処理では、濃度値が0の画素が連結している部分を一つの固まりとして、その面積(固まりの画素数)を計算する。
【0039】
次に、ラベリング処理の結果得られた黒の画素の固まりのうち、面積がある所定値以上のものを、欠陥として描出する(ステップS5)。これは、通常被検査物3の表面の欠陥は、僅かな凹凸が形成されており、欠陥に照射された検査光5は正反射せず、異なる方向に反射し、受光手段11によって反射光9を捉えることができず、欠陥領域が黒くなるからである。図10は、認識時の原画像(図10(A))と二値化処理後の画像例(図10(B))をそれぞれ示す。尚、図10は、被検査物3の検査範囲内に2個の欠陥が検出された場合を示している。
【0040】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明の表面欠陥検査装置では、曲面状の被検査物の表面に所定のパターンの検査光を照射する照明手段と、被検査物からの反射光を受光する受光手段とを備え、光源として少なくとも2組の光源ユニットを装備すると共に、これら各光源ユニットの相互間を所定の曲折部材を介して連結した。これにより、被検査物の表面に対して任意の角度で検査光を照射することができ、異なる検査面についても、均一な光度の正反射光を得ることができ、被検査物の曲面部分においても、欠陥の認識が可能となり、またその認識の精度を向上させることができる、という優れた効果を生じる。即ち、各領域の反射光による画像の光度は均一であるので、画像処理する場合にも作業が簡略化される。更には、照明手段を一度位置決めすることにより、広い範囲の欠陥の検査を連続的に行うことができる、という優れた効果を生じる。
【0041】
また、本発明では、表面欠陥検査装置に被検査物の曲率を測定する曲率検出手段を装備すると共に、この曲率検出手段の検出値に基づいて曲折部材の曲折動作及び光源ユニットの発光動作を制御する主制御部を装備した。このため、被検査物の表面の曲率に応じた適切な光源ユニットの光軸方向を求めることができ、欠陥検査の効率化及び迅速化を高めることができる、という優れた効果を生じる。
【0042】
また、本発明の表面欠陥検査装置の主制御部は、各光源ユニットの光度を調節する光度調整機能を有している。このため、照明手段から被検査物の各検査領域までの距離や表面の曲率に対応して、最適な光源ユニットの光度を調整することができる、という優れた効果を生じる。
【0043】
更に、曲折部材に所定の駆動モータを装備したので、自動で各光源ユニットの角度を調整することができ、表面欠陥検査ラインの自動化を促進させることができる、という優れた効果を生じる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の一実施形態を示す概略構成図である。
【図2】図1に開示した表面欠陥検査装置に使用される照明手段を示す斜視図である。
【図3】図2に開示した照明手段の詳細図であり、図3(A)は照明手段の正面図を示し、図3(B)は側面図を示す。
【図4】図1に開示した表面欠陥検査装置に使用される曲率検出手段を示す図であり、図4(A)は斜視図を示し、図4(B)は正面図を示す。
【図5】検査光の正反射特性を示す説明図である。
【図6】検査光の光軸と反射光との関係を説明する図である。
【図7】実際の欠陥検査時の検査光の照射方法を説明する図である。
【図8】図1に開示した受光手段によって取り込まれた画像を示す図であり、図8(A)は被検査物の左方に検査光を照射している場合であり、図8(B)は被検査物の中央に検査光を照射している場合であり、図8(C)は被検査物の右方に検査光を照射している場合を示す。
【図9】欠陥検査のフローチャートを示す。
【図10】欠陥検査の画像を示す図であり、図10(A)は原画像を示し、図10(B)は二値化処理後の画像を示す。
【符号の説明】
1 表面欠陥検査装置
3 被検査物
5 検査光
7 照明手段
7a,7b,7c,7d,7e 光源ユニット
9 反射光
11 受光手段
15 曲折部材
17 曲率検出手段
18 主制御部[0001]
BACKGROUND OF THE INVENTION
The present invention relates to a surface defect inspection apparatus, and more particularly to a surface defect inspection apparatus capable of optically and automatically performing an operation of inspecting the state of painting on a body surface in an automobile production process.
[0002]
[Prior art]
Conventionally, inspecting the surface of an automobile body or the like, a human has visually inspected the surface for defects after the painting process. However, various methods have been proposed as a surface defect inspection apparatus for automatically and optically inspecting the coating surface inspection work. For example, there is one disclosed in JP-A-8-086634 (surface defect inspection apparatus). The surface defect inspection apparatus of the conventional example uses a fluorescent lamp, laser, LED, etc. arranged in a straight line as a light source, creates slit light or slit pattern light, and irradiates the surface of the body after painting, It is a device that inspects surface defects by detecting a difference in brightness or a change in brightness that occurs when the surface is uneven.
[0003]
[Problems to be solved by the invention]
However, the conventional example has the following disadvantages. That is, almost all surfaces of the automobile body are uneven curved surfaces. To solve the problem of how to detect defects on curved surfaces, the above conventional example proposes a method for dealing with curved surface defects by performing predetermined image processing in advance when recognizing defects from captured images. Has been. However, in the method of irradiating the inspection light with a light source arranged on a straight line (or on a flat surface), when the image is captured by illuminating the curved surface, the reflected light of uniform light intensity is applied to each part due to the inclination of the curved surface. The inconvenience that it cannot be obtained has arisen.
[0004]
In addition, there is a disadvantage that the illumination pattern of the inspection light on the inspection object is distorted. For this reason, it is difficult to recognize with high accuracy. Furthermore, since the surface defect inspection apparatus according to the conventional example has a plurality of light sources, inspection light is irradiated from a plurality of light sources at the same time, and ambient light other than light on the optical axis hits the defect. Since this is received by the light receiving means, there is a problem that it is impossible to detect with high accuracy.
[0005]
OBJECT OF THE INVENTION
It is an object of the present invention to provide a surface defect inspection apparatus that can improve the disadvantages of the conventional example, and in particular, can irradiate a surface to be inspected with uniform inspection light and inspect surface defects with high accuracy. And
[0006]
[Means for Solving the Problems]
In order to achieve the above object, according to the first aspect of the present invention, illumination means for irradiating a surface of a curved object to be inspected with a predetermined pattern of inspection light and light receiving means for receiving reflected light from the object to be inspected The surface defect inspection apparatus is equipped with at least two sets of light source units as the illumination means and curvature detection means for detecting the curvature of the curved object to be inspected. The light source units are connected to each other via a predetermined bending member that variably sets the direction of the optical axis of the light source unit, and the angle of each light source unit is changed based on the detection value of the curvature detection means. The angle of the inspection light with respect to the surface of the inspection object is adjusted . With the configuration described above, the angle of each light source unit can be arbitrarily adjusted. That is, it is possible to irradiate each region of the inspection surface with inspection light with an appropriate optical axis. The irradiated light is regularly reflected and received by the light receiving means.
[0007]
According to the second aspect of the present invention, it is possible to adjust on / off of light emission for each system arranged in a crossing manner with the connection direction of the light source units in each light source unit based on the detection value of the curvature detection means. To eliminate the influence of ambient light .
[0008]
In the invention of claim 3, wherein, have I adopted the configuration that the main control unit has a luminous intensity adjusting function of adjusting the intensity of each light source unit. By being configured as described above, the light intensity of the light source unit is adjusted according to the distance from the light source unit to the surface of the inspection object and the curvature of the inspection object.
[0009]
Further, the invention described in claim 4 employs a configuration in which the bending member is provided with a predetermined drive motor, and the other configuration is the same as that of the invention described in
[0010]
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION
An embodiment of the present invention will be described with reference to the drawings.
As shown in FIG. 1, the surface defect inspection apparatus of the present invention includes an illuminating means 7 that irradiates a surface of a curved inspection object 3 with a predetermined pattern of
[0011]
[Lighting means]
First, the illumination means 7 equipped in the surface defect inspection apparatus 1 is divided into
[0012]
As shown in FIG. 3, each of the
[0013]
Moreover, the
[0014]
The
[0015]
A
[0016]
[Curvature detection means]
Next, the curvature detection means 17 will be described. This curvature detection means 17 is for detecting the curvature of the surface of the inspection object 3. Specifically, as shown in FIG. 4, three
[0017]
FIG. 4B is a diagram showing the principle of curvature measurement of the inspection object 3 using the curvature detection means 17. As described above, the distances L 1 , L 2 , L 3 to the surface of the inspection object 3 are measured by the three
[0018]
R = (M 1 × M 2 × M 3 ) / {2 × H 1 × (L 3 -L 2 ) + 2 × H 2 × (L 1 -L 2 )}
here,
M1 = {H 1 2 + (L 1 -L 2 ) 2 } 1/2
M2 = {H 2 2 + (L 3 -L 2 ) 2 } 1/2
M3 = {(H 1 + H 2 ) 2 + (L 1 -L 3 ) 2 } 1/2
[0019]
[Light receiving means]
Next, the light receiving means 11 used in the surface defect inspection apparatus 1 according to the present embodiment will be described. The light receiving means 11 receives reflected light 9 reflected from the surface of the inspection object 3 and forms an image. Specifically, a CCD camera is used in this embodiment. As shown in FIG. 1, the light receiving means 11 is positioned in a direction in which the reflected light 9 of the
[0020]
[Principle of defect inspection]
FIG. 5 shows the regular reflection characteristics of a circular curved surface. Here, two points a and b on the curved surface will be described. That is, it is assumed that the
The reflected light 5b is reflected to the light receiving means 11 side. Further, it is assumed that the
[0021]
θ 3 = θ 1 + θ 2
[0022]
That is, if the light source unit for point a and the light source unit for point b are respectively positioned so as to satisfy the above equation, the inspection lights 5a and 5b emitted from the respective light source units are specularly reflected together and the light receiving means 11 Reflect to the side. Therefore, the reflected light 9a and 9b from different points (here, a and b) in the light receiving means 11 are all regular reflected light. Accordingly, the reflected
[0023]
FIG. 6 is a specific example showing the regular reflection characteristics when the curvature of the inspection object 3 is R = 100 mm. The installation angle θ 1 (see FIG. 5) of the light receiving means (CCD camera) is set to 20 degrees. Point a to point f indicate the reflection surface of the surface of the inspection object 3. The dotted line in the figure indicates the optical axis from the light source unit (not shown) for each point from point a to point f. Straight lines (hereinafter referred to as “illumination surfaces”) 47a, 47b... Perpendicular to the optical axis were drawn at positions 100 mm and 200 mm away from the curved surface. An extension line of the
[0024]
When it is intended to illuminate the curved surface with the planar illumination means, if the illumination means is placed on the alternate long and short dash line 49, at the point a or the point f, the angle between each optical axis and each
[0025]
On the other hand, as shown in FIG. 6, when the
[0026]
Here, the method for obtaining the mutual angle between the light source units will be outlined. As shown in FIG. 5, the angle of the optical axis of each point on the curved surface can be obtained by the following mathematical formula.
[0027]
θ 3 = θ 1 + θ 2
[0028]
From this, in FIG. 6, the angle difference between the
[0029]
θ 3d −θ 3c = θ 1 + θ 2d −θ 1 −θ 2c
Therefore,
θ 3d −θ 3c = θ 2d −θ 2c
θ 3d −θ 3c = (x dc ) / r [r: radius of curvature of inspection object]
Here, x dc is the distance between points c and d on the curved surface, and is set to a predetermined value in advance. Specifically, if the total length of the region to be inspected for surface defects is x fa and the number of light source units to be used is five, the following equation can be obtained.
[0030]
x dc = (x fa ) / 5
[0031]
From the above, the angle between the light source units of the illumination means can be obtained from the measured value of r, and the optimum angle of each light source unit can be controlled.
[0032]
When a defect is present on the surface of the inspection object 3 by irradiating the inspection light with the above illumination device, the defective portion becomes black. This is because the inspection light is not regularly reflected due to the unevenness of the defect. In particular, in the illumination means 7 of the present invention, since the intensity of the
[0033]
FIG. 7 is a diagram for explaining a state in which the
[0034]
Therefore, in order to solve this problem, all the other lines are turned off while
[0035]
[Surface defect inspection process]
Next, the method of the surface defect inspection apparatus of the present invention will be described with reference to FIG.
First, the curvature detection means 17 detects the curvature of the surface of the inspection object 3 (see FIG. 3). Based on the detected curvature, the
And the presence or absence of a surface defect is determined based on the obtained image.
[0036]
FIG. 8 shows an image capturing method. The
[0037]
When one line image is captured and defect recognition is performed, the next line is turned on, and image capture and defect recognition are performed. Thereafter, the process is repeated sequentially. FIG. 9 shows a flowchart of defect determination. That is, after capturing an image (step S1), a recognition block is drawn (step S2). In this extraction of the recognition block, the inspection light is irradiated by the 1-line LED, and only the whitened portion is set as the recognition target, and the others are not recognized. The following processing is performed only for the recognition target portion.
[0038]
After rendering the recognition block, a binarization process is performed in which a certain density value is set as a threshold value, pixels below the threshold value are set to 0 (black), and pixels above the threshold value are set to 255 (white) (step S3). The threshold is determined using a mode method, a P-tile method, a discriminant analysis method, or the like, which is generally used in image processing techniques. After the binarization process, a labeling process is performed (step S4). In the labeling process, a portion where pixels having a density value of 0 are connected as one lump, and the area (number of lump pixels) is calculated.
[0039]
Next, among the clusters of black pixels obtained as a result of the labeling process, those having an area equal to or larger than a predetermined value are drawn as defects (step S5). This is because the defect on the surface of the inspection object 3 is usually formed with slight irregularities, and the
[0040]
【The invention's effect】
As described above, in the surface defect inspection apparatus of the present invention, the illumination means for irradiating the surface of the curved inspection object with a predetermined pattern of inspection light, and the light receiving means for receiving reflected light from the inspection object, And at least two sets of light source units as light sources, and the light source units are connected to each other via a predetermined bent member. Thereby, it is possible to irradiate the inspection light at an arbitrary angle with respect to the surface of the object to be inspected, and it is possible to obtain specular reflection light having a uniform luminous intensity even on different inspection surfaces, and in the curved surface portion of the object to be inspected. However, it is possible to recognize the defect and to improve the recognition accuracy. That is, since the intensity of the image by the reflected light in each region is uniform, the work is simplified even when image processing is performed. Furthermore, by positioning the illuminating means once, an excellent effect is obtained that a wide range of defects can be continuously inspected.
[0041]
In the present invention, the surface defect inspection apparatus is equipped with a curvature detection means for measuring the curvature of the inspection object, and the bending operation of the bending member and the light emission operation of the light source unit are controlled based on the detection value of the curvature detection means. Equipped with a main control unit. For this reason, the optical axis direction of the suitable light source unit according to the curvature of the surface of the object to be inspected can be obtained, and the excellent effect that the efficiency and speeding up of the defect inspection can be improved is produced.
[0042]
Moreover, the main control part of the surface defect inspection apparatus of this invention has a luminous intensity adjustment function which adjusts the luminous intensity of each light source unit. For this reason, the outstanding effect that the optimal luminous intensity of a light source unit can be adjusted according to the distance from the illumination means to each inspection area | region of a to-be-inspected object, and the curvature of a surface is produced.
[0043]
Furthermore, since the bending member is equipped with a predetermined drive motor, the angle of each light source unit can be adjusted automatically, and the excellent effect that the automation of the surface defect inspection line can be promoted is produced.
[Brief description of the drawings]
FIG. 1 is a schematic configuration diagram showing an embodiment of the present invention.
FIG. 2 is a perspective view showing illumination means used in the surface defect inspection apparatus disclosed in FIG. 1;
3 is a detailed view of the illumination unit disclosed in FIG. 2, FIG. 3 (A) shows a front view of the illumination unit, and FIG. 3 (B) shows a side view.
4A and 4B are diagrams showing curvature detection means used in the surface defect inspection apparatus disclosed in FIG. 1, FIG. 4A shows a perspective view, and FIG. 4B shows a front view.
FIG. 5 is an explanatory diagram showing regular reflection characteristics of inspection light.
FIG. 6 is a diagram illustrating a relationship between an optical axis of inspection light and reflected light.
FIG. 7 is a diagram for explaining an inspection light irradiation method in actual defect inspection.
8 is a diagram showing an image captured by the light receiving means disclosed in FIG. 1. FIG. 8A shows a case where the inspection light is irradiated to the left of the inspection object, and FIG. ) Shows a case where the inspection light is irradiated on the center of the inspection object, and FIG. 8C shows a case where the inspection light is irradiated on the right side of the inspection object.
FIG. 9 shows a flowchart of defect inspection.
10A and 10B are diagrams showing an image of defect inspection, FIG. 10A shows an original image, and FIG. 10B shows an image after binarization processing.
[Explanation of symbols]
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Surface defect inspection apparatus 3 Inspected
Claims (4)
この表面欠陥検査装置は、前記照明手段として少なくとも2組の光源ユニットを装備すると共に、前記曲面状の被検査物の曲率を検出する曲率検出手段を装備し、各光源ユニットの相互間を当該光源ユニットの光軸の方向を可変設定する所定の曲折部材を介して連結する一方、前記曲率検出手段の検出値に基づいて各光源ユニットの角度を変更して被検査物の表面に対する検査光の角度を調整することを特徴とする表面欠陥検査装置。In a surface defect inspection apparatus comprising an illumination unit that irradiates a predetermined pattern of inspection light onto the surface of a curved inspection object, and a light receiving unit that receives reflected light from the inspection object,
This surface defect inspection apparatus is equipped with at least two sets of light source units as the illuminating means and with curvature detection means for detecting the curvature of the curved object to be inspected. The angle of the inspection light with respect to the surface of the object to be inspected by changing the angle of each light source unit based on the detection value of the curvature detection means while connecting through a predetermined bending member that variably sets the direction of the optical axis of the unit A surface defect inspection apparatus characterized by adjusting the above .
この表面欠陥検査装置は、前記照明手段として少なくとも2組の光源ユニットを装備すると共に、前記曲面状の被検査物の曲率を検出する曲率検出手段を装備し、各光源ユニットの相互間を当該光源ユニットの光軸の方向を可変設定する所定の曲折部材を介して連結する一方、前記曲率検出手段の検出値に基づいて各光源ユニットにおいて前記光源ユニットの連結方向と交差して並ぶ各系統毎の発光のオン/オフの調節を可能とすることを特徴とする表面欠陥検査装置。 In a surface defect inspection apparatus comprising an illumination unit that irradiates a predetermined pattern of inspection light onto the surface of a curved inspection object, and a light receiving unit that receives reflected light from the inspection object ,
This surface defect inspection apparatus is equipped with at least two sets of light source units as the illuminating means and with curvature detection means for detecting the curvature of the curved object to be inspected. While connecting through a predetermined bending member that variably sets the direction of the optical axis of the unit, on the basis of the detection value of the curvature detection means, in each light source unit, for each system lined up intersecting the connection direction of the light source unit A surface defect inspection apparatus capable of adjusting on / off of light emission .
この表面欠陥検査装置は、前記照明手段として少なくとも2組の光源ユニットを装備すると共に、前記曲面状の被検査物の曲率を検出する曲率検出手段を装備し、各光源ユニットの相互間を当該光源ユニットの光軸の方向を可変設定する所定の曲折部材を介して連結する一方、前記曲率検出手段の検出値に基づいて各光源ユニットの光度の調節を可能とすることを特徴とする表面欠陥検査装置。 In a surface defect inspection apparatus comprising an illumination unit that irradiates a predetermined pattern of inspection light onto the surface of a curved inspection object, and a light receiving unit that receives reflected light from the inspection object ,
This surface defect inspection apparatus is equipped with at least two sets of light source units as the illuminating means and with curvature detection means for detecting the curvature of the curved object to be inspected. Surface defect inspection characterized in that the light intensity of each light source unit can be adjusted based on the detection value of the curvature detection means while being connected via a predetermined bending member that variably sets the direction of the optical axis of the unit apparatus.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP18913297A JP3870494B2 (en) | 1997-06-30 | 1997-06-30 | Surface defect inspection equipment |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP18913297A JP3870494B2 (en) | 1997-06-30 | 1997-06-30 | Surface defect inspection equipment |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH1123243A JPH1123243A (en) | 1999-01-29 |
JP3870494B2 true JP3870494B2 (en) | 2007-01-17 |
Family
ID=16235950
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP18913297A Expired - Fee Related JP3870494B2 (en) | 1997-06-30 | 1997-06-30 | Surface defect inspection equipment |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP3870494B2 (en) |
Families Citing this family (13)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2002214151A (en) * | 2001-01-17 | 2002-07-31 | Nippon Steel Corp | Surface flaw inspecting method |
EP1677098A4 (en) | 2003-10-21 | 2010-07-21 | Daihatsu Motor Co Ltd | Surface defect inspecting method and device |
DE102005003690A1 (en) * | 2005-01-26 | 2006-07-27 | Byk-Gardner Gmbh | Surface`s optical characteristic e.g. color, testing device for e.g. furniture, has control unit compensating change of signals caused by change of position, in which reflected radiation impinges on detection area |
JP5481012B2 (en) * | 2006-06-05 | 2014-04-23 | 吉郎 山田 | Surface inspection device |
JP5323320B2 (en) * | 2006-07-19 | 2013-10-23 | 有限会社シマテック | Surface inspection device |
KR101005077B1 (en) * | 2008-07-10 | 2010-12-30 | 성우테크론 주식회사 | Apparatus for detecting bump |
JP4612088B2 (en) * | 2008-10-10 | 2011-01-12 | トヨタ自動車株式会社 | Image processing method, coating inspection method and apparatus |
JP5634728B2 (en) * | 2010-03-29 | 2014-12-03 | ジエイ・クオリティ株式会社 | Lighting device |
JP6086362B2 (en) * | 2012-12-03 | 2017-03-01 | シーシーエス株式会社 | Inspection system and illumination device for inspection |
JP6301194B2 (en) * | 2014-05-26 | 2018-03-28 | 浜松ホトニクス株式会社 | Optical plate, light irradiation device, light measurement device, light irradiation method, and light measurement method |
JP6531295B2 (en) * | 2016-05-20 | 2019-06-19 | 国立大学法人 香川大学 | Reflected light detection device and reflected light detection method |
KR102001342B1 (en) * | 2018-08-14 | 2019-07-17 | 김정덕 | Lens surface inspection device |
CN111323433A (en) * | 2018-12-13 | 2020-06-23 | 深圳中科飞测科技有限公司 | Detection device and detection method thereof |
-
1997
- 1997-06-30 JP JP18913297A patent/JP3870494B2/en not_active Expired - Fee Related
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPH1123243A (en) | 1999-01-29 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP3870494B2 (en) | Surface defect inspection equipment | |
US11238303B2 (en) | Image scanning method for metallic surface and image scanning system thereof | |
JP4511978B2 (en) | Surface flaw inspection device | |
KR102112053B1 (en) | An Apparatus and Method for Inspecting Surface Defect using Image Sensor | |
JP3514107B2 (en) | Painting defect inspection equipment | |
CN109916915B (en) | Visual detection device and detection method for ball of aviation bearing based on controllable light source | |
JP2000193601A (en) | Surface defect inspecting device | |
JP3632449B2 (en) | Cream solder application state inspection device and application state inspection method | |
JP3514122B2 (en) | Surface defect inspection equipment | |
JPH0979988A (en) | Surface defect inspecting device | |
JP3204442B2 (en) | Surface defect inspection equipment | |
JPH09210653A (en) | Surface direction detection device | |
JP2007040923A (en) | Method and detector for detecting surface defect | |
JP4246319B2 (en) | Illumination unevenness measuring method and measuring apparatus | |
JP2005214720A (en) | Surface inspection device and surface inspection method | |
JP3349069B2 (en) | Surface inspection equipment | |
JP6746718B2 (en) | Image capture system and method for determining the location of embossing structures on a sheet element | |
JP2002039946A (en) | Surface defect inspecting apparatus | |
JPH08304295A (en) | Method and apparatus for detecting surface defect | |
JP2001041720A (en) | Defect detecting method and device | |
KR20200014863A (en) | An Apparatus and Method for Inspecting Surface Defect using Image Sensor | |
JP2021179331A (en) | Surface inspection device and method for inspecting surface | |
JP3339677B2 (en) | Screen for surface condition inspection and inspection device using the screen | |
JP4564225B2 (en) | Optical inspection apparatus and method | |
JP3100448B2 (en) | Surface condition inspection device |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20040527 |
|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20040527 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20051020 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20051101 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20051222 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20060926 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20061009 |
|
S531 | Written request for registration of change of domicile |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313532 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |