JP3506258B2 - ボンベ漏洩ガス除去装置 - Google Patents
ボンベ漏洩ガス除去装置Info
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- JP3506258B2 JP3506258B2 JP06124593A JP6124593A JP3506258B2 JP 3506258 B2 JP3506258 B2 JP 3506258B2 JP 06124593 A JP06124593 A JP 06124593A JP 6124593 A JP6124593 A JP 6124593A JP 3506258 B2 JP3506258 B2 JP 3506258B2
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Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明はボンベ漏洩ガス除去装置
に関し、さら詳細には、半導体製造工程などで使用され
る有毒な特殊材料ガスを充填したボンベからの漏洩ガス
を外部に漏らすことなく安全に除去しうるボンベ漏洩ガ
ス除去装置に関する。半導体工業の発展とともに、それ
に使用される特殊材料ガスの種類と量が急速に増加して
いる。これらのガスはほとんどが人体にとって有害であ
り、その取扱い時には充分な注意が必要である。そして
これらのガスを充填したボンベの輸送時や保存時などに
おいても有毒ガスの漏洩は皆無といえず、万一漏洩が発
生した場合には迅速に除去しなければならない。
に関し、さら詳細には、半導体製造工程などで使用され
る有毒な特殊材料ガスを充填したボンベからの漏洩ガス
を外部に漏らすことなく安全に除去しうるボンベ漏洩ガ
ス除去装置に関する。半導体工業の発展とともに、それ
に使用される特殊材料ガスの種類と量が急速に増加して
いる。これらのガスはほとんどが人体にとって有害であ
り、その取扱い時には充分な注意が必要である。そして
これらのガスを充填したボンベの輸送時や保存時などに
おいても有毒ガスの漏洩は皆無といえず、万一漏洩が発
生した場合には迅速に除去しなければならない。
【０００２】
【従来の技術】従来から特殊材料ガスボンベの漏洩に備
えて、供給設備あるいは貯蔵所内で漏洩した有毒ガスを
除去するために、一般的にはこれらの設備全体の排気装
置が設けられ、除害装置に接続されている。また、ボン
ベを輸送する場合には、有毒ガスの外部への漏出を防止
するために荷台を金属で覆った特殊なコンテナー、排気
装置などを設けた車両も使用されている。さらに、ボン
ベを１本づつ収容できる円筒形の下部箱体とこれに螺合
しうる箱体で除害筒および検知管を保持させた防災箱体
からなる有毒ガス用容器の収納箱も提案されている（実
開昭５９−９０６９７号公報）。
えて、供給設備あるいは貯蔵所内で漏洩した有毒ガスを
除去するために、一般的にはこれらの設備全体の排気装
置が設けられ、除害装置に接続されている。また、ボン
ベを輸送する場合には、有毒ガスの外部への漏出を防止
するために荷台を金属で覆った特殊なコンテナー、排気
装置などを設けた車両も使用されている。さらに、ボン
ベを１本づつ収容できる円筒形の下部箱体とこれに螺合
しうる箱体で除害筒および検知管を保持させた防災箱体
からなる有毒ガス用容器の収納箱も提案されている（実
開昭５９−９０６９７号公報）。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、設備全
体を排気するにはその容量を大きくする必要があり、除
害装置、排気ブロワーおよび付属設備など全体が大型と
なるため、漏洩ガス量が微量であってもこれらの設備に
要するスペース、費用が増大する。また、ボンベの輸送
のために特殊仕様の専用車両を製作するにも費用がかか
り過ぎるという問題がある。さらに、前記の防災箱体で
は、ボンベを１本づつ管理できるという利点はあるが、
ボンベ全体を収容するものであると同時に各箱体毎に除
害筒および検知管を設けるため高価となり、また、内部
のガスが十分に換気されないため、箱体を開くときには
細心の注意が必要である。
体を排気するにはその容量を大きくする必要があり、除
害装置、排気ブロワーおよび付属設備など全体が大型と
なるため、漏洩ガス量が微量であってもこれらの設備に
要するスペース、費用が増大する。また、ボンベの輸送
のために特殊仕様の専用車両を製作するにも費用がかか
り過ぎるという問題がある。さらに、前記の防災箱体で
は、ボンベを１本づつ管理できるという利点はあるが、
ボンベ全体を収容するものであると同時に各箱体毎に除
害筒および検知管を設けるため高価となり、また、内部
のガスが十分に換気されないため、箱体を開くときには
細心の注意が必要である。
【０００４】
【課題を解決するための手段】本発明者らは漏洩量が１
ａｔｍ．ｃｃ／ｓｅｃのような微量な場合を含め、ボン
ベのバルブ部から有毒な特殊材料ガスが漏洩した場合に
これらを迅速、かつ、確実に除去することができ、しか
も装着、取外し操作が簡単で、複数のボンベをまとめて
管理しうる漏洩ガスの除去装置を得るべく研究を重ねた
結果、ボンベの頭部のみを覆う特殊なキャップ（以下、
オーバーキャップと記す）を用いることにより、これら
の課題を解決しうることを見い出し、本発明を完成し
た。本発明は、有毒ガスが充填されたボンべから漏洩す
るガスを除去するためのボンベ漏洩ガス除去装置におい
て、ボンベの頭部を覆うオーバーキャップであって吸気
孔、排気孔およびボンベへの装着機構を有する複数のオ
ーバーキャップと、ガスの入口および出口を有し、内部
に有毒ガスの除去剤が充填された除害筒と、該除害筒の
ガスの出口と接続された排気ブロワーとを備えてなり、
前記オーバーキャップがそれぞれ排気孔と吸気孔でフレ
キシブルチューブによって互いに直列に接続され、オー
バーキャップの排気孔の少なくとも１つが除害筒の入口
と接続され、排気ブロワーを起動することによって、オ
ーバーキャップ内に漏洩した有毒ガスが除害筒に導かれ
るようにされてなることを特徴とするボンベ漏洩ガス除
去装置である。本発明は半導体製造工程などで使用され
る有毒な特殊材料ガスが充填されたボンベの貯蔵、運搬
時などの漏洩に対する安全確保に適用される。
ａｔｍ．ｃｃ／ｓｅｃのような微量な場合を含め、ボン
ベのバルブ部から有毒な特殊材料ガスが漏洩した場合に
これらを迅速、かつ、確実に除去することができ、しか
も装着、取外し操作が簡単で、複数のボンベをまとめて
管理しうる漏洩ガスの除去装置を得るべく研究を重ねた
結果、ボンベの頭部のみを覆う特殊なキャップ（以下、
オーバーキャップと記す）を用いることにより、これら
の課題を解決しうることを見い出し、本発明を完成し
た。本発明は、有毒ガスが充填されたボンべから漏洩す
るガスを除去するためのボンベ漏洩ガス除去装置におい
て、ボンベの頭部を覆うオーバーキャップであって吸気
孔、排気孔およびボンベへの装着機構を有する複数のオ
ーバーキャップと、ガスの入口および出口を有し、内部
に有毒ガスの除去剤が充填された除害筒と、該除害筒の
ガスの出口と接続された排気ブロワーとを備えてなり、
前記オーバーキャップがそれぞれ排気孔と吸気孔でフレ
キシブルチューブによって互いに直列に接続され、オー
バーキャップの排気孔の少なくとも１つが除害筒の入口
と接続され、排気ブロワーを起動することによって、オ
ーバーキャップ内に漏洩した有毒ガスが除害筒に導かれ
るようにされてなることを特徴とするボンベ漏洩ガス除
去装置である。本発明は半導体製造工程などで使用され
る有毒な特殊材料ガスが充填されたボンベの貯蔵、運搬
時などの漏洩に対する安全確保に適用される。
【０００５】本発明において、ボンベの頭部を覆うオー
バーキャップは空気を吸入するための吸気孔および有毒
ガスが漏洩した場合にこれを吸入した空気とともに除害
筒に送り出すための排気孔を有する筒状などのキャップ
であり、ボンベの頭部に気密に装着しうる機構を備えた
ものである。オーバーキャップは少なくともボンベの頭
部のバルブを含めて口金部全体を覆うとともにボンベに
気密に装着しうる機構を有するものであればその形状に
は特に制限はなく、円筒形、角筒形、球形などとされる
が、通常は円筒形および丸みを帯びた円筒形などであ
る。また、その材質としては各種の金属、合成樹脂など
を使用することができるが、強度、耐蝕性および耐久性
などからステンレス鋼などの金属製が好ましい。オーバ
ーキャップに設けられる吸気孔および排気孔の位置は頭
部、側面の任意箇所でよいが、内部の換気を効率よくす
るためには両者をできるだけ離して設けることが好まし
い。また、必要に応じて邪魔板などを設けることもでき
る。吸気孔および排気孔の直径は２〜２０ｍｍ程度とさ
れ、それぞれにはフレキシブルチューブや配管と接続で
きるよう螺子や継手などが設けられる。
バーキャップは空気を吸入するための吸気孔および有毒
ガスが漏洩した場合にこれを吸入した空気とともに除害
筒に送り出すための排気孔を有する筒状などのキャップ
であり、ボンベの頭部に気密に装着しうる機構を備えた
ものである。オーバーキャップは少なくともボンベの頭
部のバルブを含めて口金部全体を覆うとともにボンベに
気密に装着しうる機構を有するものであればその形状に
は特に制限はなく、円筒形、角筒形、球形などとされる
が、通常は円筒形および丸みを帯びた円筒形などであ
る。また、その材質としては各種の金属、合成樹脂など
を使用することができるが、強度、耐蝕性および耐久性
などからステンレス鋼などの金属製が好ましい。オーバ
ーキャップに設けられる吸気孔および排気孔の位置は頭
部、側面の任意箇所でよいが、内部の換気を効率よくす
るためには両者をできるだけ離して設けることが好まし
い。また、必要に応じて邪魔板などを設けることもでき
る。吸気孔および排気孔の直径は２〜２０ｍｍ程度とさ
れ、それぞれにはフレキシブルチューブや配管と接続で
きるよう螺子や継手などが設けられる。
【０００６】ボンベへの装着機構は通常はオーバーキャ
ップの下部に設けられるが、ボンベに密着した状態で固
定でき、装着および取外し操作の容易な形態であること
が好ましく、例えば、保護キャップを付けたままの状
態で２つの半割りリングを組み合わせてなる受けリング
をボンベの保護キャップの首部に取付け、これにパッキ
ンを介してオーバーキャップの下部を嵌合させて装着す
るようにたもの、ボンベの直径よりもやや内径の大き
いオーバーキャップの下部内側にリングパッキンなどを
固定してこれをボンベの肩部に冠着して装着するように
したもの、ボンベの保護キャップと同様な大きさのオ
ーバーキャップで下部内側に螺子溝を設けて保護キャッ
プの代わりにねじ込んで装着するようにしたものなどが
ある。これらのうちでも保護キャップを外すことなく、
全体を覆う形で容易に装着できる点などから、のよ
うな形態の装着機構が好ましい。
ップの下部に設けられるが、ボンベに密着した状態で固
定でき、装着および取外し操作の容易な形態であること
が好ましく、例えば、保護キャップを付けたままの状
態で２つの半割りリングを組み合わせてなる受けリング
をボンベの保護キャップの首部に取付け、これにパッキ
ンを介してオーバーキャップの下部を嵌合させて装着す
るようにたもの、ボンベの直径よりもやや内径の大き
いオーバーキャップの下部内側にリングパッキンなどを
固定してこれをボンベの肩部に冠着して装着するように
したもの、ボンベの保護キャップと同様な大きさのオ
ーバーキャップで下部内側に螺子溝を設けて保護キャッ
プの代わりにねじ込んで装着するようにしたものなどが
ある。これらのうちでも保護キャップを外すことなく、
全体を覆う形で容易に装着できる点などから、のよ
うな形態の装着機構が好ましい。
【０００７】オーバーキャップの排気孔はフレキシブル
チューブ、配管などによって除害筒の入口と接続される
が、ボンベと同数のオーバーキャップが使用され、これ
らが直列で除害筒と接続される。直列に接続するときに
はそれぞれのオーバーキャップの排気孔と吸気孔がフレ
キシブルチューブによって互いに直列に連結され、最端
のオーバーキャップの排気孔は除害筒の入口と接続さ
れ、他端のオーバーキャップの吸気孔が開放状態とされ
る。
チューブ、配管などによって除害筒の入口と接続される
が、ボンベと同数のオーバーキャップが使用され、これ
らが直列で除害筒と接続される。直列に接続するときに
はそれぞれのオーバーキャップの排気孔と吸気孔がフレ
キシブルチューブによって互いに直列に連結され、最端
のオーバーキャップの排気孔は除害筒の入口と接続さ
れ、他端のオーバーキャップの吸気孔が開放状態とされ
る。
【０００８】本発明において、オーバーキャップと接続
される除害筒は、通常は、ガスの入口および出口を有す
る円筒状の容器の内部に有毒ガスの除去剤が充填された
ものであり、その大きさ、除去剤の種類はボンベに充填
された特殊材料ガスの種類、オーバーキャップの数、接
続形態などに応じて選択される。また、有毒ガスの漏
洩、除去剤の破過を監視するなどの目的で、必要に応じ
て検知手段を設けることもできる。例えば、有毒ガス漏
洩の検知手段としてはオーバーキャップと除害筒を接続
する配管部などに検知剤を充填した容器を介在させる
か、または、除害筒の除去剤充填部のガスの入口側に覗
き窓を設けて、この位置に検知剤を充填してもよい。ま
た、除害筒の出口側に覗き窓を設けて、この位置に剤を
充填することによって、その変色により破過を予測また
は感知することもできる。
される除害筒は、通常は、ガスの入口および出口を有す
る円筒状の容器の内部に有毒ガスの除去剤が充填された
ものであり、その大きさ、除去剤の種類はボンベに充填
された特殊材料ガスの種類、オーバーキャップの数、接
続形態などに応じて選択される。また、有毒ガスの漏
洩、除去剤の破過を監視するなどの目的で、必要に応じ
て検知手段を設けることもできる。例えば、有毒ガス漏
洩の検知手段としてはオーバーキャップと除害筒を接続
する配管部などに検知剤を充填した容器を介在させる
か、または、除害筒の除去剤充填部のガスの入口側に覗
き窓を設けて、この位置に検知剤を充填してもよい。ま
た、除害筒の出口側に覗き窓を設けて、この位置に剤を
充填することによって、その変色により破過を予測また
は感知することもできる。
【０００９】除害筒と接続されるブロワーはオーバーキ
ャップ内に漏洩した有毒ガスを吸入された空気とともに
掃気しながら除害筒に導く容量のあるものであればよ
く、例えば、ターボブロワー、シロッコファンなどが使
用でき、その形式、大きさなどはオーバーキャップの容
積、接続形態などに応じて定められる。
ャップ内に漏洩した有毒ガスを吸入された空気とともに
掃気しながら除害筒に導く容量のあるものであればよ
く、例えば、ターボブロワー、シロッコファンなどが使
用でき、その形式、大きさなどはオーバーキャップの容
積、接続形態などに応じて定められる。
【００１０】以下、本発明を図面によって例示し、具体
的に説明する。図１は本発明の漏洩ガス除去装置のフロ
ーシートであり、図２ａおとびｂはボンベに装着された
オーバーキャップのそれぞれ異なる態様の断面図であ
る。図１において、頭部にそれぞれ吸気孔１および排気
孔２が設けられた３個のオーバーキャップ３、４、５が
特殊材料ガスが充填されたボンベ６、７、８の頭部に冠
着され、それぞれ首部で気密に固定されて装着されてい
る。オーバーキャップ３の吸気孔１は開放され、排気孔
２はキャップ４の吸気孔１と、キャップ４の排気孔２は
キャップ５の吸気孔１とそれぞれフレキシブルチューブ
９、９によって直列に連結され、キャップ５の排気孔２
はフレキシブルチューブ９および配管１０によって除害
筒１１の入口と接続され、フレキシブルチューブ９およ
び配管１０の間には検知剤容器１２が介在している。除
害筒１１の内部には除去剤１３が充填され、除去剤１３
の下流側には破過を検知するための検知剤１４が充填さ
れ、その側壁には覗き窓１５が設けられ、さらに除害筒
１１の出口はブロワー１６と接続されている。
的に説明する。図１は本発明の漏洩ガス除去装置のフロ
ーシートであり、図２ａおとびｂはボンベに装着された
オーバーキャップのそれぞれ異なる態様の断面図であ
る。図１において、頭部にそれぞれ吸気孔１および排気
孔２が設けられた３個のオーバーキャップ３、４、５が
特殊材料ガスが充填されたボンベ６、７、８の頭部に冠
着され、それぞれ首部で気密に固定されて装着されてい
る。オーバーキャップ３の吸気孔１は開放され、排気孔
２はキャップ４の吸気孔１と、キャップ４の排気孔２は
キャップ５の吸気孔１とそれぞれフレキシブルチューブ
９、９によって直列に連結され、キャップ５の排気孔２
はフレキシブルチューブ９および配管１０によって除害
筒１１の入口と接続され、フレキシブルチューブ９およ
び配管１０の間には検知剤容器１２が介在している。除
害筒１１の内部には除去剤１３が充填され、除去剤１３
の下流側には破過を検知するための検知剤１４が充填さ
れ、その側壁には覗き窓１５が設けられ、さらに除害筒
１１の出口はブロワー１６と接続されている。
【００１１】特殊材料ガスボンベの保管、運搬時などに
は、上記のようにオーバーキャップ３、４、５を装着し
た状態でブロワー１６が起動される。キャップ３の吸気
孔１から吸入された空気はキャップ３の内部を掃気しな
がら排気孔２、フレキシブルチューブ９を経て同様にキ
ャップ４、５を順次掃気し、除害筒１１を経由してブロ
ワー１６から排出される。いずれかのボンベから漏洩が
発生した場合には、有毒ガスは空気とともにオーバーキ
ャップ内で掃気され、除害筒１１に至り、ここで除去剤
１３と接触して確実に除去される。有毒ガスの漏洩は検
知剤容器１２内の検知剤の変色によって知ることができ
るが、オーバーキャップ内は常に掃気されているため、
有毒ガスが滞留せず、保守のためにキャップを取り外す
際も安全である。また、漏洩量が比較的多いときや長期
の使用などで除害筒１１が破過したときには除去剤１３
の下部の検知剤１４の変色によって感知される。
は、上記のようにオーバーキャップ３、４、５を装着し
た状態でブロワー１６が起動される。キャップ３の吸気
孔１から吸入された空気はキャップ３の内部を掃気しな
がら排気孔２、フレキシブルチューブ９を経て同様にキ
ャップ４、５を順次掃気し、除害筒１１を経由してブロ
ワー１６から排出される。いずれかのボンベから漏洩が
発生した場合には、有毒ガスは空気とともにオーバーキ
ャップ内で掃気され、除害筒１１に至り、ここで除去剤
１３と接触して確実に除去される。有毒ガスの漏洩は検
知剤容器１２内の検知剤の変色によって知ることができ
るが、オーバーキャップ内は常に掃気されているため、
有毒ガスが滞留せず、保守のためにキャップを取り外す
際も安全である。また、漏洩量が比較的多いときや長期
の使用などで除害筒１１が破過したときには除去剤１３
の下部の検知剤１４の変色によって感知される。
【００１２】図２ａにおいて、下部の口径が細く上部が
太く二段とされた円筒状のリングを縦方向に切断した半
割りのリングを合わせ、２つの合わせ目の一方を改めて
蝶番２０によって繋ぎ合わせて他の合わせ目が開閉でき
るようにするとともにパッチン錠２１を取り付け、それ
ぞれの半割りのリングの内側にゴムパッキン２２を固定
した受けリング２３がボンベの首部２４に巻き付けられ
ている。一方、上面に吸気孔２５、排気孔２６および内
側に邪魔板２７が設けられた円筒形のキャップ本体２８
が受けリング２３に嵌め込まれ、パッチン錠２３を締め
ることにより、気密に装着されている。
太く二段とされた円筒状のリングを縦方向に切断した半
割りのリングを合わせ、２つの合わせ目の一方を改めて
蝶番２０によって繋ぎ合わせて他の合わせ目が開閉でき
るようにするとともにパッチン錠２１を取り付け、それ
ぞれの半割りのリングの内側にゴムパッキン２２を固定
した受けリング２３がボンベの首部２４に巻き付けられ
ている。一方、上面に吸気孔２５、排気孔２６および内
側に邪魔板２７が設けられた円筒形のキャップ本体２８
が受けリング２３に嵌め込まれ、パッチン錠２３を締め
ることにより、気密に装着されている。
【００１３】図２ｂにおいて、ボンベ３０の径よりも内
径が若干大きく、側面に吸気孔３１および上面に排気孔
３２が設けられ、装着機構として下部内面にリング状の
パッキン３３が固着されたオーバーキャップがボンベ３
０に冠着され、肩部でパッキン３３によって気密に固定
されて装着されている。
径が若干大きく、側面に吸気孔３１および上面に排気孔
３２が設けられ、装着機構として下部内面にリング状の
パッキン３３が固着されたオーバーキャップがボンベ３
０に冠着され、肩部でパッキン３３によって気密に固定
されて装着されている。
【００１４】
【発明の効果】本発明の漏洩ガス除去装置は下記のよう
な優れた特徴を有している。 ボンベの口金部、バル
ブなどから漏洩する有毒ガスが迅速、かつ、確実に除去
される。 オーバーキャップは直列あるいは並列に任
意に連結することができるので、除害筒、ブロワーは１
基で複数のボンベに対処できる。 構造が簡単で小型
であり、装着および取外しが操作が容易で作業効率が高
くしかも、安価に製造できる。 オーバーキャップは
容積が小さく、ブロワーの容量も小さいものでよく、消
費電力も小さく、バッテリーなどでも連続運転できるの
で、ボンベ運搬用車両に取り付けも容易である。 オ
ーバーキャップ内は常に掃気されているため、漏洩時に
おける保守などで取り外す場合にも安全である。など特
殊材料ガスボンベの運搬、貯蔵時の安全確保に大きく貢
献することが期待できる。
な優れた特徴を有している。 ボンベの口金部、バル
ブなどから漏洩する有毒ガスが迅速、かつ、確実に除去
される。 オーバーキャップは直列あるいは並列に任
意に連結することができるので、除害筒、ブロワーは１
基で複数のボンベに対処できる。 構造が簡単で小型
であり、装着および取外しが操作が容易で作業効率が高
くしかも、安価に製造できる。 オーバーキャップは
容積が小さく、ブロワーの容量も小さいものでよく、消
費電力も小さく、バッテリーなどでも連続運転できるの
で、ボンベ運搬用車両に取り付けも容易である。 オ
ーバーキャップ内は常に掃気されているため、漏洩時に
おける保守などで取り外す場合にも安全である。など特
殊材料ガスボンベの運搬、貯蔵時の安全確保に大きく貢
献することが期待できる。
【００１５】
【図１】 漏洩ガス除去装置のフローシート。
【図２】 ボンベに装着されたオーバーキャップの断面
図。
図。
１、２５、３１ 吸気孔
２、２６、３２ 排気孔
３、４、５ オーバーキャップ
６、７、８、３０ ボンベ
９ フレキシブルチューブ
１０ 配管
１１ 除害筒
１２ 検知剤容器
１３ 除去剤
１４ 検知剤
１５ 覗き窓
１６ ブロワー
２０ 蝶番
２１ 錠
２３ 受けリング
２４ 首部
２７ 邪魔板
２８ キャップ本体
Claims (3)
- 【請求項１】 有毒ガスが充填されたボンべから漏洩す
るガスを除去するためのボンベ漏洩ガス除去装置におい
て、ボンベの頭部を覆うオーバーキャップであって吸気
孔、排気孔およびボンベへの装着機構を有する複数のオ
ーバーキャップと、ガスの入口および出口を有し、内部
に有毒ガスの除去剤が充填された除害筒と、該除害筒の
ガスの出口と接続された排気ブロワーとを備えてなり、
前記オーバーキャップがそれぞれ排気孔と吸気孔でフレ
キシブルチューブによって互いに直列に接続され、オー
バーキャップの排気孔の少なくとも１つが除害筒の入口
と接続され、排気ブロワーを起動することによって、オ
ーバーキャップ内に漏洩した有毒ガスが除害筒に導かれ
るようにされてなることを特徴とするボンベ漏洩ガス除
去装置。 - 【請求項２】 オーバーキャップの装着機構がボンベの
首部または胴部にワンタッチで気密に固定可能な構造と
された請求項１に記載の除去装置。 - 【請求項３】 オーバーキャップと除害筒を接続する連
絡管に検知剤が充填された容器が介在せしめられてなる
請求項１に記載の除去装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP06124593A JP3506258B2 (ja) | 1993-02-26 | 1993-02-26 | ボンベ漏洩ガス除去装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP06124593A JP3506258B2 (ja) | 1993-02-26 | 1993-02-26 | ボンベ漏洩ガス除去装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0755099A JPH0755099A (ja) | 1995-03-03 |
| JP3506258B2 true JP3506258B2 (ja) | 2004-03-15 |
Family
ID=13165661
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP06124593A Expired - Fee Related JP3506258B2 (ja) | 1993-02-26 | 1993-02-26 | ボンベ漏洩ガス除去装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3506258B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP6503394B2 (ja) * | 2017-03-17 | 2019-04-17 | 本田技研工業株式会社 | 高圧タンク |
Family Cites Families (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH079280B2 (ja) * | 1987-09-09 | 1995-02-01 | 三菱電機株式会社 | ガスボンベの安全取扱い装置 |
| JPH07117198B2 (ja) * | 1987-12-02 | 1995-12-18 | 日本酸素株式会社 | 防災キャップ |
-
1993
- 1993-02-26 JP JP06124593A patent/JP3506258B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0755099A (ja) | 1995-03-03 |
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