JP3506032B2 - Dmso含有水の処理装置 - Google Patents

Dmso含有水の処理装置

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JP3506032B2 JP05884899A JP5884899A JP3506032B2 JP 3506032 B2 JP3506032 B2 JP 3506032B2 JP 05884899 A JP05884899 A JP 05884899A JP 5884899 A JP5884899 A JP 5884899A JP 3506032 B2 JP3506032 B2 JP 3506032B2
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    • Y02WCLIMATE CHANGE MITIGATION TECHNOLOGIES RELATED TO WASTEWATER TREATMENT OR WASTE MANAGEMENT
    • Y02W10/00Technologies for wastewater treatment
    • Y02W10/10Biological treatment of water, waste water, or sewage

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明はDMSO((C
32SO:ジメチルスルホキシド)を含む排水を効率
的に処理する装置に関する。
【0002】
【従来の技術】近年、半導体製造工程や液晶パネル製造
工程でDMSOが多く使用されるようになり、これらD
MSO含有排水の処理が重要となっている。
【0003】従来、DMSO含有排水の処理方法として
は、次のような方法が知られている。
【0004】 活性汚泥又は担体担持させた微生物に
よる生物分解法 オゾンや過酸化水素水などの酸化剤を用いて分解す
る方法 燃焼処理方法 しかしながら、の方法では、反応槽内を好気性条件に
保つことが難しく、嫌気性条件下での生物分解過程でメ
チルメルカプタン(CH3SH:MM)や硫化水素(H2
S)などの臭気性毒性ガスを発生するという問題があ
る。この問題を解決するべく、生物処理槽を好気性条件
に保つために様々な工夫がなされているが、活性汚泥フ
ロック又は担持担体内部の一部が嫌気性条件となった
り、装置停止により好気性条件を保てなくなった時など
には、上記の問題を回避し得なかった。また、の方法
ではDMSOの分解効率が悪く、反応に長時間を要し、
ランニングコストもかかる。の方法では、低濃度のD
MSOを処理できないなどの問題があった。
【0005】そのため、DMSOを用いる工場から排出
されるDMSO含有排水の多くは、廃棄物処理業者によ
る引き取りにより処分されていた。
【0006】この問題を解決すべく、本出願人は先に、
DMSO含有排水を嫌気性処理槽で嫌気生物処理した
後、曝気が行われている好気性処理槽で好気生物処理
し、次いで固液分離処理して処理水を得、分離汚泥を、
返送汚泥として嫌気性処理槽及び好気性処理槽に返送す
るDMSO含有排水の処理方法を提案した(特開平6−
91289号公報)。
【0007】この方法によれば、嫌気生物処理と好気生
物処理との組み合せで、DMSO含有排水を臭気発生の
問題を引き起こすことなく、高い処理効率で、低コスト
に処理することができる。即ち、この方法では、DMS
Oを嫌気生物処理により還元反応させて硫化メチル
((CH32S:DMS)とし、生成したDMSを好気
生物処理によりMM、H2Sを経て硫酸イオンにまで酸
化分解する。
【0008】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、特開平
6−91289号公報に記載される生物処理を2段階に
行う方法では、装置設置面積が大きく、広いスペースを
必要とする;運転管理が難しい;余剰汚泥が発生するこ
とから、汚泥の処分の問題がある;といった不具合があ
る。
【0009】本発明はこのような問題を解決し、DMS
O含有排水を容易かつ効率的に処理することができる装
置であって、装置設置面積が小さくて足り、運転管理が
容易で、また、余剰汚泥発生の問題が全くないか或いは
余剰汚泥発生量の少ないDMSO含有水の処理装置を提
供することを目的とする。
【0010】
【課題を解決するための手段】本発明のDMSO含有水
の処理装置は、DMSOを含む排水が導入される第1の
処理手段と、この第1の処理手段の処理水が導入される
第2の処理手段と、該第1の処理手段及び/又は第2の
処理手段で発生したガスを処理するガス処理手段とを備
えてなるDMSO含有水の処理装置において、該第1の
処理手段と第2の処理手段とを、次のI−AとII−Aと
の組み合せとするか、I−AとII−Bとの組み合せとす
るか、或いは、I−BとII−Aとの組み合せとするもの
である。
【0011】〔第1の処理手段〕 I−A:還元剤添加手段、触媒還元手段及び電気分解還
元手段よりなる群から選ばれる1種又は2種以上 I−B:嫌気生物処理手段 〔第2の処理手段〕 II−A:酸化剤添加手段、触媒酸化手段、電気分解酸化
手段及び気化処理手段よりなる群から選ばれる1種又は
2種以上 II−B:好気生物処理手段 本発明においては、DMSOを第1の処理手段でDMS
ないしはH2S,MMに還元した後、生成したDMS,
2S,MMを第2の処理手段で酸化して硫酸イオンに
まで分解するか、或いはこれらのガスを気化させてガス
処理手段で処理する。
【0012】しかして、本発明においては、これら第1
の処理手段及び第2の処理手段の少なくとも一方を生物
処理手段ではなく、化学的又は物理的処理手段とするこ
とにより、生物処理手段同士を組み合せることによる装
置設置スペースの増大、運転管理の煩雑化、余剰汚泥発
生の問題を解消ないし軽減して、DMSO含有排水を容
易かつ効率的に処理することができる。特に、本発明で
は上記I−A,II−Aの処理手段において、温度、p
H、圧力等の処理条件を制御することにより還元、酸化
ないし気化反応速度を容易に向上させることができ、よ
り一層効率的な処理を行うことが可能である。
【0013】
【発明の実施の形態】以下に図面を参照して本発明のD
MSO含有水の処理装置の実施の形態について詳細に説
明する。
【0014】図1〜4は、本発明で採用される第1の処
理手段の実施の形態を示す系統図であり、図5〜9は本
発明で採用される第2の処理手段の実施の形態を示す系
統図である。
【0015】図1に示す第1の処理手段は、DMSO含
有排水に還元剤を添加して、DMSOを還元する還元剤
添加還元反応槽1であり、DMSOの還元で生成したD
MS,H2S,MM等を含む還元処理水は後段の第2の
処理手段へ送給される。また、この還元反応で生成した
メタン(CH4),H2S,MM等のガスは、ガス処理手
段へ送給されて処理される。
【0016】図2に示す第1の処理手段は、DMSO含
有排水に還元剤を添加した後触媒と接触させてDMSO
を接触還元する触媒還元反応槽2と還元反応液の気液分
離槽3とで構成されるものである。触媒還元反応槽2で
は必要に応じて紫外線照射を行って還元反応を促進して
も良い。気液分離槽3で分離された還元処理水は後段の
第2の処理手段に送給され、CH4,H2S,MM等の等
の反応生成ガスや還元剤として水素(H2)を用いた場
合の残留H2等はガス処理装置へ送給されて処理され
る。
【0017】図3に示す第1の処理手段は、DMSO含
有排水を電気分解により還元する電気分解還元反応槽4
であり、DMSO含有排水はこの電気分解還元反応槽4
の陰極側に導入され、DMSOが電気分解還元される。
還元処理水は後段の第2の処理手段に送給され、C
4,H2S,MM等の発生ガスはガス処理装置へ送給さ
れて処理される。
【0018】図4に示す第1の処理手段は、DMSO含
有排水を嫌気微生物で嫌気生物処理する嫌気生物処理槽
5であり、DMSO含有排水中のDMSOは、必要に応
じて添加されるP,N等の生物栄養源の存在下還元処理
される。還元処理水は後段の第2の処理手段に送給さ
れ、CH4,H2S,MM等の発生ガスはガス処理装置へ
送給される。
【0019】図5に示す第2の処理手段は、還元処理水
に酸化剤を添加して、還元処理水中のDMS,H2S,
MM等を酸化して硫酸イオンにまで分解する酸化剤添加
酸化反応槽6であり、酸化処理水は系外へ排出される。
【0020】なお、7は酸化剤としてオゾン(O3)等
のガス状のものを用いた場合に用いられる気液混合装置
である。
【0021】図6に示す第2の処理手段は、還元処理水
に酸化剤を添加した後触媒と接触させてDMS等を接触
酸化する触媒酸化反応槽8と酸化反応液の気液分離槽9
とで構成されるものである。触媒酸化反応槽8では必要
に応じて紫外線照射を行って酸化反応を促進しても良
い。気液分離槽9で分離された酸化処理水は系外へ排出
される。酸化剤としてO2等のガス状のものを用いた場
合に、気液分離槽9で気液分離された残留O2は系外へ
排出される。
【0022】図7に示す第2の処理手段は、還元処理水
を電気分解により酸化する電気分解酸化反応槽10であ
り、還元処理水はこの電気分解酸化反応槽10の陽極側
に導入され、DMS等が電気分解酸化される。酸化処理
水は系外へ排出される。この電気分解酸化反応槽10で
はO2,CO2,H2ガスが発生するが、これらはそのま
ま系外へ排出することができる。
【0023】図8に示す第2の処理手段は、還元処理水
中の溶存ガスを気化させる気化処理槽11であり、この
気化処理槽11を通過する間に真空ポンプPで吸引され
たCH4,H2S,MM等のガスは、ガス処理手段で処理
される。
【0024】また、気化処理手段としては真空ポンプを
用いる手段以外にも、空気、N2ガス等を接触させ、気
化させる手段を用いても良い。
【0025】図9に示す第2の処理手段は、還元処理水
を好気微生物で好気生物処理する好気生物処理槽12で
あり、還元処理水中のDMS等は、必要に応じて添加さ
れるP,N等の生物栄養源の存在下、及び散気管12A
からの曝気下、酸化処理され、酸化処理水は系外へ排出
される。
【0026】本発明において、第1の処理手段におい
て、還元剤を添加する場合、用いる還元剤としては、重
亜硫酸ナトリウム、亜硫酸ナトリウム、その他の金属塩
類や水素等が挙げられる。
【0027】また、第2の処理手段において、酸化剤を
添加する場合、用いる酸化剤としてはオゾン、酸素、過
マンガン酸カリウム、重クロム酸カリウム等が挙げられ
る。
【0028】還元剤や酸化剤としてガス状のものを用い
る場合には、必要に応じて反応槽の前段に図5に示すよ
うな気液混合装置(エゼクター、ラインミキサー等)を
設け、また、反応槽の後段に図2,6に示すような気液
分離槽を設けるのが好ましい。
【0029】これら還元剤や酸化剤の添加割合は、被処
理液中の還元対象成分や酸化対象成分の量に応じて適宜
決定される。
【0030】還元反応槽や酸化反応槽の後段には、必要
に応じて残留する還元剤や酸化剤の処理手段を設けても
良い。
【0031】本発明において用いるガス処理手段として
は特に制限はないが、生物脱臭装置、O3脱臭装置、燃
焼装置等を用いることができる。
【0032】また、嫌気生物処理槽、好気生物処理槽と
して、流動層式のように汚泥の流出する型式のものを用
いた場合には、その後段に膜分離装置、沈殿槽等の固液
分離手段を設ける。また、生物処理槽からは、適宜余剰
汚泥の引き抜きを行う。
【0033】第1の処理手段及び第2の処理手段で用い
る反応槽や処理槽は、発生ガスの拡散を防止するため
に、密閉容器を用いるのが好ましい。
【0034】本発明において、第1の処理手段と第2の
処理手段との組み合せは、処理するDMSO含有排水中
の含有成分やその含有量に応じて適宜決定される。ただ
し、本発明では、第1の処理手段と第2の処理手段のう
ちの少なくとも一方は生物処理手段ではなく、物理化学
的な処理手段を用い、これにより、装置の小容量化、処
理コストの低減、処理時間の短縮を図ると共に、発生ガ
スをガス処理手段で処理して良好な環境条件のもとに装
置の安全運転を容易に行うことができる。
【0035】
【発明の効果】以上詳述した通り、本発明のDMSO含
有水の処理装置によれば、安全運転が容易な小型な装置
によりDMSO含有排水を容易かつ効率的に低コストに
処理して高水質処理水を得ることができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明に係る還元剤添加還元反応槽の実施の形
態を示す系統図である。
【図2】本発明に係る触媒還元反応槽の実施の形態を示
す系統図である。
【図3】本発明に係る電気分解還元反応槽の実施の形態
を示す系統図である。
【図4】本発明に係る嫌気生物処理槽の実施の形態を示
す系統図である。
【図5】本発明に係る酸化剤添加酸化反応槽の実施の形
態を示す系統図である。
【図6】本発明に係る触媒酸化反応槽の実施の形態を示
す系統図である。
【図7】本発明に係る電気分解酸化反応槽の実施の形態
を示す系統図である。
【図8】本発明に係る気化処理槽の実施の形態を示す系
統図である。
【図9】本発明に係る好気生物処理槽の実施の形態を示
す系統図である。
【符号の説明】
1 還元剤添加還元反応槽 2 触媒還元反応槽 3 気液分離槽 4 電気分解還元反応槽 5 嫌気生物処理槽 6 酸化剤添加酸化反応槽 7 気液混合装置 8 触媒酸化反応槽 9 気液分離槽 10 電気分解酸化反応槽 11 気化処理槽 12 好気生物処理槽
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 特開 平9−85261(JP,A) 特開 平8−238497(JP,A) 特開 平11−42479(JP,A) 特開 平6−23376(JP,A) 特開 平5−337479(JP,A) 特開 平6−91289(JP,A) (58)調査した分野(Int.Cl.7,DB名) C02F 1/58 C02F 1/70 - 1/78 C02F 3/28 - 3/34

Claims (3)

    (57)【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 DMSOを含む排水が導入される第1の
    処理手段と、この第1の処理手段の処理水が導入される
    第2の処理手段と、該第1の処理手段及び/又は第2の
    処理手段で発生したガスを処理するガス処理手段とを備
    えてなるDMSO含有水の処理装置において、 該第1の処理手段が、還元剤添加手段、触媒還元手段及
    び電気分解還元手段よりなる群から選ばれる1種又は2
    種以上であり、 該第2の処理手段が、酸化剤添加手段、触媒酸化手段、
    電気分解酸化手段及び気化処理手段よりなる群から選ば
    れる1種又は2種以上であることを特徴とするDMSO
    含有水の処理装置。
  2. 【請求項2】 DMSOを含む排水が導入される第1の
    処理手段と、この第1の処理手段の処理水が導入される
    第2の処理手段と、該第1の処理手段及び/又は第2の
    処理手段で発生したガスを処理するガス処理手段とを備
    えてなるDMSO含有水の処理装置において、 該第1の処理手段が、還元剤添加手段、触媒還元手段及
    び電気分解還元手段よりなる群から選ばれる1種又は2
    種以上であり、 該第2の処理手段が好気生物処理手段であることを特徴
    とするDMSO含有水の処理装置。
  3. 【請求項3】 DMSOを含む排水が導入される第1の
    処理手段と、この第1の処理手段の処理水が導入される
    第2の処理手段と、該第1の処理手段及び/又は第2の
    処理手段で発生したガスを処理するガス処理手段とを備
    えてなるDMSO含有水の処理装置において、 該第1の処理手段が嫌気生物処理手段であり、 該第2の処理手段が、酸化剤添加手段、触媒酸化手段、
    電気分解酸化手段及び気化処理手段よりなる群から選ば
    れる1種又は2種以上であることを特徴とするDMSO
    含有水の処理装置。
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