JP3501036B2 - 質量分析計 - Google Patents
質量分析計Info
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- JP3501036B2 JP3501036B2 JP26340299A JP26340299A JP3501036B2 JP 3501036 B2 JP3501036 B2 JP 3501036B2 JP 26340299 A JP26340299 A JP 26340299A JP 26340299 A JP26340299 A JP 26340299A JP 3501036 B2 JP3501036 B2 JP 3501036B2
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-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J49/00—Particle spectrometers or separator tubes
- H01J49/02—Details
- H01J49/04—Arrangements for introducing or extracting samples to be analysed, e.g. vacuum locks; Arrangements for external adjustment of electron- or ion-optical components
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J49/00—Particle spectrometers or separator tubes
- H01J49/02—Details
- H01J49/06—Electron- or ion-optical arrangements
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- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- Electron Tubes For Measurement (AREA)
- Other Investigation Or Analysis Of Materials By Electrical Means (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、質量分析計に関す
る。 【０００２】 【従来の技術】一般に質量分析計は、試料をイオン化し
てイオン流を生成するイオン化部、前記イオン流を複数
の電極板等から成るレンズ系により収束及び加速してイ
オンビームを生成するためのビーム収束部、及び、前記
イオンビームに含まれるイオンを質量数ｍ／ｚ（質量ｍ
と電荷ｚとの比）に応じて分離し、分離されたイオンを
検出する分析検出部を備えている。 【０００３】 大気圧下で試料をイオン化するようなイ
オン化法（例えば、大気圧イオン化法）を用いる質量分
析計に好適な形態としていわゆる差動排気型が知られて
いる。差動排気型質量分析計では、イオン化部、ビーム
収束部及び分析検出部が、差動壁（イオンを通過させる
ための微小径の通路又は孔を設けた壁で、平板状に限ら
れない）により仕切られており、ビーム収束部及び分析
検出部には排気用のポンプが取り付けられている。そし
て、分析中は、イオン化部の内部を大気圧程度に維持す
る一方、ビーム収束部及び分析検出部内の気圧は、ポン
プを適宜稼動させることにより、例えば、イオン化部の
内部を１０−２Ｐａ程度の中真空状態に、また分析検出
部の内部は１０−４Ｐａ程度の高真空状態に維持する。 【０００４】 【発明が解決しようとする課題】差動排気型質量分析計
の内部は上記のように複数の内部隔壁で仕切られた複雑
な構造を有するため、内部に配置された各部品のメンテ
ナンス作業に手間がかかるという問題があるが、この問
題は特にビーム収束部について顕著である。すなわち、
従来の場合、ビーム収束部はイオン化部及び分析検出部
により前後を塞がれている一方、質量分析計の内部の部
品にアクセスするためのメンテナンス用開口は装置の前
面（ビーム収束部の配置された側）に設けられていた。
このため、ビーム収束部に対するメンテナンス作業を行
う場合、ビーム収束部へのアクセス経路を確保するため
に、メンテナンス対象ではないイオン化部の構成部品を
先に質量分析計の本体から取り出した上、更にビーム収
束部の構成部品を取り出すという面倒な作業を行ってい
た。 【０００５】また、ビーム収束部は、イオン流の収束や
加速のための電極板等多数の構成部品を含んでおり、こ
れらの部品を全てチェックするには多方向から部品へア
クセスできなければならないが、ビーム収束部が質量分
析計の本体内部にある状態では多方向から部品にアクセ
スすることは困難である。従って、実際には、ビーム収
束部の構成部品を質量分析計の本体から取り出す必要が
あるのであるが、従来の質量分析計では、ビーム収束部
の構成部品を容易に取り出すための特別な工夫は成され
ていなかったため、ネジやボルトをドライバー等で外す
等の面倒な作業が必要であった。そして、メンテナンス
作業が完了した後には、上記のように取り外した部品を
全て元通りに質量分析計の本体内に取り付けなければな
らなかった。なお、このような問題は、差動排気型質量
分析計に限らず、ビーム収束部の構成部品へ多方向から
アクセスできないような構造を有する他の形式の質量分
析計にも同様に生じうる。 【０００６】本発明は以上のような課題を解決するため
に成されたものであり、その目的とするところは、レン
ズ系等、ビーム収束部の構成部品に対するメンテナンス
が容易に行えるような質量分析計を提供することにあ
る。 【０００７】 【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
に成された本発明に係る質量分析計は、試料をイオン化
して得られるイオン流を収束及び加速してイオンビーム
を生成するためのレンズ系と、前記レンズ系を気密に収
納する本体とを備える質量分析計において、前記レンズ
系を構成する複数の構成部品から成るレンズユニット
と、該レンズユニットを前記本体内で位置決めするため
の位置決め手段と、前記本体内に配設されるばね部材
と、該ばね部材を変形状態で保持するために前記レンズ
ユニット及び前記本体に設けられたばね保持手段とを備
え、前記レンズユニットを前記位置決め手段により位置
決めし、前記ばね保持手段に前記ばね部材を保持させる
と、該ばね部材の弾性力により該レンズユニットが前記
本体内で固定されることを特徴としている。 【０００８】 【発明の実施の形態】本発明の一実施形態である質量分
析計の概略的構成について図４を参照しながら説明す
る。図４に示した質量分析計１は、箱状の本体２に設け
られたイオン化部１０、ビーム収束部２０及び分析検出
部３０を備えている。イオン化部１０は、液体クロマト
グラフ等から送られてくる液状試料を気化又は霧化して
得られる試料ガスに含まれる成分を大気圧イオン化法で
イオン化するイオン化ユニット１１を備えている。ビー
ム収束部２０は、イオン流を収束させて後記抽出ユニッ
ト２２へ導入する導入ユニット２１、導入ユニット２１
から導入されたイオン流の一部をビーム状に抽出するた
めの抽出ユニット２２、前記のように抽出されたイオン
を加速してイオンビームを生成するための電極群を含む
レンズユニット２３を備えている。これらのユニットは
本発明にいうレンズ系を構成する。分析検出部３０はイ
オンビームに含まれるイオンを質量数毎に分離するため
の四重極３１、及び、該四重極３１をイオンビームの光
軸方向に通過したイオンを検出するイオン検出器３２を
備えている。イオン化部１０は本体２内に設けられた第
一の内部壁３を挟んでビーム収束部２０と隣接してお
り、同様にビーム収束部２０は第二の内部壁４を挟んで
分析検出部３０と隣接している。第一の内部壁３には、
試料ガスから溶媒を除去するためのインターフェース１
３が取り付けられており、このインターフェース１３を
通じてイオン化部１０の内部空間がビーム収束部２０の
内部空間と連通している。ビーム収束部２０及び分析検
出部３０には排気用のポンプ（ターボ分子ポンプ、ＴＭ
Ｐ）２５、３３がそれぞれ取り付けられている。また、
分析検出部３０には真空計（イオンゲージ、ＩＧ）３４
が取り付けられている。 【０００９】ビーム収束部２０の構造について図１〜図
３を参照しながら説明する。図１はビーム収束部２０の
平面図、図２は図１のII−II線におけるビーム収束部２
０の垂直断面図、図３は図２のIII−III線におけるビー
ム収束部２０の一部の水平断面図である。 【００１０】ビーム収束部２０の上面にはメンテナンス
用の開口４１が設けられている。この開口４１は、ヒン
ジ４２により本体２に取り付けられた扉４３により気密
に閉塞可能である。扉４３を閉じるときは、扉４３の先
端に設けられた固定部４４を本体２に設けられた固定部
４５にネジ、ボルト等で固定する。 【００１１】導入ユニット２１はビーム収束部２０の内
部に設けられた内部壁５を貫通する形で該内部壁５に固
定された略円筒状の本体５１を有しており、この中にイ
オン流を収束させるためのデフレクタレンズ５２が配設
されている。抽出ユニット２２は、中心にイオン通過用
の開口を設けた円形蓋状の基板５３にスキマー５４及び
引出し電極５５を固定して成るものである。基板５３は
導入ユニット２１の本体５１の端部に着脱自在である。
レンズユニット２３は、中心にイオン通過用の開口を有
する複数の円形電極板５６ａ及びその後段に配置された
オリフィス状電極５６ｂを含む電極群を、中心にイオン
通過用の開口を有する円形蓋状の基板５７に固定して成
るものである。基板５７は内部壁４を貫通する形で該内
部壁４に固定された略円筒状の部材（以下、単に円筒状
部材とする）５８の端部に着脱自在である。 【００１２】 図２に示したように、ビーム収束部２０
は、内部壁５の壁面に固定されたフック６０、及び、底
壁面７に設けられたばね固定部６６に下端が固定された
略く字状のばね６１を備えている。また、抽出ユニット
２３の基板５３の側面にはばね６１を受ける突起６２が
設けられている。これらフック６０、ばね固定部６６及
び突起６２は本発明にいうばね保持手段を構成する。 【００１３】抽出ユニット２２の基板５３を導入ユニッ
ト２１の本体５１に装着した状態で、ばね６１の上端を
フック６０に係合させると、基板５３の側部に設けた突
起６２がばね６１の弾性力により図２の矢印Ａ２へ押さ
れる。この力により、基板５３は導入ユニット２１の本
体５１の端部に押圧、固定される。図３に示したよう
に、導入ユニット２１の本体５１の端部にはＯリング６
４が装着されているため、基板５３は導入ユニット２１
の本体５１の端部に高い気密性をもって結合される。こ
の結果、内部壁５、導入ユニット２１の本体５１及び抽
出ユニット２２の基板５３から成る差動壁が完成する。 【００１４】 レンズユニット２３の固定構造も上記と
同様である。すなわち、レンズユニット２３の基板５７
には突起７２が設けられている。そして、内部壁４の壁
面に固定されたフック７０に、底壁面７に設けられたば
ね固定部７３に下端が固定された略く字状のばね７１の
上端を係合させることにより、基板５７が円筒状部材５
８の端部に押圧、固定される。この結果、内部壁４、円
筒状部材５８及びレンズユニット２３の基板５７から成
る差動壁が完成する。 【００１５】上記のように構成されたビーム収束部２０
のメンテナンス作業を行うには、扉４３を開き、抽出ユ
ニット２２やレンズユニット２３の電極から配線６５を
外し、更にばね６１の先端を図２の破線Ｂ２で示したよ
うにフック６０から外す。このようにすれば、抽出ユニ
ット２２の基板５３を導入ユニット２１の本体５１の端
部から容易に取り外すことができる。そして、ツマミ６
３を持って抽出ユニット２２を引上げ、開口４１から取
り出せば、抽出ユニット２２の構成部品に任意の方向か
ら自在にアクセスすることができる。なお、レンズユニ
ット２３も上記と同様の手順で円筒状部材５８から取り
外し、開口４１から外へ出すことができることは言うま
でもない。また、上記各ユニットは、上記とは逆の手順
で容易に本体２内に取り付けることができることも明ら
かである。 【００１６】このように、本実施形態の質量分析計１
は、イオン化部１０や分析検出部３０の構成部品を取り
外さなくても、ばね６１、７１の上端をフック６０、７
０から外すだけで、ビーム収束部２０の構成ユニットを
本体２から容易に取り出すことができる。また、ビーム
収束部２０の構成ユニットを本体内に固定するには、各
ユニットを所定箇所（例えば、抽出ユニット２２であれ
ば、導入ユニット２１の本体５１の端部）に配置し、ば
ね６１、７１の上端をフック６０、７０に係合させるだ
けで、そのユニットが固定される。 【００１７】なお、本発明に係る質量分析計の実施形態
は上記のものに限られない。例えば、上記実施形態では
ビーム収束部のメンテナンス用の扉を本体の上面に設け
るようにしたが、この扉を側面に設けるようにしてもよ
い。また、ヒンジにより取り付けられた回動自在な扉の
代わりに、ボルト等で固定される蓋により開口を閉じる
ようにしてもよい。また、上記実施形態ではビーム収束
部を固定するためのばね部材として略く字状のばね部材
を用いたが、例えば、コイルばねや板バネのような他の
形状のばね部材を用いても、上記のようにフックを用い
た固定機構を構成することができる。 【００１８】なお、上記実施形態では差動排気型質量分
析装置に本発明を応用したが、他の型式の質量分析計で
あっても、レンズ系を構成するユニットを位置決め固定
するための隔壁等を本体内部に有するものであれば、本
発明を応用することができる。 【００１９】 【発明の効果】以上のように、本発明に係る質量分析計
は、フック等のばね保持部にばね部材を変形状態で保持
させたときに生じる該ばね部材の弾性力を利用してレン
ズ系を本体内に固定するようにしたため、レンズ系の本
体への取り付け及び本体からの取り外し作業を容易に行
うことができる。
る。 【０００２】 【従来の技術】一般に質量分析計は、試料をイオン化し
てイオン流を生成するイオン化部、前記イオン流を複数
の電極板等から成るレンズ系により収束及び加速してイ
オンビームを生成するためのビーム収束部、及び、前記
イオンビームに含まれるイオンを質量数ｍ／ｚ（質量ｍ
と電荷ｚとの比）に応じて分離し、分離されたイオンを
検出する分析検出部を備えている。 【０００３】 大気圧下で試料をイオン化するようなイ
オン化法（例えば、大気圧イオン化法）を用いる質量分
析計に好適な形態としていわゆる差動排気型が知られて
いる。差動排気型質量分析計では、イオン化部、ビーム
収束部及び分析検出部が、差動壁（イオンを通過させる
ための微小径の通路又は孔を設けた壁で、平板状に限ら
れない）により仕切られており、ビーム収束部及び分析
検出部には排気用のポンプが取り付けられている。そし
て、分析中は、イオン化部の内部を大気圧程度に維持す
る一方、ビーム収束部及び分析検出部内の気圧は、ポン
プを適宜稼動させることにより、例えば、イオン化部の
内部を１０−２Ｐａ程度の中真空状態に、また分析検出
部の内部は１０−４Ｐａ程度の高真空状態に維持する。 【０００４】 【発明が解決しようとする課題】差動排気型質量分析計
の内部は上記のように複数の内部隔壁で仕切られた複雑
な構造を有するため、内部に配置された各部品のメンテ
ナンス作業に手間がかかるという問題があるが、この問
題は特にビーム収束部について顕著である。すなわち、
従来の場合、ビーム収束部はイオン化部及び分析検出部
により前後を塞がれている一方、質量分析計の内部の部
品にアクセスするためのメンテナンス用開口は装置の前
面（ビーム収束部の配置された側）に設けられていた。
このため、ビーム収束部に対するメンテナンス作業を行
う場合、ビーム収束部へのアクセス経路を確保するため
に、メンテナンス対象ではないイオン化部の構成部品を
先に質量分析計の本体から取り出した上、更にビーム収
束部の構成部品を取り出すという面倒な作業を行ってい
た。 【０００５】また、ビーム収束部は、イオン流の収束や
加速のための電極板等多数の構成部品を含んでおり、こ
れらの部品を全てチェックするには多方向から部品へア
クセスできなければならないが、ビーム収束部が質量分
析計の本体内部にある状態では多方向から部品にアクセ
スすることは困難である。従って、実際には、ビーム収
束部の構成部品を質量分析計の本体から取り出す必要が
あるのであるが、従来の質量分析計では、ビーム収束部
の構成部品を容易に取り出すための特別な工夫は成され
ていなかったため、ネジやボルトをドライバー等で外す
等の面倒な作業が必要であった。そして、メンテナンス
作業が完了した後には、上記のように取り外した部品を
全て元通りに質量分析計の本体内に取り付けなければな
らなかった。なお、このような問題は、差動排気型質量
分析計に限らず、ビーム収束部の構成部品へ多方向から
アクセスできないような構造を有する他の形式の質量分
析計にも同様に生じうる。 【０００６】本発明は以上のような課題を解決するため
に成されたものであり、その目的とするところは、レン
ズ系等、ビーム収束部の構成部品に対するメンテナンス
が容易に行えるような質量分析計を提供することにあ
る。 【０００７】 【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
に成された本発明に係る質量分析計は、試料をイオン化
して得られるイオン流を収束及び加速してイオンビーム
を生成するためのレンズ系と、前記レンズ系を気密に収
納する本体とを備える質量分析計において、前記レンズ
系を構成する複数の構成部品から成るレンズユニット
と、該レンズユニットを前記本体内で位置決めするため
の位置決め手段と、前記本体内に配設されるばね部材
と、該ばね部材を変形状態で保持するために前記レンズ
ユニット及び前記本体に設けられたばね保持手段とを備
え、前記レンズユニットを前記位置決め手段により位置
決めし、前記ばね保持手段に前記ばね部材を保持させる
と、該ばね部材の弾性力により該レンズユニットが前記
本体内で固定されることを特徴としている。 【０００８】 【発明の実施の形態】本発明の一実施形態である質量分
析計の概略的構成について図４を参照しながら説明す
る。図４に示した質量分析計１は、箱状の本体２に設け
られたイオン化部１０、ビーム収束部２０及び分析検出
部３０を備えている。イオン化部１０は、液体クロマト
グラフ等から送られてくる液状試料を気化又は霧化して
得られる試料ガスに含まれる成分を大気圧イオン化法で
イオン化するイオン化ユニット１１を備えている。ビー
ム収束部２０は、イオン流を収束させて後記抽出ユニッ
ト２２へ導入する導入ユニット２１、導入ユニット２１
から導入されたイオン流の一部をビーム状に抽出するた
めの抽出ユニット２２、前記のように抽出されたイオン
を加速してイオンビームを生成するための電極群を含む
レンズユニット２３を備えている。これらのユニットは
本発明にいうレンズ系を構成する。分析検出部３０はイ
オンビームに含まれるイオンを質量数毎に分離するため
の四重極３１、及び、該四重極３１をイオンビームの光
軸方向に通過したイオンを検出するイオン検出器３２を
備えている。イオン化部１０は本体２内に設けられた第
一の内部壁３を挟んでビーム収束部２０と隣接してお
り、同様にビーム収束部２０は第二の内部壁４を挟んで
分析検出部３０と隣接している。第一の内部壁３には、
試料ガスから溶媒を除去するためのインターフェース１
３が取り付けられており、このインターフェース１３を
通じてイオン化部１０の内部空間がビーム収束部２０の
内部空間と連通している。ビーム収束部２０及び分析検
出部３０には排気用のポンプ（ターボ分子ポンプ、ＴＭ
Ｐ）２５、３３がそれぞれ取り付けられている。また、
分析検出部３０には真空計（イオンゲージ、ＩＧ）３４
が取り付けられている。 【０００９】ビーム収束部２０の構造について図１〜図
３を参照しながら説明する。図１はビーム収束部２０の
平面図、図２は図１のII−II線におけるビーム収束部２
０の垂直断面図、図３は図２のIII−III線におけるビー
ム収束部２０の一部の水平断面図である。 【００１０】ビーム収束部２０の上面にはメンテナンス
用の開口４１が設けられている。この開口４１は、ヒン
ジ４２により本体２に取り付けられた扉４３により気密
に閉塞可能である。扉４３を閉じるときは、扉４３の先
端に設けられた固定部４４を本体２に設けられた固定部
４５にネジ、ボルト等で固定する。 【００１１】導入ユニット２１はビーム収束部２０の内
部に設けられた内部壁５を貫通する形で該内部壁５に固
定された略円筒状の本体５１を有しており、この中にイ
オン流を収束させるためのデフレクタレンズ５２が配設
されている。抽出ユニット２２は、中心にイオン通過用
の開口を設けた円形蓋状の基板５３にスキマー５４及び
引出し電極５５を固定して成るものである。基板５３は
導入ユニット２１の本体５１の端部に着脱自在である。
レンズユニット２３は、中心にイオン通過用の開口を有
する複数の円形電極板５６ａ及びその後段に配置された
オリフィス状電極５６ｂを含む電極群を、中心にイオン
通過用の開口を有する円形蓋状の基板５７に固定して成
るものである。基板５７は内部壁４を貫通する形で該内
部壁４に固定された略円筒状の部材（以下、単に円筒状
部材とする）５８の端部に着脱自在である。 【００１２】 図２に示したように、ビーム収束部２０
は、内部壁５の壁面に固定されたフック６０、及び、底
壁面７に設けられたばね固定部６６に下端が固定された
略く字状のばね６１を備えている。また、抽出ユニット
２３の基板５３の側面にはばね６１を受ける突起６２が
設けられている。これらフック６０、ばね固定部６６及
び突起６２は本発明にいうばね保持手段を構成する。 【００１３】抽出ユニット２２の基板５３を導入ユニッ
ト２１の本体５１に装着した状態で、ばね６１の上端を
フック６０に係合させると、基板５３の側部に設けた突
起６２がばね６１の弾性力により図２の矢印Ａ２へ押さ
れる。この力により、基板５３は導入ユニット２１の本
体５１の端部に押圧、固定される。図３に示したよう
に、導入ユニット２１の本体５１の端部にはＯリング６
４が装着されているため、基板５３は導入ユニット２１
の本体５１の端部に高い気密性をもって結合される。こ
の結果、内部壁５、導入ユニット２１の本体５１及び抽
出ユニット２２の基板５３から成る差動壁が完成する。 【００１４】 レンズユニット２３の固定構造も上記と
同様である。すなわち、レンズユニット２３の基板５７
には突起７２が設けられている。そして、内部壁４の壁
面に固定されたフック７０に、底壁面７に設けられたば
ね固定部７３に下端が固定された略く字状のばね７１の
上端を係合させることにより、基板５７が円筒状部材５
８の端部に押圧、固定される。この結果、内部壁４、円
筒状部材５８及びレンズユニット２３の基板５７から成
る差動壁が完成する。 【００１５】上記のように構成されたビーム収束部２０
のメンテナンス作業を行うには、扉４３を開き、抽出ユ
ニット２２やレンズユニット２３の電極から配線６５を
外し、更にばね６１の先端を図２の破線Ｂ２で示したよ
うにフック６０から外す。このようにすれば、抽出ユニ
ット２２の基板５３を導入ユニット２１の本体５１の端
部から容易に取り外すことができる。そして、ツマミ６
３を持って抽出ユニット２２を引上げ、開口４１から取
り出せば、抽出ユニット２２の構成部品に任意の方向か
ら自在にアクセスすることができる。なお、レンズユニ
ット２３も上記と同様の手順で円筒状部材５８から取り
外し、開口４１から外へ出すことができることは言うま
でもない。また、上記各ユニットは、上記とは逆の手順
で容易に本体２内に取り付けることができることも明ら
かである。 【００１６】このように、本実施形態の質量分析計１
は、イオン化部１０や分析検出部３０の構成部品を取り
外さなくても、ばね６１、７１の上端をフック６０、７
０から外すだけで、ビーム収束部２０の構成ユニットを
本体２から容易に取り出すことができる。また、ビーム
収束部２０の構成ユニットを本体内に固定するには、各
ユニットを所定箇所（例えば、抽出ユニット２２であれ
ば、導入ユニット２１の本体５１の端部）に配置し、ば
ね６１、７１の上端をフック６０、７０に係合させるだ
けで、そのユニットが固定される。 【００１７】なお、本発明に係る質量分析計の実施形態
は上記のものに限られない。例えば、上記実施形態では
ビーム収束部のメンテナンス用の扉を本体の上面に設け
るようにしたが、この扉を側面に設けるようにしてもよ
い。また、ヒンジにより取り付けられた回動自在な扉の
代わりに、ボルト等で固定される蓋により開口を閉じる
ようにしてもよい。また、上記実施形態ではビーム収束
部を固定するためのばね部材として略く字状のばね部材
を用いたが、例えば、コイルばねや板バネのような他の
形状のばね部材を用いても、上記のようにフックを用い
た固定機構を構成することができる。 【００１８】なお、上記実施形態では差動排気型質量分
析装置に本発明を応用したが、他の型式の質量分析計で
あっても、レンズ系を構成するユニットを位置決め固定
するための隔壁等を本体内部に有するものであれば、本
発明を応用することができる。 【００１９】 【発明の効果】以上のように、本発明に係る質量分析計
は、フック等のばね保持部にばね部材を変形状態で保持
させたときに生じる該ばね部材の弾性力を利用してレン
ズ系を本体内に固定するようにしたため、レンズ系の本
体への取り付け及び本体からの取り外し作業を容易に行
うことができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】 本発明の一実施形態である質量分析計のビー
ム収束部の平面図。 【図２】 図１のII−II線における上記ビーム収束部の
垂直断面図。 【図３】 図２のIII−III線における上記ビーム収束部
の一部の水平断面図。 【図４】 上記質量分析計の概略的構成を示す図。 【符号の説明】 １…質量分析計 ２…本体 ２０…ビーム収束部 ２１…導入ユニット ２２…抽出ユニット ２３…レンズユニット ４１…開口 ６０、７０…フック ６１、７１…ばね
ム収束部の平面図。 【図２】 図１のII−II線における上記ビーム収束部の
垂直断面図。 【図３】 図２のIII−III線における上記ビーム収束部
の一部の水平断面図。 【図４】 上記質量分析計の概略的構成を示す図。 【符号の説明】 １…質量分析計 ２…本体 ２０…ビーム収束部 ２１…導入ユニット ２２…抽出ユニット ２３…レンズユニット ４１…開口 ６０、７０…フック ６１、７１…ばね
Claims (1)
- (57)【特許請求の範囲】 【請求項１】 試料をイオン化して得られるイオン流を
収束及び加速してイオンビームを生成するためのレンズ
系と、前記レンズ系を気密に収納する本体とを備える質
量分析計において、 前記レンズ系を構成する複数の構成部品から成るレンズ
ユニットと、下端が固定された略く字状ばねと、フック
と、レンズユニットに設けられた突起とを備え、 該突起が略く字状ばねを受けた状態で該略く字状ばねの
上端を前記フックに係合させることによりレンズユニッ
トが位置決めされ、かつ、該略く字状ばね の弾性力によ
り該レンズユニットが前記本体内で固定されることを特
徴とする質量分析計。
Priority Applications (2)
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|---|---|---|---|
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Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP26340299A JP3501036B2 (ja) | 1999-09-17 | 1999-09-17 | 質量分析計 |
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| JP3501036B2 true JP3501036B2 (ja) | 2004-02-23 |
Family
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Family Applications (1)
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|---|---|---|---|
| JP26340299A Expired - Lifetime JP3501036B2 (ja) | 1999-09-17 | 1999-09-17 | 質量分析計 |
Country Status (2)
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|---|---|
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