JP3497562B2 - 能動型磁気軸受のためのサーボ制御回路 - Google Patents

能動型磁気軸受のためのサーボ制御回路

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JP3497562B2
JP3497562B2 JP13853694A JP13853694A JP3497562B2 JP 3497562 B2 JP3497562 B2 JP 3497562B2 JP 13853694 A JP13853694 A JP 13853694A JP 13853694 A JP13853694 A JP 13853694A JP 3497562 B2 JP3497562 B2 JP 3497562B2
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control circuit
force
magnetic flux
negative feedback
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ウルリッヒ シェロダー
エレン エリック
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ソシエテ ドゥ メカニク マグネティク ソシエテ アノニム
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    • F16C32/00Bearings not otherwise provided for
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    • F16C32/044Active magnetic bearings
    • F16C32/0444Details of devices to control the actuation of the electromagnets
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    • F16ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16CSHAFTS; FLEXIBLE SHAFTS; ELEMENTS OR CRANKSHAFT MECHANISMS; ROTARY BODIES OTHER THAN GEARING ELEMENTS; BEARINGS
    • F16C2360/00Engines or pumps
    • F16C2360/44Centrifugal pumps
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  • Magnetic Bearings And Hydrostatic Bearings (AREA)
  • Feedback Control In General (AREA)
  • Control Of Position Or Direction (AREA)

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、例えば、任意のタイプ
の回転機、特にコンプレッサ、ターボエキスパンダーあ
るいは分子ポンプ(molecular drag pump) における使用
に好適な能動型磁気軸受(active magnetic bearing) の
ためのサーボ制御回路に関する。
【0002】
【従来の技術】従来、予め定められた軸上に二つの電磁
巻線を備えている能動型磁気軸受(AMB)によるロー
タ位置のループサーボ制御(loop servo-controlling)
は、その軸に沿うロータ位置を検出するための位置検出
器と、比例・積分・微分(PID)型の調整器あるいは
補正回路網と、逆方向に作用する二つの電磁石に給電す
る二つの電力増幅器とを有している。調整器からの出力
信号は電磁石の巻線への給電を制御し、必要な電流が、
電流フィードバックに加えてAMBの空隙における磁束
変動に比例する信号からのフィードバックを有する電力
増幅器によって、供給される。それら自体のフィードバ
ックループを有する増幅器は、それぞれ、(調整器から
の出力信号により)(空隙内の磁束を制御するための)
電圧制御型の磁束供給源として動作する。
【0003】位置検出器により導出された信号に基づい
てAMBによりロータの位置をサーボ制御する目的は、
調整器からの出力信号に直接的に比例する電磁石からの
吸引力を得ることである(例えば、AMB巻線に対する
そのようなサーボ制御回路の要素を示している仏国特許
第FR2417797号を参照されたい)。予め定めら
れた軸に沿ったAMBを制御するために、電力増幅器が
同時に制御されているか、あるいは、交互に制御されて
いるかに依存して、当面の信号を処理するようにサーボ
制御回路中に二つの異なった種類のシステムを用いるこ
とが可能である。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】同時モード動作におい
ては、これは(低周波増幅器の動作との類似で)「A
級」動作と呼ばれ、そこでは空隙中の磁束は最大磁束の
50%に相当する残留値(rest value)を持っており、極
めて良好な動的性能に関連する極めて程度の高い直線性
を得ることが可能であるけれども、磁気回路中の高い損
失によりコスト面で不都合がある。これらの損失として
は、増幅器、ケーブルあるいはコイルに依るものだけで
はなく、また最終的なものとして、特に高速度におい
て、ロータ中の磁界の転換(commutation) に関連し、か
つ、磁束の残留値の二乗とともに変化する大きなロータ
損失を発生させることとなるAMBのロータ部材の回転
に依るものがある。
【0005】対照的に、「B級」動作、すなわち、空隙
中の磁束の残留値がゼロあるいはゼロに近い状態の動
作、と同様に呼ぶことができる異なるモードで動作して
いる場合には、かなりロータ損失を軽減することが可能
である。しかしながら、指令からその結果としての力へ
直線的な変換を達成するためには、各電力増幅器の入力
に二次の(平方根)リニアライザを用いることが必須と
なる。加えて、多くの欠点が現れる。特に、始動力とし
て許容できる最大の力が小さいものとなり、非直線性が
指令/力の変換特性におけるゼロ交差に留まり、また、
全体的な動的動作特性が良好でなくなる。
【0006】このことは、同時モードと交互モードとの
両方における動作の利点を示す、すなわち、サーボ制御
システムを構成している種々の回路における損失とそれ
に要求される動的性能との間に良好な妥協点を見つける
ことが可能となるサーボ制御を提供することを、本発明
が求めることとなった理由である。
【0007】
【課題を解決するための手段】この目的は、予め定めら
れた軸y−y’に沿って支持されたロータの位置をそれ
らの軸y−y’に沿うロータの側に対向して配置さ
れ、かつ、それぞれ電磁巻線を配設された二つの能動型
磁気軸受素子によって制御するためのサーボ制御回路で
あって、その各々がそれぞれの電磁巻線を備え、サーボ
制御が軸y−y’に沿うロータの位置の検出器によって
導出される信号xdに基づいて行われるようになってお
り、そのサーボ制御回路はその検出器により導出された
信号に応答して巻線に印加される給電を指令し、かつ、
補正回路網と、各々がそれぞれの電流負帰還ループおよ
びそれぞれの磁束負帰還ループに関連している二つの電
力増幅回路とを有しているサーボ制御回路を用いて達成
され、特徴として、そのサーボ制御回路は、補正回路網
からの出力において、その補正回路網からの力指令(for
ce command) fcと予め定められた軸y−y’に沿う結
果としての力fとの間の比率が動的負荷に依存する力指
令f c の振幅とは無関係に一定に保たれ、それらの電力
増幅器の各々に対して基準信号φ1、φ2を導出するため
の付加的な電気的手段を有している。
【0008】こうして、恒久的な高い動的負荷に繋がれ
るわけではない回転機について、AMBのロータおよび
ステータの積層(lamination)中に生じる磁気的損失、ま
た、回転機のステータ巻線中および種々の接続ケーブル
中のジュール効果による損失を大きく低減することが可
能となる。その付加的な電気的手段は、次式を満足する
変換関数を持つ第1の直線化手段(linearization mean
s) を有している。すなわち、絶対値|fc |<4φ0
2 を持つ力指令に対して、 Y=1/4φ0 (1−φ0 ) また、|fc |>4φ0 2 に対して、 Y=(√fc −φ0 )/(1−φ0 ) ここで、φ0 は空隙における磁束の残留値である。
【0009】この方法において、力指令fc と結果の力
との間に直線的な関係(f/fc=1)が得られるこ
ととなる。好ましくは、第1の直線化手段は、各々が空
隙内の決定され、かつ、別個の磁束残留値φ0 に対応し
ている複数の直線化カーブ(linearization curve) を送
出する。
【0010】 そこで、この構成によって、各種の動的
負荷を持つ異なった回転機についてサーボ制御を実現す
ることが可能となる。利点として、一つの直線化カーブ
から他のものへの切り換えは自動的に実行される。変形
実施例において、電力増幅器の電流負帰還ループは、A
MBの誘導/電流の非直線性を補償するための第2の直
線化手段を有している。
【0011】この構造を用いて、誘導の飽和効果(effec
t of induction saturation)、すなわち、高レベルの誘
導の際に積層の透磁率が低減することに基づく誘導/電
流の非直線性を補償することが可能となる。そこで、サ
ーボ制御がより直線的なものとなり、このことは全ての
周波数において適用可能である。第1の実施例において
は、第1および第2の直線化手段はそれぞれダイオード
関数発生器を有している。
【0012】この実際的な解決法は、それが、好ましく
はゼロ付近において完全に直線的であるという利点を持
つ二つ、三つあるいは四つのスロープを含む発生器を用
いて、簡単に実現されることが可能であることから、特
に有効である。第2の実施例においては、第1および第
2の直線化手段の各々は、それらの直線化手段の変換関
数が値のテーブルの形態で蓄積されることとなる不揮発
性メモリを有している。
【0013】このディジタル的な第2の解決法は、直線
化手段のカーブに対してより精密な近似を与えるという
利点を持っている。本発明の他の特性および利点は、限
定的なものではない例示の手段によって与えられ、か
つ、添付した図面を参照する以下の記述からより明らか
となろう。
【0014】
【実施例】図1は、能動型磁気軸受(active magnetic b
earing) 素子によって、ロータ31の位置が予め定めら
れた軸y−y’に沿って制御されることを可能とする本
発明によるサーボ制御回路のブロック図である。このブ
ロック図およびそれに続く図を分かり易くするために、
図中に現れる参照はディメンジョンを除いてあり、実際
の(raw) 信号(必要な場合には大文字で表示される)の
値はそれらのそれぞれの最大値によって除算されてい
る。そこで、通常±10ボルトの電圧変動を含むPID
調整器の出力における実際の力指令(force command) 信
号FC は、±1の変動を含む無次元(dimensionless) の
信号fc (対応する小文字で表示される)となる。
【0015】補正回路網8(例えば、PID調整器)
は、基準信号xc と軸y−y’に沿うロータ位置を検出
するための位置検出器5a、5bからの信号xd との間
の差を生成する減算器6によって、入力信号を取り入
れ、そして、その回路網は変換関数Yを持つリニアライ
ザ(linearizer)10に印加される力指令信号fc を出力
するように応答し、その出力は(1−φ0 )のゲインの
減衰器12に印加される。ここで、φ0 はfc がゼロに
等しい時に空隙内の磁束の残留値(rest value)に対応す
る。その減衰器からの出力は、第1に、第1の合成回
路14の第1の入力に印加され、第2に、反転された
後、第2の合成回路16の第1の入力に印加され、それ
らの合成回路の各々はその第2の入力に信号φ0 を受け
入れている。合成回路14および16からの出力信号v
1 およびv2 は、それぞれ負のカットオフ回路18、2
0(この機能は増幅器により直接的に実行されてもよ
い)を経て、それぞれ電力増幅器22、24に印加さ
れ、それらの出力は能動型磁気軸受30の各電磁石のそ
れぞれの巻線26、28に結合されている。
【0016】二つの電磁石の吸引力f1 およびf2 の間
の差は軸y−y’に沿ったAMBの合成力を形成す
る。各増幅器はそれぞれの電流負帰還ループ32、34
に関連しており、それらは、それぞれの電流測定素子3
5、36から取り出される電流測定信号をそれらの入力
に再び注入する。同様に、それぞれの磁束負帰還ループ
38、40が空隙中の磁束の変動に比例する信号を各増
幅器の入力に再び注入しており、それらの信号はそれぞ
れの検出回路42および44から取り出される。負のカ
ットオフ回路18および20は、空隙の磁束φ1 、φ2
が、合成回路14、16により出力される基準値にかか
わらず、常に正であり、そこでは、負の基準値はゼロ磁
束を生じることとなることを保証するように作用する。
【0017】高レベルの誘導(特に、1テスラより大き
いレベル)における積層の透磁率の低減によって生じる
誘導/電流非直線性を補償するために、各増幅器の電流
負帰還ループ32、34内において、対応する電流測定
素子35、36と対応する増幅器入力との間にそれぞれ
の第2のリニアライザ46、48を含むことが可能であ
る。そのようなリニアライザの変換関数はAMBの磁束
−電流カーブを再現し、それによって、誘導の飽和効果
を補償することが可能にされている。サーボ制御がより
直線的なものとなり、そこで、理解し、調整することが
容易となる。
【0018】第1のリニアライザ10の変換関数は、力
指令fcと結果の力との間に直線的な関係が存在す
る、すなわち、f/fc=1となることを保証するよう
に、決定されている。通常、電力増幅器の負帰還におい
て電流あるいは電圧の飽和がなければ、基準の磁束値φ
と空隙中の磁束とは一致する。これは、次の関係: f1 =F1/Fmax=(Φ1/Φmax2=φ1 22 =F2/Fmax=(Φ2/Φmax2=φ2 2 f =(F1−F2)/Fmax=φ1 2−φ2 2 f =(fcY(1−φ0)+φ02−(−fcY(1−φ0)+φ 0 2 =4fcYφ0(1−φ0) を導く。条件f/fc=1を満たすためには、リニアラ
イザのゲインは、 Ycons=1/4φ0(1−φ0) でなければならない。そこで、リニアライザのカーブ
は、次式 fc *=fc/4φ0(1−φ0) を満足する。この直線的な範囲の外側において、すなわ
ち、増幅器に対する基準磁束が負となる場合、すなわ
ち、fc>4φ0 2に対して(第1象限において)、リニ
アライザのカーブ(第1象限における)は、次式 fc *=(√fc−φ0)/(1−φ0) を満足する。スロープの変化なしに、直線的な範囲から
非直線的な範囲への変化が生じることが観察できる点
で、興味深い。fc=4φ0 2においては、そのスロープ
は dfc */dfc=1/4φ0(1−φ0) により与えられる。
【0019】図2は、第1象限において、かつ、二つの
決定された異なる磁束残留値(fluxrest value) φ0
対するリニアライザの変換関数Yを示している。第1の
ケース(点線図示)においては、システムは直線的な範
囲内にあり、かつ、リニアライザのカーブはスロープ1
の直線である。他方、φ0 =0.2の場合には、リニア
ライザのカーブは、最初のうちは、fc =0.16まで
スロープdfc * /dfc =1.5625の直線であ
り、そして、そのfc の値以上において、カーブは式f
c * =(√fc −0.2)/0.8を持つこととなる。
四象限全てにおけるサーボ制御の特性カーブを示してい
る図3に見られるように、力指令信号の関数としてのA
MBの予め定められた軸y−y’に沿う力に対するカー
ブは、φ0の値にかかわらず、スロープ1の直線とな
る。カーブ1はリニアライザのカーブ(例えば、φ0
0.3に対して)であり、カーブ2は力指令信号fc
関数としての第2電磁石の力f2 を表しており、カーブ
3は力指令信号fc の関数としての第1電磁石の力f1
を表しており、そして、カーブ4はAMBの軸に沿う結
果としての力である。
【0020】図4に、本発明によるサーボ制御回路の動
的動作特性が示されており、そこには、AMBによって
導出される力に応答するAMB内の磁束および電圧が示
されている。AMBによって導出される結果的な力
は、静的な、すなわち、予荷重(preload) の力f0 =F
0 /Fmax と、角周波数ω=2π/T(ここで、Tは角
周波数の周期である)における摂動力fp =Fp /F
pmaxとに分割する、すなわち、 f(t)=f0 +fp sinωt とすることができる。飽和がなければ、AMBにおける
電流と磁束とは比例し、そこで、 i(t)=I(t)/Imax =Φ/Φmax =φ(t) となる。電磁石の端子間の電圧は、 U1,2 (t)=LdI1,2 /dt 正規化すれば、 u(t)=(Imax /Umax )Ldφ(t)/dt のように記述される。ここで、Imax およびUmax は、
電力増幅器が受入れ可能な最大電流および電圧である。
i(t)およびu(t)は無次元(dimensionless) であ
るので、飽和された増幅器の状態は1より大きい絶対値
に対応することとなる。
【0021】図1の回路は次の各式を満たすことが明ら
かとなる。すなわち、セクションA:絶対値におけるf
(t)<4φ0 2に対して、
【0022】
【数1】
【0023】セクションB:f(t)>4φ0 2に対し
て、
【0024】
【数2】
【0025】セクションC:f(t)<−4φ0 2に対し
て、
【0026】
【数3】
【0027】図4のカーブは、f(t)=0.2+0.
8sinωtおよびφ0 =0.3の場合に、適用してい
る。この場合、力は上述した三つのセクションの全てに
おいて変化することとなる。図5は、図1のサーボ制御
回路の付加的な電気的手段10、12、14、16、1
8、20(図1中に点線図示のブロック内に含まれる)
の実施例を示しており、これらが本発明の特徴点であ
る。この実施例においては、リニアライザ10は、ダイ
オードD1 乃至D6 とともに、抵抗R0 乃至R4 および
Ra 乃至Rd の回路網からなる負帰還ループと関連する
第1の演算増幅器OP1 により通常の方法で構成された
ダイオード関数発生器として、単純に実現されている。
低入力電圧において、全てのダイオードはオフにされて
おり、増幅器のゲインは一定に決定される。電圧が増大
すると、ダイオードが順に導通し、それによって増幅器
のゲインに決められた低下が生じる。出願人の行った実
験によれば、図2の理論的なカーブは四つのスロープを
持つ発生器により良好に近似することができることが示
された。リニアライザ10からの出力信号は第2の演算
増幅器OP2 の反転入力に印加され、その非反転入力は
磁束の残留値に比例する或る決められた電位に設定され
ている。合成回路16の機能を実行する演算増幅器OP
2 は、リニアライザの電圧出力VS に比例する電圧と磁
束の残留値に比例する電圧との間の差に等しい決められ
た出力電圧V2 を導出する。電圧V2 は第3の演算増幅
器OP3 の反転入力に結合され、それは、合成回路14
の機能を実行し、その非反転入力に磁束の残留値に比例
する決められた電圧を受入れ、そして、その決められた
電圧とリニアライザからの出力電圧VS に比例する電圧
との合計に等しい決定された電圧V1 をその出力に導出
する。それらの信号V1 およびV2 が電力増幅器に対す
る指令信号を(電力増幅器は負の電流を発生しないの
で、クリップした後に)構成することとなる。当業者で
あれば、AMBの特性に基づいて上述した種々の構成要
素に対する値を容易に決定することは可能である。
【0028】リニアライザ10の構造は、第2のリニア
ライザ46および48の実際的な実施例を提供するため
に、完全に適していることが観察された。そこで、出願
人は、三つのスロープの発生器が得られるべき磁束/電
流カーブ極めて良好に再現することができるというこ
とを、実験的に決定した。しかしながら、2−スロープ
の発生器もまた適しているかも知れない。当然に、本発
明は上述の実施例に限定されるものではなく、また、上
述したリニアライザは、代わりに、ディジタル計算を実
行するためのプロセッサを利用する図6の実施例により
示されているように、ディジタル形式で実現されること
もできる。
【0029】プロセッサ50は、fc を決定するPID
アルゴリズムを生成することによって位置調整を提供
し、電力増幅器に対する指令基準Cを計算し、そして、
摂動の振幅の関数として変化する磁束残留基準を導出す
るように、同時に作用する。アナログ/ディジタル変換
器52および54は、それぞれ、アナログ位置データx
d およびアナログ基準データxc をディジタル形式、有
効なものとしては12ビット、に変換し、それによっ
て、プロセッサ50に増幅器指令基準Cを同様に12ビ
ットで(第1のディジタル/アナログ変換器56による
変換の後に)発生させるように、作用する。基準値Cを
計算するために用いられるアルゴリズムは、摂動のレベ
ルの関数として自動的かつ予め定められた態様で変化す
る磁束残留値φ0 に依存している先に定義された数式を
満足する。すなわち、 |fc |<4φ0 2のとき、 C=fc /4φ0 4φ0 2<fc <1のとき、 C=√|fc |−φ0 −1<fc <−4φ0 2のとき、 C=φ0 −√|fc | である。
【0030】磁束残留値φ0 は、プロセッサ50によ
り、例えば8ビットで導出され、そして、第1および第
2の合成回路14および16に対応するアナログ信号を
供給する第2のディジタル/アナログ変換器58に印加
される。φ0 の各値は特定の直線化カーブを定義してお
り、これらのカーブのうちの適切なものが、摂動の振幅
の関数として予め定められた態様でその磁束残留値を定
義するプロセッサ50によって、自動的に考慮に入れら
れる。そのような解決法によって、理論的なカーブは、
上述のアナログ構成によって可能となるものより、より
精確に再現されることが可能となる。
【0031】上述した説明においては、説明を簡単にす
るために、単一の軸y−y’に沿う制御を行うサーボ制
御回路にのみ注目したが、本発明は、他の軸上に配設さ
れた他の組の電磁石に対して、例えば、ロータに対する
放射状の平面に位置する互いに垂直な二つの軸x−x’
およびy−y’上に配設された二組の電磁石に対しても
同様に適用されるものである。
【0032】
【発明の効果】本発明によれば、恒久的な高い動的負荷
に繋がれるわけではない回転機について、AMBのロー
タおよびステータの積層中に生じる磁気的損失、また、
回転機のステータ巻線中および種々の接続ケーブル中の
ジュール効果による損失を大きく低減することが可能と
なる。
【0033】また、誘導の飽和効果、すなわち、高レベ
ルの誘導の際に積層の透磁率が低減することに基づく誘
導/電流の非直線性を補償することが可能となり、サー
ボ制御がより直線的なものとなり、かつ、全ての周波数
において適用可能である。
【図面の簡単な説明】
【図1】AMB素子によって予め定められた軸に沿うロ
ータの位置を制御するための本発明によるサーボ制御回
路のブロック図である。
【図2】空隙内の磁束の種々の残留値に対する直線化手
段の変換関数を示す特性図である。
【図3】図1の回路により得られるサーボ制御の全四象
限における特性カーブを示す特性図である。
【図4】本発明によるサーボ制御回路の動的動作特性の
カーブを示す特性図である。
【図5】図1の電力増幅器のための制御用構成部分の実
施例を示す回路図である。
【図6】ディジタル計算のためのプロセッサを実現して
おり、AMB素子によって予め定められた軸に沿うロー
タの位置を制御するためのサーボ制御回路のブロック図
である。
【符号の説明】
5a,5b…位置検出器 6…減算器 8…補正回路網 10,46,48…リニアライザ 12…減衰器 14,16…合成回路 18,20…カットオフ回路 22,24…電力増幅器 26,28…電磁石巻線 30…能動型磁気軸受 31…ロータ 32,34…電流負帰還ループ 35,36…電流測定素子 38,40…磁束負帰還ループ 42,44…磁束検出回路 50…プロセッサ 52,54…アナログ/ディジタル変換器 56,58…ディジタル/アナログ変換器
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 特開 平2−291973(JP,A) 特開 昭55−85905(JP,A) 実開 平4−12006(JP,U) (58)調査した分野(Int.Cl.7,DB名) G05D 3/00 - 3/20 G05B 11/00 - 13/04

Claims (6)

    (57)【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 予め定められた軸y−y’に沿って支持
    されたロータ(31)の位置を、該軸y−y’に沿って
    該ロータの側に対向して配置され、かつ、各々がそれ
    ぞれの電磁石巻線(26、28)を持っている二つの能
    動型磁気軸受素子によって、制御するサーボ制御回路で
    あり、サーボ制御は該軸y−y’に沿う該ロータの位置
    の検出器(5a、5b)によって導出された信号xd
    よび基準信号xcに基づいて実行され、該サーボ制御回
    路が、上記検出器(5a、5b)により導出される信号
    に応答して前記巻線に印加される給電を指令し、かつ、
    補正回路網(8)と各々が電流負帰還ループ(32、3
    4)のそれぞれおよび磁束負帰還ループ(38、40)
    のそれぞれに関連している二つの電力増幅器(22、2
    4)とを有しているサーボ制御回路であって、 前記補正回路網(8)の出力において、該補正回路網
    (8)からの力指令fcと前記予め定められた軸y−
    y’に沿う結果として生じる力fとの間の比率が、動的
    負荷に依存する前記力指令fcの振幅に無関係に一定に
    保たれるように、前記電力増幅器(22、24)の各々
    に対する基準信号φ1、φ2を導出する付加的な電気的手
    段(10、12、14、16、18、20)を有、か
    つ前記付加的な電気的手段が、次式、 絶対値|f c |<4φ 0 2 を持つ力指令に対して、 Y=1/4φ 0 (1−φ 0 また、|f c |>4φ 0 2 に対して、 Y=(√f c −φ 0 )/(1−φ 0 ここで、φ 0 は空隙における磁束の残留値である、 を満足する変換関数を持つ第1の直線化手段(10)を
    有する ことを特徴とするサーボ制御回路。
  2. 【請求項2】 前記第1の直線化手段(10)が、空隙
    における磁束の定められた別個の残留値φ0 にそれぞれ
    対応する複数の直線化カーブを導出することを特徴とす
    る請求項に記載のサーボ制御回路。
  3. 【請求項3】 種々の直線化カーブがディジタル計算を
    実行するプロセッサ(50)によって得られ、該プロセ
    ッサはまた基準データxc および位置データxd に基づ
    いて補正パラメータを計算し、そして、一つの直線化カ
    ーブから他のものへの切り換えが外乱の予め定められた
    振幅の関数として自動的に実行されるようになっている
    ことを特徴とする請求項に記載のサーボ制御回路。
  4. 【請求項4】 各前記電力増幅器(22、24)の前記
    電流負帰還ループ(32、34)が、高レベルの誘導に
    おける積層の透磁率の低減によって生じる誘導/電流
    非直線性を補償するための第2の直線化手段(46、4
    8)を有していることを特徴とする請求項1に記載のサ
    ーボ制御回路。
  5. 【請求項5】 第1および第2の直線化手段(10、4
    6、48)の各々がダイオード関数発生器を有している
    ことを特徴とする請求項あるいは請求項に記載のサ
    ーボ制御回路。
  6. 【請求項6】 第1および第2の直線化手段(10、4
    6、48)の各々が、該直線化手段の変換関数が値のテ
    ーブルの形態で蓄積されている不揮発性メモリを有して
    いることを特徴とする請求項あるいは請求項に記載
    のサーボ制御回路。
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