JP3495448B2 - 等分岐光束分割素子 - Google Patents
等分岐光束分割素子Info
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- JP3495448B2 JP3495448B2 JP04202395A JP4202395A JP3495448B2 JP 3495448 B2 JP3495448 B2 JP 3495448B2 JP 04202395 A JP04202395 A JP 04202395A JP 4202395 A JP4202395 A JP 4202395A JP 3495448 B2 JP3495448 B2 JP 3495448B2
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Description
【０００１】
【技術分野】本発明は、光束を複数にかつ等光量に分岐
させる光束分割素子に関する。
させる光束分割素子に関する。
【０００２】
【従来技術及びその問題点】この種の光束分割素子１１
として、図１に示すように、複数の平行平面板（光学部
品）１２1 、１２2 ・・・１２n のそれぞれの片面に、
所要の光束分割膜１３1 、１３2 ・・・１３n をコーテ
ィングし、これらを接着剤１４により接合し、この接合
された複数の平行平面板１２1 、１２2 ・・・１２n を
接合面と交差する方向に所要の角度で切断することによ
り、この切断面を入射面１５及び出射面１６として構成
したものが提案されている。最終の光束分割膜１３n は
反射率がほぼ１００％（透過率０％）の反射膜である。
として、図１に示すように、複数の平行平面板（光学部
品）１２1 、１２2 ・・・１２n のそれぞれの片面に、
所要の光束分割膜１３1 、１３2 ・・・１３n をコーテ
ィングし、これらを接着剤１４により接合し、この接合
された複数の平行平面板１２1 、１２2 ・・・１２n を
接合面と交差する方向に所要の角度で切断することによ
り、この切断面を入射面１５及び出射面１６として構成
したものが提案されている。最終の光束分割膜１３n は
反射率がほぼ１００％（透過率０％）の反射膜である。
【０００３】この光束分割素子１１では、平行平面板１
２2 の入射面１５から入射される光束Ｌは、その一部が
光束分割膜１３1 を透過して平行平面板１２1 の出射面
１６から出射光束Ｌ1 として出射され、残りは光束分割
膜１３1 で反射され、光束Ｌ1'として次の光束分割膜１
３2 に向けて平行平面板１２2 内を進む。この光束Ｌ1'
は、その一部が光束分割膜１３2 で反射されて出射光束
Ｌ2 として出射され、残りが透過して次の光束分割膜１
３3 に向けて平行平面板１２3 内を進む。以下同様にし
て、光束分割膜１３4 〜１３(n-1) における反射光束が
出射光束Ｌ4 〜Ｌ(n-1)3として取り出され、最終光束分
割膜（反射膜１３n ）で反射した光束が出射光束Ｌn と
して出射される。
２2 の入射面１５から入射される光束Ｌは、その一部が
光束分割膜１３1 を透過して平行平面板１２1 の出射面
１６から出射光束Ｌ1 として出射され、残りは光束分割
膜１３1 で反射され、光束Ｌ1'として次の光束分割膜１
３2 に向けて平行平面板１２2 内を進む。この光束Ｌ1'
は、その一部が光束分割膜１３2 で反射されて出射光束
Ｌ2 として出射され、残りが透過して次の光束分割膜１
３3 に向けて平行平面板１２3 内を進む。以下同様にし
て、光束分割膜１３4 〜１３(n-1) における反射光束が
出射光束Ｌ4 〜Ｌ(n-1)3として取り出され、最終光束分
割膜（反射膜１３n ）で反射した光束が出射光束Ｌn と
して出射される。
【０００４】このような光束分割素子１１において、各
分割光束Ｌ1 ないしＬn の光量を等しくするには従来、
入射光量を１としたとき、各分割光束の光量が１／ｎと
なるように、各光束分割膜１３1 ないし１３n の反射率
と透過率を定めていた。表１は、分割光束数が８の場合
の具体的な計算上の理想的な光反射率Ｒniと透過率Ｔni
の計算例である。光束分割数が８のとき、各分割光束の
理想光量は、１／８＝０．１２５である。
分割光束Ｌ1 ないしＬn の光量を等しくするには従来、
入射光量を１としたとき、各分割光束の光量が１／ｎと
なるように、各光束分割膜１３1 ないし１３n の反射率
と透過率を定めていた。表１は、分割光束数が８の場合
の具体的な計算上の理想的な光反射率Ｒniと透過率Ｔni
の計算例である。光束分割数が８のとき、各分割光束の
理想光量は、１／８＝０．１２５である。
【０００５】
【表１】
光束分割膜Ｎｏ． 反射率Ｒni 透過率Ｔni 分割光束光量
１３1 0.875 0.125 0.125
１３2 0.143 0.857 0.125
１３3 0.167 0.833 0.125
１３4 0.200 0.800 0.125
１３5 0.250 0.750 0.125
１３6 0.333 0.667 0.125
１３7 0.500 0.500 0.125
１３8 1.000 0.000 0.125
【０００６】ところが、このように各光束分割膜１３n
について反射率と透過率を設定して作成した等分岐光束
分割光学素子は、実際に各分割光束の光量を測定する
と、設計通りの光量ではなく、後に分割される光束程、
光量が減少することが分かった。
について反射率と透過率を設定して作成した等分岐光束
分割光学素子は、実際に各分割光束の光量を測定する
と、設計通りの光量ではなく、後に分割される光束程、
光量が減少することが分かった。
【０００７】
【発明の目的】本発明は、分割光束の光量を可及的に等
しくすることができる等分岐光束分割素子を得ることを
目的とする。
しくすることができる等分岐光束分割素子を得ることを
目的とする。
【０００８】
【発明の概要】 本発明は、後に分割される光束程、光
量が減少する原因は、接着剤又は（及び）光学部品（ガ
ラス、透光性部材）における光の吸収が原因であること
を見出して本発明を完成したものである。すなわち本発
明は、３以上の光学部品を、接合面に光束分割膜を介在
させて接着剤を介して接合し、被分割光束をこれらの光
束分割膜で順次分割する光束分割素子であって、光束分
割数をｎ、各光束分割膜による分割光束の理想光量を１
／ｎ、各光束分割膜における光束分割率をＤ i （ｉ＝分
割順位）としたとき、次の条件式 （１）を満足することを特徴としている。 （１）Ｄ i ＜１／（ｎ＋１−ｉ）（ｎ＝ｉの場合を除
く） 但し、Ｄ i ＝Ｒ i （分割光束を光束分割膜での反射光とし
て取り出すとき、Ｒ i ；反射率） Ｄ i ＝Ｔ i （分割光束を光束分割膜での透過光として取り
出すとき、Ｔ i ；透過率）、である。各光束分割膜にお
ける光の吸収率をＡとするとき、さらに次の条件式
（２）を満足することが好ましい。 （２）Ｄ i ＝［（１−Ａ）Ｄ i+1 ］／［１＋（１−Ａ）Ｄ
i+1 ］
量が減少する原因は、接着剤又は（及び）光学部品（ガ
ラス、透光性部材）における光の吸収が原因であること
を見出して本発明を完成したものである。すなわち本発
明は、３以上の光学部品を、接合面に光束分割膜を介在
させて接着剤を介して接合し、被分割光束をこれらの光
束分割膜で順次分割する光束分割素子であって、光束分
割数をｎ、各光束分割膜による分割光束の理想光量を１
／ｎ、各光束分割膜における光束分割率をＤ i （ｉ＝分
割順位）としたとき、次の条件式 （１）を満足することを特徴としている。 （１）Ｄ i ＜１／（ｎ＋１−ｉ）（ｎ＝ｉの場合を除
く） 但し、Ｄ i ＝Ｒ i （分割光束を光束分割膜での反射光とし
て取り出すとき、Ｒ i ；反射率） Ｄ i ＝Ｔ i （分割光束を光束分割膜での透過光として取り
出すとき、Ｔ i ；透過率）、である。各光束分割膜にお
ける光の吸収率をＡとするとき、さらに次の条件式
（２）を満足することが好ましい。 （２）Ｄ i ＝［（１−Ａ）Ｄ i+1 ］／［１＋（１−Ａ）Ｄ
i+1 ］
【０００９】本発明は別の態様によると、同一の光学部
品に一つの光束入射面と、光束分割膜を有する複数の光
束射出面を設け、この光束入射面と複数の光束射出面と
は、該光束入射面から入射した光束が順次該複数の光束
射出面に反射される位置関係で設けられており、かつ、
各光束射出面の各光束分割膜の光透過率と光反射率を、
光学部品を光束が通過する間の光束の吸収を考慮して、
すべての光束出射面から出射される光束の光量が同一と
なるように、定め、光束分割数をｎ、各光束分割膜によ
る分割光束の理想光量を１／ｎ、各光束分割膜における
光束分割率をＤi（ｉ＝分割順位）としたとき、次の条
件式（１）を満足することを特徴としている。 （１）Ｄi＜１／（ｎ＋１−ｉ）（ｎ＝ｉの場合を除
く） 但し、Ｄi＝Ｒi（分割光束を光束分割膜での反射光とし
て取り出すとき、Ｒi；反射率）Ｄi＝Ｔi（分割光束を
光束分割膜での透過光として取り出すとき、Ｔi；透過
率）、である。各光束分割膜における光の吸収率をＡと
するとき、さらに次の条件式（２）を満足することが好
ましい。 （２）Ｄi＝［（１−Ａ）Ｄi+1］／［１＋（１−Ａ）Ｄ
i+1］
品に一つの光束入射面と、光束分割膜を有する複数の光
束射出面を設け、この光束入射面と複数の光束射出面と
は、該光束入射面から入射した光束が順次該複数の光束
射出面に反射される位置関係で設けられており、かつ、
各光束射出面の各光束分割膜の光透過率と光反射率を、
光学部品を光束が通過する間の光束の吸収を考慮して、
すべての光束出射面から出射される光束の光量が同一と
なるように、定め、光束分割数をｎ、各光束分割膜によ
る分割光束の理想光量を１／ｎ、各光束分割膜における
光束分割率をＤi（ｉ＝分割順位）としたとき、次の条
件式（１）を満足することを特徴としている。 （１）Ｄi＜１／（ｎ＋１−ｉ）（ｎ＝ｉの場合を除
く） 但し、Ｄi＝Ｒi（分割光束を光束分割膜での反射光とし
て取り出すとき、Ｒi；反射率）Ｄi＝Ｔi（分割光束を
光束分割膜での透過光として取り出すとき、Ｔi；透過
率）、である。各光束分割膜における光の吸収率をＡと
するとき、さらに次の条件式（２）を満足することが好
ましい。 （２）Ｄi＝［（１−Ａ）Ｄi+1］／［１＋（１−Ａ）Ｄ
i+1］
【００１０】
【００１１】
【００１２】
【発明の実施例】以下図示実施例について本発明を説明
する。本発明は、図１のタイプの等分岐光束分割素子、
つまり、最初の光束分割膜１３1 においては透過光束を
取出光束Ｌ1 とし、以降の光束分割膜１３2 〜１３n に
おいては反射光束を取出光束Ｌ1〜Ｌn とする等分岐光
束分割素子において、各光束分割膜の反射率Ｒn と透過
率Ｔn を、計算上の理想的な光透過率Ｔniと透過率Ｔni
に対して次のように設定する。
する。本発明は、図１のタイプの等分岐光束分割素子、
つまり、最初の光束分割膜１３1 においては透過光束を
取出光束Ｌ1 とし、以降の光束分割膜１３2 〜１３n に
おいては反射光束を取出光束Ｌ1〜Ｌn とする等分岐光
束分割素子において、各光束分割膜の反射率Ｒn と透過
率Ｔn を、計算上の理想的な光透過率Ｔniと透過率Ｔni
に対して次のように設定する。
【００１３】
最初の光束分割膜１３1 における反射率Ｒ1 ＞Ｒ1i
中間の光束分割膜１３2 〜１３(n-1) における反射率Ｒ
n ＜Ｒni 最終の光束分割膜１３n における反射率Ｒn ≦Ｒni 最初の光束分割膜１３1 における透過率Ｔ1 ＜Ｔ1i 中間の光束分割膜１３2 〜１３(n-1) における透過率Ｔ
n ＞Ｔni 最終の光束分割膜１３n における透過率Ｔn ≧Ｔni
n ＜Ｒni 最終の光束分割膜１３n における反射率Ｒn ≦Ｒni 最初の光束分割膜１３1 における透過率Ｔ1 ＜Ｔ1i 中間の光束分割膜１３2 〜１３(n-1) における透過率Ｔ
n ＞Ｔni 最終の光束分割膜１３n における透過率Ｔn ≧Ｔni
【００１４】以上の関係は、分割率Ｄi の概念により、
次の条件式（１）のようにまとめることができる。 （１） Ｄi ＜１／（ｎ＋１−ｉ）（ｎ＝ｉの場合を除
く） 分割率Ｄi は、分割光束を光束分割膜での反射光として
取り出すとき、Ｒi に等しく（Ｄi ＝Ｒi ）、分割光束
を光束分割膜での透過光として取り出すとき、Ｔi に等
しい（Ｄi ＝Ｔi ）。また、各光束分割膜における光の
吸収率をＡとすると、さらに次の条件式（２）のように
まとめることができる。 （２） Ｄi ＝［（１−Ａ）Ｄi+1 ］／［１＋（１−
Ａ）Ｄi+1 ］
次の条件式（１）のようにまとめることができる。 （１） Ｄi ＜１／（ｎ＋１−ｉ）（ｎ＝ｉの場合を除
く） 分割率Ｄi は、分割光束を光束分割膜での反射光として
取り出すとき、Ｒi に等しく（Ｄi ＝Ｒi ）、分割光束
を光束分割膜での透過光として取り出すとき、Ｔi に等
しい（Ｄi ＝Ｔi ）。また、各光束分割膜における光の
吸収率をＡとすると、さらに次の条件式（２）のように
まとめることができる。 （２） Ｄi ＝［（１−Ａ）Ｄi+1 ］／［１＋（１−
Ａ）Ｄi+1 ］
【００１５】表２は、図１のタイプの光束分割素子にお
いて、光束分割数を８とし、接着剤１４における光の吸
収率が２％であるとしたときの具体的な各光束分割膜の
反射率と透過率の設定例と、各分割光束の光量を示して
いる。
いて、光束分割数を８とし、接着剤１４における光の吸
収率が２％であるとしたときの具体的な各光束分割膜の
反射率と透過率の設定例と、各分割光束の光量を示して
いる。
【００１６】
【表２】
光束分割膜Ｎｏ． 反射率Ｒn 透過率Ｔn 分割光束光量
１３1 0.884 0.116(D1) 0.114
１３2 0.134(D2) 0.866 0.114
１３3 0.158(D3) 0.842 0.114
１３4 0.192(D4) 0.808 0.114
１３5 0.243(D5) 0.757 0.114
１３6 0.327(D6) 0.673 0.114
１３7 0.495(D7) 0.505 0.114
１３8 1.000 0.000 0.114
【００１７】表２の反射率Ｒn と透過率Ｔn （分割率Ｄ
n ）値は、いずれも上記条件を満足している。
n ）値は、いずれも上記条件を満足している。
【００１８】表３は、図１のタイプの光束分割素子にお
いて、光束分割数を８とし、接着剤１４における光の吸
収率が４％であるとしたときの具体的な各光束分割膜の
反射率と透過率の設定例と、各分割光束の光量を示して
いる。
いて、光束分割数を８とし、接着剤１４における光の吸
収率が４％であるとしたときの具体的な各光束分割膜の
反射率と透過率の設定例と、各分割光束の光量を示して
いる。
【００１９】
【表３】
光束分割膜Ｎｏ． 反射率Ｒn 透過率Ｔn 分割光束光量
１３1 0.892 0.108(D1) 0.103
１３2 0.126(D2) 0.874 0.104
１３3 0.150(D3) 0.850 0.104
１３4 0.184(D4) 0.816 0.104
１３5 0.235(D5) 0.765 0.104
１３6 0.320(D6) 0.680 0.103
１３7 0.490(D7) 0.510 0.104
１３8 1.000 0.000 0.104
【００２０】表３の反射率Ｒn と透過率Ｔn の値は、
（分割率Ｄn ）値は、いずれも上記条件を満足してい
る。
（分割率Ｄn ）値は、いずれも上記条件を満足してい
る。
【００２１】図２は、すべての光束分割膜１３1 〜１３
n において反射光束を取出光束Ｌ1〜Ｌn とする等分岐
光束分割素子の例である。この光束分割素子において、
光束分割数を８とし、接着剤１４における光の吸収率が
２％であるとしたときの具体的な各光束分割膜の反射率
と透過率（分割率）の設定例を表４に示す。
n において反射光束を取出光束Ｌ1〜Ｌn とする等分岐
光束分割素子の例である。この光束分割素子において、
光束分割数を８とし、接着剤１４における光の吸収率が
２％であるとしたときの具体的な各光束分割膜の反射率
と透過率（分割率）の設定例を表４に示す。
【００２２】
【表４】
光束分割膜Ｎｏ． 反射率Ｒn 透過率Ｔn 分割光束光量
１３1 0.116(D1) 0.884 0.114
１３2 0.134(D2) 0.866 0.114
１３3 0.158(D3) 0.842 0.114
１３4 0.192(D4) 0.808 0.114
１３5 0.243(D5) 0.757 0.114
１３6 0.327(D6) 0.673 0.114
１３7 0.495(D7) 0.505 0.114
１３8 1.000 0.000 0.114
【００２３】図３、図４は、同一の光学部品に一つの光
束入射面と、光束分割膜を有する複数の光束出射面を設
けるタイプの光束分割光学素子２１の実施例である。平
行平面板（光学部品）２２は、その表裏の一面２３に反
射膜２３ａが付され、他面２４に、反射防止膜を付した
一つの光束入射面２４ａと、反射率と透過率の異なる光
束分割膜（光束出射面）２４1 ないし２４n が形成され
ている。
束入射面と、光束分割膜を有する複数の光束出射面を設
けるタイプの光束分割光学素子２１の実施例である。平
行平面板（光学部品）２２は、その表裏の一面２３に反
射膜２３ａが付され、他面２４に、反射防止膜を付した
一つの光束入射面２４ａと、反射率と透過率の異なる光
束分割膜（光束出射面）２４1 ないし２４n が形成され
ている。
【００２４】光束入射面２４ａから入射した光束は、反
射膜２３ａで反射した後光束出射面２４1 に至り、光束
出射面２４1 で透過した光束が分割光束Ｌ11として取り
出される。光束出射面２４1 で反射した光束Ｌ11’は反
射膜２３ａに至って反射して次に光束出射面２４2 に至
り、光束出射面２４2 における透過光束が分割光束Ｌ12
として取り出される。以下以光束出射面２４2 ないし２
４6 での反射光束Ｌ12’〜Ｌ16’は反射膜２３ａで反射
して、順次、図の下方の光束出射面２４3ないし２４n
に至り、それぞれ透過光束が分割光束Ｌ13〜Ｌ1nとして
取り出される。
射膜２３ａで反射した後光束出射面２４1 に至り、光束
出射面２４1 で透過した光束が分割光束Ｌ11として取り
出される。光束出射面２４1 で反射した光束Ｌ11’は反
射膜２３ａに至って反射して次に光束出射面２４2 に至
り、光束出射面２４2 における透過光束が分割光束Ｌ12
として取り出される。以下以光束出射面２４2 ないし２
４6 での反射光束Ｌ12’〜Ｌ16’は反射膜２３ａで反射
して、順次、図の下方の光束出射面２４3ないし２４n
に至り、それぞれ透過光束が分割光束Ｌ13〜Ｌ1nとして
取り出される。
【００２５】このタイプの光束分割光学素子２１におい
ては、光束分割数をｎ、各光束出射面（光束分割膜）２
４1 〜２４n から出射する分割光束の理想光量を１／ｎ
としたとき、各光束分割膜２４1 〜２４n の反射率Ｒn
と透過率Ｔn を、平行平面板２１による光の吸収がない
と仮定したときの理想光量を得るための計算上の反射率
Ｒniと透過率niに対し、次のように設定する。
ては、光束分割数をｎ、各光束出射面（光束分割膜）２
４1 〜２４n から出射する分割光束の理想光量を１／ｎ
としたとき、各光束分割膜２４1 〜２４n の反射率Ｒn
と透過率Ｔn を、平行平面板２１による光の吸収がない
と仮定したときの理想光量を得るための計算上の反射率
Ｒniと透過率niに対し、次のように設定する。
【００２６】最後の光束分割膜２４n を除く光束分割膜
２４2 〜２４n-1 における反射率Ｒn ＞Ｒni 最終の光束分割膜２４n における反射率Ｒn ≧Ｒni 最後の光束分割膜２４n を除く光束分割膜２４2 〜２４
n-1 における透過率Ｔn ＜Ｔni 最終の光束分割膜２４n における透過率Ｔn ≦Ｔni
２４2 〜２４n-1 における反射率Ｒn ＞Ｒni 最終の光束分割膜２４n における反射率Ｒn ≧Ｒni 最後の光束分割膜２４n を除く光束分割膜２４2 〜２４
n-1 における透過率Ｔn ＜Ｔni 最終の光束分割膜２４n における透過率Ｔn ≦Ｔni
【００２７】以上の関係は、分割率Ｄi の概念により、
次の条件式（１）のようにまとめることができる。 （１） Ｄi ＜１／（ｎ＋１−ｉ）（ｎ＝ｉの場合を除
く） 分割率Ｄi は、分割光束を光束分割膜での反射光として
取り出すとき、Ｒi に等しく（Ｄi ＝Ｒi ）、分割光束
を光束分割膜での透過光として取り出すとき、Ｔi に等
しい（Ｄi ＝Ｔi ）。また、各光束分割膜における光の
吸収率をＡとすると、さらに次の条件式（２）のように
まとめることができる。 （２） Ｄi ＝［（１−Ａ）Ｄi+1 ］／［１＋（１−
Ａ）Ｄi+1 ］
次の条件式（１）のようにまとめることができる。 （１） Ｄi ＜１／（ｎ＋１−ｉ）（ｎ＝ｉの場合を除
く） 分割率Ｄi は、分割光束を光束分割膜での反射光として
取り出すとき、Ｒi に等しく（Ｄi ＝Ｒi ）、分割光束
を光束分割膜での透過光として取り出すとき、Ｔi に等
しい（Ｄi ＝Ｔi ）。また、各光束分割膜における光の
吸収率をＡとすると、さらに次の条件式（２）のように
まとめることができる。 （２） Ｄi ＝［（１−Ａ）Ｄi+1 ］／［１＋（１−
Ａ）Ｄi+1 ］
【００２８】図３、図４のタイプの光束分割素子におい
て、光束分割数を８とし、平行平面板２１における光の
吸収率が２％であるとしたときの具体的な各光束分割膜
の反射率と透過率（分割率）の設定例を表５に示す。
て、光束分割数を８とし、平行平面板２１における光の
吸収率が２％であるとしたときの具体的な各光束分割膜
の反射率と透過率（分割率）の設定例を表５に示す。
【００２９】
【表５】
光束分割膜Ｎｏ． 反射率Ｒn 透過率Ｔn 分割光束光量
２４1 0.884 0.116(D1) 0.114
２４2 0.866 0.134(D2) 0.114
２４3 0.842 0.158(D3) 0.114
２４4 0.808 0.192(D4) 0.114
２４5 0.757 0.243(D5) 0.114
２４6 0.673 0.327(D6) 0.114
２４7 0.505 0.495(D7) 0.114
２４8 0.000 1.000 0.114
【００３０】図３、図４のタイプの光束分割素子におい
ては、面２４に、平行平面板２２と同一の材料からなる
別の光学部材を接着し、面２４から入射及び出射する光
束が偏向しないようにすることもできる。
ては、面２４に、平行平面板２２と同一の材料からなる
別の光学部材を接着し、面２４から入射及び出射する光
束が偏向しないようにすることもできる。
【００３１】図１、図２の実施例においても、平行平面
板１２の吸収を考慮して光束分割膜の反射率と透過率を
設定することができる。
板１２の吸収を考慮して光束分割膜の反射率と透過率を
設定することができる。
【００３２】
【発明の効果】本発明によれば、分割光束の光量が可及
的に等しい光束分割素子を得ることができる。
的に等しい光束分割素子を得ることができる。
【図１】本発明による等分岐光束分割素子の実施例を示
す概念的断面図である。
す概念的断面図である。
【図２】同別の実施例を示す概念的断面図である。
【図３】同さらに別の実施例を示す概念的断面図であ
る。
る。
【図４】図３のIV矢視図である。
１１ ２１ 光束分割素子
１２ ２２ 平行平面板
１３n 光束分割膜
１４ 接着剤
２３ａ 光束入射面
２４n 光束出射面（光束分割膜）
─────────────────────────────────────────────────────
フロントページの続き
(58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名)
G02B 5/00
G02B 27/10
Claims (4)
- 【請求項１】 ３以上の光学部品を、接合面に光束分割
膜を介在させて接着剤を介して接合し、被分割光束をこ
れらの光束分割膜で順次分割する光束分割素子であっ
て、光束分割数をｎ、各光束分割膜による分割光束の理
想光量を１／ｎ、各光束分割膜における光束分割率をＤ
i（ｉ＝分割順位）としたとき、下記条件式（１）を満
足することを特徴とする等分岐光束分割素子。 （１）Ｄi＜１／（ｎ＋１−ｉ）（ｎ＝ｉの場合を除
く） 但し、Ｄi＝Ｒi（分割光束を光束分割膜での反射光とし
て取り出すとき、Ｒi；反射率） Ｄi＝Ｔi（分割光束を光束分割膜での透過光として取り
出すとき、Ｔi；透過率）。 - 【請求項２】 請求項１において、各光束分割膜におけ
る光の吸収率をＡとするとき、さらに下記条件式（２）
を満足する等分岐光束分割素子。 （２）Ｄi＝［（１−Ａ）Ｄi+1］／［１＋（１−Ａ）Ｄ
i+1］。 - 【請求項３】 同一の光学部品に一つの光束入射面と、
光束分割膜を有する複数の光束射出面を設け、この光束
入射面と複数の光束射出面とは、該光束入射面から入射
した光束が順次該複数の光束射出面に反射される位置関
係で設けられており、かつ、各光束射出面の各光束分割
膜の光透過率と光反射率を、上記光学部品を光束が通過
する間の光束の吸収を考慮して、すべての光束射出面か
ら出射される光束の光量が同一となるように、定め、光
束分割数をｎ、各光束分割膜による分割光束の理想光量
を１／ｎ、各光束分割膜における光束分割率をＤi（ｉ
＝分割順位）としたとき、次の条件式（１）を満足する
ことを特徴とする等分岐光束分割素子。 （１）Ｄi＜１／（ｎ＋１−ｉ）（ｎ＝ｉの場合を除
く） 但し、Ｄi＝Ｒi（分割光束を光束分割膜での反射光とし
て取り出すとき、Ｒi；反射率）Ｄi＝Ｔi（分割光束を
光束分割膜での透過光として取り出すとき、Ｔi；透過
率）。 - 【請求項４】 請求項３において、各光束分割膜におけ
る光の吸収率をＡとするとき、さらに下記条件式（２）
を満足する等分岐光束分割素子。 （２）Ｄi＝［（１−Ａ）Ｄi+1］／［１＋（１−Ａ）Ｄ
i+1］。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP04202395A JP3495448B2 (ja) | 1995-03-01 | 1995-03-01 | 等分岐光束分割素子 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP04202395A JP3495448B2 (ja) | 1995-03-01 | 1995-03-01 | 等分岐光束分割素子 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH08240702A JPH08240702A (ja) | 1996-09-17 |
| JP3495448B2 true JP3495448B2 (ja) | 2004-02-09 |
Family
ID=12624576
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP04202395A Expired - Fee Related JP3495448B2 (ja) | 1995-03-01 | 1995-03-01 | 等分岐光束分割素子 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3495448B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7280275B2 (en) * | 2005-08-01 | 2007-10-09 | Agilent Technologies, Inc. | High efficiency beam distribution with independent wavefront correction |
-
1995
- 1995-03-01 JP JP04202395A patent/JP3495448B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH08240702A (ja) | 1996-09-17 |
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