JP3493373B2 - レーザー発振器 - Google Patents
レーザー発振器Info
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- JP3493373B2 JP3493373B2 JP7004395A JP7004395A JP3493373B2 JP 3493373 B2 JP3493373 B2 JP 3493373B2 JP 7004395 A JP7004395 A JP 7004395A JP 7004395 A JP7004395 A JP 7004395A JP 3493373 B2 JP3493373 B2 JP 3493373B2
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Description
【０００１】
【産業上の利用分野】この発明は、ＣＯ2 ガスや化学励
起沃素ガス等をレーザー媒質として用いたレーザー発振
器に関する。
起沃素ガス等をレーザー媒質として用いたレーザー発振
器に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来、レーザー発振器として、ＣＯ2 ガ
スや化学励起沃素ガス等をレーザー媒質として用いたい
わゆるガスレーザーが知られている。ガスレーザーは、
レーザー媒質を収容する真空容器と、レーザー媒質を励
起するための所定の電圧を印加する一対の電極および電
源と、真空容器の両側に設けられ励起されたレーザー媒
質から発せられた光をレーザー媒質を通して往復させ、
光の位相を揃える一対の反射鏡からなる共振器と、を備
えている。このような共振器としては、安定共振器また
は不安定共振器が知られている。
スや化学励起沃素ガス等をレーザー媒質として用いたい
わゆるガスレーザーが知られている。ガスレーザーは、
レーザー媒質を収容する真空容器と、レーザー媒質を励
起するための所定の電圧を印加する一対の電極および電
源と、真空容器の両側に設けられ励起されたレーザー媒
質から発せられた光をレーザー媒質を通して往復させ、
光の位相を揃える一対の反射鏡からなる共振器と、を備
えている。このような共振器としては、安定共振器また
は不安定共振器が知られている。
【０００３】安定共振器は、例えば、互いの光軸が一致
されて対向配置され互いに向合う凹面をそれぞれ有する
一対の凹面鏡から構成されている。一方の凹面鏡は略１
００％の反射率で光を反射し、他方の凹面鏡は光の一部
を透過するように構成され、反射鏡間で複数回往復され
位相が揃えられ且つ指向性を持ったレーザー光線が他方
の凹面鏡を透過して発振される。このような安定共振器
においては、小信号利得の比較的低いレーザー媒質を用
いてガウス型の断面を有する良質なビームを取出すこと
ができる。
されて対向配置され互いに向合う凹面をそれぞれ有する
一対の凹面鏡から構成されている。一方の凹面鏡は略１
００％の反射率で光を反射し、他方の凹面鏡は光の一部
を透過するように構成され、反射鏡間で複数回往復され
位相が揃えられ且つ指向性を持ったレーザー光線が他方
の凹面鏡を透過して発振される。このような安定共振器
においては、小信号利得の比較的低いレーザー媒質を用
いてガウス型の断面を有する良質なビームを取出すこと
ができる。
【０００４】また、不安定共振器は、レーザー媒質に対
向する凹面を有する凹面鏡と、この凹面鏡より小さい径
を有しレーザー媒質に対向する凸面を有し凹面鏡と共働
して光を共振する凸面鏡と、から構成されており、特に
共焦点型の場合には、これら凹面鏡および凸面鏡の焦点
が一致されている。これら凹面鏡および凸面鏡はそれぞ
れ光を全反射し、径の小さい凸面鏡の外側から漏れる光
を出力として取出している。このような不安定共振器に
おいては、レーザー媒質の口径を比較的大きくしても単
一モード的な大出力ビームを取出すことができ、ビーム
を集光した際のスポットサイズを比較的小さくできる。
向する凹面を有する凹面鏡と、この凹面鏡より小さい径
を有しレーザー媒質に対向する凸面を有し凹面鏡と共働
して光を共振する凸面鏡と、から構成されており、特に
共焦点型の場合には、これら凹面鏡および凸面鏡の焦点
が一致されている。これら凹面鏡および凸面鏡はそれぞ
れ光を全反射し、径の小さい凸面鏡の外側から漏れる光
を出力として取出している。このような不安定共振器に
おいては、レーザー媒質の口径を比較的大きくしても単
一モード的な大出力ビームを取出すことができ、ビーム
を集光した際のスポットサイズを比較的小さくできる。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上述し
た安定共振器において、スポットサイズを小さくできる
単一モード的なビームを得るためにはレーザー媒質の径
を細くする必要があり、良質且つ大出力のレーザービー
ムを得ることは困難である。また、大出力レーザーを得
るためにレーザー媒質の口径を大きくすると、高次モー
ドのレーザーが同時に発振されてマルチモードとなり、
モード間の干渉によりレーザー出力が不安定となる。こ
のため、ビームを集光した場合のビームスポットのサイ
ズを小さくすることができなくなり、良質のビームを得
ることができず応用範囲が限定されてしまう。例えば、
大出力レーザーを用いて金属材料をカッティングする場
合において、スポット径が大きい場合に不都合を生じ
る。
た安定共振器において、スポットサイズを小さくできる
単一モード的なビームを得るためにはレーザー媒質の径
を細くする必要があり、良質且つ大出力のレーザービー
ムを得ることは困難である。また、大出力レーザーを得
るためにレーザー媒質の口径を大きくすると、高次モー
ドのレーザーが同時に発振されてマルチモードとなり、
モード間の干渉によりレーザー出力が不安定となる。こ
のため、ビームを集光した場合のビームスポットのサイ
ズを小さくすることができなくなり、良質のビームを得
ることができず応用範囲が限定されてしまう。例えば、
大出力レーザーを用いて金属材料をカッティングする場
合において、スポット径が大きい場合に不都合を生じ
る。
【０００６】また、上述した不安定共振器においては、
小信号利得の比較的高いレーザー媒質が用いられてお
り、小信号利得の低い媒質ではレーザーの発振が困難と
なる。従って、従来の安定共振器および不安定共振器で
は、小信号利得の比較的低いレーザー媒質を用いて大出
力のレーザービームを得ることは困難であった。従っ
て、化学励起沃素レーザーのように、小信号利得の比較
的低い媒質により一様で良質なビームを取出せる場合で
あっても大口径のレーザー発振器に適用できない問題が
あった。
小信号利得の比較的高いレーザー媒質が用いられてお
り、小信号利得の低い媒質ではレーザーの発振が困難と
なる。従って、従来の安定共振器および不安定共振器で
は、小信号利得の比較的低いレーザー媒質を用いて大出
力のレーザービームを得ることは困難であった。従っ
て、化学励起沃素レーザーのように、小信号利得の比較
的低い媒質により一様で良質なビームを取出せる場合で
あっても大口径のレーザー発振器に適用できない問題が
あった。
【０００７】この発明は、以上の点に鑑みなされたもの
で、その目的は、小信号利得の低い媒質を用いて高出力
のレーザーを発信することができるレーザー発振器を提
供することにある。
で、その目的は、小信号利得の低い媒質を用いて高出力
のレーザーを発信することができるレーザー発振器を提
供することにある。
【０００８】
【０００９】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するた
め、この発明に係るレーザー発振器は、レーザー媒質を
収容する容器と、このレーザー媒質を挟んで上記容器内
に互いに対向して設けられた、第１の反射面と、この第
１の反射面より小さい径で第１の反射面と同軸の第２の
反射面と、を備え、第１の反射面は第２の反射面側に凹
面を有し、第２の反射面は第１の反射面側の中央部に軸
と垂直な平面を有し且つその周辺に凸面を有する共振器
と、上記第１および第２の反射面間のレーザー媒質に所
定の電圧を印加し上記レーザー媒質を励起させる励起手
段と、を備えている。
め、この発明に係るレーザー発振器は、レーザー媒質を
収容する容器と、このレーザー媒質を挟んで上記容器内
に互いに対向して設けられた、第１の反射面と、この第
１の反射面より小さい径で第１の反射面と同軸の第２の
反射面と、を備え、第１の反射面は第２の反射面側に凹
面を有し、第２の反射面は第１の反射面側の中央部に軸
と垂直な平面を有し且つその周辺に凸面を有する共振器
と、上記第１および第２の反射面間のレーザー媒質に所
定の電圧を印加し上記レーザー媒質を励起させる励起手
段と、を備えている。
【００１０】また、この発明に係るレーザー発振器は、
予め励起されたガス状のレーザー媒質を収容する容器
と、このレーザー媒質を挟んで上記容器内に互いに対向
して設けられた、第１の反射面と、この第１の反射面よ
り小さい径で第１の反射面と同軸の第２の反射面と、を
備え、第１の反射面は第２の反射面側に凹面を有し、第
２の反射面は第１の反射面側の中央部に軸と垂直な平面
を有し且つその周辺に凸面を有する共振器と、を備えて
いる。
予め励起されたガス状のレーザー媒質を収容する容器
と、このレーザー媒質を挟んで上記容器内に互いに対向
して設けられた、第１の反射面と、この第１の反射面よ
り小さい径で第１の反射面と同軸の第２の反射面と、を
備え、第１の反射面は第２の反射面側に凹面を有し、第
２の反射面は第１の反射面側の中央部に軸と垂直な平面
を有し且つその周辺に凸面を有する共振器と、を備えて
いる。
【００１１】
【作用】この発明に係るレーザー発振器によれば、励起
手段によりレーザー媒質が励起される。励起されたレー
ザー媒質は、基底状態に戻る際に光を発生する。この光
は、レーザー媒質を通して第１の反射面と第２の反射面
との間で複数回往復され、これにより光が増幅されると
ともに位相が揃えられて射出される。このレーザー発振
器においては、第２の反射面には平面部が設けられてい
ることから、不安定共振器の性質に安定共振器の性質を
合せ持った発振器とするこができる。従って、小信号利
得の低い媒質を用いて高出力のレーザーを発信すること
ができる。
手段によりレーザー媒質が励起される。励起されたレー
ザー媒質は、基底状態に戻る際に光を発生する。この光
は、レーザー媒質を通して第１の反射面と第２の反射面
との間で複数回往復され、これにより光が増幅されると
ともに位相が揃えられて射出される。このレーザー発振
器においては、第２の反射面には平面部が設けられてい
ることから、不安定共振器の性質に安定共振器の性質を
合せ持った発振器とするこができる。従って、小信号利
得の低い媒質を用いて高出力のレーザーを発信すること
ができる。
【００１２】
【実施例】以下、図面を参照しながらこの発明の実施例
に係るレーザー発振器について、特に、レーザー媒質と
してＣＯ2 ガスを用いた場合について詳細に説明する。
図１に示すように、レーザー発振器１は、略円柱状の真
空容器２と、互いの光軸が一致されて真空容器２の底面
２ａ、２ｂにそれぞれ設けられ共振器として作用する一
対の反射鏡４、５と、反射鏡４、５により形成される光
路を挟んで互いに対向して設けられた一対の電極６ａ、
６ｂと、電極６ａ、６ｂ間に所定の電圧を印加するため
の電源装置８と、真空容器２を吸引する吸引ポンプ１０
と、を備えている。尚、一方の電極６ｂは接地されてお
り、電極６ａ、６ｂおよび電源装置８によりこの発明の
励起手段を構成している。
に係るレーザー発振器について、特に、レーザー媒質と
してＣＯ2 ガスを用いた場合について詳細に説明する。
図１に示すように、レーザー発振器１は、略円柱状の真
空容器２と、互いの光軸が一致されて真空容器２の底面
２ａ、２ｂにそれぞれ設けられ共振器として作用する一
対の反射鏡４、５と、反射鏡４、５により形成される光
路を挟んで互いに対向して設けられた一対の電極６ａ、
６ｂと、電極６ａ、６ｂ間に所定の電圧を印加するため
の電源装置８と、真空容器２を吸引する吸引ポンプ１０
と、を備えている。尚、一方の電極６ｂは接地されてお
り、電極６ａ、６ｂおよび電源装置８によりこの発明の
励起手段を構成している。
【００１３】真空容器２には、吸気口１２および排気口
１４が形成され、吸気口１２を介してレーザー媒質とし
てのＣＯ2 ガスが真空容器２内に供給され、真空容器２
内は排気口１４に設けられた吸引ポンプ１０により真空
に保持されている。
１４が形成され、吸気口１２を介してレーザー媒質とし
てのＣＯ2 ガスが真空容器２内に供給され、真空容器２
内は排気口１４に設けられた吸引ポンプ１０により真空
に保持されている。
【００１４】図２に示すように、反射鏡４は真空容器２
内に向う第１の反射面としての球面状の凹面４ａを有
し、反射鏡５は反射鏡４の凹面４ａより小さい真空容器
２内に向う第２の反射面としての球面状の凸面５ａを有
する。凹面４ａおよび凸面５ａは、互いに光軸が一致さ
れて対向して配置されている。反射鏡５の凸面５ａに
は、その中央部において凸面５ａと同心の平面部５ｂが
形成されている。従って、凹面４ａおよび凸面５ａはい
わゆる不安定共振器として作用し、凹面４ａおよび平面
部５ｂはいわゆる安定共振器として作用する。この場
合、凹面４ａの半径をａ1 、凸面５ａの半径をａ2 、お
よび平面部５ｂの半径をｐとする。
内に向う第１の反射面としての球面状の凹面４ａを有
し、反射鏡５は反射鏡４の凹面４ａより小さい真空容器
２内に向う第２の反射面としての球面状の凸面５ａを有
する。凹面４ａおよび凸面５ａは、互いに光軸が一致さ
れて対向して配置されている。反射鏡５の凸面５ａに
は、その中央部において凸面５ａと同心の平面部５ｂが
形成されている。従って、凹面４ａおよび凸面５ａはい
わゆる不安定共振器として作用し、凹面４ａおよび平面
部５ｂはいわゆる安定共振器として作用する。この場
合、凹面４ａの半径をａ1 、凸面５ａの半径をａ2 、お
よび平面部５ｂの半径をｐとする。
【００１５】上述のように構成されたレーザー発振器
１、即ちＣＯ2 ガスレーザーは、以下のように作動され
る。まず、吸引ポンプ１０により真空にされた真空容器
２内に吸気口１２を介してＣＯ2 ガスが供給され、真空
容器２内にＣＯ2 ガスが充填される。そして、電源装置
８により電極６ａに所定の電圧が印加され、ＣＯ2 ガス
の個々の粒子が励起される。励起されたＣＯ2 ガス粒子
は、それより下のエネルギー準位状態に戻る際にそのエ
ネルギー差に応じた光を発生する。
１、即ちＣＯ2 ガスレーザーは、以下のように作動され
る。まず、吸引ポンプ１０により真空にされた真空容器
２内に吸気口１２を介してＣＯ2 ガスが供給され、真空
容器２内にＣＯ2 ガスが充填される。そして、電源装置
８により電極６ａに所定の電圧が印加され、ＣＯ2 ガス
の個々の粒子が励起される。励起されたＣＯ2 ガス粒子
は、それより下のエネルギー準位状態に戻る際にそのエ
ネルギー差に応じた光を発生する。
【００１６】個々の粒子から発生された光は、反射鏡４
および５の間で複数回反射されて位相が揃えられながら
増幅され、反射鏡５の外側から漏れる光が出力として取
出される。この場合、ＣＯ2 ガスレーザーから出力され
るレーザービームの発振波長は１０．６μｍである。
および５の間で複数回反射されて位相が揃えられながら
増幅され、反射鏡５の外側から漏れる光が出力として取
出される。この場合、ＣＯ2 ガスレーザーから出力され
るレーザービームの発振波長は１０．６μｍである。
【００１７】次に、ＣＯ2 ガスレーザーの発振条件を以
下のように設定した場合のレーザービームの強度（出力
パワー）の変化について説明する。尚、この場合のパラ
メータは、凸面５ａの半径ａ2 と平面部５ｂの半径ｐと
の比ｐ／ａ2 、凹面４ａと凸面５ａとの面積比Ｍ＝（ａ
1 ／ａ2 ）2 、およびレーザー媒質の大きさを示すフレ
ネル数とした。
下のように設定した場合のレーザービームの強度（出力
パワー）の変化について説明する。尚、この場合のパラ
メータは、凸面５ａの半径ａ2 と平面部５ｂの半径ｐと
の比ｐ／ａ2 、凹面４ａと凸面５ａとの面積比Ｍ＝（ａ
1 ／ａ2 ）2 、およびレーザー媒質の大きさを示すフレ
ネル数とした。
【００１８】レーザーの発振条件として、レーザー媒質
の小信号利得を１．０％／ｃｍとし、レーザーの飽和パ
ワーを１．０ＫＷ／ｃｍ2 とし、反射鏡４、５間の距離
を１ｍとした。そして、ｐ／ａ2 を０〜０．８の範囲で
変化させ、Ｍを１．５、２．０、３．０にそれぞれ設定
した場合のレーザーの出力パワーの変化について調べ
た。また、フレネル数１０および２０の各場合について
それぞれの出力パワーを調べた。尚、一般に行われてい
るフレネル−キルヒホッフの式を単純化するため、半径
方向に一様で無限長さの単位長を切取った共振器として
計算した。
の小信号利得を１．０％／ｃｍとし、レーザーの飽和パ
ワーを１．０ＫＷ／ｃｍ2 とし、反射鏡４、５間の距離
を１ｍとした。そして、ｐ／ａ2 を０〜０．８の範囲で
変化させ、Ｍを１．５、２．０、３．０にそれぞれ設定
した場合のレーザーの出力パワーの変化について調べ
た。また、フレネル数１０および２０の各場合について
それぞれの出力パワーを調べた。尚、一般に行われてい
るフレネル−キルヒホッフの式を単純化するため、半径
方向に一様で無限長さの単位長を切取った共振器として
計算した。
【００１９】この結果、図３および図４に示すグラフが
得られた。これによると、各場合において、ｐ／ａ2 が
０．２または０．３に達したあたりから出力パワーが増
加し初め、その後、それぞれの出力パワーのピークが観
察された。この場合、Ｍが大きくなるにつれて出力パワ
ーが増大する範囲が広くなり、出力ピークを広い範囲か
ら取出すことができ出力の取出しが容易となることが分
った。また、フレネル数が１０である場合（図３）と２
０である場合（図４）とで比較すると、フレネル数が大
きい場合（フレネル数２０）に出力パワーがより大きく
なっていることが分った。
得られた。これによると、各場合において、ｐ／ａ2 が
０．２または０．３に達したあたりから出力パワーが増
加し初め、その後、それぞれの出力パワーのピークが観
察された。この場合、Ｍが大きくなるにつれて出力パワ
ーが増大する範囲が広くなり、出力ピークを広い範囲か
ら取出すことができ出力の取出しが容易となることが分
った。また、フレネル数が１０である場合（図３）と２
０である場合（図４）とで比較すると、フレネル数が大
きい場合（フレネル数２０）に出力パワーがより大きく
なっていることが分った。
【００２０】以上のように、不安定共振器の一方の反射
鏡の一部に平面部を形成することにより、小信号利得の
低いレーザー媒質（例えば、ＣＯ2 ガスや沃素ガス）を
用いて、レーザー出力の十分に大きいレーザービームを
発振することができる。
鏡の一部に平面部を形成することにより、小信号利得の
低いレーザー媒質（例えば、ＣＯ2 ガスや沃素ガス）を
用いて、レーザー出力の十分に大きいレーザービームを
発振することができる。
【００２１】尚、この発明は、上述した実施例に限定さ
れるものではなく、この発明の範囲内で種々変形可能で
ある。例えば、レーザー媒質を励起する方法として光ポ
ンピングや化学ポンピングを用いても良い。また、予め
励起したレーザー媒質を真空容器内に供給する構成とし
ても良く、この場合、この発明の励起手段は不必要であ
ることは言うまでもない。更に、レーザー媒質として、
小信号利得が比較的低い他のガス、例えば沃素ガスを用
いても良く、更にまた、ＹＡＧ等の固体状のレーザー媒
質を用いても良い。
れるものではなく、この発明の範囲内で種々変形可能で
ある。例えば、レーザー媒質を励起する方法として光ポ
ンピングや化学ポンピングを用いても良い。また、予め
励起したレーザー媒質を真空容器内に供給する構成とし
ても良く、この場合、この発明の励起手段は不必要であ
ることは言うまでもない。更に、レーザー媒質として、
小信号利得が比較的低い他のガス、例えば沃素ガスを用
いても良く、更にまた、ＹＡＧ等の固体状のレーザー媒
質を用いても良い。
【００２２】
【発明の効果】以上説明したように、この発明のレーザ
ー発振器は、上記のような構成および作用を有している
ので、小信号利得の低い媒質を用いて良質且つ高出力の
レーザーを発信することができる。
ー発振器は、上記のような構成および作用を有している
ので、小信号利得の低い媒質を用いて良質且つ高出力の
レーザーを発信することができる。
【図１】図１は、この発明の一実施例に係るレーザー発
振器を示す概略図。
振器を示す概略図。
【図２】図２は、図１のレーザー発振器に組込まれた共
振器を示す概略図。
振器を示す概略図。
【図３】図３は、図１のレーザー発振器においてフレネ
ル数を１０に設定した場合のｐ／ａ2 およびＭに対する
出力パワーの変化を示すグラフ。
ル数を１０に設定した場合のｐ／ａ2 およびＭに対する
出力パワーの変化を示すグラフ。
【図４】図４は、図１のレーザー発振器においてフレネ
ル数を２０に設定した場合のｐ／ａ2 およびＭに対する
出力パワーの変化を示すグラフ。
ル数を２０に設定した場合のｐ／ａ2 およびＭに対する
出力パワーの変化を示すグラフ。
１…レーザー発振器、２…真空容器、４、５…反射鏡、
４ａ…凹面、５ａ…凸面、５ｂ…平面部、６ａ、６ｂ…
電極、８…電源装置、１０…吸引ポンプ、１２…吸気
口、１４…排気口。
４ａ…凹面、５ａ…凸面、５ｂ…平面部、６ａ、６ｂ…
電極、８…電源装置、１０…吸引ポンプ、１２…吸気
口、１４…排気口。
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(56)参考文献 特開 平６−237031（ＪＰ，Ａ)
特開 平５−75185（ＪＰ，Ａ)
特開 平１−270373（ＪＰ，Ａ)
実開 昭64−28880（ＪＰ，Ｕ)
実開 昭63−265478（ＪＰ，Ｕ)
実開 昭63−265477（ＪＰ，Ｕ)
(58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名)
H01S 3/00 - 3/30
Claims (2)
- 【請求項１】レーザー媒質を収容する容器と、 このレーザー媒質を挟んで上記容器内に互いに対向して
設けられた、第１の反射面と、この第１の反射面より小
さい径で第１の反射面と同軸の第２の反射面と、を備
え、第１の反射面は第２の反射面側に凹面を有し、第２
の反射面は第１の反射面側の中央部に軸と垂直な平面を
有し且つその周辺に凸面を有する共振器と、 上記第１および第２の反射面間のレーザー媒質に所定の
電圧を印加し上記レーザー媒質を励起させる励起手段
と、 を備えていることを特徴とするレーザー発振器。 - 【請求項２】予め励起されたガス状のレーザー媒質を収
容する容器と、 このレーザー媒質を挟んで上記容器内に互いに対向して
設けられた、第１の反射面と、この第１の反射面より小
さい径で第１の反射面と同軸の第２の反射面と、を備
え、第１の反射面は第２の反射面側に凹面を有し、第２
の反射面は第１の反射面側の中央部に軸と垂直な平面を
有し且つその周辺に凸面を有する共振器と、 を備えていることを特徴とするレーザー発振器。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7004395A JP3493373B2 (ja) | 1995-03-28 | 1995-03-28 | レーザー発振器 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7004395A JP3493373B2 (ja) | 1995-03-28 | 1995-03-28 | レーザー発振器 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH08264866A JPH08264866A (ja) | 1996-10-11 |
| JP3493373B2 true JP3493373B2 (ja) | 2004-02-03 |
Family
ID=13420165
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP7004395A Expired - Fee Related JP3493373B2 (ja) | 1995-03-28 | 1995-03-28 | レーザー発振器 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3493373B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN109103734A (zh) * | 2017-06-21 | 2018-12-28 | 中国科学院大连化学物理研究所 | 准静态非流动的放电激励氧碘激光器 |
-
1995
- 1995-03-28 JP JP7004395A patent/JP3493373B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH08264866A (ja) | 1996-10-11 |
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