JP3492667B2 - Single-sided circuit board for multilayer printed wiring board, multilayer printed wiring board and method of manufacturing the same - Google Patents

Single-sided circuit board for multilayer printed wiring board, multilayer printed wiring board and method of manufacturing the same

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JP3492667B2 JP2001353831A JP2001353831A JP3492667B2 JP 3492667 B2 JP3492667 B2 JP 3492667B2 JP 2001353831 A JP2001353831 A JP 2001353831A JP 2001353831 A JP2001353831 A JP 2001353831A JP 3492667 B2 JP3492667 B2 JP 3492667B2
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  • Production Of Multi-Layered Print Wiring Board (AREA)
  • Printing Elements For Providing Electric Connections Between Printed Circuits (AREA)

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、多層プリント配線
板用片面回路基板、および多層プリント配線板とその製
造方法に関し、特に、インターステシャルバイアホール
構造の多層プリント配線板を高い歩留りで効率良く製造
するのに有効な多層プリント配線板用片面回路基板、お
よびこの片面回路基板から構成される多層プリント配線
板とその製造方法について提案する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a single-sided circuit board for a multilayer printed wiring board, a multilayer printed wiring board and a method for manufacturing the same, and more particularly to a multilayer printed wiring board having an interstitial via hole structure with high yield and high efficiency. We propose a single-sided circuit board for a multilayer printed wiring board, which is effective for manufacturing, a multilayer printed wiring board composed of this single-sided circuit board, and a manufacturing method thereof.

【0002】[0002]

【従来の技術】従来の多層プリント配線板は、銅張積層
板とプリプレグを相互に積み重ねて一体化してなる積層
体にて構成されている。この積層体は、その表面に表面
配線パターンを有し、層間絶縁層間には内層配線パター
ンを有している。これらの配線パターンは、積層体の厚
さ方向に穿孔形成したスルーホールを介して、内層配線
パターン相互間あるいは内層配線パターンと表面配線パ
ターン間を電気的に接続するようにしている。
2. Description of the Related Art A conventional multilayer printed wiring board is composed of a copper clad laminate and a prepreg which are laminated and integrated with each other. This laminate has a surface wiring pattern on its surface and an inner wiring pattern between the interlayer insulating layers. These wiring patterns are electrically connected to each other between the inner layer wiring patterns or between the inner layer wiring pattern and the surface wiring pattern through through holes formed in the thickness direction of the laminated body.

【0003】ところが、上述したようなスルーホール構
造の多層プリント配線板は、スルーホールを形成するた
めの領域を確保する必要があるために、部品実装の高密
度化が困難であり、携帯用電子機器の超小型化や狭ピッ
チパッケージおよびMCMの実用化の要請に十分に対処
できないという欠点があった。そのため、最近では、上
述のようなスルーホール構造の多層プリント配線板に代
えて、電子機器の小型化,高密度化に対応し易いインタ
ーステシャルバイアホール(IVH)構造を有する多層
プリント配線板の開発が進められている。
However, in the multilayer printed wiring board having the through hole structure as described above, it is difficult to increase the density of component mounting because it is necessary to secure a region for forming the through hole, and thus the portable electronic device is difficult. However, there is a drawback in that it is not possible to sufficiently meet the demands for miniaturization of devices and practical application of narrow pitch packages and MCMs. Therefore, recently, a multilayer printed wiring board having an interstitial via hole (IVH) structure, which is easy to cope with miniaturization and high density of electronic devices, has been replaced with a multilayer printed wiring board having a through hole structure as described above. Development is in progress.

【0004】このIVH構造を有する多層プリント配線
板は、積層体を構成する各層間絶縁層に、導体層間を接
続する導電性のバイアホールが設けられている構造のプ
リント配線板である。即ち、この配線板は、内層配線パ
ターン相互間あるいは内層配線パターンと表面配線パタ
ーン間が、配線基板を貫通しないバイアホール(ベリー
ドバイアホールあるいはブラインドバイアホール)によ
って電気的に接続されている。それ故に、IVH構造の
多層プリント配線板は、スルーホールを形成するための
領域を特別に設ける必要がなく、電子機器の小型化,高
密度化を容易に実現することができる。
The multilayer printed wiring board having the IVH structure is a printed wiring board having a structure in which conductive via holes connecting the conductor layers are provided in each interlayer insulating layer forming the laminate. That is, in this wiring board, the inner layer wiring patterns are electrically connected to each other, or the inner layer wiring patterns and the surface wiring patterns are electrically connected to each other by via holes (belly via holes or blind via holes) that do not penetrate the wiring substrate. Therefore, in the multilayer printed wiring board having the IVH structure, it is not necessary to specially provide a region for forming the through hole, and it is possible to easily realize miniaturization and high density of the electronic device.

【0005】こうしたIVH構造の多層プリント配線板
に関し、例えば、第9回回路実装学術講演大会予稿集
(平成7年3月2日)の第57頁には、全層IVH構造を
有する多層プリント配線板の開発に関する提案が報告さ
れている。この提案の多層プリント配線板は、炭酸ガ
スレーザによる高速微細ビア穴加工技術、基板材料と
してアラミド不織布とエポキシ樹脂のコンポジット材料
の採用、導電性ペーストの充填による層間接続技術、
に基づいて開発されたものであり、以下のプロセスによ
って製造される(図1参照)。
Regarding such a multilayer printed wiring board having an IVH structure, see, for example, Proceedings of the 9th Circuit Assembly Academic Lecture Meeting (March 2, 1995), page 57, a multilayer printed wiring board having an all-layer IVH structure. Proposals for board development have been reported. The proposed multilayer printed wiring board is a high-speed micro via hole machining technology using carbon dioxide gas laser, adopting a composite material of aramid nonwoven fabric and epoxy resin as a substrate material, interlayer connection technology by filling conductive paste,
It was developed based on the following, and is manufactured by the following process (see FIG. 1).

【0006】まず、プリプレグとしてアラミド不織布に
エポキシ樹脂を含浸させた材料を用い、このプリプレグ
に炭酸ガスレーザによる穴開け加工を施し、次いで、こ
のようにして得られた穴部分に導電性ペーストを充填す
る(図1(a) 参照)。次に、上記プリプレグの両面に銅
箔を重ね、熱プレスにより加熱、加圧する。これによ
り、プリプレグのエポキシ樹脂および導電性ペーストが
硬化され両面の銅箔相互の電気的接続が行われる(図1
(b) 参照)。そして、上記銅箔をエッチング法によりパ
ターニングすることで、バイアホールを有する硬質の両
面基板が得られる(図1(c) 参照)。
First, a material obtained by impregnating an aramid non-woven fabric with an epoxy resin is used as a prepreg, and this prepreg is subjected to a drilling process by a carbon dioxide gas laser, and then the hole portion thus obtained is filled with a conductive paste. (See Figure 1 (a)). Next, copper foil is placed on both sides of the prepreg and heated and pressed by a hot press. As a result, the epoxy resin and the conductive paste of the prepreg are cured, and the copper foils on both sides are electrically connected to each other (see FIG. 1).
(See (b)). Then, the copper foil is patterned by an etching method to obtain a hard double-sided board having via holes (see FIG. 1 (c)).

【0007】このようにして得られた両面基板をコア層
として多層化する。具体的には、前記コア層の両面に、
上述の導電性ペーストを充填したプリプレグと銅箔とを
位置合わせしながら順次に積層し、再度熱プレスしたの
ち、最上層の銅箔をエッチングすることで4層基板を得
る(図1(d),(e) 参照)。さらに多層化する場合は、上
記の工程を繰り返し行い、6層、8層基板とする。
The double-sided board thus obtained is multilayered as a core layer. Specifically, on both sides of the core layer,
A prepreg filled with the above-mentioned conductive paste and a copper foil are sequentially laminated while aligning them, hot-pressed again, and then the uppermost copper foil is etched to obtain a four-layer board (FIG. 1 (d)). , (e)). When the number of layers is further increased, the above steps are repeated to form a 6-layer or 8-layer substrate.

【0008】以上説明したような従来技術にかかるIV
H構造の多層プリント配線板は、熱プレスによる加熱,
加圧工程とエッチングによる銅箔のパターンニング工程
とを何度も繰り返さなければならず、製造工程が複雑に
なり、製造に長時間を要するという欠点があった。しか
も、このような製造方法によって得られるIVH構造の
多層プリント配線板は、銅箔のパターンニング不良を製
造過程で修正することが難しいために、製造過程で1個
所でも(一工程でも)前記パターンニング不良が発生す
ると、最終製品である配線板全体が不良品となる。つま
り、上記従来の製造プロセスは、各積層工程のうち1個
所でも不良品を出すと、他の良好な積層工程のものまで
処分しなければならず、製造効率あるいは製造歩留りの
悪化を招きやすいという致命的な欠点があった。
IV according to the prior art as described above
The H structure multilayer printed wiring board is heated by a hot press,
The pressing step and the copper foil patterning step by etching have to be repeated many times, which complicates the manufacturing process and requires a long time for manufacturing. In addition, the multilayer printed wiring board having the IVH structure obtained by such a manufacturing method is difficult to correct the patterning failure of the copper foil in the manufacturing process, and thus the pattern can be formed in one place (or in one process) in the manufacturing process. When a defective wiring occurs, the entire wiring board, which is the final product, becomes a defective product. That is, in the above conventional manufacturing process, if a defective product is produced even at one place in each laminating process, it is necessary to dispose of other good laminating processes, which is likely to cause deterioration in manufacturing efficiency or manufacturing yield. There was a fatal flaw.

【0009】これに対し、発明者は先に、IVH構造の
多層プリント配線板を高い歩留りで効率良く製造するの
に有効に用いられる多層プリント配線板用片面回路基板
として、絶縁性硬質基板に対し、この基板の一方の面に
導体回路を、そしてその他方の面には接着剤層をそれぞ
れ形成してなり、かつ前記基板および前記接着剤層には
これらの層を貫通して導体に接する穴を設けて導電性ペ
ーストを充填したバイアホールを形成したことを特徴と
する多層プリント配線板用片面回路基板を提案し、IV
H構造の多層プリント配線板として、IVHを介して電
気的に接続された回路基板のうちの少なくとも一層が、
上記片面回路基板で構成された多層プリント配線板を提
案した。そして、上記片面回路基板を用いてIVH構造
の多層プリント配線板を製造する方法として、 .絶縁性硬質基板の片面に貼着した金属箔をエッチン
グすることにより導体回路を形成する工程、 .上記基板の一方の面に形成した導体回路とは反対側
の表面に接着剤層を形成する工程、 .上記絶縁性硬質基板と上記接着剤層を貫通して導体
に接する穴を形成し、この穴に導電性ペーストを充填し
て片面回路基板を作製する工程、 .上記片面回路基板を2枚以上重ね合わせるか他の回
路基板と共に重ね合わせ、次いで該基板が具える前記接
着剤層を利用することによって、一度のプレス成形にて
多層状に一体化させる工程、 を経ることを特徴とする多層プリント配線板の製造方法
を提案した。
On the other hand, the inventor has previously used an insulating hard substrate as a single-sided circuit board for a multilayer printed wiring board which is effectively used for efficiently manufacturing a multilayer printed wiring board having an IVH structure with a high yield. A hole for making a conductor circuit on one surface of this substrate and an adhesive layer on the other surface, and for penetrating these layers and contacting the conductor on the substrate and the adhesive layer. And a via hole filled with a conductive paste is formed to provide a single-sided circuit board for a multilayer printed wiring board.
As a multi-layer printed wiring board having an H structure, at least one of the circuit boards electrically connected through IVH is
A multilayer printed wiring board composed of the above single-sided circuit board was proposed. Then, as a method of manufacturing a multilayer printed wiring board having an IVH structure using the single-sided circuit board, a step of forming a conductor circuit by etching a metal foil attached to one surface of the insulating hard board ,. A step of forming an adhesive layer on the surface opposite to the conductor circuit formed on one surface of the substrate, A step of forming a hole penetrating the insulating hard substrate and the adhesive layer and contacting a conductor, and filling the hole with a conductive paste to produce a single-sided circuit board; Stacking two or more of the above single-sided circuit boards or stacking them together with another circuit board, and then using the adhesive layer of the boards to integrate them into a multilayer by a single press molding, A method of manufacturing a multilayer printed wiring board, which is characterized by the above, has been proposed.

【0010】この提案にかかる片面回路基板は、絶縁性
硬質基板の貫通孔と接着剤層の貫通孔とを位置決めする
ことが難しいという点から、通常、導体回路とは反対側
の絶縁性硬質基板表面に接着剤層を形成した後に、該基
板と接着剤層を同時に穴開け加工して導体に接する穴を
形成し、この穴内に導電性ペーストを充填することによ
り製造される。
In the single-sided circuit board according to this proposal, since it is difficult to position the through hole of the insulating hard substrate and the through hole of the adhesive layer, the insulating hard substrate on the opposite side of the conductor circuit is usually used. After the adhesive layer is formed on the surface, the substrate and the adhesive layer are simultaneously punched to form a hole in contact with the conductor, and the hole is filled with a conductive paste.

【0011】しかしながら、穴内に充填した導電性ペー
ストが接する導体回路面を清浄化する目的で、上記片面
回路基板をデスミア処理すると、未硬化状態の接着剤層
も溶損されやすいという新たな問題があった。
However, if the single-sided circuit board is desmeared for the purpose of cleaning the conductor circuit surface in contact with the conductive paste filled in the holes, there is a new problem that the uncured adhesive layer is easily melted. there were.

【0012】[0012]

【発明が解決しようとする課題】本発明は従来技術が抱
える上記問題を解消するためになされたものであり、そ
の主たる目的は、デスミア処理による不具合を招くこと
なく、IVH構造の多層プリント配線板を高い歩留りで
効率良く製造するのに有効に用いられる多層プリント配
線板用片面回路基板を提供することにある。本発明の他
の目的は、上記片面回路基板で構成されたIVH構造の
多層プリント配線板を提供すること、即ち、凹凸の少な
い平滑な片面回路基板を積層することにより、高い位置
精度でかつ平坦性の良いIVH構造の多層プリント配線
板を提供することにある。本発明のさらに他の目的は、
上記片面回路基板を用いてIVH構造の多層プリント配
線板を高い歩留りで効率良く製造する方法を提案するこ
とにある。
SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made to solve the above-mentioned problems of the prior art, and its main purpose is to prevent the problems caused by the desmear treatment and to provide a multilayer printed wiring board having an IVH structure. It is an object of the present invention to provide a single-sided circuit board for a multilayer printed wiring board, which is effectively used to efficiently manufacture a printed circuit board with high yield. Another object of the present invention is to provide a multilayer printed wiring board having an IVH structure composed of the above-mentioned single-sided circuit board, that is, by laminating smooth single-sided circuit boards with few irregularities, it is possible to achieve high positional accuracy and flatness. An object of the present invention is to provide a multilayer printed wiring board having an excellent IVH structure. Still another object of the present invention is to
Another object of the present invention is to propose a method for efficiently manufacturing a multilayer printed wiring board having an IVH structure using the single-sided circuit board with a high yield.

【0013】[0013]

【課題を解決するための手段】発明者は、上述した目的
を実現するために鋭意研究を行った結果、以下に示す内
容を要旨構成とする発明を完成するに至った。すなわ
ち、 (1)IVH構造の多層プリント配線板を高い歩留りで効
率良く製造するのに有効に用いられる多層プリント配線
板用片面回路基板として、本発明は、ガラス布エポキシ
樹脂、ガラス不織布エポキシ樹脂、ガラス布ビスマレイ
ミドトリアジン樹脂、アラミド不織布エポキシ樹脂のい
ずれかを、板状に硬化させてなる絶縁性硬質基板に対
し、この基板の一方の面に導体回路と接着剤層をそれぞ
れ有すると共に、この基板の他方の面には、前記基板を
貫通して導体回路に接し、かつ一端が閉塞された穴がレ
ーザ照射により設けられ、かかる穴底に生じた樹脂残渣
がデスミア処理されてなる穴内に導電性ペースト該基
板面と平滑にまたは該基板面から突出する状態で充填さ
れたバイアホールを有することを特徴とする多層プリン
ト配線板用片面回路基板を提供する。ここで、上記導体
回路は、絶縁性硬質基板の一面に銅箔が貼付されてなる
片面銅張積層板の銅箔をエッチングして形成されたもの
であることが望ましい。また、上記接着剤層は、導体回
路部分を含む絶縁性硬質基板の表面に接着剤を被覆形成
した層からなることが望ましい。
As a result of intensive research aimed at achieving the above-mentioned object, the inventor has completed an invention having the following contents as its gist. That is, (1) a single-sided circuit board for a multilayer printed wiring board effectively used for efficiently producing a multilayer printed wiring board having an IVH structure with a high yield, the present invention is a glass cloth epoxy resin, a glass nonwoven cloth epoxy resin, For an insulative hard substrate formed by curing either glass cloth bismaleimide triazine resin or aramid non-woven epoxy resin into a plate shape, this board has a conductor circuit and an adhesive layer on one surface of the board. On the other side of the
A hole that penetrates and contacts the conductor circuit and has one end blocked
Resin residue generated at the bottom of the hole by laser irradiation
To but provides a single-sided circuit substrate for a multilayer printed wiring board characterized by having a via hole filled in a state in which a conductive paste in a bore formed by desmear process protrudes from the substrate surface and the smooth or substrate surface . Here, the conductor circuit is preferably formed by etching a copper foil of a single-sided copper-clad laminate in which a copper foil is attached to one surface of an insulating hard substrate. Further, it is preferable that the adhesive layer is a layer in which an adhesive is coated on the surface of an insulating hard substrate including a conductor circuit portion.

【0014】(2)IVH構造の多層プリント配線板とし
て、本発明は、回路基板の積層材がインタースティシャ
ルバイアホールを介してそれぞれ電気的に接続されてな
る構造の多層プリント配線板において、コア基板を除く
内層回路基板のうちの少なくとも1つが、上記(1) に記
載の片面回路基板で構成されていることを特徴とする多
層プリント配線板を提供する。
(2) As a multilayer printed wiring board having an IVH structure, the present invention provides a multilayer printed wiring board having a structure in which laminated materials of a circuit board are electrically connected through interstitial via holes. Excluding board
Provided is a multilayer printed wiring board, wherein at least one of the inner layer circuit boards is constituted by the single-sided circuit board described in (1) above.

【0015】上記(1) に記載の片面回路基板を用いてI
VH構造の多層プリント配線板を高い歩留りで効率良く
製造する方法としては、 .ガラス布エポキシ樹脂、ガラス不織布エポキシ樹
脂、ガラス布ビスマレイミドトリアジン樹脂、アラミド
不織布エポキシ樹脂のいずれかを、板状に硬化させてな
る絶縁性硬質基板の一方の面に貼着された金属箔をエッ
チングすることにより導体回路を形成する工程、 .上記絶縁性硬質基板の他方の面から、前記基板を貫
通して導体回路に接し、かつ一端が閉塞された穴をレー
ザ照射により形成し、その穴底の導体回路表面にデスミ
ア処理を施した後、この穴に導電性ペーストを該基板面
と平滑にまたは該基板面から突出する状態で充填してな
るバイアホールを形成する工程、 .上記絶縁性硬質基板の導体回路形成面に接着剤層を
設けて片面回路基板を作製する工程、 .上記片面回路基板を、コア基板に対して1枚以上重
ね合わせるか他の回路基板と共に重ね合わせ、次いで当
該片面回路基板が備える上記接着剤層を利用することに
よって、一度のプレス成形にて多層状に一体化させる工
程、を経ることを特徴とする多層プリント配線板の製造
方法を提案する。
Using the single-sided circuit board described in (1) above, I
As a method for efficiently manufacturing a multilayer printed wiring board having a VH structure with a high yield, Etching a metal foil attached to one surface of an insulating hard substrate made by curing any of glass cloth epoxy resin, glass non-woven epoxy resin, glass cloth bismaleimide triazine resin, and aramid non-woven epoxy resin A step of forming a conductor circuit by: From the other surface of the insulating hard substrate, penetrate the substrate.
Through the conductor circuit and one end closed.
Formed by The irradiation was subjected to external corner <br/> A process conductor circuit surface of the hole bottom, filled in a state of projecting a conductive paste into the hole from the substrate surface and the smooth or substrate surface Tena
Forming a via hole, A step of forming a single-sided circuit board by providing an adhesive layer on the conductor circuit forming surface of the insulating hard board, By stacking one or more single-sided circuit boards on the core board or by stacking them together with another circuit board, and then using the adhesive layer provided on the single-sided circuit board, a single press molding can be performed to form a multi-layered structure. We propose a method for manufacturing a multilayer printed wiring board, which comprises the steps of:

【0016】[0016]

【発明の実施の形態】本発明の第1の実施形態は、デス
ミア処理による不具合を招くことなく、IVH構造の多
層プリント配線板を高い歩留りで効率良く製造するため
に必要な多層プリント配線板用片面回路基板を提供する
ことである。すなわち、本発明にかかる多層プリント配
線板用片面回路基板は、ガラス布エポキシ樹脂、ガラス
不織布エポキシ樹脂、ガラス布ビスマレイミドトリアジ
ン樹脂、アラミド不織布エポキシ樹脂のいずれかを、板
状に硬化させてなる絶縁性硬質基板の一方の面に導体回
路と接着剤層をそれぞれ有すると共に、この基板の他方
の面には、前記基板を貫通して導体回路に接し、かつ一
端が閉塞された穴がレーザ照射により設けられ、かかる
穴底に生じた樹脂残渣がデスミア処理されてなる穴内に
導電性ペースト前記基板面と平滑にまたは基板面から
突出する状態で充填されたバイアホールを有するもので
ある。
BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION The first embodiment of the present invention is for a multilayer printed wiring board which is necessary for efficiently manufacturing a multilayer printed wiring board having an IVH structure with a high yield without causing a defect due to a desmear treatment. It is to provide a single-sided circuit board. That is, the single-sided circuit board for a multilayer printed wiring board according to the present invention is a glass cloth epoxy resin, a glass non-woven epoxy resin, a glass cloth bismaleimide triazine resin, or an aramid non-woven epoxy resin, which is cured by plate-like insulation. A conductive circuit board and an adhesive layer respectively on one surface of the flexible hard board, and the other surface of the board penetrates the board and contacts the conductive circuit.
Laser-irradiated holes with closed ends
The resin residue generated at the bottom of the hole is desmeared, and the hole has a via hole filled with the conductive paste so as to be smooth with the substrate surface or to project from the substrate surface.

【0017】ここで、本発明において、片面回路基板を
構成する前記接着剤層は、IVH構造の多層プリント配
線板を製造するに当たり、当該片面回路基板どうしを、
または積層する他の回路基板と接着して多層化するとき
にその接着の役割を担うものである。
In the present invention, the adhesive layer constituting the single-sided circuit board is used to manufacture the IVH-structured multilayer printed wiring board, and
Alternatively, it plays a role of adhesion when it is adhered to another circuit board to be laminated to form a multilayer.

【0018】本発明において、片面回路基板を構成する
前記導体回路は、IVH構造の多層プリント配線板を構
成する表面配線パターンあるいは内層配線パターンとな
る。このような導体回路は、絶縁性硬質基板の片面に貼
着された金属箔をエッチングすることにより形成され、
好ましくは、絶縁性硬質基板の片面に銅箔を形成してな
る片面銅張積層板の該銅箔をエッチングすることにより
形成される。
In the present invention, the conductor circuit forming the single-sided circuit board is a surface wiring pattern or an inner layer wiring pattern forming a multilayer printed wiring board having an IVH structure. Such a conductor circuit is formed by etching a metal foil attached to one surface of an insulating hard substrate,
Preferably, it is formed by etching the copper foil of a single-sided copper-clad laminate obtained by forming a copper foil on one surface of an insulating hard substrate.

【0019】本発明において、片面回路基板を構成する
前記バイアホールは、IVH構造の多層プリント配線板
を製造するに当たり、当該片面回路基板の導体回路を、
積層される他の回路基板上の導体回路と電気的に接続す
る役割を担う。即ち、絶縁性硬質基板の一方の面からそ
の基板を貫通して導体回路に達する穴内に該基板面と平
滑にまたは該基板面から突出する状態に充填された導電
性ペーストが、隣接して積層される他の回路基板上の導
体回路と熱硬化により密着し、それぞれの導体回路を電
気的に接続するのである。
In the present invention, the via holes constituting the single-sided circuit board are formed by connecting the conductor circuit of the single-sided circuit board to the multilayer printed wiring board having the IVH structure.
It plays a role of electrically connecting to a conductor circuit on another circuit board to be laminated. That is, a conductive paste filled in a hole penetrating from one surface of an insulating hard substrate to reach a conductor circuit so as to be smooth with the substrate surface or to project from the substrate surface is laminated adjacently. The conductor circuits on the other circuit board are adhered to each other by thermosetting to electrically connect the conductor circuits.

【0020】特に、当該片面回路基板どうしを、または
積層する他の回路基板とを接着して多層化する場合、各
積層材の密着強度と接続信頼性を向上させる目的で、片
面回路基板の導体回路形成面に設けた接着剤層は、導体
回路部分を含む絶縁性硬質基板の表面に接着剤を被覆形
成した層で構成され、一方、該片面回路基板の導電性ペ
ーストは、接続される他の回路基板の導体回路部分に被
覆形成された接着剤層を突き破って面接触できるように
基板面から突出する状態で穴内に充填されていることが
望ましい。この導電性ペーストが基板面から突出してい
る高さは、前記導体回路部分に被覆形成された接着剤層
の膜厚よりも 0.5〜5μm大きいことが望ましい。
In particular, when the single-sided circuit boards are bonded to each other or other circuit boards to be laminated to form a multi-layered structure, the conductors of the single-sided circuit boards are used for the purpose of improving the adhesion strength and connection reliability of each laminated material. The adhesive layer provided on the circuit forming surface is composed of a layer obtained by coating an adhesive on the surface of an insulating hard substrate including a conductor circuit portion, while the conductive paste of the single-sided circuit substrate is connected It is desirable that the holes be filled in a state of protruding from the substrate surface so that the adhesive layer coated on the conductor circuit portion of the circuit substrate can be pierced to make surface contact. The height of the conductive paste protruding from the substrate surface is preferably 0.5 to 5 μm larger than the film thickness of the adhesive layer coated on the conductor circuit portion.

【0021】以上説明したような構成にかかる片面回路
基板を利用すると、IVH構造の多層プリント配線板を
高い歩留りで効率良く製造することができる。以下に、
本発明にかかる上記片面回路基板を用いて多層プリント
配線板を製造する方法について説明する。即ち、下記の
各工程、 .ガラス布エポキシ樹脂、ガラス不織布エポキシ樹
脂、ガラス布ビスマレイミドトリアジン樹脂、アラミド
不織布エポキシ樹脂のいずれかを、板状に硬化させてな
る絶縁性硬質基板の一方の面に貼着された金属箔をエッ
チングすることにより導体回路を形成する工程、 .上記絶縁性硬質基板の他方の面には、前記基板を貫
通して導体回路に接し、かつ一端が閉塞された穴をレー
ザ照射により形成し、その穴底の導体回路表面にデスミ
ア処理を施した後、この穴に導電性ペーストを該基板面
と平滑にまたは該基板面から突出する状態で充填してな
るバイアホールを形成する工程、 .上記絶縁性硬質基板の導体回路形成面に接着剤層を
設けて片面回路基板を作製する工程、 .上記片面回路基板を、コア基板に対して1枚以上重
ね合わせるか他の回路基板と共に重ね合わせ、次いで当
該片面回路基板が備える上記接着剤層を利用することに
よって、一度のプレス成形にて多層状に一体化させる工
程、を経ることを特徴とする。
By using the single-sided circuit board having the above-described structure, it is possible to efficiently manufacture a multilayer printed wiring board having an IVH structure with a high yield. less than,
A method for manufacturing a multilayer printed wiring board using the single-sided circuit board according to the present invention will be described. That is, each of the following steps: Etching a metal foil attached to one surface of an insulating hard substrate made by curing any of glass cloth epoxy resin, glass non-woven epoxy resin, glass cloth bismaleimide triazine resin, and aramid non-woven epoxy resin A step of forming a conductor circuit by: On the other surface of the insulating hard substrate, penetrate the substrate.
Through the conductor circuit and one end closed.
Formed by The irradiation was subjected to external corner <br/> A process conductor circuit surface of the hole bottom, filled in a state of projecting a conductive paste into the hole from the substrate surface and the smooth or substrate surface Tena
Forming a via hole, A step of forming a single-sided circuit board by providing an adhesive layer on the conductor circuit forming surface of the insulating hard board, By stacking one or more single-sided circuit boards on the core board or by stacking them together with another circuit board, and then using the adhesive layer provided on the single-sided circuit board, a single press molding can be performed to form a multi-layered structure. It is characterized by going through the step of integrating with.

【0022】この本発明にかかる多層プリント配線板の
製造方法は、バイアホールのための穴を形成した後にデ
スミア処理を施す場合に特に有利に適用できる。という
のは、絶縁性硬質基板に対し、導体回路とは反対側の面
に接着剤層を設け、かつ前記基板および前記接着剤層を
貫通して導体回路に接する穴を設けて導電性ペーストを
充填することによりバイアホールを形成する先の提案に
かかる構成では、バイアホールの接続信頼性を向上させ
るためにレジンスミアを除去すると、未硬化状態の接着
剤層が溶損して接着剤層としての機能を果たせなくなる
という問題があった。この点、本発明によれば、接着剤
層を基板に対して導体回路と同じ側に設ける構成とし、
接着剤層を形成する前にバイアホールを形成することに
したので、デスミア処理による上記問題点を解消するこ
とができ、接続信頼性に優れた片面回路基板を安定して
提供することができるからである。なお、接着剤層を導
体回路の反対側に設ける構成でも、接着剤層を形成する
前にバイアホールを形成することができる。しかし、バ
イアホールに合わせた接着剤層の穴開けが難しい点で効
率的な方法ではなく不利である。
The method for manufacturing a multilayer printed wiring board according to the present invention can be particularly advantageously applied when desmearing is performed after forming holes for via holes. This is because, for an insulating hard substrate, an adhesive layer is provided on the surface opposite to the conductor circuit, and a hole that penetrates the substrate and the adhesive layer and is in contact with the conductor circuit is provided to form a conductive paste. In the configuration proposed above in which a via hole is formed by filling, when the resin smear is removed in order to improve the connection reliability of the via hole, the uncured adhesive layer is melted and functions as an adhesive layer. There was a problem that could not be fulfilled. In this respect, according to the present invention, the adhesive layer is provided on the same side as the conductor circuit with respect to the substrate,
Since the via hole is formed before the adhesive layer is formed, the above problems due to the desmear treatment can be solved, and a single-sided circuit board with excellent connection reliability can be stably provided. Is. Even in the configuration in which the adhesive layer is provided on the opposite side of the conductor circuit, the via hole can be formed before the adhesive layer is formed. However, it is not an efficient method and is disadvantageous in that it is difficult to open the adhesive layer according to the via hole.

【0023】また、本発明の方法によれば、所定の配線
パターンを形成した導体回路を有する片面回路基板が予
め個々に製造されるので、上記効果に加えて、片面回路
基板における導体回路等の不良箇所の有無を積層する前
に確認することができる。その結果、積層段階では、不
良箇所のない片面回路基板のみを用いることとなる。従
って、本発明方法によれば、製造段階で不良を発生する
ことが少なくなり、IVH構造の多層プリント配線板を
高い歩留りで製造することができるようになる。
Further, according to the method of the present invention, the single-sided circuit boards having the conductor circuits on which the predetermined wiring patterns are formed are individually manufactured in advance. It is possible to confirm the presence or absence of a defective portion before stacking. As a result, only the single-sided circuit board having no defective portion is used in the stacking stage. Therefore, according to the method of the present invention, defects are less likely to occur in the manufacturing stage, and the multilayer printed wiring board having the IVH structure can be manufactured with a high yield.

【0024】さらに、本発明にかかる多層プリント配線
板の製造方法によれば、プリプレグを積み重ねて熱プレ
スする工程を繰り返す必要はなく、片面回路基板を、コ
ア基板に対して1枚以上重ね合わせるか他の回路基板と
共に重ね合わせ、前記片面回路基板が具える接着剤層を
利用することによって、一度の熱プレス成形にて積層一
体化させることができる。また、本発明にかかる多層プ
リント配線板は、バイアホールの穴開けプロセス以外は
サブトラクティブの量産基板と同じ手法で製造すること
ができる。即ち、本発明の方法によれば、IVH構造の
多層プリント配線板を複雑な工程を繰り返すことなく短
時間で効率良く製造することができる。
Furthermore, according to the method for manufacturing a multilayer printed wiring board of the present invention, it is not necessary to repeat the steps of stacking prepregs and hot pressing, and one or more single-sided circuit boards can be stacked on the core board. By stacking together with another circuit board and utilizing the adhesive layer provided on the one-sided circuit board, it is possible to laminate and integrate them by one hot press molding. Further, the multilayer printed wiring board according to the present invention can be manufactured by the same method as that of the subtractive mass-produced substrate, except for the via hole drilling process. That is, according to the method of the present invention, a multilayer printed wiring board having an IVH structure can be efficiently manufactured in a short time without repeating complicated steps.

【0025】ここで、本発明方法において、金属箔をエ
ッチングすることにより導体回路を形成するのは、金属
箔のエッチングによれば、極薄の導体回路パターンが、
均一の膜厚で高密度に形成することができるからであ
る。
Here, in the method of the present invention, the conductor circuit is formed by etching the metal foil. The etching of the metal foil results in an extremely thin conductor circuit pattern.
This is because it can be formed with a uniform film thickness and high density.

【0026】本発明方法において、絶縁性硬質基板を貫
通して導体に接する上記穴は、レーザの照射により形成
することが望ましい。その理由は、片面回路基板のバイ
アホールを形成するための穴は、なるべく微小径の穴を
高密度に形成することが有利であり、穴開け加工にレー
ザを適用することによって、微小径の穴を容易にかつ高
密度に形成することができるからである。また、レーザ
による穴開け加工によれば、導体回路を損傷することな
く、絶縁性硬質基板を貫通する穴を開けることができ
る。その結果、従来技術のようにプリプレグ基板を貫通
する孔を設けるのではなく、導体回路により一端が閉鎖
された状態の穴を形成するので、その穴に導電性ペース
トを充填することにより、バイアホールと導体回路が面
接触するため、確実な導通が得られる。
In the method of the present invention, the hole penetrating the insulating hard substrate and contacting the conductor is preferably formed by laser irradiation. The reason is that it is advantageous to form the via holes of the single-sided circuit board with holes with a minute diameter as high as possible, and by applying a laser to the drilling process, holes with a minute diameter can be formed. This is because it can be formed easily and with high density. In addition, the hole drilling process using a laser can make a hole through the insulating hard substrate without damaging the conductor circuit. As a result, instead of providing a hole penetrating the prepreg substrate as in the conventional technique, a hole whose one end is closed by a conductor circuit is formed.By filling the hole with a conductive paste, the via hole is formed. Since the conductor circuit makes surface contact with the conductor circuit, reliable conduction can be obtained.

【0027】本発明方法において、デスミア処理は、バ
イアホール底の導体回路面に残った樹脂残渣を除去する
ために、例えば、過マンガン酸カリウム液、クロム酸と
硫酸の混液などに浸漬する処理である。本発明によれ
ば、このデスミア処理を接着剤層の形成前に行うので未
硬化状態の接着剤層が溶損されやすいという先の提案に
かかる技術で抱えていた問題を招くことはない。
In the method of the present invention, the desmear treatment is a treatment of immersing in a potassium permanganate solution, a mixed solution of chromic acid and sulfuric acid, or the like in order to remove the resin residue remaining on the conductor circuit surface at the bottom of the via hole. is there. According to the present invention, since the desmear treatment is performed before the formation of the adhesive layer, the problem of the above-mentioned proposal that the uncured adhesive layer is likely to be melted is not caused.

【0028】本発明において、コア基板としては従来既
知のものを用いることができ、その製造方法はとくに限
定されるものではない。また、本発明において、最外層
の回路基板には、接着剤層の形成は必要ない。
In the present invention, a conventionally known core substrate can be used as the core substrate, and its manufacturing method is not particularly limited. Further, in the present invention, it is not necessary to form an adhesive layer on the outermost circuit board.

【0029】このようにして製造される本発明にかかる
IVH構造の多層プリント配線板は、回路基板の積層材
がIVHを介してそれぞれ電気的に接続されてなる構造
の多層プリント配線板において、コア基板を除く内装回
路基板のうちの少なくとも1層が、本発明の片面回路基
板で構成されていることを特徴とする。
The IVH-structured multilayer printed wiring board according to the present invention manufactured as described above is a multilayer printed wiring board having a structure in which the laminated materials of the circuit board are electrically connected to each other through IVH. At least one layer of the internal circuit board excluding the board is constituted by the single-sided circuit board of the present invention.

【0030】ここで、本発明の多層プリント配線板を構
成する片面回路基板は、接着剤層を介して他の回路基板
と接着されている。このような他の回路基板としては、
本発明の片面回路基板や従来知られたプリント配線基板
のいずれも使用することができる。
Here, the single-sided circuit board constituting the multilayer printed wiring board of the present invention is bonded to another circuit board via an adhesive layer. As such other circuit boards,
Any of the single-sided circuit board of the present invention and a conventionally known printed wiring board can be used.

【0031】なお、本発明の多層プリント配線板は、プ
リント配線板に一般的におこなわれている各種の加工処
理、例えば、表面にソルダーレジストの形成、表面配線
パターン上にニッケル/金めっきやはんだ処理、穴開け
加工、キャビティー加工、スルーホールめっき処理等を
施すことができる。また、本発明の多層プリント配線板
は、ICパッケージやベアチップ、チップ部品等の電子
部品を実装するために用いられる。
The multilayer printed wiring board of the present invention is subjected to various kinds of processing generally performed on printed wiring boards, for example, forming a solder resist on the surface, nickel / gold plating or soldering on the surface wiring pattern. Processing, drilling, cavity processing, through hole plating, etc. can be performed. Further, the multilayer printed wiring board of the present invention is used for mounting electronic components such as IC packages, bare chips, and chip components.

【0032】[0032]

【実施例】図2は、本発明の一実施例に係る多層プリン
ト配線板の縦断面図である。この図において、多層プリ
ント配線板1は、絶縁性硬質基板2a、2bと、この基板の
片面に貼着された金属箔をエッチングして形成した導体
回路3a、3bと、前記導体回路形成面に設けた接着剤層4
a、4bとからなり、絶縁性硬質基板2a、2bを貫通して導
体回路3a、3bに接する穴に導電性ペースト5が充填され
たバイアホール6a、6bとを有する片面回路基板7a、7b
を、コア基板8の両面にそれぞれ積層し、さらに、接着
剤層を形成してない片面回路基板7c、7dをそれぞれ最外
層に積層し、前記コア基板8が具える接着剤層と前記片
面回路基板7a、7bがそれぞれ具える接着剤層4a、4bによ
って、相互に接合した4層基板である。
FIG. 2 is a vertical sectional view of a multilayer printed wiring board according to an embodiment of the present invention. In this figure, the multilayer printed wiring board 1 includes insulating hard substrates 2a and 2b, conductor circuits 3a and 3b formed by etching a metal foil attached to one surface of the substrates, and the conductor circuit forming surface. Adhesive layer 4 provided
Single-sided circuit boards 7a, 7b, which are composed of a and 4b, and have via holes 6a, 6b filled with a conductive paste 5 in holes penetrating the insulating hard boards 2a, 2b and contacting the conductor circuits 3a, 3b.
Are laminated on both sides of the core substrate 8, and further single-sided circuit boards 7c and 7d not having an adhesive layer formed thereon are respectively laminated on the outermost layers, and the adhesive layer and the single-sided circuit included in the core substrate 8 are laminated. The substrates 7a and 7b are four-layer substrates which are bonded to each other by adhesive layers 4a and 4b, respectively.

【0033】ここで、片面回路基板7aの導体回路3aおよ
び片面回路基板7bの導体回路3bは、それぞれ所定の配線
パターン形状に形成され、多層プリント配線板1におけ
るコア基板8の上側表面または下側表面に内層配線パタ
ーンとして配置される。また、片面回路基板7cの導体回
路3cおよび片面回路基板7dの導体回路3dは、それぞれ所
定の配線パターン形状に形成され、多層プリント配線板
1の上側表面または下側表面に表面配線パターンとして
配置される。さらに、コア基板8は、例えば、絶縁性硬
質基板に貫通孔をあけ、導電性ペースト5を充填した後
に、両面に導体回路3eを形成することにより得られる。
なお、前記導体回路3a、3b、3c、3dは、例えば絶縁性硬
質基板2a、2b、2c、2dの片面に銅箔を形成してなる片面
銅張積層板の該銅箔をエッチングすることにより形成さ
れたものが好適である。
Here, the conductor circuit 3a of the one-sided circuit board 7a and the conductor circuit 3b of the one-sided circuit board 7b are respectively formed in a predetermined wiring pattern shape, and are formed on the upper surface or the lower side of the core board 8 in the multilayer printed wiring board 1. It is arranged on the surface as an inner layer wiring pattern. Further, the conductor circuit 3c of the single-sided circuit board 7c and the conductor circuit 3d of the single-sided circuit board 7d are each formed in a predetermined wiring pattern shape and arranged as a surface wiring pattern on the upper surface or the lower surface of the multilayer printed wiring board 1. It Further, the core substrate 8 can be obtained, for example, by forming a through hole in the insulating hard substrate, filling the conductive paste 5, and then forming the conductor circuits 3e on both surfaces.
Incidentally, the conductor circuit 3a, 3b, 3c, 3d, for example, by etching the copper foil of a single-sided copper-clad laminate formed by forming a copper foil on one surface of the insulating hard substrate 2a, 2b, 2c, 2d Those formed are preferred.

【0034】また、バイアホール6a、6bは、絶縁性硬質
基板2a、2bを厚さ方向に貫通して形成されており、バイ
アホール6c、6dは、絶縁性硬質基板2b、2dを厚さ方向に
貫通して形成されており、それぞれ導電性ペースト5が
充填されいる。これらのバイアホールのうち6aは内層配
線パターンとしての導体回路3aと3eの間を電気的に接続
するベリードバイアホールであり、バイアホール6bは内
層配線パターンとしての導体回路3bと3eの間を電気的に
接続するベリードバイアホールであり、バイアホール6c
は表面配線パターンとしての導体回路3cと内層配線パタ
ーンとしての3aとの間を電気的に接続するブラインドバ
イアホールであり、バイアホール6dは表面配線パターン
としての導体回路3dと内層配線パターンとしての3bとの
間を電気的に接続するブラインドバイアホールであり、
いずれもインターステシャルバイアホールを構成する。
Further, the via holes 6a, 6b are formed so as to penetrate the insulating hard substrates 2a, 2b in the thickness direction, and the via holes 6c, 6d form the insulating hard substrates 2b, 2d in the thickness direction. And is filled with the conductive paste 5. Among these via holes, 6a is a belly via hole that electrically connects between the conductor circuits 3a and 3e as the inner layer wiring pattern, and the via hole 6b connects between the conductor circuits 3b and 3e as the inner layer wiring pattern. Berry via hole that electrically connects with via hole 6c
Is a blind via hole that electrically connects between the conductor circuit 3c as the surface wiring pattern and the inner layer wiring pattern 3a, and the via hole 6d is the conductor circuit 3d as the surface wiring pattern and the inner layer wiring pattern 3b. It is a blind via hole that electrically connects between
Both form interstitial via holes.

【0035】前記の絶縁性硬質基板2a、2b、2c、2d、2e
としては、例えば、ガラス布エポキシ樹脂やガラス不織
布エポキシ樹脂、ガラス布ビスマレイミドトリアジン樹
脂、アラミド不織布エポキシ樹脂等を板状に硬化させた
基板を用いることができる。
Insulating hard substrates 2a, 2b, 2c, 2d, 2e
For example, a substrate obtained by curing a glass cloth epoxy resin, a glass nonwoven cloth epoxy resin, a glass cloth bismaleimide triazine resin, an aramid nonwoven cloth epoxy resin, or the like into a plate shape can be used.

【0036】前記の接着剤層4a、4b、4eとしては、例え
ば、エポキシ系やポリイミド系、ビスマレイミドトリア
ジン系、アクリレート系、フェノール系などの樹脂接着
剤で構成することができる。
The adhesive layers 4a, 4b and 4e can be made of, for example, an epoxy-based, polyimide-based, bismaleimidetriazine-based, acrylate-based or phenol-based resin adhesive.

【0037】前記の導電性ペーストとしては、例えば、
銅や銀、金、カーボン等の導電性ペーストを使用するこ
とができる。
As the above-mentioned conductive paste, for example,
A conductive paste such as copper, silver, gold or carbon can be used.

【0038】本発明の多層プリント配線板は、各種の電
子部品を実装することができ、例えば、図2に二点鎖線
で示すように、ICパッケージやベアチップ等のチップ
部品9を表面配線パターン3cの所定部位に搭載し、はん
だ10により固定することができる。
The multilayer printed wiring board of the present invention can be mounted with various electronic parts. For example, as shown by a chain double-dashed line in FIG. 2, a chip part 9 such as an IC package or a bare chip is mounted on the surface wiring pattern 3c. It can be mounted on a predetermined portion of and fixed by the solder 10.

【0039】次に、図2に示した本発明の一実施例に係
る多層プリント配線板の製造方法について説明する。 (1) 先ず、図2の多層プリント配線板1を構成する本発
明の片面回路基板7a(17a)を作製する。以下具体的
に、図3にしたがって説明する。 .図3(a) に示すような金属箔13が片面に貼着された
絶縁性硬質基板12aを用意する。この金属箔13が片面に
貼着された絶縁性硬質基板12aとしては、例えば、片面
銅張積層板を使用することが有利である。 .次に、前記金属箔13をエッチングし、図3(b) に示
すように、所定のパターン形状に加工する。これにより
導体回路13aが形成される。なお、エッチング方法とし
ては、公知の一般的な手段を採用することができる。こ
の導体回路13aは、内層配線パターンとして配置される
ものであるが、層間の接着性を向上させるために、導体
回路の表面を、例えば、マイクロエッチングや粗化めっ
き、両面粗化銅箔の適用等の公知の手段を用いて粗面化
することが有利である。 .次に、図3(c) に示すように、絶縁性硬質基板12a
の厚さ方向に貫通して導体に接する穴16を形成し、穴16
の底の導体回路面18をきれいにする目的で、デスミア処
理を施す。上記穴16は、絶縁性硬質基板12aの導体形成
面とは反対側からレーザを照射することにより形成する
ことが好ましい。このレーザを照射する穴開け加工機と
しては、例えば、パルス発振型炭酸ガスレーザ加工機を
使用することができる。このような、炭酸ガスレーザ加
工機を用いることにより60〜200 μmφの微小径の穴を
高精度に形成することができる。この結果、バイアホー
ルを高密度に形成することが可能になり、小型で高密度
な多層プリント配線板を製造することができる。このよ
うな、レーザを照射する穴開け加工法によれば、導体回
路13aを損傷させることなく絶縁性硬質基板12aの部分
に穴開け加工することができるので、形成された穴16
は、導体回路13a非形成面側のみが開口し、他端は導体
回路により閉鎖されている。このことにより、バイアホ
ールと導体回路13aとを電気的に確実に接続することが
できる。なお、上記デスミア処理は、穴16の底の導体回
路18に残った樹脂残渣を完全に除去することにより、導
体回路と導電性ペーストを電気的に確実に接続すること
を目的として、例えば、過マンガン酸カリウム液、クロ
ム酸と硫酸の混液などに浸漬することにより実施され
る。 .次に、他の基板の導体回路部分に被覆形成された接
着剤層を突き破って面接触できるように、前記穴16内
に、図3(d) に示すような基板面から突出する状態で導
電性ペースト5を充填する。この導電性ペースト5の充
填方法としては、例えば、メタルマスクを用いたスクリ
ーン印刷法を採用することができる。充填時には、バイ
アホールを高精度に形成するために、穴16の周囲に保護
マスクを形成しておくことが有利である。保護マスク
は、絶縁性硬質基板12aにフィルムや紙をラミネート
し、穴開け加工の際に一緒に穴開けすることにより、形
成することができる。特に、導電性ペーストは、重ね合
わされる他の回路基板の内層となる導体回路との接続性
が良好なバイアホールを実現する上で、穴16より突出す
る状態で充填することが有利である。また、充填した導
電性ペーストは、後の工程の作業性を高めるためにプレ
キュアしておくことが有利であり、保護マスクは積層前
に剥離される。 .次に、絶縁性硬質基板12aの前記導体回路13a形成
面に、図3(e) に示すように、接着剤層14aを形成して
片面回路基板17aを作製する。この接着剤層14aは、所
定の樹脂接着剤をロールコータやカーテンコータ、スプ
レーコータ、スクリーン印刷などの手段で塗布してプレ
キュアする。このときの接着剤層の厚さとしては、導体
回路上で1〜15μmの範囲が有利である。
Next, a method of manufacturing the multilayer printed wiring board according to the embodiment of the present invention shown in FIG. 2 will be described. (1) First, the single-sided circuit board 7a (17a) of the present invention which constitutes the multilayer printed wiring board 1 of FIG. 2 is manufactured. This will be specifically described below with reference to FIG. . An insulating hard substrate 12a having a metal foil 13 as shown in FIG. It is advantageous to use, for example, a single-sided copper clad laminate as the insulating hard substrate 12a having the metal foil 13 attached to one side. . Next, the metal foil 13 is etched and processed into a predetermined pattern shape as shown in FIG. As a result, the conductor circuit 13a is formed. As the etching method, known general means can be adopted. This conductor circuit 13a is arranged as an inner layer wiring pattern, but in order to improve the adhesion between layers, the surface of the conductor circuit is applied with, for example, micro etching, roughening plating, or double-sided roughened copper foil. It is advantageous to roughen the surface using a known means such as. . Next, as shown in FIG. 3 (c), the insulating hard substrate 12a
To form a hole 16 that penetrates in the thickness direction of the
Desmearing is performed for the purpose of cleaning the conductor circuit surface 18 at the bottom of the. The hole 16 is preferably formed by irradiating a laser from the side opposite to the conductor forming surface of the insulating hard substrate 12a. As the drilling machine for irradiating the laser, for example, a pulse oscillation type carbon dioxide gas laser processing machine can be used. By using such a carbon dioxide laser processing machine, it is possible to form a hole having a minute diameter of 60 to 200 μmφ with high accuracy. As a result, the via holes can be formed with high density, and a small-sized and high-density multilayer printed wiring board can be manufactured. According to such a drilling method of irradiating a laser, it is possible to drill the portion of the insulating hard substrate 12a without damaging the conductor circuit 13a.
Is open only on the side where the conductor circuit 13a is not formed, and the other end is closed by the conductor circuit. As a result, the via hole and the conductor circuit 13a can be electrically and reliably connected. The desmear treatment is performed, for example, with the purpose of completely connecting the conductor circuit and the conductive paste by completely removing the resin residue remaining on the conductor circuit 18 at the bottom of the hole 16. It is carried out by immersing in a potassium manganate solution, a mixed solution of chromic acid and sulfuric acid, or the like. . Next, in order to break through the adhesive layer coated on the conductor circuit portion of the other substrate to make surface contact, the holes 16 are electrically conductive while protruding from the substrate surface as shown in FIG. 3 (d). Fill with the conductive paste 5. As a method of filling the conductive paste 5, for example, a screen printing method using a metal mask can be adopted. At the time of filling, it is advantageous to form a protective mask around the hole 16 in order to form the via hole with high accuracy. The protective mask can be formed by laminating a film or paper on the insulating hard substrate 12a and punching them together during the punching process. In particular, it is advantageous to fill the conductive paste in a state of protruding from the hole 16 in order to realize a via hole having good connectivity with a conductor circuit which is an inner layer of another circuit board to be overlaid. Further, it is advantageous to pre-cure the filled conductive paste in order to enhance workability in the subsequent steps, and the protective mask is peeled off before stacking. . Next, as shown in FIG. 3 (e), an adhesive layer 14a is formed on the surface of the insulating hard substrate 12a on which the conductor circuit 13a is formed to produce a single-sided circuit board 17a. The adhesive layer 14a is pre-cured by applying a predetermined resin adhesive by means of a roll coater, curtain coater, spray coater, screen printing or the like. The thickness of the adhesive layer at this time is advantageously in the range of 1 to 15 μm on the conductor circuit.

【0040】(2)同様の工程で、絶縁性硬質基板12bに
対し、この基板の一方の面に導体回路13bおよび接着剤
層14bをそれぞれ形成してなり、かつ前記絶縁性硬質基
板を貫通して導体に接する穴16を設けて導電性ペースト
5を充填したバイアホールを形成した、図4に示すよう
な片面回路基板17bを作製する。
(2) In the same process, a conductive circuit 13b and an adhesive layer 14b are formed on one surface of the insulating hard substrate 12b, and the insulating hard substrate is penetrated. A single-sided circuit board 17b as shown in FIG. 4 in which a via hole filled with the conductive paste 5 is formed by providing a hole 16 in contact with the conductor is manufactured.

【0041】(3)また同様に、絶縁性硬質基板12c,12
dに対し、この基板の一方の面に導体回路13c,13dを
形成してなり、かつ前記絶縁性硬質基板を貫通して該導
体に接する穴16を設けて導電性ペースト5を充填したバ
イアホールを形成した、図4に示すような片面回路基板1
7c,17dを作製する。
(3) Similarly, insulative hard substrates 12c, 12
For d, a via hole formed by forming conductor circuits 13c and 13d on one surface of this substrate and having a hole 16 penetrating the insulating hard substrate and contacting the conductor and filled with a conductive paste 5 A single-sided circuit board 1 formed as shown in FIG.
7c and 17d are manufactured.

【0042】(4)さらに、絶縁性硬質基板12eにレーザ
加工やドリル加工などによって貫通孔をあけ、導電性ペ
ースト5を充填した後に、両面に導体回路13eを形成
し、接着剤層14eを形成してコア基板8を作製する。
(4) Further, through holes are formed in the insulating hard substrate 12e by laser processing or drilling, the conductive paste 5 is filled, and then the conductor circuits 13e are formed on both surfaces to form the adhesive layer 14e. Then, the core substrate 8 is manufactured.

【0043】(5)次に、前記の片面回路基板17a,17
b,17c,17dおよびコア基板8を所定の順に、片面回
路基板およびコア基板の周囲に設けられたガイドホール
とガイドピンを用いて位置合わせしながら重ね合わせ
る。
(5) Next, the single-sided circuit boards 17a, 17 described above
b, 17c, 17d and the core board 8 are superposed in a predetermined order while aligning using guide holes and guide pins provided around the single-sided circuit board and the core board.

【0044】(6)このようにして各片面回路基板をコア
基板に重ね合わせた後、熱プレスを用いて 140℃〜200
℃の温度範囲で加熱、加圧することにより、各片面回路
基板とコア基板は一度のプレス成形にて多層状に一体化
される。なお、熱プレスとしては、真空熱プレスを使用
することが有利である。この工程では、接着剤層14a、
14b、14eを介して重ね合わされた各片面回路基板17
a、17b、17c、17dおよびコア基板8は、接着剤層14
a、14b、14eが密着して熱硬化することにより、多層
状に一体化される。同時に、導電性ペースト5もそれぞ
れ対応する導体回路に密着して熱硬化することにより、
バイアホールを形成し、多層プリント配線板1が得られ
る。
(6) After laminating each single-sided circuit board on the core board in this manner, use a heat press to heat the temperature from 140 ° C to 200 ° C.
By heating and pressurizing in the temperature range of ° C, each single-sided circuit board and the core board are integrated into a multilayer by a single press molding. In addition, it is advantageous to use a vacuum hot press as the hot press. In this step, the adhesive layer 14a,
Each single-sided circuit board 17 stacked via 14b and 14e
a, 17b, 17c, 17d and the core substrate 8 are the adhesive layer 14
When a, 14b, and 14e are in close contact with each other and heat-cured, the layers are integrated. At the same time, the conductive paste 5 is also closely adhered to the corresponding conductor circuits and thermally cured,
A via hole is formed and the multilayer printed wiring board 1 is obtained.

【0045】〔他の実施例〕 (1) 前記実施例では、4層の片面回路基板がコア基板に
重ね合わされた多層プリント配線板について説明した
が、3層あるいは5層以上の高多層の場合も同様に本発
明を実施できるし、従来の方法で作成された片面プリン
ト基板、両面プリント基板、両面スルーホールプリント
基板あるいは多層プリント基板に本発明の片面回路基板
を積層して多層プリント配線板を製造することができ
る。 (2) 前記実施例では、バイアホールを形成するための穴
開け加工をレーザを照射する手段で行ったが、ドリル加
工やパンチング加工等の機械的手段を適用することもで
きる。 (3) 本発明の多層プリント配線板においては、表面配線
パターンはチップ電子部品を実装するためのパッド形状
のみに形成することもできる。
[Other Embodiments] (1) In the above embodiments, a multilayer printed wiring board in which a four-layer single-sided circuit board is superposed on a core board has been described. The present invention can be similarly applied to a single-sided printed circuit board, a double-sided printed circuit board, a double-sided through-hole printed circuit board or a multi-layer printed circuit board prepared by a conventional method, and the single-sided circuit board of the present invention is laminated to form a multilayer printed wiring board. It can be manufactured. (2) In the above embodiment, the drilling process for forming the via hole was performed by means of laser irradiation, but mechanical means such as drilling or punching can also be applied. (3) In the multilayer printed wiring board of the present invention, the surface wiring pattern can be formed only in the shape of a pad for mounting a chip electronic component.

【0046】[0046]

【発明の効果】以上説明したように、本発明に係る多層
プリント配線板用片面回路基板によれば、デスミア処理
による不具合を招くことなく、一度のプレス成形にて多
層状に一体化させることにより、IVH構造を有する高
密度の多層プリント配線板を高い歩留りで効率的に製造
することができる。また、本発明に係る多層プリント配
線板の製造方法によれば、不良のない片面回路基板のみ
が、その基板が具える接着剤層によって接合されるの
で、従来技術のような繰り返し工程の多い複雑な製法を
採ることなく、高い歩留りで効率的にIVH構造を有す
る高密度の多層プリント配線板を製造することができ
る。さらに、本発明の多層プリント配線板は、上記片面
回路基板が接着剤層によって接合されている構造である
ので、IVH構造を有する高密度の多層プリント配線板
として、従来技術のような繰り返し工程の多い複雑な製
法によらずに容易に提供され得る。
As described above, according to the single-sided circuit board for a multilayer printed wiring board according to the present invention, it is possible to integrate the layers in a single press molding without causing a problem due to the desmear treatment. , A high density multilayer printed wiring board having an IVH structure can be efficiently manufactured with a high yield. Further, according to the method for manufacturing a multilayer printed wiring board according to the present invention, since only a single-sided circuit board having no defect is bonded by the adhesive layer included in the board, there are many repeating steps as in the prior art, which is complicated. It is possible to efficiently manufacture a high-density multilayer printed wiring board having an IVH structure with a high yield, without employing any manufacturing method. Further, since the multilayer printed wiring board of the present invention has a structure in which the above-mentioned single-sided circuit boards are joined by an adhesive layer, it can be used as a high-density multilayer printed wiring board having an IVH structure by repeating the steps as in the prior art. It can be easily provided without many complicated manufacturing methods.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】従来技術に係る多層プリント配線板の一製造工
程を示す縦断面図である。
FIG. 1 is a vertical cross-sectional view showing one manufacturing process of a multilayer printed wiring board according to a conventional technique.

【図2】本発明に係る多層プリント配線板の一実施例を
示す縦断面図である。
FIG. 2 is a vertical cross-sectional view showing an example of the multilayer printed wiring board according to the present invention.

【図3】前記多層プリント配線板を製造するために用い
られる片面回路基板の製造工程の一例を示す縦断面図で
ある。
FIG. 3 is a vertical cross-sectional view showing an example of a manufacturing process of a single-sided circuit board used for manufacturing the multilayer printed wiring board.

【図4】前記多層プリント配線板を製造する際の片面回
路基板の組合せ工程の一例を示す縦断面図である。
FIG. 4 is a vertical cross-sectional view showing an example of a step of combining single-sided circuit boards when manufacturing the multilayer printed wiring board.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1 多層プリント配線板 2a,2b,2c,2d,2e 絶縁性硬質基板 3a,3b,3c,3d,3e 導体回路 4a,4b,4e 接着剤層 5 導電性ペースト 6a,6b,6c,6d,6e バイアホール 7a,7b,7c,7d 片面回路基板 8 コア基板 9 チップ部品 10 はんだ 12a, 12b, 12c, 12d, 12e 絶縁性硬質基板 13 金属箔 13a, 13b,13c, 13d, 13e 導体回路 14a, 14b, 14e 接着剤層 16 穴 17a, 17b, 17c, 17d 片面回路基板 穴の底の導体回路面 1 Multilayer printed wiring board 2a, 2b, 2c, 2d, 2e Insulating hard substrate 3a, 3b, 3c, 3d, 3e conductor circuit 4a, 4b, 4e adhesive layer 5 Conductive paste 6a, 6b, 6c, 6d, 6e via holes 7a, 7b, 7c, 7d Single-sided circuit board 8 core substrate 9 Chip parts 10 Solder 12a, 12b, 12c, 12d, 12e Insulating hard substrate 13 metal foil 13a, 13b, 13c, 13d, 13e Conductor circuit 14a, 14b, 14e Adhesive layer 16 holes 17a, 17b, 17c, 17d Single sided circuit board Conductor circuit surface at the bottom of the hole

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.7,DB名) H05K 1/11 H05K 3/40 H05K 3/46 ─────────────────────────────────────────────────── ─── Continuation of the front page (58) Fields surveyed (Int.Cl. 7 , DB name) H05K 1/11 H05K 3/40 H05K 3/46

Claims (5)

(57)【特許請求の範囲】(57) [Claims] 【請求項1】 ガラス布エポキシ樹脂、ガラス不織布エ
ポキシ樹脂、ガラス布ビスマレイミドトリアジン樹脂、
アラミド不織布エポキシ樹脂のいずれかを板状に硬化さ
せてなる絶縁性硬質基板に対し、この基板の一方の面に
導体回路と接着剤層をそれぞれ有すると共に、この基板
の他方の面には、前記基板を貫通して導体回路に接し、
かつ一端が閉塞された穴がレーザ照射により設けられ、
かかる穴底に生じた樹脂残渣がデスミア処理されてなる
穴内に導電性ペーストを該基板面と平滑にまたは該基板
面から突出する状態で充填されたバイアホールを有する
ことを特徴とする多層プリント配線板用片面回路基板。
1. A glass cloth epoxy resin, a glass nonwoven cloth epoxy resin, a glass cloth bismaleimide triazine resin,
To insulating hard substrate comprising one of an aramid nonwoven fabric epoxy resin is cured in a plate shape, with each having a conductor circuit adhesive layer on one surface of the substrate, the other surface of the substrate, the Penetrate the board and contact the conductor circuit,
And a hole with one end closed by laser irradiation,
The resin residue generated on the bottom of the hole is desmeared , and the hole has a via hole filled with a conductive paste in a state of being smooth with the substrate surface or protruding from the substrate surface. Single-sided circuit board for multilayer printed wiring boards.
【請求項2】 上記導体回路は、絶縁性硬質基材の一方
の面に銅箔が貼付されてなる銅張積層板の銅箔をエッチ
ングして形成されたものである請求項1記載の多層プリ
ント配線板用片面回路基板。
2. The multi-layer according to claim 1, wherein the conductor circuit is formed by etching a copper foil of a copper-clad laminate having a copper foil attached to one surface of an insulating hard base material. Single-sided circuit board for printed wiring boards.
【請求項3】 上記接着剤層は、導体回路部分を含む絶
縁性硬質基板の表面に接着剤を被覆形成した層からなる
請求項1記載の多層プリント配線板用片面回路基板。
3. The single-sided circuit board for a multilayer printed wiring board according to claim 1, wherein the adhesive layer comprises a layer in which an adhesive is coated on the surface of an insulating hard substrate including a conductor circuit portion.
【請求項4】 回路基板の積層材がインタースティシャ
ルバイアホールを介してそれぞれ電気的に接続されてな
る構造の多層プリント配線板において、コア基板を除く
内層回路基板のうちの少なくとも1つが、上記請求項1
または2に記載の片面回路基板で構成されていることを
特徴とする多層プリント配線板。
4. In a multilayer printed wiring board having a structure in which laminated materials of a circuit board are electrically connected to each other through interstitial via holes, at least one of inner layer circuit boards excluding a core board is Claim 1
Alternatively, a multilayer printed wiring board comprising the single-sided circuit board described in 2.
【請求項5】 .ガラス布エポキシ樹脂、ガラス不織
布エポキシ樹脂、ガラス布ビスマレイミドトリアジン樹
脂、アラミド不織布エポキシ樹脂のいずれかを、板状に
硬化させてなる絶縁性硬質基板の一方の面に貼着された
金属箔をエッチングすることにより導体回路を形成する
工程、 .上記絶縁性硬質基板の他方の面には、前記基板を貫
通して導体回路に接し、かつ一端が閉塞された穴をレー
ザ照射により形成しその穴底の導体回路表面にデスミ
ア処理を施した後、この穴に導電性ペーストを該基板面
と平滑にまたは該基板面から突出する状態で充填してな
るバイアホールを形成する工程、 .上記絶縁性硬質基板の導体回路形成面に接着剤層を
設けて片面回路基板を作製する工程、 .上記片面回路基板を、コア基板に対して1枚以上重
ね合わせるか他の回路基板と共に重ね合わせ、次いで当
該片面回路基板が備える上記接着剤層を利用することに
よって、一度のプレス成形にて多層状に一体化させる工
程、 を経ることを特徴とする多層プリント配線板の製造方
法。
5. Etching a metal foil attached to one surface of an insulating hard substrate made by curing any of glass cloth epoxy resin, glass non-woven epoxy resin, glass cloth bismaleimide triazine resin, and aramid non-woven epoxy resin A step of forming a conductor circuit by: On the other surface of the insulating hard substrate, penetrate the substrate.
Through the conductor circuit and one end closed.
Formed by The irradiation was subjected to external corner <br/> A process conductor circuit surface of the hole bottom, filled in a state of projecting a conductive paste into the hole from the substrate surface and the smooth or substrate surface Tena
Forming a via hole, A step of forming a single-sided circuit board by providing an adhesive layer on the conductor circuit forming surface of the insulating hard board, By stacking one or more single-sided circuit boards on the core board or by stacking them together with another circuit board, and then using the adhesive layer provided on the single-sided circuit board, a single press molding can be performed to form a multi-layered structure. A method for manufacturing a multilayer printed wiring board, comprising the steps of:
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