JP3491968B2 - ポリイミドシロキサン溶液及び基体被覆方法 - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、置換ピロリドンを溶媒
とする実質的に、完全にイミド化されたポリイミドシロ
キサン溶液及び基体被覆方法に関する。特に、溶液使用
時に、白色薄膜を生じない、Ｎ−シクロヘキシルピロリ
ドン（ＣＨＰ）を含む溶媒のポリイミドシロキサン溶液
に関する。

【０００２】

【従来の技術】ポリマーコーティングは、ポリマーを溶
媒に溶解し、その溶液を基体上に塗布し、溶媒を飛ばす
ことにより行われるが、溶媒中のポリマーを塗布して溶
媒を飛ばす時に、好ましくない白色薄膜を生じる。コー
ティングのこの白色化は、溶液の流動特性に影響を与
え、基体の均一被膜化を妨げる原因となる。例えば、ポ
リアミック酸又はポリイミドのＮ−メチルピロリドン
（ＮＭＰ）溶液にはこの問題が発生する。この問題は、
特定のポリアミック酸又はポリイミドに対しては、ＮＭ
Ｐと種々の共溶媒、例えばシクロヘキサン（ＥＰ出願
３６４７９１Ａ２）、テトラメチルベンゼン（ＥＰ出願
３６３７３７Ａ２）及び酢酸ブチルセロソルブ（特願
昭５８−７６６８９）とを混合する事によって解決され
ている。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】この問題に対するこれ
らの溶液は、被覆されている特定のポリイミドに対して
は適しているが、ポリイミドシロキサンには不適当であ
る。ポリイミドシロキサンはポリアミック酸より溶けに
くく、それらの混合溶媒にも溶解しない。又、白色化も
生起し、それら特定の溶媒を使用しないその他の理由が
有るのかも知れない。今までの所、被膜形成時に白色化
を起こさないポリイミドシロキサン用溶剤は見付かって
いない。

【０００４】

【課題を解決するための手段】本発明者等は、ポリイミ
ドシロキサンを或る特定のピロリドン誘導体に溶解する
と、その溶液から形成される被膜が白色化を起こさない
事実を発見した。本発明の溶媒は、殆どの基体に対し損
傷を与えることなく十分低い温度で蒸発出来る。又、実
質的に、完全にイミド化されたポリイミドシロキサンは
殆どの溶媒に不溶であるが、本発明の溶媒には可溶であ
る。本発明の溶媒の特徴は、他の溶媒には溶けないポリ
イミドシロキサンを大量に溶かすことである。又、本発
明者等は、或る溶媒のポリイミドシロキサン溶液は長期
間保存すると、ポリイミドシロキサンがゲル化又は沈殿
する事を知ったが、本発明の溶媒を用いる時は、この問
題は生起しない。

【０００５】ＮＭＰ中の殆どのポリイミドシロキサン溶
液は被膜を形成するが、この溶液は１０〜２０分間湿潤
状態に置かれただけで白色化するが、ＣＨＰ中のポリイ
ミドシロキサン溶液の被膜は、この溶液を２４時間以上
湿潤状態に置いても白色化しない。殆どのポリイミドシ
ロキサンは本発明の溶液形成に使用出来る。ポリイミド
シロキサンは、二無水物とジアミンとの反応で造る事が
できる。二無水物又はジアミンの何れか一方（又は両
方）は、シロキサン基を含む。即ち、二無水物、シロキ
サン非含有ジアミン及びシロキサン含有ジアミン、又は
二無水物、シロキサン非含有ジアミン及びシロキサン含
有二無水物を使用する。シロキサン含有ジアミンの使用
は、それらが最も利用し易く且つ良好な性質を有する点
で好ましい。

【０００６】シロキサン含有化合物は、芳香族又は非芳
香族の何れであってもよいが、その利用し易さから、非
芳香族化合物が好ましい。使用出来るシロキサンジアミ
ンの例としては、次式を有する化合物が含まれる。

【０００７】

【化４】 使用出来るシロキサン二無水物の例としては、次式を有
する化合物が含まれる。

【０００８】

【化５】 （式中、Ｒ₁ 、Ｒ₂ 及びＲ₃ は、それぞれ１価、２価及
び３価の基であり、それぞれ独立に、置換又は非置換の
Ｃ₁ 〜Ｃ₁₂の脂肪族基又は置換又は非置換のＣ₆〜Ｃ₁₀
の芳香族基から選ばれ、ｍは１〜２００、好ましくは１
〜１２である。）ここで、シロキサンジアミンは記号
“Ｇ_m " で表される。１価の基の例としては、−Ｃ
Ｈ₃ 、−ＣＦ₃ 、−ＣＨ＝ＣＨ₂ 、−（ＣＨ₂ ）_n ＣＦ
₃ 、−Ｃ₆ Ｈ₅ 、−ＣＦ₂ −ＣＨＦ−ＣＦ₃ 及び、

【０００９】

【化６】 が挙げられる。２価の基の例としては、−（ＣＨ₂ ）_n
−、−ＣＦ₂ −及び −Ｃ₆ Ｈ₄ −（式中、ｎは１〜１
０である）が挙げられる。３価の基の例としては、＝Ｃ
Ｈ−ＣＨ₂ −、

【００１０】

【化７】 が挙げられる。適当な二無水物の例としては、１，２，
５，６−ナフタレンテトラカルボン酸二無水物、１，
４，５，８−ナフタレンテトラカルボン酸二無水物、
２，３，６，７−ナフタレンテトラカルボン酸二無水
物、２−（３′，４′−ジカルボキシフェニル）５，６
−ジカルボキシベンツイミダゾール二無水物、２−
（３′，４′−ジカルボキシフェニル）５，６−ジカル
ボキシベンツオキサゾール二無水物、２−（３′，４′
−ジカルボキシフェニル）５，６−ジカルボキシベンゾ
チアゾール二無水物、２，２′，３，３′−ベンゾフェ
ノンテトラカルボン酸二無水物、２，３，３′，４′−
ベンゾフェノンテトラカルボン酸二無水物、３，３′，
４，４′−ベンゾフェノンテトラカルボン酸二無水物
（ＢＴＤＡ）、２，２′，３，３′−ビフェニルテトラ
カルボン酸二無水物、２，３，３′，４′−ビフェニル
テトラカルボン酸二無水物、３，３′，４，４′−ビフ
ェニルテトラカルボン酸二無水物（ＢＰＤＡ）、ビシク
ロ−[ ２，２，２] −オクテン−（７）−２，３，５，
６−テトラカルボン酸−２，３，５，６−二無水物、チ
オ−ジフタール酸無水物、ビス（３，４−ジカルボキシ
フェニル）スルホン二無水物、ビス（３，４−ジカルボ
キシフェニル）スルホキシド二無水物、ビス（３，４−
ジカルボキシフェニル）オキサジアゾール−１，３，４
−パラフェニレン二無水物、ビス（３，４−ジカルボキ
シフェニル）２，５−オキサジアゾール−１，３，４−
二無水物、ビス−２，５−（３′，４′−ジカルボキシ
ジフェニルエーテル）−１，３，４−オキサジアゾール
二無水物、ビス（３，４−ジカルボキシフェニル）エー
テル二無水物又はオキシジフタール酸無水物（ＯＤＰ
Ａ）、ビス（３，４−ジカルボキシフェニル）チオエー
テル二無水物、ビスフェノールＡ二無水物、ビスフェノ
ールＳ二無水物、２，２−ビス（３，４−ジカルボキシ
フェニル）ヘキサフルオロプロパン二無水物又は５，５
−[ ２，２，２−トリフルオロ−１−（トリフルオロメ
チル）エチリデン] ビス−１，３−イソベンゾフランジ
オン）（６ＦＤＡ）、ハイドロキノンビスエーテル二無
水物、ビス（３，４−ジカルボキシフェニル）メタン二
無水物、シクロペンタジエニルテトラカルボン酸二無水
物、シクロペンタンテトラカルボン酸二無水物、エチレ
ンテトラカルボン酸二無水物、プロピレン−３，４，
９，１０−テトラカルボン酸二無水物、ピロメリット酸
二無水物（ＰＭＤＡ）、テトラヒドロフランテトラカル
ボン酸二無水物及びレゾルシノール二無水物が挙げられ
る。

【００１１】無水物は、テトラ酸の形又はテトラ酸のモ
ノ−、ジ−、トリ−又はテトラエステルの形で使用出来
るが、反応性の点からみて二無水物の形が好ましい。好
ましい二無水物は、ＯＤＰＡ、ＢＰＤＡ、ＢＴＤＡ、６
ＦＤＡ及びＰＭＤＡ又はそれらの混合物で、これらは利
用し易く且つ優れた性質を与える事がわかっている。最
も好ましい二無水物は、ＯＤＰＡであり、良好な接着性
並びに柔軟性を有する。非シロキサン含有ジアミンは、
最良の性質を与える様な芳香族ジアミンでなければなら
ない。適当な芳香族ジアミンの例としては、ｍ−及びｐ
−フェニレンジアミン、２，４−ジアミノトルエン（Ｔ
ＤＡ）、２，５−及び２，６−ジアミノトルエン、ｍ−
及びｐ−キシレンジアミン、４，４′−ジアミノビフェ
ニル、４，４′−ジアミノジフェニルエーテル又は４，
４′−オキシジアニリン（ＯＤＡ）、３，４′−オキシ
ジアニリン、４，４′−ジアミノベンゾフェノン、３，
３′，３，４′又は４，４′−ジアミノフェニルスルフ
ォン又はｍ，ｍ−、ｍ，ｐ−又はｐ，ｐ−スルフォンジ
アニリン、４，４′−ジアミノジフェニルスルフィド、
３，３′又は４，４′−ジアミノジフェニルメタン又は
ｍ，ｍ−又はｐ，ｐ−メチレンジアニリン、３，３′−
ジメチルベンジジン、４，４′−イソプロピリデンジア
ニリン、１，４−ビス（ｐ−アミノフェノキシ）ベンゼ
ン、４，４′−ビス（４−アミノフェノキシ）ビフェニ
ール、１，３−ビス（４−アミノフェノキシ）ベンゼ
ン、１，３−ビス（３−アミノフェノキシ）ベンゼン
（ＡＰＢ）、２，４−ジアミノ−５−クロロトルエン、
２，４−ジアミノ−６−クロロトルエン、２，２−ビス
（４[ ４−アミノフェノキシ] フェニル）プロパン（Ｂ
ＡＰＰ）、トリフルオロメチル−２，４−ジアミノベン
ゼン、トリフルオロメチル−３，５−ジアミノベンゼ
ン、２，２′−ビス（４−アミノフェニル）ヘキサフル
オロプロパン、２，２′−ビス（４−フェノキシアニリ
ン）イソプロピリデン、２，４，６−トリメチル−１，
３−ジアミノベンゼン、４，４′−ジアミノ−２，２′
−トリフルオロメチルジフェニルオキシド、３，３′−
ジアミノ−５，５′−トリフルオロメチルジフェニルオ
キシド、４，４′−トリフルオロメチル−２，２′−ジ
アミノビフェニール、ジアミノアンスラキノン、４，
４′−オキシビス[ （２−トリフルオロメチル）ベンゼ
ンアミン] （１，２，４−ＯＢＡＢＴＦ）、４，４′−
オキシビス[ （３−トリフルオロメチル）ベンゼンアミ
ン] 、４，４′−チオビス[ （２−トリフルオロメチ
ル）ベンゼンアミン] 、４，４′−チオビス[ （３−ト
リフルオロメチル）ベンゼンアミン] 、４，４′−スル
フォキシルビス[ （２−トリフルオロメチル）ベンゼン
アミン] 、４，４′−スルフォキシルビス[ （３−トリ
フルオロメチル）ベンゼンアミン] 、４，４′−ケトビ
ス[ （２−トリフルオロメチル）ベンゼンアミン] 、
４，４′−[ （２，２，２−トリフルオロメチル−１−
（トリフルオロメチル）−エチリジン）ビス（３−トリ
フルオロメチル）ベンゼンアミン] 、４，４′−ジメチ
ルシリルビス[（３−トリフルオロメチル）ベンゼンア
ミン] が挙げられる。

【００１２】好ましい芳香族ジアミンは、ＴＤＡ、ＡＰ
Ｂ及びＢＡＰＰであり、これらは優れた性質を持つ。特
に好ましいポリイミドシロキサンは、ＮＭＰ中で、ＯＤ
ＰＡ、ＡＰＢ及びＧ₉ から造られるものである。ポリイ
ミドシロキサンは、約１〜約８０重量％のシロキサン含
有モノマーと、約２０〜約９９重量％のシロキサンを含
有しないモノマーから造る事が出来る。然しながら、本
発明は、約１〜約３０重量％のシロキサンモノマーを含
有するポリイミドシロキサンに特に適用出来、それらの
ポリイミドシロキサンは難溶性でそれ故、白色化問題解
決の為の方法が殆ど存在しない。一般に、ジアミンと二
無水物の化学量論量は、最も大きい分子量のポリイミド
シロキサンを得る為に使われるが、ジアミンと二無水物
との当量比は、１：２〜２：１の範囲とする事が出来
る。

【００１３】ポリイミドシロキサンは、溶液中で一般に
調製される。適当な溶媒は、造られるべきポリイミドシ
ロキサンの組成に依るが、Ｎ−メチルピロリドン（ＮＭ
Ｐ）が好ましく、ジエチレングリコールジメチルエーテ
ル、トリエチレングリコールジメチルエーテル、ジメチ
ルアセトアミド、シクロヘキサノン及びシクロペンタノ
ン又はそれらの混合物の様な環状ケトン類である。溶液
は、任意の固形分濃度とする事が出来るが、希釈溶液
は、溶媒をより多く除去しなければならないから、約１
０〜約３０重量％の固形分濃度が好ましく、高濃度溶液
では粘稠になりすぎる。ポリアミック酸形成の為の第１
反応は、室温で起り、イミド環閉鎖の為の第二反応は約
１５０〜約１８０℃の温度で起る。一般に、反応混合物
は、重合体をイミド化するために数時間還流される。本
発明で使われるポリイミドシロキサンは、実質的に、完
全にイミド化され、これは少なくとも９０％を意味し、
好ましくは、形成可能なイミド環の少なくとも９５％が
形成される事を意味する。実質的に、完全にイミド化さ
れたポリイミドシロキサンが望ましく、その結果イミド
環閉鎖の為に、ポリメリック酸で被覆された基体を加熱
する必要がなくなる。溶媒可溶の実質的に、完全にイミ
ド化された、熱可塑性、接着性ポリイミドシロキサンの
調製についての更に詳細な内容については米国特許第
４，９７３，６４５号を参照されたい。実質的且つ完全
にイミド化されたポリイミドシロキサンが形成された
ら、それを単離する。単離は、溶媒を蒸発して行う。然
しながら、単離は、水に溶液を加えてポリイミドシロキ
サンを沈殿させ、これを集めて水洗し、乾燥するのが好
ましい。本発明の溶液は、置換ピロリドン溶媒にポリイ
ミドシロキサンを溶解する事により造られる。その溶媒
は、次式の構造式を有する。

【００１４】

【化８】 （式中、Ｒは、Ｃ₃ 〜Ｃ₁₀の脂肪族基又は環状脂肪族基
であり、好ましくはＣ₃〜Ｃ₁₀のアルキル基又はシクロ
アルキル基である）。Ｒ基の具体例としては、プロピ
ル、イソプロピル、ブチル、イソブチル、アミル、ヘキ
シル、オクチル、ノニル、デシル、２−エチルヘキシル
及びシクロヘキシルが挙げられる。好ましくは、Ｒはシ
クロヘキシルで、ＣＨＰとしてすぐ利用出来るＮ−シク
ロヘキシルピロリドン（ＣＨＰ）を形成し、これは、実
質的且つ完全にイミド化されたポリイミドシロキサンを
最も良く溶解し、白色化しない被膜を造る。

【００１５】被膜溶液を作るのに使用する溶媒は、純粋
の置換ピロリドンが好ましいが、特定の性質を得ようと
する場合に、その性質の為に溶液に共溶媒を添加する事
は出来る。例えば、溶液を素早く蒸発させようとする場
合、溶液が被膜固化前に蒸発しない時には、共溶媒の添
加がその蒸発速度を増す事が出来る。共溶媒はポリイミ
ドシロキサンを溶解する必要はないが、溶媒と共溶媒の
混合物はポリイミドシロキサンを溶解しなければならな
い。共溶媒は、約５０〜約２１０℃の沸点のもので、一
般に有機体で、置換ピロリドン溶媒より低い沸点を持
つ。適当な共溶媒の例としては、ＮＭＰ、ジエチレング
リコールジメチルエーテル、トリエチレングリコールジ
メチルエーテル、キシレン、メシチレン及びシクロヘキ
サノン及びシクロペンタノンの様な環状ケトン類が挙げ
られる。溶媒混合物の場合は、被膜の白色化防止の為に
は少なくとも５０重量％の置換ピロリドンが存在せねば
ならず、混合溶媒の少なくとも９０重量％が置換ピロリ
ドンであることが好ましい。一般に、溶液の性質に影響
を与えるには、少なくとも約１重量％の共溶媒が必要と
される。

【００１６】溶液は、又必要に応じて、チキソトロー
プ、消泡剤及び安定剤といった成分を含む事が出来る。
溶液の固体含有量は、約５〜約５０重量％であるべき
で、固体含有量が５重量％より少ないと薄い被膜形成が
困難となり、５０重量％より多くなると粘稠になりすぎ
て取扱にくくなる。好ましくは、溶液の固体含有量は、
約１５〜約３０重量％である。溶液は、どんな基体上に
でも被膜形成出来る。好ましくは、溶液はダイコーティ
ングに使用される。ダイコーティングにあっては、被膜
はコンピュータチップ上に形成されて、チップを湿気、
汚れ、機械的損傷及びアルファー粒子から保護し、又チ
ップと封入剤との間の緩衝材として作用する。被膜は、
又金属リードフレーム、金属、セラミック及び接着テー
プを作る為のポリイミドフィルムの様なプラスチック上
に形成出来る。被膜形成には、流動分配法、スピンコー
ティング、浸漬及びスプレーといった公知のどんな方法
も利用出来る。被膜の厚みは、溶液の固体含有量と使用
される被膜方法で決まる。一般に、被膜は約３〜約２０
０μの厚さを有する。溶液を基体上に施工したら、溶液
を、一般には２２０〜約２６０℃の温度まで加熱し、溶
媒を蒸発させて被膜を形成する。

【００１７】以下に、本発明を、実施例を以て更に詳述
する。

【実施例１】攪拌器、温度計、Ｄｅａｎ−Ｓｔａｒｋト
ラップ及び上部に窒素導入口のある凝縮器付きの乾燥し
た１２リットル、三つ首フラスコに、５リットルの乾燥
ＮＭＰと７５０ｍｌのトルエンを入れた。このフラスコ
に、攪拌しながら、３４６．９ｇ（１．１８モル）のＢ
ＤＰＡを添加し、次に９１０．６ｇ（０．８２２モルの
シロキサンジアミン、平均分子量＝１１０８）のＧ₁₂を
添加した。反応混合物を４時間攪拌し、４２．５ｇ
（０．３４８モル）のＴＤＡを添加した。反応混合物
は、一昼夜攪拌され、翌日、２５０ｍｌのＮＭＰと１８
ｇの２，２，２−ジアゾビシクロオクタン（ＤＡＢＣ
Ｏ）触媒が添加された。反応混合物は、還流まで加熱さ
れ、水が除去された。還流は、フラスコ温度を約１５５
℃〜約１７２℃に徐々に上げていきながら、４時間維持
された。約１２０ｃｃの水溶液相が、この間に除去され
た。この後、溶媒の３５〜４０％を真空で除去した。反
応混合物を約８０℃まで冷却し、水中に沈殿させた。混
合物を濾過、水洗し、脱イオン水で再度スラリー化し、
再濾過した。次いで、沈殿物を、１０５℃で３日間乾燥
した。

【００１８】

【実施例２〜４】異なるモノマーを使用して実施例１を
繰り返した。次表にそれらポリイミドシロキサンの調製
内容を纏めて表示する。 実施例 二無水物 ジアミン シロキサンジアミン １ 346.9g BPDA 42.5g TDA 911g G₁₂ (Mw=1108) ２ 438.5g ODPA 402.8g BAPP 360g G₉ (Mw=841) ３ 83.76g ODPA 36.6g TDA 36g G₉ (Mw=841) +39.8g 6FDA ４ 1933g BTDA 610.7g TDA 845g G₉ (Mw=841)

【００１９】

【実施例５】実施例１〜４で調製したポリイミドシロキ
サンのそれぞれについて、Ｎ−メチルピロリドン（ＮＭ
Ｐ）、Ｎ−シクロヘキシルピロリドン（ＣＨＰ）及び
（ＣＨＰ）／（ＮＭＰ）の８０／２０の混合物を溶媒と
して、それぞれの８．５ｇにポリマー１．５ｇを添加
し、３種類の溶液を調製した。このポリマー／溶媒混合
物を機械攪拌装置上に一昼夜置き、全部のポリマーを溶
解後、透明な溶液を得た。それぞれの溶液の液滴をガラ
ス板上に滴下した。室温は−６．１１℃（２１°Ｆ）
で、相対湿度５８％であった。光学的外観を、ポリマー
滴下後、１５分、１時間、３時間及び１９時間後にチェ
ックした。結果を次表に示す。溶媒 ＮＭＰ NMP/CHP 80/20 ＣＨＰ ポリマー １ ２ ３ ４ １ ２ ３ ４ １ ２ ３ ４ １５分 ｗ ｗ ｗ ｗ ｃ ｃ ｃ ｃ ｃ ｃ ｃ ｃ １時間 ｗ ｗ ｗ ｗ ｃ ｃ ｗ ｗ ｃ ｃ ｃ ｃ ３時間 ｗ ｗ ｗ ｗ ｃ ｃ ｗ ｗ ｃ ｃ ｃ ｃ １９時間 ｗ ｗ ｗ ｗ ｃ ｃ ｗ ｗ ｃ ｃ ｃ ｃ 注） ｃは透明、ｗは白色を表す。

【００２０】

【実施例６】（比較例）実施例４のポリマーの１５重量
％溶液を、Ｎ−エチルピロリドン中で調製した。この溶
液は１５分で白色化した。

【実施例７】実施例４のポリマーの１５重量％溶液を、
Ｎ−オクチルピロリドン中で調製した。この溶液は、１
５分、１時間、３時間及び１９時間後も透明であった。

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 ジョン エイ ティーレル アメリカ合衆国 ニューヨーク州 14221 ウィリアムスヴィル イースト パイン レーン 83 (56)参考文献 特開 昭62−227953（ＪＰ，Ａ) 特開 昭63−215724（ＪＰ，Ａ) 特開 平１−121325（ＪＰ，Ａ) 特開 平９−132643（ＪＰ，Ａ) 特開 平11−255900（ＪＰ，Ａ) (58)調査した分野(Int.Cl.⁷，ＤＢ名) C08L 79/00 - 79/08 C08K 3/00 - 13/08 C08G 73/00 - 73/26 C09D 179/00 - 179/08 ＣＡＰＬＵＳ（ＳＴＮ) ＲＥＧＩＳＴＲＹ（ＳＴＮ)

Claims (20)

(57)【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】次の成分を含む溶液。 （Ａ）少なくとも９０％がイミド化されたポリイミドシ
   ロキサン５〜５０重量％と、（Ｂ）少なくとも５０重量
   ％の次式の液体置換ピロリドンを含む溶媒。 【化１】 （式中、ＲはＣ₃〜Ｃ₁₀の脂肪族基又は環状脂肪族基で
   ある。）
2. 【請求項２】 Ｒが、Ｃ₃ 〜Ｃ₁₀のアルキル基又は環状
   アルキル基である請求項１記載の溶液。
3. 【請求項３】 該液体が、Ｎ−シクロヘキシルピロリド
   ンである請求項１記載の溶液。
4. 【請求項４】 該ポリイミドシロキサンが、シロキサン
   基を含まないジアミン、少なくとも１つのシロキサン基
   を含むジアミン及び二無水物から造られる請求項１記載
   の溶液。
5. 【請求項５】 該シロキサン基を含まないジアミンが、
   ２，４−ジアミノトルエン、１，３−ビス（３−アミノ
   フェノキシ）ベンゼン及び２，２−ビス（４−[ ４−ア
   ミノフェノキシ] フェニル）プロパンからなる群から選
   ばれる請求項４記載の溶液。
6. 【請求項６】 該二無水物が、オキシジフタール酸無水
   物，３，３′，４，４′−ビフェニルテトラカルボン酸
   二無水物、３，３′，４，４′−ベンゾフェノンテトラ
   カルボン酸二無水物，２，２−ビス（３，４−ジカルボ
   キシフェニル）ヘキサフルオロプロパン二無水物及びピ
   ロメリット酸二無水物からなる群から選ばれる請求項４
   記載の溶液。
7. 【請求項７】 シロキサン基を含む該ジアミンが、次の
   一般式を有する請求項４記載の溶液。 【化２】 （式中、Ｒ₁ 及びＲ₂ は、それぞれ１価及び２価の基で
   あり、置換又は非置換のＣ₁ 〜Ｃ₁₂の脂肪族基又は置換
   又は非置換のＣ₆ 〜Ｃ₁₀の芳香族基からそれぞれ別々に
   選ばれ、ｍは１から２００である）。
8. 【請求項８】 シロキサン基を含む該ジアミンが、ポリ
   イミドシロキサンの全重量の１〜３０重量％である、請
   求項４記載の溶液。
9. 【請求項９】 該ポリイミドシロキサンが、少なくとも
   ９５％イミド化されている、請求項１記載の溶液。
10. 【請求項１０】 該溶媒が、該液体置換ピロリドンを少
    なくとも９０重量％含む、請求項１記載の溶液。
11. 【請求項１１】 次の成分を含む溶液。 （Ａ）５〜５０重量％のポリイミドシロキサンで、少な
    くとも９０％がイミド化されており、芳香族二無水物
    と、シロキサン基を含まない芳香族ジアミンとシロキサ
    ン基を含む脂肪族ジアミンとの反応生成物を含み、該脂
    肪族ジアミンは該ポリイミドシロキサン重量の１〜３０
    重量％であるもの、及び （Ｂ）（１）少なくとも９０重量％の次式の液体置換ピ
    ロリドンを含む溶媒と 【化３】 （式中、ＲはＣ₃ 〜Ｃ₁₀のアルキル又は環状アルキル基
    である）、（２）５０〜２１０℃の沸点を持つ有機共溶
    媒。
12. 【請求項１２】 該溶媒が、９０〜９９重量％の該液体
    置換ピロリドンと１〜１０重量％の該有機共溶媒を含
    む、請求項11記載の溶液。
13. 【請求項１３】 該有機共溶媒が、Ｎ−メチルピロリド
    ンである、請求項12記載の溶液。
14. 【請求項１４】 該液体置換ピロリドンが、該溶媒の１
    ００重量％である、請求項11記載の溶液。
15. 【請求項１５】 該溶液が、１５〜３０重量％の固体を
    含む、請求項11記載の溶液。
16. 【請求項１６】 （Ａ）少なくとも９５％がイミド化さ
    れている５〜５０重量％のポリイミドシロキサンと、
    （Ｂ）５０〜９５重量％のＮ−シクロヘキシルピロリド
    ンから成る溶液。
17. 【請求項１７】 次の工程を含む、基体に被膜を形成す
    る方法。 （１）該基体上に請求項１記載の溶液を施工する工程、
    （２）該溶媒を蒸発させる工程。
18. 【請求項１８】 該基体が、コンピュータチップである
    請求項17記載の方法。
19. 【請求項１９】 該基体が、ポリイミドフィルムである
    請求項17記載の方法。
20. 【請求項２０】 請求項１記載の溶液で被覆した基体。