JP3486972B2 - 光ファイバ用母材の製造方法及び装置 - Google Patents
光ファイバ用母材の製造方法及び装置Info
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- C03B37/01—Manufacture of glass fibres or filaments
- C03B37/012—Manufacture of preforms for drawing fibres or filaments
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Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は高収率に光ファイバ用母
材を製造する方法及び装置に関する。
材を製造する方法及び装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来、出発ロッドの上に円筒状のバーナ
によって生成されたガラス微粒子を効率良く堆積する方
法として、バーナの軸を出発ロッドの軸に対して一定の
範囲に傾けて保持する方法がある（特開昭６１−１８６
２４０号公報）。
によって生成されたガラス微粒子を効率良く堆積する方
法として、バーナの軸を出発ロッドの軸に対して一定の
範囲に傾けて保持する方法がある（特開昭６１−１８６
２４０号公報）。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】上記のように生成され
たガラス微粒子が次々と堆積するのは、ガラス微粒子が
高温側から低温側へと向かっていく力を受けるというサ
ーモホレシス効果によるものである。ところで前述の方
法では、堆積中のガラス微粒子はサーモホレシス効果を
積極的に利用していないために、ガラス微粒子の堆積速
度を上げるのに限界があった。即ち、投入するガラス原
料を増加することによって、ある程度堆積速度あるいは
成長速度の向上はみられるものの、原料投入量に対して
実際に堆積する量の割合が減少し、効率が上がらなかっ
た。また、このガラス微粒子堆積体を高温に加熱して透
明化したときに、ガラス中に気泡の発生する場合があ
り、線引き工程において断線の原因となった。そこで本
発明は、かかる問題点を解決し、高収率で気泡の生じな
い光ファイバ用母材の製造方法及び装置を提供する。
たガラス微粒子が次々と堆積するのは、ガラス微粒子が
高温側から低温側へと向かっていく力を受けるというサ
ーモホレシス効果によるものである。ところで前述の方
法では、堆積中のガラス微粒子はサーモホレシス効果を
積極的に利用していないために、ガラス微粒子の堆積速
度を上げるのに限界があった。即ち、投入するガラス原
料を増加することによって、ある程度堆積速度あるいは
成長速度の向上はみられるものの、原料投入量に対して
実際に堆積する量の割合が減少し、効率が上がらなかっ
た。また、このガラス微粒子堆積体を高温に加熱して透
明化したときに、ガラス中に気泡の発生する場合があ
り、線引き工程において断線の原因となった。そこで本
発明は、かかる問題点を解決し、高収率で気泡の生じな
い光ファイバ用母材の製造方法及び装置を提供する。
【０００４】
【課題を解決するための手段】本発明に係わる光ファイ
バ用母材の製造方法は、容器内に垂直方向に把持され、
軸回りに回転する出発ロッドの上部から下部にむかって
ガラス微粒子堆積体を積層する光ファイバ用母材の製造
する方法であって、ガラス微粒子堆積体の表面温度の最
高値を示す位置より下方で、かつ、ガラス微粒子堆積体
の直径の５０％以上の径を有する範囲において、ガラス
微粒子堆積体の表面温度の最高値と最低値の差が６０℃
以上であるように制御することを特徴とする。
バ用母材の製造方法は、容器内に垂直方向に把持され、
軸回りに回転する出発ロッドの上部から下部にむかって
ガラス微粒子堆積体を積層する光ファイバ用母材の製造
する方法であって、ガラス微粒子堆積体の表面温度の最
高値を示す位置より下方で、かつ、ガラス微粒子堆積体
の直径の５０％以上の径を有する範囲において、ガラス
微粒子堆積体の表面温度の最高値と最低値の差が６０℃
以上であるように制御することを特徴とする。
【０００５】具体的には、容器内に余剰空気を導入して
ガラス微粒子堆積体の下部に吹き付け、該余剰空気の流
量を調整することを特徴とし、余剰空気はフィルタを通
過させて清浄な空気とすることが好ましい。
ガラス微粒子堆積体の下部に吹き付け、該余剰空気の流
量を調整することを特徴とし、余剰空気はフィルタを通
過させて清浄な空気とすることが好ましい。
【０００６】上記光ファイバ用母材の製造方法において
温度差を制御する手段としては、ガラス微粒子を生成す
るバーナは多重管構造をなし、少なくとも１つのガス流
出ポートを偏心して構成し、偏心したポートからは燃料
ガスが流出することを特徴とする。
温度差を制御する手段としては、ガラス微粒子を生成す
るバーナは多重管構造をなし、少なくとも１つのガス流
出ポートを偏心して構成し、偏心したポートからは燃料
ガスが流出することを特徴とする。
【０００７】上記光ファイバ用母材の製造方法において
温度差を制御する他の手段としては、ガラス微粒子を生
成するバーナは多重管構造をなし、少なくとも１つの管
に接続されるガス導入口が複数個設けられ、該複数のガ
ス導入口からは夫々燃料ガスを供給することを特徴とす
る。
温度差を制御する他の手段としては、ガラス微粒子を生
成するバーナは多重管構造をなし、少なくとも１つの管
に接続されるガス導入口が複数個設けられ、該複数のガ
ス導入口からは夫々燃料ガスを供給することを特徴とす
る。
【０００８】上記光ファイバ用母材の製造方法において
温度差を制御する他の手段としては、ガラス微粒子を生
成するバーナは多重管構造をなし、各ポートからは独立
にガス量を制御して流出させることができ、少なくとも
燃料ガス、不活性ガスが合流した後の流量を一定に保ち
つつ、不活性ガスに対する燃料ガスの割合を変えること
を特徴とする。
温度差を制御する他の手段としては、ガラス微粒子を生
成するバーナは多重管構造をなし、各ポートからは独立
にガス量を制御して流出させることができ、少なくとも
燃料ガス、不活性ガスが合流した後の流量を一定に保ち
つつ、不活性ガスに対する燃料ガスの割合を変えること
を特徴とする。
【０００９】本発明に係わる光ファイバ用母材の製造装
置は、軸回りに回転する出発ロッドを垂直方向に把持す
る把持機構と、ガラス微粒子を生成するバーナと、外部
の空気を取り入れる吸入口と、バーナと対向する位置に
設けられた排気口とを備え、出発ロッドの上部から下部
にむかってガラス微粒子堆積体を積層する光ファイバ用
母材の製造装置であって、ガラス微粒子堆積体の表面温
度の最高値を示す位置より下方で、かつ、ガラス微粒子
堆積体の直径の５０％以上の径を有する範囲において、
ガラス微粒子堆積体の表面温度の最高値と最低値の差が
６０℃以上であるように調整するための温度測定装置及
びガラス微粒子堆積体の外径を測定するための外径測定
装置を有することを特徴とする。
置は、軸回りに回転する出発ロッドを垂直方向に把持す
る把持機構と、ガラス微粒子を生成するバーナと、外部
の空気を取り入れる吸入口と、バーナと対向する位置に
設けられた排気口とを備え、出発ロッドの上部から下部
にむかってガラス微粒子堆積体を積層する光ファイバ用
母材の製造装置であって、ガラス微粒子堆積体の表面温
度の最高値を示す位置より下方で、かつ、ガラス微粒子
堆積体の直径の５０％以上の径を有する範囲において、
ガラス微粒子堆積体の表面温度の最高値と最低値の差が
６０℃以上であるように調整するための温度測定装置及
びガラス微粒子堆積体の外径を測定するための外径測定
装置を有することを特徴とする。
【００１０】
【作用】上記の構成によれば、本発明に係わる光ファイ
バ用母材の製造方法は、ガラス微粒子の堆積中にその表
面温度の最高値と最低値の差が６０℃以上となるように
制御するのであり、その結果、サーモホレシス効果が向
上してガラス微粒子の堆積効率を上げることができる。
また、堆積体の半径方向について均質のガラス微粒子体
とすることができるので透明ガラス化しても気泡の発生
が少ななり、フィルタを用いて余剰空気を導入すること
によって、さらに改善することができる。本発明の製造
装置、特にガラス微粒子堆積体の表面温度が最小となる
近傍に余剰空気を導入するための吸入口並びに前記各多
重管バーナの構成はサーモホレシス効果を増大させるも
のであり効果的な手段である。
バ用母材の製造方法は、ガラス微粒子の堆積中にその表
面温度の最高値と最低値の差が６０℃以上となるように
制御するのであり、その結果、サーモホレシス効果が向
上してガラス微粒子の堆積効率を上げることができる。
また、堆積体の半径方向について均質のガラス微粒子体
とすることができるので透明ガラス化しても気泡の発生
が少ななり、フィルタを用いて余剰空気を導入すること
によって、さらに改善することができる。本発明の製造
装置、特にガラス微粒子堆積体の表面温度が最小となる
近傍に余剰空気を導入するための吸入口並びに前記各多
重管バーナの構成はサーモホレシス効果を増大させるも
のであり効果的な手段である。
【００１１】
【実施例】以下、添付図面を参照して本発明の実施例を
説明する。なお、図面の説明において同一要素には同一
符号を付し、重複する説明を省略する。図１は本実施例
に係わる光ファイバ用母材の製造装置の構成を示す概略
図である。反応容器８の内部において、ガス供給装置６
からは四塩化珪素等のガラス原料ガス、水素ガス、酸素
ガス等の燃料ガス、アルゴンガス等の不活性ガスをガラ
ス微粒子堆積用バーナ５に供給され、加水分解反応させ
て出発ロッド１の周囲にガラス微粒子堆積体２が形成さ
れる。
説明する。なお、図面の説明において同一要素には同一
符号を付し、重複する説明を省略する。図１は本実施例
に係わる光ファイバ用母材の製造装置の構成を示す概略
図である。反応容器８の内部において、ガス供給装置６
からは四塩化珪素等のガラス原料ガス、水素ガス、酸素
ガス等の燃料ガス、アルゴンガス等の不活性ガスをガラ
ス微粒子堆積用バーナ５に供給され、加水分解反応させ
て出発ロッド１の周囲にガラス微粒子堆積体２が形成さ
れる。
【００１２】バーナ５としては同心円状の８重管で形成
され、例えば中心からＳｉＣｌ4 ガス、Ｈ2 ガス，Ａｒ
ガス，Ｏ2 ガス（内部火炎を形成する）、その外周にＡ
ｒガス，Ｈ2 ガス，Ａｒガス，Ｏ2 ガス（外部火炎を形
成する）が供給される。バーナ５によって生成されたガ
ラス微粒子が堆積体２を形成している近傍の温度分布を
サーモトレーサ等の温度測定装置７によって測定する。
され、例えば中心からＳｉＣｌ4 ガス、Ｈ2 ガス，Ａｒ
ガス，Ｏ2 ガス（内部火炎を形成する）、その外周にＡ
ｒガス，Ｈ2 ガス，Ａｒガス，Ｏ2 ガス（外部火炎を形
成する）が供給される。バーナ５によって生成されたガ
ラス微粒子が堆積体２を形成している近傍の温度分布を
サーモトレーサ等の温度測定装置７によって測定する。
【００１３】ガラス微粒子堆積体２を形成している近傍
の温度分布について調べたところ、図４（ａ）あるいは
図４（ｂ）に示すように極大点が１つの場合あるいは複
数の場合がり、実線はガラス微粒子堆積体２の表面温度
の最高値ＴH を示す位置より下方でかつ、ガラス微粒子
堆積体２の直径の５０％以上の径を有する範囲を示す。
堆積体の外径はレーザ光による通常の方法で測定する
（図示せず）。ここで、ガラス微粒子の堆積効率を種々
検討した結果、最高値ＴH と上記の範囲における最小温
度ＴL との差ΔＴとの間に、ΔＴ＝ＴH −ＴL ≧６０℃
の関係を満たす場合、ガラス微粒子が堆積体２に吸着す
る割合が高くなり、ガラス微粒子の堆積速度あるいは成
長速度の増大することが分かった。図４（ｂ）のような
場合は、最高値ＴH と他の極大値との差が３０℃以下で
あることが均質の母材を得るために好ましいことが分か
った。
の温度分布について調べたところ、図４（ａ）あるいは
図４（ｂ）に示すように極大点が１つの場合あるいは複
数の場合がり、実線はガラス微粒子堆積体２の表面温度
の最高値ＴH を示す位置より下方でかつ、ガラス微粒子
堆積体２の直径の５０％以上の径を有する範囲を示す。
堆積体の外径はレーザ光による通常の方法で測定する
（図示せず）。ここで、ガラス微粒子の堆積効率を種々
検討した結果、最高値ＴH と上記の範囲における最小温
度ＴL との差ΔＴとの間に、ΔＴ＝ＴH −ＴL ≧６０℃
の関係を満たす場合、ガラス微粒子が堆積体２に吸着す
る割合が高くなり、ガラス微粒子の堆積速度あるいは成
長速度の増大することが分かった。図４（ｂ）のような
場合は、最高値ＴH と他の極大値との差が３０℃以下で
あることが均質の母材を得るために好ましいことが分か
った。
【００１４】次に、ガラス微粒子堆積面の温度分布をΔ
Ｔ≧６０℃とするための方法を説明する。 （１）測定した温度分布のデータをコンピュータによる
制御装置：ＣＰＵ９に取り込む。ＣＰＵ９はこの温度分
布に従い、余剰空気の吸入口３ａのクリアランスを変え
て、ΔＴを大きくすることができる。クリアランスは３
００〜８００ｍｍ2 の範囲が好適であり、望ましくは４
５０〜５００ｍｍ2 であった。吸入口３ｂから余剰空気
を導入する場合もあるが、空気がバーナ５の火炎と干渉
しやすいので吸入口３ａのクリアランスを変えることが
好ましい。余剰空気はフィルタを介して外部の空気を導
入することによって、透明ガラス化したときに発生する
気泡を抑制することができる。
Ｔ≧６０℃とするための方法を説明する。 （１）測定した温度分布のデータをコンピュータによる
制御装置：ＣＰＵ９に取り込む。ＣＰＵ９はこの温度分
布に従い、余剰空気の吸入口３ａのクリアランスを変え
て、ΔＴを大きくすることができる。クリアランスは３
００〜８００ｍｍ2 の範囲が好適であり、望ましくは４
５０〜５００ｍｍ2 であった。吸入口３ｂから余剰空気
を導入する場合もあるが、空気がバーナ５の火炎と干渉
しやすいので吸入口３ａのクリアランスを変えることが
好ましい。余剰空気はフィルタを介して外部の空気を導
入することによって、透明ガラス化したときに発生する
気泡を抑制することができる。
【００１５】（２）ＣＰＵ９はガラス微粒子堆積面の温
度分布の従って、ガス供給装置６の流量を制御し、ΔＴ
を大きくすることができる。例えば、ガラス微粒子堆積
面の下部の温度が高い場合はバーナに供給する燃料ガス
のうち、外周部の水素ガスあるいは酸素ガスを減らすこ
とにより、その部分の温度を下げてΔＴ≧６０℃の条件
を満たすことができる。
度分布の従って、ガス供給装置６の流量を制御し、ΔＴ
を大きくすることができる。例えば、ガラス微粒子堆積
面の下部の温度が高い場合はバーナに供給する燃料ガス
のうち、外周部の水素ガスあるいは酸素ガスを減らすこ
とにより、その部分の温度を下げてΔＴ≧６０℃の条件
を満たすことができる。
【００１６】（３）バーナの外周部を流れる燃料ガスに
対する不活性ガスの比率を増やすことにより、燃料ガス
の流量を減らすのと同等の効果がある。この時合流した
後の流量が一定になるように制御することによって、安
定した火炎を得ることができる。
対する不活性ガスの比率を増やすことにより、燃料ガス
の流量を減らすのと同等の効果がある。この時合流した
後の流量が一定になるように制御することによって、安
定した火炎を得ることができる。
【００１７】（４）図２に示すように多重管バーナの
中、燃料ガスが流れるポートの間隔を偏心させると、間
隔の狭い側を流れるガスの速度が速くなり、狭い側の温
度を上げ、広い側を下げることができる。偏心させた管
の径をＲ、軸ずれを△Ｒとしたとき軸ずれ率：△Ｒ／Ｒ
が２％以下であることが好ましい。大きくなると火炎が
不安定となり好ましくない。
中、燃料ガスが流れるポートの間隔を偏心させると、間
隔の狭い側を流れるガスの速度が速くなり、狭い側の温
度を上げ、広い側を下げることができる。偏心させた管
の径をＲ、軸ずれを△Ｒとしたとき軸ずれ率：△Ｒ／Ｒ
が２％以下であることが好ましい。大きくなると火炎が
不安定となり好ましくない。
【００１８】（５）図３に示すように多重管バーナの
中、燃料ガスを流がすポートの管に接続されるガス導入
口が対向する位置に複数個設け、一方の側には多く、対
向する側は少ない燃料ガスを供給することによって、Δ
Ｔを調整できる。
中、燃料ガスを流がすポートの管に接続されるガス導入
口が対向する位置に複数個設け、一方の側には多く、対
向する側は少ない燃料ガスを供給することによって、Δ
Ｔを調整できる。
【００１９】［比較例］図１に示した装置によって、２
重火炎を形成する同心状の８重管バーナ５を用い、出発
ロッド１がコアとクラッドからなる石英ガラス棒の上に
外径１００ｍｍのガラス微粒子堆積体２を形成した。ガ
ラス微粒子を堆積するに際し、ガラス原料として四塩化
珪素：３リットル／分、燃料ガスとして水素ガス：２０
リットル／分、酸素ガス：２０リットル／分を供給し
た。８重管バーナは偏心のないものを用い、余剰空気の
吸入口３ａのクリアランスを５００ｍｍ2 、バーナへの
各ガスの供給量は一定に保った。サーモトレーサによっ
てガラス微粒子が堆積する表面温度をモニタし、また外
径を測定しながら堆積した。その結果、表１に示すよう
にΔＴを大きくすることができず、出発ロッドの引上げ
速度並びに収率も改善することができなかった。また、
この母材を１６００℃に加熱して透明化したところ、気
泡が７０個発生しており、このうち４３個は線引きする
時点で異常となり、そのための不良率は１８％であっ
た。
重火炎を形成する同心状の８重管バーナ５を用い、出発
ロッド１がコアとクラッドからなる石英ガラス棒の上に
外径１００ｍｍのガラス微粒子堆積体２を形成した。ガ
ラス微粒子を堆積するに際し、ガラス原料として四塩化
珪素：３リットル／分、燃料ガスとして水素ガス：２０
リットル／分、酸素ガス：２０リットル／分を供給し
た。８重管バーナは偏心のないものを用い、余剰空気の
吸入口３ａのクリアランスを５００ｍｍ2 、バーナへの
各ガスの供給量は一定に保った。サーモトレーサによっ
てガラス微粒子が堆積する表面温度をモニタし、また外
径を測定しながら堆積した。その結果、表１に示すよう
にΔＴを大きくすることができず、出発ロッドの引上げ
速度並びに収率も改善することができなかった。また、
この母材を１６００℃に加熱して透明化したところ、気
泡が７０個発生しており、このうち４３個は線引きする
時点で異常となり、そのための不良率は１８％であっ
た。
【００２０】［実施例１］余剰空気を吸入口３ａから導
入し、そのクリアランスを４７０〜５４０ｍｍ2の範囲
で制御してガラス微粒子堆積体を製造した。その他の条
件は比較例と同じである。この結果、表１に示すように
ΔＴを大きくすることができ、出発ロッドの引上げ速度
並びに収率も改善することができた。従来法に比べて本
発明の方法は成長速度で２０％以上改善されており、比
較例の場合には気泡が７０個発生していたが、フィルタ
を通して余剰空気を導入したところガラス母材には完全
に不整や気泡がなくなった。
入し、そのクリアランスを４７０〜５４０ｍｍ2の範囲
で制御してガラス微粒子堆積体を製造した。その他の条
件は比較例と同じである。この結果、表１に示すように
ΔＴを大きくすることができ、出発ロッドの引上げ速度
並びに収率も改善することができた。従来法に比べて本
発明の方法は成長速度で２０％以上改善されており、比
較例の場合には気泡が７０個発生していたが、フィルタ
を通して余剰空気を導入したところガラス母材には完全
に不整や気泡がなくなった。
【００２１】［実施例２］外周部のポートに供給する燃
料ガスを９０〜１００％の範囲で制御しながらガラス微
粒子堆積体を製造した。その他の条件は比較例と同じで
ある。その結果を表１に示す。設定流量の９０％以下に
すると火炎が乱れたり、収率の低下する原因となり、１
００％を越えると温度が上がりすぎるという問題があっ
た。
料ガスを９０〜１００％の範囲で制御しながらガラス微
粒子堆積体を製造した。その他の条件は比較例と同じで
ある。その結果を表１に示す。設定流量の９０％以下に
すると火炎が乱れたり、収率の低下する原因となり、１
００％を越えると温度が上がりすぎるという問題があっ
た。
【００２２】［実施例３］同心状の８重管バーナの代わ
りに図２に示すように各ポートの軸を０．５％偏心さ
せ、このバーナのクリアランスの大きい側を出発ロッド
の鉛直方向に向けてガラス微粒子堆積体を製造した。そ
の他の条件は比較例と同じである。この結果、表１に示
すようにΔＴを大きくすることができ、出発ロッドの引
上げ速度並びに収率も改善することができた。
りに図２に示すように各ポートの軸を０．５％偏心さ
せ、このバーナのクリアランスの大きい側を出発ロッド
の鉛直方向に向けてガラス微粒子堆積体を製造した。そ
の他の条件は比較例と同じである。この結果、表１に示
すようにΔＴを大きくすることができ、出発ロッドの引
上げ速度並びに収率も改善することができた。
【００２３】［実施例４］外周部の燃料ポートから噴出
される燃料ガスにアルゴンガスを混合し、供給ガスの総
量を一定に保ちながら燃料ガスの割合を９０〜１００％
の範囲に制御しながらガラス微粒子堆積体を製造した。
その他の条件は比較例と同じである。この結果、表１に
示すようにΔＴを大きくすることができ、出発ロッドの
引上げ速度並びに収率も改善することができた。９０％
以下になると堆積表面の温度が下がり、収率が低下する
ので好ましくない。
される燃料ガスにアルゴンガスを混合し、供給ガスの総
量を一定に保ちながら燃料ガスの割合を９０〜１００％
の範囲に制御しながらガラス微粒子堆積体を製造した。
その他の条件は比較例と同じである。この結果、表１に
示すようにΔＴを大きくすることができ、出発ロッドの
引上げ速度並びに収率も改善することができた。９０％
以下になると堆積表面の温度が下がり、収率が低下する
ので好ましくない。
【００２４】［実施例５］図３に示すように、外周部の
各ポートは両側から燃料ガスが供給される構成とし、２
つの燃料ガスの割合を９５〜１０５％の範囲で制御し、
総流量は比較例の場合と同じに保ちながらガラス微粒子
堆積体を製造した。その他の条件は比較例と同じであ
る。この結果、表１に示すようにΔＴを大きくすること
ができ、出発ロッドの引上げ速度並びに収率も改善する
ことができた。
各ポートは両側から燃料ガスが供給される構成とし、２
つの燃料ガスの割合を９５〜１０５％の範囲で制御し、
総流量は比較例の場合と同じに保ちながらガラス微粒子
堆積体を製造した。その他の条件は比較例と同じであ
る。この結果、表１に示すようにΔＴを大きくすること
ができ、出発ロッドの引上げ速度並びに収率も改善する
ことができた。
【表１】
【００２５】
【発明の効果】以上説明したように本発明に係わる光フ
ァイバ用母材の製造方法は、ガラス微粒子の堆積中にそ
の表面温度の最高値と最低値の差が６０℃以上となるよ
うに制御するのであり、その結果、サーモホレシス効果
が向上してガラス微粒子の堆積効率を上げることができ
る。また、堆積体の半径方向について均質のガラス微粒
子体とすることができるので透明ガラス化しても気泡の
発生が少ななり、フィルタを用いて余剰空気を導入する
ことによって、さらに改善することができる。本発明の
製造装置、特にガラス微粒子堆積体の表面温度が最小と
なる近傍に余剰空気を導入するための吸入口並びに前記
各多重管バーナの構成はサーモホレシス効果を増大させ
るものであり効果的な手段である。
ァイバ用母材の製造方法は、ガラス微粒子の堆積中にそ
の表面温度の最高値と最低値の差が６０℃以上となるよ
うに制御するのであり、その結果、サーモホレシス効果
が向上してガラス微粒子の堆積効率を上げることができ
る。また、堆積体の半径方向について均質のガラス微粒
子体とすることができるので透明ガラス化しても気泡の
発生が少ななり、フィルタを用いて余剰空気を導入する
ことによって、さらに改善することができる。本発明の
製造装置、特にガラス微粒子堆積体の表面温度が最小と
なる近傍に余剰空気を導入するための吸入口並びに前記
各多重管バーナの構成はサーモホレシス効果を増大させ
るものであり効果的な手段である。
【図１】本発明に係わる光ファイバ用母材の製造装置の
構成を示す概略図である。
構成を示す概略図である。
【図２】本発明に係わる偏心バーナの横断面図である。
【図３】本発明に係わる複数導入口を有するバーナの横
断面図である。
断面図である。
【図４】ガラス微粒子堆積体の温度分布の測定例であ
る。
る。
１：出発ロッド
２：ガラス微粒子堆積体
３：空気の吸入口
４：排気口
５：ガラス微粒子堆積用バーナ
６：ガス供給装置
７：温度測定装置
８：反応容器
９：ＣＰＵ
─────────────────────────────────────────────────────
フロントページの続き
(56)参考文献 特開 昭62−256736（ＪＰ，Ａ)
特開 平５−17164（ＪＰ，Ａ)
(58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名)
C03B 37/00 - 37/16
C03B 8/04
C03B 20/00
Claims (8)
- 【請求項１】 容器内に垂直方向に把持され、軸回りに
回転する出発ロッドの上部から下部にむかってガラス微
粒子堆積体を積層する光ファイバ用母材の製造する方法
であって、 ガラス微粒子堆積体の表面温度の最高値を示す位置より
下方で、かつ、ガラス微粒子堆積体の直径の５０％以上
の径を有する範囲において、ガラス微粒子堆積体の表面
温度の最高値と最低値の差が６０℃以上であるように制
御することを特徴とする光ファイバ用母材の製造方法。 - 【請求項２】 容器内に余剰空気を導入してガラス微粒
子堆積体の下部に吹き付け、該余剰空気の流量を調整す
ることを特徴とする請求項１に記載の光ファイバ用母材
の製造方法。 - 【請求項３】 余剰空気はフィルタを通過させて清浄な
空気とすることを特徴とする請求項２に記載の光ファイ
バ用母材の製造方法。 - 【請求項４】 ガラス微粒子を生成するバーナは多重管
構造をなし、各ポートからは独立にガス量を制御して流
出させることができ、外周部のポートに供給する燃料ガ
スを９０〜１００％の範囲で制御することを特徴とする
請求項１に記載の光ファイバ用母材の製造方法。 - 【請求項５】 ガラス微粒子を生成するバーナは多重管
構造をなし、少なくとも１つのガス流出ポートを偏心し
て構成し、偏心したポートからは燃料ガスが流出するこ
とを特徴とする請求項１に記載の光ファイバ用母材の製
造方法。 - 【請求項６】 ガラス微粒子を生成するバーナは多重管
構造をなし、少なくとも１つの管に接続されるガス導入
口が複数個設けられ、該複数のガス導入口からは夫々燃
料ガスを供給することを特徴とする請求項１に記載の光
ファイバ用母材の製造方法。 - 【請求項７】 ガラス微粒子を生成するバーナは多重管
構造をなし、各ポートからは独立にガス量を制御して流
出させることができ、少なくとも燃料ガス、不活性ガス
が合流した後の流量を一定に保ちつつ、不活性ガスに対
する燃料ガスの割合を変えることを特徴とする請求項１
に記載の光ファイバ用母材の製造方法。 - 【請求項８】 軸回りに回転する出発ロッドを垂直方向
に把持する把持機構と、ガラス微粒子を生成するバーナ
と、外部の空気を取り入れる吸入口と、バーナと対向す
る位置に設けられた排気口とを備え、出発ロッドの上部
から下部にむかってガラス微粒子堆積体を積層する光フ
ァイバ用母材の製造装置であって、 ガラス微粒子堆積体の表面温度の最高値を示す位置より
下方で、かつ、ガラス微粒子堆積体の直径の５０％以上
の径を有する範囲において、ガラス微粒子堆積体の表面
温度の最高値と最低値の差が６０℃以上であるように調
整するための温度測定装置及びガラス微粒子堆積体の外
径を測定するための外径測定装置を有することを特徴と
する光ファイバ用母材の製造装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP21439294A JP3486972B2 (ja) | 1994-09-08 | 1994-09-08 | 光ファイバ用母材の製造方法及び装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP21439294A JP3486972B2 (ja) | 1994-09-08 | 1994-09-08 | 光ファイバ用母材の製造方法及び装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0873236A JPH0873236A (ja) | 1996-03-19 |
| JP3486972B2 true JP3486972B2 (ja) | 2004-01-13 |
Family
ID=16655036
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP21439294A Expired - Fee Related JP3486972B2 (ja) | 1994-09-08 | 1994-09-08 | 光ファイバ用母材の製造方法及び装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3486972B2 (ja) |
-
1994
- 1994-09-08 JP JP21439294A patent/JP3486972B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0873236A (ja) | 1996-03-19 |
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