JP3478751B2 - デジタル熱光学光スイッチ - Google Patents
デジタル熱光学光スイッチInfo
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- G02F1/01—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour
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- G02F1/00—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
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- G02F1/313—Digital deflection, i.e. optical switching in an optical waveguide structure
- G02F1/3137—Digital deflection, i.e. optical switching in an optical waveguide structure with intersecting or branching waveguides, e.g. X-switches and Y-junctions
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- G02F2202/02—Materials and properties organic material
- G02F2202/022—Materials and properties organic material polymeric
- G02F2202/023—Materials and properties organic material polymeric curable
Landscapes
- Optical Modulation, Optical Deflection, Nonlinear Optics, Optical Demodulation, Optical Logic Elements (AREA)
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、波長多重( ＷＤ
Ｍ) 光通信等の光通信及び光信号処理において光路切り
替えに用いられる光導波路型光スイッチに関し、特にデ
ジタル熱光学光スイッチに関する。
Ｍ) 光通信等の光通信及び光信号処理において光路切り
替えに用いられる光導波路型光スイッチに関し、特にデ
ジタル熱光学光スイッチに関する。
【０００２】
【従来の技術】光導波路型熱光学光スイッチは、可動部
分が無く、挿入損失が低く、小型で集積化が容易なた
め、波長多重通信網のクロスコネクトやアドドロップマ
ルチプレクサ（ＡＤＭ）用光スイッチ用として有望視さ
れている。この光導波路型熱光学光スイッチの中でもデ
ジタル熱光学光スイッチは、スイッチ特性が波長や偏光
や動作電力に対して原理的に低依存である利点が着目さ
れ、各機関で活発な研究開発が進められている（参考文
献１：N.Ooba et al.,“Low Loss 1×8 digital optica
l switch and tunable arrayed-waveguide grating mul
tiplexer using a silicone resin waveguide ”,Proc.
7th Int Plastic Opt. Fibres Conf.,Berlin,P.303,199
8 ）。
分が無く、挿入損失が低く、小型で集積化が容易なた
め、波長多重通信網のクロスコネクトやアドドロップマ
ルチプレクサ（ＡＤＭ）用光スイッチ用として有望視さ
れている。この光導波路型熱光学光スイッチの中でもデ
ジタル熱光学光スイッチは、スイッチ特性が波長や偏光
や動作電力に対して原理的に低依存である利点が着目さ
れ、各機関で活発な研究開発が進められている（参考文
献１：N.Ooba et al.,“Low Loss 1×8 digital optica
l switch and tunable arrayed-waveguide grating mul
tiplexer using a silicone resin waveguide ”,Proc.
7th Int Plastic Opt. Fibres Conf.,Berlin,P.303,199
8 ）。
【０００３】デジタル熱光学光スイッチの動作には、大
きい熱光学屈折率変化が必要とされるので、コア・クラ
ッド共に熱光学定数の大きい高分子光導波路材料が主に
用いられている。
きい熱光学屈折率変化が必要とされるので、コア・クラ
ッド共に熱光学定数の大きい高分子光導波路材料が主に
用いられている。
【０００４】従来の一般的なデジタル熱光学光スイッチ
の構造を図４の平面図に示す。入力光導波路としての直
線光導波路１１とテーパー光導波路１２及び分岐光導波
路１３及び出力光導波路１４からなるＹ分岐光導波路に
沿って、薄膜ヒーター１５はその垂直方向にほぼ一定間
隔をおいて配置されている。図４中、薄膜ヒーター１５
に電流を供給するリードは省略している。２本の分岐光
導波路１３は、互いにモード結合しながら徐々に離れて
いくテーパードヴェロシティーカップラーをなしてい
る。
の構造を図４の平面図に示す。入力光導波路としての直
線光導波路１１とテーパー光導波路１２及び分岐光導波
路１３及び出力光導波路１４からなるＹ分岐光導波路に
沿って、薄膜ヒーター１５はその垂直方向にほぼ一定間
隔をおいて配置されている。図４中、薄膜ヒーター１５
に電流を供給するリードは省略している。２本の分岐光
導波路１３は、互いにモード結合しながら徐々に離れて
いくテーパードヴェロシティーカップラーをなしてい
る。
【０００５】一対の薄膜ヒーター１５のいずれか一方を
加熱することで、熱光学効果により２つの分岐光導波路
１３の屈折率を非対称とすると、テーパードヴェロシテ
ィーカップラーにおける基本モード光は、出力光導波路
１４側では高屈折率側に集中する。このため、直線光導
波路１１に入射した基本モード光が高次モードに結合し
なければ、高屈折率側の出力光導波路１４に導かれ、こ
のデバイスは分岐スイッチとして動作する（参考文献
２：W.K.Burns,et al., “Mode conversion in planar-
dielectric separating waveguides”，IEEE j.Quantum
Electron.,Vol.QE-11,p.32,1975)。
加熱することで、熱光学効果により２つの分岐光導波路
１３の屈折率を非対称とすると、テーパードヴェロシテ
ィーカップラーにおける基本モード光は、出力光導波路
１４側では高屈折率側に集中する。このため、直線光導
波路１１に入射した基本モード光が高次モードに結合し
なければ、高屈折率側の出力光導波路１４に導かれ、こ
のデバイスは分岐スイッチとして動作する（参考文献
２：W.K.Burns,et al., “Mode conversion in planar-
dielectric separating waveguides”，IEEE j.Quantum
Electron.,Vol.QE-11,p.32,1975)。
【０００６】デジタル熱光学光スイッチにおいて、より
高い分岐比を得るためには、分岐角を小さくする、また
は大きな屈折率差を分岐光導波路１３に与えることが必
要となる。分岐角を小さくすると加熱領域である分岐光
導波路１３が長くなる。２０ｄＢを越える消光比を得る
ためには、一般に分岐角０．１度程度となり、１０ｍｍ
程度の分岐光導波路１３や薄膜ヒーター１５が必要とな
る（参考文献３：W.Horsthuis et al.,"PACKAGED POLYM
ERIC 1×8 DIGITAL OPTICAL SWITCHES", Proc.21st Eu
r.Conf.Opt.Comm.,Brussels,Th.L.3,4,p.1059, 199
5）。
高い分岐比を得るためには、分岐角を小さくする、また
は大きな屈折率差を分岐光導波路１３に与えることが必
要となる。分岐角を小さくすると加熱領域である分岐光
導波路１３が長くなる。２０ｄＢを越える消光比を得る
ためには、一般に分岐角０．１度程度となり、１０ｍｍ
程度の分岐光導波路１３や薄膜ヒーター１５が必要とな
る（参考文献３：W.Horsthuis et al.,"PACKAGED POLYM
ERIC 1×8 DIGITAL OPTICAL SWITCHES", Proc.21st Eu
r.Conf.Opt.Comm.,Brussels,Th.L.3,4,p.1059, 199
5）。
【０００７】しかし、高分子光導波路の場合、導波路自
体の導波損失が１０ｍｍで０．５ｄＢ程度見込まれるの
で、スイッチが長くなると損失増加をまねく問題が生じ
る。
体の導波損失が１０ｍｍで０．５ｄＢ程度見込まれるの
で、スイッチが長くなると損失増加をまねく問題が生じ
る。
【０００８】また、大きな屈折率差を分岐光導波路１３
に与えた場合、薄膜ヒーター１５の直線光導波路１１側
の端点において、モード変換による過剰損失が生じる。
これを防ぐためには、図４のＡで示すように、薄膜ヒー
ター１５を徐々にコア（光導波路）１２に近づけている
領域が必要となる。
に与えた場合、薄膜ヒーター１５の直線光導波路１１側
の端点において、モード変換による過剰損失が生じる。
これを防ぐためには、図４のＡで示すように、薄膜ヒー
ター１５を徐々にコア（光導波路）１２に近づけている
領域が必要となる。
【０００９】
【発明が解決しようとする課題】このように、従来のデ
ジタル熱光学光スイッチでは、コアと薄膜ヒーターの距
離を変えてコア部分の加熱量を制御している。しかし、
この従来方法では、加熱量を小さくしたい部分では、ス
イッチ動作に関与しないコアから離れた領域を加熱して
いることになり、加熱電力効率を下げている。そこで、
このようなデジタル熱光学光スイッチでは、加熱効率を
上げて、消費電力をさらに下げることが課題となってい
る。
ジタル熱光学光スイッチでは、コアと薄膜ヒーターの距
離を変えてコア部分の加熱量を制御している。しかし、
この従来方法では、加熱量を小さくしたい部分では、ス
イッチ動作に関与しないコアから離れた領域を加熱して
いることになり、加熱電力効率を下げている。そこで、
このようなデジタル熱光学光スイッチでは、加熱効率を
上げて、消費電力をさらに下げることが課題となってい
る。
【００１０】本発明の目的は、上述のような従来技術の
課題を解決し、小さい動作電力で同等の性能を得ること
ができ、光クロスコネクトシステムや光アドドロップマ
ルチプレクサの低電力化を図ったデジタル熱光学光スイ
ッチを提供することにある。
課題を解決し、小さい動作電力で同等の性能を得ること
ができ、光クロスコネクトシステムや光アドドロップマ
ルチプレクサの低電力化を図ったデジタル熱光学光スイ
ッチを提供することにある。
【００１１】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するた
め、請求項１の発明は、直線光導波路及びテーパー光導
波路及び分岐光導波路からなるＹ分岐光導波路と、該Ｙ
分岐光導波路に沿う薄膜ヒーターとにより構成されるデ
ジタル熱光学光スイッチにおいて、前記薄膜ヒーターの
一部が前記直線光導波路側から前記分岐光導波路側へ向
けて徐々にその幅が細くなる形状、およびその厚さが薄
くなる形状の少なくともいずれかの形状を有することを
特徴とする。
め、請求項１の発明は、直線光導波路及びテーパー光導
波路及び分岐光導波路からなるＹ分岐光導波路と、該Ｙ
分岐光導波路に沿う薄膜ヒーターとにより構成されるデ
ジタル熱光学光スイッチにおいて、前記薄膜ヒーターの
一部が前記直線光導波路側から前記分岐光導波路側へ向
けて徐々にその幅が細くなる形状、およびその厚さが薄
くなる形状の少なくともいずれかの形状を有することを
特徴とする。
【００１２】ここで、好ましくは、前記薄膜ヒーターの
前記一部は、前記テーパー光導波路に沿う部分である。
前記一部は、前記テーパー光導波路に沿う部分である。
【００１３】また、好ましくは、前記Ｙ分岐光導波路
が、アクリル系高分子、または紫外線硬化エポキシ樹
脂、またはシリコーン樹脂、またはポリイミドのいずれ
か、またはそれらの組み合わせによって作られている。
が、アクリル系高分子、または紫外線硬化エポキシ樹
脂、またはシリコーン樹脂、またはポリイミドのいずれ
か、またはそれらの組み合わせによって作られている。
【００１４】
【発明の実施の形態】図面を参照して、本発明の実施の
形態を詳細に説明する。
形態を詳細に説明する。
【００１５】まず、本発明の原理を説明する。抵抗率ρ
の金属薄膜で出来ている厚さＴ、幅Ｗのストリップ状の
薄膜電熱ヒーターに電流ｉを流した時、単位面積当たり
の発熱量は、
の金属薄膜で出来ている厚さＴ、幅Ｗのストリップ状の
薄膜電熱ヒーターに電流ｉを流した時、単位面積当たり
の発熱量は、
【００１６】
【数１】
【００１７】となる。光導波路の厚さに比べてヒーター
の幅が同程度以上の場合、ヒーターの上昇温度は、単位
面積当たりの発熱量に比例すると近似できる。ここか
ら、薄膜ヒーターの幅、または厚さを変化させること
で、ヒーターの上昇温度を場所により変化させることが
できることがわかる。
の幅が同程度以上の場合、ヒーターの上昇温度は、単位
面積当たりの発熱量に比例すると近似できる。ここか
ら、薄膜ヒーターの幅、または厚さを変化させること
で、ヒーターの上昇温度を場所により変化させることが
できることがわかる。
【００１８】（第１の実施形態）図１は、本発明の一実
施形態のデジタル熱光学光スイッチの構成を示す平面図
である。図１において、図４の従来例と同様の構成要素
には同一符号を付してある。すなわち、入力光導波路と
しての直線光導波路１１とテーパー光導波路１２及び分
岐光導波路１３及び出力光導波路１４からなるＹ分岐光
導波路に沿って、薄膜ヒーター１５はその垂直方向にほ
ぼ一定間隔をおいて配置されている。２本の分岐光導波
路１３は、互いにモード結合しながら徐々に離れていく
テーパードヴェロシティーカップラーをなしている。
施形態のデジタル熱光学光スイッチの構成を示す平面図
である。図１において、図４の従来例と同様の構成要素
には同一符号を付してある。すなわち、入力光導波路と
しての直線光導波路１１とテーパー光導波路１２及び分
岐光導波路１３及び出力光導波路１４からなるＹ分岐光
導波路に沿って、薄膜ヒーター１５はその垂直方向にほ
ぼ一定間隔をおいて配置されている。２本の分岐光導波
路１３は、互いにモード結合しながら徐々に離れていく
テーパードヴェロシティーカップラーをなしている。
【００１９】テーパー光導波路１２が形成されている図
１のＢの領域では、直線光導波路１１側へ向けて薄膜ヒ
ーター１５の幅Ｗを徐々に太くすることで（最小幅Ｗ0
→最大幅Ｗ1 ）、発熱量を減らし、従来ヒーターを遠ざ
けていたのと同じ効果を得ている。例えば、ヒーター１
５の左端で１／１０の発熱量とするには、
１のＢの領域では、直線光導波路１１側へ向けて薄膜ヒ
ーター１５の幅Ｗを徐々に太くすることで（最小幅Ｗ0
→最大幅Ｗ1 ）、発熱量を減らし、従来ヒーターを遠ざ
けていたのと同じ効果を得ている。例えば、ヒーター１
５の左端で１／１０の発熱量とするには、
【００２０】
【数２】
【００２１】とすればよい。この時、Ｂ領域のヒーター
１５の全体の発熱量若しくは加熱電力Ｐ1 は、ヒーター
１５の幅を、
１５の全体の発熱量若しくは加熱電力Ｐ1 は、ヒーター
１５の幅を、
【００２２】
【数３】
【００２３】Ｂ領域のヒーター１５の長さをＬとして、
【００２４】
【数４】
【００２５】である。ただし、Ｐ0 は、従来の幅Ｗ0 の
ヒーターの発熱量若しくは加熱電力、
ヒーターの発熱量若しくは加熱電力、
【００２６】
【数５】
【００２７】である。
【００２８】上式（４）から、本実施形態のＢ領域にお
ける発熱量若しくは加熱電力Ｐ1 は、従来型の発熱量若
しくは加熱電力Ｐ0 に比べ約半分になることがわかる。
分岐光導波路１３が形成されている図１のＣ部分を含む
ヒーター１５全体でも２割以上の加熱電力の減少が見込
まれる。
ける発熱量若しくは加熱電力Ｐ1 は、従来型の発熱量若
しくは加熱電力Ｐ0 に比べ約半分になることがわかる。
分岐光導波路１３が形成されている図１のＣ部分を含む
ヒーター１５全体でも２割以上の加熱電力の減少が見込
まれる。
【００２９】なお、本発明を適用するＹ分岐光導波路
は、例えば、アクリル系高分子、または紫外線硬化エポ
キシ樹脂、またはシリコーン樹脂、またはポリイミドの
いずれか、またはそれらの組み合わせによって作成する
のが好ましい。
は、例えば、アクリル系高分子、または紫外線硬化エポ
キシ樹脂、またはシリコーン樹脂、またはポリイミドの
いずれか、またはそれらの組み合わせによって作成する
のが好ましい。
【００３０】（第２の実施形態）図２は、本発明の他の
実施形態のデジタル熱光学光スイッチの構成を示し、薄
膜ヒーターの厚みを制御して発熱量を変化させた例を示
す平面図と側面図である。図２の（ａ）の平面図、図２
の（ｂ）の側面図に示すように、テーパー光導波路１２
が形成されているＢの領域では、直線光導波路１１側へ
向けて徐々にヒーター１５の厚みＴを厚くすることで
（最小厚みＴ0 →最大厚みＴ1 ）、発熱量Ｐ1 を減ら
し、従来のヒーターを光導波路から遠ざけていたのと同
じ効果を得ている。たとえば、ヒーター左端で１／１０
の発熱量とするには、
実施形態のデジタル熱光学光スイッチの構成を示し、薄
膜ヒーターの厚みを制御して発熱量を変化させた例を示
す平面図と側面図である。図２の（ａ）の平面図、図２
の（ｂ）の側面図に示すように、テーパー光導波路１２
が形成されているＢの領域では、直線光導波路１１側へ
向けて徐々にヒーター１５の厚みＴを厚くすることで
（最小厚みＴ0 →最大厚みＴ1 ）、発熱量Ｐ1 を減ら
し、従来のヒーターを光導波路から遠ざけていたのと同
じ効果を得ている。たとえば、ヒーター左端で１／１０
の発熱量とするには、
【００３１】
【数６】
Ｔ1 ＝１０Ｔ0 …（６）
とすればよい。この時、Ｂ領域のヒーター全体の発熱量
若しくは加熱電力Ｐ1 は、従来の厚さＴ0 のヒーターに
比べ約１／４になる。Ｃ領域部分を含むヒーター全体で
も３割以上の加熱電力の減少が見込まれる。
若しくは加熱電力Ｐ1 は、従来の厚さＴ0 のヒーターに
比べ約１／４になる。Ｃ領域部分を含むヒーター全体で
も３割以上の加熱電力の減少が見込まれる。
【００３２】
【実施例】次に、本発明の実施例を具体的に説明する。
【００３３】（第１の実施例）屈折率１．４８９の重水
素シリコーン樹脂をコアに、屈折率１．４８５の重水素
化シリコーン樹脂をクラッドに用いて、シリコン基板上
にＹ分岐光導波路を作製した。シリコーン樹脂光導波路
の作成方法は、本願発明者らが提案した「熱光学デバイ
ス」（特開平１０−３１９４４５号公報）の作成方法に
準じた。
素シリコーン樹脂をコアに、屈折率１．４８５の重水素
化シリコーン樹脂をクラッドに用いて、シリコン基板上
にＹ分岐光導波路を作製した。シリコーン樹脂光導波路
の作成方法は、本願発明者らが提案した「熱光学デバイ
ス」（特開平１０−３１９４４５号公報）の作成方法に
準じた。
【００３４】コア断面サイズは８μｍ×８μｍ、下層ク
ラッド厚、コア上の上部クラッド厚は、それぞれ１４μ
ｍ、１２μｍとした。導波路上に金薄膜をスパッター法
で形成し、フォトリソグラフィー及びドライエッチング
法を用いて図１示す形状のストリップ状の薄膜抵抗ヒー
ターを作製した。ここで、Ｗ0 ＝２０μｍ、Ｗ1 ＝６０
μｍである。
ラッド厚、コア上の上部クラッド厚は、それぞれ１４μ
ｍ、１２μｍとした。導波路上に金薄膜をスパッター法
で形成し、フォトリソグラフィー及びドライエッチング
法を用いて図１示す形状のストリップ状の薄膜抵抗ヒー
ターを作製した。ここで、Ｗ0 ＝２０μｍ、Ｗ1 ＝６０
μｍである。
【００３５】比較のため図４に示す一定幅２０μｍのヒ
ーターを備えた形状の従来型光スイッチも同様にして作
製した。
ーターを備えた形状の従来型光スイッチも同様にして作
製した。
【００３６】波長１．５５μｍのＬＤ光源（図示しな
い）及び２つの光パワーメータ（図示しない）をそれぞ
れ幹側コア１１、分岐側コア１４に接続してスイッチ特
性を測定した。２つの分岐出力の比、即ち消光比が３０
ｄＢを越えるのに必要なヒーター加熱電力は、従来型１
６０ｍＷに対して本発明の光スイッチは１２０ｍＷであ
った。これにより、本発明を適用することで加熱効率を
上げ、消費電力を下げることが可能であることが確認さ
れた。
い）及び２つの光パワーメータ（図示しない）をそれぞ
れ幹側コア１１、分岐側コア１４に接続してスイッチ特
性を測定した。２つの分岐出力の比、即ち消光比が３０
ｄＢを越えるのに必要なヒーター加熱電力は、従来型１
６０ｍＷに対して本発明の光スイッチは１２０ｍＷであ
った。これにより、本発明を適用することで加熱効率を
上げ、消費電力を下げることが可能であることが確認さ
れた。
【００３７】（第２の実施例）上記の本発明の第１の実
施例と同構造のＹ分岐光導波路を作製し、この上に、図
３に示すように金属マスク１８を光導波路１６から離し
て設置したスパッター装置を用いて、膜厚変化のある金
属薄膜１７を堆積した。ここで、１９はスパッター装置
のスパッターターゲットである。さらに、フォトリソグ
ラフィー及びドライエッチング法を用いて図２に示す形
状のストリップ状の薄膜抵抗ヒーターを作製した。ここ
で、Ｔ0 ＝０．０５μｍ、Ｔ1 ＝０．６μｍとなった。
施例と同構造のＹ分岐光導波路を作製し、この上に、図
３に示すように金属マスク１８を光導波路１６から離し
て設置したスパッター装置を用いて、膜厚変化のある金
属薄膜１７を堆積した。ここで、１９はスパッター装置
のスパッターターゲットである。さらに、フォトリソグ
ラフィー及びドライエッチング法を用いて図２に示す形
状のストリップ状の薄膜抵抗ヒーターを作製した。ここ
で、Ｔ0 ＝０．０５μｍ、Ｔ1 ＝０．６μｍとなった。
【００３８】上記の第１の実施例と同様の方法で消光比
を測定した。消光比が３０ｄＢ以上となるヒーター加熱
電力は、１００ｍＷであった。これにより、本発明を適
用することで加熱効率を上げ、消費電力を下げることが
可能であることが確認された。
を測定した。消光比が３０ｄＢ以上となるヒーター加熱
電力は、１００ｍＷであった。これにより、本発明を適
用することで加熱効率を上げ、消費電力を下げることが
可能であることが確認された。
【００３９】
【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
従来のものより小さい動作電力で同等の性能を得ること
ができ、光クロスコネクトシステムや光アドドロップマ
ルチプレクサの低電力化が図れるという効果が得られ
る。
従来のものより小さい動作電力で同等の性能を得ること
ができ、光クロスコネクトシステムや光アドドロップマ
ルチプレクサの低電力化が図れるという効果が得られ
る。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の第１の実施形態におけるヒーター幅を
変化させたＹ分岐デジタル熱光学光スイッチの構成を示
す平面図である。
変化させたＹ分岐デジタル熱光学光スイッチの構成を示
す平面図である。
【図２】本発明の第２の実施形態におけるヒーター厚を
変化させたＹ分岐デジタル熱光学光スイッチの構成を示
す平面図（ａ）と側面図（ｂ）である。
変化させたＹ分岐デジタル熱光学光スイッチの構成を示
す平面図（ａ）と側面図（ｂ）である。
【図３】本発明の実施例で用いたスパッター薄膜堆積装
置の概略図である。
置の概略図である。
【図４】従来のＹ分岐デジタル熱光学光スイッチの構成
を示す平面図である。
を示す平面図である。
１１ 直線光導波路
１２ テーパー光導波路
１３ 分岐光導波路
１４ 出力光導波路
１５ 薄膜ヒーター
１６ 光導波路
１７ 堆積した金属薄膜
１８ マスク
１９ スパッターターゲット
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フロントページの続き
(56)参考文献 特開 平９−211501（ＪＰ，Ａ)
特開 平９−50053（ＪＰ，Ａ)
大庭直樹 他，シリコーン光導波路を
用いたデジタル熱光学スイッチ，1997年
電子情報通信学会総合大会論文集，1997
年 ３月，エレクトロニクス１、Ｃ−３
−11，第196頁
Ｙ．Ｈｉｄａ ｅｔ ａｌ，Ｅｌｅｃ
ｔｒｏｎｉｃｓ Ｌｅｔｔｅｒｓ，1997
年 ３月27日，ｖｏｌ．33，ｎｏ．７,
ｐｐ．626−627
(58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名)
G02F 1/00 - 1/125
G02F 1/29 - 7/00
Claims (3)
- 【請求項１】 直線光導波路及びテーパー光導波路及び
分岐光導波路からなるＹ分岐光導波路と、該Ｙ分岐光導
波路に沿う薄膜ヒーターとにより構成されるデジタル熱
光学光スイッチにおいて、 前記薄膜ヒーターの一部が前記直線光導波路側から前記
分岐光導波路側へ向けて徐々にその幅が細くなる形状、
およびその厚さが薄くなる形状の少なくともいずれかの
形状を有することを特徴とするデジタル熱光学光スイッ
チ。 - 【請求項２】 前記薄膜ヒーターの前記一部は、前記テ
ーパー光導波路に沿う部分であることを特徴とする請求
項１に記載のデジタル熱光学光スイッチ。 - 【請求項３】 前記Ｙ分岐光導波路が、アクリル系高分
子、または紫外線硬化エポキシ樹脂、またはシリコーン
樹脂、またはポリイミドのいずれか、またはそれらの組
み合わせによって作られていることを特徴とする請求項
１または２に記載のデジタル熱光学光スイッチ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP04024699A JP3478751B2 (ja) | 1999-02-18 | 1999-02-18 | デジタル熱光学光スイッチ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP04024699A JP3478751B2 (ja) | 1999-02-18 | 1999-02-18 | デジタル熱光学光スイッチ |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2000241838A JP2000241838A (ja) | 2000-09-08 |
| JP3478751B2 true JP3478751B2 (ja) | 2003-12-15 |
Family
ID=12575358
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP04024699A Expired - Fee Related JP3478751B2 (ja) | 1999-02-18 | 1999-02-18 | デジタル熱光学光スイッチ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3478751B2 (ja) |
Families Citing this family (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2003100516A1 (en) * | 2002-05-28 | 2003-12-04 | Optun (Bvi) Ltd. | Device and method of dynamic optical spot conversion |
| US7302141B2 (en) * | 2003-07-02 | 2007-11-27 | E.I. Du Pont De Nemors And Company | Y-branch-based thermo-optic digital optical switches and variable optical attenuators with non-uniform heating |
| CN100390590C (zh) * | 2004-10-21 | 2008-05-28 | 复旦大学 | 一种多模干涉热光开关 |
| JP2009020356A (ja) * | 2007-07-12 | 2009-01-29 | Nec Corp | シリコン構造体 |
-
1999
- 1999-02-18 JP JP04024699A patent/JP3478751B2/ja not_active Expired - Fee Related
Non-Patent Citations (2)
| Title |
|---|
| Ｙ．Ｈｉｄａ ｅｔ ａｌ，Ｅｌｅｃｔｒｏｎｉｃｓ Ｌｅｔｔｅｒｓ，１９９７年 ３月２７日，ｖｏｌ．３３，ｎｏ．７，ｐｐ．６２６−６２７ |
| 大庭直樹 他，シリコーン光導波路を用いたデジタル熱光学スイッチ，１９９７年電子情報通信学会総合大会論文集，１９９７年 ３月，エレクトロニクス１、Ｃ−３−１１，第１９６頁 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2000241838A (ja) | 2000-09-08 |
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