JP3472802B2 - Manufacturing method of Sialon sintered body - Google Patents

Manufacturing method of Sialon sintered body

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JP3472802B2
JP3472802B2 JP2000081828A JP2000081828A JP3472802B2 JP 3472802 B2 JP3472802 B2 JP 3472802B2 JP 2000081828 A JP2000081828 A JP 2000081828A JP 2000081828 A JP2000081828 A JP 2000081828A JP 3472802 B2 JP3472802 B2 JP 3472802B2
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Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】この発明は、自動車エンジ
ン、化学プラント、切削工具、精密機械等の分野におい
て利用されるサイアロン焼結体の製造法に関するもので
ある。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a method for producing a sialon sintered body used in the fields of automobile engines, chemical plants, cutting tools, precision machines and the like.

【0002】[0002]

【従来の技術】サイアロンは、窒化ケイ素の固溶体であ
り、耐摩耗性や耐食性に優れた材料である。特に、α−
型窒化ケイ素の固溶体であるα−サイアロンは硬度が高
く耐摩耗性材料として優れている。α−型窒化ケイ素に
固溶してその構造を安定化する金属は、Li,Mg,C
a,Y,ランタニド金属(LaとCeを除く)が知ら
れ、α−型窒化ケイ素の単位格子内に2個存在する大き
な空孔の一部に侵入型固溶する。
2. Description of the Related Art Sialon is a solid solution of silicon nitride and is a material having excellent wear resistance and corrosion resistance. In particular, α-
Α-sialon, which is a solid solution of type silicon nitride, has high hardness and is excellent as a wear resistant material. Metals that form a solid solution in α-type silicon nitride to stabilize its structure include Li, Mg, and C.
A, Y, and lanthanide metals (excluding La and Ce) are known, and they form an interstitial solid solution in a part of two large holes existing in the unit cell of α-type silicon nitride.

【0003】Yを固溶したα−サイアロンは最も多く研
究され、本特許出願の発明者の一人(三友)等の発明
(特許1628374号)はすでに実用化されている。
その後、LaまたはCeは、上記の既知の金属と同時添
加するとその一部が固溶する事実が報告されている。た
とえば、CeをYと同時に添加すると、そのYとCeで
安定化されたα−サイアロンが得られる(Journal of E
uropean Ceramic Society, 8巻、3-9 頁(1991))。ただ
し、この材料の硬度は報告されていない。
The α-sialon containing Y as a solid solution has been most studied, and the invention (Japanese Patent No. 1628374) of one of the inventors of the present patent application (Sanyu) has already been put to practical use.
Thereafter, it has been reported that La or Ce partially forms a solid solution when co-added with the above-mentioned known metal. For example, when Ce is added at the same time as Y, α-sialon stabilized with Y and Ce is obtained (Journal of E
European Ceramic Society, Volume 8, pp. 3-9 (1991)). However, the hardness of this material has not been reported.

【0004】α−サイアロンの格子寸法は、固溶によっ
て大きな変化はないので、イオン半径の大きな金属ほど
原子密度が大きくなり高硬度であると予想される。した
がって、LaやCe単独で安定化されたα−サイアロン
を合成する目的で研究が進められて来た。最近になっ
て、高温から急冷するとCeで安定化されたα−サイア
ロン(Ce−α−サイアロン)が合成できることが報告
された(Journal of Materials Science Letters,15巻,
1435-1438頁(1996))。しかし、Ce−α−サイアロンの
含有率は20%程度であり、残りの大部分はβ−サイア
ロンであり、一部はAlNのポリタイプである21Rで
あった。
Since the lattice size of α-sialon does not change significantly due to solid solution, it is expected that a metal having a larger ionic radius has a higher atomic density and a higher hardness. Therefore, studies have been conducted for the purpose of synthesizing α-sialon stabilized by La or Ce alone. Recently, it has been reported that α-sialon stabilized with Ce (Ce-α-sialon) can be synthesized by rapidly cooling from high temperature (Journal of Materials Science Letters, Volume 15,
1435-1438 (1996)). However, the content of Ce-α-sialon was about 20%, most of the remaining was β-sialon, and part was 21R which is a polytype of AlN.

【0005】このように、LaまたはCeで安定化され
たα−サイアロンを主成分として高硬度である焼結体は
合成されていない。また、従来技術では、α−サイアロ
ンの合成は高温で行われ、21Rのように耐酸化性の低
い副生成物が混入することは避けられなかった。
As described above, a sintered body having a high hardness containing α-sialon stabilized with La or Ce as a main component has not been synthesized. Further, in the prior art, the synthesis of α-sialon is carried out at a high temperature, and it is inevitable that a by-product having low oxidation resistance such as 21R is mixed.

【0006】α−サイアロンは、Si34−AlN−A
l23−金属酸化物系の所定の割合の混合粉末を窒素雰
囲気中で高温に加熱し、焼結と同時に固溶反応を起こさ
せて焼結体が製造される。CeO2を酸化物として使用
した場合には、通常の焼結法ではα−サイアロンが合成
できない。また、高温から急冷してもCeで安定化され
たα−サイアロンを主成分とする焼結体は合成できない
うえ、21Rポリタイプの共存は避けられない。
Α-Sialon is Si 3 N 4 -AlN-A
A mixed powder of a predetermined ratio of l 2 O 3 -metal oxide is heated to a high temperature in a nitrogen atmosphere to cause a solid solution reaction at the same time as sintering to produce a sintered body. When CeO 2 is used as the oxide, α-sialon cannot be synthesized by the usual sintering method. Further, even if it is rapidly cooled from a high temperature, a sintered body containing α-sialon stabilized by Ce as the main component cannot be synthesized, and the coexistence of the 21R polytype is unavoidable.

【0007】[0007]

【発明が解決しようとする課題】本発明は、Ceで安定
化されたα−サイアロン以外にはβ−サイアロンおよび
粒界のガラス相のみから構成される高硬度で耐摩耗性に
優れたサイアロン焼結体の製造法を提供することを目的
とする。
DISCLOSURE OF THE INVENTION The present invention is directed to a sialon calcination having high hardness and excellent wear resistance, which is composed only of β-sialon and a glass phase of grain boundaries in addition to α-sialon stabilized by Ce. It is intended to provide a method for producing a tie.

【0008】[0008]

【課題を解決するための手段】上記の課題を解決するた
め、本発明者等は、Ce−α−サイアロンの反応過程を
検討し、固溶体の生成が核形成段階に大きく依存するこ
とを見出した。すなわち、従来の焼結法で合成できなか
ったのは、前記固溶体が熱力学的に安定でないためでな
く、核形成の駆動力が十分でなかったためであることを
明確にした。そして、所定の割合のSi34−AlN−
Al23−CeO2系の原料粉末に予め合成したα−サ
イアロン粉末を粒成長の核として添加するとCe−α−
サイアロンが成長するため、目的のサイアロン焼結体が
製造できた。
In order to solve the above problems, the present inventors have examined the reaction process of Ce-α-sialon and found that the formation of a solid solution largely depends on the nucleation stage. . That is, it was clarified that the reason why the conventional sintering method could not synthesize was not because the solid solution was not thermodynamically stable, but because the driving force for nucleation was insufficient. Then, a predetermined ratio of Si 3 N 4 -AlN-
If a pre-synthesized α-sialon powder is added to Al 2 O 3 -CeO 2 -based raw material powder as a nucleus for grain growth, Ce-α-
Since the sialon grew, the intended sialon sintered body could be manufactured.

【0009】本発明は、Ce−α−サイアロンに相当す
る原料粉末にα−サイアロン粉末を核として添加し、高
温で焼結することによりCe−α−サイアロンを含有す
るサイアロン焼結体を製造するものである。
In the present invention, a sialon sintered body containing Ce-α-sialon is produced by adding α-sialon powder as a nucleus to a raw material powder corresponding to Ce-α-sialon and sintering at high temperature. It is a thing.

【0010】すなわち、本発明は、Si−AlN
−AlO−CeO系の混合粉末に、α−サイアロン
粉末を0.2〜30重量%を加え、窒素雰囲気中におい
1500〜2000℃で焼結することによりCeで安
定化されたα−サイアロンを含有するサイアロン焼結体
の製造法である。
That is, the present invention is based on Si 3 N 4 -AlN
0.2 to 30% by weight of α-sialon powder was added to the mixed powder of the —Al 2 O 3 —CeO 2 system, and α was stabilized with Ce by sintering at 1500 to 2000 ° C. in a nitrogen atmosphere. A method for producing a sialon sintered body containing sialon.

【0011】また、本発明は、原料粉末中の窒化ケイ素
(Si34):窒化アルミニウム(AlN):アルミナ
(Al23):酸化セリウム(CeO2)がモル比で3
〜12:4〜6:0〜0.5:1の範囲内である上記の
サイアロン焼結体の製造法である。
Further, according to the present invention, silicon nitride (Si 3 N 4 ): aluminum nitride (AlN): alumina (Al 2 O 3 ): cerium oxide (CeO 2 ) in the raw material powder is 3 in molar ratio.
It is a manufacturing method of the said sialon sintered compact which is within the range of -12: 4-6: 0-0.5: 1.

【0012】また、本発明は、Ceで安定化されたα−
サイアロン以外の物質がβ−サイアロンおよび粒界のガ
ラス相からなる上記のサイアロン焼結体の製造法であ
る。
The present invention also relates to Ce-stabilized α-
It is a method for producing the above sialon sintered body, in which the substance other than sialon is β-sialon and the glass phase of the grain boundary.

【0013】また、本発明は、プラズマ焼結炉を用い、
1気圧以下の窒素中で1500〜1850℃において1
〜60分間焼結する上記のサイアロン焼結体の製造法で
ある。
The present invention also uses a plasma sintering furnace,
1 at 1500 to 1850 ° C in nitrogen at 1 atm or less
It is a method for producing the above-mentioned sialon sintered body, which is carried out for 60 minutes.

【0014】また、本発明は、1気圧の窒素中で165
0〜1850℃で常圧焼結またはホットプレス焼結する
上記のサイアロン焼結体の製造法である。
The present invention also provides 165 in 1 atmosphere of nitrogen.
It is a method for producing the above sialon sintered body, which is pressureless sintering or hot press sintering at 0 to 1850 ° C.

【0015】また、本発明は、加圧窒素下で焼結する際
に、2気圧の窒素中で1650〜1750℃、5気圧の
窒素中で1750〜1850℃、10気圧の窒素中で1
850〜2000℃の温度範囲のいずれかにおいてガス
圧焼結する上記のサイアロン焼結体の製造法である。
In the present invention, when sintering is carried out under pressure nitrogen , 1650 to 1750 ° C. in nitrogen at 2 atm and 1750 to 1850 ° C. in nitrogen at 5 atm and 1 nitrogen in nitrogen at 10 atm.
It is a method for producing the above sialon sintered body, which comprises gas pressure sintering in any of the temperature ranges of 850 to 2000 ° C.

【0016】[0016]

【発明の実施の形態】以下、本発明について詳細に述べ
る.原料粉末は、Si34−AlN−Al23−CeO
2 系とする。CeO2は高温で熱分解し、Ce23とな
り、他の3価のランタニド金属と同様に、ある組成範囲
内で固溶体を形成することができる。その組成範囲は、
モル比でそれぞれ3〜12:4〜6:0〜0.5:1と
する。この組成比の範囲外では、焼結体内にα−サイア
ロンは生成せず、β−サイアロンまたはβ−Si3 4
が主成分の焼結体となる。
BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION The present invention is described in detail below. Raw material powder, Si 3 N 4 -AlN-Al 2 O 3 -CeO
Set to 2 series. CeO 2 is thermally decomposed at a high temperature to Ce 2 O 3 and, like other trivalent lanthanide metals, can form a solid solution within a certain composition range. Its composition range is
The molar ratio is 3 to 12: 4 to 6: 0 to 0.5: 1, respectively. Outside this composition ratio range, α-sialon is not formed in the sintered body, and β-sialon or β-Si 3 N 4 is not produced.
Is the main component of the sintered body.

【0017】さらに、原料を上記組成範囲内に制御して
高温焼結してもα−サイアロンは生成しない。Ce−α
−サイアロンが生成しないのは、Ce3+イオンの半径が
大きすぎるためその構造が不安定であると考えられて来
た。そこで、予め合成したα−サイアロンを0.2〜3
0重量%添加するとCeが固溶したα−サイアロンがそ
の上に成長する。
Further, α-sialon is not formed even if the raw materials are controlled within the above composition range and sintered at high temperature. Ce-α
The reason why sialon is not produced has been considered to be that the structure is unstable because the radius of Ce 3+ ions is too large. Therefore, 0.2 to 3 of the previously synthesized α-sialon was used.
When 0% by weight is added, α-sialon in which Ce is solid-dissolved grows on it.

【0018】本発明で明らかにしたように、核形成のた
めに大きな活性化エネルギーが必要であり、核形成段階
が律速であったために生成できなかつたものと考えられ
る。核はα−サイアロンであればよい。添加するα−サ
イアロンが0.2重量%以下では添加の効果がなく、3
0重量%以上では製品が高価となる。望ましい量は3〜
10重量%である。
As is clear from the present invention, a large activation energy is required for nucleation, and it is considered that generation was impossible because the nucleation step was rate-determining. The nucleus may be α-sialon. If the amount of α-sialon added is 0.2% by weight or less, the effect of the addition will not be obtained, and 3
If it is 0% by weight or more, the product becomes expensive. Desirable amount is 3 ~
It is 10% by weight.

【0019】Ce−α−サイアロンは高硬度と予想され
るので、焼結体内の含有率は高いほど望ましい。しか
し、現状では結晶相としてα−サイアロンのみの焼結体
は得られない。残りはβ−サイアロンおよび粒界に残存
するガラス相となる。従来の報告のように、高温焼結で
熱分解が進むと、α−サイアロンやβ−サイアロンのみ
でなく耐酸化性や耐摩耗性の劣る21R等のポリタイプ
が副生する。この21Rの生成を抑制するには、焼結過
程で熱分解が進行するのを抑制するため十分な窒素ガス
圧下で加熱する必要がある。
Since Ce-α-sialon is expected to have high hardness, the higher the content in the sintered body, the more desirable. However, at present, a sintered body containing only α-sialon as a crystal phase cannot be obtained. The rest is the β-sialon and the glass phase remaining at the grain boundaries. As previously reported, when thermal decomposition proceeds at high temperature sintering, not only α-sialon and β-sialon but also polytypes such as 21R having poor oxidation resistance and wear resistance are by-produced. In order to suppress the production of 21R, it is necessary to heat under a sufficient nitrogen gas pressure in order to suppress the progress of thermal decomposition in the sintering process.

【0020】焼結法は、焼結および反応が十分進行し、
かつ21Rの生成が抑制できればよいが、プラズマ焼
結、ホットプレス、常圧焼結、ガス圧焼結が適当であ
る。プラズマ焼結は急速加熱が可能なので、比較的低温
・短時間の焼結で高密度化できる。プラズマ焼結は、1
気圧以下の窒素中で1500〜1850℃、好ましくは
1600〜1850℃に1〜60分焼結するが、低温ほ
ど長時間加熱する必要がある。1600〜1700℃で
は45〜60分、1700〜1800℃では10〜30
分、1850℃では1〜10分程度である。
In the sintering method, sintering and reaction proceed sufficiently,
In addition, plasma sintering, hot pressing, atmospheric pressure sintering, and gas pressure sintering are suitable as long as the generation of 21R can be suppressed. Since plasma sintering can be rapidly heated, it can be densified by relatively low temperature and short time sintering. Plasma sintering is 1
Sintering is performed at 1500 to 1850 ° C., preferably 1600 to 1850 ° C. in nitrogen under atmospheric pressure for 1 to 60 minutes, but it is necessary to heat at a lower temperature for a longer time. 45 to 60 minutes at 1600 to 1700 ° C, 10 to 30 at 1700 to 1800 ° C
1 minute at 1850 ° C.

【0021】ホットプレスや常圧焼結法では、1気圧の
窒素中で1650〜1850℃で焼結する。ガス圧焼結
では、高温で焼結するほど雰囲気の窒素圧を高圧にする
必要がある。2気圧の窒素中で1650〜1750℃、
5気圧の窒素中で1750〜1850℃、10気圧の窒
素中で1850〜2000℃の温度範囲が望ましい。
In the hot pressing or atmospheric pressure sintering method, sintering is performed at 1650 to 1850 ° C. in nitrogen at 1 atm. In gas pressure sintering, it is necessary to increase the nitrogen pressure in the atmosphere so that the sintering is performed at a higher temperature. 1650 to 1750 ° C in nitrogen at 2 atm,
A temperature range of 1750 to 1850 ° C. in nitrogen at 5 atmospheres and a temperature range of 1850 to 2000 ° C. in nitrogen at 10 atmospheres is desirable.

【0022】[0022]

【実施例】以下、実施例を挙げてさらに具体的に本発明
を説明する。 実施例1〜3 市販されているβ型微粉末(電気化学製、SN−P21
FC)から沈降法および遠心分級により平均粒径0.2
5ミクロンの微粉を分離した。この粉末13モルに窒化
アルミニウム9モルと酸化セリウム(CeO2)2モル
を加えた。さらに、この粉末に表1に示す各実施例ごと
の量のY−α−サイアロン粉末(宇部興産製、SN−S
Y5)を添加し、ヘキサンを溶媒として分散した後、窒
化ケイ素製の遊星型ボールミルで2時間混合した。
EXAMPLES The present invention will be described more specifically with reference to examples. Examples 1-3 Commercially available β-type fine powder (manufactured by Denki Kagaku, SN-P21
FC) by sedimentation method and centrifugal classification 0.2
A 5 micron fine powder was separated. To 13 mol of this powder, 9 mol of aluminum nitride and 2 mol of cerium oxide (CeO 2 ) were added. Furthermore, Y-α-sialon powder (manufactured by Ube Industries, SN-S manufactured by Ube Industries, Ltd.) in the amount of each example shown in Table 1 was added to this powder.
Y5) was added and dispersed with hexane as a solvent, and then mixed with a planetary ball mill made of silicon nitride for 2 hours.

【0023】混合物を乾燥後、黒鉛型の内部にBNを塗
布し、上下にカーボン膜つけ300気圧のプレス圧下に
おいて、1気圧の窒素中で放電プラズマを発生させて加
熱焼結した。加熱および冷却速度は約300℃/分であ
った。
After the mixture was dried, BN was applied to the inside of a graphite mold, carbon films were applied on the top and bottom, and a discharge plasma was generated in nitrogen of 1 atm under a pressing pressure of 300 atm to perform heat sintering. The heating and cooling rate was about 300 ° C / min.

【0024】焼結体の相対密度は99%以上であった。
焼結体内の結晶相は粉砕した試料をX線回折で調べ、す
べてα−サイアロンやβ−サイアロンのみであることを
確認した。硬度は、ダイヤモンド(ビッカース)圧子を
1kgの荷重で押し込んで測定した。結果は、表1に示
すように、すべて窒化ケイ素系材料の15〜16GPa
より高い値が得られた。
The relative density of the sintered body was 99% or more.
As for the crystal phase in the sintered body, the crushed sample was examined by X-ray diffraction, and it was confirmed that all were only α-sialon and β-sialon. The hardness was measured by pressing a diamond (Vickers) indenter with a load of 1 kg. As shown in Table 1, the results are 15-16 GPa of all silicon nitride-based materials.
Higher values were obtained.

【0025】[0025]

【表1】 [Table 1]

【0026】実施例4〜6 市販されているα型微粉末(宇部興産製、SN−E1
0)、実施例1に使用した窒化アルミニウムと酸化セリ
ウム(CeO2 )およびアルミナ(住友化学製、AKP
−20)を所定比に混合した。さらに、この粉末に所定
量のY−α−サイアロン(宇部興産製、SN−SY5)
を添加し、ヘキサンを溶媒として分散した後、窒化ケイ
素製の遊星型ボールミルで2時間混合した。混合物を乾
燥後、表2に示す焼結法で処理した。
Examples 4 to 6 Commercially available α type fine powder (manufactured by Ube Industries, SN-E1)
0), aluminum nitride and cerium oxide (CeO 2 ) and alumina used in Example 1 (manufactured by Sumitomo Chemical, AKP
-20) was mixed in a predetermined ratio. Furthermore, a predetermined amount of Y-α-sialon (SN-SY5 manufactured by Ube Industries, Ltd.) was added to this powder.
Was added and dispersed with hexane as a solvent, and then mixed with a planetary ball mill made of silicon nitride for 2 hours. After the mixture was dried, it was treated by the sintering method shown in Table 2.

【0027】[0027]

【表2】 [Table 2]

【0028】ホットブレス法ではBNを塗布した黒鉛型
に充填し、200気圧のプレス圧を加えた。雰囲気の窒
素圧は、ホットプレスおよび常圧焼結では1気圧、ガス
圧焼結では10気圧とした。加熱速度は30℃/分であ
った。焼結法および焼結条件は表2に示した。結果は表
3に示すように、高硬度のCe−α−サイアロンが得ら
れた。
In the hot breath method, a graphite mold coated with BN was filled and a pressing pressure of 200 atm was applied. The nitrogen pressure of the atmosphere was 1 atm for hot pressing and atmospheric pressure sintering, and 10 atm for gas pressure sintering. The heating rate was 30 ° C / min. The sintering method and sintering conditions are shown in Table 2. As a result, as shown in Table 3, high hardness Ce-α-sialon was obtained.

【0029】[0029]

【表3】 [Table 3]

【0030】比較例 実施例1および4の原料粉末にα−サイアロン粉末を添
加せず、実施例1と同じ条件でプラズマ焼結すると、相
対密度が99%以上の焼結体となった。X線回折で結晶
組成を調べると、β−サイアロンのみであった。このよ
うに、核となるα−サイアロンを添加しないとCe−α
−サイアロンは全く生成しなかった。
Comparative Example When plasma sintering was performed under the same conditions as in Example 1 without adding α-sialon powder to the raw material powders of Examples 1 and 4, a sintered body having a relative density of 99% or more was obtained. When the crystal composition was examined by X-ray diffraction, it was only β-sialon. In this way, if the core α-sialon is not added, Ce-α
-No sialon was produced.

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 特開 昭62−46966(JP,A) 特開 平2−263764(JP,A) 特開 平8−208341(JP,A) (58)調査した分野(Int.Cl.7,DB名) C04B 35/599 ─────────────────────────────────────────────────── ─── Continuation of front page (56) References JP-A-62-46966 (JP, A) JP-A-2-263764 (JP, A) JP-A-8-208341 (JP, A) (58) Field (Int.Cl. 7 , DB name) C04B 35/599

Claims (6)

(57)【特許請求の範囲】(57) [Claims] 【請求項1】 Si −AlN−Al O −C
eO 系の混合粉末に、α−サイアロン粉末を0.2〜
30重量%を加え、窒素雰囲気中において焼結すること
を特徴とするCeで安定化されたα−サイアロンを含有
するサイアロン焼結体の製造法。
1. Si 3 N 4 —AlN—Al 2 O 3 —C
To the mixed powder of eO 2 system, 0.2 to α-sialon powder
Add 30 wt% and sinter in nitrogen atmosphere
Containing Ce-stabilized α-sialon characterized by
Sialon sintered body manufacturing method.
【請求項2】 原料粉末中の窒化ケイ素(Si34):
窒化アルミニウム(AlN):アルミナ(Al23):
酸化セリウム(CeO2)がモル比で3〜12:4〜
6:0〜0.5:1の範囲内である請求項1記載のサイ
アロン焼結体の製造法。
2. Silicon nitride (Si 3 N 4 ) in the raw material powder:
Aluminum Nitride (AlN): Alumina (Al 2 O 3 ):
Cerium oxide (CeO 2 ) in a molar ratio of 3 to 12: 4
The method for producing a sialon sintered body according to claim 1, which is in the range of 6: 0 to 0.5: 1.
【請求項3】 Ceで安定化されたα−サイアロン以外
の物質がβ−サイアロンおよび粒界のガラス相からなる
請求項1記載のサイアロン焼結体の製造法。
3. The method for producing a sialon sintered body according to claim 1, wherein the substance other than the α-sialon stabilized with Ce comprises β-sialon and a glass phase of a grain boundary.
【請求項4】 プラズマ焼結炉を用い、1気圧以下の窒
素中で1500〜1850℃において1〜60分間焼結
する請求項1記載のサイアロン焼結体の製造法。
4. The method for producing a sialon sintered body according to claim 1, wherein the sintering is performed in a nitrogen atmosphere at 1 atm or less at 1500 to 1850 ° C. for 1 to 60 minutes using a plasma sintering furnace.
【請求項5】 1気圧の窒素中で1650〜1850℃
で常圧焼結またはホットプレス焼結する請求項1記載の
サイアロン焼結体の製造法。
5. 1650 to 1850 ° C. in 1 atmosphere of nitrogen
The method for producing a sialon sintered body according to claim 1, wherein the pressureless sintering or hot press sintering is performed.
【請求項6】 加圧窒素下で焼結する際に、2気圧の窒
素中で1650〜1750℃、5気圧の窒素中で175
0〜1850℃、10気圧の窒素中で1850〜200
0℃の温度範囲のいずれかにおいてガス圧焼結する請求
項1記載のサイアロン焼結体の製造法。
6. When sintering under pressure nitrogen, nitrogen pressure of 2 atm is used.
1650 to 1750 ° C in nitrogen, 175 in nitrogen at 5 atm
0 to 1850 ° C, 1850 to 200 in nitrogen at 10 atm
The method for producing a sialon sintered body according to claim 1, wherein gas pressure sintering is performed in any of the temperature ranges of 0 ° C.
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