JP3455083B2 - 接触センサおよびその取付構造 - Google Patents
接触センサおよびその取付構造Info
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Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】この発明は、被測定物の有無
を検出する３次元スキャナー等に使用される接触センサ
およびその取付構造に関するものである。
を検出する３次元スキャナー等に使用される接触センサ
およびその取付構造に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】従来から、接触子の先端で被測定物の表
面をなぞりその有無および外形を検出する３次元スキャ
ナー等が開発されており、その検出部には、接触センサ
が用いられている。このような接触センサとして、特開
平８−２１０８０５号公報に開示されているものがあ
る。
面をなぞりその有無および外形を検出する３次元スキャ
ナー等が開発されており、その検出部には、接触センサ
が用いられている。このような接触センサとして、特開
平８−２１０８０５号公報に開示されているものがあ
る。
【０００３】この接触センサは、図７に示すように、箱
型のケース１の内部に断面形状がＬ字状の取付台座２が
設けられ、その取付台座２上に、ゴム製の固定部材３を
介して接触センサ４が固定されている。この接触センサ
４は、振動板５の下面に圧電素子６が貼着され、その下
面に駆動電極７と検出電極８が設けられている。
型のケース１の内部に断面形状がＬ字状の取付台座２が
設けられ、その取付台座２上に、ゴム製の固定部材３を
介して接触センサ４が固定されている。この接触センサ
４は、振動板５の下面に圧電素子６が貼着され、その下
面に駆動電極７と検出電極８が設けられている。
【０００４】そして、この駆動電極７と検出電極８から
は、それぞれ引き出し線９，１０がケース１の一方側外
部に向けて延設されている。また、振動板５は、圧電素
子６の電極を兼ねており、この振動板５からは、ケース
１の一方側外部に向けて引き出し線１１が延設されてい
る。
は、それぞれ引き出し線９，１０がケース１の一方側外
部に向けて延設されている。また、振動板５は、圧電素
子６の電極を兼ねており、この振動板５からは、ケース
１の一方側外部に向けて引き出し線１１が延設されてい
る。
【０００５】また、上記振動板５の上面における中央部
からは、ケース１の他方側外部に向けて線状の接触子１
２が延びている。したがって、駆動電極７に交流信号を
加えて圧電素子６を振動させると、検出電極８には、そ
の振動の大きさに比例した電圧の交流信号が発生する。
その状態で、接触子１２の先端を被測定物に接触させ
て、上記振動板５の振動を抑制することにより被測定物
の有無を検出できるというものである。
からは、ケース１の他方側外部に向けて線状の接触子１
２が延びている。したがって、駆動電極７に交流信号を
加えて圧電素子６を振動させると、検出電極８には、そ
の振動の大きさに比例した電圧の交流信号が発生する。
その状態で、接触子１２の先端を被測定物に接触させ
て、上記振動板５の振動を抑制することにより被測定物
の有無を検出できるというものである。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】上記のような接触セン
サ４における振動板５や圧電素子６の部分は、一般的な
家庭用品に用いられる圧電ブザーと同様の構成からなっ
ている。したがって、このような接触センサ４の場合、
印加電圧が大きいと振動板５がブザー音を出し作業者が
不快感を感じるという問題がある。
サ４における振動板５や圧電素子６の部分は、一般的な
家庭用品に用いられる圧電ブザーと同様の構成からなっ
ている。したがって、このような接触センサ４の場合、
印加電圧が大きいと振動板５がブザー音を出し作業者が
不快感を感じるという問題がある。
【０００７】また、振動板５および圧電素子６は振動の
際、図８に示した破線ａ，ｂのように、上下にたわみを
反転させながら、接触子１２を揺動させるようになって
いる。しかしながら、接触子１２の根本側端部が振動板
５の中央部に固定されているため、振動板５と圧電素子
６の振幅が大きい割には接触子１２の先端側の揺動の振
幅はそれほど大きくはならない。
際、図８に示した破線ａ，ｂのように、上下にたわみを
反転させながら、接触子１２を揺動させるようになって
いる。しかしながら、接触子１２の根本側端部が振動板
５の中央部に固定されているため、振動板５と圧電素子
６の振幅が大きい割には接触子１２の先端側の揺動の振
幅はそれほど大きくはならない。
【０００８】その結果、印加電圧が大きいと前述したよ
うに不快音を発生し、印加電圧が小さいと接触子１２が
あまり振動せず、その先端に接触する被測定物の検出が
できなくなるという問題が生じている。また、接触子１
２が振動する際、その胴部が振動板５の縁部に接触し、
この接触によって接触子１２に適正な振動を与えること
が妨げられる。その結果、センサとしての機能が低下す
るという問題も生じている。これを避けるためには、接
触子の根本側をＬ字状に折り曲げて形状を変える等の面
倒な加工作業が必要となってくる。
うに不快音を発生し、印加電圧が小さいと接触子１２が
あまり振動せず、その先端に接触する被測定物の検出が
できなくなるという問題が生じている。また、接触子１
２が振動する際、その胴部が振動板５の縁部に接触し、
この接触によって接触子１２に適正な振動を与えること
が妨げられる。その結果、センサとしての機能が低下す
るという問題も生じている。これを避けるためには、接
触子の根本側をＬ字状に折り曲げて形状を変える等の面
倒な加工作業が必要となってくる。
【０００９】また、上記の例では、接触センサ４を取付
台座２に固定する固定部材３がゴム製であるため、強度
や耐久性が劣るという問題もある。さらに、ゴム製の固
定部材３で振動板５を確実に固定することは困難である
ため、振動の際に、振動板５が不安定になる。これによ
り、上記と同様、接触子１２に適正な振動を与えること
が妨げられるという問題が生じるようになる。
台座２に固定する固定部材３がゴム製であるため、強度
や耐久性が劣るという問題もある。さらに、ゴム製の固
定部材３で振動板５を確実に固定することは困難である
ため、振動の際に、振動板５が不安定になる。これによ
り、上記と同様、接触子１２に適正な振動を与えること
が妨げられるという問題が生じるようになる。
【００１０】この発明は、このような事情に鑑みなされ
たもので、ブザー音が生じない程度の振動板の振動で十
分に被測定物の検出ができ、かつ、その精度がよく、さ
らに、接触子の振動板への取り付けが容易になる接触セ
ンサ、および、振動板の固定を確実にすることによりさ
らに精度のよい被測定物の検出が行えるようになる上記
接触センサの取付構造の提供をその目的とする。
たもので、ブザー音が生じない程度の振動板の振動で十
分に被測定物の検出ができ、かつ、その精度がよく、さ
らに、接触子の振動板への取り付けが容易になる接触セ
ンサ、および、振動板の固定を確実にすることによりさ
らに精度のよい被測定物の検出が行えるようになる上記
接触センサの取付構造の提供をその目的とする。
【００１１】
【課題を解決するための手段】上記の目的を達成するた
め、この発明にかかる接触センサは、金属板の一面中央
側に、電圧が印加されることによって伸縮する圧電素子
を貼着して振動板を構成するとともに、この振動板にお
ける金属板の他面縁部側に接触子の根本側端部を取り付
けて構成されている。
め、この発明にかかる接触センサは、金属板の一面中央
側に、電圧が印加されることによって伸縮する圧電素子
を貼着して振動板を構成するとともに、この振動板にお
ける金属板の他面縁部側に接触子の根本側端部を取り付
けて構成されている。
【００１２】すなわち、この接触センサでは、接触子の
根本側端部を振動板における金属板の縁部側に取り付け
て、振動板の振幅が小さい場合でも接触子の先端の振動
幅が大きくなるようにするとともに、接触子の胴部が振
動板の縁部に接触しないようにしている。
根本側端部を振動板における金属板の縁部側に取り付け
て、振動板の振幅が小さい場合でも接触子の先端の振動
幅が大きくなるようにするとともに、接触子の胴部が振
動板の縁部に接触しないようにしている。
【００１３】したがって、印加電圧を小さくしてブザー
音が発生しないようにした状態でも、被測定物の確実な
検出ができるようになる。また、従来例のように、接触
子の胴部が振動板の縁部に接触することがなくなるた
め、その検出の精度が良好なものとなる。
音が発生しないようにした状態でも、被測定物の確実な
検出ができるようになる。また、従来例のように、接触
子の胴部が振動板の縁部に接触することがなくなるた
め、その検出の精度が良好なものとなる。
【００１４】また、上記接触センサの取付構造は、振動
板における金属板の縁部側を複数個のねじによって取付
部材に固定するようになっている。したがって、従来例
と比較して、取付部材への取り付けが強固になるととも
に、振動板が安定した振動をするようになり、検出精度
が向上するようになる。
板における金属板の縁部側を複数個のねじによって取付
部材に固定するようになっている。したがって、従来例
と比較して、取付部材への取り付けが強固になるととも
に、振動板が安定した振動をするようになり、検出精度
が向上するようになる。
【００１５】さらに、接触子の根本側端部の金属板への
取り付け位置を、複数個のねじのうちの隣り合った２個
のねじの略中央部になるようにすることにより、振動板
における振動の殆ど生じない固定部分から最も遠い位置
に接触子が取り付けられるようになる。その結果、金属
板の縁部における最も振動が伝達されやすい部分に、接
触子が取り付けられることになり、効果的な検出が可能
になる。
取り付け位置を、複数個のねじのうちの隣り合った２個
のねじの略中央部になるようにすることにより、振動板
における振動の殆ど生じない固定部分から最も遠い位置
に接触子が取り付けられるようになる。その結果、金属
板の縁部における最も振動が伝達されやすい部分に、接
触子が取り付けられることになり、効果的な検出が可能
になる。
【００１６】また、上記振動板の取付部材への取り付け
は、３個または２個のねじで行うことが好ましく、その
固定位置は、円板状の振動板に内接する略正三角形の角
部の３カ所または２カ所に対応する部分にすることが好
ましい。以下、この発明にかかる接触センサおよびその
接触センサの取付構造を図面を用いて詳しく説明する。
は、３個または２個のねじで行うことが好ましく、その
固定位置は、円板状の振動板に内接する略正三角形の角
部の３カ所または２カ所に対応する部分にすることが好
ましい。以下、この発明にかかる接触センサおよびその
接触センサの取付構造を図面を用いて詳しく説明する。
【００１７】
【発明の実施の形態】図１および図２は、この発明にか
かる接触センサの一例を示している。この接触センサ２
０では、黄銅からなる円板状の金属板２１の一方の面の
中央に、圧電セラミックス２２と電極２３からなる圧電
素子２４が貼着されている。そして、電極２３における
中央部から下端部にかけての部分が逆Ｕ字状に切りかか
れて、その部分に下部側の圧電セラミックス２２が露呈
している。
かる接触センサの一例を示している。この接触センサ２
０では、黄銅からなる円板状の金属板２１の一方の面の
中央に、圧電セラミックス２２と電極２３からなる圧電
素子２４が貼着されている。そして、電極２３における
中央部から下端部にかけての部分が逆Ｕ字状に切りかか
れて、その部分に下部側の圧電セラミックス２２が露呈
している。
【００１８】上記電極２３における逆Ｕ字状部分２２ａ
の外側部分は主電極２３ａを構成し、逆Ｕ字状部分２２
ａの内側部分は帰環電極２３ｂを構成している。また、
金属板２１はアース電極となっている。そして、この主
電極２３ａ，帰環電極２３ｂ，アース電極には、それぞ
れプリント基板（図示せず）に連結されるリード線２
５，２６，２７が接続されている。
の外側部分は主電極２３ａを構成し、逆Ｕ字状部分２２
ａの内側部分は帰環電極２３ｂを構成している。また、
金属板２１はアース電極となっている。そして、この主
電極２３ａ，帰環電極２３ｂ，アース電極には、それぞ
れプリント基板（図示せず）に連結されるリード線２
５，２６，２７が接続されている。
【００１９】上記圧電素子２４は、主電極２３ａと金属
板２１の間に電圧を印加すると、圧電効果により歪みが
生じるようになっており、この歪みによって圧電素子２
４が伸縮するようになる。そして、この圧電素子２４の
伸縮によって、金属板２１が振動するようになってお
り、この圧電素子２４と金属板２１とで振動板２８が形
成される。
板２１の間に電圧を印加すると、圧電効果により歪みが
生じるようになっており、この歪みによって圧電素子２
４が伸縮するようになる。そして、この圧電素子２４の
伸縮によって、金属板２１が振動するようになってお
り、この圧電素子２４と金属板２１とで振動板２８が形
成される。
【００２０】また、振動板２８の他方の面における下端
縁部側には、ステンレス製の針金からなる接触子２９の
根本側端部２９ａが半田付けによって固定されている。
この接触子２９は、上記振動板２８の振動により、図３
に示すように、鎖線ｃ，ｄ間で揺動する。なお、この図
３および図８では、接触子２９，１２の動きをわかりや
すく説明するためにオーバーにしているが、実際の動作
ではその先端部の振幅は、１μｍ程度である。
縁部側には、ステンレス製の針金からなる接触子２９の
根本側端部２９ａが半田付けによって固定されている。
この接触子２９は、上記振動板２８の振動により、図３
に示すように、鎖線ｃ，ｄ間で揺動する。なお、この図
３および図８では、接触子２９，１２の動きをわかりや
すく説明するためにオーバーにしているが、実際の動作
ではその先端部の振幅は、１μｍ程度である。
【００２１】このように構成された接触センサ２０は、
図４および図５に示したようにして取付部材３０に取り
付けられる。この取付部材３０は、図６に示した３次元
スキャナー３１のキャリッジ３２に取り付けられるもの
で、四角形の板状体からなっている。この取付部材３０
には、正三角形を描くようにして３個のねじ３３が貫通
しており、そのねじ部に、両端にねじ穴が設けられた３
個の長ナット３４のねじ穴の一方側が螺合して固定され
ている（図では、ねじ３３、長ナット３４ともに２個し
か見えない）。
図４および図５に示したようにして取付部材３０に取り
付けられる。この取付部材３０は、図６に示した３次元
スキャナー３１のキャリッジ３２に取り付けられるもの
で、四角形の板状体からなっている。この取付部材３０
には、正三角形を描くようにして３個のねじ３３が貫通
しており、そのねじ部に、両端にねじ穴が設けられた３
個の長ナット３４のねじ穴の一方側が螺合して固定され
ている（図では、ねじ３３、長ナット３４ともに２個し
か見えない）。
【００２２】そして、上記長ナット３４のねじ穴の他方
側にそれぞれねじ３５が螺合し、長ナット３４とねじ３
５の間に、振動板２８の縁部側部分が挟持されている。
なお、この場合、接触センサ２０は、接触子２９の根本
側端部２９ａが、下側の２個のねじ３５の中央に位置す
るようにして位置決めされている。また、上記取付部材
３０における左右両側には、キャリッジ３２に取り付け
るための２個のねじ挿通穴３６，３７が穿設されてい
る。
側にそれぞれねじ３５が螺合し、長ナット３４とねじ３
５の間に、振動板２８の縁部側部分が挟持されている。
なお、この場合、接触センサ２０は、接触子２９の根本
側端部２９ａが、下側の２個のねじ３５の中央に位置す
るようにして位置決めされている。また、上記取付部材
３０における左右両側には、キャリッジ３２に取り付け
るための２個のねじ挿通穴３６，３７が穿設されてい
る。
【００２３】この取付部材３０が取り付けられる３次元
スキャナー３１は、図６に示すように、キャリッジ３２
が水平方向に平行に延びる２本のレール３８，３９に沿
って左右（Ｘ方向）に移動可能になっている。そして、
被測定物４０を固定するテーブル４１が、レール（図で
は隠れて見えない。）に沿って前後（Ｙ方向）に移動可
能になっている。
スキャナー３１は、図６に示すように、キャリッジ３２
が水平方向に平行に延びる２本のレール３８，３９に沿
って左右（Ｘ方向）に移動可能になっている。そして、
被測定物４０を固定するテーブル４１が、レール（図で
は隠れて見えない。）に沿って前後（Ｙ方向）に移動可
能になっている。
【００２４】また、キャリッジ３２には、縦方向に平行
に延びる２本のレール４２，４３が設けられ、このレー
ル４２，４３に沿って固定部材４４が上下（Ｚ方向）に
移動可能な状態で取り付けられている。そして、この固
定部材４４に、接触センサ２０が取り付けられた取付部
材３０がねじ穴３６，３７を挿通する２個のねじ４５を
介して固定されている。
に延びる２本のレール４２，４３が設けられ、このレー
ル４２，４３に沿って固定部材４４が上下（Ｚ方向）に
移動可能な状態で取り付けられている。そして、この固
定部材４４に、接触センサ２０が取り付けられた取付部
材３０がねじ穴３６，３７を挿通する２個のねじ４５を
介して固定されている。
【００２５】したがって、接触センサ２０の接触子２９
は、被測定物４０に対して、相対的に、Ｘ，Ｙ，Ｚ方向
に移動可能になっている。また、この接触子２９は、振
動した状態で、その先端部が被測定物４０に接触する
と、その振動が制止されるようになっている。
は、被測定物４０に対して、相対的に、Ｘ，Ｙ，Ｚ方向
に移動可能になっている。また、この接触子２９は、振
動した状態で、その先端部が被測定物４０に接触する
と、その振動が制止されるようになっている。
【００２６】この構成において、上記３次元スキャナー
３１で、被測定物４０の検出を行う場合には、まず、接
触センサ２０を取付部材３０に取り付けるとともに、そ
の取付部材３０をキャリッジ３２の固定部材４４に固定
する。ついで、テーブル４１上に被測定物４０を固定す
る。
３１で、被測定物４０の検出を行う場合には、まず、接
触センサ２０を取付部材３０に取り付けるとともに、そ
の取付部材３０をキャリッジ３２の固定部材４４に固定
する。ついで、テーブル４１上に被測定物４０を固定す
る。
【００２７】そして、リード線２５，２７を介して、３
次元スキャナー３１の制御部から送られてくる信号をも
とに圧電素子２４に電圧を印加することにより圧電素子
２４を伸縮させ、振動板２８を振動させる。その結果、
接触子２９は小刻みに振動するようになる。その状態
で、キャリッジ３２，テーブル４１，固定部材４４をそ
れぞれ所定の方向に移動させることにより、接触子２９
の先端を被測定物４０の表面における所定の部分に接触
させる。
次元スキャナー３１の制御部から送られてくる信号をも
とに圧電素子２４に電圧を印加することにより圧電素子
２４を伸縮させ、振動板２８を振動させる。その結果、
接触子２９は小刻みに振動するようになる。その状態
で、キャリッジ３２，テーブル４１，固定部材４４をそ
れぞれ所定の方向に移動させることにより、接触子２９
の先端を被測定物４０の表面における所定の部分に接触
させる。
【００２８】その結果、接触子２９の振動が止まり、同
時に振動板２８の振動も停止するようになる。なお、帰
環電極２３ｂは、圧電素子２４が振動する際に発生する
電圧を感知しデータとしてフィードバックするようにな
っており、この電圧の変化によって、接触子２９が被測
定物４０に接触したことがわかるようになっている。
時に振動板２８の振動も停止するようになる。なお、帰
環電極２３ｂは、圧電素子２４が振動する際に発生する
電圧を感知しデータとしてフィードバックするようにな
っており、この電圧の変化によって、接触子２９が被測
定物４０に接触したことがわかるようになっている。
【００２９】この接触子２９と被測定物４０の接触点を
座標上の点として求めておく。そして、さらに、接触子
２９と被測定物４０の相対的位置を少し変えて同様の操
作を行うことにより、次の接触点を求める。これを順次
行って、被測定物４０の表面全面にわたる接触点を座標
上の点として求めることにより、被測定物４０の形状デ
ータを得ることができる。
座標上の点として求めておく。そして、さらに、接触子
２９と被測定物４０の相対的位置を少し変えて同様の操
作を行うことにより、次の接触点を求める。これを順次
行って、被測定物４０の表面全面にわたる接触点を座標
上の点として求めることにより、被測定物４０の形状デ
ータを得ることができる。
【００３０】この場合、振動板２８から接触子２９に振
動が敏感に伝達されるため、圧電素子２４に印加する電
圧を小さくしても、被測定物４０の確実な検出ができる
ようになる。また、その検出の精度も良好なものとな
る。さらに、この例で使用する接触センサ２０における
振動板２８は、一般に使用される圧電ブザーの振動板と
同様の構成であるため、この振動板を利用することもで
きる。これによって、安価につき、経済的な効果も奏し
うるようになる。
動が敏感に伝達されるため、圧電素子２４に印加する電
圧を小さくしても、被測定物４０の確実な検出ができる
ようになる。また、その検出の精度も良好なものとな
る。さらに、この例で使用する接触センサ２０における
振動板２８は、一般に使用される圧電ブザーの振動板と
同様の構成であるため、この振動板を利用することもで
きる。これによって、安価につき、経済的な効果も奏し
うるようになる。
【００３１】なお、上記例にかかる取付構造では、接触
センサ２０の取付部材３０への取り付けを等間隔に配置
されたそれぞれ３個のねじ３３，長ナット３４，ねじ３
５で行っているが、これに限定するものでなく、それぞ
れが２個でもよいし、３個より多くともよい。実験によ
ると、２個の場合には、上記例における三角形の頂部に
相当する位置のねじ３５等を除いた場合に、良好な結果
を得ることができた。
センサ２０の取付部材３０への取り付けを等間隔に配置
されたそれぞれ３個のねじ３３，長ナット３４，ねじ３
５で行っているが、これに限定するものでなく、それぞ
れが２個でもよいし、３個より多くともよい。実験によ
ると、２個の場合には、上記例における三角形の頂部に
相当する位置のねじ３５等を除いた場合に、良好な結果
を得ることができた。
【００３２】
【発明の効果】以上のように、この発明にかかる接触セ
ンサは、金属板の縁部側に接触子の根本側端部を取り付
けているため、ブザー音が発生しないように印加電圧を
小さくしても、被測定物の確実な検出ができるようにな
る。また、接触子の胴部が振動板の縁部に接触すること
がなくなるため、その検出の精度が良好なものとなる。
ンサは、金属板の縁部側に接触子の根本側端部を取り付
けているため、ブザー音が発生しないように印加電圧を
小さくしても、被測定物の確実な検出ができるようにな
る。また、接触子の胴部が振動板の縁部に接触すること
がなくなるため、その検出の精度が良好なものとなる。
【００３３】また、接触センサは、複数個のねじによっ
て、取付部材に固定されるため、取付構造が強固になる
とともに、振動板が安定した振動を発生するようにな
る。これによって、検出の精度がさらに向上するように
なる。さらに、接触子の金属板への取り付け位置が隣合
った２個のねじの略中央部になるようにしているため、
振動板の振動が効率よく接触子に伝達されるようにな
り、被測定物の効果的な検出が可能になる。
て、取付部材に固定されるため、取付構造が強固になる
とともに、振動板が安定した振動を発生するようにな
る。これによって、検出の精度がさらに向上するように
なる。さらに、接触子の金属板への取り付け位置が隣合
った２個のねじの略中央部になるようにしているため、
振動板の振動が効率よく接触子に伝達されるようにな
り、被測定物の効果的な検出が可能になる。
【図１】この発明の一例による接触センサを示す背面図
である。
である。
【図２】接触センサの正面図である。
【図３】接触子が振動する状態を示す説明図である。
【図４】接触センサを取付部材に取り付けた状態を示す
正面図である。
正面図である。
【図５】接触センサを取付部材に取り付けた状態を示す
側面図である。
側面図である。
【図６】接触センサが取り付けられる３次元スキャナー
の要部を示す正面図である。
の要部を示す正面図である。
【図７】従来例による接触センサを示す断面図である。
【図８】従来例による接触センサが振動する状態を示す
説明図である。
説明図である。
２０ …接触センサ
２１ …金属板
２４ …圧電素子
２８ …振動板
２９ …接触子
２９ａ…根本側端部
３０ …取付部材
３３，３５…ねじ
３４ …長ナット
４０ …被測定物
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(56)参考文献 特開 平８−210805（ＪＰ，Ａ)
特開 昭56−162072（ＪＰ，Ａ)
特開 昭54−31776（ＪＰ，Ａ)
特開 昭53−47858（ＪＰ，Ａ)
(58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名)
G01B 7/00
G01B 21/00
Claims (2)
- 【請求項１】 被測定物に対して相対的にＸ，Ｙ，Ｚ方
向に移動する取付部材に取り付けられ、接触子の先端を
被測定物に接触させてその検出を行う接触センサであっ
て、 金属板の一面中央側に、電圧が印加されることによって
伸縮する圧電素子を貼着して振動板を構成するととも
に、上記金属板の他面縁部側に線状の接触子の根本側端
部を取り付けてその先端部を外側に突出させ、所定間隔に保たれた複数個のねじによって、上記接触セ
ンサにおける金属板の縁部が取付部材に固定され、接触
子の根本側端部の金属板への取り付け位置が上記複数個
のねじのうちの隣り合った２個のねじの略中央部になる
ように構成し、 上記圧電素子に電圧を印加し圧電素子を伸縮させること
によって上記振動板を振動させ、その状態で上記取付部
材を移動させ上記接触子の先端を被測定物に接触させて
上記振動を抑制することにより被測定物の検出を行うよ
うにしたことを特徴とする接触センサ。 - 【請求項２】 振動板が円板状に形成され、この振動板
の取付部材への取り付けが、振動板に内接する略正三角
形の角部の３カ所または２カ所に対応する部分をねじで
固定することによってなされている請求項１に記載の接
触センサの取付構造。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP28302597A JP3455083B2 (ja) | 1997-09-29 | 1997-09-29 | 接触センサおよびその取付構造 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP28302597A JP3455083B2 (ja) | 1997-09-29 | 1997-09-29 | 接触センサおよびその取付構造 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH11101603A JPH11101603A (ja) | 1999-04-13 |
| JP3455083B2 true JP3455083B2 (ja) | 2003-10-06 |
Family
ID=17660257
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP28302597A Expired - Fee Related JP3455083B2 (ja) | 1997-09-29 | 1997-09-29 | 接触センサおよびその取付構造 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3455083B2 (ja) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007040940A (ja) * | 2005-08-05 | 2007-02-15 | Roland Dg Corp | 接触式触覚センサの制御方法およびそのシステム |
| JP5032235B2 (ja) * | 2007-08-02 | 2012-09-26 | 株式会社ミツトヨ | 共振センサの測定位置検出方法及び装置 |
-
1997
- 1997-09-29 JP JP28302597A patent/JP3455083B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH11101603A (ja) | 1999-04-13 |
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