JP3454015B2 - 流動床式生物処理装置 - Google Patents
流動床式生物処理装置Info
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- Y02W—CLIMATE CHANGE MITIGATION TECHNOLOGIES RELATED TO WASTEWATER TREATMENT OR WASTE MANAGEMENT
- Y02W10/00—Technologies for wastewater treatment
- Y02W10/10—Biological treatment of water, waste water, or sewage
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- Biological Treatment Of Waste Water (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】この発明は有機物濃度（ＴＯ
Ｃ）や、アンモニア濃度が高い廃水を処理する流動床式
生物処理装置に関する。 【０００２】 【従来の技術】半導体や液晶等の製造工場では、製品の
洗浄に超純水を使用しているが、近年取水量や排水量の
規制によって、本特許出願人の先願の特願平８−１８０
３８号でも説明したが、図２に示すように、その洗浄廃
水を回収し、ｐＨ調整槽１でｐＨを中性化し、次いでポ
ンプにより流動床式生物処理装置２に供給して廃水中に
イソプロピルアルコール、メタノール、酢酸、アセトン
等の有機物（ＴＯＣ）や、ＮＨ4＋を分解除去し、その
処理水のタンク３から殺菌剤としてＣｌ2が連続的に供
給される殺菌槽に供給し、殺菌槽から限外濾過膜や精密
濾過膜等の膜分離装置５にポンプで加圧して供給するこ
とにより流動式生物処理装置からの菌体を分離し、膜を
透過した透過水を超純水製造用原水とし、超純水製造シ
ステムに送水している。尚、殺菌槽でのＣｌ2の連続添
加は、運転の継続によって後段の膜分離装置の膜面に菌
体が付着し、フラックスが低下するのを防止するためで
ある。 【０００３】従来、使用されている流動式生物処理装置
は、図３に示すように生物反応槽６と、酸素溶解槽８と
からなり、生物反応槽６は微生物を担持した粒状又はペ
レット状の活性炭による充填層７を有し、処理されるべ
き排水は充填層中を上向流で通水し、充填層を一定に展
開する。そして、酸素溶解槽８中には散気装置９を設
け、散気装置が水中に空気を曝気して水に溶存させ、循
環ポンプＰ１が酸素溶解槽中の溶存酸素を含む水を生物
反応槽６の底部に供給し、生物反応槽中の活性炭に付着
した微生物に酸素を補給する。 【０００４】 【発明が解決しようとする課題】洗浄廃水の再利用を積
極的に行うにつれ、洗浄水中のＴＯＣは、従来は高くて
も１〜２ｐｐｍであったものが、次第に多くなり、近年
では数１０ｐｐｍに達することがある。このように高濃
度の洗浄廃水を流動式生物処理装置で処理するには、廃
水中のＴＯＣに見合った量の溶存酸素を生物反応槽に供
給する必要があり、その対策として酸素溶解槽で飽和に
なった循環水の生物反応槽への供給量を増大する方法が
取られていた。しかし、生物反応槽に供給する循環水量
を増大させると、生物反応槽内の微生物を付着した坦体
である活性炭の展開率が大きくなり、活性炭がキャリー
オーバーして処理水に混ざって生物反応槽から流出する
という問題が生じる。又、循環水量を増大するためには
循環ポンプＰ１ に大容量のものが必要になり、設置コ
スト、ランニングコストが嵩む。 【０００５】このため、酸素溶解槽からの循環水量を増
大することなく、生物反応槽での溶存酸素量を増大する
ため、水に分解して酸素を発生する酸化剤としてオゾン
Ｏ3を洗浄廃水に添加し、生物反応槽での反応性、酸素
溶解率を検討した。オゾンが水に分解して酸素を発生す
る反応は、Ｏ3→Ｏ2＋Ｏ0で、酸素溶解率は改善された
が、それ自身の発生期の酸素（Ｏ0）によって坦体であ
る活性炭の表面に付着した微生物（菌体）が活性炭から
剥離して生物反応槽から処理水に混ざって流出し、処理
水の水質が著しく悪化した。 【０００６】 【課題を解決するための手段】そこで、本発明者等は、
酸化剤として過酸化水素（Ｈ2Ｏ2）を使用することによ
り生物反応槽への酸素供給量が増大し、生物反応槽の反
応も変化がなく、処理水質も安定していることを確認
し、本発明を開発したのである。 【０００７】 【発明の実施の形態】従って、この発明の流動床式生物
処理装置は、生物を付着した坦体を保有する流動床式生
物反応槽と、酸素溶解槽、過酸化水素を供給する手段を
有し、酸素溶解槽中の溶存酸素を含む水を生物反応槽に
供給して洗浄廃水を処理する流動床式生物処理装置であ
って、上記過酸化水素を供給する手段は、生物反応槽に
洗浄廃水を供給する供給管の途中にポンプで過酸化水素
を注入する注入管を接続し、該注入管の接続位置の上流
で、供給管にＴＯＣモニターを接続し、洗浄廃水のＴＯ
Ｃを該ＴＯＣモニターで計測し、洗浄廃水のＴＯＣに応
じて前記のポンプを制御し、過酸化水素の注入量を加減
するように構成して、生物反応槽に供給される洗浄廃水
自身が含む溶存酸素量と、上記生物反応槽への循環水に
よって補給される溶存酸素量とでは洗浄廃水のＴＯＣを
分解するのに不足する溶存酸素量を過酸化水素で補うよ
うにしたことを特徴とする。 【０００８】 【実施例】図１は、この発明による流動床式生物処理装
置の一実施例で、図３の従来装置と同様に生物反応槽６
と、酸素溶解槽８とからなり、生物反応槽６は微生物を
担持した粒状又はペレット状の活性炭による充填層７を
有し、処理されるべき排水は充填層中を上向流で通水
し、充填層を一定に展開する。そして、酸素溶解槽８中
には散気装置９を設け、散気装置が水中に空気を曝気し
て水に溶存させ、循環ポンプＰ１ が酸素溶解槽中の溶
存酸素を含む水を生物反応槽６の底部に供給し、生物反
応槽中の活性炭に付着した微生物に酸素を補給する。 【０００９】ｐＨ調整槽１からポンプで生物反応槽６の
底部にｐＨを調整した洗浄廃水を供給する供給管１０の
途中に過酸化水素をタンク１１からポンプＰ２で注入す
る注入管１２が接続してある。そして、その接続位置の
下流で、供給管１０にはラインミキサー１３を設け、供
給管１０で生物反応槽に供給する洗浄廃水に、タンク１
１からの過酸化水素が均一に混合、溶解するようにして
ある。 【００１０】供給する酸素は、基本的には酸素溶解槽か
らの溶存酸素を主とするが、洗浄廃水中のＴＯＣを生物
反応槽で分解することができる程度の量を過酸化水素に
より補充して過剰量にするのが好ましい。例えば、注入
管１２の接続位置の上流で、供給管１０にＴＯＣモニタ
ー１４を接続し、洗浄廃水のＴＯＣを該ＴＯＣモニター
で計測し、洗浄廃水のＴＯＣに応じ注入管のポンプＰ２
を制御し、過酸化水素の注入量を加減してもよい。又、
洗浄廃水自身が含む溶存酸素量と、酸素溶解槽からの循
環水によって補給される溶存酸素量とでは洗浄廃水のＴ
ＯＣを分解するのに不足する溶存酸素量を過酸化水素で
補うようにしてもよい。 【００１１】又、生物反応槽への酸素供給手段としては
酸素溶解槽を使用したが、前述した先願にも記載したよ
うに酸素をエジェクタで圧縮空気と水を混合して加圧タ
ンクに供給し、この加圧タンクから加圧水を生物反応槽
に供給するものなど、任意の装置を使用することができ
る。 【００１２】超純水の洗浄廃水として、超純水にイソプ
ロピルアルコール１０ｐｐｍａｓＣを添加したものを図
１，図３の装置により処理を行った。尚、両装置の生物
反応槽の坦体には２０〜４０メッシュの石炭系粒状活性
炭を使用し、坦体量はＨＲＴとして１５分、洗浄廃水の
供給量と、酸素溶解槽から生物反応槽への循環水量は
１：１である。図１の本発明の装置では過酸化水素を供
給管１０に５０ｐｐｍ注入した。この結果、図３の過酸
化水素を注入しない装置での処理水のＴＯＣは、１０ｐ
ｐｍから４００〜８００ｐｐｂになったが、図１の過酸
化水素を注入した場合の処理水のＴＯＣは、１０ｐｐｍ
から２５０ｐｐｂに減少した。これにより図３の装置で
は溶存酸素の不足により処理水のＴＯＣが変動悪化する
のに対し、過酸化水素を補給するとＴＯＣを低減、安定
化できることが判明した。 【００１３】 【発明の効果】以上で明らかなように、生物反応槽への
循環水量を増大しないので、充填層を構成する坦体のキ
ャリーオーバーが生ぜず、坦体に付着する生物に悪影響
を及ぼすことなく過酸化水素で溶存酸素量を高め、処理
水質の悪化を防止できる。
Ｃ）や、アンモニア濃度が高い廃水を処理する流動床式
生物処理装置に関する。 【０００２】 【従来の技術】半導体や液晶等の製造工場では、製品の
洗浄に超純水を使用しているが、近年取水量や排水量の
規制によって、本特許出願人の先願の特願平８−１８０
３８号でも説明したが、図２に示すように、その洗浄廃
水を回収し、ｐＨ調整槽１でｐＨを中性化し、次いでポ
ンプにより流動床式生物処理装置２に供給して廃水中に
イソプロピルアルコール、メタノール、酢酸、アセトン
等の有機物（ＴＯＣ）や、ＮＨ4＋を分解除去し、その
処理水のタンク３から殺菌剤としてＣｌ2が連続的に供
給される殺菌槽に供給し、殺菌槽から限外濾過膜や精密
濾過膜等の膜分離装置５にポンプで加圧して供給するこ
とにより流動式生物処理装置からの菌体を分離し、膜を
透過した透過水を超純水製造用原水とし、超純水製造シ
ステムに送水している。尚、殺菌槽でのＣｌ2の連続添
加は、運転の継続によって後段の膜分離装置の膜面に菌
体が付着し、フラックスが低下するのを防止するためで
ある。 【０００３】従来、使用されている流動式生物処理装置
は、図３に示すように生物反応槽６と、酸素溶解槽８と
からなり、生物反応槽６は微生物を担持した粒状又はペ
レット状の活性炭による充填層７を有し、処理されるべ
き排水は充填層中を上向流で通水し、充填層を一定に展
開する。そして、酸素溶解槽８中には散気装置９を設
け、散気装置が水中に空気を曝気して水に溶存させ、循
環ポンプＰ１が酸素溶解槽中の溶存酸素を含む水を生物
反応槽６の底部に供給し、生物反応槽中の活性炭に付着
した微生物に酸素を補給する。 【０００４】 【発明が解決しようとする課題】洗浄廃水の再利用を積
極的に行うにつれ、洗浄水中のＴＯＣは、従来は高くて
も１〜２ｐｐｍであったものが、次第に多くなり、近年
では数１０ｐｐｍに達することがある。このように高濃
度の洗浄廃水を流動式生物処理装置で処理するには、廃
水中のＴＯＣに見合った量の溶存酸素を生物反応槽に供
給する必要があり、その対策として酸素溶解槽で飽和に
なった循環水の生物反応槽への供給量を増大する方法が
取られていた。しかし、生物反応槽に供給する循環水量
を増大させると、生物反応槽内の微生物を付着した坦体
である活性炭の展開率が大きくなり、活性炭がキャリー
オーバーして処理水に混ざって生物反応槽から流出する
という問題が生じる。又、循環水量を増大するためには
循環ポンプＰ１ に大容量のものが必要になり、設置コ
スト、ランニングコストが嵩む。 【０００５】このため、酸素溶解槽からの循環水量を増
大することなく、生物反応槽での溶存酸素量を増大する
ため、水に分解して酸素を発生する酸化剤としてオゾン
Ｏ3を洗浄廃水に添加し、生物反応槽での反応性、酸素
溶解率を検討した。オゾンが水に分解して酸素を発生す
る反応は、Ｏ3→Ｏ2＋Ｏ0で、酸素溶解率は改善された
が、それ自身の発生期の酸素（Ｏ0）によって坦体であ
る活性炭の表面に付着した微生物（菌体）が活性炭から
剥離して生物反応槽から処理水に混ざって流出し、処理
水の水質が著しく悪化した。 【０００６】 【課題を解決するための手段】そこで、本発明者等は、
酸化剤として過酸化水素（Ｈ2Ｏ2）を使用することによ
り生物反応槽への酸素供給量が増大し、生物反応槽の反
応も変化がなく、処理水質も安定していることを確認
し、本発明を開発したのである。 【０００７】 【発明の実施の形態】従って、この発明の流動床式生物
処理装置は、生物を付着した坦体を保有する流動床式生
物反応槽と、酸素溶解槽、過酸化水素を供給する手段を
有し、酸素溶解槽中の溶存酸素を含む水を生物反応槽に
供給して洗浄廃水を処理する流動床式生物処理装置であ
って、上記過酸化水素を供給する手段は、生物反応槽に
洗浄廃水を供給する供給管の途中にポンプで過酸化水素
を注入する注入管を接続し、該注入管の接続位置の上流
で、供給管にＴＯＣモニターを接続し、洗浄廃水のＴＯ
Ｃを該ＴＯＣモニターで計測し、洗浄廃水のＴＯＣに応
じて前記のポンプを制御し、過酸化水素の注入量を加減
するように構成して、生物反応槽に供給される洗浄廃水
自身が含む溶存酸素量と、上記生物反応槽への循環水に
よって補給される溶存酸素量とでは洗浄廃水のＴＯＣを
分解するのに不足する溶存酸素量を過酸化水素で補うよ
うにしたことを特徴とする。 【０００８】 【実施例】図１は、この発明による流動床式生物処理装
置の一実施例で、図３の従来装置と同様に生物反応槽６
と、酸素溶解槽８とからなり、生物反応槽６は微生物を
担持した粒状又はペレット状の活性炭による充填層７を
有し、処理されるべき排水は充填層中を上向流で通水
し、充填層を一定に展開する。そして、酸素溶解槽８中
には散気装置９を設け、散気装置が水中に空気を曝気し
て水に溶存させ、循環ポンプＰ１ が酸素溶解槽中の溶
存酸素を含む水を生物反応槽６の底部に供給し、生物反
応槽中の活性炭に付着した微生物に酸素を補給する。 【０００９】ｐＨ調整槽１からポンプで生物反応槽６の
底部にｐＨを調整した洗浄廃水を供給する供給管１０の
途中に過酸化水素をタンク１１からポンプＰ２で注入す
る注入管１２が接続してある。そして、その接続位置の
下流で、供給管１０にはラインミキサー１３を設け、供
給管１０で生物反応槽に供給する洗浄廃水に、タンク１
１からの過酸化水素が均一に混合、溶解するようにして
ある。 【００１０】供給する酸素は、基本的には酸素溶解槽か
らの溶存酸素を主とするが、洗浄廃水中のＴＯＣを生物
反応槽で分解することができる程度の量を過酸化水素に
より補充して過剰量にするのが好ましい。例えば、注入
管１２の接続位置の上流で、供給管１０にＴＯＣモニタ
ー１４を接続し、洗浄廃水のＴＯＣを該ＴＯＣモニター
で計測し、洗浄廃水のＴＯＣに応じ注入管のポンプＰ２
を制御し、過酸化水素の注入量を加減してもよい。又、
洗浄廃水自身が含む溶存酸素量と、酸素溶解槽からの循
環水によって補給される溶存酸素量とでは洗浄廃水のＴ
ＯＣを分解するのに不足する溶存酸素量を過酸化水素で
補うようにしてもよい。 【００１１】又、生物反応槽への酸素供給手段としては
酸素溶解槽を使用したが、前述した先願にも記載したよ
うに酸素をエジェクタで圧縮空気と水を混合して加圧タ
ンクに供給し、この加圧タンクから加圧水を生物反応槽
に供給するものなど、任意の装置を使用することができ
る。 【００１２】超純水の洗浄廃水として、超純水にイソプ
ロピルアルコール１０ｐｐｍａｓＣを添加したものを図
１，図３の装置により処理を行った。尚、両装置の生物
反応槽の坦体には２０〜４０メッシュの石炭系粒状活性
炭を使用し、坦体量はＨＲＴとして１５分、洗浄廃水の
供給量と、酸素溶解槽から生物反応槽への循環水量は
１：１である。図１の本発明の装置では過酸化水素を供
給管１０に５０ｐｐｍ注入した。この結果、図３の過酸
化水素を注入しない装置での処理水のＴＯＣは、１０ｐ
ｐｍから４００〜８００ｐｐｂになったが、図１の過酸
化水素を注入した場合の処理水のＴＯＣは、１０ｐｐｍ
から２５０ｐｐｂに減少した。これにより図３の装置で
は溶存酸素の不足により処理水のＴＯＣが変動悪化する
のに対し、過酸化水素を補給するとＴＯＣを低減、安定
化できることが判明した。 【００１３】 【発明の効果】以上で明らかなように、生物反応槽への
循環水量を増大しないので、充填層を構成する坦体のキ
ャリーオーバーが生ぜず、坦体に付着する生物に悪影響
を及ぼすことなく過酸化水素で溶存酸素量を高め、処理
水質の悪化を防止できる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明による流動床式生物処理装置の説明図で
ある。 【図２】超純水の洗浄廃水の回収、浄化装置のフローシ
ートである。 【図３】従来の流動床式生物処理装置の説明図である。 【符号の説明】 ６ 生物反応槽 ７ 生物反応槽の充填層 ８ 酸素溶解槽（酸素供給手段） ９ 酸素溶解槽の散気装置 １０ 生物反応槽への洗浄廃水の供給管 １１ 過酸化水素のタンク １２ 過酸化水素の注入管（過酸化水素供給手段） １３ ラインミキサー
ある。 【図２】超純水の洗浄廃水の回収、浄化装置のフローシ
ートである。 【図３】従来の流動床式生物処理装置の説明図である。 【符号の説明】 ６ 生物反応槽 ７ 生物反応槽の充填層 ８ 酸素溶解槽（酸素供給手段） ９ 酸素溶解槽の散気装置 １０ 生物反応槽への洗浄廃水の供給管 １１ 過酸化水素のタンク １２ 過酸化水素の注入管（過酸化水素供給手段） １３ ラインミキサー
─────────────────────────────────────────────────────
フロントページの続き
(56)参考文献 特開 平７−124580（ＪＰ，Ａ)
特開 平３−106498（ＪＰ，Ａ)
特開 昭63−291694（ＪＰ，Ａ)
特開 平９−234486（ＪＰ，Ａ)
特開 昭49−124853（ＪＰ，Ａ)
特開 昭63−194798（ＪＰ，Ａ)
(58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名)
C02F 3/02 - 3/34
Claims (1)
- (57)【特許請求の範囲】 【請求項１】 生物を付着した坦体を保有する流動床式
生物反応槽と、酸素溶解槽、過酸化水素を供給する手段
を有し、酸素溶解槽中の溶存酸素を含む水を生物反応槽
に供給して洗浄廃水を処理する流動床式生物処理装置で
あって、 上記過酸化水素を供給する手段は、生物反応槽に洗浄廃
水を供給する供給管の途中にポンプで過酸化水素を注入
する注入管を接続し、該注入管の接続位置の上流で、供
給管にＴＯＣモニターを接続し、洗浄廃水のＴＯＣを該
ＴＯＣモニターで計測し、洗浄廃水のＴＯＣに応じて前
記のポンプを制御し、過酸化水素の注入量を加減するよ
うに構成して、生物反応槽に供給される洗浄廃水自身が
含む溶存酸素量と、上記生物反応槽への循環水によって
補給される溶存酸素量とでは洗浄廃水のＴＯＣを分解す
るのに不足する溶存酸素量を過酸化水素で補うようにし
たことを特徴とする流動床式生物処理装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11112796A JP3454015B2 (ja) | 1996-04-09 | 1996-04-09 | 流動床式生物処理装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11112796A JP3454015B2 (ja) | 1996-04-09 | 1996-04-09 | 流動床式生物処理装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH09271793A JPH09271793A (ja) | 1997-10-21 |
| JP3454015B2 true JP3454015B2 (ja) | 2003-10-06 |
Family
ID=14553135
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP11112796A Expired - Lifetime JP3454015B2 (ja) | 1996-04-09 | 1996-04-09 | 流動床式生物処理装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3454015B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP4029100B2 (ja) * | 2005-09-14 | 2008-01-09 | シャープ株式会社 | 水処理装置および水処理方法 |
-
1996
- 1996-04-09 JP JP11112796A patent/JP3454015B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH09271793A (ja) | 1997-10-21 |
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