JP3451330B2 - 噴霧装置および離型剤塗布方法 - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、噴霧装置および、
この噴霧装置を用いて凹凸面に対して離型剤を噴霧して
ほぼ均一厚みの薄膜状に塗布させる離型剤塗布方法に関
する。

【０００２】

【従来の技術】樹脂成形や、半導体装置のパッケージの
射出成形などでは、成形金型から成形品を離型させやす
くするために、成形を行う毎に、成形金型に対して離型
剤を塗布させる必要がある。

【０００３】具体的に、トランスファモールド成形の合
間に、補助処理として、金型清掃処理、離型剤塗布
処理、離型剤ならし処理を行う。

【０００４】 成形金型（特にキャビティやランナー
など）に対して作業者がエアーガンなどを用いて手作業
でエアーを吹き付けることにより、成形金型に残る樹脂
くずなどを除去する。

【０００５】 成形金型に対して作業者がスプレー缶
を用いて手作業で離型剤を噴霧させることにより、成形
金型に離型剤を塗布する。スプレー缶には、溶剤にシリ
コン樹脂を混合した離型剤が封入されている。

【０００６】 成形金型において離型剤を塗布した部
分に対して、作業者がエアーガンなどを用いて手作業で
エアーを吹き付けることにより、成形金型に余分に付着
した離型剤を除去したり、付着させた離型剤をほぼ均一
な厚みの薄膜状にならす。

【０００７】

【発明が解決しようとする課題】ところで、上記従来例
のように、の離型剤塗布処理を手作業で行っていたの
では、作業者の熟練度により、離型剤の塗布量にばらつ
きが多くなるために、成形品の歩留まり率に差が生じる
など、効率が悪いことが指摘される。また、スプレー缶
を用いるのでは、それの製造に関する手間を考えると、
原料コストが高くつくことも指摘される。また、このよ
うに離型剤の塗布量がばらつくことから、後に離型剤の
ならし処理が必ず必要となっている。

【０００８】なお、人手による離型剤の塗布量ばらつき
の原因は、スプレー缶の操作部を押す力が一定でないこ
と、スプレー缶を持つ手の移動スピードが一定でないこ
と、スプレー缶のノズルと成形金型との間の離間距離が
一定でないこと、成形金型に対するスプレー缶のノズル
の対向姿勢が一定でないこと、成形金型の上側金型と下
側金型とに対する離型剤の塗布量が均等でないこと、な
どが挙げられる。

【０００９】これに対して、の離型剤塗布処理につい
ては、例えば図８に示すような液圧方式の噴霧装置を利
用することが考えられる。この液圧方式の噴霧装置は、
液体を貯溜する貯溜タンク８１と、貯溜タンク８１に対
して高圧（１０〜２０ｋｇｆ／ｃｍ² ）の加圧用エアを
供給する高出力のエアコンプレッサ８２と、貯溜タンク
８１から供給される高圧の液体を霧化して噴出させるノ
ズル８３と、ノズル８３の弁体（図示符号省略）の開閉
動作を制御する制御ユニット８４とを備えている。そし
て、エアコンプレッサ８２により加圧用エアを断続的に
供給して、加圧時にノズル８３の弁体を開くことにより
液体を噴霧させたり、あるいはエアコンプレッサ８２に
より加圧用エアを継続的に供給して、ノズル８３の弁体
を小刻みに開閉させることにより液体を噴霧させたりす
るようにしている。

【００１０】このような噴霧装置を離型剤塗布処理に利
用すれば、上述したスプレー缶を用いる場合に比べて、
離型剤の噴出量を一定にできるから成形品の歩留まり率
を安定にできて、原料コストの低減を図ることができる
が、次のような不具合が指摘される。

【００１１】液圧方式は、二流体方式と異なり、液体の
みの噴霧を行うため、噴霧した液体の付着性は良好で高
効率な離型剤塗布が可能であるが、ノズルの開閉条件を
工夫して噴出量を適正な範囲に設定しなければならない
など、条件出しが困難かつ制御が複雑になり、それに伴
い制御ユニット８４のコストが高くつくことになる。こ
れに加えて、高出力エアコンプレッサ８２そのものが高
価であるため、装置価格が高騰することが指摘される。

【００１２】したがって、本発明は、噴霧装置におい
て、安価な構成としながら、適正でほぼ均一な厚みの薄
膜を安定的に塗布できるようにすることを課題としてい
る。

【００１３】

【課題を解決するための手段】本発明は、凹凸面に対し
て液体を噴霧して薄膜状に塗布させる噴霧装置、および
この噴霧装置を用いて凹凸面に対して離型剤を噴霧して
ほぼ均一の薄膜状に塗布させる離型剤塗布方法におい
て、次のようにする。

【００１４】本発明の第１の噴霧装置は、エア源から供
給されるエアを、互いに減圧割合が異なる複数の機械式
の減圧弁を直列に接続した減圧ユニットで段階的に低圧
に減圧し、この低圧のエアで貯留タンク内の液体を加圧
する系統と、霧化用エアを供給する系統とに分けて二系
統二流体方式の噴霧用のノズルに供給するとともに、前
記エア源から供給されるエアをさらに弁体を作動させる
エアを供給する系統とに分けることにより貯留タンク内
の液体をノズルに吸入させて、このノズルから該霧化用
エアと液体とを混合して噴霧させる。また、本発明の第
２の噴霧装置は、液体を貯留する貯留タンクと、貯留タ
ンクに対する加圧用エアを、エア源から供給される元エ
アを複数の機械式減圧弁を直列に接続することにより段
階的に減圧して与える減圧ユニットと、貯留タンクの液
体を吸入する系統と、該液体を霧化して噴出させる気体
を供給する系統の二系統二流体方式のノズルと、エア源
から供給されるエアを元にノズルにおける噴出口開閉用
弁体の弁体作動用エアの圧力を調整する第１減圧弁と、
エア源から供給されるエアを元にノズルにおける霧化用
エアの圧力を調整する第２減圧弁とを備える。なお、前
述の減圧ユニットによる最終減圧値は、０．０１〜０．
１ｋｇｆ／ｃｍ ² に設定し、また、前記霧化用の減圧値
は、１．０〜２．５ｋｇｆ／ｃｍ ² の範囲で設定するの
が好ましい。

【００１５】本発明の離型剤塗布方法は、エア源から供
給されるエアを、互いに減圧割合が異なる複数の機械式
の減圧弁を直列に接続した減圧ユニットで段階的に低圧
に減圧し、この低圧のエアで貯留タンク内の離型剤を加
圧する系統と、霧化用エアを供給する系統とに分けた二
系統二流体方式の噴霧用のノズルに供給するとともに、
前記エア源から供給されるエアをさらに弁体を作動させ
るエアを供給する系統とに分け、機械的に弁体を作動さ
せることにより貯留タンク内の離型剤をノズルに吸入さ
せて、このノズルから該霧化用エアと離型剤とを混合し
て成形金型の凹凸面に噴霧させるものである。

【００１６】なお、前述の減圧ユニットによる最終減圧
値は、０．０１〜０．１ｋｇｆ／ｃｍ² に設定し、ま
た、前記霧化用の減圧弁による減圧値は、１．０〜２．
５ｋｇｆ／ｃｍ² の範囲で設定するのが好ましい。

【００１７】

【発明の実施の形態】以下、本発明の詳細を図１ないし
図７に基づいて説明する。図１ないし図５は本発明の一
実施例にかかり、図１は、噴霧装置を模式的に示す構成
図、図２は、ノズルの構成を示す縦断面図、図３は、噴
霧状況を示す説明図、図４は、液体加圧用エアの圧力と
液体の噴出量との関係を示すグラフ、図５は、霧化用エ
アの圧力と霧化される液体粒子の大きさとの関係を示す
グラフである。

【００１８】図中、１は離型剤などの液体ｆを貯溜する
貯溜タンク、２は例えば５ｋｇｆ／ｃｍ²以上の圧力の
エアＡ０を発生する一般的なエアコンプレッサなどのエ
ア源、３は貯溜タンク１に対する加圧用エアＡ１を、エ
ア源２から供給される元エアＡ０を段階的に減圧して与
える減圧ユニット、４は貯溜タンク１の液体ｆを吸入す
るとともに霧化して噴出させる二系統二流体方式のノズ
ル、５はエア源２から供給されるエアＡ０を元にノズル
４における液体噴出口開閉用の弁体４２の弁体作動用エ
アＡ２の圧力を調整する第１減圧弁、６はエア源２から
供給されるエアＡ０を元にノズル４における霧化用エア
Ａ３の圧力を調整する第２減圧弁、７は第１減圧弁５の
上流に設けられエア源２からのエアＡ０の導入、遮断を
管理する元電磁弁、８は第２減圧弁６の上流に設けられ
エア源２からのエアＡ０の導入、遮断を管理する元電磁
弁、９，１０は元電磁弁７，８のオン・オフ（開閉）に
よるエア抜け騒音を消音する消音器、１１は元電磁弁
７，８をオン・オフ制御する制御部である。なお、ＭＰ
は、モニタ用の圧力計である。

【００１９】減圧ユニット３は、互いに減圧割合が異な
る複数（図では三つ）の機械式の減圧弁３１〜３３を直
列に接続したものである。これらの減圧弁３１〜３３の
うち、エア源２に最も近い上流側のものから順に、ま
ず、一次減圧弁３１による減圧値は、１．５ｋｇｆ／ｃ
ｍ² に、二次減圧弁３２による減圧値は、１．０ｋｇｆ
／ｃｍ² に、三次減圧弁３３による減圧値は、０．０１
〜０．１ｋｇｆ／ｃｍ^２の範囲で、それぞれ設定され
る。つまり、この減圧ユニット３による最終減圧値つま
り液体加圧用エアＡ１の圧力は、０．０１〜０．１ｋｇ
ｆ／ｃｍ^２ の範囲と超低圧に設定される。これらの減
圧弁３１〜３３のうち、一次、二次減圧弁３１，３２
は、一般的な標準仕様のものが利用され、三次減圧弁３
３は、いわゆる精密仕様のものが利用され、それぞれ前
述した減圧値となるように手操作により開度調節され
る。

【００２０】ノズル４は、図２に示すような周知の構成
であり、霧化用エアＡ３の第１流路４４、弁体作動用エ
アＡ２の第２流路４５および液体ｆの第３流路４６がそ
れぞれ独立した状態で形成されたノズル本体４１と、第
３流路４６の末端開口つまり液体噴出口４７を開閉する
ニードル状の弁体４２と、弁体４２の開閉ストロークを
調節して液体噴出口４７の開度を任意に可変するための
操作つまみ４３とを備えている。動作としては、第１流
路４４から霧化用エアＡ３を噴出させると、エゼクタ作
用により貯溜タンク１の液体ｆが第３流路４６に吸入さ
れ、この液体ｆが霧化用エアＡ３と混合されて霧状に噴
出されるようになる。前述の操作つまみ４３により調節
する液体噴射口４７の開度は、噴霧時の広がりの変化に
関係する。ところで、ノズル４としては、一系統二流体
方式のノズルが知られているが、この方式は、霧化用エ
アＡ３と弁体作動用エアＡ２とが同じになり、しかも霧
化用エアＡ３の圧力を弁体作動用エアＡ２の圧力（３．
０ｋｇｆ／ｃｍ² 以上）に合わせる必要があるので、本
発明の目的には沿わない。

【００２１】第１、第２減圧弁５，６は、機械式のもの
で、第１減圧弁５による減圧値つまり弁体作動用エアＡ
２の圧力は、３．０ｋｇｆ／ｃｍ² 以上に、また、第２
減圧弁６による減圧値つまり霧化用エアＡ３の圧力は、
１．０〜２．５ｋｇｆ／ｃｍ² にそれぞれ設定されてい
る。このうち、霧化用エアＡ３の圧力が、ノズル４から
の液体ｆの噴霧粒子の粗細に関係する。これら第１、第
２減圧弁５，６は、いずれも一般的な標準仕様のものが
利用され、それぞれ前述した減圧値となるように手操作
により開度調節される。

【００２２】ところで、減圧ユニット３による最終減圧
値と第２減圧弁６による減圧値とを、上述したように特
定した理由を説明する。

【００２３】まず、液体加圧用エアＡ１の圧力と液体の
噴出量との関係は、図４のグラフに示すような傾向、つ
まり、圧力が低い程、噴出量が少なくなり、高い程、噴
出量が多くなる。ここで、本願出願人が過去の経験から
認識した事項、つまり液体の噴出量が必要以上に多くな
ると、例えば成形金型などに対してほぼ均一な薄膜を形
成しにくくなる点に着目して、減圧ユニット３による最
終減圧値を特定している。

【００２４】一方、霧化用エアＡ３の圧力と霧化される
液体粒子の大きさとの関係は、図５のグラフに示すよう
な傾向、つまり圧力が低い程、霧化される液体粒子が粗
くなり、高い程、霧化される液体粒子が細かくなる。こ
こで、本願出願人が過去の経験から認識した事項、つま
り霧化される液体粒子が粗い程、例えば成形金型などに
対する付着性が良好となる点および霧化用エアＡ３の圧
力が低い程噴出される液体粒子の跳ね返りが少なくなる
点に着目して、第２減圧弁６による減圧値を特定してい
る。

【００２５】次に、上述した噴霧装置の動作を説明す
る。まず、前準備として、一次〜三次減圧弁３１〜３３
および第１、第２減圧弁５，６の開度を、適宜設定され
る減圧値に応じて手操作で予め調節する。

【００２６】そして、エア源２を駆動することにより所
要圧力（例えば５ｋｇｆ／ｃｍ² ）のエアＡ０を発生さ
せておき、元エアＡ０を一次〜三次減圧弁３１〜３３お
よび元電磁弁７，８に供給させる。これにより、貯溜タ
ンク１の中の液体ｆには、減圧ユニット３から供給され
る加圧用エアＡ１により所要圧力（０．０１〜０．１ｋ
ｇｆ／ｃｍ² ）が加えられる。一方、ノズル４では、噴
霧時、制御部１１により元電磁弁７，８をオンさせ、第
１減圧弁５および第２減圧弁６へ元エアＡ０を供給させ
る。第１減圧弁５から供給される所要圧力（３．０ｋｇ
ｆ／ｃｍ² 以上）の弁体作動用エアＡ２により弁体４２
が液体噴出口４７を所要量開放することになり、第２減
圧弁６から供給される所要圧力（１．０〜２．５ｋｇｆ
／ｃｍ²）の霧化用エアＡ３が第１流路４４を介してそ
の噴出口から噴出させられることになる。こうして、第
１流路４４から噴出される霧化用エアＡ３のエゼクタ作
用によって貯溜タンク１の液体ｆが第３流路４６に吸入
され、この液体ｆが霧化用エアＡ３と混合されて霧状に
噴出される。この霧状の液体ｆは、図３に示すように、
例えばトランスファモールド成形に用いる成形金型１２
の凹凸面へ向けて噴出され、これにより、成形金型１２
の凹凸面に薄膜１３が付着されるようになる。

【００２７】以上説明したように、液体ｆに対して加え
る圧力を超低圧に設定していれば、霧状の液体ｆの噴出
量を可及的に少なくでき、また、霧化用エアＡ３の圧力
を、適正な範囲内に設定していれば、成形金型１２から
の跳ね返りを無くすことができるから、これらの相乗作
用により成形金型１２の凹凸面に対してほぼ均一な厚み
の薄膜１３を安定的に塗布できるようになるのである。
しかも、液体ｆに対して加える超低圧の圧力を、多連の
機械式の減圧弁３１〜３３からなる減圧ユニット３を用
いて、段階的に減圧しているから、エア源２から発生す
るエアに存在する圧力変動を減衰、吸収することができ
て、ノズル４からの液体ｆの噴出量のばらつきを無くせ
るようになる。このことも、成形金型１２の凹凸面に対
して薄膜１３を安定的に形成する上で重要な要因とな
る。ところで、上記実施例では減圧ユニット３の三次減
圧弁３３の減圧値を０．０１〜０．１ｋｇｆ／ｃｍ² に
設定しているので、場合によっては三次減圧弁３３の仕
様ＭＩＮ値（例えば０．０５ｋｇｆ／ｃｍ² ）よりも低
い値に設定することがありうるが、そのような場合でも
前述したように減圧ユニット３を多連として元エアＡ０
の圧力変動を減衰、吸収できるようにしていれば、何の
支障もない。

【００２８】このように、上記噴霧装置では、安価な機
械式の減圧弁（５，６，３１〜３３）を用いるとともに
制御部１１で元電磁弁７，８をオン・オフ制御するだけ
として装置全体のコスト低減を図りながらも、霧状の液
体ｆの噴出量を可及的に少なくするとともに成形金型１
２からの跳ね返りを無くして成形金型１２の凹凸面に対
してほぼ均一な厚みの薄膜１３を安定的に塗布できるよ
うにしている。

【００２９】ところで、上記噴霧装置において減圧ユニ
ット３の代わりに、電気制御減圧弁例えばＳＭＣ株式会
社製の電・空レギュレータ、品番ＩＴ１０００などを用
いることも考えられるが、このような構成のものは下記
するような理由から本発明の目的に沿わない。つまり、
この構成だと、電気制御減圧弁の単体が上記実施例の減
圧ユニット３のように多連の機械式減圧弁３１〜３３を
用いる場合に比べて約３倍とかなり高価であり、装置価
格の高騰を余儀なくされる。

【００３０】次に、上記噴霧装置の応用例を、図６およ
び図７に示して説明する。図６は、トランスファモール
ド成形での成形補助処理システムの概念図、図７は、成
形補助処理システムの移動ヘッドおよび成形金型の平面
図である。

【００３１】図中、１２ａは上側の成形金型、１２ｂは
下側の成形金型、１４は移動ヘッドである。移動ヘッド
１４は、長方体形状のヘッド本体１５の上下両面に、上
記噴霧装置のノズル４やエアブローノズル１６が複数個
ずつ長手方向各一列に配設されている。これらのノズル
４およびエアブローノズル１６の配列および数量は、対
象となる各成形金型１２ａ，１２ｂのキャビティーの配
列やランナーのパターンなどにより、適宜に設定され
る。

【００３２】この成形補助処理システムは、従来例の項
目で説明したように、トランスファモールド成形の合間
の補助処理となる金型清掃処理、離型剤塗布処理を
連続的に行えるようにしたものである。

【００３３】 上下の成形金型１２ａ，１２ｂ（特に
キャビティやランナーなど）を開いて成形品を取り除い
た状態とし、これらの成形金型１２ａ，１２ｂの間を、
移動ヘッド１４を図６の矢印のように水平方向に往復移
動させながら、移動ヘッド１４のエアブローノズル１６
からエアーを成形金型１２ａ，１２ｂに対して吹き付け
ることにより、成形金型に残る樹脂くずなどを除去す
る。

【００３４】 前述のと同様に、上下の成形金型１
２ａ，１２ｂの間を、移動ヘッド１４を図６の矢印のよ
うに水平方向に往復移動させながら、移動ヘッド１４の
ノズル４から成形金型１２ａ，１２ｂに対して離型剤を
噴霧させることにより、離型剤の薄膜を塗布する。

【００３５】なお、本発明の噴霧装置を離型剤塗布処
理で用いれば、薄膜を安定的に形成できるから、従来必
要であった離型剤ならし処理が不要となる。但し、信頼
性を高める上では、離型剤ならし処理を行うようにして
もよい。この離型剤ならし処理は、上下の成形金型１２
ａ，１２ｂの間を、移動ヘッド１４を図６の矢印のよう
に水平方向に往復移動させながら、移動ヘッド１４のエ
アブローノズル１６からエアーを成形金型１２ａ，１２
ｂに対して吹き付けることにより、成形金型１２ａ，１
２ｂに付着した離型剤をより均一にならすことを行う。

【００３６】このように、移動ヘッド１４に、噴霧装置
のノズル４とエアブローノズル１６とを搭載し、上述し
たような動作を自動的に行わせれば、特に、離型剤塗布
処理においては、噴霧量、ノズル４の移動スピード、ノ
ズル４と成形金型１２ａ，１２ｂとの間の離間距離、成
形金型１２ａ，１２ｂに対するノズル４の対向姿勢をそ
れぞれ一定にできるとともに、上下の成形金型１２ａ，
１２ｂに対する離型剤の塗布量を均等にできるなど、従
来の人手による作業に比べて、格段に安定性を向上する
ことができる。したがって、成形品の製造歩留まりを向
上できるとともに、歩留まりを安定させることができ
る。ちなみに、製造歩留まり率は、従来の手作業の場
合、平均９６．４％となり、本実施例の場合、９９．７
％となった。このときの本実施例における条件は、次の
ようにしている。

【００３７】 ・一次減圧弁３１による減圧値： １．５ｋｇｆ／ｃｍ² ・二次減圧弁３２による減圧値： １．０ｋｇｆ／ｃｍ^２ ・三次減圧弁３３による減圧値： ０．０３ｋｇｆ／ｃｍ^２ ・霧化エア圧 ： １．８ｋｇｆ／ｃｍ² ・塗布時間 ： ６ｓｅｃ（片道） ・ノズル高さ ： 金型上７０ｍｍ ・ノズル絞り ： 上下金型共に全閉より６／１０回転開 ・エアブロー時間 ： ならし用１５ｓｅｃ（１．５往復） 清掃用１５ｓｅｃ（１往復） なお、本発明の噴霧装置は、上記応用例で説明したよう
なトランスファモールド成形での離型剤塗布処理の他、
液状樹脂によるモールドでの離型剤の塗布処理や凸凹面
への塗料の均一塗装処理などに利用することができる。

【００３８】

【発明の効果】本発明の噴霧装置では、安価な機械式の
減圧弁を用いるとともに単純な制御を行えるようにして
装置全体のコスト低減を図りながらも、霧状の液体の噴
出量を可及的に少なくするとともに凹凸面からの跳ね返
りを無くして凹凸面に対してほぼ均一な厚みの薄膜を安
定的に塗布できるようになる。

【００３９】この噴霧装置を用いて凹凸面に対して離型
剤を噴霧して薄膜状に塗布させる離型剤塗布方法では、
成形金型へ毎回安定して離型剤を塗布できるようになる
から、従来のような離型剤過少による成形品のクラック
や離型剤過多による外観不良ならびにリードフレームと
成形品であるパッケージとの接着不良などの不具合を無
くすことができるなど、歩留まりの向上と高品質化を達
成できるようになる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の噴霧装置の一実施例を模式的に示す構
成図

【図２】同装置のノズルの構成を示す縦断面図

【図３】同装置を用いた噴霧状況を示す説明図

【図４】液体加圧用エアの圧力と液体の噴出量との関係
を示すグラフ

【図５】霧化用エアの圧力と霧化される液体粒子の大き
さとの関係を示すグラフ

【図６】本発明の噴霧装置の応用例で、トランスファモ
ールド成形での成形補助処理システムの概念図

【図７】図６の成形補助処理システムの移動ヘッドおよ
び成形金型の平面図

【図８】従来の液圧方式の噴霧装置を模式的に示す構成
図

【符号の説明】 １ 貯溜タンク ２ エア源 ３ 減圧ユニット ３１ 一次減圧弁 ３２ 二次減圧弁 ３３ 三次減圧弁 ４ ノズル ５ 第１減圧弁 ６ 第２減圧弁 Ａ０ 元エア Ａ１ 液体加圧用エア Ａ２ 弁体作動用エア Ａ３ 霧化用エア

Claims (6)

(57)【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 凹凸面に対して液体を噴霧して薄膜状に
   塗布させる噴霧装置であって、 エア源から供給されるエアを、 互いに減圧割合が異なる複数の機械式の減圧弁を直列に
   接続した減圧ユニットで段階的に低圧に減圧し、この低
   圧のエアで貯留タンク内の液体を加圧する系統と、霧化
   用エアを供給する系統とに分けて二系統二流体方式の噴
   霧用のノズルに供給するとともに、前記エア源から供給
   されるエアをさらに弁体を作動させるエアを供給する系
   統とに分けることにより貯留タンク内の液体をノズルに
   吸入させて、このノズルから該霧化用エアと液体とを混
   合して噴霧させる、ことを特徴とする噴霧装置。
2. 【請求項２】 凹凸面に対して液体を噴霧して薄膜状に
   塗布させる噴霧装置であって、 液体を貯留する貯留タンクと、 貯留タンクに対する加圧用エアを、エア源から供給され
   る元エアを複数の機械式減圧弁を直列に接続することに
   より段階的に減圧して与える減圧ユニットと、 貯留タンクの液体を吸入する系統と、該液体を霧化して
   噴出させる気体を供給する系統の二系統二流体方式のノ
   ズルと、 エア源から供給されるエアを元にノズルにおける噴出口
   開閉用弁体の弁体作動用エアの圧力を調整する第１減圧
   弁と、 エア源から供給されるエアを元にノズルにおける霧化用
   エアの圧力を調整する第２減圧弁とを備える、 ことを特徴とする噴霧装置。
3. 【請求項３】 前記減圧ユニットによる最終減圧値は、
   ０．０１〜０．１ｋｇｆ／ｃｍ²の範囲で設定される、
   請求項１または２に記載の噴霧装置。
4. 【請求項４】 前記第２減圧弁による減圧値は、１．０
   〜２．５ｋｇｆ／ｃｍ ² の範囲で設定される、請求項２
   に記載の噴霧装置。
5. 【請求項５】 成形金型の凹凸面に対して液体の離型剤
   を噴霧して薄膜状に塗布させる離型剤塗布方法であっ
   て、 エア源から供給されるエアを、互いに減圧割合が異なる
   複数の機械式の減圧弁を直列に接続した減圧ユニットで
   段階的に低圧に減圧し、この低圧のエアで貯留タンク内
   の離型剤を加圧する系統と、霧化用エアを供給する系統
   とに分けた二系統二流体方式の噴霧用のノズルに供給す
   るとともに、前記エア源から供給されるエアをさらに弁
   体を作動させるエアを供給する系統とに分け、機械的に
   弁体を作動させることにより貯留タンク内の離型剤をノ
   ズルに吸入させて、このノズルから該霧化用エアと離型
   剤とを混合して成形金型の凹凸面に噴霧させることを特
   徴とする離型剤塗布方法。
6. 【請求項６】 前記離型剤を塗布した後、成形金型にエ
   アブローを行うことを特徴とする請求項５記載の離型剤
   塗布方法。