JP3442798B2 - 研削加工装置 - Google Patents
研削加工装置Info
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- JP3442798B2 JP3442798B2 JP15753092A JP15753092A JP3442798B2 JP 3442798 B2 JP3442798 B2 JP 3442798B2 JP 15753092 A JP15753092 A JP 15753092A JP 15753092 A JP15753092 A JP 15753092A JP 3442798 B2 JP3442798 B2 JP 3442798B2
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- Grinding Of Cylindrical And Plane Surfaces (AREA)
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Description
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、例えばハードディスク
に情報を記録し、またはハードディスクの情報を読み取
る金属薄膜ヘッドを研削加工する場合に用いて好適な研
削加工装置に関するものである。
に情報を記録し、またはハードディスクの情報を読み取
る金属薄膜ヘッドを研削加工する場合に用いて好適な研
削加工装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】図５は、従来の研削加工装置の一例の構
成を示す斜視図である。以下、図５に従い、従来の技術
について説明する。
成を示す斜視図である。以下、図５に従い、従来の技術
について説明する。
【０００３】主軸スピンドル４は、ベッド１上に搭載さ
れたコラム３に、上下方向（図中、Ｚ軸方向）に移動自
在に支持されている。主軸スピンドル４は、その下方に
取り付けられたカッタ５を回転駆動するようになされて
いる。また、コラム３の側面部には、主軸スピンドル４
のＺ軸方向の移動量を読み取るエンコーダ８ｂと、主軸
スピンドル４をＺ軸方向に駆動するＺ軸ＡＣサーボモー
タ８ａが取り付けられている。
れたコラム３に、上下方向（図中、Ｚ軸方向）に移動自
在に支持されている。主軸スピンドル４は、その下方に
取り付けられたカッタ５を回転駆動するようになされて
いる。また、コラム３の側面部には、主軸スピンドル４
のＺ軸方向の移動量を読み取るエンコーダ８ｂと、主軸
スピンドル４をＺ軸方向に駆動するＺ軸ＡＣサーボモー
タ８ａが取り付けられている。
【０００４】また、Ｘ軸テーブル６の底面部に設けられ
たスライダ７ａ，７ｂが、ベッド１上に形成されたレー
ル２ａ，２ｂとそれぞれ嵌合することにより、Ｘ軸テー
ブル６は、レール２ａ，２ｂに沿ってベッド１上を左右
方向（図中、Ｘ軸方向）に往復移動するようになされて
いる。また、ベッド１の側面部には、Ｘ軸テーブル６の
Ｘ軸方向の移動量を読み取るエンコーダ９ｂと、Ｘ軸テ
ーブル６をＸ軸方向に駆動するＸ軸ＡＣサーボモータ９
ａが取り付けられている。
たスライダ７ａ，７ｂが、ベッド１上に形成されたレー
ル２ａ，２ｂとそれぞれ嵌合することにより、Ｘ軸テー
ブル６は、レール２ａ，２ｂに沿ってベッド１上を左右
方向（図中、Ｘ軸方向）に往復移動するようになされて
いる。また、ベッド１の側面部には、Ｘ軸テーブル６の
Ｘ軸方向の移動量を読み取るエンコーダ９ｂと、Ｘ軸テ
ーブル６をＸ軸方向に駆動するＸ軸ＡＣサーボモータ９
ａが取り付けられている。
【０００５】次に、上記構成の研削加工装置の被研削物
の一例であるハードディスク用ヘッド１０の構成を図６
に示す。図６において、ハードディスク用ヘッド１０
は、セラミック等の材質により成形されたセラミックベ
ース１１と、ＡＢＳ樹脂等の材質により成形された研削
面１２により構成される。また、ハードディスク用ヘッ
ド１０の側面部には、金属薄膜ヘッド１３ａ，１３ｂが
印刷されている。
の一例であるハードディスク用ヘッド１０の構成を図６
に示す。図６において、ハードディスク用ヘッド１０
は、セラミック等の材質により成形されたセラミックベ
ース１１と、ＡＢＳ樹脂等の材質により成形された研削
面１２により構成される。また、ハードディスク用ヘッ
ド１０の側面部には、金属薄膜ヘッド１３ａ，１３ｂが
印刷されている。
【０００６】さらに、ギャップＬは、金属薄膜ヘッド１
３ａ，１３ｂによりハードディスク（図示せず）に情報
を書き込みまたはハードディスクの情報を読み取ると
き、金属薄膜ヘッド１３ａ，１３ｂとハードディスク面
との距離を所定の長さに確保するために設けられてい
る。
３ａ，１３ｂによりハードディスク（図示せず）に情報
を書き込みまたはハードディスクの情報を読み取ると
き、金属薄膜ヘッド１３ａ，１３ｂとハードディスク面
との距離を所定の長さに確保するために設けられてい
る。
【０００７】ところで、図６のハードディスク用ヘッド
１０を研削加工する際、研削加工の効率化の為、図７に
示すような複数のハードディスク用ヘッド１０を一体成
形して成るマルチブロック２２が用意され、これを研削
加工する。すなわち、複数のハードディスク用ヘッド１
０に対して研削加工が同時に行われる。この研削加工後
に、図７において破線で示す位置で切断され、個々のハ
ードディスク用ヘッド１０が得られる。
１０を研削加工する際、研削加工の効率化の為、図７に
示すような複数のハードディスク用ヘッド１０を一体成
形して成るマルチブロック２２が用意され、これを研削
加工する。すなわち、複数のハードディスク用ヘッド１
０に対して研削加工が同時に行われる。この研削加工後
に、図７において破線で示す位置で切断され、個々のハ
ードディスク用ヘッド１０が得られる。
【０００８】複数のハードディスク用ヘッド１０を一体
成形したマルチブロック２２の両端部には、三角形状の
マーカ２０ａ，２０ｂをそれぞれ印刷したマーカブロッ
ク２３ａ，２３ｂが一体成形されている。マーカ２０ａ
と２０ｂは、前記マーカ２０ａと２０ｂの頂点部を結ぶ
切り込み線２１（図７中、２点鎖線で示す）の位置まで
研削加工を行ったとき、金属薄膜ヘッド１３ａ，１３ｂ
のギャップＬが最適値になることを表示している。
成形したマルチブロック２２の両端部には、三角形状の
マーカ２０ａ，２０ｂをそれぞれ印刷したマーカブロッ
ク２３ａ，２３ｂが一体成形されている。マーカ２０ａ
と２０ｂは、前記マーカ２０ａと２０ｂの頂点部を結ぶ
切り込み線２１（図７中、２点鎖線で示す）の位置まで
研削加工を行ったとき、金属薄膜ヘッド１３ａ，１３ｂ
のギャップＬが最適値になることを表示している。
【０００９】次に、上記構成の研削加工装置により、マ
ルチブロック２２が研削加工される場合の動作について
説明する。
ルチブロック２２が研削加工される場合の動作について
説明する。
【００１０】Ｘ軸テーブル６上に、マルチブロック２２
を、マルチブロック２２の研削面１２とカッタ５が対向
するように搭載し、固定する。カッタ５を回転させ、Ｚ
軸ＡＣサーボモータ８ａにより主軸スピンドル４を下方
向（Ｚ軸方向）に移動させ、カッタ５の刃面でマルチブ
ロック２２の研削面１２を切り込むことにより研削が行
われる。同時に、研削面１２の全面を均一に研削するた
め、Ｘ軸ＡＣサーボモータ９ａによりＸ軸テーブル６を
Ｘ軸方向に反復して往復移動させる。順次、主軸スピン
ドル４を徐々に下方向に移動させ、カッタ５の切り込み
量を増加させて、研削面が切り込み線２１に到達するま
で行う。
を、マルチブロック２２の研削面１２とカッタ５が対向
するように搭載し、固定する。カッタ５を回転させ、Ｚ
軸ＡＣサーボモータ８ａにより主軸スピンドル４を下方
向（Ｚ軸方向）に移動させ、カッタ５の刃面でマルチブ
ロック２２の研削面１２を切り込むことにより研削が行
われる。同時に、研削面１２の全面を均一に研削するた
め、Ｘ軸ＡＣサーボモータ９ａによりＸ軸テーブル６を
Ｘ軸方向に反復して往復移動させる。順次、主軸スピン
ドル４を徐々に下方向に移動させ、カッタ５の切り込み
量を増加させて、研削面が切り込み線２１に到達するま
で行う。
【００１１】上記研削加工において、高精度のギャップ
Ｌを確保するため、所定時間毎に研削加工を停止し、マ
ルチブロック２２のギャップＬを測定する。この測定結
果に基づき、再度、カッタ５の切り込み量、及びＸ軸テ
ーブル６の移動を調節して研削を行う。
Ｌを確保するため、所定時間毎に研削加工を停止し、マ
ルチブロック２２のギャップＬを測定する。この測定結
果に基づき、再度、カッタ５の切り込み量、及びＸ軸テ
ーブル６の移動を調節して研削を行う。
【００１２】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上述し
た構成の研削加工装置においては、高精度のギャップＬ
を確保するために、研削加工を停止してギャップＬの測
定を行い、研削量を調節するようにしているので、研削
加工時間が長くなり、製造上のコストが高くなるという
課題があった。さらに、研削量の調節が困難であるの
で、高精度のギャップＬを確保することが困難であると
いう課題があった。
た構成の研削加工装置においては、高精度のギャップＬ
を確保するために、研削加工を停止してギャップＬの測
定を行い、研削量を調節するようにしているので、研削
加工時間が長くなり、製造上のコストが高くなるという
課題があった。さらに、研削量の調節が困難であるの
で、高精度のギャップＬを確保することが困難であると
いう課題があった。
【００１３】本発明は、上述のような課題を解消するた
めになされたものであって、容易に高精度のギャップＬ
を確保することができると共に、研削加工時間を短縮
し、生産性を向上させることができる研削加工装置を提
供することを目的とする。
めになされたものであって、容易に高精度のギャップＬ
を確保することができると共に、研削加工時間を短縮
し、生産性を向上させることができる研削加工装置を提
供することを目的とする。
【００１４】本発明の研削加工装置は、ベッド上を水平
方向に往復移動する第１のテーブルと、第１のテーブル
上に設けられ、水平度の調整を可能とした第２のテーブ
ルと、第２のテーブル上に搭載された、水平方向に沿っ
て厚みが直線的に変化している被研削物を研削する研削
手段と、第２のテーブル上に搭載された被研削物の側面
に設けられている第１および第２のマーカを撮像する撮
像手段と、撮像手段によって撮像された第１および第２
のマーカの位置および距離に基づき、第１のマーカと第
２のマーカを結ぶ直線と、第１のテーブルが往復移動す
る水平方向とがなす傾斜角を検出する検出手段と、第２
のテーブルを、第１のテーブルが往復移動する水平方向
から傾斜させる傾斜手段と、検出手段によって検出され
る傾斜角が零となるように、傾斜手段を制御して第２の
テーブルを傾斜させる制御手段とを含み、撮像手段は、
研削手段に隣接して設けられていることを特徴とする。
方向に往復移動する第１のテーブルと、第１のテーブル
上に設けられ、水平度の調整を可能とした第２のテーブ
ルと、第２のテーブル上に搭載された、水平方向に沿っ
て厚みが直線的に変化している被研削物を研削する研削
手段と、第２のテーブル上に搭載された被研削物の側面
に設けられている第１および第２のマーカを撮像する撮
像手段と、撮像手段によって撮像された第１および第２
のマーカの位置および距離に基づき、第１のマーカと第
２のマーカを結ぶ直線と、第１のテーブルが往復移動す
る水平方向とがなす傾斜角を検出する検出手段と、第２
のテーブルを、第１のテーブルが往復移動する水平方向
から傾斜させる傾斜手段と、検出手段によって検出され
る傾斜角が零となるように、傾斜手段を制御して第２の
テーブルを傾斜させる制御手段とを含み、撮像手段は、
研削手段に隣接して設けられていることを特徴とする。
【００１５】
【作用】本発明の研削加工装置においては、研削手段に
隣接して設けられている撮像手段が、第２のテーブル上
に搭載された、水平方向に沿って厚みが直線的に変化し
ている被研削物の側面に設けられている第１および第２
のマーカを撮像し、検出手段が、撮像手段によって撮像
された第１および第２のマーカの位置および距離に基づ
き、第１のマーカと第２のマーカを結ぶ直線と、第１の
テーブルが往復移動する水平方向とがなす傾斜角を検出
し、制御手段が、検出手段によって検出される傾斜角が
零となるように、第２のテーブルを、第１のテーブルが
往復移動する水平方向から傾斜させる傾斜手段を制御す
る。
隣接して設けられている撮像手段が、第２のテーブル上
に搭載された、水平方向に沿って厚みが直線的に変化し
ている被研削物の側面に設けられている第１および第２
のマーカを撮像し、検出手段が、撮像手段によって撮像
された第１および第２のマーカの位置および距離に基づ
き、第１のマーカと第２のマーカを結ぶ直線と、第１の
テーブルが往復移動する水平方向とがなす傾斜角を検出
し、制御手段が、検出手段によって検出される傾斜角が
零となるように、第２のテーブルを、第１のテーブルが
往復移動する水平方向から傾斜させる傾斜手段を制御す
る。
【００１６】
【実施例】図１は、本発明の研削加工装置の一実施例の
構成を示す斜視図である。また、図２は、図１の要部を
拡大して示す正面図である。図２においては、動作の説
明の便宜上、マルチブロック２２を図示し、さらに、マ
ーカ２０ａ，２０ｂが見えるように図示している。図５
で示した従来例と同一部分には、同一符号を付して、重
複する説明は適宜省略する。以下、本発明の一実施例の
構成を図１及び図２に基づいて説明する。
構成を示す斜視図である。また、図２は、図１の要部を
拡大して示す正面図である。図２においては、動作の説
明の便宜上、マルチブロック２２を図示し、さらに、マ
ーカ２０ａ，２０ｂが見えるように図示している。図５
で示した従来例と同一部分には、同一符号を付して、重
複する説明は適宜省略する。以下、本発明の一実施例の
構成を図１及び図２に基づいて説明する。
【００１７】オートフォーカス機能を具備したレンズ３
０を有するＣＣＤビデオカメラ３１は、被研削物を撮影
することができるようにコラム３の側面部に配設されて
いる。
０を有するＣＣＤビデオカメラ３１は、被研削物を撮影
することができるようにコラム３の側面部に配設されて
いる。
【００１８】補助テーブル３２は、一部に弾性変形を可
能とした肉薄状の弾性変形部３３を有しており、Ｘ軸テ
ーブル６上に固定されている。また、レバー３４は、Ｘ
軸テーブル６に固定されている支持軸３５に回動自在に
支持されており、レバー３４の上端部には、略半球形状
に突出させた突出片３８が埋設されており、前記補助テ
ーブル３２の底面部に設けられた略凸形状の突出片３７
と当接している。さらに、レバー３４の右側面の下方に
は、略半球形状に突出させた突出片３９が埋設されてお
り、Ｘ軸テーブル６の移動方向（図１中、Ｘ軸方向）と
平行に配置された圧電素子より成るアクチュエータ３６
の駆動部４０と当接している。
能とした肉薄状の弾性変形部３３を有しており、Ｘ軸テ
ーブル６上に固定されている。また、レバー３４は、Ｘ
軸テーブル６に固定されている支持軸３５に回動自在に
支持されており、レバー３４の上端部には、略半球形状
に突出させた突出片３８が埋設されており、前記補助テ
ーブル３２の底面部に設けられた略凸形状の突出片３７
と当接している。さらに、レバー３４の右側面の下方に
は、略半球形状に突出させた突出片３９が埋設されてお
り、Ｘ軸テーブル６の移動方向（図１中、Ｘ軸方向）と
平行に配置された圧電素子より成るアクチュエータ３６
の駆動部４０と当接している。
【００１９】ここで、補助テーブル３２の右端部（図２
中、右端部）には、コイルバネ４２が取り付けられてお
り、補助テーブル３２には、常に下方向の張力が作用し
ている。従って、補助テーブル３２が弾性変形部３３を
支点として図２において時計方向に回動するように付勢
され、突出片３７が突出片３８を押圧し、レバー３４が
支持軸３５を中心として図２において反時計方向に回動
するように付勢される。しかしながら、突出片３９がア
クチュエータ３６の駆動部４０と当接しているため、レ
バー３４は回動せず、静止している。
中、右端部）には、コイルバネ４２が取り付けられてお
り、補助テーブル３２には、常に下方向の張力が作用し
ている。従って、補助テーブル３２が弾性変形部３３を
支点として図２において時計方向に回動するように付勢
され、突出片３７が突出片３８を押圧し、レバー３４が
支持軸３５を中心として図２において反時計方向に回動
するように付勢される。しかしながら、突出片３９がア
クチュエータ３６の駆動部４０と当接しているため、レ
バー３４は回動せず、静止している。
【００２０】上記構成の研削加工装置の動作の流れを示
すフローチャートを図３に示す。以下、図１乃至図３に
基づき、動作の流れについて説明する。
すフローチャートを図３に示す。以下、図１乃至図３に
基づき、動作の流れについて説明する。
【００２１】先ず、ステップＳ１において、マルチブロ
ック２２のマーカ２０ａ，２０ｂとビデオカメラ３１の
レンズ３０が対向するように、マルチブロック２２を補
助テーブル３２上に搭載し、前記マーカ２０ａをビデオ
カメラ３１で撮影できるようにその位置をマニュアル操
作により調整する。
ック２２のマーカ２０ａ，２０ｂとビデオカメラ３１の
レンズ３０が対向するように、マルチブロック２２を補
助テーブル３２上に搭載し、前記マーカ２０ａをビデオ
カメラ３１で撮影できるようにその位置をマニュアル操
作により調整する。
【００２２】次に、ステップＳ２において測定動作を開
始させると、ステップＳ３において、ビデオカメラ３１
は、オートフォーカス制御を行う。そしてステップＳ４
において、前記マーカ２０ａを撮影し、その画像データ
を処理して、Ｚ軸方向の位置を測定する。この測定が完
了したとき、次の位置を測定するため、ステップＳ５に
おいて、オートフォーカス制御を一旦解除する。
始させると、ステップＳ３において、ビデオカメラ３１
は、オートフォーカス制御を行う。そしてステップＳ４
において、前記マーカ２０ａを撮影し、その画像データ
を処理して、Ｚ軸方向の位置を測定する。この測定が完
了したとき、次の位置を測定するため、ステップＳ５に
おいて、オートフォーカス制御を一旦解除する。
【００２３】次に、ステップＳ６において、Ｘ軸ＡＣサ
ーボモータ９ａにより、Ｘ軸テーブル６を、ビデオカメ
ラ３１でマーカ２０ｂを撮影できるように移動させる。
さらに、ステップＳ７及びステップＳ８において、上述
したステップＳ３及びステップＳ４と同様の処理を行
う。すなわち、ビデオカメラ３１は、オートフォーカス
制御を行い、その画像データを処理して、マーカ２０ｂ
のＺ軸方向の位置を測定する。
ーボモータ９ａにより、Ｘ軸テーブル６を、ビデオカメ
ラ３１でマーカ２０ｂを撮影できるように移動させる。
さらに、ステップＳ７及びステップＳ８において、上述
したステップＳ３及びステップＳ４と同様の処理を行
う。すなわち、ビデオカメラ３１は、オートフォーカス
制御を行い、その画像データを処理して、マーカ２０ｂ
のＺ軸方向の位置を測定する。
【００２４】さらに、ステップＳ９において、上述のよ
うにして測定されたマーカ２０ａと２０ｂのＺ軸方向の
位置と、エンコーダ９ｂにより求められるＸ軸テーブル
６の移動量、すなわちマーカ２０ａと２０ｂの間の距離
により、マーカ２０ａと２０ｂの結ぶ切り込み線２１の
Ｘ軸に対する傾き角度（以下、傾斜角）が演算手段であ
るＣＰＵ４１により演算される。前記演算結果に基づ
き、切り込み線２１の傾斜角を調整するためのアクチュ
エータ３６の所定の駆動量が前記ＣＰＵ４１により演算
されると、ステップＳ１０で、オートフォーカス制御が
一旦解除され、さらに、ステップＳ１１で、アクチュエ
ータ３６は、駆動部４０をＸ軸方向（図２中、ＡＢ方
向）に圧電素子により駆動する。最初に、駆動部４０が
Ａ方向に駆動した場合について説明する。
うにして測定されたマーカ２０ａと２０ｂのＺ軸方向の
位置と、エンコーダ９ｂにより求められるＸ軸テーブル
６の移動量、すなわちマーカ２０ａと２０ｂの間の距離
により、マーカ２０ａと２０ｂの結ぶ切り込み線２１の
Ｘ軸に対する傾き角度（以下、傾斜角）が演算手段であ
るＣＰＵ４１により演算される。前記演算結果に基づ
き、切り込み線２１の傾斜角を調整するためのアクチュ
エータ３６の所定の駆動量が前記ＣＰＵ４１により演算
されると、ステップＳ１０で、オートフォーカス制御が
一旦解除され、さらに、ステップＳ１１で、アクチュエ
ータ３６は、駆動部４０をＸ軸方向（図２中、ＡＢ方
向）に圧電素子により駆動する。最初に、駆動部４０が
Ａ方向に駆動した場合について説明する。
【００２５】前記駆動部４０のＡ方向への駆動により、
駆動部４０と当接したレバー３４の突出片３９が、支持
軸３５を中心として時計方向（図２中、略Ａ方向）に回
動すると、レバー３４の他方の突出片３８は、支持軸３
５を中心として時計方向（図２中、略Ｃ方向）に回動す
る。前記突出片３８が略Ｃ方向に回動すると、突出片３
８と当接する補助テーブル３２の突出片３７は、弾性変
形部３３が反時計方向に弾性変形することにより、弾性
変形部３３を支点として、反時計方向（図２中、略Ｃ方
向）に回動する。このようにして、補助テーブル３２
は、弾性変形部３３を支点として、略Ｃ方向に回動す
る。
駆動部４０と当接したレバー３４の突出片３９が、支持
軸３５を中心として時計方向（図２中、略Ａ方向）に回
動すると、レバー３４の他方の突出片３８は、支持軸３
５を中心として時計方向（図２中、略Ｃ方向）に回動す
る。前記突出片３８が略Ｃ方向に回動すると、突出片３
８と当接する補助テーブル３２の突出片３７は、弾性変
形部３３が反時計方向に弾性変形することにより、弾性
変形部３３を支点として、反時計方向（図２中、略Ｃ方
向）に回動する。このようにして、補助テーブル３２
は、弾性変形部３３を支点として、略Ｃ方向に回動す
る。
【００２６】同様に、駆動部４０がＢ方向に駆動した場
合においては、上述した動作と反対の動作を行うことに
より、補助テーブル３２は、弾性変形部３３を支点とし
て、略Ｄ方向に回動する。
合においては、上述した動作と反対の動作を行うことに
より、補助テーブル３２は、弾性変形部３３を支点とし
て、略Ｄ方向に回動する。
【００２７】上述したステップＳ１１の動作を行うこと
により、図４に示すように、補助テーブル３２上に搭載
されたマルチブロック２２の傾斜角を調整して、前記傾
斜角をほとんど０に設定することができる。さらに、ス
テップＳ１２で、設定後の確認動作として、Ｘ軸テーブ
ル６を往復移動させ、マーカ２０ａ，２０ｂのＺ軸方向
の位置を再度測定し、ステップＳ１３で測定を終了す
る。これにより、誤動作を防止することができる。
により、図４に示すように、補助テーブル３２上に搭載
されたマルチブロック２２の傾斜角を調整して、前記傾
斜角をほとんど０に設定することができる。さらに、ス
テップＳ１２で、設定後の確認動作として、Ｘ軸テーブ
ル６を往復移動させ、マーカ２０ａ，２０ｂのＺ軸方向
の位置を再度測定し、ステップＳ１３で測定を終了す
る。これにより、誤動作を防止することができる。
【００２８】なお、本発明においては、被研削物がマル
チブロック２２に限定されるものではなく、本発明は、
マーカ２０ａ，２０ｂを表示することにより、種々の被
研削物に対応することが可能である。また、マーカ２０
ａ，２０ｂの表示位置、及びマーカの表示数（実施例で
は２カ所）は、本発明において限定するものではなく、
被研削物の形状、被研削面の精度等の製造上の都合に応
じて、種々の変形が可能である。
チブロック２２に限定されるものではなく、本発明は、
マーカ２０ａ，２０ｂを表示することにより、種々の被
研削物に対応することが可能である。また、マーカ２０
ａ，２０ｂの表示位置、及びマーカの表示数（実施例で
は２カ所）は、本発明において限定するものではなく、
被研削物の形状、被研削面の精度等の製造上の都合に応
じて、種々の変形が可能である。
【００２９】
【発明の効果】以上説明したように、本発明の研削加工
装置によれば、研削手段に隣接して設けられている撮像
手段が、第２のテーブル上に搭載された、水平方向に沿
って厚みが直線的に変化している被研削物の側面に設け
られている第１および第２のマーカを撮像し、検出手段
が、撮像手段によって撮像された第１および第２のマー
カの位置および距離に基づき、第１のマーカと第２のマ
ーカを結ぶ直線と、第１のテーブルが往復移動する水平
方向とがなす傾斜角を検出し、制御手段が、検出手段に
よって検出される傾斜角が零となるように、第２のテー
ブルを、第１のテーブルが往復移動する水平方向から傾
斜させる傾斜手段を制御するようにしたので、速やか
に、かつ、容易に被研削物の高精度の水平度を確保する
ことができる。従って、容易に高精度の研削面を得るこ
とができる。さらに、研削加工時間を短縮し、生産性を
向上させることができる。
装置によれば、研削手段に隣接して設けられている撮像
手段が、第２のテーブル上に搭載された、水平方向に沿
って厚みが直線的に変化している被研削物の側面に設け
られている第１および第２のマーカを撮像し、検出手段
が、撮像手段によって撮像された第１および第２のマー
カの位置および距離に基づき、第１のマーカと第２のマ
ーカを結ぶ直線と、第１のテーブルが往復移動する水平
方向とがなす傾斜角を検出し、制御手段が、検出手段に
よって検出される傾斜角が零となるように、第２のテー
ブルを、第１のテーブルが往復移動する水平方向から傾
斜させる傾斜手段を制御するようにしたので、速やか
に、かつ、容易に被研削物の高精度の水平度を確保する
ことができる。従って、容易に高精度の研削面を得るこ
とができる。さらに、研削加工時間を短縮し、生産性を
向上させることができる。
【図１】本発明の研削加工装置の一実施例の構成を示す
斜視図である。
斜視図である。
【図２】図１の要部を拡大して示す正面図である。
【図３】図１の実施例の動作の流れを示すフローチャー
トである。
トである。
【図４】図２の補助テーブル３２の動作の状態を示す正
面図である。
面図である。
【図５】従来の研削加工装置の一例の構成を示す斜視図
である。
である。
【図６】被研削物の一例であるハードディスク用ヘッド
１０の構成を示す斜視図である。
１０の構成を示す斜視図である。
【図７】図６のハードディスク用ヘッド１０により構成
されたマルチブロック２２の構成を示す斜視図である。
されたマルチブロック２２の構成を示す斜視図である。
１ ベッド
２ａ，２ｂ レール
３ コラム
４ 主軸スピンドル
５ カッタ
６ Ｘ軸テーブル
７ａ，７ｂ スライダ
８ａ Ｚ軸ＡＣサーボモータ
８ｂ エンコーダ
９ａ Ｘ軸ＡＣサーボモータ
９ｂ エンコーダ
１０ ハードディスク用ヘッド
１３ａ，１３ｂ 金属薄膜ヘッド
２０ａ，２０ｂ マーカ
２２ マルチブロック
３０ レンズ
３１ ＣＣＤビデオカメラ
３２ 補助テーブル
３４ レバー
３５ 支持軸
３６ アクチュエータ
フロントページの続き
(56)参考文献 特開 昭62−124842（ＪＰ，Ａ)
特開 平１−316155（ＪＰ，Ａ)
特開 昭63−169252（ＪＰ，Ａ)
特開 昭61−125713（ＪＰ，Ａ)
(58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名)
B24B 49/00 - 49/18
B24B 7/02
B23Q 1/00
Claims (3)
- 【請求項１】 ベッド上を水平方向に往復移動する第１
のテーブルと、 前記第１のテーブル上に設けられ、水平度の調整を可能
とした第２のテーブルと、 前記第２のテーブル上に搭載された、前記水平方向に沿
って厚みが直線的に変化している被研削物を研削する研
削手段と、 前記第２のテーブル上に搭載された前記被研削物の側面
に設けられている第１および第２のマーカを撮像する撮
像手段と、 前記撮像手段によって撮像された前記第１および第２の
マーカの位置および距離に基づき、前記第１のマーカと
前記第２のマーカを結ぶ直線と、前記第１のテーブルが
往復移動する水平方向とがなす傾斜角を検出する検出手
段と、 前記第２のテーブルを、前記第１のテーブルが往復移動
する水平方向から傾斜させる傾斜手段と、 前記検出手段によって検出される前記傾斜角が零となる
ように、前記傾斜手段を制御して前記第２のテーブルを
傾斜させる制御手段とを含み、 前記撮像手段は、前記研削手段に隣接して設けられてい
ることを特徴とする研削加工装置。 - 【請求項２】 前記撮像手段には、オートフォーカス機
能を具備したビデオカメラを用いることを特徴とする請
求項１に記載の研削加工装置。 - 【請求項３】 前記傾斜手段には、圧電素子より成るア
クチュエータを用いることを特徴とする請求項１に記載
の研削加工装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15753092A JP3442798B2 (ja) | 1992-05-25 | 1992-05-25 | 研削加工装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15753092A JP3442798B2 (ja) | 1992-05-25 | 1992-05-25 | 研削加工装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05318311A JPH05318311A (ja) | 1993-12-03 |
| JP3442798B2 true JP3442798B2 (ja) | 2003-09-02 |
Family
ID=15651688
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP15753092A Expired - Fee Related JP3442798B2 (ja) | 1992-05-25 | 1992-05-25 | 研削加工装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3442798B2 (ja) |
Families Citing this family (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP4339732B2 (ja) * | 2004-03-31 | 2009-10-07 | 株式会社タムラ製作所 | 精密研削装置および精密研削方法 |
| JP5340835B2 (ja) * | 2009-07-08 | 2013-11-13 | 株式会社ディスコ | マウントフランジの端面修正方法 |
| JP6300653B2 (ja) * | 2014-06-13 | 2018-03-28 | 株式会社ディスコ | 研削方法 |
-
1992
- 1992-05-25 JP JP15753092A patent/JP3442798B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH05318311A (ja) | 1993-12-03 |
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