JP3438974B2 - テンプレート画像の格納および読出方法 - Google Patents
テンプレート画像の格納および読出方法Info
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- JP3438974B2 JP3438974B2 JP31361594A JP31361594A JP3438974B2 JP 3438974 B2 JP3438974 B2 JP 3438974B2 JP 31361594 A JP31361594 A JP 31361594A JP 31361594 A JP31361594 A JP 31361594A JP 3438974 B2 JP3438974 B2 JP 3438974B2
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Description
【０００１】
【産業上の利用分野】この発明は、テンプレートマッチ
ングに用いられるテンプレート画像の格納および読出方
法に関する。
ングに用いられるテンプレート画像の格納および読出方
法に関する。
【０００２】
【従来の技術】電子部品を基板上に自動的に装着する電
子部品自動装着装置では、対象部品がカメラ等の撮像装
置で撮像され、画像処理を用いて対象部品の位置が認識
され、認識された対象部品の位置に基づいて対象部品が
基板上の所定位置に装着される。
子部品自動装着装置では、対象部品がカメラ等の撮像装
置で撮像され、画像処理を用いて対象部品の位置が認識
され、認識された対象部品の位置に基づいて対象部品が
基板上の所定位置に装着される。
【０００３】たとえば、図５に示すような電子部品で
は、射影演算処理等によって、部品の各コーナの概略位
置および部品のおおよその傾き角度が算出された後、部
品の各コーナ部分に対してテンプレートマッチング法を
適用することにより、部品の正確な位置および傾きを求
めている。
は、射影演算処理等によって、部品の各コーナの概略位
置および部品のおおよその傾き角度が算出された後、部
品の各コーナ部分に対してテンプレートマッチング法を
適用することにより、部品の正確な位置および傾きを求
めている。
【０００４】図７を参照して、テンプレートマッチング
に用いられるテンプレート画像の格納方法および読出方
法について説明する。
に用いられるテンプレート画像の格納方法および読出方
法について説明する。
【０００５】電子部品自動装着装置では、一般的に、形
状が相似形で大きさが異なる複数の部品が装着されるこ
とが多い。たとえば、図５に示すような形状の部品で、
大きさが異なる複数の部品が、装着される場合を想定す
る。
状が相似形で大きさが異なる複数の部品が装着されるこ
とが多い。たとえば、図５に示すような形状の部品で、
大きさが異なる複数の部品が、装着される場合を想定す
る。
【０００６】テンプレート画像は、図７に示すように、
画像メモリに格納されている。つまり、大きさの異なる
部品毎にテンプレート画像が生成されて画像メモリに格
納されている。また、各部品の傾き角ごとにテンプレー
ト画像が生成されて画像メモリに格納されている。
画像メモリに格納されている。つまり、大きさの異なる
部品毎にテンプレート画像が生成されて画像メモリに格
納されている。また、各部品の傾き角ごとにテンプレー
ト画像が生成されて画像メモリに格納されている。
【０００７】この例では、最小サイズの検査対象部品に
対するテンプレート画像の大きさは１０×１０画素であ
り、最大サイズの検査対象部品に対するテンプレート画
像の大きさは３０×３０画素である。また、傾き角６°
ごとに、傾き角０°〜４８°の範囲で、各検査対象部品
のテンプレート画像が用意されている。
対するテンプレート画像の大きさは１０×１０画素であ
り、最大サイズの検査対象部品に対するテンプレート画
像の大きさは３０×３０画素である。また、傾き角６°
ごとに、傾き角０°〜４８°の範囲で、各検査対象部品
のテンプレート画像が用意されている。
【０００８】２次元メモリの左上の頂点を原点（０，
０）として、Ｙ方向のアドレスが検査対象部品の大きさ
に対応し、Ｘ方向のアドレスが検査対象部品の傾き角に
対応している。
０）として、Ｙ方向のアドレスが検査対象部品の大きさ
に対応し、Ｘ方向のアドレスが検査対象部品の傾き角に
対応している。
【０００９】したがって、たとえば、検査対象部品の大
きさが最小サイズであり、その概略傾き角が２４°であ
る場合には、読出開始アドレスを（２００，０）に、横
方向（Ｘ方向）の読出データ数を１０に、縦方向（Ｙ方
向）の読出データ数を１０に、それぞれ設定することに
より、検査対象部品の大きさおよび傾き角に応じたテン
プレート画像が読み出される。
きさが最小サイズであり、その概略傾き角が２４°であ
る場合には、読出開始アドレスを（２００，０）に、横
方向（Ｘ方向）の読出データ数を１０に、縦方向（Ｙ方
向）の読出データ数を１０に、それぞれ設定することに
より、検査対象部品の大きさおよび傾き角に応じたテン
プレート画像が読み出される。
【００１０】
【発明が解決しようとする課題】上記従来のテンプレー
ト画像の格納方法および読出方法では、相似形で大きさ
が異なる複数種類の検査対象部品に対して、テンプレー
トマッチングを行う場合においては、複数種類の検査対
象部品ごとにテンプレート画像を２次元メモリに格納す
る必要があり、テンプレート画像のデータ量が多くなる
という問題がある。
ト画像の格納方法および読出方法では、相似形で大きさ
が異なる複数種類の検査対象部品に対して、テンプレー
トマッチングを行う場合においては、複数種類の検査対
象部品ごとにテンプレート画像を２次元メモリに格納す
る必要があり、テンプレート画像のデータ量が多くなる
という問題がある。
【００１１】この発明は、相似形で大きさが異なる複数
種類の検査対象部品に対して、テンプレートマッチング
を行う場合において、テンプレート画像のデータ量が低
減できるテンプレート画像の格納方法および読出方法を
提供することを目的とする。
種類の検査対象部品に対して、テンプレートマッチング
を行う場合において、テンプレート画像のデータ量が低
減できるテンプレート画像の格納方法および読出方法を
提供することを目的とする。
【００１２】
【課題を解決するための手段】この発明による第１のテ
ンプレート画像の格納および読出方法は、相似形で大き
さが異なる複数種類の検査対象部品に対して、テンプレ
ートマッチングを行う場合の、テンプレート画像の格納
および読出方法であって、最大サイズの検査対象部品に
対するテンプレート画像を画像メモリに格納し、読出し
開始アドレスおよび読出データ数を、検査対象部品のサ
イズに応じて設定することにより、最大サイズの検査対
象部品に対するテンプレート画像に含まれている、検査
対象部品のサイズに応じたテンプレート画像を読み出す
ことを特徴とする。
ンプレート画像の格納および読出方法は、相似形で大き
さが異なる複数種類の検査対象部品に対して、テンプレ
ートマッチングを行う場合の、テンプレート画像の格納
および読出方法であって、最大サイズの検査対象部品に
対するテンプレート画像を画像メモリに格納し、読出し
開始アドレスおよび読出データ数を、検査対象部品のサ
イズに応じて設定することにより、最大サイズの検査対
象部品に対するテンプレート画像に含まれている、検査
対象部品のサイズに応じたテンプレート画像を読み出す
ことを特徴とする。
【００１３】この発明による第２のテンプレート画像の
格納および読出方法は、相似形で大きさが異なる複数種
類の検査対象部品に対して、テンプレートマッチングを
行う場合の、テンプレート画像の格納および読出方法で
あって、最大サイズの検査対象部品に対するテンプレー
ト画像を、その傾き角ごとに画像メモリに格納し、読出
し開始アドレスおよび読出データ数を、検査対象部品の
サイズおよび傾き角に応じて設定することにより、最大
サイズの検査対象部品に対するテンプレート画像であっ
て検査対象部品の傾き角に対するテンプレート画像に含
まれている、検査対象部品のサイズおよび傾き角に応じ
たテンプレート画像を読み出すことを特徴とする。
格納および読出方法は、相似形で大きさが異なる複数種
類の検査対象部品に対して、テンプレートマッチングを
行う場合の、テンプレート画像の格納および読出方法で
あって、最大サイズの検査対象部品に対するテンプレー
ト画像を、その傾き角ごとに画像メモリに格納し、読出
し開始アドレスおよび読出データ数を、検査対象部品の
サイズおよび傾き角に応じて設定することにより、最大
サイズの検査対象部品に対するテンプレート画像であっ
て検査対象部品の傾き角に対するテンプレート画像に含
まれている、検査対象部品のサイズおよび傾き角に応じ
たテンプレート画像を読み出すことを特徴とする。
【００１４】
【作用】この発明による第１のテンプレート画像の格納
および読出方法では、最大サイズの検査対象部品に対す
るテンプレート画像が画像メモリに格納される。そし
て、読出し開始アドレスおよび読出データ数が、検査対
象部品のサイズに応じて設定されることにより、最大サ
イズの検査対象部品に対するテンプレート画像に含まれ
ている、検査対象部品のサイズに応じたテンプレート画
像が読み出される。
および読出方法では、最大サイズの検査対象部品に対す
るテンプレート画像が画像メモリに格納される。そし
て、読出し開始アドレスおよび読出データ数が、検査対
象部品のサイズに応じて設定されることにより、最大サ
イズの検査対象部品に対するテンプレート画像に含まれ
ている、検査対象部品のサイズに応じたテンプレート画
像が読み出される。
【００１５】この発明による第２のテンプレート画像の
格納および読出方法では、最大サイズの検査対象部品に
対するテンプレート画像が、その傾き角ごとに画像メモ
リに格納される。そして、読出し開始アドレスおよび読
出データ数が、検査対象部品のサイズおよび傾き角に応
じて設定されることにより、最大サイズの検査対象部品
に対するテンプレート画像であって検査対象部品の傾き
角に対するテンプレート画像に含まれている、検査対象
部品のサイズおよび傾き角に応じたテンプレート画像が
読み出される。
格納および読出方法では、最大サイズの検査対象部品に
対するテンプレート画像が、その傾き角ごとに画像メモ
リに格納される。そして、読出し開始アドレスおよび読
出データ数が、検査対象部品のサイズおよび傾き角に応
じて設定されることにより、最大サイズの検査対象部品
に対するテンプレート画像であって検査対象部品の傾き
角に対するテンプレート画像に含まれている、検査対象
部品のサイズおよび傾き角に応じたテンプレート画像が
読み出される。
【００１６】
【実施例】以下、図面を参照して、この発明を電子部品
自動装着装置に適用した場合の実施例について説明す
る。
自動装着装置に適用した場合の実施例について説明す
る。
【００１７】図１は、テンプレートマッチングを行うた
めの画像処理回路の一例を示している。
めの画像処理回路の一例を示している。
【００１８】第１画像メモリ１には、検査対象部品の多
値化画像データが格納されている。第２画像メモリ２に
は、テンプレート画像を表す２値化データが格納されて
いる。
値化画像データが格納されている。第２画像メモリ２に
は、テンプレート画像を表す２値化データが格納されて
いる。
【００１９】テンプレートマッチングを行う場合には、
第１画像メモリ１から検査対象部品の多値化画像データ
が読み出され、２値化回路３によって多値化画像データ
が２値化データに変換された後、演算器４に入力され
る。また、第２画像メモリ２から検査対象部品の大きさ
および傾きに応じたテンプレート画像が読み出されて、
演算器４に入力される。
第１画像メモリ１から検査対象部品の多値化画像データ
が読み出され、２値化回路３によって多値化画像データ
が２値化データに変換された後、演算器４に入力され
る。また、第２画像メモリ２から検査対象部品の大きさ
および傾きに応じたテンプレート画像が読み出されて、
演算器４に入力される。
【００２０】そして、演算器４によってテンプレートマ
ッチングが行われ、その結果が結果用メモリ５に格納さ
れる。
ッチングが行われ、その結果が結果用メモリ５に格納さ
れる。
【００２１】図２を参照して、テンプレートマッチング
に用いられるテンプレート画像の格納方法および読出方
法について説明する。
に用いられるテンプレート画像の格納方法および読出方
法について説明する。
【００２２】電子部品自動装着装置では、一般的に、形
状が相似形で大きさが異なる複数の部品が装着されるこ
とが多い。たとえば、図５に示すような形状の部品で、
大きさが異なる複数の部品が、装着される場合を想定す
る。
状が相似形で大きさが異なる複数の部品が装着されるこ
とが多い。たとえば、図５に示すような形状の部品で、
大きさが異なる複数の部品が、装着される場合を想定す
る。
【００２３】テンプレート画像は、図２に示すように、
第２画像メモリ２に格納されている。つまり、互いに相
似形である複数種類の検査対象部品のうち、最大サイズ
の検査対象部品のみに対するテンプレート画像が、傾き
角ごとに生成されて第２画像メモリに格納されている。
第２画像メモリ２に格納されている。つまり、互いに相
似形である複数種類の検査対象部品のうち、最大サイズ
の検査対象部品のみに対するテンプレート画像が、傾き
角ごとに生成されて第２画像メモリに格納されている。
【００２４】この例では、最大サイズの検査対象部品に
対するテンプレート画像の大きさは３０×３０画素であ
る。なお、最小サイズの検査対象部品に対して必要なテ
ンプレート画像の大きさは１０×１０画素であるとす
る。また、傾き角６°ごとに、傾き角０°〜４８°の範
囲で、最大サイズの検査対象部品のテンプレート画像が
用意されている。
対するテンプレート画像の大きさは３０×３０画素であ
る。なお、最小サイズの検査対象部品に対して必要なテ
ンプレート画像の大きさは１０×１０画素であるとす
る。また、傾き角６°ごとに、傾き角０°〜４８°の範
囲で、最大サイズの検査対象部品のテンプレート画像が
用意されている。
【００２５】そして、検査対象部品の大きさおよび傾き
角に応じて、読出開始アドレス、横方向読出データ数お
よび縦方向の読出データ数を設定することにより、検査
対象部品の大きさおよび傾き角に応じたテンプレート画
像が読み出される。
角に応じて、読出開始アドレス、横方向読出データ数お
よび縦方向の読出データ数を設定することにより、検査
対象部品の大きさおよび傾き角に応じたテンプレート画
像が読み出される。
【００２６】たとえば、検査対象部品の大きさが最大サ
イズであり、その概略傾き角が２４°である場合には、
読出開始アドレスを（２００，０）に、横方向（Ｘ方
向）の読出データ数を３０に、縦方向（Ｙ方向）の読出
データ数を３０に、それぞれ設定することにより、最大
サイズの検査対象部品および２４°の傾き角に応じたテ
ンプレート画像が読み出される。
イズであり、その概略傾き角が２４°である場合には、
読出開始アドレスを（２００，０）に、横方向（Ｘ方
向）の読出データ数を３０に、縦方向（Ｙ方向）の読出
データ数を３０に、それぞれ設定することにより、最大
サイズの検査対象部品および２４°の傾き角に応じたテ
ンプレート画像が読み出される。
【００２７】検査対象部品の大きさが最小サイズであ
り、その概略傾き角が２４°である場合には、読出開始
アドレスを（２１０，１０）に、横方向（Ｘ方向）の読
出データ数を１０に、縦方向（Ｙ方向）の読出データ数
を１０に、それぞれ設定することにより、最小サイズの
検査対象部品および２４°の傾き角に応じたテンプレー
ト画像が読み出される。
り、その概略傾き角が２４°である場合には、読出開始
アドレスを（２１０，１０）に、横方向（Ｘ方向）の読
出データ数を１０に、縦方向（Ｙ方向）の読出データ数
を１０に、それぞれ設定することにより、最小サイズの
検査対象部品および２４°の傾き角に応じたテンプレー
ト画像が読み出される。
【００２８】最大サイズより小さい検査対象部品に対す
るテンプレート画像の読出開始アドレス（ｘｂ，ｙｂ）
は、次のようにして求められる。
るテンプレート画像の読出開始アドレス（ｘｂ，ｙｂ）
は、次のようにして求められる。
【００２９】最大サイズの検査対象部品に対するテンプ
レート画像の横方向および縦方向のそれぞれのデータ数
Ｗａとし、最大サイズより小さい検査対象部品に対する
テンプレート画像の横方向および縦方向のそれぞれのデ
ータ数Ｗｂとする。また、傾き角θに対応する最大サイ
ズの検査対象部品に対するテンプレート画像の読出開始
アドレスを（ｘａ，ｙａ）とする。
レート画像の横方向および縦方向のそれぞれのデータ数
Ｗａとし、最大サイズより小さい検査対象部品に対する
テンプレート画像の横方向および縦方向のそれぞれのデ
ータ数Ｗｂとする。また、傾き角θに対応する最大サイ
ズの検査対象部品に対するテンプレート画像の読出開始
アドレスを（ｘａ，ｙａ）とする。
【００３０】傾き角θに対応する最大サイズより小さい
検査対象部品に対するテンプレート画像の読出開始アド
レス（ｘｂ，ｙｂ）は、次の数式１によって求められ
る。
検査対象部品に対するテンプレート画像の読出開始アド
レス（ｘｂ，ｙｂ）は、次の数式１によって求められ
る。
【００３１】
【数１】ｘｂ＝ｘａ＋｛（Ｗａ−Ｗｂ）／２｝
ｙｂ＝ｙａ＋｛（Ｗａ−Ｗｂ）／２｝
【００３２】図３は、検査対象部品の位置および傾き
を、画像処理によって算出する場合の全体的な処理手順
を示している。図５は、検査対象部品の撮像画像を示し
ている。
を、画像処理によって算出する場合の全体的な処理手順
を示している。図５は、検査対象部品の撮像画像を示し
ている。
【００３３】検査対象部品１０は、図５に示すよう、平
面からみて矩形の電子部品本体１１と、電子部品本体１
１の両端から外方にそれぞれ突出した平板状の電極１
２、１３とからなる。
面からみて矩形の電子部品本体１１と、電子部品本体１
１の両端から外方にそれぞれ突出した平板状の電極１
２、１３とからなる。
【００３４】まず、２方向の射影処理等に基づいて、検
査対象部品１０の各コーナの概略位置および検査対象部
品１０の概略傾き角が算出される（ステップ１）。
査対象部品１０の各コーナの概略位置および検査対象部
品１０の概略傾き角が算出される（ステップ１）。
【００３５】次に、図６に示すように、各コーナＣ１、
Ｃ２、Ｃ３およびＣ４に対して、それぞれテンプレート
マッチングにより、各コーナＣ１〜Ｃ４の位置が正確に
求められる（ステップ２）。
Ｃ２、Ｃ３およびＣ４に対して、それぞれテンプレート
マッチングにより、各コーナＣ１〜Ｃ４の位置が正確に
求められる（ステップ２）。
【００３６】そして、ステップ２で求められた各コーナ
Ｃ１〜Ｃ４に基づいて、検査対象部品１０の正確な位置
および傾き角等が算出される（ステップ３）。
Ｃ１〜Ｃ４に基づいて、検査対象部品１０の正確な位置
および傾き角等が算出される（ステップ３）。
【００３７】図４は、上記ステップ２で行われる各テン
プレートマッチングの処理手順を示している。
プレートマッチングの処理手順を示している。
【００３８】まず、テンプレート画像の設定が行われる
（ステップ１１）。つまり、検査対象部品の大きさ、上
記ステップ１で算出された検査対象部品の所定のコーナ
の概略位置、および上記ステップ１で算出された検査対
象部品の概略傾き角に応じて、テンプレート画像の読出
開始アドレス、横方向読出データ数および縦方向の読出
データ数が設定される。
（ステップ１１）。つまり、検査対象部品の大きさ、上
記ステップ１で算出された検査対象部品の所定のコーナ
の概略位置、および上記ステップ１で算出された検査対
象部品の概略傾き角に応じて、テンプレート画像の読出
開始アドレス、横方向読出データ数および縦方向の読出
データ数が設定される。
【００３９】次に、ソース画像の設定が行われる（ステ
ップ１２）。つまり、上記ステップ１で算出された所定
のコーナの概略位置に基づいて、所定のコーナの画像の
読出開始アドレス、横方向読出データ数および縦方向の
読出データ数が設定される。
ップ１２）。つまり、上記ステップ１で算出された所定
のコーナの概略位置に基づいて、所定のコーナの画像の
読出開始アドレス、横方向読出データ数および縦方向の
読出データ数が設定される。
【００４０】ステップ１１の設定内容に基づいて、第２
画像メモリ２内から検査対象部品の大きさおよび概略傾
きに応じた所定のコーナに対するテンプレートが読み出
され、演算器４に送られる。また、ステップ１２の設定
内容に基づいて、第１画像メモリ１内から検査対象部品
の所定のコーナ画像が読み出され、２値化データに変換
された後、演算器４に送られる。
画像メモリ２内から検査対象部品の大きさおよび概略傾
きに応じた所定のコーナに対するテンプレートが読み出
され、演算器４に送られる。また、ステップ１２の設定
内容に基づいて、第１画像メモリ１内から検査対象部品
の所定のコーナ画像が読み出され、２値化データに変換
された後、演算器４に送られる。
【００４１】そして、コーナ画像に対してテンプレート
画像を動かして、各テンプレート位置での、相関係数が
算出される（ステップ１３）。
画像を動かして、各テンプレート位置での、相関係数が
算出される（ステップ１３）。
【００４２】そして、相関係数が最大となる場合のテン
プレート位置に基づいて、コーナ画像の正確な座標が算
出される（ステップ１４）。
プレート位置に基づいて、コーナ画像の正確な座標が算
出される（ステップ１４）。
【００４３】
【発明の効果】この発明によれば、相似形で大きさが異
なる複数種類の検査対象部品に対して、テンプレートマ
ッチングを行う場合において、テンプレート画像のデー
タ量を低減させることができる。
なる複数種類の検査対象部品に対して、テンプレートマ
ッチングを行う場合において、テンプレート画像のデー
タ量を低減させることができる。
【図１】画像処理回路の構成を示すブロック図である。
【図２】第２画像メモリ内のテンプレート画像を示す模
式図である。
式図である。
【図３】検査対象部品の位置および傾きを、画像処理に
よって算出する場合の全体的な処理手順を示すフローチ
ャートである。
よって算出する場合の全体的な処理手順を示すフローチ
ャートである。
【図４】テンプレートマッチングの処理手順を示すフロ
ーチャートである。
ーチャートである。
【図５】検査対象部品画像を示す模式図である。
【図６】検査対象部品画像の各コーナ部分に対してテン
プレートマッチングが行われる様子を示す模式図であ
る。
プレートマッチングが行われる様子を示す模式図であ
る。
【図７】従来のテンプレート画像の格納方法と読出方法
を説明するための模式図である。
を説明するための模式図である。
１、２ 画像メモリ
３ ２値化回路
４ 演算器
５ 結果用メモリ
─────────────────────────────────────────────────────
フロントページの続き
(58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名)
G06T 7/00 - 7/60
G06T 1/00
Claims (2)
- 【請求項１】 相似形で大きさが異なる複数種類の検査
対象部品に対して、テンプレートマッチングを行う場合
の、テンプレート画像の格納および読出方法であって、 最大サイズの検査対象部品に対するテンプレート画像を
画像メモリに格納し、 読出し開始アドレスおよび読出データ数を、検査対象部
品のサイズに応じて設定することにより、最大サイズの
検査対象部品に対するテンプレート画像に含まれてい
る、検査対象部品のサイズに応じたテンプレート画像を
読み出すことを特徴とするテンプレート画像の格納およ
び読出方法。 - 【請求項２】 相似形で大きさが異なる複数種類の検査
対象部品に対して、テンプレートマッチングを行う場合
の、テンプレート画像の格納および読出方法であって、 最大サイズの検査対象部品に対するテンプレート画像
を、その傾き角ごとに画像メモリに格納し、 読出し開始アドレスおよび読出データ数を、検査対象部
品のサイズおよび傾き角に応じて設定することにより、
最大サイズの検査対象部品に対するテンプレート画像で
あって検査対象部品の傾き角に対するテンプレート画像
に含まれている、検査対象部品のサイズおよび傾き角に
応じたテンプレート画像を読み出すことを特徴とするテ
ンプレート画像の格納および読出方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP31361594A JP3438974B2 (ja) | 1994-12-16 | 1994-12-16 | テンプレート画像の格納および読出方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP31361594A JP3438974B2 (ja) | 1994-12-16 | 1994-12-16 | テンプレート画像の格納および読出方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH08171638A JPH08171638A (ja) | 1996-07-02 |
| JP3438974B2 true JP3438974B2 (ja) | 2003-08-18 |
Family
ID=18043455
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP31361594A Expired - Fee Related JP3438974B2 (ja) | 1994-12-16 | 1994-12-16 | テンプレート画像の格納および読出方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3438974B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP4950716B2 (ja) | 2007-03-22 | 2012-06-13 | 株式会社日立ハイテクノロジーズ | 画像処理システム、及び走査型電子顕微鏡装置 |
-
1994
- 1994-12-16 JP JP31361594A patent/JP3438974B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH08171638A (ja) | 1996-07-02 |
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