JP3418360B2 - 樹脂供給装置 - Google Patents
樹脂供給装置Info
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- JP3418360B2 JP3418360B2 JP22587799A JP22587799A JP3418360B2 JP 3418360 B2 JP3418360 B2 JP 3418360B2 JP 22587799 A JP22587799 A JP 22587799A JP 22587799 A JP22587799 A JP 22587799A JP 3418360 B2 JP3418360 B2 JP 3418360B2
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- Fixed Capacitors And Capacitor Manufacturing Machines (AREA)
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、積層コンデンサを
蒸着方式で製造する装置において、誘電体膜形成用の熱
硬化性樹脂の蒸気を供給するために主として利用される
樹脂供給装置に関するものである。
蒸着方式で製造する装置において、誘電体膜形成用の熱
硬化性樹脂の蒸気を供給するために主として利用される
樹脂供給装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】従来の樹脂供給装置の一例を、図４を参
照しながら説明する。
照しながら説明する。
【０００３】図４において、２１は真空チャンバ、２２
はヒータ、２８は樹脂を流すチューブノズル、２４は樹
脂を滴下するノズル口、２５は樹脂を冷却する水冷ブロ
ック、２７は樹脂配管、２６は真空をシールする状態で
樹脂配管２７を貫通状態において支持する樹脂配管フィ
ールドスルーである。
はヒータ、２８は樹脂を流すチューブノズル、２４は樹
脂を滴下するノズル口、２５は樹脂を冷却する水冷ブロ
ック、２７は樹脂配管、２６は真空をシールする状態で
樹脂配管２７を貫通状態において支持する樹脂配管フィ
ールドスルーである。
【０００４】上記構成において、真空チャンバ２１内
は、ヒータ２２により加熱されており、気体圧送方式に
より圧送される液状の熱硬化性樹脂は樹脂配管２７を通
り真空チャンバ２１内に入り、水冷ブロック２５により
硬化しないように冷却されながらチューブノズル２８に
達し、このチューブノズル２８に設けられた複数のノズ
ル口２４よりヒータ２２に向け滴下され、ここで蒸発す
る。
は、ヒータ２２により加熱されており、気体圧送方式に
より圧送される液状の熱硬化性樹脂は樹脂配管２７を通
り真空チャンバ２１内に入り、水冷ブロック２５により
硬化しないように冷却されながらチューブノズル２８に
達し、このチューブノズル２８に設けられた複数のノズ
ル口２４よりヒータ２２に向け滴下され、ここで蒸発す
る。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記従
来例では、樹脂の供給源側からの気泡等の混入により、
滴下周期及び各ノズル口からの滴下量が不安定になり易
い。またチューブノズル内の樹脂は水冷ブロックにより
冷却されているが、構造的に樹脂の流れ全域に冷却が及
ばないため冷却不足となり、特に水冷ブロックから離れ
ているノズル口では樹脂が硬化し穴詰まりが生じ、均一
な滴下が行なわれなくなる。
来例では、樹脂の供給源側からの気泡等の混入により、
滴下周期及び各ノズル口からの滴下量が不安定になり易
い。またチューブノズル内の樹脂は水冷ブロックにより
冷却されているが、構造的に樹脂の流れ全域に冷却が及
ばないため冷却不足となり、特に水冷ブロックから離れ
ているノズル口では樹脂が硬化し穴詰まりが生じ、均一
な滴下が行なわれなくなる。
【０００６】さらに、ノズル口周辺において、樹脂が滴
下する際、表面張力により樹脂同士が互いに干渉しあ
い、滴下位置、滴下量が安定しなくなる。これらの条件
がかさなり、樹脂の跳ね上げが生じたり、樹脂が均一に
蒸発しないといった問題があった。
下する際、表面張力により樹脂同士が互いに干渉しあ
い、滴下位置、滴下量が安定しなくなる。これらの条件
がかさなり、樹脂の跳ね上げが生じたり、樹脂が均一に
蒸発しないといった問題があった。
【０００７】本発明は、上記問題に鑑み、冷却不足によ
る穴詰まりすることなく、また気泡等が混入することな
く、熱硬化性樹脂を安定した状態で加熱ヒータに少量滴
下・供給し、樹脂を均一に蒸発させることができる樹脂
供給装置を提供することを目的としている。
る穴詰まりすることなく、また気泡等が混入することな
く、熱硬化性樹脂を安定した状態で加熱ヒータに少量滴
下・供給し、樹脂を均一に蒸発させることができる樹脂
供給装置を提供することを目的としている。
【０００８】
【課題を解決するための手段】本発明は上記目的を達成
するために、真空チャンバ内にヒータとノズル体とを備
え、外部より樹脂供給管を通じて気体圧送方式により液
状の熱硬化性樹脂を前記ノズル体に供給し、ノズル体に
設けたノズル口より前記熱硬化性樹脂を前記ヒータに向
けて滴下して、熱硬化性樹脂を蒸発させる樹脂供給装置
において、ノズル体の下面にノズル口を設けると共に、
ノズル体に前記樹脂供給管及び前記ノズル口に連通する
樹脂通路を形成し、ノズル体の前記樹脂通路の上方部分
に、金属薄板からなる隔壁板を介して樹脂通路の大部分
に接する冷却液路を形成すると共に、この冷却液路に冷
却液を外部との間で循環させる冷却液給排管を接続した
ことを特徴とする。
するために、真空チャンバ内にヒータとノズル体とを備
え、外部より樹脂供給管を通じて気体圧送方式により液
状の熱硬化性樹脂を前記ノズル体に供給し、ノズル体に
設けたノズル口より前記熱硬化性樹脂を前記ヒータに向
けて滴下して、熱硬化性樹脂を蒸発させる樹脂供給装置
において、ノズル体の下面にノズル口を設けると共に、
ノズル体に前記樹脂供給管及び前記ノズル口に連通する
樹脂通路を形成し、ノズル体の前記樹脂通路の上方部分
に、金属薄板からなる隔壁板を介して樹脂通路の大部分
に接する冷却液路を形成すると共に、この冷却液路に冷
却液を外部との間で循環させる冷却液給排管を接続した
ことを特徴とする。
【０００９】
【発明の実施の形態】以下、本発明の一実施の形態につ
いて、図１、図２及び図３を参照して説明する。
いて、図１、図２及び図３を参照して説明する。
【００１０】図１は本発明の樹脂供給装置の概略図を示
している。
している。
【００１１】図１において、１は真空チャンバ、２は真
空チャンバ１内に設置され熱硬化性樹脂を加熱し蒸発さ
せるヒータ、３は液状の前記樹脂を気体圧送方式により
圧送する加圧タンク、４は前記樹脂の流量を制御する流
体マスフローコントローラ、５はＮ2 パージバルブ、６
は樹脂供給バルブ、７は三方弁、８はノズル体、１７は
ノズル体８に前記樹脂を供給する樹脂供給管、２０ａ、
２０ｂはノズル体８に冷却水を給排する冷却液給排管で
ある。
空チャンバ１内に設置され熱硬化性樹脂を加熱し蒸発さ
せるヒータ、３は液状の前記樹脂を気体圧送方式により
圧送する加圧タンク、４は前記樹脂の流量を制御する流
体マスフローコントローラ、５はＮ2 パージバルブ、６
は樹脂供給バルブ、７は三方弁、８はノズル体、１７は
ノズル体８に前記樹脂を供給する樹脂供給管、２０ａ、
２０ｂはノズル体８に冷却水を給排する冷却液給排管で
ある。
【００１２】液状の熱硬化性樹脂を供給する場合、あら
かじめ流体マスフローコントローラ４にて前記樹脂の流
量を設定し、三方弁７はＡ方向に流れるように切り替え
ておく。まず、Ｎ2 パージバルブ５を開放し、加圧タン
ク３にＮ2 ガスを流入させて加圧し、加圧状態で樹脂供
給バルブ６を開放すると、前記樹脂は気体圧送方式によ
り、前記流体マスフローコントローラ４にて設定された
量が樹脂供給管１７を通り真空チャンバ１内のノズル体
８へ供給される。ノズル体８は冷却液給排管２０ａ、２
０ｂにより給排されて循環する冷却水で前記樹脂が硬化
しないよう冷却されており、前記樹脂はノズル体８の後
記ノズル口１５よりヒータ２に向け滴下される。滴下し
た熱硬化性樹脂はヒータ２の加熱により、ヒータ２の蒸
発板部２ａで蒸発する。
かじめ流体マスフローコントローラ４にて前記樹脂の流
量を設定し、三方弁７はＡ方向に流れるように切り替え
ておく。まず、Ｎ2 パージバルブ５を開放し、加圧タン
ク３にＮ2 ガスを流入させて加圧し、加圧状態で樹脂供
給バルブ６を開放すると、前記樹脂は気体圧送方式によ
り、前記流体マスフローコントローラ４にて設定された
量が樹脂供給管１７を通り真空チャンバ１内のノズル体
８へ供給される。ノズル体８は冷却液給排管２０ａ、２
０ｂにより給排されて循環する冷却水で前記樹脂が硬化
しないよう冷却されており、前記樹脂はノズル体８の後
記ノズル口１５よりヒータ２に向け滴下される。滴下し
た熱硬化性樹脂はヒータ２の加熱により、ヒータ２の蒸
発板部２ａで蒸発する。
【００１３】前記樹脂の供給を止める場合、まず樹脂供
給バルブ６を閉鎖し、樹脂供給管１７への樹脂供給を停
止させ、Ｎ2 パージバルブ５を閉鎖し、加圧タンク３内
の内圧を低下させ、三方弁７をＢ方向に流れるように切
り替え、樹脂供給管１７の途中及びノズル体８内に残っ
た前記樹脂を排出するために、Ｎ2 ガスによるパージを
かけてクリーニング動作を行なわしめる。
給バルブ６を閉鎖し、樹脂供給管１７への樹脂供給を停
止させ、Ｎ2 パージバルブ５を閉鎖し、加圧タンク３内
の内圧を低下させ、三方弁７をＢ方向に流れるように切
り替え、樹脂供給管１７の途中及びノズル体８内に残っ
た前記樹脂を排出するために、Ｎ2 ガスによるパージを
かけてクリーニング動作を行なわしめる。
【００１４】図２、図３は前記ノズル体８の詳細構造を
示している。
示している。
【００１５】図２において、真空チャンバ１の頂板部１
ａに樹脂供給管１７、１７を導入させる樹脂供給管導入
孔３０ａ、３０ｂと冷却液供給管２０ａと冷却液排出管
２０ｂを導入させる冷却液供給管導入孔３１、冷却液排
出管貫通孔３２が設けられており、前記樹脂供給管導入
孔３０ａ、３０ｂには前記樹脂供給管１７、１７が、冷
却液供給管導入孔３１と冷却液排出管貫通孔３２には冷
却液供給管２０ａと冷却液排出管２０ｂがそれぞれ貫通
しており、これら管１７、１７、２０ａ、２０ｂは真空
チャンバ１内の気密性を保つための配管フィードスルー
１９によって夫々の孔部において支持されている。前記
真空チャンバ１内に、偏平な直方体形状のノズル体８が
設置されており、このノズル体８は冷却液路側ブロック
８ａと樹脂通路側プレート８ｂとで構成されている。前
記冷却液路側ブロック８ａには樹脂供給管１７、１７を
挿通するための挿通孔３３ａ、３３ｂと冷却液給排管２
０ａ、２０ｂと連通する冷却液連通孔３４、３５が形成
されている。前記挿通孔３３ａ、３３ｂには上記樹脂供
給管１７が挿通されており、前記冷却液連通孔３４、３
５には前記冷却液給排管２０ａ、２０ｂのフランジ部３
６、３７が接合されている。またこの接合部にはシール
２２が介装されていて、冷却水の漏れを防止している。
前記冷却液路側ブロック８ａの下面には両冷却液連通孔
３４、３５に連通する冷却液路１２が凹設されている。
上記樹脂通路側プレート８ｂの上面には樹脂供給管１７
より大の通路断面積を有する樹脂通路１１が凹設されて
おり、下面には前記樹脂通路１１に連通する複数のノズ
ル口１５が設けられている。また樹脂通路側プレート８
ｂの下面の各ノズル口１５の中間位置にはスリット状凹
部１６が設けられている。樹脂通路１１と冷却液路１２
との間に配設された銅薄板等の金属薄板からなる隔壁板
１３には挿通孔３３ｃ、３３ｄが設けられ、ここに樹脂
供給管１７が挿通されている。その挿通部には締結固定
されるシール１８が配設されて、液状の熱硬化性樹脂の
漏れを防止している。また、隔壁板１３は、締結一体化
された冷却液路側ブロック８ａと樹脂通路側プレート８
ｂとの間に挟持されている。前記冷却液路側ブロック８
ａ、樹脂通路側プレート８ｂ及び隔壁板１３によりノズ
ル体８が構成される。
ａに樹脂供給管１７、１７を導入させる樹脂供給管導入
孔３０ａ、３０ｂと冷却液供給管２０ａと冷却液排出管
２０ｂを導入させる冷却液供給管導入孔３１、冷却液排
出管貫通孔３２が設けられており、前記樹脂供給管導入
孔３０ａ、３０ｂには前記樹脂供給管１７、１７が、冷
却液供給管導入孔３１と冷却液排出管貫通孔３２には冷
却液供給管２０ａと冷却液排出管２０ｂがそれぞれ貫通
しており、これら管１７、１７、２０ａ、２０ｂは真空
チャンバ１内の気密性を保つための配管フィードスルー
１９によって夫々の孔部において支持されている。前記
真空チャンバ１内に、偏平な直方体形状のノズル体８が
設置されており、このノズル体８は冷却液路側ブロック
８ａと樹脂通路側プレート８ｂとで構成されている。前
記冷却液路側ブロック８ａには樹脂供給管１７、１７を
挿通するための挿通孔３３ａ、３３ｂと冷却液給排管２
０ａ、２０ｂと連通する冷却液連通孔３４、３５が形成
されている。前記挿通孔３３ａ、３３ｂには上記樹脂供
給管１７が挿通されており、前記冷却液連通孔３４、３
５には前記冷却液給排管２０ａ、２０ｂのフランジ部３
６、３７が接合されている。またこの接合部にはシール
２２が介装されていて、冷却水の漏れを防止している。
前記冷却液路側ブロック８ａの下面には両冷却液連通孔
３４、３５に連通する冷却液路１２が凹設されている。
上記樹脂通路側プレート８ｂの上面には樹脂供給管１７
より大の通路断面積を有する樹脂通路１１が凹設されて
おり、下面には前記樹脂通路１１に連通する複数のノズ
ル口１５が設けられている。また樹脂通路側プレート８
ｂの下面の各ノズル口１５の中間位置にはスリット状凹
部１６が設けられている。樹脂通路１１と冷却液路１２
との間に配設された銅薄板等の金属薄板からなる隔壁板
１３には挿通孔３３ｃ、３３ｄが設けられ、ここに樹脂
供給管１７が挿通されている。その挿通部には締結固定
されるシール１８が配設されて、液状の熱硬化性樹脂の
漏れを防止している。また、隔壁板１３は、締結一体化
された冷却液路側ブロック８ａと樹脂通路側プレート８
ｂとの間に挟持されている。前記冷却液路側ブロック８
ａ、樹脂通路側プレート８ｂ及び隔壁板１３によりノズ
ル体８が構成される。
【００１６】図３において、上記頂板部１ａに金属など
に鏡面加工を施した左右１対のリフレクタ２３、２３が
固定されており、ノズル体８の両側面およびノズル口１
５周辺を除く下面をヒータ２の輻射熱から保護するよう
に設けられている（但し図２にはリフレクタ２３の図示
を省略している。）。なお、図３において、５０、５０
は冷却水の漏れ防止用のシールである。
に鏡面加工を施した左右１対のリフレクタ２３、２３が
固定されており、ノズル体８の両側面およびノズル口１
５周辺を除く下面をヒータ２の輻射熱から保護するよう
に設けられている（但し図２にはリフレクタ２３の図示
を省略している。）。なお、図３において、５０、５０
は冷却水の漏れ防止用のシールである。
【００１７】図２、図３に示すように、樹脂通路１１の
上方部分に薄い金属薄板からなる隔壁板１３を介して樹
脂通路１１の大部分に接する冷却液路１２が形成されて
いる。このため樹脂通路１１の全域に渡って冷却が可能
である。またこの金属薄板は熱伝導率がよく冷却効果が
高いため、熱硬化性樹脂の硬化を防ぐことが可能であ
る。また、ノズル体８に樹脂供給管１７及びノズル口１
５に連通する樹脂通路１１があり、前記樹脂通路１１の
通路断面積は樹脂供給管１７の通路断面積に比して大に
形成しているので、樹脂通路１１において熱硬化性樹脂
中の気体を分離することが容易である。この機能により
熱硬化性樹脂と共に気泡等がノズル口１５より吐出され
ることを防止でき、熱硬化性樹脂の滴下を安定したもの
とすることができる。さらに、隣接する各ノズル口１５
の中間位置にスリット状凹部１６を設けており、樹脂同
士が干渉して滴下が不安定になるのを防止し、確実に独
立した状態で滴下できるようにしている。
上方部分に薄い金属薄板からなる隔壁板１３を介して樹
脂通路１１の大部分に接する冷却液路１２が形成されて
いる。このため樹脂通路１１の全域に渡って冷却が可能
である。またこの金属薄板は熱伝導率がよく冷却効果が
高いため、熱硬化性樹脂の硬化を防ぐことが可能であ
る。また、ノズル体８に樹脂供給管１７及びノズル口１
５に連通する樹脂通路１１があり、前記樹脂通路１１の
通路断面積は樹脂供給管１７の通路断面積に比して大に
形成しているので、樹脂通路１１において熱硬化性樹脂
中の気体を分離することが容易である。この機能により
熱硬化性樹脂と共に気泡等がノズル口１５より吐出され
ることを防止でき、熱硬化性樹脂の滴下を安定したもの
とすることができる。さらに、隣接する各ノズル口１５
の中間位置にスリット状凹部１６を設けており、樹脂同
士が干渉して滴下が不安定になるのを防止し、確実に独
立した状態で滴下できるようにしている。
【００１８】本実施形態においては、ノズル口１５の径
は０．５ｍｍ、ノズル口１５の口ピッチ２０ｍｍに対し
てスリット状凹部１６の幅を１０ｍｍに設定している。
リフレクタ２３は、ノズル体８の両側面およびノズル口
１５周辺を除く下面を、ヒータ２の輻射熱で温度が上昇
するのを防ぎ、熱硬化性樹脂に対する冷却効果をさらに
上げている。さらに、図３で示されているリフレクタ２
３は一重で示しているが、このリフレクタ２３を二重、
三重またはそれ以上に設けることにより、さらに輻射熱
からの保護を確実なものとすることができる。
は０．５ｍｍ、ノズル口１５の口ピッチ２０ｍｍに対し
てスリット状凹部１６の幅を１０ｍｍに設定している。
リフレクタ２３は、ノズル体８の両側面およびノズル口
１５周辺を除く下面を、ヒータ２の輻射熱で温度が上昇
するのを防ぎ、熱硬化性樹脂に対する冷却効果をさらに
上げている。さらに、図３で示されているリフレクタ２
３は一重で示しているが、このリフレクタ２３を二重、
三重またはそれ以上に設けることにより、さらに輻射熱
からの保護を確実なものとすることができる。
【００１９】
【発明の効果】本発明の樹脂供給装置によれば、熱硬化
性樹脂を樹脂通路全域で冷却することが可能なので、ノ
ズル体内、ノズル口での樹脂硬化による穴詰まりが防止
でき、安定した状態で樹脂を滴下させることができる。
また樹脂通路の通路断面積を樹脂供給管のそれに比して
大にすることにより、滴下する樹脂中に気泡等が混入す
るのを防止することができ、安定した状態で樹脂を滴下
させることができる。さらに、各ノズル口間に設けたス
リット状凹部により樹脂同士の干渉を防止でき、滴下位
置、滴下量を正確なものとすることができる。これらの
結果熱硬化性樹脂を均一かつ効果的に蒸発させて、供給
することができる。
性樹脂を樹脂通路全域で冷却することが可能なので、ノ
ズル体内、ノズル口での樹脂硬化による穴詰まりが防止
でき、安定した状態で樹脂を滴下させることができる。
また樹脂通路の通路断面積を樹脂供給管のそれに比して
大にすることにより、滴下する樹脂中に気泡等が混入す
るのを防止することができ、安定した状態で樹脂を滴下
させることができる。さらに、各ノズル口間に設けたス
リット状凹部により樹脂同士の干渉を防止でき、滴下位
置、滴下量を正確なものとすることができる。これらの
結果熱硬化性樹脂を均一かつ効果的に蒸発させて、供給
することができる。
【図１】本発明の樹脂供給装置の一実施形態の概略図。
【図２】その要部の縦断面図。
【図３】図２のＡ−Ａ断面図。
【図４】従来の樹脂供給装置の概略構成図。
１ 真空チャンバ
２ ヒータ
８ ノズル体
１１ 樹脂通路
１２ 冷却液路
１３ 隔壁板
１５ ノズル口
１６ スリット状凹部
１７ 樹脂供給管
２０ａ、２０ｂ 冷却液給排管
２３ リフレクタ
─────────────────────────────────────────────────────
フロントページの続き
(72)発明者 陶澤 眞一
大阪府門真市大字門真1006番地 松下電
器産業株式会社内
(72)発明者 加瀬部 強
大阪府門真市大字門真1006番地 松下電
器産業株式会社内
(56)参考文献 特開 平５−132761（ＪＰ，Ａ)
特開 平９−310172（ＪＰ，Ａ)
(58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名)
H01G 13/00
C23C 14/24
Claims (4)
- 【請求項１】 真空チャンバ内にヒータとノズル体とを
備え、外部より樹脂供給管を通じて気体圧送方式により
液状の熱硬化性樹脂を前記ノズル体に供給し、ノズル体
に設けたノズル口より前記熱硬化性樹脂を前記ヒータに
向けて滴下して、熱硬化性樹脂を蒸発させる樹脂供給装
置において、ノズル体の下面にノズル口を設けると共
に、ノズル体に前記樹脂供給管及び前記ノズル口に連通
する樹脂通路を形成し、ノズル体の前記樹脂通路の上方
部分に、金属薄板からなる隔壁板を介して樹脂通路の大
部分に接する冷却液路を形成すると共に、この冷却液路
に冷却液を外部との間で循環させる冷却液給排管を接続
したことを特徴とする樹脂供給装置。 - 【請求項２】 ノズル体の両側面およびノズル口周辺を
除く下面を、ヒータの輻射熱から保護するリフレクタを
設けたことを特徴とする請求項１記載の樹脂供給装置。 - 【請求項３】 ノズル体の下面に、ノズル口が複数設け
られると共に、隣接するノズル口の中間位置にスリット
状凹部が形成されていることを特徴とする請求項１また
は２記載の樹脂供給装置。 - 【請求項４】 前記樹脂通路を、その通路断面積が前記
樹脂供給管の通路断面積より大となるように形成したこ
とを特徴とする請求項１〜３のいずれか１項に記載の樹
脂供給装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP22587799A JP3418360B2 (ja) | 1999-08-10 | 1999-08-10 | 樹脂供給装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP22587799A JP3418360B2 (ja) | 1999-08-10 | 1999-08-10 | 樹脂供給装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2001052975A JP2001052975A (ja) | 2001-02-23 |
| JP3418360B2 true JP3418360B2 (ja) | 2003-06-23 |
Family
ID=16836273
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP22587799A Expired - Lifetime JP3418360B2 (ja) | 1999-08-10 | 1999-08-10 | 樹脂供給装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3418360B2 (ja) |
Families Citing this family (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP4965774B2 (ja) * | 2001-07-04 | 2012-07-04 | パナソニック株式会社 | 樹脂蒸着ユニットおよび成膜装置 |
| JP5055044B2 (ja) * | 2007-07-05 | 2012-10-24 | ニッコーシ株式会社 | 多層構造のｃｖｄ用マルチシャワーヘッド |
| JP2012052187A (ja) * | 2010-09-01 | 2012-03-15 | Kaneka Corp | 蒸着装置、成膜方法及び有機ｅｌ装置の製造方法 |
| JP2012216744A (ja) * | 2010-11-10 | 2012-11-08 | Sharp Corp | 気相成長装置及び気相成長方法 |
| JP6631817B2 (ja) * | 2018-03-30 | 2020-01-15 | 株式会社エコロ | Ｔｏｃ計測方法及びそれに使用するｔｏｃ計測装置 |
-
1999
- 1999-08-10 JP JP22587799A patent/JP3418360B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2001052975A (ja) | 2001-02-23 |
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