JP3416228B2 - 磁電変換素子の組立装置 - Google Patents
磁電変換素子の組立装置Info
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Description
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、磁電変換素子の組立装
置に関し、詳しくは、ホール素子などホール係数の高い
半導体を用いて積層状に構成される磁電変換素子の組立
装置に関する。 【０００２】 【従来の技術】ホール素子や磁気抵抗素子などの磁電変
換素子では、その電磁気特性の向上、特に高い出力電圧
が得られるようにするために、例えば特公昭５１−４５
２３４号公報に開示されている例のように磁性体、半導
体および磁気集束用磁性体からなる積層構造が採用され
ている。ところで、かかる積層による磁気変換素子にお
いては半導体自体の電磁気特性が同じでも出力される電
圧が素子の構成要素である磁気集束用磁性体の面積に反
比例し、その厚さにほぼ比例するという特性がある。そ
こで、従来の場合このような磁電変換素子の製造にあた
っては、磁性体と半導体とからなる積層構造の個々のウ
エハに対し、数点でその電磁特性を測定し、測定された
電磁特性に基づいて目的の出力電圧が得られるようウエ
ハごとに同一形状の磁気集束用磁性体を積層するという
組立方式がとられてきた。 【０００３】 【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記従
来のような組立方式によって得られた磁電変換素子で
は、半導体自体の電磁気特性にウエハ単位でその分布に
ばらつきがあり、一般的には２種類以上の範囲にわたる
電磁気特性が混在している。そこで、このような半導体
および磁性体からなる個々のウエハに同一形状の磁気集
束用磁性体を積層して構成された磁電変換素子では当然
のことながら出力電圧を含め少なくとも２種類以上の範
囲にわたる電磁気特性を有する。そのために、上述のよ
うにして得られた磁電変換素子では電磁気検査の過程で
目的にそぐわないものが数多く発見されることになる。 【０００４】これまで、かかる特性をそろえるように選
別するのは最終検査工程であって、この工程では、リー
ドフレームを切断して個別の素子にした後、特性に応じ
たボックスを用意し、ボックスにばらばらの状態で振り
込まれていた。なお、このあとすぐに袋詰めされる場合
は良いが、一旦、同一特性の素子を集め、並べ直して特
性に応じたマーク付け、フォーミング、あるいはさらに
テーピングして製品形態となるのが通例であって、この
ように最終検査以降の工程が多く、信頼性を確保するた
めに上記のような作業を終えるごとに全数が検査の対象
となる。そのために多くの労力を要することが問題であ
り、特に、かかる素子を廉価かつ小型化するために益々
これらの工程を合理化することが強く望まれてきた。 【０００５】本発明は、上記課題に鑑みてなされたもの
で、素子化後の特性のばらつきが小さく、目的の電磁気
特性範囲を予め、選択的に得ることのできる磁電変換素
子の組立装置を提供することを目的とするものである。 【０００６】 【課題を解決するための手段】本発明者らは、かかる目
的を達成するために検討を重ねた結果、リードフレーム
上にダインボンドされたペレットの電磁気特性を個別に
測定し、それに対応した磁気集束用磁性体を個別に積層
することにより、素子化後の電磁気特性において、目的
の特性範囲を得ることができることを確認した。すなわ
ち、本発明は、磁性体、半導体および磁気集束用磁性体
チップからなる積層構造の磁電変換素子の組立装置であ
って、リードフレーム上にダイボンドされた磁性体およ
び半導体の積層からなる複数のペレットに対し、該ペレ
ットの個々の出力電圧を測定する手段と、該測定結果に
基づいて特性を複数に仕分けし、当該仕分けられた特性
に応じたマークを個々のペレット毎にリードフレームに
マーキングする手段と、前記マークを検出する手段と、
異なる厚みを有する磁気集束用磁性体チップのうち、前
記検出されたマークの情報に従って、該マークに対応し
たチップを選定して、マーキングされた対応するペレッ
ト上に積載する磁気集束用磁性体積載手段とを具備した
ことを特徴とするものである。 【０００７】なお、本発明による磁電変換素子は感磁部
と入力２端子出力２端子とで構成されるもので、電磁気
特性の測定項目としては、入出力端子間の抵抗および入
力端子に一定の直流電圧を供給した状態で感磁部に一定
の磁界をかけた場合とかけない場合とによりそれぞれ得
られる出力電圧である。 【０００８】 【作用】本発明によれば、磁気集束用磁性体によって、
電磁気特性として特に出力電圧がどの程度高くなるかを
知るために、予めリードフレーム上にダイボンドされた
半導体を主体とするペレットについて、それぞれの電磁
気特性を測定しておき、一方、準備しておいた複数の磁
気集束用磁性体チップのうちから個々のペレットの有す
る電磁気特性に対して所望の電磁気特性を得るためにど
の磁気集束用磁性体を積層すれば良いかを決定するもの
で、磁気集束用磁性体としては面積を一定にし厚さを変
えたものを準備しておくことにより、厚さが厚い程出力
電圧を高くすることができる。 【０００９】 【実施例】以下に、図面に基づいて本発明の実施例を詳
細かつ具体的に説明する。 【００１０】図１および図２は本発明の構成の一例を示
すもので、まず図１に従って電磁気特性の測定が行われ
る測定部および特性別にマーキングされるマーキング部
の構成について説明する。１はリードフレーム２上にダ
イボンドされた半導体を主体とするペレットである。な
お、ペレット１としては先に述べたようにホール素子構
成の場合、磁性体と半導体との積層構造からなるウエハ
から得られるものであり、本例の場合、０．３ｍｍ厚
さ、０．８ｍｍ角の方形フェライト基板のホール素子用
ペレットを用意した。なおかかるペレット１は、例えば
１５ｍｍ×９２ｍｍのリードフレームに４．６ｍｍピッ
チで形成された厚さ１ｍｍで１ｍｍ×１．２ｍｍ角の大
きさの２０個のアイランドにダイボンドされた上マガジ
ンに収納され、硬化される。 【００１１】そして、このようなマガジンは図１で左側
に配置される。ここでは不図示のローダに送り出し可能
にセットされる。３はリードフレーム搬送用のレール、
４，５および６はレール３上に沿ってリードフレーム２
をピッチ送りするための搬送装置であり、上述のローダ
はこの図でレール３の左端側に設けられている。リード
フレーム２には不図示の搬送位置決め用孔が穿設されて
いて、ピッチ送りにあたっては搬送装置４，５，６の爪
４Ａ，５Ａ，６Ａがリードフレーム２に挿入され、位置
決めされる。 【００１２】７はペレット１の電磁気特性を測定するた
めの測定部であり、その測定のために上下可能なプロー
バ８と有磁界および無磁界においてペレット１の電磁気
特性をそれぞれ測定可能とするための磁界切換手段９と
が設けられている。なお、測定部７のレール３下方には
空間が形成されていて、この空間に有磁界形成のための
磁石１０が配設されている。また、１１は本例の場合円
筒状に形成されたシールド部材であり、シールド部材１
１を矢印方向に移動させることにより磁石１０の周りを
覆い、測定部７を無磁界状態に保つことができる。ただ
しここで、シールド部材１１を移動させる代りに磁石１
０の方を空間からシールド部材１１内に移動させるよう
に構成することも可能である。なお、空間の周りの斜線
を施して示した部分は測定時の精度を高めるために、非
磁性材料で構成されることが望ましい。 【００１３】そこで、本実施例のように、プローバ８自
体を上下させてリードフレーム２上のペレット１にプロ
ーブを近接させ、入出力端子にプローブを接触させて電
磁気特性を計測する場合は、プローバ８の上下する側面
に非磁性体のシールド板１２が取付けられている。１３
はマーキング部、１４はマーキング部１３に配設され、
電磁気特性の測定を終えたペレット１に対し、その特性
別にマーキングを行うマーキング装置である。なお、こ
のようなマーキング装置１４としては例えばインクジェ
ットやレーザによるプリンタを用いることができるが、
ペレット１自体を損わないためにそのペレット１が搭載
されているリードフレームの外縁部にパターン認識用の
マークをマーキングする。 【００１４】続いて、図２に従い、マーキング部１３で
パターン認識用のマーキングが行われたあとの処理動作
および処理にかかわる機構について説明する。１５は上
述の測定された電磁気特性に応じて、磁気集束用磁性体
をペレット１上に積層するために接着剤の塗布が行われ
る接着剤塗布部である。接着剤塗布部１５としてはシリ
ンジの先端部に接着剤の滴下が可能なノズルを有するデ
ィスペンサ（投与器）あるいはスタンプ式のものを用い
ればよく、かかる器具をピッチ送りされてきたペレット
１上に導くようにする。 【００１５】１６はマーキング検出部、１７は磁気集束
用磁性体の積載機構であり、これらを図３を参照して説
明する。 【００１６】図３において、１８はマーキング検出部１
６のレール３直上部に配置され、レール３に沿ってマー
キング検出部１６に搬送されてきたリードフレーム２上
からペレット１の電磁気特性にかかわるマークを認識す
る読取装置、例えばカメラである。また、１９は磁気集
束用磁性体積載機構１７を構成するターンテーブルであ
り、ターンテーブル１９はＸＹテーブル３０上に移動自
在に設けられている。２０はターンテーブル１９上に設
けられ、その上面に粘着シート２１を介して磁気集束用
磁性体のチップ２２を保持するリングである。リング２
０はターンテーブル１９の周方向に沿って９０°の等間
隔に４ヶ所に置かれる。なお、本例の場合、チップ２２
としては磁気集束用磁性体として好適なマンガンジング
（ＭｎＺｎ）を用い、同じ４５ｍｍ角の面積で厚さが
０．２ｍｍ、０．２５ｍｍ、０．３ｍｍおよび０．４ｍ
ｍと異なる４種類の基板をそれぞれ厚さ１５０μｍの粘
着シート２１に貼り付けて、ダイシング等の作業により
各基板毎に０．４ｍｍ角に切断され拡張され、リング２
０に保持されている。 【００１７】読取装置１８によって読みとられたマーク
の情報に従ってチップの厚みが選択され、ターンテーブ
ル１９が回転し、ある厚みのチップ２２を保持するリン
グがカメラ２３の下部に位置する。カメラ２３でチップ
を確認し位置と傾きを認識しＸＹテーブル３０により位
置の修正が行われ、下方から突き上げピン２４がチップ
２２のほぼ中央部を突き上げると共に、ボンディングア
ーム２５が矢印方向に動作する。そして、ボンディング
アーム２５の先端部に設けられている回転可能な真空吸
着用コレット２６によりチップ２２の傾きを修正してそ
の選択されたチップ２２を吸着し、ペレット１の接着剤
が塗布されている上面にチップ２２を積層可能に載置す
る。 【００１８】かくして、リードフレーム２上のペレット
１に対し、次々と個別に磁気集束用磁性体のチップ２２
が積載された上、このリードフレーム２は図２に示すア
ンローダ２７で不図示のマガジンに収納され、このマガ
ジンごと不図示のオーブンで加熱され硬化が行われる。
そして、硬化を終えたリードフレーム２は樹脂系材料に
より封止されて、さらに分割により素子化される。な
お、図２において、２８は先の述べたローダである。 【００１９】以上説明した磁電変換素子の組立装置によ
る動作手順を再度図２に従って述べておくと、まず、ロ
ーダ２８に収納されたマガジンからリードフレーム２と
共にリードフレーム２上にダイボンドされているペレッ
ト１が搬送装置４により次々と電磁気特性測定部７に導
かれる。そして、ここで、有磁界および無磁界の環境の
元で個々のペレット１についてその電磁気特性が測定さ
れ、測定結果に基づいて特性が本例の場合４種類に仕分
けされた上、次のマーキング部１３でマーキング装置１
４により特性に応じたマーキングが施される。なお、本
例では有磁界測定と無磁界測定とを同一の測定部７で行
うようにしたが、レール３に沿って２工程に測定部を分
離することも可能である。ついで、マーキング検出部１
６において、ここに導かれてきたペレット１についてそ
のマーキングを検出し、磁気集束用磁性体積載機構１７
において検出されたマーキングに対応した特性のチップ
２２が選択され、このチップ２２がボンディングアーム
２５によって上記のペレット１上に積載される。なお、
本例の場合、その積載前の工程で塗布部１５においてペ
レット１上には接着剤が塗布される。 【００２０】このあと、リードフレーム２諸共にアンロ
ーダ２７に搬送されて、ここでマガジンに収納され、硬
化、素子化が行われるもので、このようにして得られた
ホール素子の場合、これまでであれば目的の出力電圧範
囲に収まるものが、製品の電磁気検査の結果５割程度で
あったものが９割以上に収まった。 【００２１】なお、以上に述べた実施例では磁電変換素
子がホール素子の場合についてであったが、本発明の適
用は、このようなホール素子に限られるものではなく、
少なくとも半導体素子と磁気集束用磁性体との積層構造
からなる磁電変換素子に広く適用できるものである。 【００２２】 【発明の効果】以上説明してきたように、本発明によれ
ば、リードフレーム上にダイボンドされた磁性体および
半導体の積層からなる複数のペレットに対し、該ペレッ
トの個々の出力電圧を測定する手段と、該測定結果に基
づいて特性を複数に仕分けし、当該仕分けられた特性に
応じたマークを個々のペレット毎にリードフレームにマ
ーキングする手段と、前記マークを検出する手段と、異
なる厚みを有する磁気集束用磁性体チップのうち、前記
検出されたマークの情報に従って、該マークに対応した
チップを選定して、マーキングされた対応するペレット
上に積載する磁気集束用磁性体積載手段とを具備したの
で、電磁気特性を目的の特性範囲に収めるよう磁電変換
素子を効率良く組立てることが可能となり、顧客の要望
に応じた特性を有する磁電変換素子を歩留り良く合理的
に製造することができる。
置に関し、詳しくは、ホール素子などホール係数の高い
半導体を用いて積層状に構成される磁電変換素子の組立
装置に関する。 【０００２】 【従来の技術】ホール素子や磁気抵抗素子などの磁電変
換素子では、その電磁気特性の向上、特に高い出力電圧
が得られるようにするために、例えば特公昭５１−４５
２３４号公報に開示されている例のように磁性体、半導
体および磁気集束用磁性体からなる積層構造が採用され
ている。ところで、かかる積層による磁気変換素子にお
いては半導体自体の電磁気特性が同じでも出力される電
圧が素子の構成要素である磁気集束用磁性体の面積に反
比例し、その厚さにほぼ比例するという特性がある。そ
こで、従来の場合このような磁電変換素子の製造にあた
っては、磁性体と半導体とからなる積層構造の個々のウ
エハに対し、数点でその電磁特性を測定し、測定された
電磁特性に基づいて目的の出力電圧が得られるようウエ
ハごとに同一形状の磁気集束用磁性体を積層するという
組立方式がとられてきた。 【０００３】 【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記従
来のような組立方式によって得られた磁電変換素子で
は、半導体自体の電磁気特性にウエハ単位でその分布に
ばらつきがあり、一般的には２種類以上の範囲にわたる
電磁気特性が混在している。そこで、このような半導体
および磁性体からなる個々のウエハに同一形状の磁気集
束用磁性体を積層して構成された磁電変換素子では当然
のことながら出力電圧を含め少なくとも２種類以上の範
囲にわたる電磁気特性を有する。そのために、上述のよ
うにして得られた磁電変換素子では電磁気検査の過程で
目的にそぐわないものが数多く発見されることになる。 【０００４】これまで、かかる特性をそろえるように選
別するのは最終検査工程であって、この工程では、リー
ドフレームを切断して個別の素子にした後、特性に応じ
たボックスを用意し、ボックスにばらばらの状態で振り
込まれていた。なお、このあとすぐに袋詰めされる場合
は良いが、一旦、同一特性の素子を集め、並べ直して特
性に応じたマーク付け、フォーミング、あるいはさらに
テーピングして製品形態となるのが通例であって、この
ように最終検査以降の工程が多く、信頼性を確保するた
めに上記のような作業を終えるごとに全数が検査の対象
となる。そのために多くの労力を要することが問題であ
り、特に、かかる素子を廉価かつ小型化するために益々
これらの工程を合理化することが強く望まれてきた。 【０００５】本発明は、上記課題に鑑みてなされたもの
で、素子化後の特性のばらつきが小さく、目的の電磁気
特性範囲を予め、選択的に得ることのできる磁電変換素
子の組立装置を提供することを目的とするものである。 【０００６】 【課題を解決するための手段】本発明者らは、かかる目
的を達成するために検討を重ねた結果、リードフレーム
上にダインボンドされたペレットの電磁気特性を個別に
測定し、それに対応した磁気集束用磁性体を個別に積層
することにより、素子化後の電磁気特性において、目的
の特性範囲を得ることができることを確認した。すなわ
ち、本発明は、磁性体、半導体および磁気集束用磁性体
チップからなる積層構造の磁電変換素子の組立装置であ
って、リードフレーム上にダイボンドされた磁性体およ
び半導体の積層からなる複数のペレットに対し、該ペレ
ットの個々の出力電圧を測定する手段と、該測定結果に
基づいて特性を複数に仕分けし、当該仕分けられた特性
に応じたマークを個々のペレット毎にリードフレームに
マーキングする手段と、前記マークを検出する手段と、
異なる厚みを有する磁気集束用磁性体チップのうち、前
記検出されたマークの情報に従って、該マークに対応し
たチップを選定して、マーキングされた対応するペレッ
ト上に積載する磁気集束用磁性体積載手段とを具備した
ことを特徴とするものである。 【０００７】なお、本発明による磁電変換素子は感磁部
と入力２端子出力２端子とで構成されるもので、電磁気
特性の測定項目としては、入出力端子間の抵抗および入
力端子に一定の直流電圧を供給した状態で感磁部に一定
の磁界をかけた場合とかけない場合とによりそれぞれ得
られる出力電圧である。 【０００８】 【作用】本発明によれば、磁気集束用磁性体によって、
電磁気特性として特に出力電圧がどの程度高くなるかを
知るために、予めリードフレーム上にダイボンドされた
半導体を主体とするペレットについて、それぞれの電磁
気特性を測定しておき、一方、準備しておいた複数の磁
気集束用磁性体チップのうちから個々のペレットの有す
る電磁気特性に対して所望の電磁気特性を得るためにど
の磁気集束用磁性体を積層すれば良いかを決定するもの
で、磁気集束用磁性体としては面積を一定にし厚さを変
えたものを準備しておくことにより、厚さが厚い程出力
電圧を高くすることができる。 【０００９】 【実施例】以下に、図面に基づいて本発明の実施例を詳
細かつ具体的に説明する。 【００１０】図１および図２は本発明の構成の一例を示
すもので、まず図１に従って電磁気特性の測定が行われ
る測定部および特性別にマーキングされるマーキング部
の構成について説明する。１はリードフレーム２上にダ
イボンドされた半導体を主体とするペレットである。な
お、ペレット１としては先に述べたようにホール素子構
成の場合、磁性体と半導体との積層構造からなるウエハ
から得られるものであり、本例の場合、０．３ｍｍ厚
さ、０．８ｍｍ角の方形フェライト基板のホール素子用
ペレットを用意した。なおかかるペレット１は、例えば
１５ｍｍ×９２ｍｍのリードフレームに４．６ｍｍピッ
チで形成された厚さ１ｍｍで１ｍｍ×１．２ｍｍ角の大
きさの２０個のアイランドにダイボンドされた上マガジ
ンに収納され、硬化される。 【００１１】そして、このようなマガジンは図１で左側
に配置される。ここでは不図示のローダに送り出し可能
にセットされる。３はリードフレーム搬送用のレール、
４，５および６はレール３上に沿ってリードフレーム２
をピッチ送りするための搬送装置であり、上述のローダ
はこの図でレール３の左端側に設けられている。リード
フレーム２には不図示の搬送位置決め用孔が穿設されて
いて、ピッチ送りにあたっては搬送装置４，５，６の爪
４Ａ，５Ａ，６Ａがリードフレーム２に挿入され、位置
決めされる。 【００１２】７はペレット１の電磁気特性を測定するた
めの測定部であり、その測定のために上下可能なプロー
バ８と有磁界および無磁界においてペレット１の電磁気
特性をそれぞれ測定可能とするための磁界切換手段９と
が設けられている。なお、測定部７のレール３下方には
空間が形成されていて、この空間に有磁界形成のための
磁石１０が配設されている。また、１１は本例の場合円
筒状に形成されたシールド部材であり、シールド部材１
１を矢印方向に移動させることにより磁石１０の周りを
覆い、測定部７を無磁界状態に保つことができる。ただ
しここで、シールド部材１１を移動させる代りに磁石１
０の方を空間からシールド部材１１内に移動させるよう
に構成することも可能である。なお、空間の周りの斜線
を施して示した部分は測定時の精度を高めるために、非
磁性材料で構成されることが望ましい。 【００１３】そこで、本実施例のように、プローバ８自
体を上下させてリードフレーム２上のペレット１にプロ
ーブを近接させ、入出力端子にプローブを接触させて電
磁気特性を計測する場合は、プローバ８の上下する側面
に非磁性体のシールド板１２が取付けられている。１３
はマーキング部、１４はマーキング部１３に配設され、
電磁気特性の測定を終えたペレット１に対し、その特性
別にマーキングを行うマーキング装置である。なお、こ
のようなマーキング装置１４としては例えばインクジェ
ットやレーザによるプリンタを用いることができるが、
ペレット１自体を損わないためにそのペレット１が搭載
されているリードフレームの外縁部にパターン認識用の
マークをマーキングする。 【００１４】続いて、図２に従い、マーキング部１３で
パターン認識用のマーキングが行われたあとの処理動作
および処理にかかわる機構について説明する。１５は上
述の測定された電磁気特性に応じて、磁気集束用磁性体
をペレット１上に積層するために接着剤の塗布が行われ
る接着剤塗布部である。接着剤塗布部１５としてはシリ
ンジの先端部に接着剤の滴下が可能なノズルを有するデ
ィスペンサ（投与器）あるいはスタンプ式のものを用い
ればよく、かかる器具をピッチ送りされてきたペレット
１上に導くようにする。 【００１５】１６はマーキング検出部、１７は磁気集束
用磁性体の積載機構であり、これらを図３を参照して説
明する。 【００１６】図３において、１８はマーキング検出部１
６のレール３直上部に配置され、レール３に沿ってマー
キング検出部１６に搬送されてきたリードフレーム２上
からペレット１の電磁気特性にかかわるマークを認識す
る読取装置、例えばカメラである。また、１９は磁気集
束用磁性体積載機構１７を構成するターンテーブルであ
り、ターンテーブル１９はＸＹテーブル３０上に移動自
在に設けられている。２０はターンテーブル１９上に設
けられ、その上面に粘着シート２１を介して磁気集束用
磁性体のチップ２２を保持するリングである。リング２
０はターンテーブル１９の周方向に沿って９０°の等間
隔に４ヶ所に置かれる。なお、本例の場合、チップ２２
としては磁気集束用磁性体として好適なマンガンジング
（ＭｎＺｎ）を用い、同じ４５ｍｍ角の面積で厚さが
０．２ｍｍ、０．２５ｍｍ、０．３ｍｍおよび０．４ｍ
ｍと異なる４種類の基板をそれぞれ厚さ１５０μｍの粘
着シート２１に貼り付けて、ダイシング等の作業により
各基板毎に０．４ｍｍ角に切断され拡張され、リング２
０に保持されている。 【００１７】読取装置１８によって読みとられたマーク
の情報に従ってチップの厚みが選択され、ターンテーブ
ル１９が回転し、ある厚みのチップ２２を保持するリン
グがカメラ２３の下部に位置する。カメラ２３でチップ
を確認し位置と傾きを認識しＸＹテーブル３０により位
置の修正が行われ、下方から突き上げピン２４がチップ
２２のほぼ中央部を突き上げると共に、ボンディングア
ーム２５が矢印方向に動作する。そして、ボンディング
アーム２５の先端部に設けられている回転可能な真空吸
着用コレット２６によりチップ２２の傾きを修正してそ
の選択されたチップ２２を吸着し、ペレット１の接着剤
が塗布されている上面にチップ２２を積層可能に載置す
る。 【００１８】かくして、リードフレーム２上のペレット
１に対し、次々と個別に磁気集束用磁性体のチップ２２
が積載された上、このリードフレーム２は図２に示すア
ンローダ２７で不図示のマガジンに収納され、このマガ
ジンごと不図示のオーブンで加熱され硬化が行われる。
そして、硬化を終えたリードフレーム２は樹脂系材料に
より封止されて、さらに分割により素子化される。な
お、図２において、２８は先の述べたローダである。 【００１９】以上説明した磁電変換素子の組立装置によ
る動作手順を再度図２に従って述べておくと、まず、ロ
ーダ２８に収納されたマガジンからリードフレーム２と
共にリードフレーム２上にダイボンドされているペレッ
ト１が搬送装置４により次々と電磁気特性測定部７に導
かれる。そして、ここで、有磁界および無磁界の環境の
元で個々のペレット１についてその電磁気特性が測定さ
れ、測定結果に基づいて特性が本例の場合４種類に仕分
けされた上、次のマーキング部１３でマーキング装置１
４により特性に応じたマーキングが施される。なお、本
例では有磁界測定と無磁界測定とを同一の測定部７で行
うようにしたが、レール３に沿って２工程に測定部を分
離することも可能である。ついで、マーキング検出部１
６において、ここに導かれてきたペレット１についてそ
のマーキングを検出し、磁気集束用磁性体積載機構１７
において検出されたマーキングに対応した特性のチップ
２２が選択され、このチップ２２がボンディングアーム
２５によって上記のペレット１上に積載される。なお、
本例の場合、その積載前の工程で塗布部１５においてペ
レット１上には接着剤が塗布される。 【００２０】このあと、リードフレーム２諸共にアンロ
ーダ２７に搬送されて、ここでマガジンに収納され、硬
化、素子化が行われるもので、このようにして得られた
ホール素子の場合、これまでであれば目的の出力電圧範
囲に収まるものが、製品の電磁気検査の結果５割程度で
あったものが９割以上に収まった。 【００２１】なお、以上に述べた実施例では磁電変換素
子がホール素子の場合についてであったが、本発明の適
用は、このようなホール素子に限られるものではなく、
少なくとも半導体素子と磁気集束用磁性体との積層構造
からなる磁電変換素子に広く適用できるものである。 【００２２】 【発明の効果】以上説明してきたように、本発明によれ
ば、リードフレーム上にダイボンドされた磁性体および
半導体の積層からなる複数のペレットに対し、該ペレッ
トの個々の出力電圧を測定する手段と、該測定結果に基
づいて特性を複数に仕分けし、当該仕分けられた特性に
応じたマークを個々のペレット毎にリードフレームにマ
ーキングする手段と、前記マークを検出する手段と、異
なる厚みを有する磁気集束用磁性体チップのうち、前記
検出されたマークの情報に従って、該マークに対応した
チップを選定して、マーキングされた対応するペレット
上に積載する磁気集束用磁性体積載手段とを具備したの
で、電磁気特性を目的の特性範囲に収めるよう磁電変換
素子を効率良く組立てることが可能となり、顧客の要望
に応じた特性を有する磁電変換素子を歩留り良く合理的
に製造することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明にかかる電磁気測定部およびマーキング
部の構成の一例を示す斜視図である。 【図２】本発明による構成要素を工程別に示すブロック
図である。 【図３】本発明にかかるマーキング検出部および磁気集
束用磁性体積載機構の構成例およびその動作を模式的に
示す説明図である。 【符号の説明】 １ ペレット ２ リードフレーム ３ レール ４，５，６ 搬送装置 ４Ａ，５Ａ，６Ａ 爪 ７ （電磁気特性）測定部 ８ プローバ ９ 磁界切換手段 １０ 磁石 １１ シールド部材 １２ シールド板 １３ マーキング部 １４ マーキング装置 １５ 接着剤塗布部 １６ マーキング検出部１７ 磁気集束用磁性体積載機構 １８ 読取装置（カメラ） １９ ターンテーブル ２０ リング ２１ 粘着シート ２２ チップ ２３ チップ識別手段（カメラ） ２４ 突き上げピン ２５ ボンディングアーム ２６ 真空吸着用コレット ２７ アンローダ ２８ ローダ ３０ ＸＹテーブル
部の構成の一例を示す斜視図である。 【図２】本発明による構成要素を工程別に示すブロック
図である。 【図３】本発明にかかるマーキング検出部および磁気集
束用磁性体積載機構の構成例およびその動作を模式的に
示す説明図である。 【符号の説明】 １ ペレット ２ リードフレーム ３ レール ４，５，６ 搬送装置 ４Ａ，５Ａ，６Ａ 爪 ７ （電磁気特性）測定部 ８ プローバ ９ 磁界切換手段 １０ 磁石 １１ シールド部材 １２ シールド板 １３ マーキング部 １４ マーキング装置 １５ 接着剤塗布部 １６ マーキング検出部１７ 磁気集束用磁性体積載機構 １８ 読取装置（カメラ） １９ ターンテーブル ２０ リング ２１ 粘着シート ２２ チップ ２３ チップ識別手段（カメラ） ２４ 突き上げピン ２５ ボンディングアーム ２６ 真空吸着用コレット ２７ アンローダ ２８ ローダ ３０ ＸＹテーブル
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フロントページの続き
(72)発明者 福中 敏昭
宮崎県延岡市旭町６丁目4100番地 旭化
成電子株式会社内
(72)発明者 松居 雄毅
宮崎県延岡市旭町６丁目4100番地 旭化
成電子株式会社内
(56)参考文献 特開 平５−218528（ＪＰ，Ａ)
特開 平２−134839（ＪＰ，Ａ)
特開 平５−234837（ＪＰ，Ａ)
特開 平７−115233（ＪＰ，Ａ)
(58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名)
H01L 43/14
G01R 33/07
H01L 43/06
ＪＩＣＳＴファイル（ＪＯＩＳ)
Claims (1)
- (57)【特許請求の範囲】 【請求項１】 磁性体、半導体および磁気集束用磁性体
チップからなる積層構造の磁電変換素子の組立装置であ
って、 リードフレーム上にダイボンドされた磁性体および半導
体の積層からなる複数のペレットに対し、該ペレットの
個々の出力電圧を測定する手段と、該測定結果に基づいて特性を複数に仕分けし、当該仕分
けられた特性に応じたマークを個々のペレット毎にリー
ドフレームにマーキングする手段と、 前記マーク を検出する手段と、異なる厚みを有する磁気集束用磁性体チップのうち、前
記検出されたマークの情報に従って、該マークに対応し
たチップを選定して、マーキングされた 対応するペレッ
ト上に積載する磁気集束用磁性体積載手段とを具備した
ことを特徴とする磁電変換素子の組立装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP29322393A JP3416228B2 (ja) | 1993-11-24 | 1993-11-24 | 磁電変換素子の組立装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP29322393A JP3416228B2 (ja) | 1993-11-24 | 1993-11-24 | 磁電変換素子の組立装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH07147439A JPH07147439A (ja) | 1995-06-06 |
| JP3416228B2 true JP3416228B2 (ja) | 2003-06-16 |
Family
ID=17792023
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP29322393A Expired - Lifetime JP3416228B2 (ja) | 1993-11-24 | 1993-11-24 | 磁電変換素子の組立装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3416228B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2024018584A1 (ja) * | 2022-07-21 | 2024-01-25 | 株式会社デンソー | 電流センサの製造方法 |
-
1993
- 1993-11-24 JP JP29322393A patent/JP3416228B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH07147439A (ja) | 1995-06-06 |
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