JP3416050B2 - Electrolytic capacitor and method of manufacturing the same - Google Patents

Electrolytic capacitor and method of manufacturing the same

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JP3416050B2
JP3416050B2 JP05785398A JP5785398A JP3416050B2 JP 3416050 B2 JP3416050 B2 JP 3416050B2 JP 05785398 A JP05785398 A JP 05785398A JP 5785398 A JP5785398 A JP 5785398A JP 3416050 B2 JP3416050 B2 JP 3416050B2
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    • H01G9/028Organic semiconducting electrolytes, e.g. TCNQ

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明はアルミニウムやタン
タルなどの弁金属を用いた電解コンデンサおよびその製
造方法に関し、特に、陰極として導電性高分子層を用い
た電解コンデンサおよびその製造方法に関するものであ
る。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an electrolytic capacitor using a valve metal such as aluminum or tantalum and a manufacturing method thereof, and more particularly to an electrolytic capacitor using a conductive polymer layer as a cathode and a manufacturing method thereof. .

【0002】[0002]

【従来の技術】従来、アルミニウムやタンタルなどの弁
金属を用いた電解コンデンサは、弁金属多孔体を陽極素
子とし、この弁金属の酸化物皮膜を誘電体層として多孔
体の空孔表面及び外部表面に形成し、陰極には電解質溶
液や無機固体電解質を用い、それぞれ陽極、陰極に接続
するリード部を設け、外装を形成するのが一般的であっ
た。たとえばアルミニウム電解コンデンサでは有機酸を
含む有機溶媒等が陰極として用いられ、タンタル電解コ
ンデンサでは二酸化マンガン等が陰極に用いられてき
た。
2. Description of the Related Art Conventionally, an electrolytic capacitor using a valve metal such as aluminum or tantalum has a valve metal porous body as an anode element and an oxide film of the valve metal as a dielectric layer, which serves as a pore surface of the porous body and the outside. It was general to form an exterior by forming it on the surface and using an electrolyte solution or an inorganic solid electrolyte for the cathode, providing lead portions respectively connected to the anode and the cathode. For example, in an aluminum electrolytic capacitor, an organic solvent containing an organic acid or the like has been used as a cathode, and in a tantalum electrolytic capacitor, manganese dioxide or the like has been used as a cathode.

【0003】昨今、回路のディジタル化に対応して電子
部品の高周波応答性が要求され、電解コンデンサにおい
ても低抵抗化による高周波応答性の向上が要求されてい
る。このような状況の中で、電導度の良い導電性高分子
化合物を電解コンデンサの陰極用固体電解質として用い
ることが検討され、開発されてきた。
In recent years, high frequency response of electronic parts has been required in response to digitalization of circuits, and improvement of high frequency response by lowering resistance of electrolytic capacitors is also required. Under such circumstances, the use of a conductive polymer compound having a high conductivity as a solid electrolyte for a cathode of an electrolytic capacitor has been studied and developed.

【0004】一般的に導電性高分子は、ピロールやチオ
フェンなどのモノマーを電解酸化重合法あるいは化学酸
化重合法により重合して導電性を有するポリピロールや
ポリチオフェンとして形成される。また、導電性高分子
の電子伝導性をさらに向上させるためにドーパントアニ
オンを配位させるのが一般的であり、ドーパントが共存
する溶液中でモノマーの重合を行うのが一般的である。
このドーパントには各種アニオン(塩素イオン、硫酸イ
オン、有機酸イオン等)が用いられるが、工業的には形
成後の導電性高分子層中からの脱ドープを抑制する目的
で、立体障害が大きくポリマー中を動きにくい分子構造
を有する有機酸系のアニオンが多く用いられる。
Generally, a conductive polymer is formed as a conductive polypyrrole or polythiophene by polymerizing a monomer such as pyrrole or thiophene by an electrolytic oxidative polymerization method or a chemical oxidative polymerization method. In addition, a dopant anion is generally coordinated in order to further improve the electron conductivity of the conductive polymer, and the monomer is generally polymerized in a solution in which the dopant coexists.
Various anions (chlorine ion, sulfate ion, organic acid ion, etc.) are used as this dopant, but industrially, the steric hindrance is large in order to suppress dedoping from the conductive polymer layer after formation. Organic acid-based anions having a molecular structure that does not easily move in the polymer are often used.

【0005】電解コンデンサは、その構造上の特徴とし
て多孔質弁金属の空孔表面に酸化皮膜を形成し、その酸
化物皮膜を誘電体層とし、芯に残った弁金属を陽極とし
ている。従って、この多孔体に陰極を形成する場合、非
常に入り組んだ多孔体の空孔表面を効率よく導電性高分
子層で覆う必要がある。この点において、電解酸化重合
法により形成する場合は、緻密な膜状に導電性高分子層
が生成され、その膜自体は低抵抗で良質なものが得られ
るが、多孔体の内部の空孔まで十分に導電性高分子が形
成されず、誘電体層の被覆面積不足により本来の容量を
引き出せないという欠点を有している。
As a structural feature of the electrolytic capacitor, an oxide film is formed on the surface of the pores of the porous valve metal, the oxide film serves as a dielectric layer, and the valve metal remaining in the core serves as an anode. Therefore, when forming a cathode on this porous body, it is necessary to efficiently cover the pore surface of the extremely complicated porous body with the conductive polymer layer. In this respect, when the electrolytic oxidation polymerization method is used, a conductive polymer layer is formed in a dense film form, and the film itself has low resistance and high quality, but the pores inside the porous body are Up to this point, the conductive polymer is not sufficiently formed, and there is a drawback that the original capacity cannot be drawn out due to the insufficient coverage of the dielectric layer.

【0006】一方、化学酸化重合法は、多孔体の内部の
空孔まで導電性高分子が形成されやすいという特長を有
するので工業的に利用されることが多い。一般に化学酸
化重合法では、米国特許USP4697001に示され
るように、モノマーと重合用の酸化剤の反応により導電
性高分子の形成を行う。従って、その形成速度は両者の
衝突確率に依存する。コンデンサのように導電性高分子
を形成するための基体が多孔体の場合、一般には、モノ
マー溶液と酸化剤溶液との交互浸漬により、いずれかを
空孔内に含ませた基体に他方を接触させ、空孔内に導電
性高分子を重合生成させる方法が行われている。また、
場合によってはモノマーと酸化剤の両者を含む溶液を多
孔体に含浸させ、多孔体空孔内部に導電性高分子を重合
生成させる方法も採られている。
On the other hand, the chemical oxidative polymerization method is often industrially used because it has a feature that a conductive polymer can be easily formed up to the pores inside the porous body. Generally, in a chemical oxidative polymerization method, as shown in US Pat. No. 4,691,001, a conductive polymer is formed by a reaction between a monomer and an oxidizing agent for polymerization. Therefore, the formation speed depends on the collision probability of both. When the substrate for forming the conductive polymer, such as a capacitor, is a porous body, in general, alternate immersion of a monomer solution and an oxidant solution causes one of the substrates to be contained in the pores to contact the other. Then, a method of polymerizing a conductive polymer in the pores is performed. Also,
In some cases, a method of impregnating a porous body with a solution containing both a monomer and an oxidizing agent to polymerize and generate a conductive polymer inside the pores of the porous body is also adopted.

【0007】[0007]

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、導電性
高分子の形成速度は、モノマーと酸化剤との衝突確率す
なわちその存在確率に依存するがゆえに、化学酸化重合
法を利用してモノマー液と酸化剤液とに交互浸漬を行う
ことにより導電性高分子を形成する場合、細孔深部およ
び多孔体中心付近の空孔表面における導電性高分子の形
成速度が多孔体表面近傍及び外部表面における導電性高
分子の形成に比してかなり緩やかとなり、内部まで完全
に導電性高分子層で被覆し本来の容量を完全に引き出す
には、非常に処理時間あるいは処理回数が必要となる。
場合によっては、多孔体外部表面に連通する空孔通路が
先に導電性高分子層で閉じられてしまい、結果的に深部
および中心部まで均質に導電性高分子層で被覆できない
という問題があった。
However, since the rate of formation of the conductive polymer depends on the collision probability of the monomer and the oxidizing agent, that is, the existence probability thereof, the chemical oxidation polymerization method is used to oxidize the monomer liquid and the oxidizing agent. When a conductive polymer is formed by alternate immersion in a chemical solution, the rate of formation of the conductive polymer on the pore surface near the deep pores and the center of the porous body is It becomes much slower than the formation of the polymer, and it takes a very long time or number of treatments to completely cover the inside with the conductive polymer layer and bring out the original capacity.
In some cases, the pore passages communicating with the outer surface of the porous body are first closed by the conductive polymer layer, and as a result, there is a problem in that the conductive polymer layer cannot be uniformly coated to the deep portion and the central portion. It was

【0008】さらに、モノマー液と酸化剤溶液とに交互
浸漬を行うことにより化学酸化重合法で導電性高分子を
形成する場合、コンデンサ素子多孔体の空孔内部で導電
性高分子を反応形成する際に、多孔体外部の反応槽内に
も先に含浸させた液(モノマー溶液あるいは酸化剤溶
液)が流出し、反応槽においても導電性高分子が形成さ
れ、コンデンサ多孔体に収率よく導電性高分子層を形成
することが困難であった。
Further, when a conductive polymer is formed by a chemical oxidative polymerization method by alternately immersing a monomer liquid and an oxidant solution, the conductive polymer is reacted and formed inside the pores of the capacitor element porous body. At this time, the previously impregnated liquid (monomer solution or oxidant solution) also flows out into the reaction tank outside the porous body, and the conductive polymer is formed in the reaction tank as well, so that the capacitor porous body is electrically conductive in good yield. It was difficult to form a conductive polymer layer.

【0009】また、モノマーと酸化剤両者を含む反応溶
液を多孔体に含浸させる方法では、反応溶液を調合した
時から重合反応が開始し、多孔体内部に充分な反応活性
を保持したまま溶液を導入するのが困難なため、中心部
および細孔深部にまで均質に導電性高分子層で被覆でき
ないという問題点があった。さらに、最大の問題は調合
した反応溶液の活性時間が短いので保管困難であり、工
業的には適さないということである。
Further, in the method of impregnating the reaction solution containing both the monomer and the oxidizing agent into the porous body, the polymerization reaction is started from the time when the reaction solution is prepared, and the solution is kept while maintaining sufficient reaction activity inside the porous body. Since it is difficult to introduce it, there has been a problem that the central part and the deep part of the pores cannot be uniformly coated with the conductive polymer layer. Furthermore, the biggest problem is that the prepared reaction solution has a short activation time, which makes it difficult to store and is not industrially suitable.

【0010】これに対し、反応溶液の濃度を低濃度にし
て反応速度を低減させることにより、長時間反応活性を
保持することができ、ある程度多孔体中心部および細部
にまで導電性高分子層を形成でき、かつある程度の時間
の保管も可能となるが、1回の反応あたりの導電性高分
子形成量が少なく、内部まで完全に導電性高分子層で被
覆し本来の容量を完全に引き出すには、非常に処理回数
が必要となる。このように、化学酸化重合法において
も、コンデンサ多孔体の内部の空孔にまで効率よく導電
性高分子層を形成し完全に設計容量を引き出すことが困
難であった。
On the other hand, by lowering the concentration of the reaction solution to reduce the reaction rate, the reaction activity can be maintained for a long time, and the conductive polymer layer can be formed to some extent in the central portion of the porous body and the details. Although it can be formed and can be stored for a certain period of time, the amount of conductive polymer formed per reaction is small and it is possible to completely cover the inside with the conductive polymer layer and fully extract the original capacity. Requires a very large number of processing times. As described above, even in the chemical oxidative polymerization method, it is difficult to efficiently form the conductive polymer layer even in the pores inside the capacitor porous body and bring out the designed capacity completely.

【0011】本発明の目的は、以上のような課題を解決
し、導電性高分子をコンデンサの多孔体の内部の空孔に
まで収率よくかつ効率よく形成し、目的容量を容易に達
成する方法および容量達成率の高い電解コンデンサを提
供することを目的とする。
The object of the present invention is to solve the above problems, to form the conductive polymer even in the pores inside the porous body of the capacitor with high yield and efficiency, and to easily achieve the target capacity. An object is to provide a method and an electrolytic capacitor having a high capacity achievement rate.

【0012】[0012]

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、本発明の電解コンデンサの製造方法は、弁金属から
なる陽極と、陽極表面の弁金属の酸化物層から成る誘電
体層と、該誘電体層表面に形成された導電性高分子層か
ら成る陰極を具備した電解コンデンサを製造する方法で
あるが、前記導電性高分子層がそのモノマーを重合可能
な酸化剤とドーパントを含む溶液中で化学酸化重合法に
より形成する方法に関するものであり、多孔体外部の反
応槽における導電性高分子形成量を低減し、多孔体内部
および表面への導電性高分子付着形成量を増加させる方
法に関するものである。
In order to achieve the above object, a method of manufacturing an electrolytic capacitor according to the present invention comprises an anode made of a valve metal, a dielectric layer made of an oxide layer of the valve metal on the anode surface, A method for producing an electrolytic capacitor comprising a cathode comprising a conductive polymer layer formed on the surface of a dielectric layer, wherein the conductive polymer layer is a solution containing an oxidizing agent and a dopant capable of polymerizing the monomer. In particular, the present invention relates to a method for forming a conductive polymer by a chemical oxidative polymerization method in the reaction tank outside the porous body, and a method for increasing the amount of the conductive polymer deposited inside and on the surface of the porous body. It is about.

【0013】その特徴は、第1の方法においては、その
導電性高分子層を形成する方法が、反応速度が遅い状態
に保たれたモノマーと酸化剤とドーパントとを含む溶液
中に、誘電体層を形成した弁金属多孔体を浸漬し、その
後前記多孔体を前記溶液中に浸漬したまま、多孔体又は
多孔体内部の温度を多孔体外部の前記溶液温度より高く
することにより、多孔体内部の重合反応を外部の重合反
応より速くして多孔体内部の誘電体層上に優先的に導電
性高分子層を形成することにある。
The feature is that in the first method, the method for forming the conductive polymer layer is such that the dielectric substance is added to a solution containing a monomer, an oxidant and a dopant, the reaction rate of which is kept slow. By immersing the valve metal porous body on which a layer is formed, and then immersing the porous body in the solution, the temperature inside the porous body or inside the porous body is made higher than the solution temperature outside the porous body, thereby That is, the polymerization reaction of (1) is made faster than the external polymerization reaction to preferentially form the conductive polymer layer on the dielectric layer inside the porous body.

【0014】[0014]

【0015】また、好ましくは上述の方法において、多
孔体温度を前記溶液温度より高い温度に保持する加熱方
法として、多孔体内部に接続するリード部分を熱伝導媒
体として加熱することを特徴とするものである。
Further, preferably, in the above-mentioned method, as a heating method for keeping the temperature of the porous body at a temperature higher than the solution temperature, the lead portion connected to the inside of the porous body is heated as a heat conducting medium. Is.

【0016】また、第3の方法として、本発明には、前
記導電性高分子の形成方法において、前記誘電体層を形
成した弁金属多孔体をあらかじめ反応用の素子ケースに
収容した後、少なくともいずれか一方にドーパントを含
有させたモノマー溶液と酸化剤溶液とを、反応用の素子
ケースに同時あるいは混合後反応活性が低下する前に注
入することにより、反応溶液の活性を高く保持した状態
で溶液を多孔体内部まで充分含浸させて導電性高分子層
を形成すると同時に、反応用の素子ケースを設けること
により反応空間を限定し、多孔体部以外での導電性高分
子形成量を低減するものを含む。
As a third method, according to the present invention, in the method of forming a conductive polymer, at least after the valve metal porous body on which the dielectric layer is formed is previously housed in a reaction element case. A monomer solution containing a dopant in either one of them and an oxidant solution are injected into the element case for reaction before or after the reaction activity is lowered at the same time or after mixing, thereby keeping the activity of the reaction solution high. The solution is sufficiently impregnated into the porous body to form the conductive polymer layer, and at the same time, the reaction space is limited by providing the element case for the reaction, and the amount of the conductive polymer formed outside the porous body portion is reduced. Including things.

【0017】さらに、前記ドーパントの少なくとも一種
が有機酸系のドーパントである場合、好ましくは前記多
孔体に導電性高分子層を形成する際に、まず前処理とし
て、有機酸系のドーパントを含まない導電性高分子層を
多孔体内部の誘電体層上に形成し、その後本処理とし
て、その層上に有機酸系のドーパントを含む導電性高分
子層を上述の第1、第2および第3の三つの方法のいず
れかにより形成するものを含む。
Further, when at least one of the dopants is an organic acid type dopant, preferably, when forming a conductive polymer layer on the porous body, first, as a pretreatment, an organic acid type dopant is not included. A conductive polymer layer is formed on the dielectric layer inside the porous body, and then, as the main treatment, the conductive polymer layer containing an organic acid dopant is formed on the layer. Including those formed by any one of the three methods.

【0018】また、本発明に係る電解コンデンサの製造
方法は、さらに簡便な導電性高分子層の形成方法とし
て、上述の第1及び第2の二つの方法のいずれかを前処
理として施して予め多孔体中心部近傍の誘電体層上にド
ーパントを含む導電性高分子層を形成した後、本処理と
して従来の交互浸漬法等によりドーパントを含む導電性
高分子層を前記前処理にて形成した導電性高分子層上に
さらに形成するものである。
Further, the method for producing an electrolytic capacitor according to the present invention is a simpler method for forming a conductive polymer layer, in which either one of the above-mentioned first and second methods is applied as a pretreatment in advance. After forming a conductive polymer layer containing a dopant on the dielectric layer near the center of the porous body, a conductive polymer layer containing a dopant was formed by the above-mentioned pretreatment by a conventional alternate dipping method or the like as the main treatment. It is further formed on the conductive polymer layer.

【0019】前記ドーパントの少なくとも一種が有機酸
系のドーパントである場合、上述の第1及び第2の二つ
の方法のいずれかを前処理として施す際の重合反応溶液
としてモノマーと酸化剤とを含み有機酸系のドーパント
を含まない溶液を用いて、上述の加熱法により有機酸系
のドーパントを含まない導電性高分子層を前記誘電体層
上に形成した後、本処理として従来の交互浸漬法等によ
り有機酸系のドーパントを含む導電性高分子層を前記有
機酸系のドーパントを含まない導電性高分子層上に形成
するものである。
When at least one of the dopants is an organic acid-based dopant, it contains a monomer and an oxidant as a polymerization reaction solution when performing any one of the above-mentioned first and second methods as a pretreatment. After forming a conductive polymer layer containing no organic acid type dopant on the dielectric layer by the above heating method using a solution containing no organic acid type dopant, the conventional alternating dipping method is used as the main treatment. The conductive polymer layer containing the organic acid type dopant is formed on the conductive polymer layer containing no organic acid type dopant.

【0020】さらに、前記ドーパントの少なくとも一種
が有機酸系であるドーパントを利用する場合、本発明に
は、上述の第1及び第2の二つの方法のいずれかを前処
理として施す際に、第1の前処理として重合反応溶液と
してモノマーと酸化剤とを含み有機酸系のドーパントを
含まない溶液を用いて、上述の加熱法により有機酸系の
ドーパントを含まない導電性高分子層を前記誘電体層上
に形成した後、第2の前処理として重合反応溶液として
モノマーと酸化剤と有機酸系のドーパントを含む溶液を
用いて、上述の加熱法により有機酸系のドーパントを含
む導電性高分子層を前記第1の前処理で形成した該有機
酸系のドーパントを含まない導電性高分子層上に形成し
た後、本処理として従来の交互浸漬法等により有機酸系
のドーパントを含む導電性高分子層をさらに前記有機酸
系のドーパントを含む導電性高分子層上に形成するもの
を含む。
Further, when at least one of the dopants is an organic acid-based dopant, the present invention provides a method of pre-treating either of the first and second methods described above. As a pretreatment of 1, the conductive polymer layer containing no organic acid dopant is prepared by the above heating method using a solution containing a monomer and an oxidizing agent as a polymerization reaction solution and containing no organic acid dopant. After being formed on the body layer, a solution containing a monomer, an oxidizing agent, and an organic acid-based dopant as a polymerization reaction solution is used as a second pretreatment, and a high conductivity containing an organic acid-based dopant is obtained by the heating method described above. After the molecular layer is formed on the conductive polymer layer containing no organic acid dopant formed in the first pretreatment, the organic acid dopant is added by the conventional alternate dipping method as the main treatment. The conductive polymer layer further include those formed on the conductive polymer layer containing the organic acid-type dopant.

【0021】また、本発明には、上述の製造方法を用い
て形成した電解コンデンサが包含される。
The present invention also includes an electrolytic capacitor formed by using the above manufacturing method.

【0022】[0022]

【発明の実施の形態】本発明の電解コンデンサは、陽極
が弁金属の多孔体であり、誘電体層が弁金属の酸化物層
であり、陰極がドーパントを含む導電性高分子層からな
るものである。本発明において、陽極は、弁金属の多孔
体内部には外部表面に連通する多数の空孔ないし細孔を
有して、陽極表面積が著しく拡大され、本発明におい
て、陽極を成す弁金属には、例えば、アルミニウムやタ
ンタルが好ましく使用される。誘電体層は、多孔体内部
の空孔表面も含めた陽極表面に形成された非常に薄い酸
化皮膜である。
BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION In the electrolytic capacitor of the present invention, the anode is a porous body of valve metal, the dielectric layer is an oxide layer of valve metal, and the cathode is a conductive polymer layer containing a dopant. Is. In the present invention, the anode has a large number of pores or pores communicating with the outer surface inside the porous body of the valve metal, and the anode surface area is remarkably expanded. For example, aluminum or tantalum is preferably used. The dielectric layer is a very thin oxide film formed on the surface of the anode including the surface of pores inside the porous body.

【0023】導電性高分子層は、内部の空孔も含めて誘
電体層上に被着されて、陰極とされる。陰極を成す導電
性高分子層は、そのモノマーを重合可能な酸化剤とドー
パントとを含む溶液中で化学酸化重合法により形成する
ものである。モノマーには、そのポリマーが導電性を示
すものから選ばれ、例えば、複素環式5員環化合物のな
かから、好ましくは、ピロール、チオフェン、3−アル
キルチオフェン、イソチアナフテンなどが利用される。
The conductive polymer layer, including the internal voids, is deposited on the dielectric layer to serve as a cathode. The conductive polymer layer forming the cathode is formed by a chemical oxidative polymerization method in a solution containing a monomer that is a polymerizable oxidant and a dopant. The monomer is selected from those exhibiting conductivity, and for example, among heterocyclic 5-membered ring compounds, pyrrole, thiophene, 3-alkylthiophene, isothianaphthene, etc. are preferably used.

【0024】重合に使用される溶液は、導電性ポリマー
の成分である上記のモノマーと、重合用の酸化剤(例え
ば、過酸化水素、硫酸鉄(III) などの第二鉄イオンな
ど)と、さらに、ドーパントを含有させる場合について
は、ドーパントとを含む。
The solution used for the polymerization comprises the above-mentioned monomer which is a component of the conductive polymer, an oxidizing agent for the polymerization (for example, hydrogen peroxide, ferric ion such as iron (III) sulfate) and the like. Furthermore, in the case of including a dopant, the term "dopant" is included.

【0025】ドーパントは、導電性ポリマーの導電率を
更に高めるために付加される。無機酸系ドーパントとし
て、、塩素イオンや硫酸イオン等各種アニオンを利用す
ることができるが、無機酸系ドーパントは、形成後の処
理で水中に溶出などにより逃散する惧れがある。そこ
で、導電性高分子層中からの脱ドープを抑制する目的
で、立体障害が大きくポリマー中で動きにくい分子構造
を有する有機酸系のアニオンを利用するのが好ましい。
特に、上記の導電性ポリマーに対しては、アルキルナフ
タレンスルホン酸などのアーリルスルホン酸イオン、ア
ーリル燐酸イオンが利用することが好ましく、そのNa
塩、その他アルカリ塩などの形で溶液中に添加すること
ができる。
The dopant is added to further increase the conductivity of the conductive polymer. As the inorganic acid-based dopant, various anions such as chloride ion and sulfate ion can be used, but the inorganic-acid-based dopant is likely to escape by elution into water in the treatment after formation. Therefore, for the purpose of suppressing dedoping from the conductive polymer layer, it is preferable to use an organic acid-based anion having a molecular structure that has a large steric hindrance and is hard to move in the polymer.
In particular, for the above-mentioned conductive polymer, it is preferable to use an aryl sulfonate ion such as an alkylnaphthalene sulfonate or an aryl phosphonate ion.
It can be added to the solution in the form of salt or other alkali salt.

【0026】第1の製造方法は、この溶液中に、予め誘
電体層を形成した弁金属多孔体を浸漬し、そのまま一定
時間、多孔体あるいは多孔体内部の温度を多孔体外部の
前記溶液温度より高く保持するものである。この方法に
より、多孔体の空孔に含浸されたモノマーの化学酸化重
合の反応速度だけを外部の重合反応速度より速くして、
空孔内のポリマーの形成を促進するのである。
In the first manufacturing method, the valve metal porous body on which a dielectric layer has been formed in advance is immersed in this solution, and the temperature of the porous body or the inside of the porous body is kept as it is for a certain period of time. It holds something higher. By this method, only the reaction rate of chemical oxidative polymerization of the monomer impregnated in the pores of the porous body is made faster than the external polymerization reaction rate,
It promotes the formation of polymer in the pores.

【0027】以上の方法により、従来は多孔体表層部に
おける導電性高分子層の形成が非常に速く、内部の空孔
内における導電性高分子層の形成が不十分なために、コ
ンデンサは多孔体の表面と内部空孔表面との全面積から
期待される容量の70%程度しか達成されなかったので
あるが、本発明の製造方法によれば、多孔質の多孔体内
部への導電性高分子層の形成速度が表層部における形成
より促進され、誘電体層の十分な被覆によりコンデンサ
としての容量達成率を90%程度まで向上させることが
できる。
According to the above method, the conductive polymer layer in the surface layer portion of the porous body is conventionally very fast, and the conductive polymer layer in the inner pores is not sufficiently formed. Only about 70% of the capacity expected from the total area of the surface of the body and the surface of the internal pores was achieved. However, according to the production method of the present invention, high conductivity inside the porous body is obtained. The formation speed of the molecular layer is accelerated more than that of the surface layer, and sufficient coverage of the dielectric layer can improve the capacity achievement rate of the capacitor to about 90%.

【0028】また、第2の方法において、化学酸化重合
法で導電性高分子層を形成する方法が、モノマーと酸化
剤とドーパントとを含む溶液中に前記誘電体層を形成し
た弁金属多孔体を浸漬し多孔体内部に溶液を含浸させた
後、多孔体を溶液より引き上げ、前記溶液温度より高い
温度に保持して重合反応を促進させることもなされる。
In the second method, a method of forming a conductive polymer layer by a chemical oxidative polymerization method is a porous valve metal body in which the dielectric layer is formed in a solution containing a monomer, an oxidizing agent and a dopant. Alternatively, the porous body may be immersed in the solution to impregnate the inside of the porous body with the solution, and then the porous body may be pulled out of the solution and maintained at a temperature higher than the solution temperature to accelerate the polymerization reaction.

【0029】この方法によれば、多孔体の空孔内に保持
されたモノマーを外部へ流出させることなく効率良く空
孔内で重合させてポリマーを充足させることができ、誘
電体層の充分な被覆により90%程度の容量を達成でき
る。この際、浸漬する溶液の温度を冷却することにより
引き上げ時との温度差を設けてもよく、引き上げ時にお
ける素子温度を強制加熱することにより浸漬時との温度
差を設けてもよく、あるいはその両者とも行ってもよ
い。特に、第1、2いずれの方法においても素子を強制
加熱する場合は、多孔体内部に通じるリード部分を加熱
する方法が好ましい。例えば、図1に示すように、多孔
体1に予めリード2を内部に埋め込んで、しかも他端を
表面10から突出させて成形した構造の場合、上記の如
く浸漬したあと、多孔体内部に通じる該突出したリード
2を介して加熱を行う。この場合、埋設されたリード2
の近傍すなわち多孔体中心部11より導電性高分子形成
反応が促進され、さらに内部の被覆性が向上する。
According to this method, the monomer retained in the pores of the porous body can be efficiently polymerized in the pores without flowing out, and the polymer can be sufficiently filled. The coating can achieve capacities as high as 90%. At this time, a temperature difference from that at the time of pulling may be provided by cooling the temperature of the solution to be immersed, or a temperature difference from that at the time of immersion may be provided by forcibly heating the element temperature at the time of pulling, or You may go both. In particular, when the element is forcibly heated by any of the first and second methods, a method of heating the lead portion communicating with the inside of the porous body is preferable. For example, as shown in FIG. 1, in the case of a structure in which the lead 2 is embedded in the porous body 1 in advance and the other end is projected from the surface 10, the structure is soaked as described above and then led to the inside of the porous body. Heating is performed through the protruding leads 2. In this case, the buried lead 2
The conductive polymer forming reaction is promoted from the vicinity of, ie, the central portion 11 of the porous body, and the inner coatability is further improved.

【0030】また、第2の方法においては多孔体に溶液
を含浸させた後引き上げるため、溶媒の揮散が速くな
る。従って、導電性ポリマーの形成は、溶媒蒸気中で行
うのが、溶媒の乾燥速度を緩やかにし、溶媒乾燥による
導電性高分子の形成阻害を抑制することができる。この
とき、前記溶媒蒸気の蒸気分圧が保持温度における該溶
媒の飽和蒸気圧の70%以上の雰囲気であることが好ま
しく、これにより、十分その効果が認められる。
Further, in the second method, since the porous body is impregnated with the solution and then pulled up, the volatilization of the solvent is accelerated. Therefore, the formation of the conductive polymer is performed in the solvent vapor, but the drying speed of the solvent can be slowed and the inhibition of the formation of the conductive polymer due to the solvent drying can be suppressed. At this time, it is preferable that the vapor partial pressure of the solvent vapor is 70% or more of the saturated vapor pressure of the solvent at the holding temperature, and the effect is sufficiently observed.

【0031】以上の第1の製造方法において、多孔体内
部の温度を前記多孔体外部の溶液温度より10℃以上高
く保持することにより多孔体内部での反応を外部での反
応のほぼ2倍以上の反応速度にすることが好ましい。こ
のように反応速度を制御することにより、多孔体内部に
効率よく導電性ポリマーを析出させることができる。
In the first production method described above, the temperature inside the porous body is kept higher than the solution temperature outside the porous body by 10 ° C. or more, so that the reaction inside the porous body is about twice or more than the reaction outside. It is preferable that the reaction rate is By controlling the reaction rate in this manner, the conductive polymer can be efficiently deposited inside the porous body.

【0032】また、第2の方法において、多孔体を引き
上げ後に加温により重合反応を促進させて効率良くモノ
マーを重合させるために、前記浸漬する溶液中では、反
応が発生しないことが望ましい。しかし、反応をほぼ完
全に抑えるためには約−40℃以下の低温にする必要が
あり、工業的には不可能である。そのため、約1時間で
溶液を使いきるとして、約90%を使用するためには、
1時間あたりのポリマー析出重量を配合モノマー重量に
対して10%以下に制御しておくことが好ましい。この
ためには、溶液中のモノマー及び酸化剤の濃度とを定め
て、溶液の温度を低温に保持するのがよい。このように
溶液中のポリマー析出速度を規制しておくことにより、
多孔体内部でのポリマー析出効率を有効に高めることが
できるのである。
In the second method, in order to promote the polymerization reaction by heating after raising the porous body to efficiently polymerize the monomer, it is desirable that the reaction does not occur in the dipping solution. However, in order to suppress the reaction almost completely, it is necessary to lower the temperature to about -40 ° C or lower, which is industrially impossible. Therefore, assuming that the solution is used up in about 1 hour, in order to use about 90%,
It is preferable to control the polymer deposition weight per hour to 10% or less with respect to the blended monomer weight. For this purpose, it is preferable to determine the concentrations of the monomer and the oxidant in the solution and keep the temperature of the solution low. By regulating the polymer deposition rate in the solution in this way,
The efficiency of polymer precipitation inside the porous body can be effectively increased.

【0033】また、第3の製造方法は、化学酸化重合法
による前記導電性高分子の形成方法が、前記誘電体層を
形成した弁金属多孔体をあらかじめ反応用の素子ケース
に収容した後、少なくともいずれか一方にドーパントを
含有させたモノマー溶液と酸化剤溶液とを、前記素子ケ
ースに同時あるいは混合後反応活性が低下する前に注入
するものである。この方法により、反応空間を限定する
ことができ、ケースがない場合に比較して、仕込みモノ
マー重量に対する多孔体への付着ポリマー重量比が向上
し、収率よく誘電体皮膜上に導電性ポリマーを形成する
ことができる。かつ、反応溶液の活性を高く保持した状
態で溶液を多孔体内部まで充分含浸させることができ、
多孔体の細孔深部および中心近傍の空孔内部にも効率よ
く導電性高分子層を形成することができ、誘電体層の十
分な被覆により90%程度の容量を達成できる。
In the third manufacturing method, the conductive polymer is formed by a chemical oxidative polymerization method, after the valve metal porous body on which the dielectric layer is formed is previously housed in a reaction element case, A monomer solution containing at least one of the dopants and an oxidant solution are injected into the device case at the same time or after mixing and before the reaction activity decreases. By this method, the reaction space can be limited, and the weight ratio of the polymer attached to the porous material with respect to the weight of the charged monomer is improved as compared with the case where there is no case, and the conductive polymer is deposited on the dielectric film in good yield. Can be formed. And, while keeping the activity of the reaction solution high, the solution can be sufficiently impregnated inside the porous body,
The conductive polymer layer can be efficiently formed inside the pores of the porous body and inside the pores in the vicinity of the center, and sufficient capacity of the dielectric layer can achieve a capacity of about 90%.

【0034】以上の第3の方法において、反応用の素子
ケースにモノマー溶液と酸化剤溶液を、同時注入するよ
りも混合後注入する方が、多孔体内部に均質に導電性ポ
リマーが形成されるが、あらかじめ両者を混合しておく
と、多孔体内部に充分反応溶液が到達するまでに反応活
性が低下する。そこで、反応用の素子ケースにモノマー
溶液と酸化剤溶液とを混合後注入するまでのポリマー析
出重量が、仕込みモノマー重量の10%以下になるよう
に反応を制御あるいは混合後注入までの時間を短く制御
することが好ましく、これにより、多孔体細孔深部およ
び中心部まで反応活性を保持しながら反応溶液を含浸さ
せることができ、多孔体内部に効率よく導電性ポリマー
を析出させることができる。この反応制御は、モノマー
溶液および酸化剤溶液を低温に保持することにより行っ
ても、各々の溶液濃度を低下させて行ってもよいが、反
応一回あたりのポリマー形成量を増加させるためには、
低温保持するのが好ましい。
In the above-mentioned third method, when the monomer solution and the oxidant solution are injected into the element case for reaction after mixing rather than simultaneously injecting, the conductive polymer is homogeneously formed inside the porous body. However, if both are mixed in advance, the reaction activity decreases until the reaction solution reaches the inside of the porous body sufficiently. Therefore, the reaction is controlled so that the weight of the polymer deposited before mixing and injecting the monomer solution and the oxidant solution into the element case for reaction is 10% or less of the charged monomer weight, or the time until injection after mixing is shortened. It is preferable to control the porosity, whereby the reaction solution can be impregnated while retaining the reaction activity even in the deep part and the central part of the porous body, and the conductive polymer can be efficiently deposited inside the porous body. This reaction control may be performed by keeping the monomer solution and the oxidant solution at a low temperature, or by reducing the concentration of each solution, but in order to increase the amount of polymer formation per reaction, ,
It is preferable to keep the temperature low.

【0035】また、第3の製造方法において、モノマー
溶液および酸化剤溶液を多孔体に含浸させた後、注入し
た溶液温度より高い温度に多孔体を保持することによ
り、反応が促進され導電性ポリマーを形成する処理時間
の短縮が図れる。この際、高温に保持する方法として、
陽極内部に通じる金属リードを介して加熱する方法が好
ましく採用でき、これにより、さらに内部における誘電
体層の導電性ポリマーによる被覆率が向上し、容量達成
率を向上させることができる。さらに、第3の製造方法
において、反応用の素子ケースの内容積を多孔体サイズ
の1倍を超え4倍以下にすることにより、全形成ポリマ
ー重量に対する多孔体の誘電体皮膜上における導電性ポ
リマー形成量の比を20%以上にすることができ、収率
を向上させることができる。
In the third manufacturing method, after the monomer solution and the oxidizing agent solution are impregnated into the porous body, the reaction is promoted by keeping the porous body at a temperature higher than the temperature of the injected solution to accelerate the reaction. It is possible to reduce the processing time for forming the. At this time, as a method of maintaining high temperature,
A method of heating via a metal lead that communicates with the inside of the anode can be preferably adopted, whereby the coverage of the dielectric layer inside with the conductive polymer can be further improved, and the capacity achievement rate can be improved. Further, in the third manufacturing method, the conductive polymer on the dielectric film of the porous body is made to account for the total weight of the polymer by setting the internal volume of the element case for reaction to be more than 1 time and not more than 4 times the size of the porous body. The formed amount ratio can be 20% or more, and the yield can be improved.

【0036】さらに、ドーパントの少なくとも一種が有
機酸系のドーパントの場合、化学酸化重合法で導電性高
分子層を形成する際に、まず前処理として、有機酸系の
ドーパントを含まない導電性ポリマー層を化学酸化重合
法により予め形成するのが好ましい。有機酸系のドーパ
ントを含む導電性ポリマー層は誘電体層への密着性およ
び膜の緻密性が低いが、この有機酸系のドーパントを含
まない導電性ポリマー層は、それ自体が緻密均質な膜と
して空孔内を含む表面の誘電体層上に密着良く形成する
ことができ、しかも、その後に形成される上述の有機酸
系のドーパントを含むポリマー層との密着性が高い。そ
こで、上述の第1、第2および第3の方法を本処理とし
て、この有機酸系のドーパントを含まない導電性ポリマ
ー層上に有機酸系のドーパントを含む導電性ポリマー層
を前記の液中加温法又は引き上げ加温法又は反応用素子
ケースへの液注入法により形成する。これにより、弁金
属多孔体の空孔内部まで誘電体層の被覆率を高くでき、
かつ緻密で誘電体層との密着性の高い導電性高分子膜を
形成することができる。このような前処理を含む方法に
より、非常に容量達成率が高く、低抵抗で周波数特性の
良いコンデンサを得ることができるのである。この際、
有機酸系以外のドーパントは、前処理時に含んでいても
含んでいなくでもよい。
Further, when at least one of the dopants is an organic acid type dopant, a conductive polymer containing no organic acid type dopant is first treated as a pretreatment when the conductive polymer layer is formed by the chemical oxidative polymerization method. The layer is preferably preformed by a chemical oxidative polymerization method. The conductive polymer layer containing the organic acid dopant has low adhesion to the dielectric layer and the film is not dense, but the conductive polymer layer containing no organic acid dopant is a dense and homogeneous film. As a result, it can be formed with good adhesion on the surface of the dielectric layer including the inside of the pores, and has high adhesion with the polymer layer containing the above-mentioned organic acid-based dopant formed thereafter. Therefore, the above-mentioned first, second and third methods are used as the main treatment, and a conductive polymer layer containing an organic acid type dopant is formed on the conductive polymer layer containing no organic acid type dopant in the above liquid. It is formed by a heating method, a pull-up heating method, or a liquid injection method into the reaction element case. As a result, the coverage of the dielectric layer can be increased up to the inside of the pores of the valve metal porous body,
Moreover, it is possible to form a conductive polymer film that is dense and has high adhesion to the dielectric layer. By the method including such pretreatment, it is possible to obtain a capacitor having a very high capacity achievement rate, low resistance, and good frequency characteristics. On this occasion,
The dopant other than the organic acid type may or may not be included in the pretreatment.

【0037】さらにまた、化学酸化重合法で導電性高分
子層を形成する際に、まず前処理として、上述の加温方
法を採用してドーパントを含む導電性高分子層を化学酸
化重合法により形成し、多孔質の弁金属多孔体内部の空
孔の誘電体層表面上の導電性高分子層による被覆率を向
上させた後、本処理として従来の交互浸漬法等によりド
ーパントを含む導電性高分子層をさらに形成する方法も
採用される。これにより、簡便に内部から多孔体表面ま
で導電性高分子による被覆率が高い弁金属多孔体を形成
でき、容量達成率の高いコンデンサを容易に得ることが
できる。
Furthermore, when forming the conductive polymer layer by the chemical oxidative polymerization method, first, as a pretreatment, the above-mentioned heating method is adopted to form the conductive polymer layer containing the dopant by the chemical oxidative polymerization method. After forming and improving the coverage of the pores inside the porous valve metal porous body with the conductive polymer layer on the surface of the dielectric layer, as the main treatment, the conductivity including the dopant is obtained by the conventional alternate dipping method or the like. A method of further forming a polymer layer is also adopted. This makes it possible to easily form a valve metal porous body having a high coverage with a conductive polymer from the inside to the surface of the porous body, and to easily obtain a capacitor having a high capacity achievement rate.

【0038】さらに、ドーパントの少なくとも一種が有
機酸系のドーパントの場合、化学酸化重合法で導電性高
分子層を形成する際に、まず前処理として、上述の加温
方法を応用して、誘電体層表面に有機酸系のドーパント
を含まない導電性高分子層を化学酸化重合法により形成
した後、本処理として従来の交互浸漬法等により有機酸
系のドーパントを含む導電性高分子層を形成する方法も
採用することができる。これにより、多孔質の弁金属多
孔体の中心部近傍まで空孔内部の導電性高分子による被
覆率が高く、且つ誘電体層との密着性の高い導電性高分
子膜を前記誘電体層上に簡便に形成することができ、簡
便に、容量達成率が高く、周波数特性が良い品質の良い
コンデンサを得ることができる。
Furthermore, when at least one of the dopants is an organic acid type dopant, the above-mentioned heating method is first applied as a pretreatment when forming the conductive polymer layer by the chemical oxidative polymerization method. After forming a conductive polymer layer containing no organic acid type dopant on the surface of the body layer by a chemical oxidative polymerization method, a conductive polymer layer containing an organic acid type dopant is formed by a conventional alternate dipping method as the main treatment. A forming method can also be adopted. As a result, a conductive polymer film having a high coverage with the conductive polymer inside the pores up to the vicinity of the central portion of the porous valve metal porous body and having high adhesion with the dielectric layer is formed on the dielectric layer. Therefore, it is possible to easily obtain a capacitor having a high capacity achievement rate and good frequency characteristics and good quality.

【0039】また、ドーパントの少なくとも一種が有機
酸系のドーパントの場合には、化学酸化重合法で導電性
高分子層を形成する際に、まず第1の前処理として、上
述の加温方法を応用して、誘電体層表面に有機酸系のド
ーパントを含まない導電性高分子層を化学酸化重合法に
より形成した後、第2の前処理として、上述の加温方法
を応用して、誘電体層表面に有機酸系のドーパントを含
む導電性高分子層を化学酸化重合法により形成した後、
本処理として従来の交互浸漬法等により有機酸系のドー
パントを含む導電性高分子層をさらに形成する方法も採
用することができる。これにより、多孔質の金属多孔体
の中心部近傍から外部表面まで空孔内部の導電性高分子
による被覆率がさらに高く、且つ誘電体層との密着性の
高い導電性高分子膜を前記誘電体層上に形成することが
でき、本発明の製造方法の中で最も容量達成率が高く、
周波数特性が良い品質の良いコンデンサを得ることがで
きる。
When at least one of the dopants is an organic acid-based dopant, the above-mentioned heating method is used as the first pretreatment when forming the conductive polymer layer by the chemical oxidative polymerization method. After the conductive polymer layer containing no organic acid dopant is formed on the surface of the dielectric layer by the chemical oxidative polymerization method, the above-mentioned heating method is applied as the second pretreatment. After forming a conductive polymer layer containing an organic acid-based dopant on the body layer surface by a chemical oxidative polymerization method,
As the main treatment, a method of further forming a conductive polymer layer containing an organic acid type dopant by a conventional alternate dipping method or the like can also be adopted. As a result, the conductive polymer film having a higher coverage with the conductive polymer inside the pores from the vicinity of the center of the porous metal porous body to the outer surface and having high adhesion with the dielectric layer is formed on the dielectric layer. Can be formed on the body layer, the highest capacity achievement rate in the production method of the present invention,
It is possible to obtain a high-quality capacitor with good frequency characteristics.

【0040】[0040]

【実施例】以下、本発明の実施例について説明する。モ
ノマー溶液の調製について、イソプロピルアルコールを
10vol %含有する水溶液に0.05mol/lとなる
ようにピロールを溶解させて、モノマー溶液Iとした。
また、イソプロピルアルコールを10vol %含有する水
溶液に0.1mol/lとなるようにピロールを溶解さ
せて、モノマー溶液IIとした。
EXAMPLES Examples of the present invention will be described below. Regarding the preparation of the monomer solution, a pyrrole was dissolved in an aqueous solution containing 10 vol% of isopropyl alcohol so as to be 0.05 mol / l to prepare a monomer solution I.
Further, pyrrole was dissolved in an aqueous solution containing 10 vol% of isopropyl alcohol so as to be 0.1 mol / l to prepare a monomer solution II.

【0041】酸化剤溶液の調製について、イソプロピル
アルコールを10vol %含有する水溶液に、酸化剤とし
て硫酸鉄(III) を0.05mol/l、有機酸系のドー
パントとしてアルキルナフタレンスルホン酸イオンをN
a塩の形で0.03mol/lとなるように溶解させ
て、酸化剤溶液Iとした。
For the preparation of the oxidizing agent solution, iron (III) sulfate 0.05 mol / l as an oxidizing agent and an alkylnaphthalene sulfonate ion as an organic acid dopant in N were added to an aqueous solution containing 10 vol% of isopropyl alcohol.
An oxidant solution I was prepared by dissolving the salt a in a form of 0.03 mol / l.

【0042】さらに、イソプロピルアルコールを10vo
l %含有する水溶液に、酸化剤として硫酸鉄(III) を
0.1mol/l、有機酸系のドーパントとしてアルキ
ルナフタレンスルホン酸イオンをNa塩の形で0.05
mol/lとなるように溶解させて、酸化剤溶液IIとし
た。
Further, isopropyl alcohol was added at 10 vo
In an aqueous solution containing 1%, 0.1 mol / l of iron (III) sulfate as an oxidant and 0.05 of an alkylnaphthalenesulfonate ion as an organic acid dopant in the form of Na salt are used.
It was dissolved so as to be mol / l to obtain an oxidizing agent solution II.

【0043】さらに、イソプロピルアルコールを10vo
l %含有する水溶液に、硫酸鉄(III) を0.05mol
/lとなるように溶解させて、酸化剤溶液III とした。
イソプロピルアルコールを10vol %含有する水溶液
に、硫酸鉄(III) を0.1mol/lとなるように溶解
させて、酸化剤溶液IVとした。
Further, isopropyl alcohol was added at 10 vo
0.05 mol of iron (III) sulfate in an aqueous solution containing 1%
The solution was dissolved to give an oxidant solution III.
Iron (III) sulfate was dissolved in an aqueous solution containing 10 vol% of isopropyl alcohol so as to have a concentration of 0.1 mol / l to obtain an oxidizing agent solution IV.

【0044】次に、タンタル粉末をリードとともに圧縮
成形した後、焼成して1.4mm×3.0mm×3.8
mmの多孔体を形成した後、タンタル多孔体の空孔表面
および外部表面をリン酸水溶液中にて化成電圧30Vで
化成して酸化皮膜誘電体層を形成し、コンデンサ用の多
孔体とした。
Next, the tantalum powder is compression-molded together with the lead and then fired to obtain 1.4 mm × 3.0 mm × 3.8.
After forming the porous body of mm, the pore surface and the outer surface of the tantalum porous body were formed in a phosphoric acid aqueous solution at a formation voltage of 30 V to form an oxide film dielectric layer, which was used as a porous body for a capacitor.

【0045】準備したコンデンサ用の多孔体の誘電体層
上に、以下の化学酸化重合法により導電性高分子層を形
成して陰極とし、さらに外部に陰極の集電体としてのリ
ード板を設け導電性高分子層と集電体リード板との間を
カーボンおよび銀層で接続し、タンタルリードを陽極端
子とし、銀で接続したリード板を陰極端子とした電解コ
ンデンサを形成した。多孔体内部の誘電体層の導電性高
分子による被覆状態を破断面にて観察した。また、電解
コンデンサとしての120Hz、1kHzでの静電容量
を測定した。
A conductive polymer layer was formed on the prepared dielectric layer of the porous body for the capacitor by the following chemical oxidation polymerization method to form a cathode, and a lead plate serving as a cathode current collector was provided outside. A carbon and silver layer was connected between the conductive polymer layer and the current collector lead plate to form an electrolytic capacitor using the tantalum lead as an anode terminal and the lead plate connected with silver as a cathode terminal. The state of coating of the dielectric layer inside the porous body with the conductive polymer was observed on the fracture surface. Moreover, the electrostatic capacitance at 120 Hz and 1 kHz as an electrolytic capacitor was measured.

【0046】実施例(1) モノマー溶液Iと酸化剤溶液Iを5℃に保持して混合
し、この混合液中に金属多孔体を浸漬し、リードを加熱
してリードを介して多孔体を30℃に加熱して保持し、
ドーパントを含む導電性高分子層を多孔体の空孔内部お
よび表面の誘電体層表面上に形成した。加熱した多孔体
での重合速度は、溶液中での重合速度の約4倍であっ
た。導電性高分子形成後、洗浄乾燥を行った。
Example (1) The monomer solution I and the oxidant solution I were mixed while being kept at 5 ° C., the porous metal body was immersed in this mixed solution, and the lead was heated to form the porous body through the lead. Heat to 30 ° C and hold,
A conductive polymer layer containing a dopant was formed inside the pores of the porous body and on the surface of the dielectric layer. The polymerization rate in the heated porous body was about 4 times the polymerization rate in the solution. After forming the conductive polymer, it was washed and dried.

【0047】実施例(2) モノマー溶液Iと酸化剤溶液Iを5℃に保持して混合
し、この混合液中に多孔体を浸漬し溶液を多孔体に含浸
させた後、多孔体を溶液より引き上げ、相対湿度80%
の雰囲気中でリードを介して多孔体を30℃に加熱して
保持し、ドーパントを含む導電性高分子層を多孔体の空
孔内部および多孔体表面の誘電体層表面上に形成した。
その後、洗浄乾燥を行い、この含浸と引き上げ加温およ
び洗浄乾燥とから成る操作を5回繰り返した。
Example (2) The monomer solution I and the oxidant solution I were mixed while being kept at 5 ° C. The porous body was immersed in this mixed solution to impregnate the porous body with the solution, and then the porous body was dissolved. 80% relative humidity
The porous body was heated and held at 30 ° C. through the lead in the atmosphere of 1 to form a conductive polymer layer containing a dopant inside the pores of the porous body and on the surface of the dielectric layer on the surface of the porous body.
After that, washing and drying were performed, and the operation of impregnation, lifting and heating and washing and drying was repeated 5 times.

【0048】実施例(3) 反応用素子ケースに多孔体を収納して導電性高分子層を
形成する方法を示す。図2は、素子ケース3に収容した
多孔体1を示す。反応用素子ケース3の容積を多孔体1
の体積の2倍とし、モノマー溶液IIと酸化剤溶液IIをあ
らかじめ5℃に保持して、混合し、即座に素子ケース3
と多孔体1との間隙31に注入した。その後、反応用素
子ケースごと多孔体を30℃に保持し、ドーパントを含
む導電性高分子層を多孔体の誘電体皮膜上に形成した。
その後、洗浄乾燥を行った。このケースを利用して、溶
液混合注入と加温および洗浄乾燥とからなる操作を5回
繰り返した。
Example (3) A method of forming a conductive polymer layer by accommodating a porous body in a reaction element case will be described. FIG. 2 shows the porous body 1 housed in the element case 3. The volume of the reaction element case 3 is set to the porous body 1.
The volume of the solution is doubled, and the monomer solution II and the oxidant solution II are kept at 5 ° C. in advance and mixed, and immediately the element case 3
Was injected into the gap 31 between the porous body 1 and the porous body 1. Then, the porous body was kept at 30 ° C. together with the reaction element case, and a conductive polymer layer containing a dopant was formed on the dielectric film of the porous body.
Then, it was washed and dried. Using this case, the operation consisting of solution mixture injection, heating and washing / drying was repeated 5 times.

【0049】実施例(4) モノマー溶液IIと酸化剤溶液IVを5℃に保持し混合し、
この混合液中に多孔体を浸漬し、有機酸系のドーパント
を含まない(硫酸イオンは含む)導電性高分子膜を多孔
体の空孔内部および多孔体表面の誘電体層表面上に形成
した後、洗浄乾燥を行った。その後、モノマー溶液Iと
酸化剤溶液Iを5℃に保持し混合し、この混合液中に前
記処理を施した多孔体を浸漬し、リードを介して多孔体
を30℃に加熱しながら有機酸系のドーパントを含む導
電性高分子層を有機酸系のドーパントを含まない導電性
高分子膜上に形成した。最後に再度洗浄乾燥を行った。
Example (4) The monomer solution II and the oxidant solution IV were kept at 5 ° C. and mixed,
By immersing the porous body in this mixed solution, a conductive polymer film containing no organic acid dopant (including sulfate ion) was formed inside the pores of the porous body and on the surface of the dielectric layer on the surface of the porous body. Then, it was washed and dried. After that, the monomer solution I and the oxidant solution I are held and mixed at 5 ° C., the porous body subjected to the above treatment is immersed in this mixed solution, and the organic acid is heated while heating the porous body to 30 ° C. through the lead. A conductive polymer layer containing a system dopant was formed on the conductive polymer film containing no organic acid dopant. Finally, it was washed and dried again.

【0050】実施例(5) モノマー溶液Iと酸化剤溶液Iを5℃に保持し混合し、
この混合液中に多孔体を浸漬し溶液を多孔体に含浸させ
た後、多孔体を溶液より引き上げ、相対湿度80%の雰
囲気中でリードを介して多孔体を30℃に加熱し、ドー
パントを含む導電性高分子層を多孔体の空孔内部および
多孔体表面の誘電体層表面上に形成した後洗浄乾燥を行
った。その後、モノマー溶液IIおよび酸化剤溶液IIへの
多孔体の交互浸漬と乾燥洗浄を15回繰り返すことによ
りさらに導電性高分子層を形成した。
Example (5) The monomer solution I and the oxidant solution I were kept at 5 ° C. and mixed,
After immersing the porous body in this mixed liquid to impregnate the solution with the solution, the porous body is pulled up from the solution, and the porous body is heated to 30 ° C. through a lead in an atmosphere of 80% relative humidity to remove the dopant. A conductive polymer layer containing the same was formed inside the pores of the porous body and on the surface of the dielectric layer on the surface of the porous body, and then washed and dried. Then, the conductive polymer layer was further formed by repeating the alternating immersion of the porous body in the monomer solution II and the oxidant solution II and the dry washing 15 times.

【0051】実施例(6) モノマー溶液Iと酸化剤溶液III を5℃に保持し混合
し、この混合液中に多孔体を浸漬し溶液を多孔体に含浸
させた後、多孔体を溶液より引き上げ、相対湿度80%
の雰囲気中でリードを介して多孔体を30℃に加熱し、
有機酸系のドーパントを含まない(硫酸イオンは含む)
導電性高分子膜を多孔体の空孔内部および多孔体表面の
誘電体層表面上に形成した後洗浄乾燥を行った。その
後、モノマー溶液IIおよび酸化剤溶液IIへの多孔体の交
互浸漬および洗浄乾燥を15回繰り返すことにより有機
酸系のドーパントを含まない導電性高分子膜上に有機酸
系のドーパントを含む導電性高分子層を形成した。
Example (6) The monomer solution I and the oxidant solution III were kept at 5 ° C. and mixed, and the porous body was immersed in the mixed solution to impregnate the porous body with the solution. 80% relative humidity
Heating the porous body to 30 ° C through the reed in the atmosphere of
Does not contain organic acid type dopants (including sulfate ions)
The conductive polymer film was formed inside the pores of the porous body and on the surface of the dielectric layer on the surface of the porous body, and then washed and dried. After that, by alternately immersing the porous body in the monomer solution II and the oxidant solution II and repeating the washing and drying 15 times, the conductive polymer film containing the organic acid-based dopant can be formed on the conductive polymer film containing no organic acid-based dopant. A polymer layer was formed.

【0052】実施例(7) 第1の前処理としてモノマー溶液Iと酸化剤溶液III を
5℃に保持し混合し、この混合液中に多孔体を浸漬し溶
液を多孔体に含浸させた後、多孔体を溶液より引き上
げ、相対湿度80%の雰囲気中でリードを介して多孔体
を30℃に加熱し、有機酸系のドーパントを含まない
(硫酸イオンは含む)導電性高分子膜を多孔体の空孔内
部および多孔体表面の誘電体層表面上に形成し、洗浄乾
燥を行った。その後、第2の前処理としてモノマー溶液
Iと酸化剤溶液Iを5℃に保持し混合し、この混合液中
に多孔体を浸漬し溶液を多孔体に含浸させた後、多孔体
を溶液より引き上げ、相対湿度80%の雰囲気中でリー
ドを介して多孔体を30℃に加熱し、有機酸系のドーパ
ントを含む導電性高分子膜を有機酸系のドーパントを含
まない導電性高分子膜上に形成し、洗浄乾燥を行った。
その後、本処理としてモノマー溶液IIおよび酸化剤溶液
IIへの多孔体の交互浸漬および洗浄乾燥を15回繰り返
すことによりさらに有機酸系のドーパントを含む導電性
高分子層を形成した。
Example (7) As the first pretreatment, the monomer solution I and the oxidant solution III were kept at 5 ° C. and mixed, and the porous body was immersed in this mixed solution to impregnate the solution with the porous body. , The porous body is pulled up from the solution, the porous body is heated to 30 ° C. through the lead in an atmosphere of relative humidity 80%, and the conductive polymer film containing no organic acid dopant (including sulfate ion) is porous. It was formed inside the pores of the body and on the surface of the dielectric layer on the surface of the porous body, and washed and dried. After that, as a second pretreatment, the monomer solution I and the oxidant solution I are held at 5 ° C. and mixed, and the porous body is immersed in this mixed solution to impregnate the porous body with the solution. The porous body is pulled up and heated to 30 ° C. through the lead in an atmosphere of 80% relative humidity, and the conductive polymer film containing the organic acid dopant is placed on the conductive polymer film containing no organic acid dopant. And was washed and dried.
Then, as the main treatment, the monomer solution II and the oxidant solution are used.
By alternately immersing the porous body in II and washing and drying 15 times, a conductive polymer layer further containing an organic acid type dopant was formed.

【0053】従来例(8)として、モノマー溶液IIおよ
び酸化剤溶液IIへの多孔体の交互浸漬および洗浄乾燥を
15回繰り返すことによりドーパントを含む導電性高分
子層を多孔体の空孔内部および多孔体表面の誘電体層表
面上に堆積形成した。
As the conventional example (8), the conductive polymer layer containing the dopant was formed inside the pores of the porous body by repeating the alternating immersion of the porous body in the monomer solution II and the oxidizing agent solution II and washing and drying 15 times. It was deposited and formed on the surface of the dielectric layer on the surface of the porous body.

【0054】以上のようにして作製した電解コンデンサ
の多孔体を破断し、その破断面で導電性高分子層の形成
状態を観察した。従来例(8)では多孔体の中央部にお
ける導電性高分子による被覆性が不十分であるのに対
し、本発明の方法である実施例(1)ないし(7)の方
法においては中央部まで導電性高分子による被覆率が向
上していることがわかった。
The porous body of the electrolytic capacitor produced as described above was broken, and the state of formation of the conductive polymer layer was observed on the broken surface. In the conventional example (8), the coverage with the conductive polymer in the central portion of the porous body is insufficient, whereas in the methods of Examples (1) to (7), which are the methods of the present invention, up to the central portion. It was found that the coverage with the conductive polymer was improved.

【0055】[0055]

【表1】 [Table 1]

【0056】また、電解コンデンサの静電容量の測定結
果を表1に示す。本実施例で用いた多孔体は容量が10
0μF品になるよう設計製作されたものであるが、表1
より明らかなように従来例(8)では70%程度しか容
量が達成しなかった。しかし、本発明の加熱方法および
液注入法による実施例(1)、(2)、(3)において
は90%以上容量を達成することができ、さらに前処理
を施した実施例(4)、(5)、(6)、(7)におい
てはほぼ完全に容量を達成することができた。特に、周
波数120Hzと1kHzでの容量の比較を行うと、前
処理として有機酸系のドーパントを含まない導電性高分
子層を設けた実施例(4)、(6)、(7)は、高周波
特性が非常に良く1kHzにおける容量減少が発生せず
良好なコンデンサ特性を示した。特に第1の前処理とし
て有機酸系のドーパントを含まない導電性高分子層を形
成し、第2の前処理として有機酸系のドーパントを含む
導電性高分子層を内部より優先的に形成した実施例
(7)では、容量達成、高周波特性ともに最も優れた特
性を示した。
Table 1 shows the measurement results of the capacitance of the electrolytic capacitor. The porous body used in this example has a capacity of 10
Although it was designed and manufactured to be a 0 μF product, Table 1
As is clearer, in the conventional example (8), the capacity achieved only about 70%. However, in Examples (1), (2), and (3) according to the heating method and the liquid injection method of the present invention, a capacity of 90% or more can be achieved, and Example (4) further pretreated, In (5), (6) and (7), the capacity could be achieved almost completely. In particular, comparing the capacities at a frequency of 120 Hz and 1 kHz, Examples (4), (6), and (7) in which a conductive polymer layer containing no organic acid dopant was provided as a pretreatment were The characteristics were very good and good capacitor characteristics were shown without a decrease in capacitance at 1 kHz. In particular, a conductive polymer layer containing no organic acid dopant was formed as the first pretreatment, and a conductive polymer layer containing an organic acid dopant was preferentially formed from the inside as the second pretreatment. In Example (7), the capacity achievement and the high frequency characteristics were the most excellent.

【0057】ここで、有機酸系のドーパントを含まない
導電性高分子層を設けた場合は、形成された導電性高分
子層が膜状に均質に形成されていることが、走査電子顕
微鏡による観察で確認された。本発明者らは、この均質
な膜が誘電体層との密着性にすぐれ、かつ、導電性高分
子層としての抵抗を非常に低下させることを確認した。
従って、本発明の実施例(4)、(6)、(7)のよう
に有機酸系のドーパントを含まない導電性高分子層を予
め誘電体層表面上に形成しておくと、陰極が低抵抗とな
るため、高周波における容量引出率が向上したと推察さ
れる。
Here, when a conductive polymer layer containing no organic acid type dopant is provided, it is confirmed by a scanning electron microscope that the formed conductive polymer layer is uniformly formed in a film shape. Confirmed by observation. The present inventors have confirmed that this homogeneous film has excellent adhesion to the dielectric layer and significantly reduces the resistance as the conductive polymer layer.
Therefore, when a conductive polymer layer containing no organic acid dopant as in Examples (4), (6) and (7) of the present invention is formed on the surface of the dielectric layer in advance, the cathode becomes Since the resistance is low, it is presumed that the capacity drawing rate at high frequencies is improved.

【0058】本実施例においては、モノマーとしてピロ
ールを用いたが、本発明は、複素環式五員環化合物もし
くはその誘導体であれば、その種類については限定され
るものではない。また、本実施例ではアルキルナフタレ
ンスルホン酸Na塩の形で有機酸系のドーパントを添加
したが、他のアーリルスルホン酸イオンでも同様の効果
が得られ、さらには、アーリルリン酸イオンを用いた場
合の方が耐熱性のよい導電性高分子層が形成された。
Although pyrrole was used as the monomer in this example, the present invention is not limited in kind as long as it is a heterocyclic five-membered ring compound or its derivative. Further, in the present example, the organic acid-based dopant was added in the form of the alkylnaphthalenesulfonic acid Na salt, but the same effect can be obtained with other aryl arylsulfonate ions, and further, when the arylyl phosphate ion is used. The conductive polymer layer having better heat resistance was formed.

【0059】本実施例(1)においては、多孔体あるい
は多孔体内部の温度を多孔体外部の溶液温度より25℃
高くしてその効果を確認したが、10℃以上高くするこ
とで十分効果が確認された。また本実施例(1)におい
ては、実際の多孔体内部での導電性高分子層の重合形成
速度は外部における重合形成速度の4倍程度であった
が、2倍以上に制御することで効果が確認された。
In this Example (1), the temperature of the porous body or the inside of the porous body was set at 25 ° C. higher than the temperature of the solution outside the porous body.
The effect was confirmed by raising the temperature, but the effect was sufficiently confirmed by raising the temperature by 10 ° C. or more. Further, in the present Example (1), the actual polymerization formation rate of the conductive polymer layer inside the porous body was about 4 times the polymerization formation rate outside, but it is effective to control the polymerization formation rate to 2 times or more. Was confirmed.

【0060】本実施例(2)においては多孔体引き上げ
時の雰囲気を溶媒飽和蒸気圧の80%の溶媒蒸気を含む
雰囲気(相対蒸気圧80%)としてその効果を確認した
が、溶媒蒸気の相対蒸気圧が70%以上の雰囲気であれ
ば十分その効果が認められた。また、本実施例(2)に
おける浸漬する溶液中での1時間あたりのポリマー析出
重量は、配合モノマー重量の5%程度であったが、10
%以下に制御しておくことでかなり効率よく導電性高分
子層が形成されることが確認された。
In this Example (2), the effect was confirmed by setting the atmosphere for pulling up the porous body as an atmosphere containing 80% of the solvent saturated vapor pressure of solvent vapor (relative vapor pressure 80%). The effect was sufficiently recognized in an atmosphere having a vapor pressure of 70% or more. Further, the polymer deposition weight per hour in the dipping solution in this Example (2) was about 5% of the blended monomer weight, but 10
It was confirmed that the conductive polymer layer was formed quite efficiently by controlling the content to be not more than%.

【0061】本実施例(3)においては、反応用素子ケ
ースの内容積の大きさを多孔体サイズの2倍としたが、
4倍以下であれば反応収率が良好であることが確認でき
た。また、本実施例(3)におけるモノマー溶液と酸化
剤溶液を混合後、反応用の素子ケースへの注入までのポ
リマー析出量は、仕込みモノマー重量に対し2%以下で
あったが、10%以下に反応制御することにより、十分
効果が確認できた。
In the present Example (3), the size of the internal volume of the reaction element case was twice the size of the porous body,
It was confirmed that the reaction yield was good when the amount was 4 times or less. In addition, the amount of polymer deposition after mixing the monomer solution and the oxidizing agent solution in Example (3) until injection into the element case for reaction was 2% or less with respect to the charged monomer weight, but 10% or less. It was confirmed that the effect was sufficiently achieved by controlling the reaction.

【0062】本実施例(4)においては、前処理として
形成する有機酸系のドーパントを含まない導電性高分子
膜の形成を、酸化剤溶液とモノマー溶液を混合した溶液
に多孔体を浸漬することにより行ったが、浸漬洗浄乾燥
をくり返しても良く、また、酸化剤溶液およびモノマー
溶液に多孔体の交互浸漬洗浄乾燥を1回またはくり返し
行うことにより形成しても同様の効果が得られた。この
場合酸化剤溶液およびモノマー溶液のうちどちらに先に
浸漬するかは限定されるものではない。また、有機酸系
のドーパントを含まない導電性高分子膜の形成を本発明
の加熱法のいずれかを用いて行っても同様の効果が得ら
れた。また、本処理は本発明の加熱法および液注入法の
いずれを用いても同様の効果が得られた。
In the present embodiment (4), the formation of the conductive polymer film containing no organic acid dopant, which is formed as a pretreatment, is performed by immersing the porous body in a solution obtained by mixing the oxidant solution and the monomer solution. However, the same effect can be obtained by repeating the immersion cleaning and drying, or by forming the porous body by alternating immersion cleaning and drying once or repeatedly in the oxidizing agent solution and the monomer solution. . In this case, it is not limited which of the oxidant solution and the monomer solution is dipped first. Further, the same effect was obtained even when the conductive polymer film containing no organic acid type dopant was formed by any of the heating methods of the present invention. Further, the same effect was obtained in this treatment by using either the heating method or the liquid injection method of the present invention.

【0063】また、本実施例(5)、(6)、(7)に
おいては、本発明の加熱法による前処理後の本処理とし
て形成する導電性高分子層の形成を、酸化剤溶液および
モノマー溶液に多孔体の交互浸漬洗浄乾燥を繰り返し行
うことにより行ったが、この場合酸化剤溶液およびモノ
マー溶液のうちどちらを先に浸漬するかは限定されるも
のではない。また、酸化剤溶液とモノマー溶液を混合し
た溶液に多孔体を浸漬することにより形成しても同様の
効果が得られた。また、前処理は本発明の加熱法のいず
れを用いても同様の効果が得られた。また、本実施例に
おいてはタンタル電解コンデンサについて示したが、弁
金属の種類は限定されるものではない。
Further, in Examples (5), (6) and (7), the conductive polymer layer formed as the main treatment after the pretreatment by the heating method of the present invention was formed by using an oxidizing agent solution and It was performed by repeatedly performing alternate immersion cleaning and drying of the porous body in the monomer solution, but in this case, which of the oxidant solution and the monomer solution is immersed first is not limited. Further, the same effect was obtained by forming the porous body by immersing it in a solution obtained by mixing the oxidant solution and the monomer solution. Further, the same effect was obtained by using any of the heating methods of the present invention as the pretreatment. Further, although the tantalum electrolytic capacitor is shown in this embodiment, the type of valve metal is not limited.

【0064】[0064]

【発明の効果】以上のように本発明によれば、化成処理
をし誘電体層を形成した陽極金属の多孔体に化学酸化重
合法により導電性高分子層を形成する際に、浸漬した溶
液中で又は引き上げ後に陽極の多孔体を加温することに
より多孔体内部の空孔の誘電体層表面への導電性高分子
層の重合形成を優先的に促進させ、多孔体中心部まで内
部空孔表面の導電性高分子による被覆率を向上させるこ
とができる。
As described above, according to the present invention, a solution which is immersed in forming a conductive polymer layer by a chemical oxidative polymerization method in a porous body of anodic metal which has been subjected to a chemical conversion treatment to form a dielectric layer. By heating the porous body of the anode in or after pulling up, the polymerization formation of the conductive polymer layer on the surface of the dielectric layer of the pores inside the porous body is preferentially promoted, and the internal space is reached to the center of the porous body. The coverage of the hole surface with the conductive polymer can be improved.

【0065】また、本発明によればモノマー溶液と酸化
剤溶液を多孔体への注入と同時あるいは直前に混合する
ことにより、多孔体細孔深部まで導電性高分子による被
覆率を向上させることができる。この際、反応用の素子
ケースを設けて反応空間を限定することにより、収率よ
く多孔体に導電性高分子を形成することができる。
Further, according to the present invention, by mixing the monomer solution and the oxidant solution at the same time as or immediately before the injection into the porous body, the coverage with the conductive polymer can be improved to the deep pores of the porous body. it can. At this time, by providing an element case for reaction and limiting the reaction space, the conductive polymer can be formed in the porous body in good yield.

【0066】以上により、収率および効率よくコンデン
サとしての有効な電極面積を大きく確保して容量達成率
を向上させることができ、部品歩留まりが向上する。
As described above, it is possible to secure a large effective electrode area as a capacitor with high yield and efficiency, improve the capacity achievement rate, and improve the component yield.

【0067】また、本発明によれば、予め有機酸系のド
ーパントを含まない導電性ポリマー層を誘電体層表面上
に緻密な膜として形成してその上に有機酸系のドーパン
トを含む導電性ポリマー層を形成するので、導電性高分
子層の一層の低抵抗化が図れ、容量達成率も高く、低抵
抗で高周波特性の良い電解コンデンサを提供することが
できる。
Further, according to the present invention, a conductive polymer layer containing no organic acid type dopant is previously formed as a dense film on the surface of the dielectric layer, and a conductive film containing an organic acid type dopant is formed thereon. Since the polymer layer is formed, the resistance of the conductive polymer layer can be further reduced, the capacity achievement rate is high, and the electrolytic capacitor having low resistance and excellent high frequency characteristics can be provided.

【0068】さらに、本発明の導電性高分子層加熱形成
法を前処理として採用することにより、その後の処理を
従来形成法で行っても非常に優れた特性を得ることがで
き、製造方法としても非常に簡便に良好なコンデンサを
提供することができる。
Further, by adopting the conductive polymer layer heating forming method of the present invention as the pretreatment, it is possible to obtain very excellent characteristics even if the subsequent treatment is carried out by the conventional forming method. Also, a good capacitor can be provided very simply.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】本発明の実施形態に使用する多孔体の部分切欠
き斜視図。
FIG. 1 is a partially cutaway perspective view of a porous body used in an embodiment of the present invention.

【図2】本発明の一実施例におけるコンデンサ多孔体の
反応用素子ケースへの収納状態を示す斜視図。
FIG. 2 is a perspective view showing a storage state of a porous capacitor body in a reaction element case according to an embodiment of the present invention.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1 多孔体 2 リード 3 反応用素子ケース 1 Porous body 2 leads 3 Element case for reaction

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 特開 平7−45481(JP,A) 特開 平7−122464(JP,A) 特開 平3−200313(JP,A) (58)調査した分野(Int.Cl.7,DB名) H01G 9/028 H01G 9/00 ─────────────────────────────────────────────────── ─── Continuation of the front page (56) Reference JP-A-7-45481 (JP, A) JP-A-7-122464 (JP, A) JP-A-3-200313 (JP, A) (58) Field (Int.Cl. 7 , DB name) H01G 9/028 H01G 9/00

Claims (33)

(57)【特許請求の範囲】(57) [Claims] 【請求項1】 陽極が弁金属多孔体であり、誘電体層が
該弁金属の酸化物層であり、且つ、陰極がドーパントを
含む導電性高分子層である電解コンデンサの製造方法で
あって、 前記導電性高分子層が、そのモノマーを重合可能な酸化
剤とドーパントを含む溶液中で重合させてなるポリマー
層であって、 前記導電性高分子層の形成方法が、モノマーと酸化剤と
ドーパントとを含む溶液中に、前記誘電体層を形成した
弁金属多孔体を浸漬し、その後該多孔体を該溶液中に浸
漬したまま、多孔体若しくは多孔体内部の温度を多孔体
外部の前記溶液温度より高く保持して、多孔体内部の重
合反応を溶液中の重合反応より速くして多孔体内部に導
電性ポリマーを形成し、前記多孔体内部の重合反応速度
が該溶液中での重合反応速度の2倍以上であることを特
徴とする電解コンデンサの製造方法。
1. A method for producing an electrolytic capacitor, wherein the anode is a valve metal porous body, the dielectric layer is an oxide layer of the valve metal, and the cathode is a conductive polymer layer containing a dopant. The conductive polymer layer is a polymer layer obtained by polymerizing the monomer in a solution containing a polymerizable oxidant and a dopant, and the method for forming the conductive polymer layer includes a monomer and an oxidant. The valve metal porous body on which the dielectric layer is formed is dipped in a solution containing a dopant, and then the porous body or the inside of the porous body is heated at the temperature outside the porous body while the porous body is immersed in the solution. By keeping the temperature higher than the solution temperature, the polymerization reaction inside the porous body is made faster than the polymerization reaction in the solution to form a conductive polymer inside the porous body, and the polymerization reaction rate inside the porous body
Is at least twice as fast as the polymerization reaction rate in the solution .
【請求項2】 陽極が弁金属多孔体であり、誘電体層が
該弁金属の酸化物層であり、且つ、陰極がドーパントを
含む導電性高分子層である電解コンデンサの製造方法で
あって、 前記導電性高分子層が、そのモノマーを重合可能な酸化
剤とドーパントを含む溶液中で重合させてなるポリマー
層であって、 前記導電性高分子層の形成方法が、モノマーと酸化剤と
ドーパントとを含む溶液中に、前記誘電体層を形成した
弁金属多孔体を浸漬し、その後該多孔体を該溶液中に浸
漬したまま、多孔体若しくは多孔体内部の温度を多孔体
外部の前記溶液温度より高く保持して、多孔体内部の重
合反応を溶液中の重合反応より速くして多孔体内部に導
電性ポリマーを形成し、 前記多孔体若しくは多孔体内部の加熱方法が、多孔体内
部に接続したリード部分を熱伝導媒体として加熱する
とを特徴とする電解コンデンサの製造方法。
2. A method for producing an electrolytic capacitor, wherein the anode is a valve metal porous body, the dielectric layer is an oxide layer of the valve metal, and the cathode is a conductive polymer layer containing a dopant. The conductive polymer layer is a polymer layer obtained by polymerizing the monomer in a solution containing a polymerizable oxidant and a dopant, and the method for forming the conductive polymer layer includes a monomer and an oxidant. The valve metal porous body on which the dielectric layer is formed is dipped in a solution containing a dopant, and then the porous body or the inside of the porous body is heated at the temperature outside the porous body while the porous body is immersed in the solution. The temperature is kept higher than the solution temperature, the polymerization reaction inside the porous body is made faster than the polymerization reaction in the solution to form a conductive polymer inside the porous body , and the porous body or the heating method of the inside of the porous body is
A method for manufacturing an electrolytic capacitor, characterized in that a lead portion connected to the portion is heated as a heat conducting medium .
【請求項3】 前記多孔体若しくは多孔体内部の温度を
多孔体外部の溶液温度より10℃以上高くすることを特
徴とする請求項1又は2記載の電解コンデンサの製造方
法。
Wherein the porous body or method of manufacturing an electrolytic capacitor according to claim 1 or 2, characterized in that the temperature of the porous body portion higher 10 ° C. or higher than the porous body outside of the solution temperature.
【請求項4】 陽極が弁金属多孔体であり、誘電体層が
該弁金属の酸化物層であり、陰極がドーパントを含む導
電性高分子層である電解コンデンサの製造方法であっ
て、 前記導電性高分子層が、そのモノマーを重合可能な酸化
剤とドーパントを含む溶液中で重合させてなるポリマー
層であって、 前記導電性高分子層の形成方法が、モノマーと酸化剤と
ドーパントとを含む溶液中に、前記誘電体層を形成した
弁金属多孔体を浸漬し多孔体内部に溶液を含浸させた
後、多孔体を溶液より引き上げて前記溶液温度より高い
温度に保持して重合反応を促進させ、前記多孔体内部に
導電性ポリマー層を形成し、 前記浸漬する溶液中での1時間あたりのポリマー析出重
量が配合モノマー重量に対して10%以下である ことを
特徴とする電解コンデンサの製造方法。
4. A method of manufacturing an electrolytic capacitor, wherein the anode is a valve metal porous body, the dielectric layer is an oxide layer of the valve metal, and the cathode is a conductive polymer layer containing a dopant, The conductive polymer layer is a polymer layer obtained by polymerizing the monomer in a solution containing a polymerizable oxidant and a dopant, and the method for forming the conductive polymer layer includes a monomer, an oxidant and a dopant. In a solution containing, the valve metal porous body on which the dielectric layer has been formed is immersed to impregnate the solution inside the porous body, and then the porous body is pulled up from the solution and kept at a temperature higher than the solution temperature to carry out a polymerization reaction. to promote, the porous interior to form a conductive polymer layer, the polymer precipitated heavy per hour in a solution the dipping
The method for producing an electrolytic capacitor is characterized in that the amount is 10% or less based on the weight of the blended monomer .
【請求項5】 陽極が弁金属多孔体であり、誘電体層が
該弁金属の酸化物層であり、陰極がドーパントを含む導
電性高分子層である電解コンデンサの製造方法であっ
て、 前記導電性高分子層が、そのモノマーを重合可能な酸化
剤とドーパントを含む溶液中で重合させてなるポリマー
層であって、 前記導電性高分子層の形成方法が、モノマーと酸化剤と
ドーパントとを含む溶液中に、前記誘電体層を形成した
弁金属多孔体を浸漬し多孔体内部に溶液を含浸させた
後、多孔体を溶液より引き上げて前記溶液温度より高い
温度に保持して重合反応を促進させ、前記多孔体内部に
導電性ポリマー層を形成し、 前記溶液を含浸させた弁金属多孔体を前記溶液温度より
高い温度で保持する際の雰囲気が、前記溶液のその温度
での飽和蒸気圧の70%以上の溶媒蒸気を含む雰囲気で
あることを特徴とする 電解コンデンサの製造方法。
5. The anode is a valve metal porous body, and the dielectric layer is
An oxide layer of the valve metal, the cathode containing a dopant.
It is a method of manufacturing an electrolytic capacitor that is a conductive polymer layer.
The conductive polymer layer is an oxide capable of polymerizing the monomer.
Polymer polymerized in a solution containing an agent and a dopant
A layer, the method of forming the conductive polymer layer, a monomer and an oxidizing agent
Forming the dielectric layer in a solution containing a dopant
The valve metal porous body was immersed and the inside of the porous body was impregnated with the solution.
After that, the porous body is pulled up from the solution and the temperature is higher than the solution temperature.
Hold the temperature to accelerate the polymerization reaction,
A conductive metal layer is formed, and the valve metal porous body impregnated with the solution is heated from the solution temperature.
The atmosphere when holding at a high temperature is the temperature of the solution.
In an atmosphere containing 70% or more of the saturated vapor pressure of solvent vapor
A method of manufacturing an electrolytic capacitor, which is characterized by the following .
【請求項6】 陽極が弁金属多孔体であり、誘電体層が
該弁金属の酸化物層であり、陰極がドーパントを含む導
電性高分子層である電解コンデンサの製造方法であっ
て、 前記導電性高分子層が、そのモノマーを重合可能な酸化
剤とドーパントを含む溶液中で重合させてなるポリマー
層であって、 前記導電性高分子層の形成方法が、モノマーと酸化剤と
ドーパントとを含む溶液中に、前記誘電体層を形成した
弁金属多孔体を浸漬し多孔体内部に溶液を含浸 させた
後、多孔体を溶液より引き上げて前記溶液温度より高い
温度に保持して重合反応を促進させ、前記多孔体内部に
導電性ポリマー層を形成し、 前記多孔体を前記溶液より引き上げ、前記溶液温度より
高い温度に保持する際の加熱方法が、多孔体内部に接続
するリード部分を熱伝導媒体として多孔体を加熱するこ
とを特徴とする 電解コンデンサの製造方法。
6. The anode is a valve metal porous body, and the dielectric layer is
An oxide layer of the valve metal, the cathode containing a dopant.
It is a method of manufacturing an electrolytic capacitor that is a conductive polymer layer.
The conductive polymer layer is an oxide capable of polymerizing the monomer.
Polymer polymerized in a solution containing an agent and a dopant
A layer, the method of forming the conductive polymer layer, a monomer and an oxidizing agent
Forming the dielectric layer in a solution containing a dopant
The valve metal porous body was immersed and the inside of the porous body was impregnated with the solution .
After that, the porous body is pulled up from the solution and the temperature is higher than the solution temperature.
Hold the temperature to accelerate the polymerization reaction,
Form a conductive polymer layer, pull up the porous body from the solution, from the solution temperature
The heating method for maintaining a high temperature is connected inside the porous body.
The porous body is heated by using the lead part as a heat conducting medium.
And a method of manufacturing an electrolytic capacitor.
【請求項7】 前記多孔体に前記溶液を含浸させる操作
と、引き上げ後に前記溶液より高い温度でモノマーを重
合させる操作と、を複数回繰り返すことを特徴とする請
求項4、5又は6に記載の電解コンデンサの製造方法。
7. The operation according to claim 4 , wherein the operation of impregnating the porous body with the solution and the operation of polymerizing the monomer at a temperature higher than that of the solution after being pulled up are repeated a plurality of times. Manufacturing method of electrolytic capacitor.
【請求項8】 陽極が弁金属多孔体であり、誘電体層が
該弁金属の酸化物層であり、且つ、陰極がドーパントを
含む導電性高分子層である電解コンデンサの製造方法で
あって、 前記導電性高分子層が、そのモノマーを重合可能な酸化
剤とドーパントを含む溶液中で重合させてなるポリマー
層であって、 前記導電性高分子層の形成方法が、前記誘電体層を形成
した弁金属多孔体を予め反応用の素子ケースに収納した
後、少なくともいずれか一方にドーパントを含有させた
モノマー溶液と酸化剤溶液とを、素子ケースに同時ある
いは混合後注入することにより多孔体内部および外部に
導電性ポリマー層を形成することを特徴とする電解コン
デンサの製造方法。
8. A method for producing an electrolytic capacitor, wherein the anode is a valve metal porous body, the dielectric layer is an oxide layer of the valve metal, and the cathode is a conductive polymer layer containing a dopant. The conductive polymer layer is a polymer layer obtained by polymerizing the monomer in a solution containing a polymerizable oxidant and a dopant, and the method for forming the conductive polymer layer comprises forming the dielectric layer. After storing the formed valve metal porous body in advance in the element case for reaction, a monomer solution containing a dopant in at least one of them and an oxidant solution are injected into the element case at the same time or after mixing, thereby forming a porous body. A method for producing an electrolytic capacitor, which comprises forming a conductive polymer layer inside and outside.
【請求項9】 前記素子ケースにモノマー溶液と酸化剤
溶液を混合後注入するまでのポリマー析出重量が仕込み
モノマー量の10%以下であることを特徴とする請求項
に記載の電解コンデンサの製造方法。
9. The polymer deposition weight before mixing and injecting the monomer solution and the oxidant solution into the element case is 10% or less of the charged monomer amount.
8. The method for manufacturing an electrolytic capacitor as described in 8 .
【請求項10】 前記モノマー溶液および酸化剤溶液を
前記素子ケースに注入した後、多孔体の温度を注入前の
溶液温度より高くして重合反応を促進させて、導電性ポ
リマー層を形成することを特徴とする請求項8又は9
記載の電解コンデンサの製造方法。
10. A conductive polymer layer is formed by injecting the monomer solution and the oxidant solution into the element case, and then making the temperature of the porous body higher than the solution temperature before the injection to accelerate the polymerization reaction. 10. The method for manufacturing an electrolytic capacitor according to claim 8 or 9 .
【請求項11】 前記の多孔体の加熱方法が、多孔体内
部に接続したリード部分を熱伝導媒体として加熱するこ
とを特徴とする請求項8、9又は10に記載の電解コン
デンサの製造方法。
11. The method of manufacturing an electrolytic capacitor according to claim 8, 9 or 10 , wherein the method for heating the porous body heats a lead portion connected to the inside of the porous body as a heat conduction medium.
【請求項12】 前記重合反応により前記ドーパントを
含む導電性ポリマー層を形成する操作を複数回繰り返す
ことを特徴とする請求項8ないし11いずれかに記載の
電解コンデンサの製造方法。
12. The method for producing an electrolytic capacitor according to claim 8, wherein the operation of forming the conductive polymer layer containing the dopant by the polymerization reaction is repeated a plurality of times.
【請求項13】 前記素子ケースの内容積が前記弁金属
多孔体素子サイズの1倍を超え4倍以下であることを特
徴とする請求項8ないし12いずれかに記載の電解コン
デンサの製造方法。
13. The method for manufacturing an electrolytic capacitor according to claim 8, wherein the inner volume of the element case is more than 1 time and not more than 4 times the size of the valve metal porous body element.
【請求項14】 前記ドーパントの少なくとも一種が有
機酸系であり、前記ドーパントを含む当該導電性ポリマ
ー層を形成するに先立って、前処理として、有機酸系の
ドーパントを含有しない導電性ポリマー層を前記多孔体
内部に予め形成することを特徴とする請求項1ないし
いずれかに記載の電解コンデンサの製造方法。
14. At least one of the dopants is an organic acid type, and prior to forming the conductive polymer layer containing the dopant, as a pretreatment, a conductive polymer layer containing no organic acid type dopant is prepared. claims 1, characterized in that pre-formed within the porous body 1
3. The method for manufacturing an electrolytic capacitor as described in any one of 3 above.
【請求項15】 前記前処理が、モノマーと酸化剤とを
含み有機酸系のドーパントを含まない溶液中に前記誘電
体層を形成した弁金属多孔体を浸漬し、多孔体内部に重
合反応により前記有機酸系のドーパントを含まない導電
性ポリマー層を形成することを特徴とする請求項14
記載の電解コンデンサの製造方法。
15. The valve metal porous body on which the dielectric layer is formed is immersed in a solution containing a monomer and an oxidizing agent and containing no organic acid dopant, and the pretreatment is performed by a polymerization reaction inside the porous body. The method of manufacturing an electrolytic capacitor according to claim 14 , wherein the conductive polymer layer containing no organic acid dopant is formed.
【請求項16】 前記前処理が、いずれも有機酸系のド
ーパントを含まないモノマー溶液と酸化剤溶液とに前記
誘電体層を形成した弁金属多孔体を交互浸漬し、多孔体
内部に重合反応により前記有機酸系のドーパントを含ま
ない導電性ポリマー層を形成することを特徴とする請求
14に記載の電解コンデンサの製造方法。
16. In the pretreatment, the valve metal porous body having the dielectric layer formed thereon is alternately immersed in a monomer solution containing no organic acid dopant and an oxidant solution to carry out a polymerization reaction inside the porous body. 15. The method for producing an electrolytic capacitor according to claim 14 , wherein the conductive polymer layer containing no organic acid type dopant is formed by.
【請求項17】 前記前処理が、モノマーと酸化剤とを
含み有機酸系のドーパントを含まない溶液中に、前記誘
電体層を形成した弁金属多孔体を浸漬し、その後、多孔
体若しくは多孔体内部の温度を多孔体外部の前記溶液温
度より高くすることにより、多孔体内部の重合反応を外
部の重合反応より速くして、多孔体内部に前記有機酸系
のドーパントを含まない導電性ポリマー層を形成するこ
とを特徴とする請求項14に記載の電解コンデンサの製
造方法。
17. The pretreatment comprises immersing the valve metal porous body having the dielectric layer formed in a solution containing a monomer and an oxidant and not containing an organic acid dopant, and then immersing the porous body or the porous body. By making the temperature inside the body higher than the solution temperature outside the porous body, the polymerization reaction inside the porous body is made faster than the outside polymerization reaction, and the conductive polymer does not contain the organic acid dopant inside the porous body. The method for manufacturing an electrolytic capacitor according to claim 14 , wherein a layer is formed.
【請求項18】 前記前処理が、モノマーと酸化剤とを
含み有機酸系のドーパントを含まない溶液中に、誘電体
層を形成した弁金属多孔体を浸漬し多孔体内部に溶液を
含浸させた後、多孔体を溶液より引き上げ、前記溶液温
度より高い温度に保持して重合反応を促進させることに
より、多孔体内部に前記有機酸系のドーパントを含まな
い導電性ポリマー層を形成することを特徴とする請求項
14に記載の電解コンデンサの製造方法。
18. The valve metal porous body having a dielectric layer formed thereon is dipped in a solution containing a monomer and an oxidant and not containing an organic acid dopant to impregnate the porous body with the solution. After that, by pulling up the porous body from the solution and maintaining the temperature higher than the solution temperature to accelerate the polymerization reaction, it is possible to form a conductive polymer layer containing no organic acid dopant inside the porous body. Claims to be characterized
15. The method for manufacturing an electrolytic capacitor as described in 14 .
【請求項19】 前記前処理における多孔体若しくは多
孔体内部の加熱方法が、多孔体内部に接続したリード部
分を熱伝導媒体として加熱することを特徴とする請求項
17又は18記載の電解コンデンサの製造方法。
19. The method for heating the porous body or the inside of the porous body in the pretreatment comprises heating a lead portion connected to the inside of the porous body as a heat conducting medium.
17. A method for manufacturing an electrolytic capacitor as described in 17 or 18 .
【請求項20】 前記前処理が、前記重合反応により前
記有機酸系のドーパントを含まない導電性ポリマー層を
形成する操作を複数回繰り返すことを特徴とする請求項
14ないし19いずれかに記載の電解コンデンサの製造
方法。
20. The pretreatment is characterized in that an operation of forming a conductive polymer layer containing no organic acid type dopant by the polymerization reaction is repeated a plurality of times.
20. A method for manufacturing an electrolytic capacitor according to any one of 14 to 19 .
【請求項21】 陽極が弁金属多孔体であり、誘電体層
が弁金属の酸化物であり、陰極がドーパントを含む導電
性高分子層である電解コンデンサの製造方法であって、 前記導電性高分子層が、そのモノマーを重合可能な酸化
剤とドーパントとを含む溶液中で重合させてなる導電性
ポリマー層であって、 前記導電性高分子層の形成方法が、まず前処理として、
モノマーと酸化剤とドーパントを含む溶液中に、前記誘
電体層を形成した弁金属多孔体を浸漬し、その後該多孔
体を該溶液中に浸漬したまま、多孔体あるいは多孔体内
部の温度を多孔体外部の前記溶液温度より高くすること
により、多孔体内部の重合反応を外部の重合反応より速
くして多孔体内部にドーパントを含む導電性ポリマー層
を形成した後、本処理によりドーパントを含む導電性ポ
リマー層をさらに形成し、 前記本処理が、モノマーと酸化剤とドーパントとを含む
溶液中に前記前処理を施した弁金属多孔体を交互浸漬
し、前記前処理により形成された導電性ポリマー層上
に、重合反応によりドーパントを含む導電性ポリマー層
を形成することを特徴とする 電解コンデンサの製造方
法。
21. A method for producing an electrolytic capacitor, wherein the anode is a valve metal porous body, the dielectric layer is a valve metal oxide, and the cathode is a conductive polymer layer containing a dopant, wherein The polymer layer is a conductive polymer layer obtained by polymerizing the monomer in a solution containing a polymerizable oxidant and a dopant, and the method for forming the conductive polymer layer is as a pretreatment,
The valve metal porous body on which the dielectric layer is formed is immersed in a solution containing a monomer, an oxidant and a dopant, and then the porous
By keeping the temperature of the porous body or the inside of the porous body higher than the solution temperature outside the porous body while the body is immersed in the solution, the polymerization reaction inside the porous body is made faster than the polymerization reaction outside the porous body. After forming a conductive polymer layer containing a dopant, a conductive polymer layer containing a dopant is further formed by the main treatment, and the main treatment contains a monomer, an oxidant and a dopant.
Alternate immersion of the pre-treated valve metal porous body in the solution
On the conductive polymer layer formed by the pretreatment
A conductive polymer layer containing a dopant by a polymerization reaction
A method of manufacturing an electrolytic capacitor, which comprises forming
【請求項22】 陽極が弁金属多孔体であり、誘電体層
が弁金属の酸化物層であって、陰極がドーパントを含む
導電性高分子層からなる電解コンデンサの製造方法であ
って、 前記導電性高分子層が、そのモノマーを重合可能な酸化
剤とドーパントを含む溶液中で重合させてなるポリマー
層であって、 前記ドーパントの少なくとも一種が有機酸系であり、 前記導電性高分子層の形成方法が、前処理として、モノ
マーと酸化剤とを含み有機酸系のドーパントを含まない
溶液中に、前記誘電体層を形成した弁金属多孔体を浸漬
し、その後、多孔体若しくは多孔体内部の温度を多孔体
外部の前記溶液温度より高くすることにより、多孔体内
部の重合反応を外部の重合反応より速くして多孔体内部
に有機酸系のドーパントを含まない導電性ポリマー層を
形成した後、本処理により有機酸系のドーパントを含む
導電性ポリマー層を該有機酸系のドーパントを含まない
導電性ポリマー層上に形成することを特徴とする電解コ
ンデンサの製造方法。
22. A method of manufacturing an electrolytic capacitor, wherein the anode is a valve metal porous body, the dielectric layer is a valve metal oxide layer, and the cathode is a conductive polymer layer containing a dopant, The conductive polymer layer is a polymer layer obtained by polymerizing the monomer in a solution containing a polymerizable oxidant and a dopant, wherein at least one of the dopants is an organic acid system, and the conductive polymer layer As a pretreatment, the valve metal porous body on which the dielectric layer is formed is immersed in a solution containing a monomer and an oxidizing agent and containing no organic acid dopant, and then the porous body or the porous body is formed. By making the internal temperature higher than the solution temperature outside the porous body, the polymerization reaction inside the porous body is made faster than the external polymerization reaction to form a conductive polymer layer containing no organic acid type dopant inside the porous body. After the formation, a conductive polymer layer containing an organic acid type dopant is formed on the conductive polymer layer containing no organic acid type dopant by this treatment.
【請求項23】 陽極が弁金属多孔体であり、誘電体層
が弁金属の酸化物層であって、陰極がドーパントを含む
導電性高分子層からなる電解コンデンサの製造方法であ
って、 前記導電性高分子層が、そのモノマーを重合可能な酸化
剤とドーパントを含む溶液中で重合させてなるポリマー
層であって、 前記ドーパントの少なくとも一種が有機酸系であり、 前記導電性高分子層の形成方法が、前処理1として、モ
ノマーと酸化剤とを含み有機酸系のドーパントを含まな
い溶液中に、前記誘電体層を形成した弁金属多孔体を浸
漬し、その後、多孔体若しくは多孔体内部の温度を多孔
体外部の前記溶液温度より高くすることにより、多孔体
内部の重合反応を外部の重合反応より速くして多孔体内
部に有機酸系のドーパントを含まない導電性ポリマー層
を形成した後、前処理2として、モノマーと酸化剤と有
機酸系のドーパントとを含む溶液中に前処理1後の弁金
属多孔体を浸漬し、その後、多孔体若しくは多孔体内部
の温度を多孔体外部の前記溶液温度より高くすることに
より、多孔体内部の重合反応を外部の重合反応より速く
して前処理1で形成した該有機酸系のドーパントを含ま
ない導電性ポリマー層上に有機酸系のドーパントを含む
導電性ポリマー層を形成した後、本処理により有機酸系
のドーパントを含む導電性ポリマー層をさらに形成する
ことを特徴とする電解コンデンサの製造方法。
23. A method of manufacturing an electrolytic capacitor, wherein the anode is a valve metal porous body, the dielectric layer is a valve metal oxide layer, and the cathode is a conductive polymer layer containing a dopant, The conductive polymer layer is a polymer layer obtained by polymerizing the monomer in a solution containing a polymerizable oxidant and a dopant, wherein at least one of the dopants is an organic acid system, and the conductive polymer layer As the pretreatment 1, the valve metal porous body on which the dielectric layer is formed is immersed in a solution containing a monomer and an oxidizing agent and containing no organic acid dopant, and then the porous body or the porous body is formed. By making the temperature inside the body higher than the solution temperature outside the porous body, the polymerization reaction inside the porous body is made faster than the outside polymerization reaction, and the conductive polymer layer does not contain an organic acid type dopant inside the porous body. After the formation, as the pretreatment 2, the valve metal porous body after the pretreatment 1 is immersed in a solution containing a monomer, an oxidizing agent, and an organic acid dopant, and then the temperature of the porous body or the inside of the porous body is adjusted. By making the temperature of the solution outside the porous body higher than that of the solution outside the porous body, the polymerization reaction inside the porous body is made faster than that outside, and the organic acid is formed on the conductive polymer layer containing no organic acid dopant formed in Pretreatment 1. A method for producing an electrolytic capacitor, comprising forming a conductive polymer layer containing an acid-based dopant and then further forming a conductive polymer layer containing an organic acid-based dopant by this treatment.
【請求項24】 陽極が弁金属であり、誘電体層が弁金
属の酸化物層であり、陰極がドーパントを含む導電性高
分子層である電解コンデンサの製造方法であって、 前記導電性高分子層が、そのモノマーを重合可能な酸化
剤とドーパントを含む溶液中で重合させてなる導電性ポ
リマー層であって、 前記ドーパントの少なくとも一種が有機酸系であり、 前記導電性高分子層の形成方法が、前処理として、モノ
マーと酸化剤を含み有機酸系のドーパントを含まない溶
液中に、前記誘電体層を形成した弁金属多孔体を浸漬し
多孔体内部に溶液を含浸させた後、多孔体を溶液より引
き上げ、前記溶液温度より高い温度に保持して重合反応
を促進させることにより、多孔体内部に有機酸系のドー
パントを含まない導電性ポリマー層を形成した後、本処
理により有機酸系のドーパントを含有する導電性ポリマ
ー層を該有機酸系のドーパントを含まない導電性ポリマ
ー層上に形成することを特徴とする電解コンデンサの製
造方法。
24. A method for producing an electrolytic capacitor, wherein the anode is a valve metal, the dielectric layer is a valve metal oxide layer, and the cathode is a conductive polymer layer containing a dopant. The molecular layer is a conductive polymer layer obtained by polymerizing the monomer in a solution containing a polymerizable oxidant and a dopant, wherein at least one of the dopants is an organic acid system, and the conductive polymer layer After forming the pretreatment, the valve metal porous body on which the dielectric layer has been formed is immersed in a solution containing a monomer and an oxidizing agent and not containing an organic acid dopant, and the porous body is impregnated with the solution. , By pulling up the porous body from the solution, by maintaining a temperature higher than the solution temperature to accelerate the polymerization reaction, after forming a conductive polymer layer containing no organic acid-based dopant inside the porous body, the main treatment A method for producing an electrolytic capacitor, comprising forming a conductive polymer layer containing a more organic acid type dopant on a conductive polymer layer not containing the organic acid type dopant.
【請求項25】 陽極が弁金属であり、誘電体層が弁金
属の酸化物層であり、陰極がドーパントを含む導電性高
分子層である電解コンデンサの製造方法であって、 前記導電性高分子層が、そのモノマーを重合可能な酸化
剤とドーパントを含む溶液中で重合させてなる導電性ポ
リマー層であって、 前記ドーパントの少なくとも一種が有機酸系であり、 前記導電性高分子層の形成方法が、前処理1として、モ
ノマーと酸化剤を含み有機酸系のドーパントを含まない
溶液中に、前記誘電体層を形成した弁金属多孔体を浸漬
し多孔体内部に溶液を含浸させた後、多孔体を溶液より
引き上げ、前記溶液温度より高い温度に保持して重合反
応を促進させることにより、多孔体内部に有機酸系のド
ーパントを含まない導電性ポリマー層を形成した後、前
処理2として、モノマーと酸化剤と有機酸系のドーパン
トとを含む溶液中に、前処理1後の弁金属多孔体を浸漬
し多孔体内部に溶液を含浸させた後、多孔体を溶液より
引き上げ、前記溶液温度より高い温度に保持して重合反
応を促進させることにより、前処理1で形成した該有機
酸系のドーパントを含まない導電性ポリマー層上に有機
酸系のドーパントを含む導電性ポリマー層を形成した
後、本処理により有機酸系のドーパントを含有する導電
性ポリマー層をさらに形成することを特徴とする電解コ
ンデンサの製造方法。
25. A method for producing an electrolytic capacitor, wherein the anode is a valve metal, the dielectric layer is a valve metal oxide layer, and the cathode is a conductive polymer layer containing a dopant. The molecular layer is a conductive polymer layer obtained by polymerizing the monomer in a solution containing a polymerizable oxidant and a dopant, wherein at least one of the dopants is an organic acid system, and the conductive polymer layer As a pretreatment 1, as a pretreatment 1, the valve metal porous body having the dielectric layer formed thereon was dipped in a solution containing a monomer and an oxidant but not containing an organic acid dopant to impregnate the inside of the porous body with the solution. After that, by pulling up the porous body from the solution, by maintaining a temperature higher than the solution temperature to accelerate the polymerization reaction, after forming a conductive polymer layer containing no organic acid-based dopant inside the porous body, pretreatment As 2, the valve metal porous body after the pretreatment 1 is immersed in a solution containing a monomer, an oxidizing agent, and an organic acid-based dopant to impregnate the inside of the porous body with the solution, and then the porous body is pulled up from the solution. A conductive polymer layer containing an organic acid type dopant is formed on the conductive polymer layer containing no organic acid type dopant formed in Pretreatment 1 by maintaining the temperature higher than the solution temperature to accelerate the polymerization reaction. The method for producing an electrolytic capacitor, which further comprises forming a conductive polymer layer containing an organic acid-based dopant by this treatment after forming.
【請求項26】 前記前処理が、前記重合反応により導
電性ポリマー層を形成する操作を複数回繰り返すことを
特徴とする請求項21ないし25いずれかに記載の電解
コンデンサの製造方法。
26. The method for producing an electrolytic capacitor according to claim 21 , wherein the pretreatment comprises repeating an operation of forming a conductive polymer layer by the polymerization reaction a plurality of times.
【請求項27】 前記前処理における多孔体の前記溶液
温度より高い温度に保持する方法が、多孔体内部に接続
するリード部分を熱伝導媒体として加熱することを特徴
とする請求項21ないし26いずれかに記載の電解コン
デンサの製造方法。
27. The method of holding at a temperature higher than the solution temperature of the porous material in the pretreatment, any to claims 21, characterized in that heating the lead portions as a heat transfer medium 26 connecting the interior porous body A method for manufacturing an electrolytic capacitor as described in 1.
【請求項28】 前記本処理が、少なくともいずれか一
方にドーパントを含有させたモノマー溶液と酸化剤溶液
とに前記前処理を施した弁金属多孔体を交互浸漬し、前
記前処理により形成された導電性ポリマー層上に、重合
反応によりドーパントを含む導電性ポリマー層を形成す
ることを特徴とする請求項21ないし26いずれかに記
載の電解コンデンサの製造方法。
28. The main treatment is formed by the pretreatment, wherein the pretreated valve metal porous body is alternately immersed in a monomer solution containing at least one of the dopants and an oxidant solution. 27. The method for producing an electrolytic capacitor according to claim 21 , wherein a conductive polymer layer containing a dopant is formed on the conductive polymer layer by a polymerization reaction.
【請求項29】 前記本処理が、前記重合反応により前
記ドーパントを含む導電性ポリマー層を形成する操作を
複数回繰り返すことを特徴とする請求項21又は28
記載の電解コンデンサの製造方法。
29. The method for producing an electrolytic capacitor according to claim 21 , wherein in the main treatment, an operation of forming a conductive polymer layer containing the dopant by the polymerization reaction is repeated a plurality of times.
【請求項30】 前記モノマーが複素環式五員環化合物
若しくはその誘導体である請求項1ないし29いずれか
に記載の電解コンデンサの製造方法。
30. A method of manufacturing an electrolytic capacitor according to 29 any one to the monomer claims 1 to heterocyclic five-membered ring compound or its derivative.
【請求項31】 前記ドーパントもしくは前記有機酸系
のドーパントが、アーリルスルホン酸イオン若しくはア
ーリルリン酸イオンである請求項1ないし29いずれか
に記載の電解コンデンサの製造方法。
31. The dopant or the organic acid-type dopant, method of manufacturing an electrolytic capacitor according to any one of claims 1 to 29, which is earth drill sulfonate ion or Arirurin ion.
【請求項32】 前記弁金属が、アルミニウム若しくは
タンタルである請求項1ないし29いずれかに記載の電
解コンデンサの製造方法。
32. The valve metal is method of manufacturing an electrolytic capacitor according to any one of claims 1 to 29 is aluminum or tantalum.
【請求項33】 請求項1ないし32いずれかに記載の
導電性高分子層の形成方法を用いて製造した電解コンデ
ンサ。
33. The electrolytic capacitor produced using the method for forming a conductive polymer layer according to any one of claims 1 to 32.
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