JP3414653B2 - 多層基板の製造方法および多層基板 - Google Patents
多層基板の製造方法および多層基板Info
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Description
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、回路基板用多層基
板の製造方法に関するものである。
板の製造方法に関するものである。
【0002】
【従来の技術】電子機器の小型化・薄型化・軽量化が進
む中、回路基板に求められる要求として、配線密度の増
大、薄型化が強くなっている。
む中、回路基板に求められる要求として、配線密度の増
大、薄型化が強くなっている。
【0003】従来より、それらの要求に対応するため
に、配線密度の増大を目的とし、配線の層数を増やした
り、配線回路の微細化を行ったりする方法が盛んに行わ
れている。
に、配線密度の増大を目的とし、配線の層数を増やした
り、配線回路の微細化を行ったりする方法が盛んに行わ
れている。
【0004】図7は従来の回路基板の製造方法を示す。
ステップ1では、ガラスエポキシ樹脂21の両面に銅箔
22が張られた内層コア材を用意する。ステップ2で
は、銅箔22をエッチングし、内層回路を形成する。ス
テップ3では、熱硬化性樹脂の絶縁層23を塗布する。
ステップ4では、ステップ3で絶縁層23を塗布した基
材にレーザーAにより穴あけ加工して、貫通スルーホー
ル25を設ける。ステップ5では、銅めっき24を施
し、内層回路と表層との導通を図ることにより、4層の
多層基板が完成する。
ステップ1では、ガラスエポキシ樹脂21の両面に銅箔
22が張られた内層コア材を用意する。ステップ2で
は、銅箔22をエッチングし、内層回路を形成する。ス
テップ3では、熱硬化性樹脂の絶縁層23を塗布する。
ステップ4では、ステップ3で絶縁層23を塗布した基
材にレーザーAにより穴あけ加工して、貫通スルーホー
ル25を設ける。ステップ5では、銅めっき24を施
し、内層回路と表層との導通を図ることにより、4層の
多層基板が完成する。
【0005】更に多層化を行う場合は、ステップ1〜ス
テップ5の工程を繰り返す。
テップ5の工程を繰り返す。
【0006】
【発明が解決しようとする課題】しかし、上記従来の多
層基板では、コア材となるガラスエポキシ樹脂21の基
板の厚みが約0.5mm以上、導体となる銅箔22の厚
みが18μm以上、絶縁層23の厚みが50μm以上そ
れぞれ必要であるため、4層基板でその厚みが約0.7
mm以上となり、さらに薄型化することは困難であっ
た。
層基板では、コア材となるガラスエポキシ樹脂21の基
板の厚みが約0.5mm以上、導体となる銅箔22の厚
みが18μm以上、絶縁層23の厚みが50μm以上そ
れぞれ必要であるため、4層基板でその厚みが約0.7
mm以上となり、さらに薄型化することは困難であっ
た。
【0007】また、コア材がガラスエポキシ樹脂21の
基材であるために、基板に剛性があってフレキシブル性
に欠け、更に、レーザー加工、工ッチング等の工程数が
多いために、高コスト化につながっていた。
基材であるために、基板に剛性があってフレキシブル性
に欠け、更に、レーザー加工、工ッチング等の工程数が
多いために、高コスト化につながっていた。
【0008】本発明は前記問題点を解決するもので、薄
型かつフレキシブルな多層基板を安価に製造することが
できる多層基板の製造方法および多層基板を提供するも
のである。
型かつフレキシブルな多層基板を安価に製造することが
できる多層基板の製造方法および多層基板を提供するも
のである。
【0009】
【課題を解決するための手段】前記問題点を解決するた
めに本発明は、第1の樹脂フィルムの一方の面に第1の
導電性ペーストを印刷して第1の回路パターンを形成し
た後、前記第1の回路パターンの所定位置に金属粒子を
配置し、第1の導電性ペーストを硬化させる工程と、第
1の導電性ペーストを硬化させた後の前記第1の樹脂フ
ィルムの第1の回路パターン側に第2の樹脂フィルムを
位置合わせして熱プレスすることにより、第2の樹脂フ
ィルムの表面に前記金属粒子の端面を露出させる工程
と、熱プレス後に前記第2の樹脂フィルムにおける第1
の樹脂フィルムとの圧着面とは反対の面の前記金属粒子
の端面が露出した箇所に第2の導電性ペーストを印刷し
て第2の回路パターンを形成する工程と、前記第2の導
電性ペーストを硬化させる工程とを有することを特徴と
する。
めに本発明は、第1の樹脂フィルムの一方の面に第1の
導電性ペーストを印刷して第1の回路パターンを形成し
た後、前記第1の回路パターンの所定位置に金属粒子を
配置し、第1の導電性ペーストを硬化させる工程と、第
1の導電性ペーストを硬化させた後の前記第1の樹脂フ
ィルムの第1の回路パターン側に第2の樹脂フィルムを
位置合わせして熱プレスすることにより、第2の樹脂フ
ィルムの表面に前記金属粒子の端面を露出させる工程
と、熱プレス後に前記第2の樹脂フィルムにおける第1
の樹脂フィルムとの圧着面とは反対の面の前記金属粒子
の端面が露出した箇所に第2の導電性ペーストを印刷し
て第2の回路パターンを形成する工程と、前記第2の導
電性ペーストを硬化させる工程とを有することを特徴と
する。
【0010】この製造方法により、薄型かつフレキシブ
ルな多層基板を安価に製造することができる。
ルな多層基板を安価に製造することができる。
【0011】
【発明の実施の形態】本発明の請求項1記載の多層基板
の製造方法は、第1の樹脂フィルムの一方の面に第1の
導電性ペーストを印刷して第1の回路パターンを形成し
た後、前記第1の回路パターンの所定位置に金属粒子を
配置し、第1の導電性ペーストを硬化させる工程と、第
1の導電性ペーストを硬化させた後の前記第1の樹脂フ
ィルムの第1の回路パターン側に第2の樹脂フィルムを
位置合わせして熱プレスすることにより、第2の樹脂フ
ィルムの表面に前記金属粒子の端面を露出させる工程
と、熱プレス後に前記第2の樹脂フィルムにおける第1
の樹脂フィルムとの圧着面とは反対の面の前記金属粒子
の端面が露出した箇所に第2の導電性ペーストを印刷し
て第2の回路パターンを形成する工程と、前記第2の導
電性ペーストを硬化させる工程とを有することを特徴と
する。
の製造方法は、第1の樹脂フィルムの一方の面に第1の
導電性ペーストを印刷して第1の回路パターンを形成し
た後、前記第1の回路パターンの所定位置に金属粒子を
配置し、第1の導電性ペーストを硬化させる工程と、第
1の導電性ペーストを硬化させた後の前記第1の樹脂フ
ィルムの第1の回路パターン側に第2の樹脂フィルムを
位置合わせして熱プレスすることにより、第2の樹脂フ
ィルムの表面に前記金属粒子の端面を露出させる工程
と、熱プレス後に前記第2の樹脂フィルムにおける第1
の樹脂フィルムとの圧着面とは反対の面の前記金属粒子
の端面が露出した箇所に第2の導電性ペーストを印刷し
て第2の回路パターンを形成する工程と、前記第2の導
電性ペーストを硬化させる工程とを有することを特徴と
する。
【0012】本発明の請求項2記載の多層基板の製造方
法は、第1の樹脂フィルムの一方の面に第1の導電性ペ
ーストを印刷して第1の回路パターンを形成した後、前
記第1の回路パターンの所定位置に第1の金属粒子を配
置し、第1の導電性ペーストを硬化させる工程と、第1
の導電性ペーストを硬化した後の前記第1の樹脂フィル
ムの第1の回路パターン側に第2の樹脂フィルムを位置
合わせして熱プレスすることにより、第2の樹脂フィル
ムの表面に前記第1の金属粒子の端面を露出させる工程
と、熱プレス後に前記第2の樹脂フィルムにおける第1
の樹脂フィルムとの圧着面とは反対の面の前記第1の金
属粒子の端面が露出した箇所に第2の導電性ペーストを
印刷して第2の回路パターンを形成する工程と、この
後、前記第2の回路パターンの所定位置に第2の金属粒
子を配置し、前記だい2の導電性ペーストを硬化させる
工程とを備え、以降に、導電性ペーストを硬化した後の
前記樹脂フィルムの回路パターン側に新たな樹脂フィル
ムを位置合わせして熱プレスする工程と、熱プレスした
後の前記樹脂フィルムの圧着面とは反対の面に新たな導
電性ペーストを印刷して新たな回路パターンを形成する
工程と、この後、必要に応じて前記新たな回路パターン
の所定位置に新たな金属粒子を配置し、前記新たな導電
性ペーストを硬化させる工程とを繰り返して、回路パタ
ーンを形成した樹脂フィルムを多層化することを特徴と
する。
法は、第1の樹脂フィルムの一方の面に第1の導電性ペ
ーストを印刷して第1の回路パターンを形成した後、前
記第1の回路パターンの所定位置に第1の金属粒子を配
置し、第1の導電性ペーストを硬化させる工程と、第1
の導電性ペーストを硬化した後の前記第1の樹脂フィル
ムの第1の回路パターン側に第2の樹脂フィルムを位置
合わせして熱プレスすることにより、第2の樹脂フィル
ムの表面に前記第1の金属粒子の端面を露出させる工程
と、熱プレス後に前記第2の樹脂フィルムにおける第1
の樹脂フィルムとの圧着面とは反対の面の前記第1の金
属粒子の端面が露出した箇所に第2の導電性ペーストを
印刷して第2の回路パターンを形成する工程と、この
後、前記第2の回路パターンの所定位置に第2の金属粒
子を配置し、前記だい2の導電性ペーストを硬化させる
工程とを備え、以降に、導電性ペーストを硬化した後の
前記樹脂フィルムの回路パターン側に新たな樹脂フィル
ムを位置合わせして熱プレスする工程と、熱プレスした
後の前記樹脂フィルムの圧着面とは反対の面に新たな導
電性ペーストを印刷して新たな回路パターンを形成する
工程と、この後、必要に応じて前記新たな回路パターン
の所定位置に新たな金属粒子を配置し、前記新たな導電
性ペーストを硬化させる工程とを繰り返して、回路パタ
ーンを形成した樹脂フィルムを多層化することを特徴と
する。
【0013】本発明の請求項3記載の多層基板の製造方
法は、第1の樹脂フィルムの一方の面に第1の導電性ペ
ーストを印刷して第1の回路パターンを形成した後、前
記第1の回路パターンの所定位置に金属粒子を配置し、
第1の導電性ペーストを硬化させる工程と、第1の導電
性ペーストを硬化させた後の前記第1の樹脂フィルムの
第1の回路パターン側に第2の樹脂フィルムを位置合わ
せして熱プレスすることにより、第1、第2の樹脂フィ
ルムの表面に前記金属粒子の両端面を露出させる工程
と、熱プレス後に前記第1の樹脂フィルムおよび前記第
2の樹脂フィルムの互いに外側となる両面の前記金属粒
子の端面が露出した箇所に第2の導電性ペーストと第3
の導電性ペーストとを印刷して第2の回路パターンおよ
び第3の回路パターンを形成する工程と、前記第2、第
3の導電性ペーストを硬化させる工程とを有することを
特徴とする。
法は、第1の樹脂フィルムの一方の面に第1の導電性ペ
ーストを印刷して第1の回路パターンを形成した後、前
記第1の回路パターンの所定位置に金属粒子を配置し、
第1の導電性ペーストを硬化させる工程と、第1の導電
性ペーストを硬化させた後の前記第1の樹脂フィルムの
第1の回路パターン側に第2の樹脂フィルムを位置合わ
せして熱プレスすることにより、第1、第2の樹脂フィ
ルムの表面に前記金属粒子の両端面を露出させる工程
と、熱プレス後に前記第1の樹脂フィルムおよび前記第
2の樹脂フィルムの互いに外側となる両面の前記金属粒
子の端面が露出した箇所に第2の導電性ペーストと第3
の導電性ペーストとを印刷して第2の回路パターンおよ
び第3の回路パターンを形成する工程と、前記第2、第
3の導電性ペーストを硬化させる工程とを有することを
特徴とする。
【0014】本発明の請求項4記載の多層基板の製造方
法は、第1の樹脂フィルムの一方の面に第1の導電性ペ
ーストを印刷して第1の回路パターンを形成した後、前
記第1の回路パターンの所定位置に金属粒子を配置し、
第1の導電性ペーストを硬化させる工程と、第1の導電
性ペーストを硬化させた後の前記第1の樹脂フィルムの
第1の回路パターン側に第2の樹脂フィルムを位置合わ
せして熱プレスすることにより、第1、第2の樹脂フィ
ルムの表面に前記金属粒子の両端面を露出させる工程
と、熱プレス後に前記第1の樹脂フィルムおよび前記第
2の樹脂フィルムの互いに外側となる両面の前記金属粒
子の端面が露出した箇所に第2の導電性ペーストと第3
の導電性ペーストとを印刷して第2の回路パターンおよ
び第3の回路パターンを形成する工程と、この後、必要
に応じて第2、第3の回路パターンの所定位置に第2、
第3の金属粒子を配置し、前記第2、第3の導電性ペー
ストを硬化させる工程とを備え、以降に、導電性ペース
トを硬化した後の前記樹脂フィルムの回路パターン側に
新たな樹脂フィルムを位置合わせして熱プレスする工程
と、熱プレスした後の前記樹脂フィルムの圧着面とは反
対の面に新たな導電性ペーストを印刷して新たな回路パ
ターンを形成する工程と、この後、必要に応じて前記新
たな回路パターンの所定位置に新たな金属粒子を配置
し、前記新たな導電性ペーストを硬化させる工程とを繰
り返して、回路パターンを形成した樹脂フィルムを多層
化することを特徴とする。
法は、第1の樹脂フィルムの一方の面に第1の導電性ペ
ーストを印刷して第1の回路パターンを形成した後、前
記第1の回路パターンの所定位置に金属粒子を配置し、
第1の導電性ペーストを硬化させる工程と、第1の導電
性ペーストを硬化させた後の前記第1の樹脂フィルムの
第1の回路パターン側に第2の樹脂フィルムを位置合わ
せして熱プレスすることにより、第1、第2の樹脂フィ
ルムの表面に前記金属粒子の両端面を露出させる工程
と、熱プレス後に前記第1の樹脂フィルムおよび前記第
2の樹脂フィルムの互いに外側となる両面の前記金属粒
子の端面が露出した箇所に第2の導電性ペーストと第3
の導電性ペーストとを印刷して第2の回路パターンおよ
び第3の回路パターンを形成する工程と、この後、必要
に応じて第2、第3の回路パターンの所定位置に第2、
第3の金属粒子を配置し、前記第2、第3の導電性ペー
ストを硬化させる工程とを備え、以降に、導電性ペース
トを硬化した後の前記樹脂フィルムの回路パターン側に
新たな樹脂フィルムを位置合わせして熱プレスする工程
と、熱プレスした後の前記樹脂フィルムの圧着面とは反
対の面に新たな導電性ペーストを印刷して新たな回路パ
ターンを形成する工程と、この後、必要に応じて前記新
たな回路パターンの所定位置に新たな金属粒子を配置
し、前記新たな導電性ペーストを硬化させる工程とを繰
り返して、回路パターンを形成した樹脂フィルムを多層
化することを特徴とする。
【0015】これらの多層基板の製造方法によれば、導
電性ぺーストの印刷、金属粒子のマウント、熱プレスと
いう簡単な工程で多層基板が形成できるため、製造コス
トが安くなり、また、基材として樹脂フィルムを用いる
ため、薄型でフレキシブルな多層基板を製造することが
可能となる。本発明の請求項5記載の多層基板は、第1
の樹脂フィルムの一方の面に第1の導電性ぺーストを印
刷して形成された第1の回路パターンと、前記第1の回
路パターンに配置された金属粒子と、前記第1の樹脂フ
ィルムの第1の回路パターン側に設けられた第2の樹脂
フィルムと、前記第2の樹脂フィルムにおける第1の樹
脂フィルムとの圧着面とは反対の面の前記金属粒子の端
面が露出した箇所に第2の導電性ぺーストを前記金属粒
子に接触する状態で印刷して形成された第2の回路パタ
ーンとを有することを特徴とする。本発明の請求項6記
載の多層基板は、第1の樹脂フィルムの一方の面に第1
の導電性ぺーストを印刷して形成された第1の回路パタ
ーンと、前記第1の回路パターンに配置された第1の金
属粒子と、前記第1の樹脂フィルムの第1の回路パター
ン側に設けられた第2の樹脂フィルムと、前記第2の樹
脂フィルムにおける第1の樹脂フィルムとの圧着面とは
反対の面の前記第1の金属粒子の端面が露出した箇所
に、第2の導電性ぺーストを前記第1の金属粒子に接触
する状態で印刷して形成された第2の回路パターンと、
前記第2の回路パターンに配置された第2の金属粒子
と、前記第2の樹脂フィルムの第2の回路パターン側に
設けられた第3の樹脂フィルムと、前記第3の樹脂フィ
ルムにおける第2の樹脂フィルムとの圧着面とは反対の
面に、第3の導電性ぺーストを前記第2の金属粒子に接
触する状態で印刷して形成された第3の回路パターンと
を有することを特徴とする。本発明の請求項7記載の多
層基板は、第1の樹脂フィルムの一方の面に第1の導電
性ぺーストを印刷して形成された第1の回路パターン
と、前記第1の樹脂フィルムの第1の回路パターン側に
設けられた第2の樹脂フィルムと、前記第1の樹脂フィ
ルムにおける第2の樹脂フィルムとの圧着面とは反対の
面と前記第2の樹脂フィルムにおける第1の樹脂フィル
ムとの圧着面とは反対の面との両面から出るように設け
られた金属粒子と、これらの両面における一方の面の前
記金属粒 子の端面が露出した箇所に第2の導電性ぺース
トを前記金属粒子に接触する状態で印刷して形成された
第2の回路パターンと、前記両面における他方の面の前
記金属粒子の端面が露出した箇所に第3の導電性ぺース
トを前記金属粒子に接触する状態で印刷して形成された
第3の回路パターンとを有することを特徴とする。本発
明の請求項8記載の多層基板は、第1の樹脂フィルムの
一方の面に第1の導電性ぺーストを印刷して形成された
第1の回路パターンと、前記第1の樹脂フィルムの第1
の回路パターン側に設けられた第2の樹脂フィルムと、
前記第1の樹脂フィルムにおける第2の樹脂フィルムと
の圧着面とは反対の面と前記第2の樹脂フィルムにおけ
る第1の樹脂フィルムとの圧着面とは反対の面との両面
から出るように設けられた金属粒子と、これらの両面に
おける一方の面の前記金属粒子の端面が露出した箇所に
第2の導電性ぺーストを前記第1の金属粒子に接触する
状態で印刷して形成された第2の回路パターンと、前記
両面における他方の面の前記金属粒子の端面が露出した
箇所に第3の導電性ぺーストを前記第1の金属粒子に接
触する状態で印刷して形成された第3の回路パターン
と、前記第2、第3の回路パターン側の少なくとも一方
に設けられた第2の金属粒子と、前記第2の金属粒子が
設けられた回路パターン側に設けられた第3の樹脂フィ
ルムと、前記第3の樹脂フィルムにおける第1または第
2の樹脂フィルムとの圧着面とは反対の面の前記第2の
金属粒子の端面が露出した箇所に、第4の導電性ぺース
トを前記第2の金属粒子に接触する状態で印刷して形成
された第4の回路パターンとを有することを特徴とす
る。
電性ぺーストの印刷、金属粒子のマウント、熱プレスと
いう簡単な工程で多層基板が形成できるため、製造コス
トが安くなり、また、基材として樹脂フィルムを用いる
ため、薄型でフレキシブルな多層基板を製造することが
可能となる。本発明の請求項5記載の多層基板は、第1
の樹脂フィルムの一方の面に第1の導電性ぺーストを印
刷して形成された第1の回路パターンと、前記第1の回
路パターンに配置された金属粒子と、前記第1の樹脂フ
ィルムの第1の回路パターン側に設けられた第2の樹脂
フィルムと、前記第2の樹脂フィルムにおける第1の樹
脂フィルムとの圧着面とは反対の面の前記金属粒子の端
面が露出した箇所に第2の導電性ぺーストを前記金属粒
子に接触する状態で印刷して形成された第2の回路パタ
ーンとを有することを特徴とする。本発明の請求項6記
載の多層基板は、第1の樹脂フィルムの一方の面に第1
の導電性ぺーストを印刷して形成された第1の回路パタ
ーンと、前記第1の回路パターンに配置された第1の金
属粒子と、前記第1の樹脂フィルムの第1の回路パター
ン側に設けられた第2の樹脂フィルムと、前記第2の樹
脂フィルムにおける第1の樹脂フィルムとの圧着面とは
反対の面の前記第1の金属粒子の端面が露出した箇所
に、第2の導電性ぺーストを前記第1の金属粒子に接触
する状態で印刷して形成された第2の回路パターンと、
前記第2の回路パターンに配置された第2の金属粒子
と、前記第2の樹脂フィルムの第2の回路パターン側に
設けられた第3の樹脂フィルムと、前記第3の樹脂フィ
ルムにおける第2の樹脂フィルムとの圧着面とは反対の
面に、第3の導電性ぺーストを前記第2の金属粒子に接
触する状態で印刷して形成された第3の回路パターンと
を有することを特徴とする。本発明の請求項7記載の多
層基板は、第1の樹脂フィルムの一方の面に第1の導電
性ぺーストを印刷して形成された第1の回路パターン
と、前記第1の樹脂フィルムの第1の回路パターン側に
設けられた第2の樹脂フィルムと、前記第1の樹脂フィ
ルムにおける第2の樹脂フィルムとの圧着面とは反対の
面と前記第2の樹脂フィルムにおける第1の樹脂フィル
ムとの圧着面とは反対の面との両面から出るように設け
られた金属粒子と、これらの両面における一方の面の前
記金属粒 子の端面が露出した箇所に第2の導電性ぺース
トを前記金属粒子に接触する状態で印刷して形成された
第2の回路パターンと、前記両面における他方の面の前
記金属粒子の端面が露出した箇所に第3の導電性ぺース
トを前記金属粒子に接触する状態で印刷して形成された
第3の回路パターンとを有することを特徴とする。本発
明の請求項8記載の多層基板は、第1の樹脂フィルムの
一方の面に第1の導電性ぺーストを印刷して形成された
第1の回路パターンと、前記第1の樹脂フィルムの第1
の回路パターン側に設けられた第2の樹脂フィルムと、
前記第1の樹脂フィルムにおける第2の樹脂フィルムと
の圧着面とは反対の面と前記第2の樹脂フィルムにおけ
る第1の樹脂フィルムとの圧着面とは反対の面との両面
から出るように設けられた金属粒子と、これらの両面に
おける一方の面の前記金属粒子の端面が露出した箇所に
第2の導電性ぺーストを前記第1の金属粒子に接触する
状態で印刷して形成された第2の回路パターンと、前記
両面における他方の面の前記金属粒子の端面が露出した
箇所に第3の導電性ぺーストを前記第1の金属粒子に接
触する状態で印刷して形成された第3の回路パターン
と、前記第2、第3の回路パターン側の少なくとも一方
に設けられた第2の金属粒子と、前記第2の金属粒子が
設けられた回路パターン側に設けられた第3の樹脂フィ
ルムと、前記第3の樹脂フィルムにおける第1または第
2の樹脂フィルムとの圧着面とは反対の面の前記第2の
金属粒子の端面が露出した箇所に、第4の導電性ぺース
トを前記第2の金属粒子に接触する状態で印刷して形成
された第4の回路パターンとを有することを特徴とす
る。
【0016】以下、添付図面を参照して本発明の実施の
形態について説明し、本発明の理解に供する。なお、以
下の実施の形態は本発明を具現化した一例であって、本
発明の技術範囲を限定するものではない。 (第1の実施の形態)第1の実施の形態では、図1、図
2に示すように、ステップ1で、第1の樹脂フィルム1
の一方の面に第1の導電性ぺースト2を印刷して第1の
回路パターンを形成する。第1の樹脂フィルム1は、A
BS、PETG、塩ビ等の熱可塑性樹脂を用い、厚みは
薄型多層基板を想定する場合は100μm以下のシート
を用いる。しかし、薄型性を問わない場合は100μm
以上のシートを用いても良い。また、第1の導電性ぺー
スト2は熱硬化型、熱可塑性のどちらでも良い。
形態について説明し、本発明の理解に供する。なお、以
下の実施の形態は本発明を具現化した一例であって、本
発明の技術範囲を限定するものではない。 (第1の実施の形態)第1の実施の形態では、図1、図
2に示すように、ステップ1で、第1の樹脂フィルム1
の一方の面に第1の導電性ぺースト2を印刷して第1の
回路パターンを形成する。第1の樹脂フィルム1は、A
BS、PETG、塩ビ等の熱可塑性樹脂を用い、厚みは
薄型多層基板を想定する場合は100μm以下のシート
を用いる。しかし、薄型性を問わない場合は100μm
以上のシートを用いても良い。また、第1の導電性ぺー
スト2は熱硬化型、熱可塑性のどちらでも良い。
【0017】ステップ2では、ステップ1で形成した第
1の回路パターンの所定の位置、すなわち上層の回路パ
ターンと導通を図りたい位置に第1の金属粒子3をマウ
ントし、第1の回路パターンを形成する第1の導電性ペ
ースト2を熱硬化させる。第1の金属粒子3は電気的導
通が図れるAu、Cu、Ni等を用い、その形状は球状
でもそれ以外の形状でも良い。また、その大きさは第1
の回路パターンを形成する第1の樹脂フィルム1と後述
するステップ3におけるカバーする側の第2の樹脂フィ
ルム4との厚みで決まり、後述するステップ4の熱プレ
ス後に第1の金属粒子3の端面3aがステップ5におい
て示すように第2の樹脂フィルム4から出て、導通がと
れる大きさとする。例えば100μmの第2の樹脂フィ
ルム4を用いた場合で、第1の金属粒子3は0.5mm
前後のものを用いる。
1の回路パターンの所定の位置、すなわち上層の回路パ
ターンと導通を図りたい位置に第1の金属粒子3をマウ
ントし、第1の回路パターンを形成する第1の導電性ペ
ースト2を熱硬化させる。第1の金属粒子3は電気的導
通が図れるAu、Cu、Ni等を用い、その形状は球状
でもそれ以外の形状でも良い。また、その大きさは第1
の回路パターンを形成する第1の樹脂フィルム1と後述
するステップ3におけるカバーする側の第2の樹脂フィ
ルム4との厚みで決まり、後述するステップ4の熱プレ
ス後に第1の金属粒子3の端面3aがステップ5におい
て示すように第2の樹脂フィルム4から出て、導通がと
れる大きさとする。例えば100μmの第2の樹脂フィ
ルム4を用いた場合で、第1の金属粒子3は0.5mm
前後のものを用いる。
【0018】ステップ3では、第2の樹脂フィルム4を
第1の樹脂フィルム1の第1の回路パターンが形成され
ている側に位置合わせする。第2の樹脂フィルム1にお
いても、ABS、PETG、塩ビ等の熱可塑性樹脂を用
い、厚みは薄型多層基板を想定する場合は100μm以
下のシートを用いる。しかし、薄型性を問わない場合は
100μm以上のシートを用いても良い。
第1の樹脂フィルム1の第1の回路パターンが形成され
ている側に位置合わせする。第2の樹脂フィルム1にお
いても、ABS、PETG、塩ビ等の熱可塑性樹脂を用
い、厚みは薄型多層基板を想定する場合は100μm以
下のシートを用いる。しかし、薄型性を問わない場合は
100μm以上のシートを用いても良い。
【0019】ステップ4では熱プレス機5を用いて、プ
レスを実施する。プレス条件は例えば、第1、第2の樹
脂フィルム1、4としてPETGを用いた場合、温度が
140℃、圧カが20Kg/cm2、時間が1分程であ
る。
レスを実施する。プレス条件は例えば、第1、第2の樹
脂フィルム1、4としてPETGを用いた場合、温度が
140℃、圧カが20Kg/cm2、時間が1分程であ
る。
【0020】ステップ5はプレス後の状態を示してお
り、第2の樹脂フィルム4の表面に金属粒子3の端面3
aが出た形になっており、導通がとれる。ステップ6で
は、第2の樹脂シート4の表面に第2の導電性ペースト
6を印刷し、第2の回路パターンを形成する。その後、
第2の導電性ペースト6を熱硬化させれば、2層の多層
基板が完成する。
り、第2の樹脂フィルム4の表面に金属粒子3の端面3
aが出た形になっており、導通がとれる。ステップ6で
は、第2の樹脂シート4の表面に第2の導電性ペースト
6を印刷し、第2の回路パターンを形成する。その後、
第2の導電性ペースト6を熱硬化させれば、2層の多層
基板が完成する。
【0021】さらに、ステップ6の工程で第2の導電性
ペースト6を硬化させる前にさらに第2の金属粒子7を
マウントし、第2の導電性ペースト6を硬化させた後
に、ステップ3〜ステップ6を繰り返す(導電性ぺース
ト6を硬化した後の樹脂フィルムの回路パターン側に新
たな樹脂フィルム8を位置合わせして熱プレスし、熱プ
レスした後の樹脂フィルムの圧着面とは反対の面に新た
な導電性ぺースト9を印刷して新たな回路パターンを形
成し、この後、さらに多層化する場合に前記新たな回路
パターンの所定位置に新たな金属粒子10を配置し、前
記新たな導電性ぺースト9を硬化させる)ことにより、
図3に示す3層以上の多層基板が完成する。
ペースト6を硬化させる前にさらに第2の金属粒子7を
マウントし、第2の導電性ペースト6を硬化させた後
に、ステップ3〜ステップ6を繰り返す(導電性ぺース
ト6を硬化した後の樹脂フィルムの回路パターン側に新
たな樹脂フィルム8を位置合わせして熱プレスし、熱プ
レスした後の樹脂フィルムの圧着面とは反対の面に新た
な導電性ぺースト9を印刷して新たな回路パターンを形
成し、この後、さらに多層化する場合に前記新たな回路
パターンの所定位置に新たな金属粒子10を配置し、前
記新たな導電性ぺースト9を硬化させる)ことにより、
図3に示す3層以上の多層基板が完成する。
【0022】図7に示す従来の製造方法とは異なり、こ
の第1の実施の形態では、導電性ぺースト2、6、9の
印刷、金属粒子3、7、10のマウント、熱プレスとい
う簡単な工程で多層基板が形成できるため、製造コスト
が安くなる。また、基材として樹脂フィルム1、4、8
を用いるため、薄型でフレキシブルな多層基板を製造す
ることが可能となる。 (第2の実施の形態)第2の実施の形態では、図4、図
5に示すように、ステップ1で第1の樹脂フィルム11
の一方の面に第1の導電性ぺースト12を印刷し、第1
の回路パターンを形成する。第1の樹脂フィルム11
は、ABS、PETG、塩ビ等の熱可塑性樹脂を用い、
厚みは薄型多属基板を想定する場合は100μm以下の
シートを用いる。しかし、薄型性を問わない場合は10
0μm以上のシートを用いても良い。また、第1の導電
性ぺースト12は熱硬化型、熱可塑性のどちらでも良
い。
の第1の実施の形態では、導電性ぺースト2、6、9の
印刷、金属粒子3、7、10のマウント、熱プレスとい
う簡単な工程で多層基板が形成できるため、製造コスト
が安くなる。また、基材として樹脂フィルム1、4、8
を用いるため、薄型でフレキシブルな多層基板を製造す
ることが可能となる。 (第2の実施の形態)第2の実施の形態では、図4、図
5に示すように、ステップ1で第1の樹脂フィルム11
の一方の面に第1の導電性ぺースト12を印刷し、第1
の回路パターンを形成する。第1の樹脂フィルム11
は、ABS、PETG、塩ビ等の熱可塑性樹脂を用い、
厚みは薄型多属基板を想定する場合は100μm以下の
シートを用いる。しかし、薄型性を問わない場合は10
0μm以上のシートを用いても良い。また、第1の導電
性ぺースト12は熱硬化型、熱可塑性のどちらでも良
い。
【0023】ステップ2ではステップ1で形成した第1
の回路パターンの所定の位置、すなわち上層の回路パタ
ーンと導通を図りたい位置に第1の金属粒子13をマウ
ウントし、第1の回路パターンを形成する第1の導電性
ぺースト12を熱硬化させる。第1の金属粒子13は電
気的導通が図れるAu、Cu、Ni等を用い、その形状
は球状でもそれ以外の形状でも良い。また、その大きさ
は第1の回路パターンを形成する第1の樹脂フィルム1
1と、後述するステップ3におけるカバーする側の第2
の樹脂フィルム14との厚みで決まり、ステップ4の熱
プレス後に第1の金属粒子13の端面13aがステップ
5に示すように樹脂フィルム11,14の互いに外側と
なる両面から出て、導通がとれる大きさとする。例えぱ
100μmの樹脂フィルム11,14を用いた場合で、
1.0mm前後のものを用いる。
の回路パターンの所定の位置、すなわち上層の回路パタ
ーンと導通を図りたい位置に第1の金属粒子13をマウ
ウントし、第1の回路パターンを形成する第1の導電性
ぺースト12を熱硬化させる。第1の金属粒子13は電
気的導通が図れるAu、Cu、Ni等を用い、その形状
は球状でもそれ以外の形状でも良い。また、その大きさ
は第1の回路パターンを形成する第1の樹脂フィルム1
1と、後述するステップ3におけるカバーする側の第2
の樹脂フィルム14との厚みで決まり、ステップ4の熱
プレス後に第1の金属粒子13の端面13aがステップ
5に示すように樹脂フィルム11,14の互いに外側と
なる両面から出て、導通がとれる大きさとする。例えぱ
100μmの樹脂フィルム11,14を用いた場合で、
1.0mm前後のものを用いる。
【0024】ステップ3では、第2の樹脂フィルム14
を第1の樹脂フィルム11の回路パターンが形成されて
いる側に位置合わせする。ステップ4では熱プレス機1
5を用いて、プレスを実施する。プレス条件は例えば、
第1、第2の樹脂フィルム11,14としてPETGを
用いた場合、温度が140℃、圧カが20Kg/c
m2、時間が1分程である。
を第1の樹脂フィルム11の回路パターンが形成されて
いる側に位置合わせする。ステップ4では熱プレス機1
5を用いて、プレスを実施する。プレス条件は例えば、
第1、第2の樹脂フィルム11,14としてPETGを
用いた場合、温度が140℃、圧カが20Kg/c
m2、時間が1分程である。
【0025】ステップ5はプレス後の状態を示してお
り、第1、第2の樹脂フィルム11,14の表面に第1
の金属粒子13の端面13aが出た形になっており、導
通がとれる。
り、第1、第2の樹脂フィルム11,14の表面に第1
の金属粒子13の端面13aが出た形になっており、導
通がとれる。
【0026】ステップ6では、第1、第2の樹脂フィル
ム11,14の互いに外側となる両面に第2、第3の導
電性ぺースト16、17を印刷し、第2、第3の回路パ
ターンを形成する。
ム11,14の互いに外側となる両面に第2、第3の導
電性ぺースト16、17を印刷し、第2、第3の回路パ
ターンを形成する。
【0027】その後、第2、第3の導電性ぺースト1
6、17を熱硬化させれば、3層の多層基板が完成す
る。さらに、ステップ6の工程で第2、第3の導電性ぺ
ースト16、17を硬化させる前に必要に応じてさらに
第2、第3の金属粒子18、19をマウントし、第2、
第3の導電性ぺースト16、17を硬化させた後に、さ
らに、前記第1の実施の形態のステップ3〜ステップ6
を繰り返す(導電性ぺースト16、17を硬化させた後
の樹脂フィルムの回路パターン側に新たな樹脂フィルム
8を位置合わせして熱プレスし、熱プレスした後の樹脂
フィルムの圧着面とは反対の面に新たな導電性ぺースト
9を印刷して新たな回路パターンを形成し、この後、さ
らに多層化する場合には前記新たな回路パターンの所定
位置に新たな金属粒子10を配置し、その後、前記新た
な導電性ぺースト9を硬化させる)ことにより、図6に
示す4層以上の多層基板が完成する。
6、17を熱硬化させれば、3層の多層基板が完成す
る。さらに、ステップ6の工程で第2、第3の導電性ぺ
ースト16、17を硬化させる前に必要に応じてさらに
第2、第3の金属粒子18、19をマウントし、第2、
第3の導電性ぺースト16、17を硬化させた後に、さ
らに、前記第1の実施の形態のステップ3〜ステップ6
を繰り返す(導電性ぺースト16、17を硬化させた後
の樹脂フィルムの回路パターン側に新たな樹脂フィルム
8を位置合わせして熱プレスし、熱プレスした後の樹脂
フィルムの圧着面とは反対の面に新たな導電性ぺースト
9を印刷して新たな回路パターンを形成し、この後、さ
らに多層化する場合には前記新たな回路パターンの所定
位置に新たな金属粒子10を配置し、その後、前記新た
な導電性ぺースト9を硬化させる)ことにより、図6に
示す4層以上の多層基板が完成する。
【0028】図7に示す従来の製造方法とは異なり、こ
の第2の実施の形態では、導電性ぺースト12、16、
17、9を印刷し、金属粒子13、18、19、10を
マウント、熱プレスするという簡単な工程で多層基板が
形成できるため、製造コストが安い。また、基材として
樹脂フィルム11、14、8を用いるため、薄型でフレ
キシブルな多層基板を製造することが可能となる。
の第2の実施の形態では、導電性ぺースト12、16、
17、9を印刷し、金属粒子13、18、19、10を
マウント、熱プレスするという簡単な工程で多層基板が
形成できるため、製造コストが安い。また、基材として
樹脂フィルム11、14、8を用いるため、薄型でフレ
キシブルな多層基板を製造することが可能となる。
【0029】
【発明の効果】以上の説明のように、本発明の多層基板
の製造方法によると、導電性ぺースト印刷、金属粒子を
マウント、熱プレスという簡単な工程の繰り返しで多層
基板が形成できるため、設備費および製造コストが安
い。また、基材として樹脂フィルムを用いるため、薄型
でフレキシブルな多層基板を製造することが可能とな
る。
の製造方法によると、導電性ぺースト印刷、金属粒子を
マウント、熱プレスという簡単な工程の繰り返しで多層
基板が形成できるため、設備費および製造コストが安
い。また、基材として樹脂フィルムを用いるため、薄型
でフレキシブルな多層基板を製造することが可能とな
る。
【図1】それぞれ本発明の第1の実施の形態にかかる多
層基板の製造方法の各工程を順に示す断面図
層基板の製造方法の各工程を順に示す断面図
【図2】同多層基板の製造工程を順に示す概略的なフロ
ーチャート
ーチャート
【図3】同多層基板の製造方法により製造した多層基板
の構造を示す断面図
の構造を示す断面図
【図4】それぞれ本発明の第2の実施の形態にかかる多
層基板の製造方法の各工程を順に示す断面図
層基板の製造方法の各工程を順に示す断面図
【図5】同多層基板の製造工程を順に示す概略的なフロ
ーチャート
ーチャート
【図6】同多層基板の製造方法により製造した多層基板
の構造を示す断面図
の構造を示す断面図
【図7】それぞれ従来の多層基板の製造方法の各工程を
順に示す断面図
順に示す断面図
1、11 第1の樹脂フィルム
2、12 第1の導電性ぺースト
3、13 第1の金属粒子
4 第2の樹脂フィルム
5、15 熱プレス機
6、16 第2の導電性ペースト
7、18 第2の金属粒子
8 新たな樹脂フィルム
9 新たな導電性ぺースト
10 新たな金属粒子
17 第3の導電性ぺースト
19 第3の金属粒子
フロントページの続き
(72)発明者 末次 憲一郎
大阪府門真市大字門真1006番地 松下電
器産業株式会社内
(56)参考文献 特開 平9−172260(JP,A)
特開 平9−293968(JP,A)
特開 平6−69646(JP,A)
(58)調査した分野(Int.Cl.7,DB名)
H05K 3/46
Claims (8)
- 【請求項1】 第1の樹脂フィルムの一方の面に第1の
導電性ペーストを印刷して第1の回路パターンを形成し
た後、前記第1の回路パターンの所定位置に金属粒子を
配置し、第1の導電性ペーストを硬化させる工程と、第
1の導電性ペーストを硬化させた後の前記第1の樹脂フ
ィルムの第1の回路パターン側に第2の樹脂フィルムを
位置合わせして熱プレスすることにより、第2の樹脂フ
ィルムの表面に前記金属粒子の端面を露出させる工程
と、熱プレス後に前記第2の樹脂フィルムにおける第1
の樹脂フィルムとの圧着面とは反対の面の前記金属粒子
の端面が露出した箇所に第2の導電性ペーストを印刷し
て第2の回路パターンを形成する工程と、前記第2の導
電性ペーストを硬化させる工程とを有することを特徴と
する多層基板の製造方法。 - 【請求項2】 第1の樹脂フィルムの一方の面に第1の
導電性ペーストを印刷して第1の回路パターンを形成し
た後、前記第1の回路パターンの所定位置に第1の金属
粒子を配置し、第1の導電性ペーストを硬化させる工程
と、第1の導電性ペーストを硬化した後の前記第1の樹
脂フィルムの第1の回路パターン側に第2の樹脂フィル
ムを位置合わせして熱プレスすることにより、第2の樹
脂フィルムの表面に前記第1の金属粒子の端面を露出さ
せる工程と、熱プレス後に前記第2の樹脂フィルムにお
ける第1の樹脂フィルムとの圧着面とは反対の面の前記
第1の金属粒子の端面が露出した箇所に第2の導電性ペ
ーストを印刷して第2の回路パターンを形成する工程
と、この後、前記第2の回路パターンの所定位置に第2
の金属粒子を配置し、前記だい2の導電性ペーストを硬
化させる工程とを備え、以降に、導電性ペーストを硬化
した後の前記樹脂フィルムの回路パターン側に新たな樹
脂フィルムを位置合わせして熱プレスする工程と、熱プ
レスした後の前記樹脂フィルムの圧着面とは反対の面に
新たな導電性ペーストを印刷して新たな回路パターンを
形成する工程と、この後、必要に応じて前記新たな回路
パターンの所定位置に新たな金属粒子を配置し、前記新
たな導電性ペーストを硬化させる工程とを繰り返して、
回路パターンを形成した樹脂フィルムを多層化すること
を特徴とする多層基板の製造方法。 - 【請求項3】 第1の樹脂フィルムの一方の面に第1の
導電性ペーストを印刷して第1の回路パターンを形成し
た後、前記第1の回路パターンの所定位置に金属粒子を
配置し、第1の導電性ペーストを硬化させる工程と、第
1の導電性ペーストを硬化させた後の前記第1の樹脂フ
ィルムの第1の回路パターン側に第2の樹脂フィルムを
位置合わせして熱プレスすることにより、第1、第2の
樹脂フィルムの表面に前記金属粒子の両端面を露出させ
る工程と、熱プレス後に前記第1の樹脂フィルムおよび
前記第2の樹脂フィルムの互いに外側となる両面の前記
金属粒子の端面が露出した箇所に第2の導電性ペースト
と第3の導電性ペーストとを印刷して第2の回路パター
ンおよび第3の回路パターンを形成する工程と、前記第
2、第3の導電性ペーストを硬化させる工程とを有する
ことを特徴とする多層基板の製造方法。 - 【請求項4】 第1の樹脂フィルムの一方の面に第1の
導電性ペーストを印刷して第1の回路パターンを形成し
た後、前記第1の回路パターンの所定位置に金属粒子を
配置し、第1の導電性ペーストを硬化させる工程と、第
1の導電性ペーストを硬化させた後の前記第1の樹脂フ
ィルムの第1の回路パターン側に第2の樹脂フィルムを
位置合わせして熱プレスすることにより、第1、第2の
樹脂フィルムの表面に前記金属粒子の両端面を露出させ
る工程と、熱プレス後に前記第1の樹脂フィルムおよび
前記第2の樹脂フィルムの互いに外側となる両面の前記
金属粒子の端面が露出した箇所に第2の導電性ペースト
と第3の導電性ペーストとを印刷して第2の回路パター
ンおよび第3の回路パターンを形成する工程と、この
後、必要に応じて第2、第3の回路パターンの所定位置
に第2、第3の金属粒子を配置し、前記第2、第3の導
電性ペーストを硬化させる工程とを備え、以降に、導電
性ペーストを硬化した後の前記樹脂フィルムの回路パタ
ーン側に新たな樹脂フィルムを位置合わせして熱プレス
する工程と、熱プレスした後の前記樹脂フィルムの圧着
面とは反対の面に新たな導電性ペーストを印刷して新た
な回路パターンを形成する工程と、この後、必要に応じ
て前記新たな回路パターンの所定位置に新たな金属粒子
を配置し、前記新たな導電性ペーストを硬化させる工程
とを繰り返して、回路パターンを形成した樹脂フィルム
を多層化することを特徴とする多層基板の製造方法。 - 【請求項5】 第1の樹脂フィルムの一方の面に第1の
導電性ぺーストを印刷して形成された第1の回路パター
ンと、前記第1の回路パターンに配置された金属粒子
と、前記第1の樹脂フィルムの第1の回路パターン側に
設けられた第2の樹脂フィルムと、前記第2の樹脂フィ
ルムにおける第1の樹脂フィルムとの圧着面とは反対の
面の前記金属粒子の端面が露出した箇所に第2の導電性
ぺーストを前記金属粒子に接触する状態で印刷して形成
された第2の回路パターンとを有することを特徴とする
多層基板。 - 【請求項6】 第1の樹脂フィルムの一方の面に第1の
導電性ぺーストを印刷して形成された第1の回路パター
ンと、前記第1の回路パターンに配置された第1の金属
粒子と、前記第1の樹脂フィルムの第1の回路パターン
側に設けられた第2の樹脂フィルムと、前記第2の樹脂
フィルムにおける第1の樹脂フィルムとの圧着面とは反
対の面の前記第1の金属粒子の端面が露出した箇所に、
第2の導電性ぺーストを前記第1の金属粒子に接触する
状態で印刷して形成された第2の回路パターンと、前記
第2の回路パターンに配置された第2の金属粒子と、前
記第2の樹脂フィルムの第2の回路パターン側に設けら
れた第3の樹脂フィルムと、前記第3の樹脂フィルムに
おける第2の樹脂フィルムとの圧着面とは反対の面に、
第3の導電性ぺーストを前記第2の金属粒子に接触する
状態で印刷して形成された第3の回路パターンとを有す
ることを特徴とする多層基板。 - 【請求項7】 第1の樹脂フィルムの一方の面に第1の
導電性ぺーストを印刷して形成された第1の回路パター
ンと、前記第1の樹脂フィルムの第1の回路パターン側
に設けられた第2の樹脂フィルムと、前記第1の樹脂フ
ィルムにおける第2の樹脂フィルムとの圧着面とは反対
の面と前記第2の樹脂フィルムにおける第1の樹脂フィ
ルムとの圧着面とは反対の面との両面から出るように設
けられた金属粒子と、これらの両面における一方の面の
前記金属粒子の端面が露出した箇所に第2の導電性ぺー
ストを前記金属粒子に接触する状態で印刷して形成され
た第2の回路パターンと、前記両面における他方の面の
前記金属粒子の端面が露出した箇所に第3の導電性ぺー
ストを前記金属粒子に接触する状態で印刷して形成され
た第3の回路パターンとを有することを特徴とする多層
基板。 - 【請求項8】 第1の樹脂フィルムの一方の面に第1の
導電性ぺーストを印刷して形成された第1の回路パター
ンと、前記第1の樹脂フィルムの第1の回路パターン側
に設けられた第2の樹脂フィルムと、前記第1の樹脂フ
ィルムにおける第2の樹脂フィルムとの圧着面とは反対
の面と前記第2の樹脂フィルムにおける第1の樹脂フィ
ルムとの圧着面とは反対の面との両面から出るように設
けられた金属粒子と、これらの両面における一方の面の
前記金属粒子の端面が露出した箇所に第2の導電性ぺー
ストを前記第1の金属粒子に接触する状態で印刷して形
成された第2の回路パターンと、前記両面における他方
の面の前記金属粒子の端面が露出した箇所に第3の導電
性ぺーストを前記第1の金属粒子に接触する状態で印刷
して形成された第3の回路パターンと、前記第2、第3
の回路パターン側の少なくとも一方に設けられた第2の
金属粒子と、前記第2の金属粒子が設けられた回路パタ
ーン側に設けられた第3の樹脂フィルムと、前記第3の
樹脂フィルムにおける第1または第2の樹脂フィルムと
の圧着面とは反対の面の前記第2の金属粒子の端面が露
出した箇所に、第4の導電性ぺーストを前記第2の金属
粒子に接触する状態で印刷して形成された第4の回路パ
ターンとを有することを特徴とする多層基板。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP30620698A JP3414653B2 (ja) | 1998-10-28 | 1998-10-28 | 多層基板の製造方法および多層基板 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP30620698A JP3414653B2 (ja) | 1998-10-28 | 1998-10-28 | 多層基板の製造方法および多層基板 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
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JP3414653B2 true JP3414653B2 (ja) | 2003-06-09 |
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ID=17954280
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JP30620698A Expired - Fee Related JP3414653B2 (ja) | 1998-10-28 | 1998-10-28 | 多層基板の製造方法および多層基板 |
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US7834273B2 (en) | 2005-07-07 | 2010-11-16 | Ibiden Co., Ltd. | Multilayer printed wiring board |
JP2012022324A (ja) * | 2011-08-01 | 2012-02-02 | Hitachi Displays Ltd | ドライバ |
JP2013210646A (ja) * | 2013-05-08 | 2013-10-10 | Japan Display Inc | ドライバ |
-
1998
- 1998-10-28 JP JP30620698A patent/JP3414653B2/ja not_active Expired - Fee Related
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