JP3409925B2 - Light-shielding pixel and optical filter using the same - Google Patents

Light-shielding pixel and optical filter using the same

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JP3409925B2
JP3409925B2 JP17818394A JP17818394A JP3409925B2 JP 3409925 B2 JP3409925 B2 JP 3409925B2 JP 17818394 A JP17818394 A JP 17818394A JP 17818394 A JP17818394 A JP 17818394A JP 3409925 B2 JP3409925 B2 JP 3409925B2
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Description

【発明の詳細な説明】 【0001】 【産業上の利用分野】本発明による遮光性画素を設けた
透明基板は、表示装置に使用するカラーフィルターのブ
ラックマトリックス、特にカラー液晶表示装置等に使用
するカラーフィルターのブラックマトリックス等に好適
に用いられる。 【0002】 【従来の技術】従来、カラーフィルターを作成するにあ
たり赤色(R)、緑色(G)、青色(B)の各画素の間
隙には、表示コントラスト向上等の目的でブラックマト
リックスを形成している。その方法として、クロム等の
金属膜をブラックマトリックスとして用いる方法や遮光
性顔料等を分散させた感光性樹脂を用いる方法等が知ら
れている。 【0003】クロム等の金属膜を用いた場合は、(1)
光反射率が高く、表示品質が低下する、(2)環境問題
が生ずる(エッチング液等の処理等)、(3)薄膜トラ
ンジスタ(TFT)基板側にブラックマトリックスを形
成した場合は、導電性が高いため、回路のショート等の
問題が有り、感光性樹脂組成物を用いたブラックマトリ
ックスが注目されている。 【0004】しかし、感光性樹脂組成物を用いたブラッ
クマトリックスにおいて、クロム等の金属膜によるブラ
ックマトリックスと同程度の濃度のブラックマトリック
スを得るには膜厚を厚くする必要が有り、その結果、
(1)ブラックマトリックス形成後にR、GあるいはB
の顔料分散液の塗布や、転写シートを用いた転写時に気
泡を巻き込む、(2)MIM方式の様に、カラーフィル
ターと基板間に透明電極を作成する場合は、厚い遮光性
画素が電極間に存在することになり電圧制御が難しくな
る、(3)TFT基板側にブラックマトリックスを形成
した場合は、そのマトリックスの段差で液晶の配向に乱
れを発生させる、等の問題が発生していた。 【0005】 【発明が解決しようとする課題】本発明の第1の目的
は、色材含有樹脂組成物からなり、薄膜で、高濃度の遮
光性画素、及びそれを有する光学フィルターを提供する
ことにある。本発明の第2の目的は、感光性転写シート
を用いた転写方式によるカラーフィルター作成方法にお
いて、ブラックマトリックスを最初に形成し、次いで
R、G、B等の画素を形成する方法を提供することにあ
る。 【0006】 【課題を解決するための手段】本発明の第1の目的は、
例えば、(1)色材含有樹脂組成物からなり、膜厚が
1.25μm以上で、かつ、光学濃度が2.8以上の遮
光性画素を透明基板上に形成する工程、(2)該遮光性
画素を熱処理する工程、を含むことを特徴とする、色材
含有樹脂組成物からなり、膜厚が1.25μm以下で、
かつ、光学濃度が2.8以上の遮光性画素の形成方法に
より形成された遮光性画素により達成された。本発明の
第2の目的は、(1)透明基板上に、色材含有樹脂組成
物からなり、膜厚が1.25μm以下で、かつ、光学濃
度が2.8以上の遮光性画素を形成する工程、(2)該
透明基板の透明部分の一部に光の3原色の一の波長を透
過もしくは吸収する色材含有樹脂組成物からなる画素
、光の3原色の一の波長を透過もしくは吸収する色材
含有感光性樹脂組成物層を有する転写シートを用いて転
形成する工程、(3)該透明基板の透明部分の一部に
(2)とは異なる光の3原色の一の波長を透過もしくは
吸収する色材含有樹脂組成物からなる画素を、光の3原
色の一の波長を透過もしくは吸収する色材含有感光性樹
脂組成物層を有する転写シートを用いて転写形成する工
程、を含み、前記(1)の工程の後、前記(2)及び
(3)の工程を行なうことを特徴とする光学フィルター
の形成方法により達成された。以下、本発明を詳細に説
明する。 【0007】(1)遮光性画像 本発明になる遮光性画素は、従来のフォトリソ方式や電
着方式および印刷方式で形成することができる。特にパ
ターン精度、工程簡略の面で感光性遮光性樹脂組成物を
用いたフォトリソ方式が好ましい。その場合、少なくと
も、 透明基板上に、感光性遮光性樹脂組成物層を設ける工
程(スピナー、ホワイラー、ローラーコーター、カーテ
ンコーター、ナイフコーター、ワイヤーバーコーター、
エクストルーダー等を用いて塗布し、乾燥させ遮光性感
光性樹脂層を基板上に設ける塗布方式や、仮支持体上に
少なくとも遮光性感光性樹脂組成物層を設けた遮光性感
光性転写材料を用いて基板上に転写する層転写方式が用
いられる。特に、工程面で層転写方式が好ましい。具体
的な転写材料としては特願平2−400047、特願平
3−9292、特願平3−120223、特願平3−1
53227、特願平4−64870に記載の転写材料が
用いられる。)、 パターン露光、 現像、 により遮光性画素が形成される。さらに遮光性画素のシ
ワや突起発生等の防止のため上記の現像後に紫外線照射
を行ってもよい。 【0008】本発明で用いられる感光性遮光性樹脂組成
物は、少なくとも(1)アルカリ可溶性バインダー、
(2)光重合開始剤、(3)エチレン性不飽和二重結合
を有する付加重合性モノマー、(4)少なくとも一種の
着色剤、を有する遮光性感光性樹脂組成物が好ましい。 【0009】本発明に用いられるアルカリ可溶性バイン
ダーとしては、側鎖にカルボン酸基を有するポリマー、
例えば、特開昭59−44615号、特公昭54−34
327号、特公昭58−12577号、特公昭54−2
5957号、特開昭59−53836号、特開昭59−
71048号の各公報に記載されているようなメタクリ
ル酸共重合体、アクリル酸共重合体、イタコン酸共重合
体、クロトン酸共重合体、マレイン酸共重合体、部分エ
ステル化マレイン酸共重合体等があり、また側鎖にカル
ボン酸基を有するセルローズ誘導体が挙げられる。この
他に水酸基を有するポリマーに環状酸無水物を付加した
ものも有用である。特に好ましくは米国特許第4139
391号明細書に記載のベンジル(メタ)アクリレート
と(メタ)アクリル酸の共重合体やベンジル(メタ)ア
クリレートと(メタ)アクリル酸と他のモノマーとの多
元共重合体を挙げることができる。以上のものは水不溶
性のバインダーを挙げたが、水溶性ポリマーとして、ポ
リビニルピロリドンやポリエチレンオキシド、ポリビニ
ルアルコール等を挙げることができる。 【0010】以上の他に、種々の性能、例えば硬化膜の
強度を改良するために、現像性等に悪影響を与えない範
囲でアルカリ不溶のポリマーを添加することができる。
これらのポリマーとしてはアルコール可溶性ナイロンあ
るいはエポキシ樹脂が挙げられる。バインダーの遮光性
感光性樹脂組成物固形分中の固形分含有量は10〜95
重量%で、より好ましくは20〜90重量%である。1
0重量%未満では感光性樹脂層の粘着性が高すぎ、95
重量%を越えると形成される画像の強度及び光感度の点
で劣る。 【0011】本発明に用いられる光重合開始剤として
は、米国特許第2367660号公報に開示されている
ビシナルポリケタルドニル化合物、米国特許第2448
828号公報に記載されているアシロインエーテル化合
物、米国特許第2722512号公報に記載のα−炭化
水素で置換された芳香族アシロイン化合物、米国特許第
3046127号及び同第2951758号の各公報に
記載の多核キノン化合物、米国特許第3549367号
公報に記載のトリアリールイミダゾール二量体とp−ア
ミノケトンの組合せ、特公昭51−48516号公報に
記載のベンゾチアゾール化合物とトリハロメチル−s−
トリアジン化合物、米国特許第4239850号公報に
記載されているトリハロメチル−s−トリアジン化合
物、米国特許第4212976号公報に記載されている
トリハロメチルオキサジアゾール化合物等が挙げられ
る。特に好ましくはトリハロメチル−s−トリアジン、
トリハロメチルオキサジアゾール、トリアリールイミダ
ゾール二量体である。光重合開始剤の光重合性組成物固
形分中の固形分含有量は0.5〜20重量%で、より好
ましくは1〜15重量%である。0.5重量%未満では
光感度や画像の強度が低く、20重量%を越えても性能
への良好な効果が認められない。 【0012】本発明に用いられるエチレン性不飽和二重
結合を有する付加重合性モノマーとしては、分子中に少
なくとも1個の付加重合可能なエチレン性不飽和基をも
ち沸点が常圧で100℃以上の化合物である。例えばポ
リエチレングリコールモノ(メタ)アクリレート、ポリ
プロピレングリコールモノ(メタ)アクリレート、フェ
ノキシエチル(メタ)アクリレートなどの単官能アクリ
レートや単官能メタクリレート。ポリエチレングリコー
ルジ(メタ)アクリレート、ポリプロピレングリコール
ジ(メタ)アクリレート、トリメチロールエタントリア
クリレート、トリメチロールプロパントリアクリレー
ト、トリメチロールプロパンジアクリレート、ネオペン
チルグリコールジ(メタ)アクリレート、ペンタエリス
リトールテトラ(メタ)アクリレート、ペンタエリスリ
トールトリ(メタ)アクリレート、ジペンタエリスリト
ールヘキサ(メタ)アクリレート、ジペンタエリスリト
ールペンタ(メタ)アクリレート、ヘキサンジオールジ
(メタ)アクリレート、トリメチロールプロパントリ
(アクリロイルオキシプロピル)エーテル、トリ(アク
リロイルオキシエチル)イソシアヌレート、トリ(アク
リロイルオキシエチル)シアヌレート、グリセリントリ
(メタ)アクリレート、トリメチロールプロパンやグリ
セリン等の多官能アルコールにエチレンオキシドよプロ
ピレンオキシドを付加反応した後で(メタ)アクリレー
ト化したもの。特公昭48−41708号、特公昭50
−6034号、特開昭51−37193号の各公報に記
載されているウレタンアクリレート類。特開昭48−6
4183号、特公昭49−43191号、特公昭52−
30490号の各公報に記載されているポリエステルア
クリレート類、エポキシ樹脂と(メタ)アクリル酸の反
応生成物であるエポキシアクリレート類等の多官能アク
リレートやメタクリレートを挙げることができる。より
好ましくはトリメチロールプロパントリ(メタ)アクリ
レート、ペンタエリスリトールテトラ(メタ)アクリレ
ート、ジペンタエリスリトールヘキサ(メタ)アクリレ
ート、ジペンタエリスリトールペンタ(メタ)アクリレ
ートを挙げることができる。エチレン性不飽和二重結合
を有する付加重合性モノマーの遮光性感光性樹脂組成物
固形分中の固形分含有量は5〜50重量%で、より好ま
しくは10〜40重量%である。5重量%未満では光感
度や画像の強度が低く、50重量%を越えると感光性樹
脂層の粘着性が過剰になり好ましくない。 【0013】本発明に用いられる少なくとも一種の着色
剤としては、赤色、緑色、青色、黄色、紫色、マゼンタ
色、シアン色、黒色の顔料、及び/又は染料が用いられ
るが、これらの好ましい具体例としては、カーミン6B
(C.I.12490)、フタロシアニングリーン
(C.I.74260)、フタロシアニンブルー(C.
I.74160)、三菱カーボンブラックMA−10
0、ペリレンブラック(BASF K0084、K00
86)、シアニンブラック、#1201リオノールイエ
ロー(C.I.21090)、リオノールイエローGR
O(C.I.21090)、シムラ−ファーストイエロ
ー8GF(C.I.21105)、ベンジジンイエロー
4T−564D(C.I.21095)、シムラ−ファ
ーストレッド4015(C.I.12355)、リオノ
ールレッド7B4401(C.I.15850)、ファ
ーストゲンブルーTGR−L(C.I.74160)、
リオノールブルーSM(C.I.26150)、三菱カ
ーボンブラックMA−100、三菱カーボンブラック#
40、ビクトリアピュアブルー(C.I.4259
5)、オーラミンO(C.I.41000)、カロチン
ブリリアントフラビン(C.I.ベーシック13)、ロ
ーダミン6GCP(C.I.45160)、ローダミン
B(C.I.45170)、サフラニンOK70:10
0(C.I.50240)、エリオグラウシンX(C.
I.42080)、ファーストブラックHB(C.I.
26150)、C.I.ピグメント・レッド97、C.
I.ピグメント・レッド122、C.I.ピグメント・
レッド149、C.I.ピグメント・レッド168、
C.I.ピグメント・レッド177、C.I.ピグメン
ト・レッド180、C.I.ピグメント・レッド19
2、C.I.ピグメント・レッド215、C.I.ピグ
メント・グリーン7、C.I.ピグメント・グリーン3
6、C.I.ピグメント・ブルー15:1、C.I.ピ
グメント・ブルー15:4、C.I.ピグメント・ブル
ー15:6、C.I.ピグメント・ブルー22、C.
I.ピグメント・ブルー60、C.I.ピグメント・ブ
ルー64、C.I.ピグメントイエロー139、C.
I.ピグメントイエロー83、C.I.ピグメントバイ
オレット23等を挙げることができる。この他金属粉、
白色顔料、蛍光顔料なども用いられる。これらの着色剤
の一種、あるいは2種以上を混合して色相的に黒色にな
るように用いる。着色剤の遮光性感光性樹脂組成物固形
分中の固形分含有量は1〜50重量%であることが好ま
しい。 【0014】以上の成分の他に、更に熱重合防止剤を添
加することが好ましい。その例としては、ハイドロキノ
ン、p−メトキシフェノール、ジ−t−ブチル−p−ク
レゾール、ピロガロール、t−ブチルカテコール、ベン
ゾキノン、4,4’−チオビス(3−メチル−6−t−
ブチルフェノール)、2,2’−メチレンビス(4−メ
チル−6−t−ブチルフェノール)、2−メルカプトベ
ンズイミダゾール、フェノチアジン等が挙げられる。 【0015】さらに、本発明で使用する組成物には必要
に応じて公知の添加剤、例えば可塑剤、界面活性剤等を
添加することができる。 【0016】上記遮光性感光性樹脂組成物により形成さ
れた遮光膜の厚さは1.25μmを超え8μm以下の範
囲が好ましく、特に好ましくは1.25μmを超え4μ
m以下である。8μmを越えると現像性悪化等の問題が
発生する。現像後の画素の膜厚が1.25μmを超えて
いるので、現像後に熱処理を行い、膜厚を1.25μm
以下にする工程を加える。この熱処理は、目標の膜厚に
より条件が異なるが、少なくとも280℃以上の温度で
の熱処理が必要となる。熱処理温度が280℃未満の場
合、膜厚の低下効果が十分得られない。熱処理工程は、
コンベクションオーブン、ホットプレート等の公知の方
法が用いられ、熱処理を窒素ガス等の不活性ガス雰囲気
下で行ってもよい。 【0017】画素の膜厚が1.25μmを超える場合
は、ブラックマトリックス形成後のR、G、Bの顔料分
散液塗布や感光性転写シートの転写時に気泡を巻き込
み、白ぬけ欠陥が発生する問題やMIM方式の様なカラ
ーフィルターと基板間に透明電極を作成する場合は、厚
い遮光性画素が電極間に存在することになり電圧制御が
難しくなる問題が発生する。 【0018】このような、膜厚1.25μm以下で、か
つ、光学濃度が2.8以上の遮光性画素は、遮光膜中の
遮光性顔料濃度を高くすることによっても作成すること
ができる。但し、感光性遮光性樹脂組成物を用いて作成
する場合には、現像性の悪化が生じて現像時間が長くな
る場合がある。 【0019】光の3原色の少なくとも一の波長を透過も
しくは吸収する感光性着色組成物を用いて、光の3原色
の少なくとも一の波長を透過もしくは吸収する画素を形
成するには、従来のフォトリソ方式や電着方式あるいは
印刷方式を用いることができる。特にパターン精度、工
程簡略の面で色材含有感光性樹脂組成物を用いたフォト
リソ方式が好ましい。その場合、仮支持体上に少なくと
も色材含有感光性樹脂組成物層を設けた感光性転写材料
を用いて基板上に転写する層転写方式が好ましい。転写
材料の例としては、特開平4−208940、特開平5
−80503、特開平5−173320、特開平5−7
2724の各公報の実施例に記載の転写材料が挙げられ
る。具体的には仮支持体上に、アルカリ可溶な熱可塑性
樹脂層、中間層、感光性樹脂層をこの順に設けた感光性
転写材料で、各層間の密着力は任意に設定可能である。 【0020】感光性転写材料の仮支持体としては、熱可
塑性樹脂層と申分の無い剥離性を有し、化学的および熱
的に安定であって、また可撓性の物質で構成されるべき
であり、具体的にはテフロン、ポリエチレンテレフタレ
ート、ポリカーボネート、ポリエチレン、ポリプロピレ
ン等薄いシートもしくはこれらの積層物が好ましい。仮
支持体の厚みは5μm〜300μmが適当であり、好ま
しくは20μm〜150μmである。 【0021】感光性転写材料の転写条件によつては、転
写中に熱可塑性樹脂が周囲にはみ出して永久支持体を汚
染することがある。この現象を防止するためには、これ
らの熱可塑性樹脂の内、アルカリ水溶液に溶解するもの
が好ましい。アルカリ水溶液に溶解するものであれば、
後の処理により容易に除去することが可能だからであ
る。 【0022】熱可塑性樹脂層を構成する樹脂は、実質的
な軟化点が80℃以下であることが好ましい。軟化点が
80℃以下のアルカリ可溶性の熱可塑性樹脂としては、
エチレンとアクリル酸エステル共重合体のケン化物、ス
チレンと(メタ)アクリル酸エステル共重合体のケン化
物、ビニルトルエンと(メタ)アクリル酸エステル共重
合体のケン化物、ポリ(メタ)アクリル酸エステル、
(メタ)アクリル酸ブチルと酢酸ビニル等の(メタ)ア
クリル酸エステル共重合体などのケン化物、から少なく
とも1つ選ばれるのが好ましいが、さらに「プラスチッ
ク性能便覧」(日本プラスチック工業連盟、全日本プラ
スチック成形工業連合会編著、工業調査会発行、196
8年10月25日発行)による軟化点が約80℃以下の
有機高分子のうちアルカリ水溶液に可溶なものを使用す
ることができる。また軟化点が80℃以上の有機高分子
物質においてもその有機高分子物質中に該高分子物質と
相溶性のある各種の可塑剤を添加して実質的な軟化点を
80℃以下に下げることも可能である。また、これらの
有機高分子物質中に仮支持体との接着力を調節するため
に実質的な軟化点が80℃を越えない範囲で各種のポリ
マーや過冷却物質、密着改良剤あるいは界面活性剤、離
型剤、等を加えることが可能である。 【0023】好ましい可塑剤の例としては、ポリプロピ
レングリコール、ポリエチレングリコール、ジオクチル
フタレート、ジヘプチルフタレート、ジブチルフタレー
ト、トリクレジルフォスフェート、クレジルジフェニル
フォスフェートビフェニルジフェニルフォスフェートを
挙げることができる。 【0024】熱可塑性樹脂層の厚みは6μm以上が好ま
しい。この理由としては熱可塑性樹脂層の厚みが5μm
以下であると1μm以上の下地の凹凸を完全に吸収する
ことが不可能であるためである。上限については、現像
性、製造適性から約100μm以下、好ましくは約50
μm以下である。 【0025】中間層としては水またはアルカリ水溶液に
分散または溶解し、低い酸素透過性を示すものであれば
良く、公知のものが使用できる。例えば、特開昭46−
2121号や特公昭56−40824号の各明細書に記
載のポリビニルエーテル/無水マレイン酸重合体、カル
ボキシアルキルセルロースの水溶性塩、水溶性セルロー
スエーテル類、カルボキシアルキル澱粉の水溶性塩、ポ
リビニルアルコール、ポリビニルピロリドン、各種のポ
リアクリルアミド類、各種の水溶性ポリアミド、ポリア
クリル酸の水溶性塩、ゼラチン、エチレンオキサイド重
合体、各種の澱粉およびその類似物からなる群の水溶性
塩、スチレン/マレイン酸の共重合体、およびマレイネ
ート樹脂さらにこれらの2種以上の組み合わせが挙げら
れる。 【0026】特に好ましいのは、ポリビニルアルコール
とポリビニルピロリドンの組み合わせである。ポリビニ
ルアルコールは鹸化率が80%以上であるものが好まし
く、ポリビニルピロリドンの含有量は中間層固形分の1
重量%〜75重量%が好ましく、より好ましくは1重量
%〜60重量%、更に好ましくは10重量%〜50重量
%である。1重量%未満では、感光性樹脂層との十分な
密着が得られず、75重量%を越えると、酸素遮断能が
低下する。 【0027】中間層の厚みは非常に薄く、約0.1〜5
μm、特に0.5〜2μmである。約0.1μm未満だ
と酸素の透過性が高すぎ、約5μmを越えると、現像時
または中間層除去時に時間がかかりすぎる。 【0028】感光性樹脂層は少なくとも150℃以下で
軟化もしくは粘着性になることが好ましく、熱可塑性で
あることが好ましい。公知の光重合性組成物を用いた層
の大部分はこの性質を有するが、公知層の一部は、熱可
塑性結合剤の添加あるいは相溶性の可塑剤の添加によっ
て更に改質することができる。 【0029】本発明において、感光性樹脂層の素材とし
ては公知の、例えば特開平3−282404号公報第2
0頁、7行〜第32頁、10行に記載されている感光性
樹脂がすべて使用できる。具体的には、ネガ型ジアゾ樹
脂とバインダーかなる感光性樹脂層、光重合性組成物、
アジド化合物とバインダーとからなる感光性樹脂組成
物、桂皮酸型感光性樹脂組成物等が挙げられる。その中
でも特に好ましいのは光重合性樹脂である。その光重合
性樹脂は光重合開始剤、光重合性モノマーおよびバイン
ダーを基本構成要素として含む。 【0030】感光性樹脂組成物としては、アルカリ水溶
液により現像可能なものと、有機溶剤により現像可能な
ものが知られているが、公害防止、労働安全性の確保の
観点からアルカリ水溶液現像可能なものが好ましい。 【0031】感光性樹脂組成物層には更に、染料、顔料
を添加することができる。すべての顔料は感光性樹脂層
中に均一に分散されており、好ましくは5μm以下の粒
径、特に好ましくは1μm以下の粒径を有していなけれ
ばならない。カラーフィルターの作成に当たっては、
0.5μm以下の粒径のものが好ましい。 【0032】好ましい染料ないし顔料の例は次の通りで
ある。ビクトリア・ピュアーブルーBO(C.I.42
595)、オーラミン(C.I.41000)、ファッ
ト・ブラックHB(C.I.26150)、モノライト
・エローGT(C.I.ピグメントエロー12)、パー
マネント・エローGR(C.I.ピグメント・エロー1
7)、パーマネント・エローHR(C.I.ピグメント
・エロー83)、パーマネント・カーミンFBB(C.
I.ピグメント・レッド146)、ホスターバームレッ
ドESB(C.I.ピグメント・バイオレット19)、
パーマネント・ルビーFBH(C.I.ピグメント・レ
ッド11)ファステル・ピンクBスプラ(C.I.ピグ
メント・レッド81)モナストラル・ファースト・ブル
ー(C.I.ピグメント・ブルー15)、モノライト・
ファースト・ブラックB(C.I.ピグメント・ブラッ
ク1)及びカーボン。さらにカラーフィルターを形成す
るのに適当な顔料としては、C.I.ピグメント・レッ
ド97、C.I.ピグメント・レッド122、C.I.
ピグメント・レッド149、C.I.ピグメント・レッ
ド168、C.I.ピグメント・レッド177、C.
I.ピグメント・レッド180、C.I.ピグメント・
レッド192、C.I.ピグメント・レッド215、
C.I.ピグメント・グリーン7、C.I.ピグメント
・グリーン36、C.I.ピグメント・ブルー15:
1、C.I.ピグメント・ブルー15:4、C.I.ピ
グメント・ブルー15:6、C.I.ピグメント・ブル
ー22、C.I.ピグメント・ブルー60、C.I.ピ
グメント・ブルー64を挙げることができる。 【0033】感光性樹脂組成物層の上には、貯蔵の際の
汚染や損傷から保護するために薄い被覆シートを設ける
ことが好ましい。被覆シートは仮支持体と同じかまたは
類似の材料からなっても良いが、感光性樹脂組成物層か
ら容易に分離されねばならない。被覆シート材料として
は例えばシリコーン紙、ポリオレフィンもしくはポリテ
トラフルオルエチレンシートが適当である。被覆シート
の厚みは約5〜100μmであるのが好ましい。特に好
ましくは10〜30μm厚のポリエチレンまたはポリプ
ロピレンフィルムである。 【0034】本発明で使用する感光性転写材料は、仮支
持体上に熱可塑性樹脂層溶液を施し、乾燥することによ
り熱可塑性樹脂層を設け、その後熱可塑性樹脂層上に熱
可塑性樹脂層を溶解しない溶剤からなる中間層材料の溶
液を塗布し、乾燥し、その後感光性樹脂層を中間層を溶
解しない溶剤で塗布、乾燥して設ける。または別の被覆
シート上に感光性樹脂層を設けて、前記の仮支持体上に
熱可塑性樹脂層及び中間層を有するシートの両方のシー
トを中間層と感光性樹脂層が接するように相互に貼り合
わせることまたは、別の被覆シートとして、熱可塑性樹
脂層を有する仮支持体を用意し、この熱可塑性樹脂層
を、被覆シート上の感光性樹脂層及び中間層からなるシ
ートの中間層とを貼り合わせることにより有利に製造さ
れる。 【0035】ここで、永久支持体上に感光性転写材料の
感光性樹脂層を張り合わせた後で仮支持体を剥そうとす
ると、フイルムと人体が帯電して不快な電撃シヨツクを
受けることがあり、更に、この帯電のために周囲からゴ
ミを吸い寄せて引き続く露光工程で未露光部が生じ、ピ
ンホールの原因となることがある。帯電を防止するた
め、仮支持体の少なくとも一方の面に導電性層を設けて
その表面電気抵抗を1013Ω以下としたか、あるいは仮
支持体自体に導電性を付与してその表面電気抵抗を10
13Ω以下としたものを用いることが好ましい。 【0036】以下、本発明を実施例を用いて更に詳細に
説明するが、本発明はこれら実施例に限定されるもので
はない。 【0037】 【実施例】 実施例1 厚さ100μmのポリエチレンテレフタレートフィルム
仮支持体の上に下記の処方H1からなる塗布液を塗布、
乾燥させ、乾燥膜厚が20μmの熱可塑性樹脂層を設け
た。 熱可塑性樹脂層処方H1: ・メチルメタクリレート/2−エチルヘキシルアクリレート/ベンジル メタクリレート/メタクリル酸共重合体(共重合組成比(モル比) =55/28.8/11.7/4.5、重量平均分子量=90000) 15重量部 ・ポリプロピレングリコールジアクリレート(平均分子量=822) 6.5重量部 ・テトレエチレングリコールジメタクリレート 1.5重量部 ・p−トルエンスルホンアミド 0.5重量部 ・ベンゾフェノン 1.0重量部 ・メチルエチルケトン 30重量部 【0038】次に上記熱可塑性樹脂層上に下記処方B1
から成る塗布液を塗布、乾燥させ、乾燥膜厚が1.6μ
m厚の中間層を設けた。 中間層処方B1: ・ポリビニルアルコール(クラレ(株)製PVA205、鹸化率=80%) 130重量部 ・ポリビニルピロリドン(GAFコーポレーション社製PVP、K−90) 60重量部 ・弗素系界面活性剤(旭硝子(株)社製サーフロンS−131) 10重量部 ・蒸留水 3350重量部 【0039】上記熱可塑性樹脂層及び中間層を有する4
枚の仮支持体の上に、それぞれ表1の処方を有する、遮
光層用、赤色(R層用)、緑色(G層用)及び青色(B
層用)の4色の感光性溶液を塗布、乾燥させ、乾燥膜厚
が遮光層2μm、R、G、B層1μmの着色感光性樹脂
層を形成した。 【0040】 表1:着色感光層用塗布液の組成 赤 緑 青 黒 (g) (g) (g) (g) ──────────────────────────────────── ベンジルメタクリレート/ メタクリル酸共重合体 25.7 33.5 39.9 40.6 (モル比=72/28,分子量=30000) ──────────────────────────────────── ジペンタエリスリトールヘキサアクリ 27.0 25.2 31.9 30.5 レート(日本化薬製 DPHA) ──────────────────────────────────── F177P(大日本インキ製 フッ素 0.17 0.19 0.19 0.30 系界面活性剤) ──────────────────────────────────── 2,4−ビス(トリクロロメチル)− 6−〔4−(N,N−ジエトキシカル 1.31 0 1.52 1.47 ボニルメチル)−3−ブロモフェニル〕 −s−トリアジン(光重合開始剤) ──────────────────────────────────── 2−トリクロロメチル−5−(P−スチ リルスチリル)−1,3,4−オキサ 0 1.20 0 0 ジアゾール(光重合開始剤) ──────────────────────────────────── フェノチアジン 0.022 0.020 0.026 0.015 ──────────────────────────────────── クロモフタルレッドA2B 27.0 0 0 0 ──────────────────────────────────── パリオトールイエローLY−1820 9.3 7.98 0 0 ──────────────────────────────────── モナストラルグリーン6Y 0 31.92 0 0 ──────────────────────────────────── ヘリオーゲンブルーL6700F 0 0 25.6 0 ──────────────────────────────────── リオノーゲンバイオレットVRL 0 0 0.8 0 ──────────────────────────────────── カーボンブラック 0 0 0 27.1 ──────────────────────────────────── メトキシプロピレングリコール 310 310 310 310 ──────────────────────────────────── メチルエチルケトン 460 460 460 460 ──────────────────────────────────── 【0041】さらに上記感光性樹脂層の上にポリプロピ
レン(厚さ12μm)の被覆シートを圧着し、赤色、青
色、緑色および遮光性感光性転写材料を作成した。 【0042】この感光性転写材料を用いて、以下の方法
でカラーフィルターを作成した。遮光性感光性転写材料
の被覆シートを剥離し、感光性樹脂層面を透明ガラス基
板(厚さ1.1mm)にラミネーター(大成ラミネータ
(株)製VP−II)を用いて加圧(0.8kg/cm
2)、加熱(130℃)して貼り合わせ、続いて仮支持
体と熱可塑性樹脂層との界面で剥離し、仮支持体を除去
した。次に所定のフォトマスクを介して露光し、1%炭
酸ナトリウム水溶液で現像して不要部を除去し、ガラス
基板上に膜厚2.0μmで、光学濃度3.0の遮光性画
素パターンを形成した。その後、両面から1000mj/c
m2のエネルギーの紫外線露光を行った。さらに、350
℃のコンベクションオーブンで1時間加熱処理を行い、
その結果、膜厚1.0μmで、光学濃度3.0の遮光性
画像を得た。 【0043】次いで、遮光性画素パターンが形成された
ガラス基板上に、赤色感光性転写材料を上記と同様にし
て貼り合わせ、剥離、露光、現像を行ない、赤色画素パ
ターンを形成した。その後、赤色画素パターンを十分に
硬化させるために220℃のコンベクションオーブンで
20分間加熱処理を行った。同様な工程を緑色、青色感
光性転写材料で繰り返し、透明ガラス基板上にカラーフ
ィルターを形成した。これらの工程において、赤色感光
性転写材料の転写以後の工程で転写時に気泡のまきこみ
もなく、良好な転写性を示した。またMIM方式の液晶
表示装置を作成した場合、遮光性画素も含めたカラーフ
ィルター層が1μm以下なので電圧制御が容易であっ
た。 【0044】実施例2 実施例1においてR、G、B層の厚みを2μmとした以
外は実施例1と同様に行った。得られたカラーフィルタ
ーは赤色感光性転写材料の転写以後の工程で転写時に気
泡のまきこみもなく、良好な転写性を示し、白ぬけ欠陥
の無いカラーフィルターが得られた。 【0045】実施例3 実施例1の遮光層用感光性溶液を直接透明ガラス基板に
乾燥後の膜厚が2μmとなるように塗布し、所定のフォ
トマスクを介して露光し、1%炭酸ナトリウム水溶液で
現像して不要部を除去し、ガラス基板上に膜厚2.0μ
mで、光学濃度3.0の遮光性画素パターンを形成し
た。その後、両面から1000mj/cm2のエネルギーの紫
外線露光を行った。さらに、350℃のコンベクション
オーブンで1時間加熱処理を行い、その結果、膜厚1.
0μmで、光学濃度3.0の遮光性画像を得た。その
後、実施例1と同様にR、G、B画素を形成し、透明ガ
ラス基板上にカラーフィルターを形成した。これらの工
程において、赤色感光性転写材料の転写以後の工程で着
色感光性転写材料の転写時に気泡のまきこみもなく、良
好な転写性を示した。またMIM方式の液晶表示装置を
作成した場合、遮光性画素も含めたカラーフィルター層
が1μm以下なので電圧制御が容易であった。 【0046】実施例4 実施例1の遮光層用感光性溶液から光重合開始剤を除去
した処方の液を用い、印刷法で直接透明ガラス基板に乾
燥後の膜厚が2μmとなるようにパターン印刷し、ガラ
ス基板上に膜厚2.0μmで、光学濃度3.0の遮光性
画素パターンを形成した。その後、さらに、350℃の
コンベクションオーブンで1時間加熱処理を行い、その
結果、膜厚1.0μmで、光学濃度3.0の遮光性画像
を得た。その後、実施例1と同様にR、G、B画素を形
成し、透明ガラス基板上にカラーフィルターを形成し
た。これらの工程において、赤色感光性転写材料の転写
以後の工程で着色感光性転写材料の転写時に気泡のまき
こみもなく、良好な転写性を示した。またMIM方式の
液晶表示装置を作成した場合、遮光性画素も含めたカラ
ーフィルター層が1μm以下なので電圧制御が容易であ
った。 【0047】実施例5〜7 実施例1、3および4の遮光性画像形成後の基板上に、
実施例1のR層用の感光性溶液を直接遮光性画像の形成
された基板に乾燥後の膜厚が1μmとなるように塗布
し、露光、現像を行ない、赤色画素パターンを形成し
た。その後、赤色画素パターンを十分に硬化させるため
に220℃のコンベクションオーブンで20分間加熱処
理を行った。その後、実施例1のG、B層用感光性溶液
を同様に塗布−露光−現像−熱処理の工程を行い、透明
ガラス基板上にカラーフィルターを形成した。これらの
工程において、赤色感光性転写材料の転写以後の工程で
着色感光性溶液の塗布時に気泡のまきこみもなく、良好
な塗布性を示した。またMIM方式の液晶表示装置を作
成した場合、遮光性画素も含めたカラーフィルター層が
1μm以下なので電圧制御が容易であった。 【0048】実施例8〜10 実施例1、3および4の遮光性画像形成後の基板上に、
実施例1のR層用の感光性溶液から光重合開始剤を除去
した溶液を用い、遮光性画素の形成された基板に乾燥後
の膜厚が1μmとなるようにパターン印刷し、赤色画素
パターンを形成した。その後、赤色画素パターンを十分
に硬化させるために220℃のコンベクションオーブン
で20分間加熱処理を行った。その後、実施例1のG、
B層用感光性溶液から光重合開始剤を除去した溶液をを
同様にパターン印刷−熱処理の工程を行い、透明ガラス
基板上にカラーフィルターを形成した。これらの工程に
おいて、赤色感光性転写材料の転写以後の工程で着色溶
液の印刷時に気泡のまきこみもなく、良好な印刷性を示
した。またMIM方式の液晶表示装置を作成した場合、
遮光性画素も含めたカラーフィルター層が1μm以下な
ので電圧制御が容易であった。 【0049】実施例11 実施例1の遮光層用感光性溶液を以下の表2の様に代え
た処方を用いて、実施例1と同様な層構成の遮光性感光
性転写材料を作成した。この場合の遮光性感光性樹脂層
の乾燥膜厚は1.0μmとした。 【0050】 表2:着色感光層用塗布液の組成 ・ベンジルメタクリレート/メタクリル酸共重合体 30.6g (モル比=72/28,分子量=30000) ・ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート 20.5g (日本化薬製 DPHA) ・F177P(大日本インキ製 フッ素系界面活性剤) 0.30g ・2,4−ビス(トリクロロメチル)−6−〔4− 1.47g (N,N−ジエトキシカルボニルメチル)−3− ブロモフェニル〕−s−トリアジン(光重合開始剤) ・フェノチアジン 0.015g ・カーボンブラック 47.1g ・メトキシプロピレングリコール 310g ・メチルエチルケトン 460g 【0051】実施例1と同様に、露光−現像処理により
遮光性画像を形成した。この場合、パターン露光後の現
像時間は150秒と長いものの、得られた遮光性画像
は、膜厚1.0μm、光学濃度3.1を有していたの
で、実施例1で実施した350℃での熱処理は行う必要
が無かった。その後、実施例1と同様にカラーフィルタ
ーを作成したところ、得られたカラーフィルターは実施
例1と同様な結果が得られた。 【0052】実施例12 薄膜トランジスター回路(TFT)を形成した基板を用
いて、実施例1の遮光性感光性転写材料を用い、実施例
1と同じ工程でTFT基板上に遮光性画像を形成した。
得られた遮光性画像の厚みは1.0μmと薄いので、液
晶表示パネルにした場合に配向乱れは生じなかった。 【0053】比較例1〜9 実施例1、3〜10の遮光性画素パターンの熱処理を2
20℃1時間とした以外は実施例1、3および4と同様
に行った。その結果、上記熱処理では光学濃度は3.0
あるものの、厚みが1.5μmと厚く、続くR、G、B
画素の形成工程で気泡の混入による白ぬけ欠陥が発生し
た。また、MIM方式の液晶表示装置を作成した場合、
遮光性画素も含めたカラーフィルター層が1μm以上な
ので電圧制御が困難であった。 【0054】比較例10 実施例12において、遮光性画像の熱処理を220℃で
1時間行った以外は実施例12と同様に行った。その結
果、得られた遮光性画像の厚みは1.5μmと厚く、液
晶表示パネルにした場合に遮光性画像に起因する段差が
大きく、配向乱れが生じた。 【0055】 【発明の効果】本発明の遮光性画素を有する基板を用い
たカラーフィルターは、気泡の混入に起因する欠陥がな
く、更に、MIM方式の液晶表示装置を作成した場合、
遮光性画素も含めたカラーフィルター層が1μm以下な
ので電圧制御が容易である。
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION [0001] BACKGROUND OF THE INVENTION A light-shielding pixel according to the present invention is provided.
The transparent substrate is the color filter block used for the display device.
Used for rack matrices, especially color liquid crystal displays
Suitable for black matrix of color filters
Used for [0002] 2. Description of the Related Art Conventionally, when a color filter is created,
Between each pixel of red (R), green (G), blue (B)
The gap is filled with black matte for the purpose of improving display contrast, etc.
Rix is forming. As a method, such as chrome
Method of using metal film as black matrix and light shielding
There is a known method of using a photosensitive resin in which a conductive pigment or the like is dispersed.
Have been. When a metal film such as chromium is used, (1)
(2) Environmental problems due to high light reflectance and poor display quality
(E.g., treatment with an etchant, etc.)
Black matrix on transistor (TFT) substrate side
If it is formed, it has high conductivity,
There is a problem, black matrices using photosensitive resin compositions
Is attracting attention. [0004] However, a black ink using a photosensitive resin composition is used.
In a black matrix, a brass
Black matrix with the same density as the black matrix
In order to obtain the thickness, it is necessary to increase the film thickness, and as a result,
(1) R, G or B after black matrix formation
At the time of applying a pigment dispersion liquid or transferring using a transfer sheet.
Including bubbles, (2) Color fill like MIM method
If a transparent electrode is created between the
Pixels exist between electrodes, making voltage control difficult
(3) Form a black matrix on the TFT substrate side
In this case, the alignment of the liquid crystal is disturbed by the steps of the matrix.
This has caused problems. [0005] The first object of the present invention
Is a thin film, high-concentration shielding
Provided are an optical pixel and an optical filter having the same.
It is in. A second object of the present invention is to provide a photosensitive transfer sheet.
Color filter creation method by transfer method using
To form a black matrix first and then
To provide a method for forming pixels of R, G, B, etc.
You. [0006] SUMMARY OF THE INVENTION A first object of the present invention is to:
For example, (1) It consists of a coloring material containing resin composition,
1.25 μm or more and an optical density of 2.8 or more
Forming a light-sensitive pixel on a transparent substrate, (2) light-shielding property
A step of heat-treating the pixel.
Comprising a resin composition containing 1.25 μm or less,
And a method for forming a light-shielding pixel having an optical density of 2.8 or more.
Achieved by more formed light-shielding pixels. Of the present invention
The second object is (1) to provide a colorant-containing resin composition on a transparent substrate.
Having a thickness of 1.25 μm or less and an optical density
Forming a light-shielding pixel having a degree of 2.8 or more, (2)
One wavelength of the three primary colors of light is transmitted through a part of the transparent part of the transparent substrate.
Pixels composed of excessively or absorbing colorant-containing resin composition
To, Color material that transmits or absorbs one wavelength of the three primary colors of light
Using a transfer sheet having a photosensitive resin composition layer containing
Photo(3) forming a part of a transparent portion of the transparent substrate;
Transmits one wavelength of the three primary colors of light different from (2) or
Pixels made of absorbing colorant-containing resin composition, Three fields of light
A photosensitive tree containing a colorant that transmits or absorbs one wavelength of color
Transfer using a transfer sheet having a fat composition layerWork to form
After the step (1), the steps (2) and (3)
An optical filter characterized by performing the step (3).
Was achieved by the method of forming. Hereinafter, the present invention will be described in detail.
I will tell. (1) Light-shielding image The light-shielding pixel according to the present invention can be formed by a conventional photolithography method or an electric device.
It can be formed by a wearing method and a printing method. Especially
Use a photosensitive light-shielding resin composition in terms of turn accuracy and process simplicity.
The photolithography method used is preferred. In that case, at least
Also, Step of providing a photosensitive light-shielding resin composition layer on a transparent substrate
(Spinner, Wheeler, Roller Coater, Carte
Coater, knife coater, wire bar coater,
Apply with an extruder, etc., dry and light-shield
A coating method in which a light-sensitive resin layer is provided on a substrate, or on a temporary support
At least a light-shielding feeling provided with a light-shielding photosensitive resin composition layer
Use layer transfer method to transfer onto substrate using optical transfer material
Can be. Particularly, a layer transfer method is preferable in terms of the process. Concrete
Japanese Patent Application No. 2-400047 and Japanese Patent Application No. Hei.
3-9292, Japanese Patent Application No. 3-120223, Japanese Patent Application No. 3-1
53227, the transfer material described in Japanese Patent Application No. 4-64870.
Used. ), Pattern exposure, developing, As a result, a light-shielding pixel is formed. In addition, the light-shielding pixel
UV irradiation after development to prevent cracks and protrusions
May be performed. The photosensitive light-shielding resin composition used in the present invention
The product is at least (1) an alkali-soluble binder,
(2) photopolymerization initiator, (3) ethylenically unsaturated double bond
(4) at least one addition polymerizable monomer having
A light-shielding photosensitive resin composition having a coloring agent is preferred. The alkali-soluble vine used in the present invention
As a polymer, a polymer having a carboxylic acid group in a side chain,
For example, JP-A-59-44615, JP-B-54-34
No. 327, JP-B-58-12577, JP-B-54-2
No. 5957, JP-A-59-53836, JP-A-59-53836.
Methacrylic acid described in each of the publications of
Luic acid copolymer, acrylic acid copolymer, itaconic acid copolymer
Copolymer, crotonic acid copolymer, maleic acid copolymer,
There are stealized maleic acid copolymers, etc.
Cellulose derivatives having a boronic acid group are exemplified. this
Added cyclic acid anhydride to polymer with hydroxyl group
Things are also useful. Particularly preferably, US Pat.
Benzyl (meth) acrylate described in JP-A-391
And (meth) acrylic acid copolymers and benzyl (meth)
Of acrylate, (meth) acrylic acid and other monomers
And a base copolymer. The above are water-insoluble
Water-soluble polymer.
Livinylpyrrolidone, polyethylene oxide, polyvinyl
Alcohol and the like. [0010] In addition to the above, various performances, for example,
In order to improve strength, a range that does not adversely affect developability, etc.
In the box, an alkali-insoluble polymer can be added.
These polymers include alcohol-soluble nylon
Or an epoxy resin. Light shielding properties of binder
The solid content in the solid content of the photosensitive resin composition is 10 to 95.
%, More preferably 20-90% by weight. 1
If it is less than 0% by weight, the adhesiveness of the photosensitive resin layer is too high,
Exceeding the weight%, the intensity and light sensitivity of the image formed
Inferior. The photopolymerization initiator used in the present invention
Is disclosed in U.S. Pat. No. 2,367,660.
Vicinal polyketaldonyl compound, U.S. Pat. No. 2,448
No. 828, acyloin ether compound
, Α-carbonization described in U.S. Pat. No. 2,722,512.
Aromatic acyloin compounds substituted with hydrogen, U.S. Pat.
Nos. 3046127 and 2951758
Described polynuclear quinone compounds, US Pat. No. 3,549,367
Patent Application Publication Triarylimidazole dimer and p-a
Combination of minoketone, JP-B-51-48516
Described benzothiazole compound and trihalomethyl-s-
Triazine compounds disclosed in US Pat. No. 4,239,850.
Trihalomethyl-s-triazine compounds described
Which are described in U.S. Pat. No. 4,221,976.
Trihalomethyl oxadiazole compounds and the like.
You. Particularly preferably, trihalomethyl-s-triazine,
Trihalomethyloxadiazole, triarylimida
It is a sol dimer. Photopolymerizable composition of photopolymerization initiator
The solid content in the form is 0.5 to 20% by weight, more preferably.
Preferably it is 1 to 15% by weight. If it is less than 0.5% by weight
Light sensitivity and image intensity are low, and performance exceeds 20% by weight
No good effect is observed. The ethylenically unsaturated double used in the present invention
As an addition polymerizable monomer having a bond, a small amount
At least one addition-polymerizable ethylenically unsaturated group
A compound having a boiling point of 100 ° C. or higher at normal pressure. For example,
Polyethylene glycol mono (meth) acrylate, poly
Propylene glycol mono (meth) acrylate,
Monofunctional acrylic such as nonoxyethyl (meth) acrylate
Rate and monofunctional methacrylate. Polyethylene glycol
Luji (meth) acrylate, polypropylene glycol
Di (meth) acrylate, trimethylolethanetria
Acrylate, trimethylolpropane triacrylate
G, trimethylolpropane diacrylate, neopen
Tyl glycol di (meth) acrylate, pentaerythr
Litol tetra (meth) acrylate, pentaerythri
Tall tri (meth) acrylate, dipentaerythritol
Hexyl (meth) acrylate, dipentaerythritol
Penta (meth) acrylate, hexanediol di
(Meth) acrylate, trimethylolpropanetri
(Acryloyloxypropyl) ether, tri (ac
Liloyloxyethyl) isocyanurate, tri (ac
Liloyloxyethyl) cyanurate, glycerin tri
(Meth) acrylate, trimethylolpropane or grease
Polyfunctional alcohols such as serine are better than ethylene oxide
After addition reaction of pyrene oxide,
One that has been converted to JP-B-48-41708, JP-B-50
-6034 and JP-A-51-37193.
Urethane acrylates listed. JP-A-48-6
No. 4183, JP-B-49-43191, JP-B-52-
Polyester resin described in each publication of No. 30490
Of acrylates, epoxy resin and (meth) acrylic acid
Reaction products such as epoxy acrylates
Relate and methacrylate can be mentioned. Than
Preferably trimethylolpropane tri (meth) acryl
Rate, pentaerythritol tetra (meth) acryle
, Dipentaerythritol hexa (meth) acryle
, Dipentaerythritol penta (meth) acryle
Can be mentioned. Ethylenically unsaturated double bond
Light-shielding photosensitive resin composition of addition polymerizable monomer having
The solid content in the solid content is preferably 5 to 50% by weight.
Or 10 to 40% by weight. Less than 5% by weight
Degree and image intensity are low, and if it exceeds 50% by weight,
The adhesiveness of the fat layer becomes excessive, which is not preferable. At least one type of coloring used in the present invention
Red, green, blue, yellow, purple, magenta
Color, cyan, black pigments and / or dyes are used
However, preferred examples of these include carmine 6B
(CI. 12490), phthalocyanine green
(CI. 74260), phthalocyanine blue (C.I.
I. 74160), Mitsubishi Carbon Black MA-10
0, perylene black (BASF K0084, K00
86), cyanine black, # 1201 lionolye
Low (CI. 21090), Lionol Yellow GR
O (CI. 21090), Shimura-First Yellow
-8GF (CI. 21105), benzidine yellow
4T-564D (CI. 21095), Shimura-Fa
Ostred 4015 (CI. 12355), Riono
Red 7B4401 (CI. 15850),
-Stogen blue TGR-L (CI. 74160),
Lionol Blue SM (CI. 26150), Mitsubishi
Carbon Black MA-100, Mitsubishi Carbon Black #
40, Victoria Pure Blue (CI. 4259)
5), auramine O (CI.41000), carotene
Brilliant flavin (CI basic 13), b
-Damine 6GCP (CI. 45160), rhodamine
B (CI. 45170), Safranin OK 70:10
0 (C.I. 50240), Erioglaucine X (C.I.
I. 42080), First Black HB (CI.
26150), C.I. I. Pigment Red 97, C.I.
I. Pigment Red 122, C.I. I. Pigment
Red 149, C.I. I. Pigment Red 168,
C. I. Pigment Red 177, C.I. I. Pigmen
Tread 180, C.I. I. Pigment Red 19
2, C.I. I. Pigment Red 215, C.I. I. Pig
Men's Green 7, C.I. I. Pigment Green 3
6, C.I. I. Pigment Blue 15: 1, C.I. I. Pi
Pigment blue 15: 4, C.I. I. Pigment Bull
-15: 6, C.I. I. Pigment Blue 22, C.I.
I. Pigment Blue 60, C.I. I. Pigment B
Lou 64, C.I. I. Pigment Yellow 139, C.I.
I. Pigment yellow 83, C.I. I. Pigment Buy
Oret 23 and the like can be mentioned. In addition, metal powder,
White pigments, fluorescent pigments and the like are also used. These colorants
Or a mixture of two or more of
Used to Colorant light-shielding photosensitive resin composition solid
The solids content in the mixture is preferably 1 to 50% by weight.
New In addition to the above components, a thermal polymerization inhibitor is further added.
Is preferably added. Examples include hydroquino
, P-methoxyphenol, di-t-butyl-p-c
Resole, pyrogallol, t-butylcatechol, ben
Zoquinone, 4,4'-thiobis (3-methyl-6-t-
Butylphenol), 2,2'-methylenebis (4-meth
Tyl-6-t-butylphenol), 2-mercaptobe
Nsimidazole, phenothiazine and the like. Further, the composition used in the present invention is required.
Depending on the known additives, such as plasticizers, surfactants and the like
Can be added. The light-shielding photosensitive resin composition is formed from
The thickness of the light-shielding film is in the range of more than 1.25 μm and less than 8 μm.
Enclosure is preferable, and particularly preferably more than 1.25 μm and 4 μm
m or less. If it exceeds 8 μm, problems such as deterioration of developability may occur.
appear. Pixel thickness after development exceeds 1.25 μm
Therefore, heat treatment is performed after development, and the film thickness is 1.25 μm
The following steps are added. This heat treatment achieves the target film thickness
Although the conditions are more different, at least at a temperature of 280 ° C or higher
Heat treatment is required. If the heat treatment temperature is lower than 280 ℃
In this case, the effect of reducing the film thickness cannot be sufficiently obtained. The heat treatment process
Known people such as convection ovens and hot plates
Method, and heat treatment is performed in an inert gas atmosphere such as nitrogen gas.
You may go below. When the pixel thickness exceeds 1.25 μm
Is the R, G, B pigment content after the formation of the black matrix.
Bubbles are entrapped during liquid application and transfer of photosensitive transfer sheet
Problems such as white spots or color defects such as the MIM method
-When creating a transparent electrode between the filter and the substrate,
A light-shielding pixel exists between the electrodes,
A difficult problem arises. When the film thickness is 1.25 μm or less,
The light-shielding pixel having an optical density of 2.8 or more is
To be made by increasing the concentration of light-shielding pigments
Can be. However, prepared using a photosensitive light-shielding resin composition
In this case, the developability deteriorates and the development time becomes longer.
In some cases. Transmits at least one wavelength of the three primary colors of light
Or the three primary colors of light using a photosensitive coloring composition that absorbs
Pixels that transmit or absorb at least one wavelength
To achieve this, the conventional photolithography method, electrodeposition method, or
A printing method can be used. Especially for pattern accuracy,
Photographs using colorant-containing photosensitive resin compositions in terms of simplicity
Litho method is preferred. In that case, at least on the temporary support
Transfer material provided with a colorant-containing photosensitive resin composition layer
A layer transfer method of transferring the image onto a substrate by using is preferred. Transcription
Examples of the materials include JP-A-4-208940 and JP-A-5-208940.
-80503, JP-A-5-173320, JP-A-5-7
The transfer materials described in the examples of each of the publications 2724 and 2724 are cited.
You. Specifically, an alkali-soluble thermoplastic is placed on a temporary support.
Photosensitive with resin layer, intermediate layer and photosensitive resin layer in this order
The adhesion between the layers of the transfer material can be set arbitrarily. As the temporary support for the photosensitive transfer material, heat transfer
It has excellent releasability from the plastic resin layer, and has chemical and thermal properties.
Should be stable and flexible
Specifically, Teflon, polyethylene terephthalate
Sheet, polycarbonate, polyethylene, polypropylene
A thin sheet or a laminate thereof is preferred. Provisional
The thickness of the support is suitably from 5 μm to 300 μm.
More preferably, it is 20 μm to 150 μm. Depending on the transfer conditions of the photosensitive transfer material, the transfer
During copying, the thermoplastic resin protrudes into the surroundings and stains the permanent support.
May be dyed. To prevent this phenomenon,
Of these thermoplastic resins, those soluble in aqueous alkali solutions
Is preferred. If it can be dissolved in an alkaline aqueous solution,
Because it can be easily removed by later processing.
You. The resin constituting the thermoplastic resin layer is substantially
It is preferable that the softening point is 80 ° C. or less. Softening point
As an alkali-soluble thermoplastic resin of 80 ° C. or less,
Saponified ethylene and acrylate copolymers,
Saponification of Tylene and (meth) acrylate Copolymer
Product, vinyl toluene and (meth) acrylic acid ester
Saponified compound, poly (meth) acrylate,
Butyl (meth) acrylate and vinyl acetate
From saponified products such as acrylate copolymers
It is preferable that one is selected, but “Plastic
Performance Handbook ”(Japan Plastics Industry Federation, All Japan Plastic
Edited by the Stick Molding Industry Federation, published by the Industrial Research Council, 196
Softening point of about 80 ° C or less
Use organic polymers that are soluble in aqueous alkaline solutions
Can be Organic polymer having a softening point of 80 ° C or higher
Also in the substance, the organic polymer substance and the polymer substance
Adds various compatible plasticizers to increase the actual softening point
It is also possible to lower the temperature below 80 ° C. Also, these
To control the adhesive strength with temporary support in organic polymer
Various types of polyethers have a softening point not exceeding 80 ° C.
, Supercooled substances, adhesion improvers or surfactants,
It is possible to add a template, etc. Examples of preferred plasticizers include polypropylene
Len glycol, polyethylene glycol, dioctyl
Phthalate, diheptyl phthalate, dibutyl phthalate
G, tricresyl phosphate, cresyl diphenyl
Phosphate biphenyl diphenyl phosphate
Can be mentioned. The thickness of the thermoplastic resin layer is preferably 6 μm or more.
New This is because the thickness of the thermoplastic resin layer is 5 μm.
If it is less than 1 μm, the unevenness of the underlayer of 1 μm or more is completely absorbed
Because it is impossible. For the upper limit,
About 100 μm or less, preferably about 50
μm or less. As an intermediate layer, water or an aqueous alkali solution is used.
If it disperses or dissolves and shows low oxygen permeability
Well, known ones can be used. For example, JP-A-46-
No. 2121 and JP-B-56-40824.
Polyvinyl ether / maleic anhydride polymer
Water-soluble salt of boxyalkyl cellulose, water-soluble cellulose
Sugar ethers, water-soluble salts of carboxyalkyl starch,
Vinyl alcohol, polyvinylpyrrolidone, various
Liacrylamides, various water-soluble polyamides, polya
Water-soluble salt of crylic acid, gelatin, ethylene oxide
Water solubility of the group consisting of coalesced, various starches and their analogues
Salt, styrene / maleic acid copolymer, and maleine
And a combination of two or more of these.
It is. Particularly preferred is polyvinyl alcohol
And polyvinylpyrrolidone. Polyvinyl
It is preferable that the alcohol has a saponification rate of 80% or more.
The content of polyvinylpyrrolidone is 1% of the solid content of the intermediate layer.
% By weight to 75% by weight, more preferably 1% by weight.
% To 60% by weight, more preferably 10% to 50% by weight
%. If the content is less than 1% by weight, sufficient
If the adhesion cannot be obtained and the amount exceeds 75% by weight,
descend. The thickness of the intermediate layer is very thin, about 0.1 to 5
μm, especially 0.5 to 2 μm. Less than about 0.1μm
If the oxygen permeability is too high and exceeds 5 μm,
Or it takes too much time to remove the intermediate layer. The temperature of the photosensitive resin layer is at least 150 ° C.
Preferably softened or tacky, thermoplastic
Preferably, there is. Layer using known photopolymerizable composition
Most of these layers have this property, but some of the known layers
Addition of a plastic binder or a compatible plasticizer
Can be further modified. In the present invention, the material of the photosensitive resin layer is
For example, Japanese Patent Laid-Open No. 3-282404, No. 2
Photosensitivity described on page 0, line 7 to page 32, line 10
All resins can be used. Specifically, a negative-type diazo tree
Photosensitive resin layer composed of fat and binder, photopolymerizable composition,
Photosensitive resin composition consisting of azide compound and binder
And a cinnamic acid-type photosensitive resin composition. Among them
However, particularly preferred is a photopolymerizable resin. Its photopolymerization
Resins are photopolymerization initiators, photopolymerizable monomers and binders.
And a basic component. As the photosensitive resin composition, an aqueous alkali solution is used.
Developable with liquid and Developable with organic solvent
Are known, but pollution prevention and occupational safety
From the viewpoint, those which can be developed with an aqueous alkali solution are preferable. The photosensitive resin composition layer further contains a dye and a pigment.
Can be added. All pigments are photosensitive resin layer
Particles that are uniformly dispersed in
Diameter, particularly preferably not more than 1 μm
Must. When creating a color filter,
Those having a particle size of 0.5 μm or less are preferred. Examples of preferred dyes or pigments are as follows:
is there. Victoria Pure Blue BO (CI.42
595), auramine (CI.41000),
To Black HB (CI. 26150), Monolight
-Yellow GT (CI Pigment Yellow 12), par
Monant Yellow GR (CI Pigment Yellow 1
7), permanent yellow HR (CI pigment)
-Yellow 83), permanent carmine FBB (C.
I. Pigment Red 146), Hoster Bamurette
ESB (CI Pigment Violet 19),
Permanent Ruby FBH (C.I.
11) Fastel Pink B Supra (CI Pig)
Mento Red 81) Monastral First Bull
-(CI Pigment Blue 15), Monolight
First Black B (CI Pigment Black
1) and carbon. Further form color filters
Pigments suitable for use include C.I. I. Pigment Red
De 97, C.I. I. Pigment Red 122, C.I. I.
Pigment Red 149, C.I. I. Pigment Red
C. 168, C.I. I. Pigment Red 177, C.I.
I. Pigment Red 180, C.I. I. Pigment
Red 192, C.I. I. Pigment Red 215,
C. I. Pigment Green 7, C.I. I. Pigment
・ Green 36, C.I. I. Pigment Blue 15:
1, C.I. I. Pigment Blue 15: 4, C.I. I. Pi
Pigment blue 15: 6, C.I. I. Pigment Bull
-22, C.I. I. Pigment Blue 60, C.I. I. Pi
Gment Blue 64. [0033] On the photosensitive resin composition layer,
Provide a thin covering sheet to protect from contamination and damage
Is preferred. The covering sheet is the same as the temporary support or
It may be made of a similar material, but the photosensitive resin composition layer
Must be easily separated. As covering sheet material
For example, silicone paper, polyolefin or polyethylene
Trafluoroethylene sheets are suitable. Cover sheet
Is preferably about 5 to 100 μm. Especially good
Preferably 10 to 30 μm thick polyethylene or polyp
It is a propylene film. The photosensitive transfer material used in the present invention is a temporary support.
Apply the thermoplastic resin layer solution on the support and dry it.
A thermoplastic resin layer, and then apply heat on the thermoplastic resin layer.
Dissolution of interlayer material consisting of solvent that does not dissolve the plastic resin layer
Apply the solution, dry it, and then dissolve the photosensitive resin layer into the intermediate layer.
Apply and dry with a solvent that does not dissolve. Or another coating
Provide a photosensitive resin layer on the sheet, and on the temporary support
The sheet of both the thermoplastic resin layer and the sheet with the intermediate layer
Paste each other so that the intermediate layer and the photosensitive resin layer are in contact with each other.
Or as a separate covering sheet
A temporary support having a resin layer is prepared, and the thermoplastic resin layer is prepared.
With the photosensitive resin layer and the intermediate layer on the cover sheet.
Advantageously manufactured by laminating the intermediate layer of
It is. Here, a photosensitive transfer material is placed on a permanent support.
Attempt to peel temporary support after laminating photosensitive resin layer
Then, the film and the human body become charged, causing an unpleasant electric shock
May be received, and because of this charging,
In the subsequent exposure process, unexposed areas occur,
May cause holes. To prevent electrification
To provide a conductive layer on at least one surface of the temporary support.
The surface electric resistance is set to 1013Ω or less, or
The support itself is given conductivity and its surface electric resistance is reduced to 10
It is preferable to use one having a resistance of 13Ω or less. Hereinafter, the present invention will be described in more detail with reference to Examples.
Although described, the present invention is limited to these examples.
There is no. [0037] 【Example】 Example 1 100 μm thick polyethylene terephthalate film
A coating solution having the following formulation H1 is applied on the temporary support,
After drying, provide a thermoplastic resin layer with a dry film thickness of 20 μm.
Was. Thermoplastic resin layer formulation H1: ・ Methyl methacrylate / 2-ethylhexyl acrylate / benzyl       Methacrylate / methacrylic acid copolymer (copolymer composition ratio (molar ratio)       = 55 / 28.8 / 11.7 / 4.5, weight average molecular weight = 90000)                                                             15 parts by weight ・ Polypropylene glycol diacrylate (average molecular weight = 822)                                                           6.5 parts by weight ・ 1.5 parts by weight of tetraethylene glycol dimethacrylate ・ 0.5 parts by weight of p-toluenesulfonamide ・ Benzophenone 1.0 parts by weight ・ 30 parts by weight of methyl ethyl ketone Next, the following formulation B1 was placed on the thermoplastic resin layer.
And dried to a dry film thickness of 1.6 μm.
An intermediate layer having a thickness of m was provided. Intermediate layer formulation B1: ・ Polyvinyl alcohol (PVA205 manufactured by Kuraray Co., Ltd., saponification rate = 80%)                                                           130 parts by weight ・ Polyvinylpyrrolidone (PVP, K-90, manufactured by GAF Corporation)                                                             60 parts by weight ・ 10 parts by weight of fluorine-based surfactant (Surflon S-131 manufactured by Asahi Glass Co., Ltd.) ・ Distilled water 3350 parts by weight 4 having the thermoplastic resin layer and the intermediate layer
On a temporary support, each having the formulation of Table 1
For optical layer, red (for R layer), green (for G layer) and blue (for B layer)
4 layers of the photosensitive solution), dried and dried.
Is a colored photosensitive resin having a light-shielding layer of 2 μm and R, G, and B layers of 1 μm.
A layer was formed. [0040]                         Table 1: Composition of coating solution for colored photosensitive layer                                         Red green blue black                                       (G) (g) (g) (g) ──────────────────────────────────── Benzyl methacrylate /   Methacrylic acid copolymer 25.7 33.5 39.9 40.6   (Molar ratio = 72/28, molecular weight = 30,000) ──────────────────────────────────── Dipentaerythritol hexaacry 27.0 25.2 31.9 30.5   Rate (DPHA made by Nippon Kayaku) ──────────────────────────────────── F177P (Dainippon Ink Fluorine 0.17 0.19 0.19 0.30   Surfactant) ──────────────────────────────────── 2,4-bis (trichloromethyl)-   6- [4- (N, N-diethoxycal 1.31 0 1.52 1.47   Bonylmethyl) -3-bromophenyl]   -S-triazine (photopolymerization initiator) ──────────────────────────────────── 2-trichloromethyl-5- (P-styrene   Rylstyryl) -1,3,4-oxa 0 1.20 0 0   Diazole (photopolymerization initiator) ──────────────────────────────────── Phenothiazine 0.022 0.020 0.026 0.015 ──────────────────────────────────── Chromophthal Red A2B 27.0 0 0 0 ──────────────────────────────────── Paliotor Yellow LY-1820 9.3 7.98 0 0 ──────────────────────────────────── Monastral Green 6Y 0 31.92 0 0 ──────────────────────────────────── Heliogen Blue L6700F 0 0 25.6 0 ──────────────────────────────────── Lionogen Violet VRL 0 0 0.8 0 ──────────────────────────────────── Carbon black 0 0 0 27.1 ──────────────────────────────────── Methoxy propylene glycol 310 310 310 310 ──────────────────────────────────── Methyl ethyl ketone 460 460 460 460 ──────────────────────────────────── Further, a polypropylene is formed on the photosensitive resin layer.
Crimping a ren (12 μm thick) coated sheet, red and blue
A color, green and light-shielding photosensitive transfer material was prepared. Using this photosensitive transfer material, the following method
Created a color filter. Light-shielding photosensitive transfer material
The cover sheet is peeled off, and the photosensitive resin layer surface is
Laminator (Taisei Laminator)
Pressure (0.8 kg / cm) using VP-II
Two), Heating (130 ° C) and bonding, then temporary support
At the interface between the body and the thermoplastic resin layer, removing the temporary support
did. Next, it is exposed through a predetermined photomask,
Develop with an aqueous solution of sodium acid to remove unnecessary parts,
A light-shielding image with a film thickness of 2.0 μm and an optical density of 3.0 on the substrate
An elementary pattern was formed. After that, 1000mj / c from both sides
mTwoExposure to UV light was performed. In addition, 350
1 hour heat treatment in a convection oven at ℃
As a result, a light-shielding property with a film thickness of 1.0 μm and an optical density of 3.0 was obtained.
Image obtained. Next, a light-shielding pixel pattern was formed.
On a glass substrate, apply a red photosensitive transfer material
, Peeling, exposing, and developing.
Formed a turn. After that, the red pixel pattern
In a convection oven at 220 ° C to cure
Heat treatment was performed for 20 minutes. Similar process with green and blue feeling
Repeat with optical transfer material and color
A filter was formed. In these steps, red light
Bubbles during transfer in the process after the transfer of conductive transfer material
No good transferability was exhibited. MIM liquid crystal
When a display device is created, color filters including light-shielding pixels
Since the filter layer is 1 μm or less, voltage control is easy.
Was. Embodiment 2 In Example 1, the thickness of the R, G, and B layers was changed to 2 μm.
The other steps were the same as in Example 1. Color filter obtained
気 indicates a vacuum during transfer in a process after transfer of the red photosensitive transfer material.
No transfer of bubbles, good transferability, whitening defects
A color filter having no color was obtained. Embodiment 3 The photosensitive solution for a light-shielding layer of Example 1 was directly applied to a transparent glass substrate.
It is applied so that the film thickness after drying becomes 2 μm,
Exposure through a mask and 1% aqueous solution of sodium carbonate
Developing to remove unnecessary parts, 2.0 μm thick on glass substrate
m to form a light-shielding pixel pattern having an optical density of 3.0
Was. After that, 1000mj / cm from both sidesTwoEnergy of purple
External light exposure was performed. In addition, convection at 350 ° C
A heat treatment was performed in an oven for 1 hour.
At 0 μm, a light-shielding image having an optical density of 3.0 was obtained. That
Thereafter, R, G, and B pixels are formed in the same manner as in the first embodiment, and the transparent pixel is formed.
A color filter was formed on a lath substrate. These engineering
In the process after the transfer of the red photosensitive transfer material.
No bubbles in the transfer of color photosensitive transfer material, good
Good transcription properties were shown. In addition, MIM type liquid crystal display device
If created, color filter layer including light-shielding pixels
Was 1 μm or less, so that voltage control was easy. Embodiment 4 Photopolymerization initiator was removed from the photosensitive solution for a light-shielding layer in Example 1.
Using the liquid with the prescribed formulation, dry directly on a transparent glass substrate by printing.
Print the pattern so that the film thickness after drying becomes 2 μm.
2.0 μm thick and optical density of 3.0 on a substrate
A pixel pattern was formed. Thereafter, at 350 ° C.
Perform heat treatment for one hour in a convection oven.
As a result, a light-shielding image having a film thickness of 1.0 μm and an optical density of 3.0 was obtained.
I got Then, the R, G, and B pixels are formed as in the first embodiment.
To form a color filter on a transparent glass substrate.
Was. In these steps, the transfer of the red photosensitive transfer material
Bubble during transfer of colored photosensitive transfer material in subsequent steps
It showed good transferability without any bleeding. In addition, the MIM method
When a liquid crystal display device is created, color
-Voltage control is easy because the filter layer is 1 μm or less.
Was. Examples 5 to 7 On the substrate after forming the light-shielding image of Examples 1, 3 and 4,
Forming a light-shielding image directly with the photosensitive solution for the R layer of Example 1
Coated so that the film thickness after drying becomes 1 μm on the dried substrate
Exposure and development to form a red pixel pattern.
Was. Then, to fully cure the red pixel pattern
In a convection oven at 220 ° C for 20 minutes.
Was done. Then, the photosensitive solution for the G and B layers of Example 1
In the same manner, the coating-exposure-development-
A color filter was formed on a glass substrate. these
In the process, in the process after the transfer of the red photosensitive transfer material,
Good without air bubbles when applying colored photosensitive solution
It showed excellent applicability. In addition, a MIM type liquid crystal display device was created.
When formed, the color filter layer including the light-shielding pixels
Since it was 1 μm or less, voltage control was easy. Examples 8 to 10 On the substrate after forming the light-shielding image of Examples 1, 3 and 4,
Removal of photopolymerization initiator from photosensitive solution for R layer in Example 1
After drying on the substrate on which the light-shielding pixels are formed,
The pattern is printed so that the film thickness of
A pattern was formed. After that, the red pixel pattern
Convection oven at 220 ° C to cure
For 20 minutes. Then, G of Example 1
The solution obtained by removing the photopolymerization initiator from the photosensitive solution for layer B is
Perform the pattern printing-heat treatment process in the same way
A color filter was formed on the substrate. In these steps
In the process after the transfer of the red photosensitive transfer material,
Shows good printability with no bubbles during liquid printing
did. When a MIM type liquid crystal display device is created,
The color filter layer including the light-shielding pixel is 1 μm or less.
Therefore, voltage control was easy. Embodiment 11 The photosensitive solution for the light-shielding layer in Example 1 was changed as shown in Table 2 below.
A light-shielding photosensitive composition having the same layer structure as that of Example 1
A transfer material was prepared. Light-shielding photosensitive resin layer in this case
Had a dry film thickness of 1.0 μm. [0050]                         Table 2: Composition of coating solution for colored photosensitive layer ・ Benzyl methacrylate / methacrylic acid copolymer 30.6 g     (Molar ratio = 72/28, molecular weight = 30,000) ・ Dipentaerythritol hexaacrylate 20.5g     (DPHA manufactured by Nippon Kayaku) ・ F177P (fluorinated surfactant manufactured by Dainippon Ink) 0.30 g -2,4-bis (trichloromethyl) -6- [4-1.47 g     (N, N-diethoxycarbonylmethyl) -3-     Bromophenyl] -s-triazine (photopolymerization initiator) ・ Phenothiazine 0.015g ・ Carbon black 47.1g ・ 310 g of methoxypropylene glycol ・ 460 g of methyl ethyl ketone In the same manner as in Example 1, the exposure-development process
A light-shielding image was formed. In this case, the current
Although the image time is as long as 150 seconds, the obtained light-shielding image
Had a film thickness of 1.0 μm and an optical density of 3.1.
Therefore, the heat treatment at 350 ° C. performed in Example 1 needs to be performed.
There was no. After that, the color filter is used in the same manner as in the first embodiment.
After creating a color filter, the obtained color filter was implemented
The same result as in Example 1 was obtained. Embodiment 12 Uses a substrate on which a thin film transistor circuit (TFT) is formed
And the light-shielding photosensitive transfer material of Example 1 was used.
A light-shielding image was formed on the TFT substrate in the same process as in step 1.
Since the thickness of the obtained light-shielding image is as thin as 1.0 μm,
In the case of a crystal display panel, no alignment disorder occurred. Comparative Examples 1 to 9 The heat treatment of the light-shielding pixel patterns of Examples 1 and 3 to 10
Same as Examples 1, 3 and 4 except that the temperature was 20 ° C. for 1 hour
I went to. As a result, the optical density was 3.0 in the heat treatment.
Despite this, the thickness is as thick as 1.5 μm, followed by R, G, B
In the pixel formation process, white defects occur due to the inclusion of bubbles.
Was. When a MIM type liquid crystal display device is created,
The color filter layer including the light-shielding pixel is 1 μm or more.
Therefore, voltage control was difficult. Comparative Example 10 In Example 12, the heat treatment of the light-shielding image was performed at 220 ° C.
The procedure was performed in the same manner as in Example 12 except that the procedure was performed for 1 hour. The result
As a result, the thickness of the obtained light-shielding image was as thick as 1.5 μm,
When a crystal display panel is used, the step caused by the light-shielding image
It was large and disordered alignment occurred. [0055] According to the present invention, a substrate having light-shielding pixels according to the present invention is used.
Color filters have no defects due to air bubbles.
In addition, when a MIM type liquid crystal display device is created,
The color filter layer including the light-shielding pixel is 1 μm or less.
Therefore, voltage control is easy.

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 特開 平8−5829(JP,A) 特開 平2−239204(JP,A) 特開 平5−264985(JP,A) 特開 平7−34031(JP,A) 特開 昭58−49941(JP,A) 特開 昭58−137830(JP,A) (58)調査した分野(Int.Cl.7,DB名) G03F 7/00 - 7/42 G02B 5/20 101 ────────────────────────────────────────────────── ─── Continuation of the front page (56) References JP-A-8-5829 (JP, A) JP-A-2-239204 (JP, A) JP-A-5-264985 (JP, A) JP-A-7- 34031 (JP, A) JP-A-58-49941 (JP, A) JP-A-58-137830 (JP, A) (58) Fields investigated (Int. Cl. 7 , DB name) G03F 7/ 00-7 / 42 G02B 5/20 101

Claims (1)

(57)【特許請求の範囲】 【請求項1】 (1)透明基板上に、色材含有樹脂組成
物からなり、膜厚が1.25μm以下で、かつ、光学濃
度が2.8以上の遮光性画素を形成する工程、(2)該
透明基板の透明部分の一部に光の3原色の一の波長を透
過もしくは吸収する色材含有樹脂組成物からなる画素
、光の3原色の一の波長を透過もしくは吸収する色材
含有感光性樹脂組成物層を有する転写シートを用いて転
形成する工程、(3)該透明基板の透明部分の一部に
(2)とは異なる光の3原色の一の波長を透過もしくは
吸収する色材含有樹脂組成物からなる画素を、光の3原
色の一の波長を透過もしくは吸収する色材含有感光性樹
脂組成物層を有する転写シートを用いて転写形成する工
程、を含み、前記(1)の工程の後、前記(2)及び
(3)の工程を行なうことを特徴とする光学フィルター
の形成方法。
(1) Claims: (1) On a transparent substrate, a colorant-containing resin composition having a film thickness of 1.25 μm or less and an optical density of 2.8 or more. (2) forming a pixel made of a colorant-containing resin composition that transmits or absorbs one wavelength of the three primary colors on a part of the transparent portion of the transparent substrate ; Color material that transmits or absorbs one wavelength
Using a transfer sheet having a photosensitive resin composition layer containing
To copy forming step, (3) a part of the transparent portion of the transparent substrate a pixel composed of a coloring material-containing resin composition which transmits or absorbs one wavelength of the three primary colors of different light and (2), light 3 fields
A photosensitive tree containing a colorant that transmits or absorbs one wavelength of color
A method of forming a transfer using a transfer sheet having a fat composition layer , wherein the steps (2) and (3) are performed after the step (1). .
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