JP3402354B2 - 差圧測定装置 - Google Patents
差圧測定装置Info
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- JP3402354B2 JP3402354B2 JP29977097A JP29977097A JP3402354B2 JP 3402354 B2 JP3402354 B2 JP 3402354B2 JP 29977097 A JP29977097 A JP 29977097A JP 29977097 A JP29977097 A JP 29977097A JP 3402354 B2 JP3402354 B2 JP 3402354B2
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- Japan
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- seal
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Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、フランジ取付形或
いはダイアフラムシール形差圧測定装置の接液部分の改
良に関するもので、耐食性と耐力性のある差圧測定装置
に関するものである。
いはダイアフラムシール形差圧測定装置の接液部分の改
良に関するもので、耐食性と耐力性のある差圧測定装置
に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】図５は、従来より一般に「ダイアフラム
突出形ダイアフラムシール付きの差圧計」として使用さ
れている従来例の構成説明図で、タンクに取付けられた
例を示す。図６は図５の要部詳細説明図である。
突出形ダイアフラムシール付きの差圧計」として使用さ
れている従来例の構成説明図で、タンクに取付けられた
例を示す。図６は図５の要部詳細説明図である。
【０００３】図において、 差圧測定装置本体１は、本
体カプセル２と、本体カプセル２を覆うカバー３とより
なる、差圧測定装置の本体部分である。本体カプセル２
は、この場合は、静電容量検出型が使用されている。
体カプセル２と、本体カプセル２を覆うカバー３とより
なる、差圧測定装置の本体部分である。本体カプセル２
は、この場合は、静電容量検出型が使用されている。
【０００４】高圧側のキャピラリーチューブ４は，高圧
側のカバー３に、一端が接続されたチューブである。こ
の場合は、可撓性のキャピラリーチューブが使用されて
いる。
側のカバー３に、一端が接続されたチューブである。こ
の場合は、可撓性のキャピラリーチューブが使用されて
いる。
【０００５】高圧側のダイアフラムシールユニット５
は、高圧側のキャピラリーチューブ４の他端に接続され
たダイアフラムシールユニットである。高圧側のダイア
フラムシールユニット５は、フランジ５１と本体ブロッ
ク５２とシールダイアフラム５３とを有する。
は、高圧側のキャピラリーチューブ４の他端に接続され
たダイアフラムシールユニットである。高圧側のダイア
フラムシールユニット５は、フランジ５１と本体ブロッ
ク５２とシールダイアフラム５３とを有する。
【０００６】高圧側のダイアフラムシールユニット５
は、図６に示す如く、タンク本体Ａの取付け孔Ｂに設け
られたフランジＣに、ガスケットＤを介してフランジ５
１部分が取付けられる。フランジ５１は、フランジＣと
フランジＥとの間に挟み込まれ、ボルトＦとナットＧと
により固定される。
は、図６に示す如く、タンク本体Ａの取付け孔Ｂに設け
られたフランジＣに、ガスケットＤを介してフランジ５
１部分が取付けられる。フランジ５１は、フランジＣと
フランジＥとの間に挟み込まれ、ボルトＦとナットＧと
により固定される。
【０００７】封入液６は、ダイアフラムシールユニット
５と高圧側のキャピラリーチューブ４と高圧側のカバー
３内に封入された封入液である。この場合は、シリコン
オイルが使用されている。
５と高圧側のキャピラリーチューブ４と高圧側のカバー
３内に封入された封入液である。この場合は、シリコン
オイルが使用されている。
【０００８】低圧側のキャピラリーチューブ７は、低圧
側側のカバー３に、一端が接続されたチューブである。
この場合は、可撓性のキャピラリーチューブが使用され
ている。低圧側のダイアフラムシールユニット８は、低
圧側のキャピラリーチューブ７の他端に接続されたダイ
アフラムシールユニットである。
側側のカバー３に、一端が接続されたチューブである。
この場合は、可撓性のキャピラリーチューブが使用され
ている。低圧側のダイアフラムシールユニット８は、低
圧側のキャピラリーチューブ７の他端に接続されたダイ
アフラムシールユニットである。
【０００９】低圧側のダイアフラムシールユニット８
は、フランジ８１と本体ブロック８２とシールダイアフ
ラム８３とを有する。
は、フランジ８１と本体ブロック８２とシールダイアフ
ラム８３とを有する。
【００１０】低圧側のダイアフラムシールユニット５
は、図６に示す如く、タンク本体Ａの取付け孔Ｂに設け
られたフランジＣに、ガスケットＤを介してフランジ８
１が取付けられる。フランジ８１は、フランジＣとフラ
ンジＥとの間に挟み込まれ、ボルトＦとナットＧとによ
り固定される。
は、図６に示す如く、タンク本体Ａの取付け孔Ｂに設け
られたフランジＣに、ガスケットＤを介してフランジ８
１が取付けられる。フランジ８１は、フランジＣとフラ
ンジＥとの間に挟み込まれ、ボルトＦとナットＧとによ
り固定される。
【００１１】封入液９は、ダイアフラムシールユニット
８と低圧側のキャピラリーチューブ９と低圧側のカバー
３内に封入された封入液である。この場合は、シリコン
オイルが使用されている。変換器部１１は、本体カプセ
ル２に取付られた変換器である。
８と低圧側のキャピラリーチューブ９と低圧側のカバー
３内に封入された封入液である。この場合は、シリコン
オイルが使用されている。変換器部１１は、本体カプセ
ル２に取付られた変換器である。
【００１２】以上の構成において、腐蝕性の測定流体に
対しては、ダイアフラムシールユニット５，８の測定流
体との接液部分には、タンタル材で保護する必要がある
場合が発生する。
対しては、ダイアフラムシールユニット５，８の測定流
体との接液部分には、タンタル材で保護する必要がある
場合が発生する。
【００１３】図７は、溶接を利用して、接液部分をタン
タル材で保護した従来例の要部構成説明図である。図に
おいて、本体ブロック５２，８２の底面に、タンタル材
のシールリング１２を介して、タンタル材のシールダイ
アフラム１３を溶接する。
タル材で保護した従来例の要部構成説明図である。図に
おいて、本体ブロック５２，８２の底面に、タンタル材
のシールリング１２を介して、タンタル材のシールダイ
アフラム１３を溶接する。
【００１４】被覆１４は、この場合は、板厚０．１ｍｍ
のタンタルのシートを、本体ブロック５２，８２の外側
面とフランジ５１，８１の接液面とが露出しないように
覆って、電子ビーム溶接等により全面にわたって被せた
ものである。
のタンタルのシートを、本体ブロック５２，８２の外側
面とフランジ５１，８１の接液面とが露出しないように
覆って、電子ビーム溶接等により全面にわたって被せた
ものである。
【００１５】しかしながら、この様な装置においては、
（１）本体ブロック５２，８２の外側面とフランジ５
１，８１の接液面とに、タンタルのシートを溶接する。
１，８１の接液面とに、タンタルのシートを溶接する。
【００１６】このため、溶接部分では、タンタル材の被
覆１３と、本体ブロック５２，８２、あるいはフランジ
５１，８１の母材とが、溶接により混ざり合い、本体ブ
ロック５２，８２、あるいはフランジ５１，８１の母材
が、表面に露出するおそれがある。このため、母材の腐
蝕が発生し易い欠点がある。
覆１３と、本体ブロック５２，８２、あるいはフランジ
５１，８１の母材とが、溶接により混ざり合い、本体ブ
ロック５２，８２、あるいはフランジ５１，８１の母材
が、表面に露出するおそれがある。このため、母材の腐
蝕が発生し易い欠点がある。
【００１７】（２）容積の大きな本体ブロック５２，８
２やフランジ５１，８１と、本質的に溶接の困難なタン
タル材の、而も、容量の小さい薄いシートとの溶接に
は、長時間を要する欠点がある。
２やフランジ５１，８１と、本質的に溶接の困難なタン
タル材の、而も、容量の小さい薄いシートとの溶接に
は、長時間を要する欠点がある。
【００１８】図８は、溶射を利用して、接液部分をタン
タル材で保護した従来例の要部構成説明図である。図に
おいて、本体ブロック５２，８２の底面に、タンタル材
のシールリング１２を介して、タンタル材のシールダイ
アフラム１３を溶接する。
タル材で保護した従来例の要部構成説明図である。図に
おいて、本体ブロック５２，８２の底面に、タンタル材
のシールリング１２を介して、タンタル材のシールダイ
アフラム１３を溶接する。
【００１９】溶射膜１５は、この場合は、膜厚０．５ｍ
ｍのタンタルの溶射膜を、本体ブロック５２，８２の外
側面とフランジ５１，８１の接液面とが露出しないよう
に覆って、溶射付着させたものである。
ｍのタンタルの溶射膜を、本体ブロック５２，８２の外
側面とフランジ５１，８１の接液面とが露出しないよう
に覆って、溶射付着させたものである。
【００２０】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、この様
な装置においては、 （１）溶射膜１５には、ピンホールが発生し易く、ピン
ホールを埋めるために、タンタルの溶射膜１５の上に、
更に、セラミックスを溶射する必要が生ずる場合が多い
欠点を有する。
な装置においては、 （１）溶射膜１５には、ピンホールが発生し易く、ピン
ホールを埋めるために、タンタルの溶射膜１５の上に、
更に、セラミックスを溶射する必要が生ずる場合が多い
欠点を有する。
【００２１】（２）溶射の温度は、高いため、シールダ
イアフラム１３に熱が加わらないようにするために、冷
却装置が必要となる欠点を有する。
イアフラム１３に熱が加わらないようにするために、冷
却装置が必要となる欠点を有する。
【００２２】本発明は、この問題点を解決するものであ
る。本発明の目的は、耐食性と耐力性のある差圧測定装
置を提供するにある。
る。本発明の目的は、耐食性と耐力性のある差圧測定装
置を提供するにある。
【００２３】
【課題を解決するための手段】この目的を達成するため
に、本発明は、 （１）凸状をなす突出型ダイアフラムユニット本体と、
前記凸部の一面にタンタル材よりなるシールリングを介
して設けられ測定流体の圧力を受圧するタンタル材より
なるシールダイアフラムとを備えるシールダイアフラム
突出型ダイアフラムユニットを具備する差圧測定装置に
おいて、外側底面が前記シールダイアフラム取付面とな
る断面コの字状の本体ブロックと、この本体ブロックの
開口部に内径部分が接続されたドーナツ盤状のつば部
と、前記本体ブロックの外側面を覆って設けられた円筒
状の第１の緩衝材部と、前記つば部の前記本体ブロック
側の一面全面を覆って設けられたドーナツ盤状の第２の
緩衝材部と、前記第１の緩衝材部と前記第２の緩衝材部
とを覆って設けられたつば付き円筒状のタンタル材より
なる保護被覆体と、を備えホットアイソスタティック成
形加工により一体構成化されたダイアフラム突出型ダイ
アフラムユニット本体を備えるシールダイアフラム突出
型ダイアフラムユニットを具備したことを特徴とする差
圧測定装置。 （２）円筒状の筒部と円板状の底部とよりなる本体ブロ
ックを具備したことを特徴とする（１）記載の差圧測定
装置。 を構成したものである。
に、本発明は、 （１）凸状をなす突出型ダイアフラムユニット本体と、
前記凸部の一面にタンタル材よりなるシールリングを介
して設けられ測定流体の圧力を受圧するタンタル材より
なるシールダイアフラムとを備えるシールダイアフラム
突出型ダイアフラムユニットを具備する差圧測定装置に
おいて、外側底面が前記シールダイアフラム取付面とな
る断面コの字状の本体ブロックと、この本体ブロックの
開口部に内径部分が接続されたドーナツ盤状のつば部
と、前記本体ブロックの外側面を覆って設けられた円筒
状の第１の緩衝材部と、前記つば部の前記本体ブロック
側の一面全面を覆って設けられたドーナツ盤状の第２の
緩衝材部と、前記第１の緩衝材部と前記第２の緩衝材部
とを覆って設けられたつば付き円筒状のタンタル材より
なる保護被覆体と、を備えホットアイソスタティック成
形加工により一体構成化されたダイアフラム突出型ダイ
アフラムユニット本体を備えるシールダイアフラム突出
型ダイアフラムユニットを具備したことを特徴とする差
圧測定装置。 （２）円筒状の筒部と円板状の底部とよりなる本体ブロ
ックを具備したことを特徴とする（１）記載の差圧測定
装置。 を構成したものである。
【００２４】
【作用】以上の構成において、突出型ダイアフラムユニ
ット本体は、次に示す如くして組み立てられる。まず、
筒部に底部とつば部とを組み立てる。つば部に第２の緩
衝材部を取付ける。筒部の外周に第１の緩衝材部を取付
ける。第１の緩衝材部と第２の緩衝材部との表面に、保
護被覆体を取り付ける。ホットアイソスタティック成形
加工により一体構成化する。以下、実施例に基づき詳細
に説明する。
ット本体は、次に示す如くして組み立てられる。まず、
筒部に底部とつば部とを組み立てる。つば部に第２の緩
衝材部を取付ける。筒部の外周に第１の緩衝材部を取付
ける。第１の緩衝材部と第２の緩衝材部との表面に、保
護被覆体を取り付ける。ホットアイソスタティック成形
加工により一体構成化する。以下、実施例に基づき詳細
に説明する。
【００２５】
【発明の実施の形態】図１は、本発明の一実施例の要部
構成説明図、図２は図１の要部構成説明図、図３は図１
の部品説明図、図４は図３の組立図である。図におい
て、図５と同一記号の構成は同一機能を表わす。以下、
図５と相違部分のみ説明する。
構成説明図、図２は図１の要部構成説明図、図３は図１
の部品説明図、図４は図３の組立図である。図におい
て、図５と同一記号の構成は同一機能を表わす。以下、
図５と相違部分のみ説明する。
【００２６】突出型ダイアフラムユニット本体２１は、
凸状をなす突出型をなす。詳しくは後述する。タンタル
のシールダイアフラム２２は、突出型ダイアフラムユニ
ット本体２１の凸部の一面にタンタル材よりなるタンタ
ルのシールリング２３を介して設けられ、この場合は溶
接Ｈされ、測定流体の圧力を受圧するタンタル材よりな
るタンタルのシールダイアフラムである。
凸状をなす突出型をなす。詳しくは後述する。タンタル
のシールダイアフラム２２は、突出型ダイアフラムユニ
ット本体２１の凸部の一面にタンタル材よりなるタンタ
ルのシールリング２３を介して設けられ、この場合は溶
接Ｈされ、測定流体の圧力を受圧するタンタル材よりな
るタンタルのシールダイアフラムである。
【００２７】前述の突出型ダイアフラムユニット本体２
１は、図３、図４に示す如く、本体ブロック２１１とつ
ば部２１２と第１の緩衝材部２１３と第２の緩衝材部２
１４と保護被覆体２１５とよりなり、ホットアイソスタ
ティック成形加工（Hot Isostatic Pressing）により一
体構成化されている。
１は、図３、図４に示す如く、本体ブロック２１１とつ
ば部２１２と第１の緩衝材部２１３と第２の緩衝材部２
１４と保護被覆体２１５とよりなり、ホットアイソスタ
ティック成形加工（Hot Isostatic Pressing）により一
体構成化されている。
【００２８】本体ブロック２１１は、外側底面がシール
ダイアフラム１１の取付面となる断面コの字状のブロッ
クである。本体ブロック２１１は、この場合は、円筒状
の筒部２１１１と円板状の底部２１１２とよりなり、ス
テンレスよりなる。
ダイアフラム１１の取付面となる断面コの字状のブロッ
クである。本体ブロック２１１は、この場合は、円筒状
の筒部２１１１と円板状の底部２１１２とよりなり、ス
テンレスよりなる。
【００２９】つば部２１２は、本体ブロック２１１の開
口部に、内径部分が接続され、ドーナツ盤状をなし、ス
テンレスよりなる。第１の緩衝材部２１３は、本体ブロ
ック２１１の外側面を覆って設けられ円筒状をなす。
口部に、内径部分が接続され、ドーナツ盤状をなし、ス
テンレスよりなる。第１の緩衝材部２１３は、本体ブロ
ック２１１の外側面を覆って設けられ円筒状をなす。
【００３０】第２の緩衝材部２１４は、つば部２１２の
本体ブロック２１１側の一面全面を覆って設けられ、ド
ーナツ盤状をなす。保護被覆体２１５は、第１の緩衝材
部２１３と第２の緩衝材部２１４とを覆って設けられ、
つば付き円筒状のタンタル材よりなる。
本体ブロック２１１側の一面全面を覆って設けられ、ド
ーナツ盤状をなす。保護被覆体２１５は、第１の緩衝材
部２１３と第２の緩衝材部２１４とを覆って設けられ、
つば付き円筒状のタンタル材よりなる。
【００３１】ここで、第１の緩衝材部２１３は、本体ブ
ロック２１１と保護被覆体２１５との熱膨張係数差を緩
和するものである。また、第２の緩衝材部２１４は、つ
ば部２１２と保護被覆体２１５との熱膨張係数差を緩和
するものである。
ロック２１１と保護被覆体２１５との熱膨張係数差を緩
和するものである。また、第２の緩衝材部２１４は、つ
ば部２１２と保護被覆体２１５との熱膨張係数差を緩和
するものである。
【００３２】以上の構成において、突出型ダイアフラム
ユニット本体２１は、図３に示す如くして組み立てられ
る。まず、筒部２１１１に底部２１１２とつば部２１２
とを組み立てる。
ユニット本体２１は、図３に示す如くして組み立てられ
る。まず、筒部２１１１に底部２１１２とつば部２１２
とを組み立てる。
【００３３】つば部２１２に第２の緩衝材部２１４を取
付ける。筒部２１１１の外周に第１の緩衝材部２１３を
取付ける。第１の緩衝材部２１３と第２の緩衝材部２１
４との表面に、保護被覆体２１５を取り付ける。ホット
アイソスタティック成形加工により一体構成化する。
付ける。筒部２１１１の外周に第１の緩衝材部２１３を
取付ける。第１の緩衝材部２１３と第２の緩衝材部２１
４との表面に、保護被覆体２１５を取り付ける。ホット
アイソスタティック成形加工により一体構成化する。
【００３４】以上の結果、
（１）接液部分に、溶接部分やピンホールのない、高品
質なタンタル材の面が得られるので、耐食性が良好な差
圧測定装置が得られる。 （２）タンタル材の面の厚さを、他の加工法では得られ
ない厚さ、具体的には、０．５〜２．０ｍｍの厚さに厚
く出来るので、耐食性の向上や、外部から加えられる傷
に対して耐力性が良好な差圧測定装置が得られる。
質なタンタル材の面が得られるので、耐食性が良好な差
圧測定装置が得られる。 （２）タンタル材の面の厚さを、他の加工法では得られ
ない厚さ、具体的には、０．５〜２．０ｍｍの厚さに厚
く出来るので、耐食性の向上や、外部から加えられる傷
に対して耐力性が良好な差圧測定装置が得られる。
【００３５】（３）本体ブロック２１１を、筒部２１１
１と底部２１１２とで構成すれば、筒部２１１１より底
部２１１２の厚さを自由に厚く出来、測定流体に対し
て、耐圧が高い差圧測定装置が得られる。
１と底部２１１２とで構成すれば、筒部２１１１より底
部２１１２の厚さを自由に厚く出来、測定流体に対し
て、耐圧が高い差圧測定装置が得られる。
【００３６】なお、前述の実施例においては、キャピラ
リーチューブ（ｃａｐｉｌｌａｒｙｔｕｂｅ）４，７を
使用するタイプに付いて説明したが、差圧測定装置本体
１に直接ダイアフラムシールユニット５，８が取付られ
るタイプに対しても適用があるのは勿論である。
リーチューブ（ｃａｐｉｌｌａｒｙｔｕｂｅ）４，７を
使用するタイプに付いて説明したが、差圧測定装置本体
１に直接ダイアフラムシールユニット５，８が取付られ
るタイプに対しても適用があるのは勿論である。
【００３７】
【発明の効果】以上詳細に説明したように、本発明の請
求項１によれば、 （１）接液部分に、溶接部分やピンホールのない、高品
質なタンタル材の面が得られるので、耐食性が良好な差
圧測定装置が得られる。 （２）タンタル材の面の厚さを、他の加工法では得られ
ない厚さに厚く出来るので、耐食性の向上や、外部から
加えられる傷に対して耐力性が良好な差圧測定装置が得
られる。
求項１によれば、 （１）接液部分に、溶接部分やピンホールのない、高品
質なタンタル材の面が得られるので、耐食性が良好な差
圧測定装置が得られる。 （２）タンタル材の面の厚さを、他の加工法では得られ
ない厚さに厚く出来るので、耐食性の向上や、外部から
加えられる傷に対して耐力性が良好な差圧測定装置が得
られる。
【００３８】本発明の請求項２によれば、本体ブロック
を、筒部と底部とで構成したので、筒部より底部の厚さ
を自由に厚く出来、測定流体に対して、耐圧が高い差圧
測定装置が得られる。
を、筒部と底部とで構成したので、筒部より底部の厚さ
を自由に厚く出来、測定流体に対して、耐圧が高い差圧
測定装置が得られる。
【００３９】従って、本発明によれば、耐食性と耐力性
のある差圧測定装置を実現することが出来る。
のある差圧測定装置を実現することが出来る。
【図１】本発明の一実施例の構成説明図である。
【図２】図１の要部詳細図である。
【図３】図１の部品説明図である。
【図４】図３の組み立て図である。
【図５】従来より一般に使用されている従来例の構成説
明図である。
明図である。
【図６】図５の要部詳細図である。
【図７】図５の製作図である。
【図８】図５の製作図である。
１ 差圧測定装置本体
２ 本体カプセル
３ カバー
４ 高圧側のキャピラリーチューブ
５ 高圧側のダイアフラムシールユニット
６ 封入液
７ 低圧側のキャピラリーチューブ
８ 低圧側のダイアフラムシールユニット
９ 封入液
１１ 変換器
１２ タンタルのシールダイアフラム
１３ タンタルのシールリング
２１ 突出型ダイアフラムユニット本体
２１１ 本体ブロック
２１１１ 筒部
２１１２ 底部
２１２ つば部
３１３ 第１の緩衝材部
２１４ 第２の緩衝材部
２１５ 保護被覆体
─────────────────────────────────────────────────────
フロントページの続き
(56)参考文献 実開 昭64−34535（ＪＰ，Ｕ)
(58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名)
G01L 13/00
G01L 13/02
G01L 19/06
Claims (2)
- 【請求項１】凸状をなす突出型ダイアフラムユニット本
体と、 前記凸部の一面にタンタル材よりなるシールリングを介
して設けられ測定流体の圧力を受圧するタンタル材より
なるシールダイアフラムとを備えるシールダイアフラム
突出型ダイアフラムユニットを具備する差圧測定装置に
おいて、 外側底面が前記シールダイアフラム取付面となる断面コ
の字状の本体ブロックと、 この本体ブロックの開口部に内径部分が接続されたドー
ナツ盤状のつば部と、 前記本体ブロックの外側面を覆って設けられた円筒状の
第１の緩衝材部と、 前記つば部の前記本体ブロック側の一面全面を覆って設
けられたドーナツ盤状の第２の緩衝材部と、 前記第１の緩衝材部と前記第２の緩衝材部とを覆って設
けられたつば付き円筒状のタンタル材よりなる保護被覆
体と、 を備えホットアイソスタティック成形加工により一体構
成化されたダイアフラム突出型ダイアフラムユニット本
体を備えるシールダイアフラム突出型ダイアフラムユニ
ットを具備したことを特徴とする差圧測定装置。 - 【請求項２】円筒状の筒部と円板状の底部とよりなる本
体ブロックを具備したことを特徴とする請求項１記載の
差圧測定装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP29977097A JP3402354B2 (ja) | 1997-10-31 | 1997-10-31 | 差圧測定装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP29977097A JP3402354B2 (ja) | 1997-10-31 | 1997-10-31 | 差圧測定装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH11132888A JPH11132888A (ja) | 1999-05-21 |
| JP3402354B2 true JP3402354B2 (ja) | 2003-05-06 |
Family
ID=17876760
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP29977097A Expired - Lifetime JP3402354B2 (ja) | 1997-10-31 | 1997-10-31 | 差圧測定装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3402354B2 (ja) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006177829A (ja) * | 2004-12-24 | 2006-07-06 | Yokogawa Electric Corp | ダイアフラムシール付伝送器 |
| NO20075913A (no) * | 2007-11-19 | 2009-01-26 | Presens As | Trykksensorenhet |
-
1997
- 1997-10-31 JP JP29977097A patent/JP3402354B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH11132888A (ja) | 1999-05-21 |
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