JP3386105B2 - インクジェット式記録ヘッド - Google Patents
インクジェット式記録ヘッドInfo
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- B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
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- B41J2/00—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed
- B41J2/005—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by bringing liquid or particles selectively into contact with a printing material
- B41J2/01—Ink jet
- B41J2/135—Nozzles
- B41J2/14—Structure thereof only for on-demand ink jet heads
- B41J2002/14411—Groove in the nozzle plate
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- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
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- B41J2002/14419—Manifold
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- Particle Formation And Scattering Control In Inkjet Printers (AREA)
Description
【０００１】
【発明の属する技術の分野】本発明は、圧電振動子の変
位によりノズル開口に連通する圧力発生室を加圧してノ
ズル開口からインク滴を吐出させるインクジェット式記
録ヘッドに関する。
位によりノズル開口に連通する圧力発生室を加圧してノ
ズル開口からインク滴を吐出させるインクジェット式記
録ヘッドに関する。
【０００２】
【従来の技術】インクジェット式記録ヘッドは、外部の
インク供給手段に接続するリザーバと、圧電振動子によ
り加圧される圧力発生室と、圧力発生室に連通するノズ
ル開口を備え、圧電振動子の一方への変位により圧力発
生室を膨張させて、リザーバからのインクを圧力発生室
に流入させ、また圧電振動子の他方への変位により圧力
発生室を収縮させて圧力発生室のインクを加圧してノズ
ル開口からインク滴を吐出させるように構成されてい
る。
インク供給手段に接続するリザーバと、圧電振動子によ
り加圧される圧力発生室と、圧力発生室に連通するノズ
ル開口を備え、圧電振動子の一方への変位により圧力発
生室を膨張させて、リザーバからのインクを圧力発生室
に流入させ、また圧電振動子の他方への変位により圧力
発生室を収縮させて圧力発生室のインクを加圧してノズ
ル開口からインク滴を吐出させるように構成されてい
る。
【０００３】インク滴吐出のための圧力発生室の加圧時
には、圧力発生室のインクの一部がインク供給口を介し
てリザーバに逆流して、リザーバのインクの圧力が上昇
する。これにより、インク滴を吐出する必要が無い圧力
発生室の圧力が上昇し、これに連通するノズル開口から
インク滴が吐出するという現象、いわゆるクロストーク
が生じる。
には、圧力発生室のインクの一部がインク供給口を介し
てリザーバに逆流して、リザーバのインクの圧力が上昇
する。これにより、インク滴を吐出する必要が無い圧力
発生室の圧力が上昇し、これに連通するノズル開口から
インク滴が吐出するという現象、いわゆるクロストーク
が生じる。
【０００４】このような問題を解消するため、リザーバ
には、これを構成する隔壁の一部をインクの圧力により
変形可能に構成して、圧力発生室から逆流したインクの
圧力を吸収するようコンプライアンスが付与されてい
る。
には、これを構成する隔壁の一部をインクの圧力により
変形可能に構成して、圧力発生室から逆流したインクの
圧力を吸収するようコンプライアンスが付与されてい
る。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、高速印
刷や高密度印刷の要求を満たすために、圧力発生室の配
列密度を高めようとすると、シリコン単結晶基板の異方
性エッチングにより流路形成板を加工する必要があり、
特に圧力発生室などに比較して極めて大きな凹部や開口
により形成されるリザーバを一体で形成すると、一部に
極めて脆弱な領域が生じることになって、組み立て時に
おける流路形成基板のハンドリング性が低下して組み立
て作業が困難になるばかりでなく、高価なシリコン単結
晶基板の有効利用を妨げるという問題がある。本発明は
このような問題に鑑みてなされたものであって、その目
的とするところは流路形成基板にリザーバを必要とする
ことなく、しかも印刷の品質を確保できる十分なコンプ
ライアンスを備えたリザーバを構成することができるイ
ンクジェット式記録ヘッドを提供することである。
刷や高密度印刷の要求を満たすために、圧力発生室の配
列密度を高めようとすると、シリコン単結晶基板の異方
性エッチングにより流路形成板を加工する必要があり、
特に圧力発生室などに比較して極めて大きな凹部や開口
により形成されるリザーバを一体で形成すると、一部に
極めて脆弱な領域が生じることになって、組み立て時に
おける流路形成基板のハンドリング性が低下して組み立
て作業が困難になるばかりでなく、高価なシリコン単結
晶基板の有効利用を妨げるという問題がある。本発明は
このような問題に鑑みてなされたものであって、その目
的とするところは流路形成基板にリザーバを必要とする
ことなく、しかも印刷の品質を確保できる十分なコンプ
ライアンスを備えたリザーバを構成することができるイ
ンクジェット式記録ヘッドを提供することである。
【０００６】
【課題を解決するための手段】このような問題を解消す
るために本発明においては、圧力発生手段によりインク
を加圧する圧力発生室を複数備えたアクチュエータユニ
ットと、複数の前記圧力発生室の一端に共通に連通する
接続流路及び前記圧力発生室のそれぞれの他端をノズル
開口に接続する連通孔を備えて前記アクチュエータユニ
ットを液密に固定する接続板と、前記接続板を支持する
枠体として機能し、前記接続流路に接続する通孔を備え
たホルダと、からなり、前記圧力発生室から前記接続流
路を経由して逆流するインクの圧力により弾性変形可能
な薄板により前記通孔の開口面を封止してリザーバが構
成されている。
るために本発明においては、圧力発生手段によりインク
を加圧する圧力発生室を複数備えたアクチュエータユニ
ットと、複数の前記圧力発生室の一端に共通に連通する
接続流路及び前記圧力発生室のそれぞれの他端をノズル
開口に接続する連通孔を備えて前記アクチュエータユニ
ットを液密に固定する接続板と、前記接続板を支持する
枠体として機能し、前記接続流路に接続する通孔を備え
たホルダと、からなり、前記圧力発生室から前記接続流
路を経由して逆流するインクの圧力により弾性変形可能
な薄板により前記通孔の開口面を封止してリザーバが構
成されている。
【０００７】
【作用】精密加工を必要とするアクチュエータユニット
とは別の部材にリザーバを形成しているため、リザーバ
分の材料を節減を可能とし、またさらにはリザーバをア
クチュエータのサイズ等に拘束されることなく、リザー
バとして十分な機能を奏するサイズで形成することが可
能となる。
とは別の部材にリザーバを形成しているため、リザーバ
分の材料を節減を可能とし、またさらにはリザーバをア
クチュエータのサイズ等に拘束されることなく、リザー
バとして十分な機能を奏するサイズで形成することが可
能となる。
【０００８】
【発明の実施の形態】そこで以下に本発明の詳細を図示
した実施例に基づいて説明する。図１、図２は、本発明
の一実施例を示すものであって、ヘッドホルダ１は、後
述する接続板２の周縁を支持する枠部３と、アクチュエ
ータユニット４を収容する窓５とを備え、枠部３の一隅
に外部のインクタンクに接続するインク導入口形成部材
６を設けて構成されている。
した実施例に基づいて説明する。図１、図２は、本発明
の一実施例を示すものであって、ヘッドホルダ１は、後
述する接続板２の周縁を支持する枠部３と、アクチュエ
ータユニット４を収容する窓５とを備え、枠部３の一隅
に外部のインクタンクに接続するインク導入口形成部材
６を設けて構成されている。
【０００９】接続板２は、圧力発生室７の一端側でノズ
ルプレート８のノズル開口９とを接続するノズル連通孔
１０と、圧力発生室７の他端側で後述するリザーバ１１
に接続する接続流路１２とを備え、ヘッドホルダ１の露
出面側にノズルプレート８を固定され、また他面側にア
クチュエータユニット４が液密に固定されている。
ルプレート８のノズル開口９とを接続するノズル連通孔
１０と、圧力発生室７の他端側で後述するリザーバ１１
に接続する接続流路１２とを備え、ヘッドホルダ１の露
出面側にノズルプレート８を固定され、また他面側にア
クチュエータユニット４が液密に固定されている。
【００１０】接続流路１２は、ノズルプレート８側を開
口部とし、アクチュエータユニット４の圧力発生室７の
接続口１６とヘッドホルダ１の後述する通孔２３とを結
ぶ幅を備えた凹部として構成され、また両端で連通する
ように開口溝１２ａ、１２ｂが形成されている。
口部とし、アクチュエータユニット４の圧力発生室７の
接続口１６とヘッドホルダ１の後述する通孔２３とを結
ぶ幅を備えた凹部として構成され、また両端で連通する
ように開口溝１２ａ、１２ｂが形成されている。
【００１１】アクチュエータユニット４は、図４に示し
たようにシリコン単結晶基板を異方性エッチングしてノ
ズル開口９の配列ピッチに一致して一端部近傍にインク
供給口１３となる括れ部を有する通孔を形成した流路形
成基板１４と、流路形成基板１４の一方の面を後述する
圧電振動子１７により弾性変形可能な弾性板１５で封止
され、また他面の開口部を接続板２に液密に固定されて
圧力発生室７、インク供給口１３、及び接続口１６を構
成する。
たようにシリコン単結晶基板を異方性エッチングしてノ
ズル開口９の配列ピッチに一致して一端部近傍にインク
供給口１３となる括れ部を有する通孔を形成した流路形
成基板１４と、流路形成基板１４の一方の面を後述する
圧電振動子１７により弾性変形可能な弾性板１５で封止
され、また他面の開口部を接続板２に液密に固定されて
圧力発生室７、インク供給口１３、及び接続口１６を構
成する。
【００１２】接続口１６は、図５に示したように接続流
路１２の一方の開口溝１２ａと連通し、接続流路１２の
他方の開口溝１２ｂによりリザーバ１１に連通されてい
る。
路１２の一方の開口溝１２ａと連通し、接続流路１２の
他方の開口溝１２ｂによりリザーバ１１に連通されてい
る。
【００１３】アクチュエータユニット４を構成する弾性
板１５は、図６に示したように少なくとも表面が導電性
を有する材料により構成されていて、その表面には圧力
発生室７の形状に合わせて圧電振動子１７と上電極１８
が作り付けられている。
板１５は、図６に示したように少なくとも表面が導電性
を有する材料により構成されていて、その表面には圧力
発生室７の形状に合わせて圧電振動子１７と上電極１８
が作り付けられている。
【００１４】そして圧電振動子１７は、上電極１８から
延長された接続端部１８ａをフレキシブルケーブル１９
に接続され、外部駆動回路、及びトランスファーゲート
用半導体集積回路２０からの駆動信号の供給を受けて、
弾性板１５を印字信号に一致して変形させて圧力発生室
７の容積を膨張、収縮するように構成されている。
延長された接続端部１８ａをフレキシブルケーブル１９
に接続され、外部駆動回路、及びトランスファーゲート
用半導体集積回路２０からの駆動信号の供給を受けて、
弾性板１５を印字信号に一致して変形させて圧力発生室
７の容積を膨張、収縮するように構成されている。
【００１５】一方、ヘッドホルダ１は、接続流路１２側
に後述する薄板２１が突出しない程度に一段低くなった
段差部２２が形成されていて、この段差部２２に接続流
路１２の開口溝１２ｂを包囲でき、かつリザーバ１１と
しての容積を確保できる通孔２３が穿設されている。
に後述する薄板２１が突出しない程度に一段低くなった
段差部２２が形成されていて、この段差部２２に接続流
路１２の開口溝１２ｂを包囲でき、かつリザーバ１１と
しての容積を確保できる通孔２３が穿設されている。
【００１６】通孔２３は、その開口面を圧力発生室７か
ら逆流したインクの圧力で弾性変形可能な薄板２１によ
り封止され、またインク導入口６ａに連通されて外部か
らインクの供給を受けてリザーバ１１として機能する。
ら逆流したインクの圧力で弾性変形可能な薄板２１によ
り封止され、またインク導入口６ａに連通されて外部か
らインクの供給を受けてリザーバ１１として機能する。
【００１７】薄板２１は、面積が大きく厚さが薄い、つ
まり剛性が低いほどクロストロークの解消には有効であ
る。特に、剛性は板厚の３乗に比例するので、薄くする
ことで著しく剛性を下げられる。しかし、ヘッドのサイ
ズの問題、取り扱い性や部品強度等の問題から、薄板２
１のサイズは、圧力発生室７での発生圧力や圧力発生室
７の数などに応じて、必要最小な面積で最適な厚さに決
められる。
まり剛性が低いほどクロストロークの解消には有効であ
る。特に、剛性は板厚の３乗に比例するので、薄くする
ことで著しく剛性を下げられる。しかし、ヘッドのサイ
ズの問題、取り扱い性や部品強度等の問題から、薄板２
１のサイズは、圧力発生室７での発生圧力や圧力発生室
７の数などに応じて、必要最小な面積で最適な厚さに決
められる。
【００１８】例えば、毎秒約０．０１ｇ程度のインク滴
を吐出する能力を備えた記録ヘッドに対して、幅２mm、
長さ８mm、厚さ０．０１mmのステンレス板を上記薄板２
１として用い、ヘッドホルダ１のリザーバ１１の開口面
の周囲にエポキシ系接着剤で液密に固着されている。
を吐出する能力を備えた記録ヘッドに対して、幅２mm、
長さ８mm、厚さ０．０１mmのステンレス板を上記薄板２
１として用い、ヘッドホルダ１のリザーバ１１の開口面
の周囲にエポキシ系接着剤で液密に固着されている。
【００１９】このような薄板２１を構成する材料には上
述のステンレスの他に、耐インク性に優れたニッケルの
薄板等がある。
述のステンレスの他に、耐インク性に優れたニッケルの
薄板等がある。
【００２０】この実施例において、印字信号に対応して
圧電振動子１７に駆動信号を供給して圧電振動子１７を
充電すると、圧電振動子１７の変位により圧力発生室７
が膨張する。これにより、リザーバ１１のインクが接続
流路１２を経由してアクチュエータユニット４の接続口
１６に流れ込み、さらにインク供給口１３を通って圧力
発生室７に流入する。
圧電振動子１７に駆動信号を供給して圧電振動子１７を
充電すると、圧電振動子１７の変位により圧力発生室７
が膨張する。これにより、リザーバ１１のインクが接続
流路１２を経由してアクチュエータユニット４の接続口
１６に流れ込み、さらにインク供給口１３を通って圧力
発生室７に流入する。
【００２１】この状態で所定時間の経過後に圧電振動子
１７の充電電荷を放電させると、圧電振動子１７が元の
状態に復帰し、圧力発生室７が収縮する。
１７の充電電荷を放電させると、圧電振動子１７が元の
状態に復帰し、圧力発生室７が収縮する。
【００２２】これにより、圧力発生室７のインクは、加
圧されて一部が接続板２の連通孔１０からノズル開口９
に流れ込み、ノズル開口９からインク滴として吐出し、
また一部が接続流路１２を経由してリザーバ１１に逆流
する。このインクの逆流によりリザーバ１１の圧力が上
昇するが、リザーバ１１を構成している弾性板２１が弾
性変形して容積を拡大するため、圧力の上昇が可及的に
抑制されて他の圧力発生室７の圧力上昇が防止される。
圧されて一部が接続板２の連通孔１０からノズル開口９
に流れ込み、ノズル開口９からインク滴として吐出し、
また一部が接続流路１２を経由してリザーバ１１に逆流
する。このインクの逆流によりリザーバ１１の圧力が上
昇するが、リザーバ１１を構成している弾性板２１が弾
性変形して容積を拡大するため、圧力の上昇が可及的に
抑制されて他の圧力発生室７の圧力上昇が防止される。
【００２３】以下、このような工程を印字タイミングに
合わせて繰り返すことにより、クロストークを生じるこ
となく、所定のノズル開口９からインク滴を吐出する。
合わせて繰り返すことにより、クロストークを生じるこ
となく、所定のノズル開口９からインク滴を吐出する。
【００２４】このように、精密加工を必要とするアクチ
ュエータユニットとは別の部材にリザーバを形成してい
るため、例えばアクチュエータユニットをシリコン単結
晶基板のように高価な材料により製作する場合には、リ
ザーバ分の材料を節減することができる。また同時に流
路形成基板に大きな通孔を形成することによる生じる脆
弱部が存在しないため、ハンドリング性が向上して組み
立て作業の機械化や簡素化を図ることができる。さらに
はリザーバをアクチュエータのサイズ等に拘束されるこ
となく、リザーバとして十分な機能を奏するサイズを確
保することができて、印字品質を向上することができ
る。
ュエータユニットとは別の部材にリザーバを形成してい
るため、例えばアクチュエータユニットをシリコン単結
晶基板のように高価な材料により製作する場合には、リ
ザーバ分の材料を節減することができる。また同時に流
路形成基板に大きな通孔を形成することによる生じる脆
弱部が存在しないため、ハンドリング性が向上して組み
立て作業の機械化や簡素化を図ることができる。さらに
はリザーバをアクチュエータのサイズ等に拘束されるこ
となく、リザーバとして十分な機能を奏するサイズを確
保することができて、印字品質を向上することができ
る。
【００２５】なお、上述の実施例においては薄板２１を
単一材料により構成しているが、図７（イ）に示したよ
うにそれぞれ厚さ約０．０２mmのポリエチレンフィルム
２１ａとポリエチレンレテフタレートフィルム２１ｂと
を積層した複合材料により構成することもできる。
単一材料により構成しているが、図７（イ）に示したよ
うにそれぞれ厚さ約０．０２mmのポリエチレンフィルム
２１ａとポリエチレンレテフタレートフィルム２１ｂと
を積層した複合材料により構成することもできる。
【００２６】この実施例によれば、金属に比べヤング率
が小さい樹脂フィルムで構成することで、リザーバ１１
の開口面積を小さくでき、薄板２１に或程度の厚みを持
たせつつリザーバ１１としての十分に機能させることが
できる。
が小さい樹脂フィルムで構成することで、リザーバ１１
の開口面積を小さくでき、薄板２１に或程度の厚みを持
たせつつリザーバ１１としての十分に機能させることが
できる。
【００２７】この薄板２１は、ヘッドホルダ１にポリエ
チレンフィルム２１ａの面側を当接させて、加圧しつつ
熱溶着接合する。ポリエチレンフィルム２１ａは、接合
層として機能するばかりでなく、水分透過率も低いので
リザーバ１１のインクが溶媒の蒸発を可及的に抑えて、
インクの増粘を防止することができる。
チレンフィルム２１ａの面側を当接させて、加圧しつつ
熱溶着接合する。ポリエチレンフィルム２１ａは、接合
層として機能するばかりでなく、水分透過率も低いので
リザーバ１１のインクが溶媒の蒸発を可及的に抑えて、
インクの増粘を防止することができる。
【００２８】第２の材料であるポリエチレンテフタレー
トフィルム２１ｂは、耐熱性に優れているため、熱溶着
時における薄板２１の型崩れを防止して薄板２１を正確
にリザーバ１１に溶着することができ、また低ガス透過
性であるため、大気がリザーバ１１内に侵入してインク
流路に気泡が発生するのを防止する。
トフィルム２１ｂは、耐熱性に優れているため、熱溶着
時における薄板２１の型崩れを防止して薄板２１を正確
にリザーバ１１に溶着することができ、また低ガス透過
性であるため、大気がリザーバ１１内に侵入してインク
流路に気泡が発生するのを防止する。
【００２９】図７（ロ）は、熱溶着材としての厚さ約
０．０１mmのポリエチレンフィルム２１ａと、遮気材と
して中間層を形成する厚さ約０．００５mm程度のアルミ
箔２１ｃと、型維持材としての厚さ約０．０１mmのポリ
エチレンフタレート２１ｂとを積層して構成したもので
ある。
０．０１mmのポリエチレンフィルム２１ａと、遮気材と
して中間層を形成する厚さ約０．００５mm程度のアルミ
箔２１ｃと、型維持材としての厚さ約０．０１mmのポリ
エチレンフタレート２１ｂとを積層して構成したもので
ある。
【００３０】中間層であるアルミ箔２１ｃは、高分子材
料に比べて格段に水分透過率及びガス透過率が小さいた
め、インク溶媒の揮発によるインクの増粘と、大気の透
過、侵入による流路内での気泡の発生を確実に防止する
ことができ、またポリエチレンフタレート２１ｂがポリ
エチレンフィルム２１ａによるヘッドホルダ１への熱溶
着時に全体の型を維持する。
料に比べて格段に水分透過率及びガス透過率が小さいた
め、インク溶媒の揮発によるインクの増粘と、大気の透
過、侵入による流路内での気泡の発生を確実に防止する
ことができ、またポリエチレンフタレート２１ｂがポリ
エチレンフィルム２１ａによるヘッドホルダ１への熱溶
着時に全体の型を維持する。
【００３１】なお、上述の実施例のおいては熱溶着性材
料としてにポリエチレンを用いているが、ヘッドホルダ
１を構成する材料によりポリアミドやポリプロピレン等
の他の樹脂フィルムを使用することもできる。また、遮
気層を形成する金属もアルミニュームの他にニッケル等
を使用することができる。
料としてにポリエチレンを用いているが、ヘッドホルダ
１を構成する材料によりポリアミドやポリプロピレン等
の他の樹脂フィルムを使用することもできる。また、遮
気層を形成する金属もアルミニュームの他にニッケル等
を使用することができる。
【００３２】また、上述の実施例においては、アクチュ
エータユニット４を流路形成基板１４と弾性板１５との
別体で構成しているが、図８に示したように、シリコン
単結晶基板３０の一方の面に酸化シリコン膜３１を形成
し、これを弾性板として機能するように圧力発生室７、
インク供給口１３、及び接続口１６を異方性エッチング
により形成し、さらに酸化シリコン膜３１に導電性処理
を施して下電極３２を形成してこの表面に造膜法により
圧電振動子３３を作り付けて構成しても同様の作用を奏
する。
エータユニット４を流路形成基板１４と弾性板１５との
別体で構成しているが、図８に示したように、シリコン
単結晶基板３０の一方の面に酸化シリコン膜３１を形成
し、これを弾性板として機能するように圧力発生室７、
インク供給口１３、及び接続口１６を異方性エッチング
により形成し、さらに酸化シリコン膜３１に導電性処理
を施して下電極３２を形成してこの表面に造膜法により
圧電振動子３３を作り付けて構成しても同様の作用を奏
する。
【００３３】また、上述の実施例においては圧力発生室
を圧電振動子の変位により加圧するものアクチュエータ
ユニットに例を採って説明したが、圧力発生室に発熱素
子を内蔵させ、インクを気化させて加圧する記録ヘッド
に適用しても同様の作用を奏する。
を圧電振動子の変位により加圧するものアクチュエータ
ユニットに例を採って説明したが、圧力発生室に発熱素
子を内蔵させ、インクを気化させて加圧する記録ヘッド
に適用しても同様の作用を奏する。
【００３４】
【発明の効果】以上説明したように本発明によれば、精
密加工を必要とするアクチュエータユニットの構成材料
をリザーバ分だけ節減ができ、かつ流路形成基板から脆
弱な部分を無くしてハンドリング性を向上して、材料費
と組み立て作業の簡素化により記録ヘッドのコストを引
き下げることができる。
密加工を必要とするアクチュエータユニットの構成材料
をリザーバ分だけ節減ができ、かつ流路形成基板から脆
弱な部分を無くしてハンドリング性を向上して、材料費
と組み立て作業の簡素化により記録ヘッドのコストを引
き下げることができる。
【００３５】またリザーバをアクチュエータのサイズ等
に拘束されることなく、リザーバとして十分な機能を奏
するサイズを確保することができて、印字品質を向上す
ることができる。
に拘束されることなく、リザーバとして十分な機能を奏
するサイズを確保することができて、印字品質を向上す
ることができる。
【図１】本発明のインクジェット式記録ヘッドの一実施
例を示す図である。
例を示す図である。
【図２】同上インクジェット式記録ヘッドの１つの圧力
発生室での断面構造を示す図である。
発生室での断面構造を示す図である。
【図３】同上インクジェット式記録ヘッドの組立斜視図
である。
である。
【図４】流路形成基板の一実施例を示す斜視図である。
【図５】同上インクジェット式記録ヘッドの流路基板の
一実施例を、ノズル開口及び流路連通口との関係で示す
図である。
一実施例を、ノズル開口及び流路連通口との関係で示す
図である。
【図６】弾性板の表面に形成される圧電振動子の一実施
例を示す図である。
例を示す図である。
【図７】図（イ）、（ロ）は、それぞれリザーバ形成用
の薄板の他の実施例を示す断面図である。
の薄板の他の実施例を示す断面図である。
【図８】本発明に使用可能なアクチュエータユニットの
他の実施例を示す図である。
他の実施例を示す図である。
１ ヘッドホルダ
２ 接続板
３ 枠部
４ アクチュエータユニット
５ 窓
６ インク導入口形成部材
７ 圧力発生室
８ ノズルプレート
９ ノズル開口
１０ 連通孔
１１ リザーバ
１２ 接続流路
１３ インク供給口
１４ 流路形成基板
１５ 弾性板
１６ 接続口
１７ 圧電振動子
１９ フレキシブルケーブル
２１ リザーバ形成用の薄板
２３ リザーバ形成用の通孔
─────────────────────────────────────────────────────
フロントページの続き
(56)参考文献 特開 昭60−147346（ＪＰ，Ａ)
特開 昭59−98859（ＪＰ，Ａ)
特開 平９−99557（ＪＰ，Ａ)
特開 平８−281943（ＪＰ，Ａ)
特開 平８−187868（ＪＰ，Ａ)
特開 平８−150716（ＪＰ，Ａ)
特開 平７−299907（ＪＰ，Ａ)
特開 平７−227966（ＪＰ，Ａ)
特開 平４−193546（ＪＰ，Ａ)
(58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名)
B41J 2/045
B41J 2/055
B41J 2/16
Claims (15)
- 【請求項１】 圧力発生手段によりインクを加圧する圧
力発生室を複数備えたアクチュエータユニットと、 複数の前記圧力発生室の一端に共通に連通する接続流路
及び前記圧力発生室のそれぞれの他端をノズル開口に接
続する連通孔を備えて前記アクチュエータユニットを液
密に固定する接続板と、 前記接続板を支持する枠体として機能し、前記接続流路
に接続する通孔を備えたホルダと、からなり、 前記圧力発生室から前記接続流路を経由して逆流するイ
ンクの圧力により弾性変形可能な薄板により前記通孔の
開口面を封止してリザーバが構成されているインクジェ
ット式記録ヘッド。 - 【請求項２】 前記リザーバに連通するようにインク導
入部材が前記ホルダに形成されている請求項１に記載の
インクジェット式記録ヘッド。 - 【請求項３】 前記接続流路が、ノズル開口側が開口す
るように形成された凹部を、その開口面をノズルプレー
トにより封止して形成されている請求項１に記載のイン
クジェット式記録ヘッド。 - 【請求項４】 前記凹部の両端に前記アクチュエータ側
に開口する細溝が形成されている請求項３に記載のイン
クジェット式記録ヘッド。 - 【請求項５】 前記薄板の接合面に段差部が形成されて
いる請求項１に記載のインクジェット式記録ヘッド。 - 【請求項６】 前記アクチュエータユニットが、流路形
成基板と振動板とを接合し、振動板の表面に前記圧力発
生室の配列ピッチに合わせて圧電振動子を固定して構成
されている請求項１に記載のインクジェット式記録ヘッ
ド。 - 【請求項７】 前記流路形成基板が、シリコン単結晶基
板の異方性エッチングにより構成されている請求項６に
記載のインクジェット式記録ヘッド。 - 【請求項８】 前記アクチュエータユニットが、酸化シ
リコンの薄膜を振動部材とするようにシリコン単結晶基
板の異方性エッチングにより構成されている請求項１に
記載のインクジェット式記録ヘッド。 - 【請求項９】 前記加圧手段が、圧力発生室のインクを
加熱する発熱手段により構成されている請求項１に記載
のインクジェット式記録ヘッド。 - 【請求項１０】 前記薄板は、厚さ０．００１mm乃至
０．１mm以下の不錆性金属板である請求項１に記載のイ
ンクジェット式記録ヘッド。 - 【請求項１１】 前記薄板は、異なる材質の樹脂層を積
層した、厚さ０．００５mm乃至０．５mm以下の積層フィ
ルムである請求項１に記載のインクジェット式記録ヘッ
ド。 - 【請求項１２】 前記薄板は、金属層と樹脂層を積層し
た、厚さ０．００１mm乃至０．５mm以下の積層板である
請求項１に記載のインクジェット式記録ヘッド。 - 【請求項１３】 前記樹脂層の内、前記ホルダに対向す
る層が熱溶着可能な樹脂により構成されている請求項１
１または請求項１２に記載のインクジェット式記録ヘッ
ド。 - 【請求項１４】 前記樹脂層の内、１層が耐熱性樹脂に
より構成されている請求項１１または請求項２に記載の
インクジェット式記録ヘッド。 - 【請求項１５】 前記通孔が貫通孔として形成され、前
記貫通孔の一方の開口面を前記接続板により、また他方
の開口面を前記弾性変形可能な薄板により封止して前記
リザーバが形成されている請求項１に記載のインクジェ
ット式記録ヘッド。
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|---|---|---|---|
| JP23651797A JP3386105B2 (ja) | 1997-08-18 | 1997-08-18 | インクジェット式記録ヘッド |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP23651797A JP3386105B2 (ja) | 1997-08-18 | 1997-08-18 | インクジェット式記録ヘッド |
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| JPH1158739A JPH1158739A (ja) | 1999-03-02 |
| JP3386105B2 true JP3386105B2 (ja) | 2003-03-17 |
Family
ID=17001884
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP23651797A Expired - Fee Related JP3386105B2 (ja) | 1997-08-18 | 1997-08-18 | インクジェット式記録ヘッド |
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|---|---|
| JP (1) | JP3386105B2 (ja) |
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-
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- 1997-08-18 JP JP23651797A patent/JP3386105B2/ja not_active Expired - Fee Related
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| JPH1158739A (ja) | 1999-03-02 |
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