JP3375265B2 - Defect repair method and defect repair device for light transmissive display panel - Google Patents
Defect repair method and defect repair device for light transmissive display panelInfo
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Description
【0001】[0001]
【発明の属する技術分野】本発明は、例えば液晶表示パ
ネルのような光透過型表示パネルの検査を効率的に行う
ことができる光透過型表示パネルの検査方法および検査
装置に関するものである。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an inspection method and an inspection apparatus for a light-transmissive display panel which can efficiently inspect a light-transmissive display panel such as a liquid crystal display panel.
【0002】[0002]
【従来の技術】液晶表示装置、EL(エレクトロ・ルミ
ネッセンス)表示装置およびプラズマ表示装置等の表示
装置を製造する工程では、光学的検査装置または電気的
検査装置等の検査装置を用いて、製造途中の表示装置の
品質状態を検査する。このとき、製造途中の表示装置が
所定基準の品質状態を満たしていない場合には、その工
程において不合格としている。2. Description of the Related Art In the process of manufacturing a display device such as a liquid crystal display device, an EL (electroluminescence) display device and a plasma display device, an inspection device such as an optical inspection device or an electrical inspection device is used during the manufacturing process. Inspect the display device quality condition. At this time, if the display device in the process of manufacturing does not satisfy the quality condition of the predetermined standard, it is determined as a failure in the process.
【0003】不合格となった表示装置は、不合格となっ
た工程の前工程における合格の品質状態に修復すること
が可能な場合、修復を行い、不合格となった工程から表
示装置の製造を再開している。If a display device that has failed is able to be restored to a quality state that is acceptable in the preceding process of the process that has failed, repair is performed, and the display device is manufactured from the process that has failed. Has resumed.
【0004】例えば、液晶表示装置に用いられる液晶表
示パネルの検査工程では、目視により、液晶表示パネル
を透過する光源からの透過光を検査者が検査し、液晶表
示パネルの各絵素の不良並びに走査線および信号線の断
線またはショートという欠陥の存在を検出して、欠陥が
存在する場合には、欠陥位置を特定して不合格としてい
る。For example, in a process of inspecting a liquid crystal display panel used in a liquid crystal display device, an inspector visually inspects the transmitted light from a light source that passes through the liquid crystal display panel to check for defects in each pixel of the liquid crystal display panel. The presence of a defect such as a disconnection or a short circuit of the scanning line and the signal line is detected, and when the defect is present, the defect position is specified and the result is rejected.
【0005】この欠陥位置の特定方法について説明す
る。欠陥が存在する場合には、修復の可否を判断し、修
復可能な液晶表示パネルに検査者が別途その内容を記述
して、次工程に送っている。次工程では、記述された内
容に基づいて、検査者が目視により、液晶表示パネルを
透過する光源からの透過光から欠陥の種類およびおおま
かな位置を検出し、液晶表示パネル本体の欠陥位置にマ
ーキングを実施する。さらに次の工程では、マーキング
された位置を顕微鏡等の所定の装置で拡大視して、正確
な位置を特定している。A method of identifying the defect position will be described. When there is a defect, it is judged whether or not it can be repaired, the inspector separately writes the content on the repairable liquid crystal display panel, and the result is sent to the next step. In the next step, based on the described contents, the inspector visually detects the type of defect and the rough position from the transmitted light from the light source that passes through the liquid crystal display panel, and marks the defect position on the liquid crystal display panel body. Carry out. Further, in the next step, the marked position is magnified by a predetermined device such as a microscope to specify the accurate position.
【0006】[0006]
【発明が解決しようとする課題】前述したように、欠陥
位置を特定するために、マーキングおよび正確な位置の
特定という工程を行う必要がある。このため、検査を実
質2回実施していることになり、検査装置のスループッ
トが長くなり、また工数が増加することによる表示装置
の製造原価の増加を招いている。As described above, in order to specify the defect position, it is necessary to perform the steps of marking and specifying the accurate position. For this reason, the inspection is substantially performed twice, which increases the throughput of the inspection device and increases the man-hours, resulting in an increase in the manufacturing cost of the display device.
【0007】本発明は、以上のような従来の問題点に鑑
みなされたものであって、微細な絵素を有する光透過型
表示パネルであっても、欠陥位置の特定および修正を正
確かつ迅速に行うことができる光透過型表示パネルの欠
陥修正方法および欠陥修正装置を提供することを目的と
している。The present invention has been made in view of the conventional problems as described above. Even in a light transmission type display panel having fine picture elements, the defect position can be specified and corrected accurately and quickly. The lack of a light-transmissive display panel
An object is to provide a defect correction method and a defect correction device.
【0008】[0008]
【課題を解決するための手段】本発明の光透過型表示パ
ネルの欠陥修正方法は、光透過型表示パネルの後方に光
源を配置し、前記光透過型表示パネルに所定の駆動信号
を入力して欠陥を検査し、前記欠陥を修正する光透過型
表示パネルの欠陥修正方法において、前記光源の前方で
あって光透過型表示パネルの後方に、欠陥修正対象であ
る光透過型表示パネルと同一仕様の光透過型の欠陥位置
特定用パネルを配置し、該欠陥位置特定用パネルに対し
て、該欠陥位置特定用パネルを覆うように配置された前
記欠陥を修正する光透過型表示パネルをアライメントし
て所定位置に固定し、前記欠陥位置特定用パネルに常に
表示される欠陥位置特定用のマークを、入力端末の操作
により、前記光透過型表示パネルに所定の駆動信号を入
力して前記光源からの光が照射されることによって表示
される前記光透過型表示パネルの欠陥位置に移動させ、
前記マークの位置から前記欠陥位置を特定し、前記欠陥
の位置座標に基づいて前記欠陥の修復を自動化すること
を特徴とする。According to the defect correcting method for a light transmissive display panel of the present invention, a light source is arranged behind the light transmissive display panel and a predetermined drive signal is input to the light transmissive display panel. In the defect correction method for a light transmissive display panel that inspects defects and corrects the defect, the same as the light transmissive display panel that is the defect correction target, in front of the light source and behind the light transmissive display panel. A light-transmitting type defect specifying panel for specifications is arranged, and the light transmitting for correcting the defect is arranged so as to cover the defect specifying panel. The mold display panel is aligned and fixed at a predetermined position, and the defect position identifying mark that is always displayed on the defect position identifying panel is operated by the input terminal.
Input a predetermined drive signal to the light transmissive display panel.
Display by applying light from the light source
Is moved to the defect position of the light transmission type display panel that is,
The defect position is specified from the position of the mark, and the repair of the defect is automated based on the position coordinates of the defect.
【0009】また、本発明の光透過型表示パネルの欠陥
修正装置は、光透過型表示パネルに所定の駆動信号を入
力するテスタヘッドと、欠陥修正対象である光透過型表
示パネルと同一仕様であり、前記光透過型表示パネルの
後方に、該光透過型表示パネルにて覆われるように配置
されて、マークを表示する光透過型の欠陥位置特定用パ
ネルと、前記光透過型表示パネルおよび前記欠陥位置特
定用パネルに光を照射する光源と、前記欠陥位置特定用
パネルに対して前記欠陥を修正する光透過型表示パネル
をアライメントして所定位置に固定した状態で、該欠陥
位置特定用パネルに常に表示された欠陥位置特定用のマ
ークを、入力端末の操作により、前記光透過型表示パネ
ルに所定の駆動信号を入力して前記光源からの光が照射
されることによって表示される前記光透過型表示パネル
の欠陥位置に移動させることにより、前記マークの位置
データーを出力する制御手段と、前記制御手段に接続さ
れ、前記マークの位置データを記憶するホストコンピュ
ータとを有し、前記マークの位置データに基づいて欠陥
の修復を自動化することを特徴とする。Further, the defect correcting apparatus for a light transmission type display panel of the present invention has the same specifications as the tester head for inputting a predetermined drive signal to the light transmission type display panel and the light transmission type display panel to be the defect correction target. And a light-transmissive defect position specifying panel that is disposed behind the light-transmissive display panel so as to be covered with the light-transmissive display panel and displays a mark, and the light-transmissive display panel and A light source for irradiating the defect position specifying panel and a light transmissive display panel for correcting the defect with respect to the defect position specifying panel are aligned and fixed at a predetermined position. The mark for identifying the defect position, which is always displayed on the panel, is operated by operating the input terminal to display the light-transmissive display panel.
Light from the light source is input by inputting a predetermined drive signal to the
And a control means for outputting the position data of the mark by moving to the defect position of the light transmission type display panel, and a host connected to the control means for storing the position data of the mark. A computer and automatically repairs defects based on the position data of the marks.
【0010】本発明の光透過型表示パネルの欠陥修正方
法によれば、光透過型表示パネルの後方に光源を配置
し、前記光透過型表示パネルに所定の駆動信号を入力し
て欠陥を検査し、前記欠陥を修正する光透過型表示パネ
ルの欠陥修正方法において、前記光源の前方に、欠陥修
正対象である光透過型表示パネルと同一仕様の光透過型
の欠陥位置特定用パネルを配置し、前記欠陥位置特定用
パネルにマークを表示させ、前記光透過型表示パネルの
欠陥位置に前記マークを移動し、前記マークの位置から
前記欠陥位置を特定し、前記欠陥の位置座標に基づいて
前記欠陥の修復を自動化することにより、1回の目視検
査で正確かつ迅速に欠陥位置を特定することができる。According to the defect correcting method of the light transmissive display panel of the present invention, a light source is arranged behind the light transmissive display panel.
Then, input a predetermined drive signal to the light transmission type display panel.
Panel for inspecting defects and correcting the defects
In the defect correction method of the
Light transmission type with the same specifications as the light transmission type display panel
The defect position specifying panel of
The mark is displayed on the panel, and the light transmission type display panel
Move the mark to the defect position, and from the mark position
The defect position is specified, and based on the position coordinate of the defect
By automating the repair of the defect, the defect position can be accurately and quickly specified by one visual inspection.
【0011】本発明の光透過型表示パネルの欠陥修正装
置によれば、光透過型表示パネルに所定の駆動信号を入
力するテスタヘッドと、欠陥修正対象である光透過型表
示パネルと同一仕様であり、マークを表示するための光
透過型の欠陥位置特定用パネルと、前記光透過型表示パ
ネルおよび前記欠陥位置特定用パネルに光を照射する光
源と、前記マークを前記光透過型表示パネルの欠陥位置
に移動し、前記マークの位置データーを出力する制御手
段と、前記制御手段に接続され、前記マークの位置デー
ターを記憶するホストコンピュータとを有し、前記マー
クの位置データーに基づいて欠陥の修復を自動化するこ
とにより、1回の目視検査で正確かつ迅速に欠陥位置を
特定することができる。According to the defect correcting device of the light transmission type display panel of the present invention , a predetermined drive signal is input to the light transmission type display panel.
Force tester head and light transmission type table to be corrected
It has the same specifications as the display panel and has a light for displaying the mark.
A transmission type defect position identifying panel and the light transmission type display panel.
Light for irradiating the panel and the defect location specifying panel with light.
Source and the mark on the defect position of the light transmissive display panel
To the control hand that outputs the position data of the mark.
Stage and the position data of the mark connected to the control means.
Host computer for storing the
By this <br/> and to automate the defect repair based on the position data of the click, it is possible to identify accurately and quickly defect position in one visual inspection.
【0012】さらに、制御手段をホストコンピューター
等に接続し、欠陥位置の情報をホストコンピューター等
に記憶させれば、次工程での欠陥の修復を無人で行うこ
ともできる。Further, if the control means is connected to a host computer or the like and the information on the defect position is stored in the host computer or the like, the defect can be repaired unattended in the next step.
【0013】[0013]
【発明の実施の形態】図1乃至図3を用いて、本発明の
実施の形態について説明する。図1は本発明に係わる光
透過型表示パネルの検査装置を示す概略構成図、図2は
液晶表示パネルの合成映像を示す説明図、図3は欠陥位
置にマークを移動したときの液晶表示パネルの合成映像
を示す説明図である。DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION An embodiment of the present invention will be described with reference to FIGS. FIG. 1 is a schematic configuration diagram showing an inspection device of a light transmission type display panel according to the present invention, FIG. 2 is an explanatory diagram showing a composite image of a liquid crystal display panel, and FIG. 3 is a liquid crystal display panel when a mark is moved to a defect position. It is an explanatory view showing a synthetic picture of.
【0014】本発明の検査装置は、例えば液晶表示装置
の製造工程において、駆動用LSIが実装されているフ
ィルムキャリアが液晶表示パネルに接続される前に、液
晶表示パネルの絵素の不良並びに走査線および信号線の
断線またはショート等の欠陥を検出し、欠陥位置を特定
するために用いるものである。In the inspection apparatus of the present invention, for example, in the manufacturing process of a liquid crystal display device, before the film carrier on which the driving LSI is mounted is connected to the liquid crystal display panel, the pixel defect and scanning of the liquid crystal display panel are performed. It is used to detect a defect such as a disconnection or a short circuit of a line and a signal line and specify a defect position.
【0015】図1に示すように、本発明の検査装置の構
成は、マスターボード1上にXYθテーブル2が載置さ
れており、その上には光源3、光透過型の欠陥位置特定
用パネル4およびXYθテーブル5を内蔵したボックス
6が載置されている。XYθテーブル2およびXYθテ
ーブル5は、水平面において相互に直行するX方向およ
びY方向へ移動可能で、かつ水平方向へ回転(θ方向へ
の移動)可能に構成されている。As shown in FIG. 1, in the structure of the inspection apparatus of the present invention, an XYθ table 2 is placed on a master board 1, on which a light source 3 and a light transmission type defect position specifying panel are mounted. 4 and a box 6 containing an XYθ table 5 are placed. The XYθ table 2 and the XYθ table 5 are configured to be movable in the X and Y directions orthogonal to each other on a horizontal plane, and rotatable in the horizontal direction (movable in the θ direction).
【0016】ボックス6の上面には、被検査物である光
透過型の液晶表示パネル7が、光源3および欠陥位置特
定用パネル4を覆うようにパネル保持台8上に載置され
ており、真空吸引機(図示せず)によってパネル保持台
8に固定保持されている。On the upper surface of the box 6, a light transmission type liquid crystal display panel 7 which is an object to be inspected is placed on a panel holding base 8 so as to cover the light source 3 and the defect position specifying panel 4. The panel holder 8 is fixedly held by a vacuum suction machine (not shown).
【0017】パネル保持台8の上方にはマスターテーブ
ル9があり、マスターテーブル9はマスターボード1上
に固定されたエアーシリンダー10によって上下動する
ように構成されている。このマスターテーブル9には、
中央部に液晶表示パネル7と略同一の大きさの開口部が
設けられており、この開口部の各側辺に沿ってフィルム
キャリアにより構成されたテスタヘッド11が張り付け
られている。A master table 9 is provided above the panel holding table 8, and the master table 9 is configured to move up and down by an air cylinder 10 fixed on the master board 1. In this master table 9,
An opening having substantially the same size as that of the liquid crystal display panel 7 is provided in the center, and a tester head 11 formed of a film carrier is attached along each side of the opening.
【0018】テスタヘッド11は、パネル保持台8に固
定保持された液晶表示パネル7に接触し、液晶表示パネ
ル7の各絵素に所定の駆動信号を入力する機能を有して
いる。すなわち、テスタヘッド11は、マスターテーブ
ル9が下降すると、パネル保持台8に固定保持された液
晶表示パネル7の外部信号接続端子部に接触し、液晶表
示パネル7に駆動信号を入力する。The tester head 11 has a function of coming into contact with the liquid crystal display panel 7 fixedly held by the panel holding base 8 and inputting a predetermined drive signal to each picture element of the liquid crystal display panel 7. That is, when the master table 9 descends, the tester head 11 comes into contact with the external signal connection terminal portion of the liquid crystal display panel 7 fixedly held by the panel holding base 8 and inputs a drive signal to the liquid crystal display panel 7.
【0019】マスターテーブル9の上方には、2台のC
CDカメラ12が設けられ、パネル保持台8に載置され
た液晶表示パネル7の所定位置を撮像し、例えば液晶表
示パネル7のアライメントに利用する。Above the master table 9 are two Cs.
A CD camera 12 is provided, and an image of a predetermined position of the liquid crystal display panel 7 placed on the panel holder 8 is picked up and used for alignment of the liquid crystal display panel 7, for example.
【0020】欠陥位置特定用パネル4には制御手段13
が接続され、制御手段13から駆動信号を入力すること
によって、欠陥位置特定用パネル4にマークを表示させ
ておく。このマークは、制御手段13に接続されたキー
ボードまたはマウス等の入力端末14を操作することに
よって、自由に動かすことができる。The defect position specifying panel 4 is provided with a control means 13
Are connected, and a mark is displayed on the defect position specifying panel 4 by inputting a drive signal from the control means 13. This mark can be freely moved by operating the input terminal 14 such as a keyboard or a mouse connected to the control means 13.
【0021】次に、欠陥位置の特定方法について説明す
る。まず、マスターテーブル9を上昇させた状態で、液
晶表示パネル7を外部信号接続端子部を上側にしてパネ
ル保持台8上に略水平状態で載置する。Next, a method of identifying a defect position will be described. First, with the master table 9 raised, the liquid crystal display panel 7 is placed on the panel holder 8 in a substantially horizontal state with the external signal connection terminal portion facing upward.
【0022】このとき、2台のCCDカメラ12を用い
て、液晶表示パネル7に設けられたアライメントマーク
(図示せず)と、マスターテーブル9に設けられたアラ
イメントマーク(図示せず)と、欠陥位置特定用パネル
4に設けられたアライメントマーク(図示せず)とを、
XYθテーブル2およびXYθテーブル5を調節して合
わせ、液晶表示パネル7がパネル保持台8の所定の位置
に載置されるようにする。こうして液晶表示パネル7の
アライメントが終了すると、液晶表示パネル7を真空吸
引機によってパネル保持台8に吸着して固定保持する。At this time, by using two CCD cameras 12, an alignment mark (not shown) provided on the liquid crystal display panel 7, an alignment mark (not shown) provided on the master table 9, and a defect. An alignment mark (not shown) provided on the position specifying panel 4,
The XYθ table 2 and the XYθ table 5 are adjusted and aligned so that the liquid crystal display panel 7 is placed at a predetermined position on the panel holding base 8. When the alignment of the liquid crystal display panel 7 is completed in this way, the liquid crystal display panel 7 is sucked and fixedly held on the panel holding base 8 by a vacuum suction machine.
【0023】そして、マスターボード1上に取り付けら
れたエアーシリンダー10を駆動し、マスターテーブル
9を下降して、テスタヘッド11を液晶表示パネル7の
外部信号接続端子部に接触させる。テスタヘッド11が
液晶表示パネル7の外部信号接続端子部に接触すれば、
テスタヘッド11を介して液晶表示パネル7に所定の駆
動信号が入力され、液晶表示パネル7が駆動される。Then, the air cylinder 10 mounted on the master board 1 is driven, the master table 9 is lowered, and the tester head 11 is brought into contact with the external signal connection terminal portion of the liquid crystal display panel 7. If the tester head 11 contacts the external signal connection terminal of the liquid crystal display panel 7,
A predetermined drive signal is input to the liquid crystal display panel 7 via the tester head 11, and the liquid crystal display panel 7 is driven.
【0024】光源3から液晶表示パネル7および欠陥位
置特定用パネル4に光を照射すれば、図2に示すよう
に、検査者は液晶表示パネル7と欠陥位置特定用パネル
4との合成映像15を目視することができる。尚、欠陥
位置特定用パネル4には、前述したように制御手段13
から駆動信号が入力されており、マーク16が常に表示
されている。When the liquid crystal display panel 7 and the defect position specifying panel 4 are irradiated with light from the light source 3, the inspector composites an image 15 of the liquid crystal display panel 7 and the defect position specifying panel 4 as shown in FIG. Can be visually observed. The defect position specifying panel 4 has the control means 13 as described above.
The drive signal is input from the, and the mark 16 is always displayed.
【0025】このとき、例えば+で示すマーク16が表
示され、その左下に×で示す液晶表示パネル7の欠陥1
7が表示されたとすると、検査者はこの合成映像15を
目視しながら制御手段13のキーボードまたはマウス等
の入力端末14を操作し、図3に示すように、マーク1
6を移動制御して欠陥17と重ね合わせる。At this time, for example, a mark 16 indicated by + is displayed, and defect 1 of the liquid crystal display panel 7 indicated by X is displayed at the lower left thereof.
7 is displayed, the inspector operates the input terminal 14 such as the keyboard or the mouse of the control means 13 while observing the composite image 15 to display the mark 1 as shown in FIG.
6 is moved and controlled to be superposed on the defect 17.
【0026】このようにすれば、制御手段13はマーク
16の位置座標を常に把握しているため、マーク16の
座標位置から欠陥17の位置を正確に特定することがで
き、制御手段13に接続したモニター(図示せず)の画
面上で、または制御手段13に接続したプリンター(図
示せず)で位置座標をプリントアウトして検査者が確認
できる。In this way, since the control means 13 always grasps the position coordinates of the mark 16, the position of the defect 17 can be accurately specified from the coordinate position of the mark 16 and the control means 13 is connected. The inspector can confirm the position coordinates by printing out the position coordinates on the screen of the monitor (not shown) or by a printer (not shown) connected to the control means 13.
【0027】また、この位置座標を制御手段13に接続
したホストコンピューター(図示せず)に記憶させれ
ば、欠陥17の修復工程を無人で行うこともできる。If the position coordinates are stored in a host computer (not shown) connected to the control means 13, the repair process of the defect 17 can be performed unattended.
【0028】本実施の形態においては、液晶表示パネル
7を上側に配置し、欠陥位置特定用パネル4を下側に配
置する構成としたが、欠陥位置特定用パネル4を上側に
配置し、液晶表示パネル7を下側に配置してもかまわな
い。その場合、テスタヘッド11を横方向から液晶表示
パネル7に近づけるようにすればよい。In the present embodiment, the liquid crystal display panel 7 is arranged on the upper side and the defect position specifying panel 4 is arranged on the lower side. However, the defect position specifying panel 4 is arranged on the upper side, and the liquid crystal The display panel 7 may be arranged on the lower side. In that case, the tester head 11 may be brought closer to the liquid crystal display panel 7 from the lateral direction.
【0029】また、液晶表示パネル7と欠陥位置特定用
パネル4とは、絵素の形状、絵素の大きさ、絵素の数お
よび絵素の間隔等が等しいものを用いれば、欠陥17の
位置座標の特定が容易になるため好ましい。If the liquid crystal display panel 7 and the defect position specifying panel 4 have the same picture element shape, picture element size, picture element number, picture element spacing, etc. This is preferable because the position coordinates can be easily specified.
【0030】[0030]
【発明の効果】以上の説明のように、本発明の光透過型
表示パネルの欠陥修正方法によれば、光透過型表示パネ
ルの後方に光源を配置し、前記光透過型表示パネルに所
定の駆動信号を入力して欠陥を検査し、前記欠陥を修正
する光透過型表示パネルの欠陥修正方法において、前記
光源の前方に、欠陥修正対象である光透過型表示パネル
と同一仕様の光透過型の欠陥位置特定用パネルを配置
し、前記欠陥位置特定用パネルにマークを表示させ、前
記光透過型表示パネルの欠陥位置に前記マークを移動
し、前記マークの位置から前記欠陥位置を特定し、前記
欠陥の位置座標に基づいて前記欠陥の修復を自動化する
ことにより、1回の目視検査で正確かつ迅速に欠陥位置
を特定することができるため、工数を減少させてコスト
ダウンを図ることができる。As described above, according to the defect correction method for a light transmission type display panel of the present invention, the light transmission type display panel is used.
A light source is placed behind the
Input a constant drive signal to inspect defects and correct the defects
In the defect correction method for a light transmission type display panel,
In front of the light source, a light-transmissive display panel whose defect is to be corrected
A light transmission type defect position identification panel with the same specifications as
Then, display the mark on the defect position specifying panel,
Move the mark to the defect position of the transmissive display panel
The defect position from the position of the mark,
By automating the repair of the defect based on the position coordinates of the defect , the defect position can be specified accurately and quickly by one visual inspection, so that the number of steps can be reduced and the cost can be reduced. be able to.
【0031】本発明の光透過型表示パネルの欠陥修正装
置によれば、光透過型表示パネルに所定の駆動信号を入
力するテスタヘッドと、欠陥修正対象である光透過型表
示パネルと同一仕様であり、マークを表示するための光
透過型の欠陥位置特定用パネルと、前記光透過型表示パ
ネルおよび前記欠陥位置特定用パネルに光を照射する光
源と、前記マークを前記光透過型表示パネルの欠陥位置
に移動し、前記マークの位置データーを出力する制御手
段と、前記制御手段に接続され、前記マークの位置デー
ターを記憶するホストコンピュータとを有し、前記マー
クの位置データーに基づいて欠陥の修復を自動化するこ
とにより、1回の目視検査で正確かつ迅速に欠陥位置を
特定することができるため、工数を減少させてコストダ
ウンを図ることができる。According to the defect correcting device of the light transmissive display panel of the present invention , a predetermined drive signal is input to the light transmissive display panel.
Force tester head and light transmission type table to be corrected
It has the same specifications as the display panel and has a light for displaying the mark.
A transmission type defect position identifying panel and the light transmission type display panel.
Light for irradiating the panel and the defect location specifying panel with light.
Source and the mark on the defect position of the light transmissive display panel
To the control hand that outputs the position data of the mark.
Stage and the position data of the mark connected to the control means.
Host computer for storing the
By this <br/> and to automate the defect repair based on the position data of the click, it is possible to identify accurately and quickly defect position in one visual inspection, reduce cost by decreasing the number of steps be able to.
【0032】さらに、制御手段をホストコンピューター
等に接続し、欠陥位置の情報をホストコンピューター等
に記憶させれば、次工程での欠陥の修復を無人で行うこ
ともできるため、さらにコストダウンを図ることができ
る。Furthermore, if the control means is connected to a host computer or the like and the information on the defect position is stored in the host computer or the like, the defect can be repaired unattended in the next step, so that the cost can be further reduced. be able to.
【図1】本発明に係わる光透過型表示パネルの検査装置
を示す概略構成図である。FIG. 1 is a schematic configuration diagram showing a light transmissive display panel inspection apparatus according to the present invention.
【図2】液晶表示パネルの合成映像を示す説明図であ
る。FIG. 2 is an explanatory diagram showing a composite image on a liquid crystal display panel.
【図3】欠陥位置にマークを移動したときの液晶表示パ
ネルの合成映像を示す説明図である。FIG. 3 is an explanatory diagram showing a composite image on a liquid crystal display panel when a mark is moved to a defect position.
1 マスターボード 2 XYθテーブル 3 光源 4 欠陥位置特定用パネル 5 XYθテーブル 6 ボックス 7 液晶表示パネル 8 パネル保持台 9 マスターテーブル 10 エアーシリンダー 11 テスタヘッド 12 CCDカメラ 13 制御手段 14 入力端末 15 合成映像 16 マーク 17 欠陥 1 master board 2 XYθ table 3 light sources 4 Defect position identification panel 5 XYθ table 6 boxes 7 LCD display panel 8 panel holder 9 master table 10 air cylinders 11 Tester head 12 CCD camera 13 Control means 14 Input terminal 15 Composite video 16 mark 17 defects
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 特開 平8−5509(JP,A) 特開 平6−11454(JP,A) 特開 平6−175096(JP,A) 特開 平7−1173(JP,A) 特開 平4−151547(JP,A) 特開 平6−331945(JP,A) 特開 平7−43655(JP,A) 実開 平4−37927(JP,U) (58)調査した分野(Int.Cl.7,DB名) G01M 11/00 - 11/08 G01N 21/84 - 21/958 G02F 1/13 ─────────────────────────────────────────────────── ─── Continuation of the front page (56) References JP-A-8-5509 (JP, A) JP-A-6-11454 (JP, A) JP-A-6-175096 (JP, A) JP-A-7- 1173 (JP, A) JP 4-151547 (JP, A) JP 6-331945 (JP, A) JP 7-43655 (JP, A) Actual flat 4-37927 (JP, U) (58) Fields investigated (Int.Cl. 7 , DB name) G01M 11/00-11/08 G01N 21/84-21/958 G02F 1/13
Claims (2)
し、前記光透過型表示パネルに所定の駆動信号を入力し
て欠陥を検査し、前記欠陥を修正する光透過型表示パネ
ルの欠陥修正方法において、 前記光源の前方であって光透過型表示パネルの後方に、
欠陥修正対象である光透過型表示パネルと同一仕様の光
透過型の欠陥位置特定用パネルを配置し、該欠陥位置特
定用パネルに対して、該欠陥位置特定用パネルを覆うよ
うに配置された前記欠陥を修正する光透過型表示パネル
をアライメントして所定位置に固定し、前記欠陥位置特
定用パネルに常に表示される欠陥位置特定用のマーク
を、入力端末の操作により、前記光透過型表示パネルに
所定の駆動信号を入力して前記光源からの光が照射され
ることによって表示される前記光透過型表示パネルの欠
陥位置に移動させ、前記マークの位置から前記欠陥位置
を特定し、前記欠陥の位置座標に基づいて前記欠陥の修
復を自動化することを特徴とする光透過型表示パネルの
欠陥修正方法。1. A defect of a light transmissive display panel in which a light source is arranged behind the light transmissive display panel, a predetermined drive signal is input to the light transmissive display panel to inspect a defect, and the defect is corrected. In the correction method, in front of the light source and behind the light transmissive display panel,
A light transmission type defect position specifying panel having the same specifications as the light transmission type display panel which is the defect correction target is arranged , and the defect position specifying panel is covered with the defect position specifying panel.
The light transmissive display panel that corrects the defects arranged as described above is aligned and fixed at a predetermined position, and the defect position identifying mark that is always displayed on the defect position identifying panel is operated by the operation of the input terminal. For light-transmissive display panel
The light from the light source is emitted by inputting a predetermined drive signal.
By moving to a defect position of the light-transmissive display panel which is displayed by specifying the defect position from the position of the mark, and automatically repairing the defect based on the position coordinates of the defect. A method for correcting defects in a light transmission type display panel.
入力するテスタヘッドと、 欠陥修正対象である光透過型表示パネルと同一仕様であ
り、前記光透過型表示パネルの後方に、該光透過型表示
パネルにて覆われるように配置されて、マークを表示す
る光透過型の欠陥位置特定用パネルと、 前記光透過型表示パネルおよび前記欠陥位置特定用パネ
ルに光を照射する光源と、 前記欠陥位置特定用パネルに対して前記欠陥を修正する
光透過型表示パネルをアライメントして所定位置に固定
した状態で、該欠陥位置特定用パネルに常に表示された
欠陥位置特定用のマークを、入力端末の操作により、前
記光透過型表示パネルに所定の駆動信号を入力して前記
光源からの光が照射されることによって表示される前記
光透過型表示パネルの欠陥位置に移動させることによ
り、前記マークの位置データーを出力する制御手段と、 前記制御手段に接続され、前記マークの位置データを記
憶するホストコンピュータとを有し、 前記マークの位置データに基づいて欠陥の修復を自動化
することを特徴とする光透過型表示パネルの欠陥修正装
置。2. A tester head to enter the light transmissive display panel a predetermined drive signal, a light transmissive display panel and the same specifications are defect correction target, the rear of the light transmissive display panel, the light Transmissive display
A light transmission type defect position specifying panel which is arranged so as to be covered with a panel and displays a mark, a light source which irradiates the light transmission type display panel and the defect position specifying panel with light, and the defect position The light transmission display panel for correcting the defect is aligned with the identification panel and fixed at a predetermined position, and is always displayed on the defect location identification panel.
The mark for specifying the defect position can be
By inputting a predetermined drive signal to the light-transmissive display panel,
By moving to a defect position of the light transmissive display panel that is displayed by irradiating light from a light source, control means for outputting position data of the mark, and connected to the control means, A defect correction device for a light-transmissive display panel, comprising: a host computer that stores position data; and automatic defect repair based on the mark position data.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP06757597A JP3375265B2 (en) | 1997-03-21 | 1997-03-21 | Defect repair method and defect repair device for light transmissive display panel |
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- 1997-03-21 JP JP06757597A patent/JP3375265B2/en not_active Expired - Fee Related
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