JPH10197399A - Defect locator for thin display - Google Patents

Defect locator for thin display

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JPH10197399A
JPH10197399A JP426497A JP426497A JPH10197399A JP H10197399 A JPH10197399 A JP H10197399A JP 426497 A JP426497 A JP 426497A JP 426497 A JP426497 A JP 426497A JP H10197399 A JPH10197399 A JP H10197399A
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thin display
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To obtain a defect locator for thin display in which a defective lighting point can be shifted accurately and automatically at high speed to an observing or repairing position while lessening the driving work, accelerating the work and reducing the cost through increase of the yield. SOLUTION: A worker shifts an XY stage 4 roughly to a position where the vicinity of a detective pixel element is reflected on a CCD camera 16 for driving. An image signal obtained through the CCD camera 16 is delivered to an image processing section 29 which then delivers image information indicative of the brightness and position to a main controller 10. The main controller 10 processes the image information to locate the defective pixel element. Subsequently, the main controller 10 shifts the XY stage 4 by the difference between the position of defective pixel element obtained at the image processing section 29 and a prestored position directly under a microscope. Consequently, the detective pixel element is located automatically at high accuracy substantially with no help of the worker.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、薄型表示機器の製
造工程で発生する表示不良品の検査及び修正を効率的に
行う薄型表示機器の欠陥位置決め装置に関するものであ
る。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a defect locating apparatus for a thin display device for efficiently inspecting and correcting defective display products generated in a manufacturing process of the thin display device.

【0002】[0002]

【従来の技術】液晶表示機器を製造する工程では、従
来、光学的検査装置や電気的検査装置などの検査装置に
よって、いくつかの検査工程が設けられている。そし
て、これら各工程において、製造途中の液晶表示機器の
品質状態が検査され、所定基準の品質状態を満足してい
ない場合、液晶表示機器は不合格となる。これら不合格
品となった液晶表示機器は不良品として廃棄するか、ま
たは、その不合格となった工程の前工程における品質状
態にまで修復が可能ならば、作業者が顕微鏡などで欠陥
部分を拡大し、その欠陥部分の修復を行った上で、再度
不合格となった工程から製造し直す。また、修復しない
までも、その不合格となった欠陥の発生原因を調べ、前
工程へフィードバックするために作業者が顕微鏡などで
不合格品の欠陥部分を拡大し、その不良解析を行う。
2. Description of the Related Art In a process of manufacturing a liquid crystal display device, several inspection processes have conventionally been provided by an inspection device such as an optical inspection device or an electrical inspection device. In each of these steps, the quality state of the liquid crystal display device being manufactured is inspected. If the quality state of the liquid crystal display device does not satisfy a predetermined standard, the liquid crystal display device is rejected. These rejected liquid crystal display devices are discarded as defective products, or if the quality can be restored to the quality of the process before the rejected process, the operator can use a microscope or the like to remove defective parts. After enlarging and repairing the defective part, the manufacturing is started again from the failed step. Further, even if the defect is not repaired, the cause of occurrence of the rejected defect is examined, and an operator enlarges the defective portion of the rejected product with a microscope or the like to feed back to a previous process, and analyzes the defect.

【0003】しかしながら、近来、液晶表示機器の大型
化や高精度化、細密化が要求され、液晶表示機器内の絵
素数が、飛躍的に増加しており、これに伴い、各種欠陥
が表示機器内に発生する確率も高くなっている。そのた
め、従来の製造プロセスを踏襲していくだけでは、全く
欠陥の無い液晶表示機器を高い歩留まりで生産すること
は、極めて難しい情況となっている。
However, recently, there has been a demand for a liquid crystal display device having a larger size, higher precision, and finerness, and the number of picture elements in the liquid crystal display device has been dramatically increased. The probability of occurrence within is also high. Therefore, it is extremely difficult to produce a liquid crystal display device having no defect at a high yield only by following the conventional manufacturing process.

【0004】そこで、液晶表示機器の製造歩留りをより
一層向上させるために、まず液晶表示機器を半完成品
(以後、液晶パネルと表現する)に組み立てた時点で、
検査用駆動信号を液晶パネルに供給して点灯状態の検査
を行う。そして、この検査工程にて不合格品として選別
された液晶パネルのうち、修正可能と判断された液晶パ
ネルの欠陥を修正する。また、修正しないまでも不良原
因を前工程にフィードバックするために、この欠陥の解
析を行うことで、工程の製造歩留りを向上させることが
行われている。
In order to further improve the production yield of liquid crystal display devices, first, when the liquid crystal display device is assembled into a semi-finished product (hereinafter, referred to as a liquid crystal panel),
The driving signal for inspection is supplied to the liquid crystal panel to inspect the lighting state. Then, of the liquid crystal panels selected as rejected products in this inspection process, the defect of the liquid crystal panel determined to be correctable is corrected. Further, in order to feed back the cause of the defect to the previous process even if it is not corrected, the defect analysis is performed to improve the manufacturing yield of the process.

【0005】液晶表示パネルの点灯不良の原因として
は、例えば図17に示すように、絵素26が配線パター
ン45とショートを起こしている場合が多い。このショ
ート部分28は、0.5μm〜50μm程度と非常に小
さい。従って、上記のような不良原因の解析や欠陥箇所
の修正作業は、例えば顕微鏡等を使用した拡大視野内で
の作業となっており、通常は、50倍程度の対物レンズ
を用いて約150〜200μmの視野範囲で拡大観察し
ている。
As a cause of lighting failure of the liquid crystal display panel, for example, as shown in FIG. 17, for example, the picture element 26 often short-circuits with the wiring pattern 45. The short portion 28 is as small as about 0.5 μm to 50 μm. Therefore, the analysis of the cause of the defect and the repair of the defective portion as described above are performed within a magnified field of view using, for example, a microscope or the like. The observation is made in an enlarged manner in a visual field range of 200 μm.

【0006】図18に基づいて、このような欠陥箇所の
検査・修正を行う従来の欠陥修正装置の一例を説明する
と、装置本体上には、検査すべき液晶パネル2を支持す
ると共に、所定位置に固定させるパネル固定部3が設け
られている。このパネル固定部3は、装置本体の水平面
における所定の直行方向に移動可能な、X−Yステージ
4上に設けられており、欠陥観察修正部8におけるレー
ザ照射用顕微鏡システム13の下方をパネル2のサイズ
分だけ自由に移動できるようになっている。X−Yステ
ージ4には、ジョイスティック25からの信号が入力さ
れるステージ制御部24が備えられており、作業者はジ
ョイスティック25を操作することで、X−Yステージ
4をXY方向に任意に操作できるようになっている。こ
のようなX−Yステージ4、ジョイスティック25、ス
テージ制御部24等にて移動手段が構成されている。
An example of a conventional defect repairing apparatus for inspecting and repairing such a defective portion will be described with reference to FIG. 18. A liquid crystal panel 2 to be inspected is supported on a main body of the apparatus and a predetermined position is provided. Is provided with a panel fixing portion 3 for fixing the panel. The panel fixing unit 3 is provided on an XY stage 4 which is movable in a predetermined perpendicular direction on a horizontal plane of the apparatus main body, and a panel 2 is provided below the laser irradiation microscope system 13 in the defect observation and correction unit 8. You can move freely by the size of. The XY stage 4 is provided with a stage control unit 24 to which a signal from the joystick 25 is input. The operator operates the joystick 25 to operate the XY stage 4 arbitrarily in the XY directions. I can do it. The XY stage 4, the joystick 25, the stage control unit 24, and the like constitute a moving unit.

【0007】上記パネル固定部3における、パネル2の
端部側に形成されている図示しない接続端子部に対応す
る箇所には、駆動信号供給手段である点灯駆動信号発生
部6からの信号を入力させる電極端子群5が設けられて
おり、これに、パネル2の接続端子部が接触し、パネル
2が点灯するようになっている。
A signal from a lighting drive signal generator 6 as drive signal supply means is input to a portion of the panel fixing portion 3 corresponding to a connection terminal (not shown) formed on an end portion of the panel 2. An electrode terminal group 5 is provided, and a connection terminal portion of the panel 2 comes into contact with the electrode terminal group 5 so that the panel 2 is turned on.

【0008】一方、パネル固定部3の上方には、一対の
アライメント用カメラ9と、パネル2をクランプして移
動できるアライメント機構部7が設けられいる。アライ
メント用カメラ9にはアライメント画像処理部11が接
続され、アライメント機構部7には、アライメント機構
制御部12が接続されている。アライメント画像処理部
11からの信号に基づいてメインコントローラ10がア
ライメント機構制御部12を介してアライメント機構部
7を移動させ、パネル2の接続端子部と上記電極端子群
5とが正確に接触された状態にアライメントされるよう
になっている。
On the other hand, a pair of alignment cameras 9 and an alignment mechanism 7 capable of clamping and moving the panel 2 are provided above the panel fixing part 3. An alignment image processing unit 11 is connected to the alignment camera 9, and an alignment mechanism control unit 12 is connected to the alignment mechanism unit 7. The main controller 10 moves the alignment mechanism 7 via the alignment mechanism controller 12 based on a signal from the alignment image processor 11, and the connection terminal of the panel 2 and the electrode terminal group 5 are correctly contacted. Aligned to the state.

【0009】前述の欠陥観察修正部8は、パネル固定部
3に固定されたパネル2の上方側に、欠陥個所を観察及
び修正する処理手段としてのレーザ照射用顕微鏡システ
ム13を有すると共に、液晶パネル2と欠陥観察修正部
8との間にパネル2に点灯不良箇所の検出に必要な光を
照射する光源手段である透過照明15を有し、パネル2
を挟んで対向側には、顕微鏡システム13の拡大率より
も充分低倍率であり、点灯不良箇所の点灯状態を確認す
るための追い込み用CCDカメラ16が設置されてい
る。また、上記レーザ照射用顕微鏡システム13は、欠
陥部分にレーザ光を照射して修正を行うレーザ13dを
備えており、レーザ光の照射は、レーザコントローラ2
3にて制御されるようになっている。
The above-mentioned defect observation and correction unit 8 has a laser irradiation microscope system 13 as processing means for observing and correcting a defect portion above the panel 2 fixed to the panel fixing unit 3 and a liquid crystal panel. The panel 2 has a transmissive illumination 15 as a light source means for irradiating the panel 2 with light necessary for detecting a defective lighting point between the panel 2 and the defect observation and correction unit 8.
On the opposite side with respect to, a drive-in CCD camera 16 having a magnification sufficiently lower than the magnification of the microscope system 13 and for confirming the lighting state of a defective lighting location is provided. The laser irradiation microscope system 13 is provided with a laser 13d for irradiating a laser beam to a defect portion to correct the laser beam.
3 is controlled.

【0010】このような構成の装置において、検査・修
正を行う際、作業者は、まず、パネル2を点灯させると
共に透過照明15を点灯させ、パネル2を目視して点灯
不良箇所を検出し、この検出箇所をジョイスティック2
5を使い、追い込み用CCDカメラ16の映像に映るよ
うにパネル2を移動させる。さらに、この視野内の所定
の位置にある顕微鏡システム13の50倍(視野φ18
0μm)対物レンズ13cの視野位置に同様にジョイス
ティック25を用いて点灯不良箇所を位置合せした後、
追い込みカメラ16から顕微鏡システム13に切換えて
観察する。そして、点灯不良を引き起こしている原因で
ある配線パターンのショート等の欠陥箇所を観察し、不
良原因の解析や、レーザを用いた修正を行う。
[0010] When performing inspection and correction in the apparatus having such a configuration, the operator first turns on the panel 2 and also turns on the transmissive illumination 15, and visually checks the panel 2 to detect a defective lighting location. Use this joystick 2
5, the panel 2 is moved so as to be displayed on the image of the driving CCD camera 16. Further, the magnification of the microscope system 13 at a predetermined position in the field of view is increased by 50 times (field of view φ18
0 μm) After the lighting failure portion is similarly positioned to the visual field position of the objective lens 13 c using the joystick 25,
It switches to the microscope system 13 from the driving camera 16 and observes. Then, a defective portion such as a short-circuit of the wiring pattern, which is a cause of the lighting failure, is observed, and the cause of the failure is analyzed, and correction using a laser is performed.

【0011】[0011]

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記の
ような検査装置や修正装置においては、顕微鏡システム
13の対物レンズ13cの50倍の視野内に欠陥箇所を
位置させるという、欠陥箇所の解析や修正を行う以前の
段階で非常に手間取っている。この結果、このような検
査修正工程を設けることで歩留りは向上するものの、人
件費等の関係から反対にコストが高騰したり、作業者の
疲労度により作業時間にバラツキがでたりといった問題
が生じている。
However, in the inspection apparatus and the repairing apparatus as described above, the defect location is located and located within a field of view 50 times that of the objective lens 13c of the microscope system 13, that is, analysis and correction of the defect location. It is very time-consuming before doing so. As a result, the yield can be improved by providing such an inspection and correction process, but the cost rises due to labor costs and the like, and the work time varies due to the degree of worker fatigue. ing.

【0012】即ち、従来の検査修正装置においては、点
灯不良箇所を顕微鏡システム13の視野内に移動させる
ためには、作業者がジョイスティック25等を介して移
動させる手段しか備えられていなかった。そのため、上
述したように、50倍の視野内で欠陥箇所を観察したい
場合、追い込み用カメラ16の画像をモニタ17上で確
認しながら移動していた。ところが、この低倍率の追い
込み用カメラ16(7×5〜14×11mm程度の視野)
を用いても、およそ0.1mm×0.3mm程度しかない欠
陥部を正確に所定の位置に合わせることは、作業者にと
って至難の業であり、非常に時間のかかる作業である。
更には、修正作業の件数によっては、一人の作業では補
えなくなり、このため、上記のような問題が生ずること
となる。
That is, in the conventional inspection and correction device, only a means for moving the operator via the joystick 25 or the like is provided to move the defective lighting portion into the field of view of the microscope system 13. Therefore, as described above, when it is desired to observe a defective portion within a field of view having a magnification of 50 times, the user has moved while checking the image of the driving camera 16 on the monitor 17. However, this low-power camera 16 (field of view of about 7 × 5 to 14 × 11 mm)
It is extremely difficult and extremely time-consuming for a worker to accurately adjust a defective portion having a size of only about 0.1 mm × 0.3 mm to a predetermined position.
Furthermore, depending on the number of correction operations, it is impossible for one operation to compensate, and the above-described problem occurs.

【0013】本発明は、観察あるいは修理等の処理を行
う位置に点灯不良箇所を正確かつ高速に自動で移動させ
ることができ、追い込みのための作業者の作業の軽減を
はかるとともに、作業の高速化を促進し、歩留り向上に
よるコスト削減を効率よくする薄型表示機器の欠陥箇所
位置決め装置を提供することを目的としている。
According to the present invention, a defective lighting portion can be automatically and quickly moved to a position where processing such as observation or repair is performed. It is an object of the present invention to provide a defect position locating device for a thin display device, which promotes cost reduction and efficiently reduces costs by improving yield.

【0014】[0014]

【課題を解決するための手段】請求項1の発明は、薄型
表示機器を支持すると共に移動させる移動手段と、上記
薄型表示機器を点灯させるための駆動信号を供給する駆
動信号供給手段と、駆動信号が供給されている上記薄型
表示機器における点灯不良である欠陥箇所の検出に必要
な光を上記薄型表示機器に照射する光源手段と、上記薄
型表示機器における点灯不良の欠陥箇所に対し所定の処
理を行う欠陥処理手段と、上記欠陥箇所の位置を検出す
る欠陥位置検出手段と、上記欠陥箇所の位置と上記欠陥
処理手段の処理位置との偏差量を演算し、上記欠陥箇所
を上記欠陥処理手段の処理位置へ該偏差量だけ上記移動
手段によって移動させる制御手段と、を備えたことを特
徴とする薄型表示機器の欠陥箇所位置決め装置である。
According to a first aspect of the present invention, there is provided a moving device for supporting and moving a thin display device, a driving signal supply device for supplying a driving signal for lighting the thin display device, and a driving device. A light source means for irradiating the thin display device with light necessary for detecting a defective spot which is a lighting defect in the thin display device to which a signal is supplied; and a predetermined process for the defective lighting portion in the thin display device. Defect processing means for performing the defect processing, a defect position detecting means for detecting the position of the defect location, and calculating a deviation amount between the position of the defect location and the processing position of the defect processing means, And a control means for moving the processing means to the processing position by the deviation amount by the moving means.

【0015】請求項2の発明は、請求項1記載の薄型表
示機器の欠陥箇所位置決め装置であって、上記欠陥位置
検出手段は、視野内の所定位置に上記欠陥処理手段の処
理位置が設定され、上記薄型表示機器の表示状態を撮像
する撮像手段と、上記撮像手段の画像情報に基づいて欠
陥個所の位置を検出する画像処理手段と、からなること
を特徴とする。
According to a second aspect of the present invention, there is provided the defect position locating device for a thin display device according to the first aspect, wherein the defect position detecting means sets the processing position of the defect processing means at a predetermined position in the visual field. An image pickup means for picking up an image of a display state of the thin display device, and an image processing means for detecting a position of a defect based on image information of the image pickup means.

【0016】請求項3の発明は、請求項1記載の薄型表
示機器の欠陥箇所位置決め装置であって、上記欠陥処理
手段は、光学的に上記欠陥箇所を拡大する機能を有し、
上記欠陥位置検出手段の撮像手段は、上記欠陥処理手段
よりも低倍率で広い視野を有すると共に該視野内の所定
位置に上記欠陥処理手段の処理位置が設定されたことを
特徴とする。
According to a third aspect of the present invention, there is provided the defect position locating device for a thin display device according to the first aspect, wherein the defect processing means has a function of optically enlarging the defect portion,
The imaging means of the defect position detecting means has a wider field of view at a lower magnification than the defect processing means, and the processing position of the defect processing means is set at a predetermined position in the field of view.

【0017】請求項4の発明は、請求項1記載の薄型表
示機器の欠陥箇所位置決め装置であって、上記欠陥位置
検出手段は、薄型表示機器を支持すると共に移動させる
移動手段と、上記薄型表示機器を点灯させるための駆動
信号を供給する駆動信号供給手段と、駆動信号が供給さ
れている上記薄型表示機器における点灯不良である欠陥
箇所の検出に必要な光を上記薄型表示機器に照射する光
源手段と、上記薄型表示機器の全面の表示状態を撮像す
る全面撮像手段と、上記全面撮像手段の画像情報に基づ
いて点灯不良の欠陥箇所の位置を検出する第1の画像処
理手段と、上記第1の画像処理手段により検出した欠陥
箇所を光学的に拡大して撮像する拡大撮像手段と、上記
拡大撮像手段の視野内に設定された基準位置と上記欠陥
箇所と偏差量を求め、上記欠陥箇所の位置を検出する第
2の画像処理手段と、上記第2の画像処理手段によって
得られた欠陥箇所の位置データを上記制御手段に通信す
る通信手段と、を備えたことを特徴とする。
According to a fourth aspect of the present invention, there is provided the defect position locating device for a thin display device according to the first aspect, wherein the defect position detecting means supports and moves the thin display device, and the thin display device comprises: Drive signal supply means for supplying a drive signal for lighting the device, and a light source for irradiating the thin display device with light necessary for detecting a defective spot which is a lighting failure in the thin display device to which the drive signal is supplied A first image processing means for detecting a position of a defective portion of a lighting failure based on image information of the entire image capturing means; a first image processing means for detecting a display state of the entire surface of the thin display device; A magnifying imaging means for optically magnifying and imaging a defect location detected by the first image processing means; and determining a reference position set in the visual field of the magnifying imaging means, the defect location, and a deviation amount. A second image processing means for detecting the position of the defect, and a communication means for communicating the position data of the defect obtained by the second image processing to the control means. And

【0018】請求項5の発明は、請求項2記載の薄型表
示機器の欠陥箇所位置決め装置であって、上記画像制御
手段は、撮像手段の視野内に複数のエリアを設定し、該
エリアの輝度値に従って重み付けを行い輝度の平均値を
演算し、欠陥個所の識別閾値とすることを特徴とする。
According to a fifth aspect of the present invention, there is provided the defect position locating apparatus for a thin display device according to the second aspect, wherein the image control means sets a plurality of areas in the field of view of the imaging means, and sets the brightness of the areas. The method is characterized in that weighting is performed in accordance with the value, an average value of luminance is calculated, and the average value is used as a threshold for identifying a defective portion.

【0019】請求項6の発明は、請求項2記載の薄型表
示機器の欠陥箇所位置決め装置であって、上記画像処理
手段は、撮像手段の視野の中心又は中心付近の位置から
徐々に周辺部へ検索範囲を広げて欠陥箇所の位置を検出
することを特徴とする。
According to a sixth aspect of the present invention, there is provided the defect position locating apparatus for a thin display device according to the second aspect, wherein the image processing means gradually moves from a position at or near the center of the visual field of the imaging means to a peripheral portion. The method is characterized in that the position of a defective portion is detected by expanding the search range.

【0020】請求項7の発明は、請求項2記載の薄型表
示機器の欠陥箇所位置決め装置であって、上記画像処理
手段は、欠陥箇所の位置を検出し、更に画像情報に基づ
いて欠陥箇所の絵素の形状認識を行い、所定の形状であ
る場合に欠陥箇所と認定することを特徴とする。
According to a seventh aspect of the present invention, there is provided the defect position locating apparatus for a thin display device according to the second aspect, wherein the image processing means detects the position of the defective portion, and further detects the defective portion based on the image information. It is characterized in that the shape of a picture element is recognized, and if the shape is a predetermined shape, it is recognized as a defective portion.

【0021】請求項8の発明は、請求項1記載の薄型表
示機器の欠陥箇所位置決め装置であって、上記制御手段
は、検出した欠陥箇所が絵素配列の方向に連続する線状
欠陥である場合に、いずれかの端点の欠陥箇所に上記欠
陥処理手段の処理位置を移動させることを特徴とする。
According to an eighth aspect of the present invention, there is provided the defect position locating device for a thin display device according to the first aspect, wherein the control means is a linear defect in which the detected defective portions are continuous in the direction of the picture element arrangement. In this case, the processing position of the defect processing means is moved to a defect location at any one of the end points.

【0022】請求項9の発明は、請求項1記載の薄型表
示機器の欠陥箇所位置決め装置であって、上記制御手段
は、検出した欠陥箇所が絵素配列の方向に連続して十字
に交わる交線状欠陥である場合に、一方向の絵素配列を
欠陥処理手段の処理位置に合わせ、更に他の方向の絵素
配列を欠陥処理手段の処理位置に合わせて、交点絵素に
上記欠陥処理手段の処理位置を移動させることを特徴と
する。
According to a ninth aspect of the present invention, there is provided the defect position locating device for a thin display device according to the first aspect, wherein the control means includes means for intersecting the detected defective portion with a cross continuously in the direction of the picture element arrangement. In the case of a linear defect, the pixel arrangement in one direction is aligned with the processing position of the defect processing unit, and the pixel array in the other direction is aligned with the processing position of the defect processing unit. The processing position of the means is moved.

【0023】本発明において、制御手段が、欠陥位置検
出手段によって検出した欠陥箇所の位置と上記欠陥処理
手段の処理位置との偏差量を演算し、欠陥箇所を欠陥処
理手段の処理位置へ該偏差量だけ移動手段によって移動
させる。したがって、自動的に処理位置に欠陥個所を位
置決めでき、位置決め操作が簡易化される。欠陥処理手
段とは、欠陥箇所の拡大観察するための顕微鏡や、修理
するためのレーザ等であり、これらの処理も容易にでき
る。
In the present invention, the control means calculates a deviation amount between the position of the defect detected by the defect position detecting means and the processing position of the defect processing means, and transfers the defective part to the processing position of the defect processing means. Move by the moving means by the amount. Therefore, the defective portion can be automatically positioned at the processing position, and the positioning operation is simplified. The defect processing means is a microscope for magnifying and observing a defective portion, a laser for repair, or the like, and these processes can be easily performed.

【0024】[0024]

【発明の実施の形態】以下に、本発明の実施の形態につ
いて図面を用いて説明する。図1は本発明に係る薄型表
示装置の欠陥箇所位置決め装置を用いた欠陥修正装置の
一実施形態を示す構成図、図2は欠陥修正装置の全体斜
視図、図3は光学系部分の要部構成図である。この欠陥
修正装置は、図18に示した従来の装置とほぼ同じ構成
であるので、同一部分には同一符号を付し、以下に説明
する。
Embodiments of the present invention will be described below with reference to the drawings. FIG. 1 is a block diagram showing an embodiment of a defect repairing device using a defect location locating device of a thin display device according to the present invention, FIG. 2 is an overall perspective view of the defect repairing device, and FIG. It is a block diagram. Since this defect repairing apparatus has substantially the same configuration as the conventional apparatus shown in FIG. 18, the same parts are denoted by the same reference numerals and will be described below.

【0025】薄型表示機器の代表である液晶テレビ製造
の途中段階である液晶パネル2は、電極群5と正確にコ
ンタクトさせるため、アライメント機構部7によってク
ランプされる。そして、液晶パネル2上のマークをカメ
ラ9で撮像し、アライメント画像処理部11にて得た結
果をメインコントローラ10にてアライメント制御部1
2に伝達し、アライメント機構部7を移動させ、液晶パ
ネル2はアライメントされる。パネル固定部3によって
装置に固定された後、点灯駆動信号発生部6によって作
られた駆動信号が電極群5を介して伝達され、点灯状態
となる。
The liquid crystal panel 2, which is a typical stage of a liquid crystal television, which is a typical example of a thin display device, is clamped by the alignment mechanism 7 in order to make accurate contact with the electrode group 5. Then, a mark on the liquid crystal panel 2 is imaged by the camera 9, and the result obtained by the alignment image processing unit 11 is obtained by the main controller 10.
2, the liquid crystal panel 2 is aligned by moving the alignment mechanism 7. After being fixed to the device by the panel fixing section 3, the drive signal generated by the lighting drive signal generating section 6 is transmitted through the electrode group 5 to be turned on.

【0026】固定部3は、図2のように中抜きXYステ
ージ4の上にのっており、レーザ照射用顕微鏡システム
13の下を液晶パネル2のサイズ分だけ自由に移動でき
るようになっている。顕微鏡システム13とは反対側に
5mm角〜20mm角程度を撮像することができるようなC
CDカメラ16が備えられている。そして顕微鏡システ
ム13と液晶パネル2との間に下向きに照明するような
透過照明15を設置している。このCCDカメラ16で
得られた映像は、画像処理部29に入力されるようにな
っている。
The fixed part 3 is mounted on the hollow XY stage 4 as shown in FIG. 2 and can be moved freely under the laser irradiation microscope system 13 by the size of the liquid crystal panel 2. I have. On the opposite side of the microscope system 13, a C that can image about 5 mm square to 20 mm square
A CD camera 16 is provided. Then, a transmission illumination 15 for illuminating downward is installed between the microscope system 13 and the liquid crystal panel 2. The image obtained by the CCD camera 16 is input to the image processing unit 29.

【0027】レーザ照射用顕微鏡システム13には、レ
ーザ13dがついており、液晶パネル2の不良を修正す
ることができるようになっている。XYステージ4は、
ジョイスティック25による指示またはメインコントロ
ーラ10からの指示に従って、ステージ制御部24によ
り移動できるようになっている。顕微鏡システム13に
付いているCCDカメラ13aを通して得た画像や画像
処理部29での画像は画像モニタ17に表示するように
なっている。
The laser irradiation microscope system 13 is provided with a laser 13 d so that defects in the liquid crystal panel 2 can be corrected. XY stage 4
The stage control unit 24 can move according to an instruction from the joystick 25 or an instruction from the main controller 10. An image obtained through the CCD camera 13a attached to the microscope system 13 and an image from the image processing unit 29 are displayed on the image monitor 17.

【0028】次に、不良箇所をレーザ照射用顕微鏡シス
テム13に追い込む手順を説明する。まず、作業者が欠
陥絵素の有る付近が追い込み用CCDカメラ16に映る
ような位置までXYステージ4を粗く移動させる。移動
後、追い込み用CCDカメラ16で得られた画像信号
は、画像処理部29へ送られ、欠陥絵素が検出される。
この画像処理部29で得られた欠陥絵素位置と予め記憶
されている顕微鏡直下の位置との差だけXYステージ4
をメインコントローラ10によって移動する。このよう
にして欠陥絵素は作業者の手をほどんど借りずに自動的
に精度良く位置決めされる。
Next, a procedure for driving a defective portion into the laser irradiation microscope system 13 will be described. First, the operator roughly moves the XY stage 4 to a position where the vicinity of the defective picture element is reflected by the driving CCD camera 16. After the movement, the image signal obtained by the driving CCD camera 16 is sent to the image processing unit 29, and a defective picture element is detected.
The difference between the position of the defective picture element obtained by the image processing unit 29 and the position immediately below the microscope stored in advance is the XY stage 4
Is moved by the main controller 10. In this way, defective picture elements are automatically and accurately positioned with little help from the operator.

【0029】また、透明タッチパネル30等を設けてお
き、作業者がタッチパネル30の直下にある液晶パネル
2の不良位置を指先で入力し、追い込み用CCDカメラ
16の位置へ顕微鏡システム13を移動する方法も考え
られる。この時のタッチパネル30による入力の位置精
度は十分CCDカメラ16の視野範囲(10mm角程度)
に入るだけの余裕を持たせる。また、外部通信部31か
ら別装置の全面検査装置等と通信によって、およその欠
陥位置の座標を入手して完全に自動で追い込むことが可
能である。
A method in which a transparent touch panel 30 or the like is provided, and an operator inputs a defective position of the liquid crystal panel 2 directly below the touch panel 30 with a fingertip, and moves the microscope system 13 to a position of the driving CCD camera 16. Is also conceivable. At this time, the positional accuracy of the input by the touch panel 30 is sufficient for the field of view of the CCD camera 16 (about 10 mm square).
Allow enough time to enter. Further, it is possible to obtain the coordinates of the approximate defect position by communication from the external communication unit 31 with a full-surface inspection device or the like of another device, and to drive the defect automatically completely.

【0030】続いて、本発明の画像処理によって欠陥絵
素を検出し、所定位置に移動させる方法について説明す
る。まず、上記のような方法で点灯不良箇所が追い込み
用CCDカメラ16の視野内に入るようX−Yステージ
4を移動させる。通常、偏向板に挟まれた液晶パネル2
は、駆動信号発生器6からの信号によって、正常絵素は
光を透過せず黒くなり、不良絵素は、光を透過するため
白黒液晶ならば白く、カラー液晶のように絵素に赤/緑
/青のような色がついていればその色が光る。ここで、
偏向板は、この装置構成の場合、一方は透明照明15に
貼付され、他方は、CCDカメラ16のレンズ部に組み
込んである。以下の実施形態では、カラー液晶を題材に
説明するが、白黒液晶でも同様に応用できる。
Next, a method of detecting a defective picture element by the image processing of the present invention and moving it to a predetermined position will be described. First, the XY stage 4 is moved by the above-described method so that the defective lighting portion falls within the field of view of the driving CCD camera 16. Normally, a liquid crystal panel 2 sandwiched between deflection plates
The normal picture element becomes black without transmitting light by the signal from the drive signal generator 6, and the defective picture element is white if it is a black and white liquid crystal because it transmits light, and red / white like a color liquid crystal. If it has a color like green / blue, it will glow. here,
In the case of this device configuration, one of the deflection plates is attached to the transparent illumination 15 and the other is incorporated in the lens portion of the CCD camera 16. In the following embodiments, a color liquid crystal will be described as a subject, but a monochrome liquid crystal can be similarly applied.

【0031】不良絵素の明るさは、その欠陥発生の原因
や駆動信号の波形によって変化し、ある電圧では、黒く
なる時もある。駆動信号発生器6から出力できる波形の
種類は数種類あり、また、電圧も変化できるようになっ
ていて、その制御は、メインコントローラ10から行え
るようになっている。このため、検査にて不良箇所を発
見した時の波形モードや電圧を座標データと共にメイン
コントローラ10に記憶しておくと効率が良い。しか
し、このようにできない場合は、メインコントローラ1
0によって、波形モードや電圧を変化させながら、欠陥
の検出を行っていくこととなる。従って、この波形モー
ドと電圧があっていれば、X−Yステージ4を移動させ
た時、CCDカメラ16の視野において、追い込むべき
点灯不良は明点となっており、その他の欠陥でない部分
は黒くなっている。この時の黒の明るさレベルは電圧等
によって若干変動している。
The brightness of a defective picture element varies depending on the cause of the defect and the waveform of a drive signal. At a certain voltage, the picture element sometimes becomes black. There are several types of waveforms that can be output from the drive signal generator 6, and the voltage can also be changed, and the control can be performed by the main controller 10. For this reason, it is efficient to store the waveform mode and voltage at the time of detecting a defective portion in the inspection together with the coordinate data in the main controller 10. However, if this is not possible, the main controller 1
With 0, the defect is detected while changing the waveform mode and the voltage. Accordingly, if the waveform mode and the voltage are present, when the XY stage 4 is moved, in the field of view of the CCD camera 16, lighting failures to be driven are bright spots, and other non-defect portions are black. Has become. At this time, the black brightness level slightly fluctuates depending on the voltage or the like.

【0032】従って、画像処理部29において点灯不良
を検出する際、まず、閾値を設定して、輝点とバックグ
ランドの輝度差の小さい点灯不良に対応する必要があ
る。図4は、閾値決定の処理のフローチャートであり、
これに従って閾値の設定方法について説明する。まず、
画像処理部29に入力された画像の範囲内で、図5に示
すような微少な4個のエリア51を設定する(ステップ
S1)。このエリア51のサイズは、液晶パネル2の絵
素の大きさ(既知の値)の縦横とも整数倍にする。赤/
緑/青が並んでいる側は、3の倍数であり、例えば、横
方向に赤/緑/青と並んでいるとして、縦4倍×横9倍
の大きさのサイズのエリア51を設定する。そして、図
6に示すように、このエリア内の赤/緑/青色毎に輝度
ヒストグラムを生成する(ステップS2)。この例で
は、ひとつのエリア内に赤又は緑又は青の絵素が12個
(4個×3個)分含まれていることになる。
Therefore, when detecting a lighting failure in the image processing section 29, it is necessary to first set a threshold value to cope with a lighting failure with a small difference in luminance between the bright spot and the background. FIG. 4 is a flowchart of a threshold determination process,
The method of setting the threshold will be described accordingly. First,
Within the range of the image input to the image processing unit 29, four small areas 51 as shown in FIG. 5 are set (step S1). The size of this area 51 is an integer multiple of the size (known value) of the picture element of the liquid crystal panel 2 in both the vertical and horizontal directions. Red/
The side where green / blue is arranged is a multiple of 3, for example, assuming that red / green / blue is arranged in the horizontal direction, an area 51 having a size of 4 × 9 is set. . Then, as shown in FIG. 6, a luminance histogram is generated for each of red / green / blue in this area (step S2). In this example, one area includes twelve (4 × 3) red, green, or blue picture elements.

【0033】ところが、通常、カラー液晶パネルには光
を透過する部分と透過しない部分がある。透過する面積
/全体の面積=開口率と定義して開口率50%と仮定す
ると、ある色の輝いている面積は、エリア内で約1/6
となる。よって、エリア全体のヒストグラムの内、5/
6が閾値を求める際、他の色等の不要なデータとなって
捨てられる。ステップS3において、残った1/6のデ
ータ中で最小の輝度値と平均輝度値と平均より輝度の高
い部分で度数の少ない輝度値とそれよりやや明るい輝度
値とを代表値とする(図6の縦線は代表値を表す)。こ
の計算を4つの各エリアで行い、4つのエリア全体の平
均を取る。このとき、どこかのエリアに欠陥絵素があ
り、そのエリアの各算出輝度値が高くなっている可能性
がある。したがって、平均を計算する際、重み付け平均
を計算する(ステップS4)。例えば、最も算出輝度の
高い値を持つエリアの係数を0とし、次に算出輝度の高
い値を持つエリアの係数を1とし、残りの2つのエリア
の係数を2とし、 求める平均値=((係数×算出輝度)の総和)/(係数
の総和) とする。
However, a color liquid crystal panel usually has a portion that transmits light and a portion that does not transmit light. Assuming that the area to be transmitted / the total area = the aperture ratio and the aperture ratio is 50%, the shining area of a certain color is about 1/6 in the area.
Becomes Therefore, of the histogram of the entire area,
When 6 determines the threshold, it becomes unnecessary data such as other colors and is discarded. In step S3, a minimum luminance value, an average luminance value, and a luminance value with a small frequency and a luminance value slightly higher than the luminance value in a portion higher in luminance than the average in the remaining 1/6 data are set as representative values (FIG. 6). Vertical line represents a representative value). This calculation is performed for each of the four areas, and the average of all four areas is obtained. At this time, there is a possibility that there is a defective picture element in some area and each calculated luminance value in that area is high. Therefore, when calculating the average, a weighted average is calculated (step S4). For example, the coefficient of the area having the highest calculated brightness is set to 0, the coefficient of the area having the next highest calculated brightness is set to 1, and the coefficients of the remaining two areas are set to 2. Sum of coefficients x calculated luminance) / (sum of coefficients).

【0034】こうすることでエリア内にたまたま欠陥絵
素が含まれている場合に極力、柔軟に対応できることと
なり、点灯不良であるらしいような抜きん出て明るい絵
素があるエリアが存在しても閾値の算出に悪影響を及ぼ
さないようにしている。但し、この例では、点灯不良の
件数(線欠陥は複数の点灯不良絵素の直線並びであるが
1件と数える)が1画面当たりせいぜい1個と仮定して
いるが、2個有り得るならば、5個のエリアを作るとい
うように、その発生頻度によって、エリアの数を増して
いくとか、係数0のエリアを2個にする等して、対応が
可能である。ところで、エリアの設定している位置は、
縦方向・横方向それぞれにエリアが重ならないように設
定している。これは、後述するような1本の線状の欠陥
が同時に2つエリアに懸かって平均値を押し上げてしま
うことを防ぐためである。
By doing so, it is possible to flexibly cope with a defective picture element that happens to be included in the area. Even if there is an area with an outstandingly bright picture element that seems to be defective in lighting, the threshold value is obtained. Is not adversely affected. In this example, however, the number of lighting failures (a line defect is a straight line of a plurality of lighting failure picture elements but is counted as one) is assumed to be at most one per screen. For example, the number of areas may be increased or the number of areas having a coefficient of 0 may be increased to two depending on the frequency of occurrence, such as creating five areas. By the way, the position where the area is set is
The areas are set so that they do not overlap in the vertical and horizontal directions. This is to prevent a single linear defect, which will be described later, from simultaneously hanging on two areas and raising the average value.

【0035】ところで、不良箇所を視野内に入れるため
X−Yステージ4を移動させた時、この視野内に液晶パ
ネル2の表示端(以後、パネルエッジと呼ぶ)が存在す
る場合、まず、パネルエッジの検索を行う。視野内にパ
ネルエッジが存在するか否かは、メインコントローラ1
0にて座標が判っているため、判定可能である。もしメ
インコントローラ10が判断しない場合は、パネルエッ
ジの検索を最初に行う。パネルエッジ検索の手法は、固
定の閾値で確実にパネルエッジの検索ができるように、
点灯状態をOFFにし、光が透過するようにする。この
時、カラー液晶ならば各絵素が赤/緑/青に光ってい
る。次に、予め与えられている閾値を用いて、画面の中
心付近から周辺に向かって赤/緑/青の画像情報が共に
連続して閾値以下になる場所を検出したら、そこをパネ
ルエッジとして認識する(図7参照)。画面内の上下左
右の4方向に対し、この検出を行う。
By the way, when the XY stage 4 is moved to put a defective portion in the field of view, if the display end of the liquid crystal panel 2 (hereinafter referred to as panel edge) exists in this field of view, first, the panel Perform an edge search. The main controller 1 determines whether or not a panel edge exists in the field of view.
Since the coordinates are known at 0, it can be determined. If the main controller 10 does not make a determination, a search for a panel edge is performed first. The panel edge search method uses a fixed threshold to ensure that panel edges can be searched.
The lighting state is turned off so that light is transmitted. At this time, if it is a color liquid crystal, each picture element shines red / green / blue. Next, using a predetermined threshold value, if a position where the red / green / blue image information is continuously lower than the threshold value from the vicinity of the center of the screen toward the periphery is detected, the position is recognized as a panel edge. (See FIG. 7). This detection is performed in four directions, up, down, left, and right in the screen.

【0036】前出の閾値算出を行う時に4つのエリアを
設定したが、パネルエッジが途中に懸かっていて閾値が
正常に得られないような場合には、エリアの領域を変更
して、閾値を算出する。例えば、図8に示すように、パ
ネルエッジの右下に一つのエリア(点線で示したエリア
51a)がある場合は、矢印に沿ってパネルエッジに懸
からない左上に移動する。ところで、ここまで、閾値を
自動で算出する手法について説明したが、必ずしも、自
動で設定せずとも、固定値でこと足りる場合も考えられ
るので、以下の説明の閾値には、どちらの場合も含むも
のとする。
Although four areas are set when the above-described threshold value is calculated, when the panel edge is suspended and the threshold value cannot be obtained normally, the area of the area is changed and the threshold value is changed. calculate. For example, as shown in FIG. 8, when there is one area (the area 51a indicated by a dotted line) at the lower right of the panel edge, the user moves along the arrow to the upper left not hanging on the panel edge. By the way, the method of automatically calculating the threshold has been described above. However, it is conceivable that a fixed value may be sufficient without automatically setting the threshold. Therefore, the threshold described below includes both cases. .

【0037】次に、欠陥の検出について述べる。 <欠陥検出例1>まず、図9の点状欠陥26aのような
欠陥の検出について説明する。図9の点状欠陥26aを
追い込みカメラで撮像した場合、図10(A)に示すよ
うに、視野内にはパネルエッジが存在していない。CC
Dカメラ16の画像情報は一旦画像メモリに格納され
る。画像メモリに格納されている画像の中心から周辺部
へ、液晶絵素の画像メモリ内の縦寸法、横寸法の半分以
下の画素ピッチ(1画素=画像メモリ内の最小単位)
で、欠陥色の閾値と画像メモリの濃淡データと比較して
いく(粗検索、図11)。こうして、画像全体をもれな
く確実に検索する。閾値以上の画素が画像メモリ領域内
に検出できなければ、欠陥は検出できなかったこととな
る。もし、閾値以上の画素が存在すれば、ノイズか、は
たまた他の色の欠陥絵素でありながら液晶のカラーフィ
ルタの透過率とCCDカメラ16のカラーフィルタの透
過率のクロストークにより誤って検出したものか、検出
すべき欠陥であるかを調べる。
Next, detection of a defect will be described. <Defect Detection Example 1> First, detection of a defect such as the dot defect 26a in FIG. 9 will be described. When a point-like defect 26a in FIG. 9 is imaged by a drive-in camera, as shown in FIG. 10A, no panel edge exists in the field of view. CC
Image information of the D camera 16 is temporarily stored in an image memory. From the center to the periphery of the image stored in the image memory, the pixel pitch of half or less of the vertical and horizontal dimensions of the liquid crystal picture element in the image memory (1 pixel = minimum unit in the image memory)
Then, the threshold value of the defect color is compared with the density data of the image memory (coarse search, FIG. 11). In this way, the entire image is reliably retrieved. If no pixels above the threshold value can be detected in the image memory area, it means that no defect has been detected. If there is a pixel equal to or larger than the threshold value, noise or a defective picture element of another color may be erroneously generated due to crosstalk between the transmittance of the color filter of the liquid crystal and the transmittance of the color filter of the CCD camera 16. It is checked whether the defect is detected or a defect to be detected.

【0038】ここで、この閾値以上の画素群の外形形状
を認識する(精密検索)。図12は、点状欠陥個所の輝
度検出を示す説明図であり、X方向、Y方向から見た画
素の濃淡データ(輝度値)を閾値以上のもののみ足し合
わせたグラフである。さて、精密検索の手法は、図12
に示すように最初に検出した画素の周辺を、上下左右連
続した閾値以上の画素だけ拾っていき、その面積(画素
数)が基準とする所定内の大きさであれば、次にクロス
トークの影響を調べる。検出絵素の大きさが基準より小
さければ、ノイズ等であったとし、粗検索を続行する。
検出絵素の大きさが基準より大きければ閾値が不適当と
判断し、閾値の再設定を促す。この検出した画素の中に
他の色でも閾値以上となる画素が存在すれば、その面積
も全く同様にして求める。この2つの面積を比較して1
つめの面積の方が包括して大きければ、欠陥の絵素と判
定する。欠陥絵素ではないと判定したならば、粗検索を
続行する。このようにして求めた点状欠陥26aの位置
に、メインコントローラ10が、顕微鏡システム13の
視野27を合わせる(図10(B)参照)。
Here, the outer shape of the pixel group having the threshold value or more is recognized (precision search). FIG. 12 is an explanatory diagram showing the luminance detection of a point-like defect portion, and is a graph in which only the gray-scale data (luminance values) of the pixels viewed from the X direction and the Y direction are added up to those having a threshold value or more. By the way, the precision search method is shown in FIG.
As shown in (1), the pixels around the first detected pixel are picked up only for pixels that are equal to or larger than a threshold value that is continuous vertically, horizontally, and if the area (the number of pixels) is within a predetermined reference size, then the crosstalk is detected. Examine the effects. If the size of the detected picture element is smaller than the reference, it is determined that noise or the like is present, and the rough search is continued.
If the size of the detected picture element is larger than the reference, it is determined that the threshold value is inappropriate, and the resetting of the threshold value is prompted. If any of the detected pixels has a pixel value that is equal to or larger than the threshold value in other colors, the area of the pixel is determined in the same manner. By comparing these two areas, 1
If the second area is comprehensively larger, it is determined to be a defective picture element. If it is determined that the pixel is not defective, the rough search is continued. The main controller 10 adjusts the field of view 27 of the microscope system 13 to the position of the point defect 26a thus obtained (see FIG. 10B).

【0039】図12のデータから各輝度値における点灯
不良の画素の重心を求めることができる。X方向の重心
位置xgを求めてみる。位置xiにおける輝度値をmi
とすると、xg=Σxi・mi/Σmiとなる。同様
に、Y方向の重心位置ygは、位置yiにおける輝度値
をmiとすると、yg=Σyi・mi/Σmiとなる。
こうして、重心(xg,yg)が求まり、これを点灯不
良の画素の座標の代表値とし、この代表値に顕微鏡シス
テム13の視野27と合わせる。
From the data shown in FIG. 12, the center of gravity of the defective pixel at each luminance value can be obtained. The position of the center of gravity xg in the X direction will be obtained. Let the luminance value at position xi be mi
Then, xg = Σxi · mi / Σmi. Similarly, assuming that the luminance value at the position yi is mi, the barycentric position yg in the Y direction is yg = Σyi · mi / Σmi.
In this way, the center of gravity (xg, yg) is obtained, and this is set as a representative value of the coordinates of the defective pixel, and this representative value is matched with the field of view 27 of the microscope system 13.

【0040】<欠陥検出例2>図9の点状欠陥26bの
欠陥の検出について説明する。点状欠陥26aの欠陥と
の違いは、図13(A)に示すように、視野内にパネル
エッジが存在するという点である。このような場合、前
出のパネルエッジの検出によってパネルエッジ位置がす
でに既知となっているので、これを考慮して粗検索時の
検索ウインドウをパネルエッジの分だけ、小さく設定す
る(26aの場合は画像メモリ全域)。その他の点につ
いては、点状欠陥26aの欠陥検出と同様の処理で、顕
微鏡システム13の視野中心27を欠陥個所の位置に合
わせる(図13(B)参照)。
<Defect Detection Example 2> The detection of a point-like defect 26b in FIG. 9 will be described. The point defect 26a differs from the defect in that a panel edge exists in the field of view as shown in FIG. In such a case, since the panel edge position is already known by the detection of the panel edge described above, the search window at the time of the coarse search is set smaller by the panel edge in consideration of this (in the case of 26a). Is the entire image memory). For other points, the center of the field of view 27 of the microscope system 13 is adjusted to the position of the defect by the same processing as the defect detection of the point defect 26a (see FIG. 13B).

【0041】<欠陥検出例3>図9の線状欠陥26cの
ような欠陥の検出(端点絵素の検出)について説明す
る。まず、点状欠陥26aと同じようにして輝点絵素1
個を検出する。この時点で、この輝点絵素は、線状の並
んだ点灯不良絵素の内のどれであるかは不明である。続
いて、この輝点絵素の上下方向に絵素の縦寸法に相当す
る画素ピッチにて粗検索し、連続した輝点絵素を検出し
ていく。これらの絵素は色が同一であるので、色の判定
は、最初の絵素について行っておけば十分である。検索
ウインドウの外へ続いているか、または、途中で検出で
きなくなったら、検索を打ち切る。この途中で検出でき
なくなった時の絵素が求めようとしている絵素である。
<Defect Detection Example 3> Detection of a defect such as the linear defect 26c in FIG. 9 (detection of an end pixel) will be described. First, in the same way as the point defect 26a, the bright spot picture element 1
Detect the individual. At this point, it is unknown which one of the bright spot picture elements is a lighting failure picture element arranged in a line. Subsequently, a coarse search is performed at a pixel pitch corresponding to the vertical dimension of the picture element in the vertical direction of the picture element to detect continuous picture elements. Since these picture elements have the same color, it is sufficient to determine the color for the first picture element. If the search continues outside the search window or cannot be detected in the middle, the search is terminated. The picture element that cannot be detected during this process is the picture element that is to be obtained.

【0042】<欠陥検出例4>図9の線状欠陥26dの
ような欠陥の検出(端点絵素の検出)について説明す
る。線状欠陥26cとの違いは、カメラの視野内にパネ
ルエッジが存在している点である。この場合、一見、端
点が両端にあるように見えるが、26cと同様に検索・
検出を行い、パネルエッジではない側(検索ウインドウ
と接していない側)を求める端点絵素と判定する。
<Defect Detection Example 4> Detection of a defect such as the linear defect 26d in FIG. 9 (detection of an end pixel) will be described. The difference from the linear defect 26c is that a panel edge exists in the field of view of the camera. In this case, at first glance, the end point appears to be at both ends.
Detection is performed, and the side other than the panel edge (the side not in contact with the search window) is determined as the end point pixel to be obtained.

【0043】<欠陥検出例5>図9の線状欠陥26eの
ような欠陥の検出(端点絵素の検出)について説明す
る。欠陥26cとの違いは徐々に輝点絵素の輝度レベル
が変化している欠陥であり、欠陥の原因がパネルエッジ
部にあり、検出したい絵素はパネルエッジ側の絵素であ
る。そこで、26cと同様に粗検索を実施した後、パネ
ルエッジと接している絵素を求める絵素と判定する。
<Defect Detection Example 5> Detection of a defect such as the linear defect 26e in FIG. 9 (detection of an end pixel) will be described. The difference from the defect 26c is a defect in which the luminance level of the bright spot picture element gradually changes. The cause of the defect is at the panel edge, and the picture element to be detected is the picture element on the panel edge side. Therefore, after performing a rough search in the same manner as in 26c, a picture element in contact with the panel edge is determined to be a picture element to be obtained.

【0044】<欠陥検出例6>図9の交線状欠陥26f
のような欠陥の検出(交点絵素の検出)について説明す
る。図9では、縦ラインと横ラインを同時に表記した
が、実際には、波形モードが違って観察されるので、縦
ラインと横ライン別々に検出・追い込みを行う。まず、
図14(A)に示すように、画像処理部29が縦ライン
の検出を行う。縦ラインの検出は26cと同様に行う。
但し、輝点絵素は検索ウインドウの上から下まで貫通し
ているし、場合によっては、歯抜けになっている場合も
あるので、連続していなくても粗検索を打ち切らない。
こうして、縦ラインを検出した後、メインコントローラ
10が横方向のみX−Yステージを移動させて、縦ライ
ンを追い込み中心に追い込む(図14(B)参照)。次
に、画像処理部29が波形モードを変えて、横ラインの
検出を行う(図14(C)参照)。この横ラインは、単
色ではないので、縦ラインの絵素毎に検索ウインドウ内
を横方向へ各画素の閾値との差を赤/緑/青毎に足し込
む。縦ラインが輝線になっているかも知れないため、念
のため、縦ライン部分を除外して、足し込む。
<Defect Detection Example 6> Intersecting defect 26f in FIG.
Detection of such a defect (detection of an intersection picture element) will be described. In FIG. 9, the vertical line and the horizontal line are shown at the same time. However, since the waveform mode is actually observed differently, the vertical line and the horizontal line are separately detected and driven. First,
As shown in FIG. 14A, the image processing unit 29 detects a vertical line. The detection of the vertical line is performed in the same manner as in 26c.
However, since the bright spot picture element penetrates from the top to the bottom of the search window, and in some cases, may be missing, the coarse search is not terminated even if it is not continuous.
After detecting the vertical line in this manner, the main controller 10 moves the XY stage only in the horizontal direction to drive the vertical line to the center of the drive (see FIG. 14B). Next, the image processing unit 29 changes the waveform mode and detects a horizontal line (see FIG. 14C). Since this horizontal line is not a single color, the difference from the threshold value of each pixel is added in the horizontal direction in the search window for each pixel of the vertical line for each of red / green / blue. Since the vertical line may be a bright line, the vertical line portion is excluded and added, just in case.

【0045】次に、これら横方向へ足し込んだ結果が各
色毎に最大となる横ラインをそれぞれ求める。透過照明
15の色彩や液晶パネル2のカラーフィルタの透過率や
CCDカメラ16のカラーフィルタの透過率などから各
色毎に輝度レンジが異なるため、このそれぞれの最大値
が1となるように換算する。続いて、換算した結果を横
ライン毎に3色分足し、その結果の最大となる横ライン
を求める横ラインと判定する。これら検出例のようにし
て欠陥を検出し、メインコントローラ10がX−Yステ
ージ4を移動させることにより、顕微鏡の直下へ、観察
したい絵素を追い込む。X−Yステージ4の移動精度が
悪かったり、演算精度が悪かったりするならば、この追
い込み作業を数回繰り返し実行すれば良い。ところで、
本実施形態では、追い込み用カメラと顕微鏡システムを
同軸上として説明したが、関係が明白であれば、同軸上
にある必要はない。
Next, horizontal lines in which the result of the addition in the horizontal direction becomes the maximum for each color are obtained. Since the luminance range differs for each color based on the color of the transmitted illumination 15, the transmittance of the color filter of the liquid crystal panel 2, the transmittance of the color filter of the CCD camera 16, and the like, the conversion is performed so that the maximum value of each of the colors becomes 1. Subsequently, three colors are added to the converted result for each horizontal line, and the horizontal line having the maximum result is determined as a horizontal line to be obtained. A defect is detected as in these detection examples, and the main controller 10 moves the XY stage 4 to drive the picture element to be observed directly below the microscope. If the movement accuracy of the XY stage 4 is poor or the calculation accuracy is poor, it is only necessary to repeat this driving operation several times. by the way,
In the present embodiment, the driving camera and the microscope system have been described as being coaxial, but if the relationship is clear, they need not be coaxial.

【0046】また、図15のように、液晶パネルの表示
領域全面を検査するような検査装置において、従来は、
欠陥が存在するかどうかのみを検出すれば良かったた
め、その検出精度は、光学系の低価格化及び検出の高速
化のために犠牲になっていた。そこで、その欠陥検出の
位置精度を上げるため、さらに、図16に示すように、
全面を検査できるカメラ41と第1画像処理部42に加
えて、欠陥箇所付近を拡大して検査を行うようなことが
できる光学系(視野範囲5〜20mm程度)である拡大カ
メラ43を追加する。この拡大カメラ43に第2画像処
理部44を接続する。第2画像処理部44の出力信号を
用いることで精度良い座標を取得する。更に、後の装置
へ通信手段を介して情報を伝達し、後工程の装置の負荷
を削減することも考えられる。
Further, as shown in FIG. 15, in an inspection apparatus for inspecting the entire display area of a liquid crystal panel, conventionally,
Since it was only necessary to detect whether or not a defect was present, the detection accuracy was sacrificed for lowering the cost of the optical system and speeding up the detection. Therefore, in order to increase the position accuracy of the defect detection, as shown in FIG.
In addition to the camera 41 and the first image processing unit 42 that can inspect the entire surface, an enlarged camera 43 that is an optical system (with a visual field range of about 5 to 20 mm) that can inspect the vicinity of a defect by enlarging it is added. . The second image processing unit 44 is connected to the magnifying camera 43. Accurate coordinates are obtained by using the output signal of the second image processing unit 44. Further, it is conceivable that information is transmitted to a subsequent device via a communication unit to reduce the load on the device in the subsequent process.

【0047】また、修正装置において、修正作業を施し
た後、その欠陥が本当に修復されたかどうかをこの検出
方法を応用して確認検査を行うことも考えられる。これ
に、自動修正機能と連携することにより、完全自動の欠
陥修正装置を提供することが可能となる。
It is also conceivable that after performing a repairing operation in the repairing apparatus, a confirmation inspection is performed by applying this detection method to determine whether or not the defect has really been repaired. By cooperating with the automatic repair function, a fully automatic defect repair apparatus can be provided.

【0048】[0048]

【発明の効果】請求項1の発明によれば、制御手段が、
欠陥位置検出手段によって検出した欠陥箇所の位置と上
記欠陥処理手段の処理位置との偏差量を演算し、欠陥箇
所を欠陥処理手段の処理位置へ該偏差量だけ移動手段に
よって移動させる。したがって、自動的に処理位置に欠
陥個所を位置決めでき、位置決め操作が簡易化されるの
で、作業者の負担を軽減を図るとともに、作業の高速化
を促進でき、また、作業に要する時間に関し、作業者に
よるバラツキを無くし、ひいては、パネルの製造コスト
を下げることが可能となる。この結果、歩留り向上によ
るコスト削減が効率よく得られるという効果を奏する。
According to the first aspect of the present invention, the control means includes:
The amount of deviation between the position of the defect location detected by the defect position detection means and the processing position of the defect processing means is calculated, and the defect location is moved by the deviation means to the processing position of the defect processing means. Therefore, the defective portion can be automatically positioned at the processing position, and the positioning operation is simplified, so that the burden on the operator can be reduced, the speed of the operation can be increased, and the time required for the operation can be reduced. It is possible to eliminate the variation caused by the user, and to reduce the manufacturing cost of the panel. As a result, there is an effect that the cost can be efficiently reduced by improving the yield.

【0049】請求項2及び3の発明によれば、撮像手段
がその視野内の所定位置に上記欠陥処理手段の処理位置
が設定されおり、画像処理手段が撮像手段の画像情報に
基づいて欠陥個所の位置を検出するので、撮像手段の画
像情報から直ちに欠陥箇所の位置と上記欠陥処理手段の
処理位置が求まり、制御手段による偏差量を演算処理や
移動手段による移動処理を高速にすることができる。
According to the second and third aspects of the present invention, the processing position of the defect processing means is set at a predetermined position in the field of view of the imaging means, and the image processing means detects the defect location based on the image information of the imaging means. , The position of the defective portion and the processing position of the defect processing unit can be immediately obtained from the image information of the imaging unit, and the calculation of the deviation amount by the control unit and the moving process by the moving unit can be performed at high speed. .

【0050】請求項4の発明によれば、全面撮像手段に
よって全体の欠陥個所の位置を求め、更に拡大撮像手段
によって欠陥個所を拡大し基準位置と上記欠陥箇所と偏
差量を求めるので、より正確な位置を求めることができ
る。そして、欠陥箇所の位置を通信部で制御手段に通信
できるので、全くの別工程に欠陥箇所位置検出手段を設
置することができ、後工程の装置へ通信手段を介して情
報を伝達し、後工程の装置の負荷を削減することができ
る。
According to the fourth aspect of the present invention, the position of the entire defect is obtained by the entire image pickup means, and the defect is enlarged by the enlarged image pickup means to obtain the deviation from the reference position and the defect. Position can be determined. Then, since the position of the defective part can be communicated to the control means by the communication unit, the defective part position detecting means can be installed in a completely different process, and the information is transmitted to the device in the subsequent process via the communication means, and the subsequent process is performed. The load on the apparatus in the process can be reduced.

【0051】請求項5の発明によれば、撮像手段の視野
内に複数のエリアを設定し、該エリアの輝度値に従って
重み付けを行い輝度の平均値を演算して、欠陥個所を識
別する閾値を設定するので、撮像対象毎に輝度の変動が
あった場合でも欠陥個所を正確に判定することができ、
また、エリア内に欠陥個所があった場合でも閾値の設定
に影響がでないようにできる。
According to the fifth aspect of the present invention, a plurality of areas are set in the field of view of the imaging means, weighting is performed according to the luminance value of the area, an average luminance value is calculated, and a threshold value for identifying a defective portion is set. Because it is set, even if there is a variation in luminance for each imaging target, it is possible to accurately determine the defect location,
Further, even when there is a defect in the area, the setting of the threshold can be prevented from being affected.

【0052】請求項6の発明によれば、撮像手段の視野
の中心又は中心付近の位置から徐々に周辺部へ検索範囲
を広げて欠陥箇所の位置を検出するので、視野範囲をも
れなく確実に検索できる。
According to the sixth aspect of the present invention, since the search range is gradually expanded from the center or near the center of the field of view of the imaging means to the peripheral portion to detect the position of the defective portion, the field of view range can be reliably searched without fail. it can.

【0053】請求項7の発明によれば、記載画像情報に
基づいて欠陥箇所の絵素の形状認識を行い、所定の形状
である場合に欠陥箇所と認定するので、ノイズやカラー
フィルタのクロストーク等よる誤検出を防止でき、正確
な欠陥個所の位置検出ができる。
According to the seventh aspect of the present invention, the shape of a defective pixel is recognized based on the described image information, and if the pixel has a predetermined shape, it is recognized as a defective portion. Erroneous detection can be prevented, and accurate defect position detection can be performed.

【0054】請求項8の発明によれば、検出した欠陥箇
所が絵素配列の方向に連続する線欠陥である場合に、い
ずれかの端点の欠陥箇所に上記欠陥処理手段の処理位置
を移動させるので、その欠陥個所の処理が簡易化され
る。
According to the eighth aspect of the present invention, when the detected defect location is a line defect that is continuous in the direction of the picture element arrangement, the processing position of the defect processing means is moved to a defect location at any one of the end points. Therefore, processing of the defective portion is simplified.

【0055】請求項9の発明によれば、検出した欠陥箇
所が絵素配列の方向に連続して十字に交わる交線状欠陥
である場合に、一方向の絵素配列を欠陥処理手段の処理
位置に合わせ、更に他の方向の絵素配列を欠陥処理手段
の処理位置に合わせて、交点絵素に上記欠陥処理手段の
処理位置を移動させる。
According to the ninth aspect of the present invention, when the detected defect location is an intersecting linear defect which continuously crosses in the direction of the picture element arrangement, the picture element arrangement in one direction is processed by the defect processing means. The processing position of the defect processing means is moved to the intersection picture element by aligning the picture element arrangement in another direction with the processing position of the defect processing means.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】本発明に係る薄型表示装置の欠陥箇所位置決め
装置を用いた欠陥修正装置の一実施形態を示す構成図で
ある。
FIG. 1 is a configuration diagram showing one embodiment of a defect repairing device using a defect location locating device of a thin display device according to the present invention.

【図2】欠陥修正装置の全体斜視図である。FIG. 2 is an overall perspective view of the defect repair apparatus.

【図3】光学系部分の要部構成図である。FIG. 3 is a configuration diagram of a main part of an optical system part.

【図4】閾値決定の処理のフローチャートである。FIG. 4 is a flowchart of a threshold value determining process.

【図5】閾値決定用エリアを示す説明図である。FIG. 5 is an explanatory diagram showing a threshold determination area.

【図6】このエリア内の赤/緑/青色の輝度ヒストグラ
ムである。
FIG. 6 is a luminance histogram of red / green / blue in this area.

【図7】パネルエッジ検出の説明図である。FIG. 7 is an explanatory diagram of panel edge detection.

【図8】閾値決定用エリアがパネルエッジを含む場合の
移動を示す説明図である。
FIG. 8 is an explanatory diagram showing movement when the threshold value determination area includes a panel edge.

【図9】液晶パネルの点灯不良の現れ方の一例を示す説
明図である。
FIG. 9 is an explanatory diagram showing an example of how a lighting failure of a liquid crystal panel appears.

【図10】点状欠陥個所と顕微鏡システムの位置合わせ
を示す説明図である。
FIG. 10 is an explanatory diagram showing a position of a point defect and a microscope system.

【図11】欠陥個所を検出するために検索領域を広げて
行く様子を示す説明図である。
FIG. 11 is an explanatory diagram showing a state in which a search area is expanded to detect a defective portion.

【図12】点状欠陥個所の輝度検出を示す説明図であ
る。
FIG. 12 is an explanatory diagram showing luminance detection of a point defect.

【図13】視野内にパネルエッジが存在する場合に欠陥
個所を検出する説明図である。
FIG. 13 is an explanatory diagram for detecting a defective portion when a panel edge exists in a visual field.

【図14】交線状欠陥箇所の検出を示す説明図である。FIG. 14 is an explanatory diagram showing detection of intersection defect points.

【図15】液晶パネルの表示領域全面を検査するような
検査装置の構成図である。
FIG. 15 is a configuration diagram of an inspection apparatus that inspects the entire display area of a liquid crystal panel.

【図16】この検査装置の光学系の要部構成図である。FIG. 16 is a configuration diagram of a main part of an optical system of the inspection apparatus.

【図17】欠陥箇所の説明図である。FIG. 17 is an explanatory diagram of a defective portion.

【図18】従来の欠陥修正装置を示す構成図である。FIG. 18 is a configuration diagram showing a conventional defect repair apparatus.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

2 液晶パネル 3 パネル固定部 4 X−Yステージ 10 メインコントローラ 13 レーザ照射用顕微鏡システム 15 透過照明 16 追い込み用CCDカメラ 24 ステージ制御部 29 画像処理部 Reference Signs List 2 liquid crystal panel 3 panel fixing unit 4 XY stage 10 main controller 13 laser irradiation microscope system 15 transmission illumination 16 drive-in CCD camera 24 stage control unit 29 image processing unit

Claims (9)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 薄型表示機器を支持すると共に移動させ
る移動手段と、 上記薄型表示機器を点灯させるための駆動信号を供給す
る駆動信号供給手段と、 駆動信号が供給されている上記薄型表示機器における点
灯不良である欠陥箇所の検出に必要な光を上記薄型表示
機器に照射する光源手段と、 上記薄型表示機器における点灯不良の欠陥箇所に対し所
定の処理を行う欠陥処理手段と、 上記欠陥箇所の位置を検出する欠陥位置検出手段と、 上記欠陥箇所の位置と上記欠陥処理手段の処理位置との
偏差量を演算し、上記欠陥箇所を上記欠陥処理手段の処
理位置へ該偏差量だけ上記移動手段によって移動させる
制御手段と、を備えたことを特徴とする薄型表示機器の
欠陥箇所位置決め装置。
1. A moving means for supporting and moving a thin display device, a drive signal supply unit for supplying a drive signal for lighting the thin display device, and a driving signal supply device for supplying a drive signal to the thin display device. Light source means for irradiating the thin display device with light necessary for detecting a defective spot which is a lighting defect; defect processing means for performing a predetermined process on a defective lighting spot in the thin display device; Defect position detecting means for detecting a position; calculating a deviation amount between the position of the defective part and the processing position of the defect processing means; and moving the defective part to the processing position of the defect processing means by the deviation amount. And a control means for moving the defective portion.
【請求項2】 上記欠陥位置検出手段は、 視野内の所定位置に上記欠陥処理手段の処理位置が設定
され、上記薄型表示機器の表示状態を撮像する撮像手段
と、 上記撮像手段の画像情報に基づいて欠陥個所の位置を検
出する画像処理手段と、からなることを特徴とする請求
項1記載の薄型表示機器の欠陥箇所位置決め装置。
2. The image processing apparatus according to claim 1, wherein the defect position detecting means has a processing position of the defect processing means set at a predetermined position in a field of view, an imaging means for imaging a display state of the thin display device, and image information of the imaging means. 2. An apparatus according to claim 1, further comprising image processing means for detecting the position of the defect based on the defect.
【請求項3】 上記欠陥処理手段は、光学的に上記欠陥
箇所を拡大する機能を有し、 上記欠陥位置検出手段の撮像手段は、上記欠陥処理手段
よりも低倍率で広い視野を有すると共に該視野内の所定
位置に上記欠陥処理手段の処理位置が設定されたことを
特徴とする請求項2記載の薄型表示機器の欠陥箇所位置
決め装置。
3. The defect processing means has a function of optically enlarging the defect location, and the imaging means of the defect position detection means has a wider field of view at a lower magnification than the defect processing means. 3. The apparatus according to claim 2, wherein a processing position of the defect processing unit is set at a predetermined position in the field of view.
【請求項4】 上記欠陥位置検出手段は、 薄型表示機器を支持すると共に移動させる移動手段と、 上記薄型表示機器を点灯させるための駆動信号を供給す
る駆動信号供給手段と、 駆動信号が供給されている上記薄型表示機器における点
灯不良である欠陥箇所の検出に必要な光を上記薄型表示
機器に照射する光源手段と、上記薄型表示機器の全面の
表示状態を撮像する全面撮像手段と、 上記全面撮像手段の画像情報に基づいて点灯不良の欠陥
箇所の位置を検出する第1の画像処理手段と、 上記第1の画像処理手段により検出した欠陥箇所を光学
的に拡大して撮像する拡大撮像手段と、 上記拡大撮像手段の視野内に設定された基準位置と上記
欠陥箇所と偏差量を求め、上記欠陥箇所の位置を検出す
る第2の画像処理手段と、 上記第2の画像処理手段によって得られた欠陥箇所の位
置データを上記制御手段に通信する通信手段と、を備え
たことを特徴とする請求項1記載の薄型表示機器の欠陥
箇所位置決め装置。
4. The defect position detecting means includes: moving means for supporting and moving the thin display device; drive signal supply means for supplying a drive signal for lighting the thin display device; and a drive signal supplied. Light source means for irradiating the thin display device with light necessary for detecting a defective portion which is a lighting failure in the thin display device, full surface imaging means for imaging a display state of the entire surface of the thin display device, First image processing means for detecting the position of a defective defect of lighting failure based on image information of the imaging means, and enlarged imaging means for optically enlarging and imaging the defective part detected by the first image processing means A second image processing means for obtaining a deviation amount from the reference position set in the field of view of the magnified imaging means, the defect location, and detecting the position of the defect location; and Defect sites positioner thin display apparatus according to claim 1, characterized by comprising a communication means for communicating to said control means the position data of the obtained defect place by means.
【請求項5】 上記画像制御手段は、撮像手段の視野内
に複数のエリアを設定し、該エリアの輝度値に従って重
み付けを行い輝度の平均値を演算し、欠陥個所の識別閾
値とすることを特徴とする請求項2記載の薄型表示機器
の欠陥箇所位置決め装置。
5. The image control means sets a plurality of areas in the field of view of the imaging means, performs weighting according to the luminance value of the area, calculates an average luminance value, and uses the average value as a threshold for identifying a defective portion. 3. The device according to claim 2, wherein the defect is located in a thin display device.
【請求項6】 上記画像処理手段は、撮像手段の視野の
中心又は中心付近の位置から徐々に周辺部へ検索範囲を
広げて欠陥箇所の位置を検出することを特徴とする請求
項2記載の薄型表示機器の欠陥箇所位置決め装置。
6. The image processing apparatus according to claim 2, wherein the image processing means detects the position of the defective portion by gradually expanding the search range from a position at or near the center of the visual field of the imaging means to a peripheral portion. Defect location device for thin display devices.
【請求項7】 上記画像処理手段は、欠陥箇所の位置を
検出し、更に画像情報に基づいて欠陥箇所の絵素の形状
認識を行い、所定の形状である場合に欠陥箇所と認定す
ることを特徴とする請求項2記載の薄型表示機器の欠陥
箇所位置決め装置。
7. The image processing means detects a position of a defective portion, further recognizes a shape of a picture element of the defective portion based on the image information, and recognizes a defective portion if the pixel has a predetermined shape. 3. The device according to claim 2, wherein the defect is located in a thin display device.
【請求項8】 上記制御手段は、検出した欠陥箇所が絵
素配列の方向に連続する線状欠陥である場合に、いずれ
かの端点の欠陥箇所に上記欠陥処理手段の処理位置を移
動させることを特徴とする請求項1記載の薄型表示機器
の欠陥箇所位置決め装置。
8. When the detected defect location is a linear defect continuing in the direction of the picture element arrangement, the control means moves the processing position of the defect processing means to a defect location at any one of the end points. 2. The defect position locating device for a thin display device according to claim 1, wherein:
【請求項9】 上記制御手段は、検出した欠陥箇所が絵
素配列の方向に連続して十字に交わる交線状欠陥である
場合に、一方向の絵素配列を欠陥処理手段の処理位置に
合わせ、更に他の方向の絵素配列を欠陥処理手段の処理
位置に合わせて、交点絵素に上記欠陥処理手段の処理位
置を移動させることを特徴とする請求項1記載の薄型表
示機器の欠陥位置決め装置。
9. The control unit according to claim 1, wherein the detected defect location is an intersecting linear defect intersecting a cross continuously in the direction of the picture element arrangement, and sets the picture element arrangement in one direction to a processing position of the defect processing means. 2. The defect of the thin display device according to claim 1, wherein the processing position of the defect processing unit is moved to the intersection pixel by aligning the pixel arrangement in another direction with the processing position of the defect processing unit. Positioning device.
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Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2008058352A (en) * 2006-08-29 2008-03-13 Shimadzu Corp Repair apparatus
JP2009128815A (en) * 2007-11-27 2009-06-11 Ntn Corp Device and method for correcting defect of color filter
WO2010109856A1 (en) * 2009-03-26 2010-09-30 シャープ株式会社 Device and method for inspecting display panel lighting
KR101639776B1 (en) * 2015-01-16 2016-07-14 참엔지니어링(주) Composite apparatus for inspecting and repairing object to be processed
CN110766649A (en) * 2018-07-10 2020-02-07 Hb技术有限公司 Defect discriminating device and method for automatic repair system

Cited By (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2008058352A (en) * 2006-08-29 2008-03-13 Shimadzu Corp Repair apparatus
JP2009128815A (en) * 2007-11-27 2009-06-11 Ntn Corp Device and method for correcting defect of color filter
WO2010109856A1 (en) * 2009-03-26 2010-09-30 シャープ株式会社 Device and method for inspecting display panel lighting
JP2010230435A (en) * 2009-03-26 2010-10-14 Sharp Corp Device for inspecting display panel lighting and method for inspecting display panel lighting
JP4664417B2 (en) * 2009-03-26 2011-04-06 シャープ株式会社 Display panel lighting inspection device and display panel lighting inspection method.
KR101639776B1 (en) * 2015-01-16 2016-07-14 참엔지니어링(주) Composite apparatus for inspecting and repairing object to be processed
CN110766649A (en) * 2018-07-10 2020-02-07 Hb技术有限公司 Defect discriminating device and method for automatic repair system
CN110766649B (en) * 2018-07-10 2023-07-14 Hb技术有限公司 Defect judging device and method for automatic repair system

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