JP3367805B2 - Processing method of copper foil for printed circuit - Google Patents

Processing method of copper foil for printed circuit

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JP3367805B2
JP3367805B2 JP27371495A JP27371495A JP3367805B2 JP 3367805 B2 JP3367805 B2 JP 3367805B2 JP 27371495 A JP27371495 A JP 27371495A JP 27371495 A JP27371495 A JP 27371495A JP 3367805 B2 JP3367805 B2 JP 3367805B2
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cobalt
copper foil
printed circuit
nickel
copper
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英太 新井
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    • HELECTRICITY
    • H05ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05KPRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
    • H05K3/00Apparatus or processes for manufacturing printed circuits
    • H05K3/38Improvement of the adhesion between the insulating substrate and the metal
    • H05K3/382Improvement of the adhesion between the insulating substrate and the metal by special treatment of the metal

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、印刷回路用銅箔の
処理方法に関するものであり、特には銅箔の表面に銅−
コバルト−ニッケル合金めっきによる粗化処理後、コバ
ルト−ニッケル合金めっき層を形成することにより、ア
ルカリエッチング性を有し、しかも良好な耐熱剥離強度
及び耐熱酸化性等を具備すると共に黒色の表面色調を有
する印刷回路用銅箔を生成する処理方法において、更に
亜鉛めっき層を形成することにより耐熱酸化性を更に一
層改善する印刷回路用銅箔の処理方法関するものであ
る。本発明銅箔は、例えばファインパターン印刷回路及
び磁気ヘッド用FPC( Flexible Printed Circuit )
として特に適する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a method for treating a copper foil for a printed circuit, and more particularly to a copper foil on the surface of the copper foil.
After the roughening treatment by cobalt-nickel alloy plating, by forming a cobalt-nickel alloy plating layer, it has alkali etching properties, and also has good heat-resistant peel strength and heat-oxidation resistance, and a black surface tone. The present invention relates to a method for treating a copper foil for a printed circuit, which further improves thermal oxidation resistance by forming a zinc plating layer in the treatment method for producing a copper foil for a printed circuit. The copper foil of the present invention is, for example, a fine pattern printed circuit and an FPC (Flexible Printed Circuit) for a magnetic head.
Especially suitable as

【0002】[0002]

【従来の技術】銅及び銅合金箔(以下銅箔と称する)
は、電気・電子関連産業の発展に大きく寄与しており、
特に印刷回路材として不可欠の存在となっている。印刷
回路用銅箔は一般に、合成樹脂ボード、フィルム等の基
材に接着剤を介して或いは接着剤を使用せずに高温高圧
下で積層接着して銅張積層板を製造し、その後目的とす
る回路を形成するべくレジスト塗布及び露光工程を経て
必要な回路を印刷した後、不要部を除去するエッチング
処理が施される。最終的に、所要の素子が半田付けされ
て、エレクトロニクスデバイス用の種々の印刷回路板を
形成する。印刷回路板用銅箔に関する品質要求は、樹脂
基材と接着される面(粗化面)と非接着面(光沢面)と
で異なり、それぞれに多くの方法が提唱されている。
2. Description of the Related Art Copper and copper alloy foils (hereinafter referred to as copper foils)
Contributes greatly to the development of the electrical and electronic related industries,
In particular, it is indispensable as a printed circuit material. Copper foil for printed circuits is generally manufactured by laminating and adhering to a base material such as a synthetic resin board or a film via an adhesive or under high temperature and high pressure without using an adhesive to produce a copper clad laminate, and then the purpose. After the required circuits are printed through resist coating and exposure steps to form the desired circuits, an etching process for removing unnecessary portions is performed. Finally, the required elements are soldered to form various printed circuit boards for electronic devices. Quality requirements for copper foil for printed circuit boards differ between the surface (roughened surface) bonded to the resin substrate and the non-bonded surface (glossy surface), and many methods have been proposed for each.

【0003】例えば、粗化面に対する要求としては、主
として、 保存時における酸化変色のないこと、 基材との引き剥し強さが高温加熱、湿式処理、半田付
け、薬品処理等の後でも充分なこと、 基材との積層、エッチング後に生じる所謂積層汚点の
ないこと 等が挙げられる。
For example, the requirements for the roughened surface are mainly that there is no oxidative discoloration during storage and that the peel strength from the substrate is sufficient even after high temperature heating, wet treatment, soldering, chemical treatment, etc. That is, there is no so-called laminated stain that occurs after the lamination with the substrate and the etching.

【0004】粗化処理は銅箔と基材との接着性を決定す
るものとして、大きな役割を担っている。粗化処理とし
ては、当初銅を電着する銅粗化処理が採用されていた
が、その後様々の技術が提唱され、特に耐熱剥離強度、
耐塩酸性及び耐酸化性の改善を目的として銅−ニッケル
粗化処理が一つの代表的処理方法として定着するように
なった。本件出願人は、特開昭52−145769号に
おいて銅−ニッケル粗化処理を提唱し、成果を納めてき
た。銅−ニッケル処理表面は黒色を呈し、特にフレキシ
ブル基板用圧延処理箔では、この銅−ニッケル処理の黒
色が商品としてのシンボルとして認められるに至ってい
る。
The roughening treatment plays a major role in determining the adhesion between the copper foil and the substrate. As the roughening treatment, a copper roughening treatment in which copper was initially electrodeposited was adopted, but various techniques have been proposed thereafter, in particular, heat-resistant peel strength,
Copper-nickel roughening treatment has become established as a typical treatment method for the purpose of improving the resistance to hydrochloric acid and the resistance to oxidation. The applicant of the present invention has proposed a copper-nickel roughening treatment in Japanese Patent Laid-Open No. 52-145769 and has achieved results. The copper-nickel treated surface exhibits a black color, and in particular, in the rolled foil for flexible substrates, the black color of the copper-nickel treatment has been recognized as a symbol as a product.

【0005】しかしながら、銅−ニッケル粗化処理は、
耐熱剥離強度及び耐酸化性並びに耐塩酸性に優れる反面
で、近時ファインパターン用処理として重要となってき
たアルカリエッチング液でのエッチングが困難であり、
150μmピッチ回路巾以下のファインパターン形成時
に処理層がエッチング残となってしまう。
However, the copper-nickel roughening treatment is
Although it has excellent heat-resistant peel strength, oxidation resistance, and hydrochloric acid resistance, it is difficult to etch with an alkaline etching solution, which has recently become important as fine pattern processing.
When a fine pattern having a circuit width of 150 μm pitch or less is formed, the processing layer remains as an etching residue.

【0006】そこで、ファインパターン用処理として、
本件出願人は、先にCu−Co処理(特公昭63−21
58号及び特願平1−112227号)及びCu−Co
−Ni処理(特願平1−112226号)を開発した。
これら粗化処理は、エッチング性、アルカリエッチング
性及び耐塩酸性については良好であったが、アクリル系
接着剤を用いたときの耐熱剥離強度が低下することが改
めて判明し、また耐酸化性も所期程充分ではなくそして
色調も黒色までには至らず、茶〜こげ茶色であった。
Therefore, as fine pattern processing,
The applicant of the present invention firstly applied Cu-Co treatment (Japanese Patent Publication No.
58 and Japanese Patent Application No. 1-112227) and Cu-Co.
-Ni treatment (Japanese Patent Application No. 1-112226) was developed.
These roughening treatments were good in terms of etching property, alkali etching property and hydrochloric acid resistance, but it was found again that the heat-resistant peel strength was reduced when an acrylic adhesive was used, and oxidation resistance was also found. The period was not sufficient and the color tone did not reach black, and it was brown to dark brown.

【0007】最近の印刷回路のファインパターン化及び
多様化への趨勢にともない、 Cu−Ni処理の場合に匹敵する耐熱剥離強度(特に
アクリル系接着剤を用いたとき)及び耐塩酸性を有する
こと、 アルカリエッチング液で150μmピッチ回路巾以下
の印刷回路をエッチングできること、 Cu−Ni処理の場合と同様に、耐酸化性(180℃
×30分のオーブン中での耐酸化性)を向上すること、 Cu−Ni処理の場合と同様の黒化処理であること が更に要求されるようになった。即ち、回路が細くなる
と、塩酸エッチング液により回路が剥離し易くなる傾向
が強まり、その防止が必要である。回路が細くなると、
半田付け等の処理時の高温により回路がやはり剥離し易
くなり、その防止もまた必要である。ファインパターン
化が進む現在、例えばCuCl2 エッチング液で150
μmピッチ回路巾以下の印刷回路をエッチングできるこ
とはもはや必須の要件であり、レジスト等の多様化にと
もないアルカリエッチングも必要要件となりつつある。
黒色表面も、位置合わせ精度及び熱吸収を高めることの
点で銅箔の製作及びチップマウントの観点から重要とな
っている。
With the recent trend toward fine patterning and diversification of printed circuits, it has heat-resistant peel strength (especially when an acrylic adhesive is used) and hydrochloric acid resistance comparable to those of Cu-Ni treatment. Being able to etch printed circuits with a circuit width of 150 μm or less with an alkaline etching solution, oxidation resistance (180 ° C) as in the case of Cu-Ni treatment.
It was further required to improve the (oxidation resistance in an oven for 30 minutes) and to perform the same blackening treatment as in the Cu—Ni treatment. That is, when the circuit becomes thin, the tendency that the circuit is easily peeled off by the hydrochloric acid etching solution becomes stronger, and it is necessary to prevent it. When the circuit becomes thin,
The high temperature during processing such as soldering also makes the circuit easy to peel off, and it is necessary to prevent it. At present, fine patterning is progressing, for example, with a CuCl 2 etching solution, 150
The ability to etch a printed circuit with a pitch width of μm or less is an essential requirement, and alkali etching is becoming a necessary requirement as resists are diversified.
The black surface is also important from the viewpoint of copper foil fabrication and chip mounting in terms of enhancing alignment accuracy and heat absorption.

【0008】こうした要望に答えて、本件出願人は、銅
箔の表面に銅−コバルト−ニッケル合金めっきによる粗
化処理後、コバルトめっき層或いはコバルト−ニッケル
合金めっき層を形成することにより、印刷回路銅箔とし
て上述した多くの一般的特性を具備することはもちろん
のこと、特にCu−Ni処理と匹敵する上述した諸特性
を具備し、しかもアクリル系接着剤を用いたときの耐熱
剥離強度を低下せず、耐酸化性に優れそして表面色調も
黒色である銅箔処理方法を開発することに成功した(特
公平6−54831号)。コバルト−ニッケル合金めっ
き層の方がコバルトめっき層より耐熱劣化性に優れる。
好ましくは、前記コバルトめっき層或いはコバルト−ニ
ッケル合金めっき層を形成した後に、クロム酸化物の単
独皮膜処理或いはクロム酸化物と亜鉛及び(又は)亜鉛
酸化物との混合皮膜処理を代表とする防錆処理が施され
る。
In response to such a demand, the applicant of the present invention forms a cobalt plating layer or a cobalt-nickel alloy plating layer on the surface of a copper foil after a roughening treatment by copper-cobalt-nickel alloy plating to form a printed circuit. In addition to having many of the above-mentioned general characteristics as a copper foil, it has the above-mentioned various characteristics that are particularly comparable to those of Cu-Ni treatment, and lowers the heat-resistant peel strength when an acrylic adhesive is used. In other words, we succeeded in developing a copper foil treatment method that is excellent in oxidation resistance and has a black surface color tone (Japanese Patent Publication No. 6-54831). The cobalt-nickel alloy plating layer is superior to the cobalt plating layer in heat deterioration resistance.
Preferably, after forming the cobalt plating layer or the cobalt-nickel alloy plating layer, a rust prevention represented by a single film treatment of chromium oxide or a mixed film treatment of chromium oxide and zinc and / or zinc oxide. Processing is performed.

【0009】[0009]

【発明が解決しようとする課題】その後、電子機器の発
展が進む中で、半導体デバイスの小型化、高集積化が更
に進み、これらの印刷回路の製造工程で行われる処理が
一段と高温となりまた製品となった後の機器使用中の熱
発生により、銅箔と樹脂基材との間での接合力の低下が
あらためて問題となるようになった。本発明の課題は、
特公平6−54831号において確立された銅箔の表面
に銅−コバルト−ニッケル合金めっきによる粗化処理
後、コバルトめっき層或いはコバルト−ニッケル合金め
っき層を形成する印刷回路用銅箔の処理方法において、
該粗化処理後コバルトめっき層より耐熱劣化性に優れる
コバルト−ニッケル合金めっき層を形成する場合に、耐
熱剥離性を更に一層改善することである。
After that, as the electronic equipment has advanced, the miniaturization and high integration of semiconductor devices have further progressed, and the processing performed in the manufacturing process of these printed circuits has become even higher in temperature. After that, heat generation during the use of the device caused a decrease in the bonding force between the copper foil and the resin base material, which became a problem. The object of the present invention is to
In a method for treating a copper foil for a printed circuit, which comprises a cobalt plating layer or a cobalt-nickel alloy plating layer after a roughening treatment by copper-cobalt-nickel alloy plating on the surface of a copper foil established in Japanese Patent Publication No. 6-54831. ,
When forming a cobalt-nickel alloy plating layer which is more excellent in heat deterioration resistance than the cobalt plating layer after the roughening treatment, it is to further improve the heat-resistant peelability.

【0010】[0010]

【課題を解決するための手段】本発明者らの研究の結
果、銅箔の表面に銅−コバルト−ニッケル合金めっきに
よる粗化処理後、コバルト−ニッケル合金めっき層を形
成し、更にその上に亜鉛めっき層を形成することによ
り、これまでの利点を生かしたまま耐熱剥離性を一層改
善しうることが明らかとなった。この知見に基づいて、
本発明は、印刷回路用銅箔の処理方法において、銅箔の
表面に銅−コバルト−ニッケル合金めっきによる粗化処
理後、コバルト−ニッケル合金めっき層を形成し、更に
亜鉛めっき層を形成することを特徴とする印刷回路用銅
箔の処理方法を提供するものである。好ましくは、前記
亜鉛めっき層を形成した後に、クロム酸化物の単独皮膜
処理或いはクロム酸化物と亜鉛及び(又は)亜鉛酸化物
との混合皮膜処理を代表とする防錆処理が施される。
As a result of the research conducted by the present inventors, after a roughening treatment by copper-cobalt-nickel alloy plating on the surface of a copper foil, a cobalt-nickel alloy plating layer is formed, and further thereon. It has been clarified that by forming the galvanized layer, the heat-resistant peeling property can be further improved while keeping the above advantages. Based on this finding,
In the method for treating a copper foil for a printed circuit according to the present invention, after a roughening treatment by copper-cobalt-nickel alloy plating on the surface of the copper foil, a cobalt-nickel alloy plating layer is formed, and a zinc plating layer is further formed. A method for treating a copper foil for a printed circuit is provided. Preferably, after forming the zinc plating layer, a rust preventive treatment represented by a single film treatment of chromium oxide or a mixed film treatment of chromium oxide and zinc and / or zinc oxide is performed.

【0011】特定的には、印刷回路用銅箔の処理方法に
おいて、銅箔の表面に付着量が15〜40mg/dm2
銅−100〜3000μg/dm2 、好ましくは200
0〜3000μg/dm2 コバルト−100〜900μ
g/dm2 、好ましくは200〜400μg/dm2
ッケルの銅−コバルト−ニッケル合金めっきによる粗化
処理後、付着量が200〜3000μg/dm2 、好ま
しくは500〜3000μg/dm2 コバルト−100
〜700μg/dm2 、好ましくは200〜600ニッ
ケルのコバルト−ニッケル合金めっき層を形成し、更に
付着量が10〜80μg/dm2 、好ましくは20〜6
0μg/dm2 、一層好ましくは30〜50μg/dm
2 の亜鉛めっき層を形成する。望ましくは、粗化処理の
銅−コバルト−ニッケル合金めっき層とその上のコバル
ト−ニッケル合金めっき層において、コバルトの合計付
着量が300〜5000μg/dm2 、好ましくは25
00〜5000μg/dm2 そしてニッケルの合計付着
量が200〜1000μg/dm2 、好ましくは400
〜1000μg/dm2 とされる。
Specifically, in the method for treating a copper foil for a printed circuit, the adhesion amount on the surface of the copper foil is 15 to 40 mg / dm 2.
Copper-100 to 3000 μg / dm 2 , preferably 200
0-3000μg / dm 2 Cobalt-100-900μ
g / dm 2, preferably 200~400μg / dm 2 of nickel copper - cobalt - after roughening treatment with nickel alloy plating, the amount of adhesion 200~3000μg / dm 2, preferably 500~3000μg / dm 2 of cobalt -100
To 700 μg / dm 2 , preferably 200 to 600 nickel nickel-cobalt-nickel alloy plating layer is formed, and the adhesion amount is 10 to 80 μg / dm 2 , preferably 20 to 6
0 μg / dm 2 , more preferably 30 to 50 μg / dm 2.
2 galvanized layer is formed. Desirably, in the roughened copper-cobalt-nickel alloy plated layer and the cobalt-nickel alloy plated layer thereon, the total amount of cobalt deposited is 300 to 5000 μg / dm 2 , preferably 25.
00~5000μg / dm 2 and 200~1000μg / dm 2 the total deposition amount of nickel, preferably 400
˜1000 μg / dm 2 .

【0012】[0012]

【発明の実施の形態】本発明において使用する銅箔は、
電解銅箔或いは圧延銅箔いずれでも良い。通常、銅箔
の、樹脂基材と接着する面即ち粗化面には積層後の銅箔
の引き剥し強さを向上させることを目的として、脱脂後
の銅箔の表面にふしこぶ状の電着を行なう粗化処理が施
される。電解銅箔は製造時点で凹凸を有しているが、粗
化処理により電解銅箔の凸部を増強して凹凸を一層大き
くする。本発明においては、この粗化処理は銅−コバル
ト−ニッケル合金めっきにより行なわれる。粗化前の前
処理として通常の銅めっき等がそして粗化後の仕上げ処
理として電着物の脱落を防止するために通常の銅めっき
等が行なわれることもある。圧延銅箔と電解銅箔とでは
処理の内容を幾分異にすることもある。本発明において
は、こうした前処理及び仕上げ処理をも含め、銅箔粗化
と関連する公知の処理を必要に応じて含め、総称して粗
化処理と云うものとする。
BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION The copper foil used in the present invention is
Either electrolytic copper foil or rolled copper foil may be used. Usually, the surface of the copper foil that is bonded to the resin substrate, that is, the roughened surface, has the purpose of improving the peeling strength of the copper foil after lamination, and for the purpose of improving the peeling strength of the copper foil after degreasing. A roughening process is carried out for the coating. The electrolytic copper foil has irregularities at the time of manufacturing, but the roughening treatment enhances the convex portions of the electrolytic copper foil to further increase the irregularities. In the present invention, this roughening treatment is performed by copper-cobalt-nickel alloy plating. Ordinary copper plating or the like may be performed as a pretreatment before roughening, and ordinary copper plating or the like may be performed as a finishing treatment after roughening to prevent the electrodeposit from falling off. The rolled copper foil and the electrolytic copper foil may have slightly different contents of treatment. In the present invention, known treatments related to copper foil roughening, including such pretreatment and finishing treatment, are collectively referred to as roughening treatment, if necessary.

【0013】本発明における粗化処理としての銅−コバ
ルト−ニッケル合金めっきは、電解めっきにより、付着
量が15〜40mg/dm2 銅−100〜3000μg
/dm2 コバルト−100〜900μg/dm2 ニッケ
ルであるような3元系合金層を形成するように実施され
る。Co付着量が100μg/dm2 未満では、耐熱性
が悪化し、エッチング性が悪くなる。Co付着量が30
00μg/dm2 を超えると、磁性の影響を考慮せねば
ならない場合には好ましくなく、エッチングシミが生
じ、また、耐酸性及び耐薬品性の悪化が考慮されうる。
Ni付着量が100μg/dm2 未満であると、耐熱性
が悪くなる。他方、Ni付着量が900μg/dm2
超えると、エッチング残が多くなる。ただし、Ni付着
量が500μg/dm2 を超えると、エッチング性が低
下する傾向がある。すなわち、エッチング残ができた
り、エッチングできないというレベルではないが、ファ
インパターン化が難しくなる。好ましいCo付着量は2
000〜3000μg/dm2であり、そして好ましい
ニッケル付着量は200〜400μg/dm2 である。
ここで、エッチングシミとは、塩化銅でエッチングした
場合、Coが溶解せずに残ってしまうことを意味しそし
てエッチング残とは塩化アンモニウムでアルカリエッチ
ングした場合、Niが溶解せずに残ってしまうことを意
味するものである。
In the copper-cobalt-nickel alloy plating as the roughening treatment in the present invention, the amount of adhesion is 15-40 mg / dm 2 copper-100-3000 μg by electrolytic plating.
/ Dm 2 Cobalt-100 to 900 μg / dm 2 Nickel is performed to form a ternary alloy layer. When the amount of Co deposited is less than 100 μg / dm 2 , the heat resistance deteriorates and the etching property deteriorates. Co deposition amount is 30
If it exceeds 00 μg / dm 2 , it is not preferable when the influence of magnetism must be taken into consideration, etching stains occur, and deterioration of acid resistance and chemical resistance can be considered.
If the Ni deposition amount is less than 100 μg / dm 2 , the heat resistance will be poor. On the other hand, when the amount of Ni adhered exceeds 900 μg / dm 2 , etching residues increase. However, if the amount of Ni deposited exceeds 500 μg / dm 2 , the etching property tends to deteriorate. In other words, it is difficult to form a fine pattern, although it does not reach a level where etching residue or etching cannot be performed. The preferable amount of Co deposited is 2
000-3000 μg / dm 2 , and the preferred nickel coverage is 200-400 μg / dm 2 .
Here, the etching stain means that Co is left undissolved when etched with copper chloride, and the etching residue is left undissolved when alkali-etched with ammonium chloride. It means that.

【0014】こうした3元系銅−コバルト−ニッケル合
金めっきを形成するための一般的浴及びめっき条件は次
の通りである: (銅−コバルト−ニッケル合金めっき) Cu:10〜20g/リットル Co:1〜10g/リットル Ni:1〜10g/リットル pH:1〜4 温度:40〜50℃ 電流密度Dk :20〜30A/dm2 時間:1〜5秒
The general bath and plating conditions for forming such a ternary copper-cobalt-nickel alloy plating are as follows: (copper-cobalt-nickel alloy plating) Cu: 10-20 g / liter Co: 1 to 10 g / liter Ni: 1 to 10 g / liter pH: 1 to 4 Temperature: 40 to 50 ° C. Current density D k : 20 to 30 A / dm 2 hours: 1 to 5 seconds

【0015】本発明は、粗化処理後、粗化面上に付着量
が200〜3000μg/dm2 コバルト−100〜7
00μg/dm2 ニッケルのコバルト−ニッケル合金め
っき層を形成する。この処理は広い意味で一種の防錆処
理とみることができる。このコバルト−ニッケル合金め
っき層は、銅箔と基板の接着強度を実質的に低下させな
い程度に行なう必要がある。コバルト付着量が200μ
g/dm2 未満では、耐熱剥離強度が低下し、耐酸化性
及び耐薬品性が悪化する。また、もう一つの理由とし
て、コバルト量が少ないと処理表面が赤っぽくなってし
まうので好ましくない。コバルト付着量が3000μg
/dm2 を超えると、磁性の影響を考慮せねばならない
場合には好ましくなく、エッチングシミが生じ、また、
耐酸性及び耐薬品性の悪化が考慮される。好ましいコバ
ルト付着量は500〜3000μg/dm2 である。一
方、ニッケル付着量が100μg/dm2 未満では耐熱
剥離強度が低下し耐酸化性及び耐薬品性が悪化する。ニ
ッケルが700μg/dm2を超えると、アルカリエッ
チング性が悪くなる。好ましいニッケル付着量は200
〜600μg/dm2 である。
According to the present invention, after the roughening treatment, the adhered amount is 200 to 3000 μg / dm 2 cobalt-100 to 7 on the roughened surface.
A cobalt-nickel alloy plating layer of 00 μg / dm 2 nickel is formed. In a broad sense, this treatment can be regarded as a kind of rust prevention treatment. The cobalt-nickel alloy plating layer needs to be formed to the extent that the adhesive strength between the copper foil and the substrate is not substantially reduced. The amount of cobalt deposited is 200μ
When it is less than g / dm 2 , the heat-resistant peel strength is lowered, and the oxidation resistance and the chemical resistance are deteriorated. Another reason is that if the amount of cobalt is small, the treated surface becomes reddish, which is not preferable. Cobalt deposition amount is 3000 μg
When it exceeds / dm 2 , it is not preferable when the influence of magnetism has to be taken into consideration, and etching spots occur, and
The deterioration of acid resistance and chemical resistance is considered. The preferable cobalt deposition amount is 500 to 3000 μg / dm 2 . On the other hand, when the amount of deposited nickel is less than 100 μg / dm 2 , the heat-resistant peel strength is lowered and the oxidation resistance and chemical resistance are deteriorated. If the nickel content exceeds 700 μg / dm 2 , the alkali etching property will deteriorate. The preferred nickel coverage is 200
˜600 μg / dm 2 .

【0016】コバルト−ニッケル合金めっきの条件は次
の通りである: (コバルト−ニッケル合金めっき) Co:1〜20g/リットル Ni:1〜20g/リットル pH:1.5〜3.5 温度:30〜80℃ 電流密度Dk :1.0〜20.0A/dm2 時間:0.5〜4秒
The conditions for cobalt-nickel alloy plating are as follows: (Cobalt-nickel alloy plating) Co: 1 to 20 g / liter Ni: 1 to 20 g / liter pH: 1.5 to 3.5 Temperature: 30 -80 ° C Current density Dk : 1.0-20.0 A / dm 2 hours: 0.5-4 seconds

【0017】本発明に従えば、コバルト−ニッケル合金
めっき上に更に10〜80μg/dm2 付着量の亜鉛め
っき層が形成される。亜鉛付着量が10μg/dm2
満では耐熱劣化率改善効果がない。他方、亜鉛付着量が
80μg/dm2 を超えると耐塩酸劣化率が極端に悪く
なる。好ましくは、亜鉛付着量は20〜60μg/dm
2 とされ、特に好ましくは30〜50μg/dm2 とさ
れる。亜鉛めっき条件は次の通りである: (亜鉛めっき) Zn:100〜300g/リットル pH:3〜4 温度:50〜60℃ 電流密度Dk :0.1〜0.5A/dm2 時間:1〜3秒
According to the present invention, a zinc plating layer having a deposition amount of 10 to 80 μg / dm 2 is further formed on the cobalt-nickel alloy plating. If the amount of zinc adhered is less than 10 μg / dm 2 , there is no effect of improving the heat deterioration rate. On the other hand, when the zinc adhesion amount exceeds 80 μg / dm 2 , the hydrochloric acid deterioration resistance becomes extremely poor. Preferably, the zinc coverage is 20-60 μg / dm
2 and particularly preferably 30 to 50 μg / dm 2 . The zinc plating conditions are as follows: (Zinc plating) Zn: 100 to 300 g / liter pH: 3 to 4 Temperature: 50 to 60 ° C. Current density D k : 0.1 to 0.5 A / dm 2 hours: 1 ~ 3 seconds

【0018】本発明に従えば、粗化処理としての銅−コ
バルト−ニッケル合金めっき層、コバルト−ニッケル合
金めっき層そして亜鉛めっき層が順次形成されるが、合
計量のコバルト付着量及びニッケル付着量が重要である
ことが見いだされた。理由は定かでないが、粗化処理と
しての銅−コバルト−ニッケル合金めっき層とその上の
コバルト−ニッケル合金めっき層とは一体的に挙動す
る。コバルトの合計付着量が300〜5000μg/d
2 でありそしてニッケルの合計付着量が200〜10
00μg/dm2 とされることが望ましい。コバルトの
合計付着量が300μg/dm2 未満では、耐熱性及び
耐薬品性が低下する。他方コバルトの合計付着量が50
00μg/dm2 を超えると、エッチングシミが生じ
る。ニッケルの合計付着量が200μg/dm2 未満で
は、耐熱性及び耐薬品性が低下する。ニッケルの合計付
着量が1000μg/dm2 を超えると、エッチング残
が生じる。好ましくは、コバルトの合計付着量は250
0〜5000μg/dm2 でありそしてニッケルの合計
付着量は400〜1000μg/dm2 とされる。
According to the present invention, the copper-cobalt-nickel alloy plating layer, the cobalt-nickel alloy plating layer and the zinc plating layer are successively formed as the roughening treatment. Have been found to be important. Although the reason is not clear, the copper-cobalt-nickel alloy plating layer as the roughening treatment and the cobalt-nickel alloy plating layer thereon act integrally. Total amount of cobalt deposited is 300-5000 μg / d
m 2 and a total nickel coverage of 200 to 10
It is preferably set to 00 μg / dm 2 . If the total amount of cobalt deposited is less than 300 μg / dm 2 , the heat resistance and chemical resistance will deteriorate. On the other hand, the total amount of cobalt deposited is 50
If it exceeds 00 μg / dm 2 , etching spots occur. When the total amount of nickel deposited is less than 200 μg / dm 2 , heat resistance and chemical resistance are deteriorated. If the total amount of nickel deposited exceeds 1000 μg / dm 2 , etching residues will occur. Preferably, the total amount of cobalt deposited is 250.
A 0~5000μg / dm 2 and the total deposition amount of nickel are 400~1000μg / dm 2.

【0019】この後、必要に応じ、防錆処理が実施され
る。本発明において好ましい防錆処理は、クロム酸化物
単独の皮膜処理或いはクロム酸化物と亜鉛/亜鉛酸化物
との混合物皮膜処理である。クロム酸化物と亜鉛/亜鉛
酸化物との混合物皮膜処理とは、亜鉛塩または酸化亜鉛
とクロム酸塩とを含むめっき浴を用いて電気めっきによ
り亜鉛または酸化亜鉛とクロム酸化物とより成る亜鉛−
クロム基混合物の防錆層を被覆する処理である。めっき
浴としては、代表的には、K2Cr2O7 、Na2Cr2O7等の重ク
ロム酸塩やCrO3等の少なくとも一種と、水溶性亜鉛塩、
例えばZnO 、ZnSO4 ・7H2O等少なくとも一種と、水酸化
アルカリとの混合水溶液が用いられる。代表的なめっき
浴組成と電解条件例は次の通りである: (クロム防錆処理) K2Cr2O7 (Na2Cr2O7或いはCrO3):2〜10g/リットル NaOH或いはKOH :10〜50g/リットル ZnO 或いはZnSO4 ・7H2O:0.05〜10g/リットル pH:7〜13 浴温:20〜80℃ 電流密度Dk :0.05〜5A/dm2 時間:5〜30秒 アノード:Pt-Ti 板、ステンレス鋼板等 クロム酸化物はクロム量として15μg/dm2 以上そ
して亜鉛は30μg/dm2 以上の被覆量が要求され
る。
After that, a rust preventive treatment is carried out if necessary. In the present invention, the preferred rust preventive treatment is a coating treatment of chromium oxide alone or a coating treatment of a mixture of chromium oxide and zinc / zinc oxide. Chromium oxide and zinc / zinc oxide mixture coating treatment means zinc or zinc consisting of zinc oxide and chromium oxide by electroplating using a plating bath containing zinc salt or zinc oxide and chromate.
This is a treatment for coating the anticorrosion layer of the chromium-based mixture. The plating bath is typically K 2 Cr 2 O 7 , at least one dichromate such as Na 2 Cr 2 O 7 or CrO 3 , and a water-soluble zinc salt,
For example, a mixed aqueous solution of at least one of ZnO, ZnSO 4 .7H 2 O and alkali hydroxide is used. Representative plating bath compositions and examples of electrolysis conditions are as follows: (Chromium rust preventive treatment) K 2 Cr 2 O 7 (Na 2 Cr 2 O 7 or CrO 3 ): 2 to 10 g / liter NaOH or KOH: 10 to 50 g / liter ZnO or ZnSO 4 .7H 2 O: 0.05 to 10 g / liter pH: 7 to 13 Bath temperature: 20 to 80 ° C. Current density D k : 0.05 to 5 A / dm 2 hours: 5 to 5 30 second anode: Pt-Ti plate, stainless steel plate, etc. Chromium oxide is required to have a chromium amount of 15 μg / dm 2 or more, and zinc is required to have a coating amount of 30 μg / dm 2 or more.

【0020】こうして得られた銅箔は、優れた耐熱性剥
離強度、耐酸化性及び耐塩酸性を有し、しかもCuCl
2 エッチング液で150μmピッチ回路巾以下の印刷回
路をエッチングでき、しかもアルカリエッチングも可能
とする。アルカリエッチング液としては、例えば、NH4O
H:6モル/リットル; NH4Cl:5モル/リットル;CuCl2:
2モル/リットル(温度50℃)等の液が知られてい
る。
The copper foil thus obtained has excellent heat resistant peel strength, oxidation resistance and hydrochloric acid resistance, and moreover CuCl
2 The etching solution can etch printed circuits with a circuit width of 150 μm or less and can also perform alkaline etching. Examples of the alkaline etching solution include NH 4 O
H: 6 mol / l; NH 4 Cl: 5 mol / l; CuCl 2 :
Liquids such as 2 mol / liter (temperature 50 ° C.) are known.

【0021】更に重要なことは、得られた銅箔は、Cu
−Ni処理の場合と同じく黒色を有していることであ
る。こうした黒色は、位置合わせ精度及び熱吸収率の高
いことの点から重要である。詳しくは、リジッド基板及
びフレキシブル基板を含め印刷回路基板は、ICや抵
抗、コンデンサ等の部品を自動工程で搭載していくが、
その際センサーにより回路を読み取りながらチップマウ
ントを行なっている。このとき、カプトンなどのフィル
ムを通して銅箔処理面での位置合わせを行なうことがあ
る。また、スルーホール形成時の位置決めも同様であ
る。このとき処理面が黒に近い程、光の吸収が良いた
め、位置決めの精度が高くなる。更には、基板を作製す
る際、銅箔とフィルムとを熱を加えながらキュワリング
して接着させることが多い。このとき、遠赤外線、赤外
線等の長波長波を用いることにより加熱する場合、処理
面の色調が黒い方が加熱効率が良くなる。
More importantly, the obtained copper foil is Cu
-It has a black color as in the case of Ni treatment. Such black color is important in terms of alignment accuracy and high heat absorption rate. Specifically, printed circuit boards, including rigid boards and flexible boards, are equipped with parts such as ICs, resistors, and capacitors in an automated process.
At that time, the chip is mounted while reading the circuit with the sensor. At this time, alignment on the copper foil treated surface may be performed through a film such as Kapton. The same applies to positioning when forming through holes. At this time, the closer the processed surface is to black, the better the light absorption, and the higher the positioning accuracy. Furthermore, when a substrate is produced, the copper foil and the film are often cured and bonded to each other while applying heat. At this time, when heating is performed by using a long wavelength wave such as far infrared rays or infrared rays, the heating efficiency is improved when the color tone of the treated surface is dark.

【0022】最後に、必要に応じ、銅箔と樹脂基板との
接着力の改善を主目的として、防錆層上の少なくとも粗
化面にシランカップリング剤を塗布するシラン処理が施
される。塗布方法は、シランカップリング剤溶液のスプ
レーによる吹付け、コーターでの塗布、浸漬、流しかけ
等いずれでもよい。例えば、特公昭60−15654号
は、銅箔の粗面側にクロメート処理を施した後シランカ
ップリング剤処理を行なうことによって銅箔と樹脂基板
との接着力を改善することを記載している。詳細はこれ
を参照されたい。この後、必要なら、銅箔の延性を改善
する目的で焼鈍処理を施すこともある。
Finally, if necessary, a silane treatment for applying a silane coupling agent to at least the roughened surface of the rust-preventive layer is performed for the main purpose of improving the adhesive force between the copper foil and the resin substrate. The coating method may be spraying of a silane coupling agent solution, coating with a coater, dipping, pouring, or the like. For example, Japanese Examined Patent Publication No. 60-15654 describes that the adhesion between the copper foil and the resin substrate is improved by subjecting the rough surface side of the copper foil to a chromate treatment and then a silane coupling agent treatment. . For details, refer to this. Thereafter, if necessary, an annealing treatment may be performed for the purpose of improving the ductility of the copper foil.

【0023】[0023]

【実施例】以下に、実施例及び比較例を呈示する。圧延
銅箔に下記に示す条件範囲で銅−コバルト−ニッケル合
金めっきによる粗化処理を施して、銅を17mg/dm
2、コバルトを2200μg/dm2 そしてニッケルを
300μg/dm2 付着した後に、水洗し、その上にコ
バルト−ニッケル合金めっき層又はコバルトめっき層を
形成した。コバルトを800〜1400μg/dm2
してニッケルを0〜800μg/dm2 の範囲で付着さ
せた。従って、コバルトの合計付着量は3000〜36
00μg/dm2 であり、そしてニッケルの合計付着量
は300〜1100μg/dm2 であった。水洗後、1
0〜100μg/dm2 の亜鉛を付着した後又は亜鉛を
付着させることなく、防錆処理を行ないそして乾燥し
た。コバルト−ニッケル合金めっきではなく、コバルト
のみを付着させた後、亜鉛を付着させた比較例サンプル
をサンプルNo.5、10とした。上記粗化処理後のコ
バルト−ニッケル合金めっき層上に亜鉛を付着しない比
較例サンプルをサンプルNo.19とした。
EXAMPLES Examples and comparative examples will be presented below. The rolled copper foil is subjected to a roughening treatment by copper-cobalt-nickel alloy plating in the condition range shown below to give copper at 17 mg / dm 2.
2 , cobalt was deposited at 2200 μg / dm 2 and nickel was deposited at 300 μg / dm 2 , and then washed with water to form a cobalt-nickel alloy plating layer or a cobalt plating layer thereon. Cobalt was deposited in the range 800-1400 μg / dm 2 and nickel in the range 0-800 μg / dm 2 . Therefore, the total amount of cobalt deposited is 3000-36.
00 μg / dm 2 and total nickel coverage was 300-1100 μg / dm 2 . After washing with water, 1
The rust-preventive treatment was carried out and dried with or without the application of 0-100 μg / dm 2 of zinc. Sample No. was a comparative example sample in which zinc was deposited after depositing only cobalt instead of cobalt-nickel alloy plating. It was set to 5, 10. A comparative example sample in which zinc does not adhere to the cobalt-nickel alloy plating layer after the roughening treatment is sample No. It was set to 19.

【0024】サンプルをガラスクロス基材エポキシ樹脂
板に積層接着し、常態(室温)剥離強度(kg/cm)
を測定し、耐熱劣化は180℃×48時間加熱後の剥離
強度の劣化率(%)として示し、そして耐塩酸劣化は1
8%塩酸に1時間浸漬した後の剥離強度を0.2mm幅
×10本回路で測定した場合の劣化率(%)として示し
た。アルカリエッチングは下記の液を使用してエッチン
グ状態の目視による観察をした。 (アルカリエッチング液) NH4 OH:6モル/リットル NH4 Cl:5モル/リットル CuCl2 ・2H2 O:2モル/リットル 温度:50℃ エッチングシミは下記の塩化銅−塩酸液を使用してエッ
チング状態の目視による観察をした。 (塩化銅エッチング液) CuCl2 ・2H2 O:200g/リットル HCl:150g/リットル 温度:40℃
The sample was laminated and adhered to a glass cloth base epoxy resin plate, and the normal state (room temperature) peel strength (kg / cm)
The deterioration due to heat resistance is shown as the deterioration rate (%) of the peel strength after heating at 180 ° C. for 48 hours, and the deterioration against hydrochloric acid is 1
The peel strength after immersion in 8% hydrochloric acid for 1 hour is shown as the deterioration rate (%) when measured with a 0.2 mm width × 10 circuits. In the alkali etching, the etching state was visually observed using the following liquids. (Alkaline etching solution) NH 4 OH: 6 mol / liter NH 4 Cl: 5 mol / liter CuCl 2 · 2H 2 O: 2 mol / liter Temperature: 50 ° C. Etching spots use the following copper chloride-hydrochloric acid solution. The etching state was visually observed. (Copper chloride etching solution) CuCl 2 .2H 2 O: 200 g / liter HCl: 150 g / liter Temperature: 40 ° C.

【0025】使用した浴組成及びめっき条件は次の通り
であった: [浴組成及びめっき条件] (A)粗化処理(Cu−Co−Ni合金めっき) Cu:15g/リットル Co:8.5g/リットル Ni:8.6g/リットル pH:2.5 温度:38℃ 電流密度Dk :20A/dm2 時間:2秒 銅付着量:17mg/dm2 コバルト付着量:2200μg/dm2 ニッケル付着量:300μg/dm2 (B)防錆処理(Co−Ni合金めっき又はCoめっ
き) Co:4〜7g/リットル Ni:0〜10g/リットル pH:2.5 温度:50℃ 電流密度Dk :8.9〜13.3A/dm2 時間:0.5秒 コバルト付着量:800〜1400μg/dm2 ニッケル付着量:0〜800μg/dm2 (C)耐熱剥離性改善処理(Zn) Zn:200g/リットル pH:3.7 温度:56℃ 電流密度Dk :0〜0.5A/dm2 時間:1秒 Zn付着量:0〜100μg/dm2 (D)防錆処理(クロメート) K2 Cr27 (Na2 Cr27 あるいはCrO
3 ):5g/リットル NaOHあるいはKOH:30g/リットル ZnOあるいはZnSO4 ・7H2 O:5g/リットル pH:10 温度:40℃ 電流密度Dk :2A/dm2 時間:10秒 アノード:Pt−Ti板
The bath composition and plating conditions used were as follows: [Bath composition and plating conditions] (A) Roughening treatment (Cu-Co-Ni alloy plating) Cu: 15 g / liter Co: 8.5 g / Liter Ni: 8.6 g / liter pH: 2.5 Temperature: 38 ° C. Current density D k : 20 A / dm 2 hours: 2 seconds Copper adhesion amount: 17 mg / dm 2 Cobalt adhesion amount: 2200 μg / dm 2 Nickel adhesion amount : 300 μg / dm 2 (B) Anticorrosion treatment (Co-Ni alloy plating or Co plating) Co: 4 to 7 g / liter Ni: 0 to 10 g / liter pH: 2.5 Temperature: 50 ° C. Current density D k : 8 .9~13.3A / dm 2 Time: 0.5 seconds cobalt deposition amount: 800~1400μg / dm 2 of nickel adhesion amount: 0~800μg / dm 2 (C) thermal peeling resistance improving process (Zn) Zn: 200g / Liter pH: 3.7 Temperature: 56 ° C. Current density D k: 0~0.5A / dm 2 Time: 1 second Zn deposition amount: 0~100μg / dm 2 (D) rust (chromate) K 2 Cr 2 O 7 (Na 2 Cr 2 O 7 or CrO
3): 5 g / l NaOH or KOH: 30 g / liter ZnO or ZnSO 4 · 7H 2 O: 5g / liter pH: 10 Temperature: 40 ° C. Current density D k: 2A / dm 2 Time: 10 seconds anode: Pt-Ti Board

【0026】[0026]

【表1】 [Table 1]

【0027】表1において、Co及びNi付着量は次の
合計量として表してある: (A)粗化処理(Cu−Co−Ni) Co:2200μg/dm2 、 Ni:300μg/dm2 (B)防錆処理(Co−Ni) Co:800〜1400μg/dm2 、 Ni:0〜800μg/dm2 エッチング残については、ニッケルの合計付着量が10
00μg/dm2 の場合において一部認められ、ニッケ
ルの合計付着量が1100μg/dm2 の場合において
は、ニッケルが完全に溶けず残っていた。なお、エッチ
ングシミについては、いずれのサンプルにおいても認め
られなかった。表1より、以下のことが判る: (1)亜鉛付着量が一定の場合、コバルト−ニッケル合
金めっき処理におけるコバルト付着量、ニッケル付着量
の増加と共に耐熱劣化率及び耐塩酸劣化率が減少する。
(No.1〜18、No.30〜33参照) (2)ニッケル付着量が一定の場合、亜鉛付着量を増加
させることにより、耐熱劣化率を大巾に低下させること
ができる。但し、亜鉛付着量が80μg/dm2を超え
ると耐塩酸劣化率が50%以上と極端に悪くなる。(N
o.19〜29参照) 以上のことより、本発明により、耐熱劣化率を大巾に低
下できると共に耐熱劣化率と耐塩酸劣化率の両者のバラ
ンスのとれた特性を持つ印刷回路用銅箔を得ることがで
きることが判る。
[0027] In Table 1, Co and Ni deposition amount are expressed as the following total amount: (A) roughening treatment (Cu-Co-Ni) Co : 2200μg / dm 2, Ni: 300μg / dm 2 (B ) Anticorrosion treatment (Co—Ni) Co: 800 to 1400 μg / dm 2 , Ni: 0 to 800 μg / dm 2 Regarding the etching residue, the total deposition amount of nickel is 10
Observed part in the case of 00μg / dm 2, the total deposition amount of nickel in the case of 1100μg / dm 2, the nickel remained undissolved completely. No etching stain was observed in any of the samples. From Table 1, the following can be seen: (1) When the zinc deposition amount is constant, the heat resistance deterioration rate and the hydrochloric acid deterioration rate decrease as the cobalt adhesion amount and the nickel adhesion amount in the cobalt-nickel alloy plating process increase.
(See Nos. 1 to 18 and Nos. 30 to 33) (2) When the nickel deposition amount is constant, the heat deterioration rate can be significantly reduced by increasing the zinc deposition amount. However, when the amount of zinc adhered exceeds 80 μg / dm 2 , the hydrochloric acid deterioration resistance rate is extremely deteriorated to 50% or more. (N
o. 19 to 29) From the above, according to the present invention, it is possible to obtain a copper foil for a printed circuit which has a property in which the heat deterioration rate can be greatly reduced and the heat deterioration rate and the hydrochloric acid deterioration rate are well balanced. You can see that

【0028】[0028]

【発明の効果】本発明は、銅箔の表面に銅−コバルト−
ニッケル合金めっきによる粗化処理後、コバルト−ニッ
ケル合金めっき層を形成する印刷回路用銅箔の処理方法
において、その有益な利点を生かしたまま、耐熱剥離性
を更に一層改善することに成功し、近時の半導体デバイ
スの急激な発展に伴なう処理の高温化並びに印刷回路用
の高密度及び高多層化に対応し得る銅箔の処理方法を提
供する。
INDUSTRIAL APPLICABILITY According to the present invention, copper-cobalt-
After roughening treatment by nickel alloy plating, in a method of treating a copper foil for a printed circuit to form a cobalt-nickel alloy plating layer, while succeeding in further improving the heat-resistant peeling property while keeping its beneficial advantage. Provided is a copper foil processing method capable of coping with a high temperature of processing accompanied by a rapid development of a semiconductor device in recent years and high density and multilayer of a printed circuit.

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 特開 平4−96394(JP,A) 特開 平4−96393(JP,A) 特開 昭56−87676(JP,A) 特開 昭56−87675(JP,A) 特開 平2−292894(JP,A) 特許2875186(JP,B2) 特公 平6−54831(JP,B2) (58)調査した分野(Int.Cl.7,DB名) C25D 3/00 - 7/12 H05K 3/38 H05K 1/09 ─────────────────────────────────────────────────── --- Continuation of the front page (56) References JP-A-4-96394 (JP, A) JP-A-4-96393 (JP, A) JP-A-56-87676 (JP, A) JP-A-56- 87675 (JP, A) JP-A-2-292894 (JP, A) Patent 2875186 (JP, B2) Japanese Patent Publication 6-54831 (JP, B2) (58) Fields investigated (Int.Cl. 7 , DB name) ) C25D 3/00-7/12 H05K 3/38 H05K 1/09

Claims (8)

(57)【特許請求の範囲】(57) [Claims] 【請求項1】 印刷回路用銅箔の処理方法において、銅
箔の表面に銅−コバルト−ニッケル合金めっきによる粗
化処理後、コバルト−ニッケル合金めっき層を形成し、
更に亜鉛めっき層を形成することを特徴とする印刷回路
用銅箔の処理方法。
1. A method of treating a copper foil for a printed circuit, comprising forming a cobalt-nickel alloy plating layer on a surface of the copper foil after roughening treatment by copper-cobalt-nickel alloy plating,
A method for treating a copper foil for a printed circuit, further comprising forming a galvanized layer.
【請求項2】 前記亜鉛めっき層を形成した後に防錆処
理を施すことを特徴とする請求項1の印刷回路用銅箔の
処理方法。
2. The method for treating a copper foil for a printed circuit according to claim 1, wherein rust prevention treatment is performed after the galvanized layer is formed.
【請求項3】 防錆処理がクロム酸化物の単独皮膜処理
或いはクロム酸化物と亜鉛及び(又は)亜鉛酸化物との
混合皮膜処理であることを特徴とする請求項2の印刷回
路用銅箔の処理方法。
3. The copper foil for a printed circuit according to claim 2, wherein the anticorrosion treatment is a single film treatment of chromium oxide or a mixed film treatment of chromium oxide and zinc and / or zinc oxide. Processing method.
【請求項4】 印刷回路用銅箔の処理方法において、銅
箔の表面に付着量が15〜40mg/dm2 銅−100
〜3000μg/dm2 コバルト−100〜900μg
/dm2 ニッケルの銅−コバルト−ニッケル合金めっき
による粗化処理後、付着量が200〜3000μg/d
2 コバルト−100〜700μg/dm2 ニッケルの
コバルト−ニッケル合金めっき層を形成し、更に付着量
が10〜80μg/dm2 の亜鉛めっき層を形成するこ
とを特徴とする請求項1〜3のいずれか1項の印刷回路
用銅箔の処理方法。
4. A method of treating a copper foil for a printed circuit according to claim 1, wherein an amount of adhesion on the surface of the copper foil is 15 to 40 mg / dm 2 copper-100.
~ 3000μg / dm 2 Cobalt-100 ~ 900μg
/ Dm 2 After the roughening treatment by copper-cobalt-nickel alloy plating of nickel, the adhesion amount is 200 to 3000 μg / d
The cobalt-nickel alloy plating layer of m 2 cobalt-100 to 700 μg / dm 2 nickel is formed, and further the zinc plating layer having an adhesion amount of 10 to 80 μg / dm 2 is formed. A method for treating a copper foil for a printed circuit according to any one of items.
【請求項5】 コバルトの合計付着量が300〜500
0μg/dm2 でありそしてニッケルの合計付着量が2
00〜1000μg/dm2 である請求項4の印刷回路
用銅箔の処理方法。
5. The total amount of cobalt deposited is 300 to 500.
0 μg / dm 2 and a total nickel coverage of 2
The method for treating a copper foil for a printed circuit according to claim 4, wherein the amount is from 0.00 to 1000 μg / dm 2 .
【請求項6】 印刷回路用銅箔の処理方法において、銅
箔の表面に付着量が15〜40mg/dm2 銅−200
0〜3000μg/dm2 コバルト−200〜400μ
g/dm2 ニッケルの銅−コバルト−ニッケル合金めっ
きによる粗化処理後、付着量が500〜3000μg/
dm2 コバルト−200〜600μg/dm2 ニッケル
のコバルト−ニッケル合金めっき層を形成し、更に付着
量が20〜60μg/dm2 の亜鉛めっき層を形成する
ことを特徴とする請求項1〜3のいずれか1項の印刷回
路用銅箔の処理方法。
6. A method for treating a copper foil for a printed circuit, wherein the amount of the copper foil attached to the surface of the copper foil is 15 to 40 mg / dm 2 copper-200.
0-3000μg / dm 2 Cobalt-200-400μ
g / dm 2 After the roughening treatment by copper-cobalt-nickel alloy plating of nickel, the adhesion amount is 500 to 3000 μg /
The cobalt-nickel alloy plating layer of dm 2 cobalt-200 to 600 μg / dm 2 nickel is formed, and further the zinc plating layer having an adhesion amount of 20 to 60 μg / dm 2 is formed. A method for treating a copper foil for a printed circuit according to any one of items.
【請求項7】 コバルトの合計付着量が2500〜50
00μg/dm2 でありそしてニッケルの合計付着量が
400〜1000μg/dm2 である請求項6の印刷回
路用銅箔の処理方法。
7. The total amount of cobalt deposited is 2500 to 50.
00μg / dm is 2 and processing method of a printed circuit copper foil according to claim 6 total deposition amount of nickel is 400~1000μg / dm 2.
【請求項8】 亜鉛めっき層の付着量が30〜50μg
/dm2 である請求項6の印刷回路用銅箔の処理方法。
8. The amount of the galvanized layer deposited is 30 to 50 μg.
/ Dm 2 The method for treating a copper foil for a printed circuit according to claim 6.
JP27371495A 1995-09-28 1995-09-28 Processing method of copper foil for printed circuit Expired - Lifetime JP3367805B2 (en)

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