JP3361456B2 - Vibrating membrane for electroacoustic transducer, method and apparatus for manufacturing the same - Google Patents
Vibrating membrane for electroacoustic transducer, method and apparatus for manufacturing the sameInfo
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Description
【０００１】[0001]
【発明の属する技術分野】この発明は、電気音響変換器
用振動膜、その製造方法および装置に関し、特に被覆保
護された軽量、機械的強度大、耐候性良好なアルミニウ
ム薄膜を合成樹脂より成る極薄フィルムに一挙に極く容
易に廉価に成膜することができる電気音響変換器用振動
膜、その製造方法および装置に関する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a vibrating membrane for an electroacoustic transducer, a manufacturing method and a device therefor, and in particular, an extremely thin aluminum thin film, which is covered and protected, has high mechanical strength and weather resistance and is made of a synthetic resin. The present invention relates to a vibrating membrane for an electroacoustic transducer, which can be formed on a film at a very low cost, a manufacturing method and an apparatus thereof.
【０００２】[0002]
【従来の技術】電気音響変換器の振動膜は、従来、ポリ
フェニルサルファイド（ＰＰＳ）或いはポリエチレンテ
レフタレート（ＰＥＴ）の如き合成樹脂より成る極薄フ
ィルムの表面に抵抗加熱蒸着技術を適用してニッケル薄
膜を成膜することにより構成していた。しかし、抵抗加
熱蒸着技術による極薄フィルムの表面に対するニッケル
薄膜の成膜は量産性に乏しく、構成された振動膜の製造
コストは低いとは言い難いものである。そして、極薄フ
ィルム表面に形成されたニッケル薄膜は耐候性が低く、
特に輻射熱により劣化するので、この振動膜を高温に曝
される電気音響変換器の振動膜として使用するには不適
当である。2. Description of the Related Art A vibrating membrane of an electroacoustic transducer has hitherto been a nickel thin film formed by applying resistance heating vapor deposition technology to the surface of an ultrathin film made of a synthetic resin such as polyphenyl sulfide (PPS) or polyethylene terephthalate (PET). Was formed by forming a film. However, deposition of a nickel thin film on the surface of an ultrathin film by the resistance heating vapor deposition technique is poor in mass productivity, and it is hard to say that the manufacturing cost of the constructed vibration film is low. And, the nickel thin film formed on the surface of the ultra-thin film has low weather resistance,
In particular, since it is deteriorated by radiant heat, it is not suitable to use this vibrating membrane as a vibrating membrane of an electroacoustic transducer exposed to high temperature.
【０００３】そして、極薄フィルムの表面に電極薄膜と
して成膜される金属材料としてニッケルの代わりにアル
ミニウムを採用してこれを成膜した極薄フィルムも電気
音響変換器の振動膜として使用されている。ここで、極
薄フィルムに成膜されたアルミニウム薄膜は剥離する恐
れがあるところから、アルミニウム薄膜表面にアクリル
樹脂保護薄膜を形成してその剥離に対処していた。しか
し、極薄フィルムにアルミニウム薄膜を成膜してこれを
アクリル樹脂保護薄膜を形成して保護する振動膜の製造
方法は量産性に乏しい上に、形成されるアルミニウム薄
膜およびアクリル樹脂保護薄膜の膜厚を一様に成膜する
ことが困難であり、この膜厚のバラツキを解消すること
ができない。An ultrathin film formed by using aluminum instead of nickel as a metal material to be formed as an electrode thin film on the surface of an ultrathin film is also used as a vibrating film of an electroacoustic transducer. There is. Since the aluminum thin film formed on the ultrathin film may be peeled off, an acrylic resin protective thin film is formed on the surface of the aluminum thin film to cope with the peeling. However, the method of manufacturing a vibrating film, in which an aluminum thin film is formed on an ultrathin film and an acrylic resin protective thin film is formed to protect the film, has poor mass productivity, and the aluminum thin film and the acrylic resin protective thin film to be formed are used. It is difficult to form a uniform film thickness, and this variation in film thickness cannot be eliminated.
【０００４】[0004]
【発明が解決しようとする課題】この発明は、上述の問
題を解消した被覆保護された軽量、機械的強度大、耐候
性良好なアルミニウム薄膜を合成樹脂より成る極薄フィ
ルムに一挙に極く容易に廉価に成膜することができる電
気音響変換器用振動膜、その製造方法および装置を提供
するものである。DISCLOSURE OF THE INVENTION The present invention is an extremely thin film made of synthetic resin, which is a thin film made of synthetic resin, which is an aluminum thin film which is light and has a large mechanical strength and weather resistance and which is free from the above problems. The present invention provides a vibrating membrane for an electroacoustic transducer, which can be formed at a low cost, and a manufacturing method and apparatus thereof.
【０００５】[0005]
【課題を解決するための手段】請求項１：合成樹脂より
成る極薄フィルム２の表面にアルミニウム薄膜を蒸着成
膜し、更にアルミニウム薄膜表面にニッケル薄膜或いは
チタニウム薄膜を蒸着成膜してこれを被覆した電気音響
変換器用振動膜を構成した。そして、請求項２：請求項
１に記載される電気音響変換器用振動膜において、極薄
フィルム２は厚さ２μｍ程度のポリフェニルサルファイ
ド或いはポリエチレンテレフタレートの極薄フィルムよ
り成る電気音響変換器用振動膜を構成した。According to a first aspect of the present invention, an aluminum thin film is vapor-deposited on the surface of an ultrathin film 2 made of synthetic resin, and a nickel thin film or a titanium thin film is vapor-deposited on the surface of the aluminum thin film. A coated vibrating membrane for electroacoustic transducer was constructed. A second aspect of the present invention is the vibrating membrane for an electroacoustic transducer according to the first aspect, wherein the ultrathin film 2 is a vibrating membrane for an electroacoustic transducer made of an ultrathin film of polyphenyl sulfide or polyethylene terephthalate having a thickness of about 2 μm. Configured.
【０００６】また、請求項３：請求項２に記載される電
気音響変換器用振動膜において、アルミニウム薄膜或い
はチタニウム薄膜の厚さはこれを１００Å以上に成膜す
る電気音響変換器用振動膜を構成した。ここで、請求項
４：供給ロール２１に捲回された合成樹脂より成る極薄
フィルム２をピンチロール２４１が付設される供給プー
リ２４を含む供給プーリ、冷却ロール５、捲き取りプー
リにより案内して捲き取りロール２８に捲き取る中間部
において極薄フィルム２の表面に順次にアルミニウム薄
膜を蒸着成膜し、次いでアルミニウム薄膜表面にニッケ
ル薄膜或いはチタニウム薄膜を蒸着成膜する電気音響変
換器用振動膜の製造方法を構成した。A third aspect of the present invention is the vibration film for an electroacoustic transducer, wherein the aluminum thin film or the titanium thin film has a thickness of 100 Å or more. . In this case, the ultrathin film 2 made of synthetic resin wound around the supply roll 21 is guided by a supply pulley including a supply pulley 24 provided with a pinch roll 241, a cooling roll 5, and a take-up pulley. Manufacture of a vibrating membrane for an electroacoustic transducer in which an aluminum thin film is sequentially vapor-deposited on the surface of the ultrathin film 2 at an intermediate portion wound on a winding roll 28, and then a nickel thin film or a titanium thin film is vapor-deposited on the aluminum thin film surface. Configured method.
【０００７】そして、請求項５：請求項４に記載される
電気音響変換器用振動膜の製造方法において、極薄フィ
ルム２は幅を５００ｍｍ、長さを１０００ｍｍ程度に切
断してこれを供給ロール２１に捲回する電気音響変換器
用振動膜の製造方法を構成した。また、請求項６：請求
項４および請求項５の内の何れかに記載される電気音響
変換器用振動膜製造方法において、ＤＣスパッタパワー
を２００〜１０００Ｗ、導入ガスをアルゴンとし、極薄
フィルム２の供給速度を０. ３８〜０. ４８メートル／
分とした電気音響変換器用振動膜の製造方法を構成し
た。A fifth aspect of the present invention is the method for producing a vibrating membrane for an electroacoustic transducer according to the fourth aspect, wherein the ultrathin film 2 is cut into a width of 500 mm and a length of about 1000 mm, which is supplied to the supply roll 21. A method of manufacturing a vibrating membrane for an electroacoustic transducer, which is wound around, is configured. Further, in the method for producing a vibrating membrane for an electroacoustic transducer according to any one of claims 6 and 7, the DC sputtering power is 200 to 1000 W, the introduction gas is argon, and the ultrathin film 2 is used. Supply rate of 0.38 ~ 0.48 meters /
A method of manufacturing a vibrating membrane for an electroacoustic transducer is configured.
【０００８】更に、請求項７：スパッタ蒸着装置の真空
槽１を具備し、フィルム供給捲き取り装置１００を具備
し、真空槽１を設置固定する基台２００を具備し、この
真空槽１に付設される第１のカソード６および真空槽１
の中心軸に関して対称の位置に付設される第２のカソー
ド７を具備し、フィルム供給捲き取り装置１００が取り
付け固定されは台車１０１を具備し、この台車１０１は
基台２００に敷設される走行レール１１０に設置され、
この走行レール１１０は真空槽１が設置固定されるとこ
ろ迄延伸しており、台車１０１を真空槽１に対して走行
せしめてフィルム供給捲き取り装置１００を真空槽１内
に挿入せしめ、或いはフィルム供給捲き取り装置１００
を真空槽１から引き出し、フィルム供給捲き取り装置１
００は合成樹脂より成る極薄フィルム２が捲回される供
給ロール２１、極薄フィルム２を案内するピンチロール
２４１が付設される供給プーリ２４を含む供給プーリ、
冷却ロール５、捲き取りプーリおよび捲き取りロール２
８を具備し、第１のカソード６はＡｌターゲット６１が
取り付け固定されてこれを冷却ロール５の周面に対向し
て位置決めされ、第２のカソード７はＮｉターゲット７
１が取り付け固定されてこれを第１のカソード６からみ
て極薄フィルム２の下流において冷却ロール５の周面に
対向して位置決めされる電気音響変換器用振動膜の製造
装置を構成した。A seventh aspect of the present invention includes a vacuum chamber 1 of a sputtering vapor deposition apparatus, a film supply / winding apparatus 100, and a base 200 for mounting and fixing the vacuum chamber 1, which is attached to the vacuum chamber 1. First cathode 6 and vacuum chamber 1
Is provided with a second cathode 7 provided at a symmetrical position with respect to the central axis of the vehicle, and a carriage 101 to which the film supply and winding device 100 is attached and fixed. The carriage 101 is a traveling rail laid on the base 200. Installed in 110,
The traveling rail 110 extends to a position where the vacuum tank 1 is installed and fixed, and the carriage 101 is caused to travel with respect to the vacuum tank 1 to insert the film supply / winding device 100 into the vacuum tank 1, or to supply the film. Winding device 100
The film supply and winding device 1
Reference numeral 00 denotes a supply roll 21 around which the ultrathin film 2 made of synthetic resin is wound, and a supply pulley including a supply pulley 24 to which a pinch roll 241 for guiding the ultrathin film 2 is attached.
Cooling roll 5, take-up pulley and take-up roll 2
8, an Al target 61 is attached and fixed to the first cathode 6 and is positioned so as to face the peripheral surface of the cooling roll 5, and a second cathode 7 is a Ni target 7
1 was attached and fixed, and the manufacturing apparatus of the vibrating membrane for an electroacoustic transducer was configured such that 1 was attached and fixed, and was positioned so as to face the peripheral surface of the cooling roll 5 downstream of the ultrathin film 2 when viewed from the first cathode 6.
【０００９】[0009]
【発明の実施の形態】エレクトレットコンデンサマイク
ロフォンの如き微小な電気音響変換器に使用される振動
膜は、合成樹脂より成る極薄フィルムの片面或いは両面
に極く薄い電極薄膜を成膜することにより構成される。
以下、これを図１および図２を参照して説明する。BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION A vibrating membrane used in a minute electroacoustic transducer such as an electret condenser microphone is constructed by forming an extremely thin electrode thin film on one side or both sides of an ultrathin film made of synthetic resin. To be done.
This will be described below with reference to FIGS. 1 and 2.
【００１０】図１および図２はこの発明の実施例を説明
する図である。図１はスパッタ蒸着装置全体の斜視図で
あり、図２はスパッタ蒸着を実施する真空槽内部の状態
を説明する図である。図１を参照するに、１はスパッタ
蒸着装置の真空槽を示し、１００はフィルム供給捲き取
り装置を示す。真空槽１は２００により示される基台に
設置固定されている。この真空槽１には後で説明される
第１のカソード６が付設されている。真空槽１の中心軸
に関して対称の位置にあと１個のカソードである第２の
カソード７が付設されている。フィルム供給捲き取り装
置１００は台車１０１に取り付け固定され、基台２００
に敷設される走行レール１１０上を走行する構成とされ
ている。この走行レール１１０は真空槽１が設置固定さ
れるところ迄延伸しており、台車１０１を真空槽１に対
して走行せしめてフィルム供給捲き取り装置１００を真
空槽１内に挿入せしめ、或いはフィルム供給捲き取り装
置１００を真空槽１から引き出して図２の状態とする。
台車１０１は走行操作盤１０２を介して操作制御され
る。1 and 2 are views for explaining an embodiment of the present invention. FIG. 1 is a perspective view of the entire sputter vapor deposition apparatus, and FIG. 2 is a diagram for explaining the internal state of a vacuum chamber for performing sputter vapor deposition. Referring to FIG. 1, reference numeral 1 denotes a vacuum chamber of a sputter vapor deposition apparatus, and 100 denotes a film supply and winding apparatus. The vacuum chamber 1 is installed and fixed on a base designated by 200. The vacuum chamber 1 is provided with a first cathode 6 which will be described later. A second cathode 7, which is another cathode, is attached at a position symmetrical with respect to the central axis of the vacuum chamber 1. The film supply / winding device 100 is attached and fixed to a carriage 101,
It is configured to travel on the traveling rail 110 laid on the. The traveling rail 110 extends to a position where the vacuum tank 1 is installed and fixed, and the carriage 101 is caused to travel with respect to the vacuum tank 1 to insert the film supply / winding device 100 into the vacuum tank 1 or to supply the film. The winding device 100 is pulled out from the vacuum chamber 1 to the state shown in FIG.
The dolly 101 is operation-controlled via the traveling operation panel 102.
【００１１】図２を参照してフィルム供給捲き取り装置
１００を説明する。この図は台車１０１を真空槽１に対
して走行せしめてフィルム供給捲き取り装置１００を真
空槽１内に挿入せしめた状態の断面を示す。２は供給ロ
ール２１に捲回された合成樹脂より成る極薄フィルムで
あり、コイル状に捲回されている。２２は極薄フィルム
２を案内する第１の供給プーリ、２３は同様に極薄フィ
ルム２を案内する第２の供給プーリである。２４は第３
の供給プーリであり、これには２４１により示されるピ
ンチロールが付設される。５はフィルム蒸着部に位置決
めされる冷却ロール、２５は第１の捲き取りプーリ、２
６は第２の捲き取りプーリ、２７は第３の捲き取りプー
リ、２８は捲き取りロールである。The film supply and winding device 100 will be described with reference to FIG. This figure shows a cross section of a state in which the carriage 101 is moved with respect to the vacuum chamber 1 and the film supply / winding device 100 is inserted into the vacuum chamber 1. Reference numeral 2 denotes an ultrathin film made of a synthetic resin wound around the supply roll 21 and wound in a coil shape. Reference numeral 22 is a first supply pulley for guiding the ultrathin film 2, and 23 is a second supply pulley for similarly guiding the ultrathin film 2. 24 is the third
Supply pulley, to which a pinch roll indicated by 241 is attached. 5 is a cooling roll positioned in the film vapor deposition section, 25 is a first take-up pulley, 2
6 is a second take-up pulley, 27 is a third take-up pulley, and 28 is a take-up roll.
【００１２】スパッタ蒸着装置の第１のカソード６は、
上述した通り真空槽１に付設され、真空槽１内に挿入収
容されると共に真空槽１内から引き出される構成とされ
ている。６１は第１のカソード６に取り付け固定される
Ａｌターゲットである。この第１のカソード６は、真空
槽１内に挿入された場合、冷却ロール５の周面にＡｌタ
ーゲットを対向せしめて位置決めされる。スパッタ蒸着
装置の第２のカソード７も真空槽１内に挿入収容される
と共に真空槽１内から引き出される構成とされている。
７２は第２のカソード７に取り付け固定されるＮｉター
ゲットである。この第２のカソード７は、真空槽１内に
挿入された場合、第１のカソード６からみて供給される
極薄フィルム２の下流において、冷却ロール５の周面に
Ｎｉターゲット７１を対向せしめて位置決めされる。第
２のカソード７のターゲット７１はニッケルの代わりに
チタニウムを使用することができる。The first cathode 6 of the sputter deposition apparatus is
As described above, it is attached to the vacuum chamber 1, is inserted and housed in the vacuum chamber 1, and is pulled out from the vacuum chamber 1. Reference numeral 61 is an Al target attached and fixed to the first cathode 6. When the first cathode 6 is inserted into the vacuum chamber 1, the first cathode 6 is positioned with the Al target facing the peripheral surface of the cooling roll 5. The second cathode 7 of the sputter vapor deposition apparatus is also configured to be inserted and housed in the vacuum chamber 1 and withdrawn from the vacuum chamber 1.
Reference numeral 72 denotes a Ni target attached and fixed to the second cathode 7. When the second cathode 7 is inserted into the vacuum chamber 1, the Ni target 71 is made to face the peripheral surface of the cooling roll 5 downstream of the ultrathin film 2 supplied from the first cathode 6. Positioned. The target 71 of the second cathode 7 may use titanium instead of nickel.
【００１３】４１は極薄フィルムの供給経路の近傍に設
置される第１のポリコールド、４２は冷却ロール５の下
部に設置される第２のポリコールドである。第１のポリ
コールド４１および第２のポリコールド４２は何れも真
空槽内を除湿するヒータの如き加熱装置であり、真空槽
１自体に具備されている。次に、スパッタ蒸着装置の真
空槽１内において実施される極薄フィルム２に対する電
極薄膜の成膜の仕方について説明する。ところで、フィ
ルム供給捲き取り装置１００を真空槽１内に挿入収容す
るに先だって、極薄フィルム２を供給ロール２１に捲回
してコイル状フィルムを形成し、このコイル状フィルム
を引き出して、順次に第１の供給プーリ２２、第２の供
給プーリ２３、第３の供給プーリ２４、冷却ロール５、
第１の捲き取りプーリ２５、第２の捲き取りプーリ２
６、および第３の捲き取りプーリ２７を介して捲き取り
ロール２８にセットする。極薄フィルム２としては厚さ
２μｍ程度のポリフェニルサルファイド或いはポリエチ
レンテレフタレートの極薄フィルムが使用される。この
極薄フィルム２は、幅を５００ｍｍ、長さを１０００ｍ
ｍ程度に切断してこれを供給ロール２１に捲回する。極
薄フィルム２を供給ロール２１に捲回セットしたところ
で、台車１０１を真空槽１に対して走行せしめて極薄フ
ィルム２がセットされたフィルム供給捲き取り装置１０
０を真空槽１内に挿入収容せしめる。そして、第１のカ
ソード６にＡｌターゲット６１を取り付け固定すると共
に第２のカソード７にＮｉターゲット７１を取り付け固
定し、これら第１のカソード６および第２のカソード７
を真空槽１内の上述した位置に位置決めする。Reference numeral 41 is a first polycold installed near the ultrathin film supply path, and 42 is a second polycold installed under the cooling roll 5. The first polycold 41 and the second polycold 42 are both heating devices such as heaters for dehumidifying the inside of the vacuum chamber, and are provided in the vacuum chamber 1 itself. Next, a method of forming an electrode thin film on the ultrathin film 2 performed in the vacuum chamber 1 of the sputter deposition apparatus will be described. By the way, prior to inserting and accommodating the film supply / winding device 100 in the vacuum chamber 1, the ultrathin film 2 is wound around the supply roll 21 to form a coil-shaped film, and the coil-shaped film is drawn out to sequentially form the first film. 1 supply pulley 22, 2nd supply pulley 23, 3rd supply pulley 24, cooling roll 5,
First take-up pulley 25, second take-up pulley 2
6 and the third winding pulley 27 to set the winding roll 28. As the ultrathin film 2, a polyphenyl sulfide or polyethylene terephthalate ultrathin film having a thickness of about 2 μm is used. This ultra-thin film 2 has a width of 500 mm and a length of 1000 m.
It is cut into about m and wound around the supply roll 21. When the ultra-thin film 2 is wound and set on the supply roll 21, the carriage 101 is run on the vacuum chamber 1 to set the ultra-thin film 2 on the film supply and winding device 10.
0 is inserted and housed in the vacuum chamber 1. Then, the Al target 61 is attached and fixed to the first cathode 6 and the Ni target 71 is attached and fixed to the second cathode 7, and the first cathode 6 and the second cathode 7 are fixed.
Is positioned at the above-mentioned position in the vacuum chamber 1.
【００１４】ここで、真空槽１は、真空ポンプにより排
気した後、アルゴンＡｒその他のスパッタガス１０1 〜
１０-1Ｐａ程度導入し、ＡｌターゲットおよびＮｉター
ゲットと基板ホルダである冷却ロールとの間にターゲッ
ト負電位としてＤＣパワーを印加すると、両者間にグロ
ー放電が生じてＡｒのプラズマが発生する。このプラズ
マ中のＡｒの正イオンＡｒ+ がターゲット近傍の陰極電
位降下部分で加速されてターゲット表面に衝突し、スパ
ッタリングされる。Ａｌターゲット６１およびＮｉター
ゲット７１からスパッタリングされたターゲット構成物
質の粒子は冷却ロール５の周面に供給されてくる極薄フ
ィルム２表面のターゲット対向領域に付着し、ここにタ
ーゲット構成物質の薄膜が形成されることになる。[0014] Here, the vacuum chamber 1, after evacuating by a vacuum pump, argon Ar other sputter gas 10 1 -
When about 10 -1 Pa is introduced and DC power is applied as a target negative potential between the Al target and the Ni target and the cooling roll which is the substrate holder, glow discharge occurs between the two and an Ar plasma is generated. The positive ions Ar + of Ar in the plasma are accelerated at the cathode potential drop portion near the target and collide with the target surface to be sputtered. The particles of the target constituent material sputtered from the Al target 61 and the Ni target 71 adhere to the target facing area on the surface of the ultrathin film 2 supplied to the peripheral surface of the cooling roll 5, and a thin film of the target constituent material is formed there. Will be done.
【００１５】供給ロール２１に捲回される極薄フィルム
２は供給ロール２１から捲き取りロール２８に到るまで
連続しており、最終的に捲き取りロール２８に捲き取ら
れるに到る。この極薄フィルム２は、ピンチロール２４
１により供給速度を調整されながら供給ロール２１から
捲き取りロール２８に捲き取られるのであるが、その中
間において第１の供給プーリ２２、第２の供給プーリ２
３、第３の供給プーリ２４を介してフィルム蒸着部に位
置決めされる冷却ロール５周囲表面に供給される。この
極薄フィルム２は冷却ロール５の周囲表面から、更に、
第１の捲き取りプーリ２５、第２の捲き取りプーリ２
６、第３の捲き取りプーリ２７を介して捲き取りロール
２８に捲き取られる。The ultrathin film 2 wound around the supply roll 21 is continuous from the supply roll 21 to the winding roll 28, and is finally wound up by the winding roll 28. This ultra-thin film 2 is a pinch roll 24
While the supply speed is adjusted by 1, the supply roll 21 is wound onto the winding roll 28. In the middle, the first supply pulley 22 and the second supply pulley 2 are wound.
3, and is supplied to the peripheral surface of the cooling roll 5 positioned in the film vapor deposition section via the third supply pulley 24. The ultra-thin film 2 is formed from the peripheral surface of the cooling roll 5,
First take-up pulley 25, second take-up pulley 2
6. It is wound up by the winding roll 28 through the third winding pulley 27.
【００１６】以上の通り、供給ロール２１に捲回され極
薄フィルム２は、ピンチロール２４１により供給速度を
制御調整されながら供給ロール２１から捲き取りロール
２８に連続的に捲き取られるのであるが、捲き取られな
がら第１のカソード６のＡｌターゲット６１に対向する
表面にアルミニウム薄膜が蒸着成膜せしめられる。この
極薄フィルム２のアルミニウム薄膜が蒸着せしめられた
表面領域は、捲き取られながら徐々に第２のカソード７
のＮｉターゲット７１のスパッタリング領域に移行し、
アルミニウム薄膜表面にニッケル薄膜が蒸着成膜せしめ
られ、アルミニウム薄膜表面は全面をニッケル薄膜によ
り被覆せしめられるに到る。
表 １
スパッタリング 膜厚（Å） ターゲットサイズ ＤＣ電力 供給速度
（W） （M/min）
アルミニウム ５００ ６″ １０００ ０.４８
ニッケル ５００ ６″ ５００ ０.３８
ニッケル ３００ ６″ ５００ ０.４５
アルミニウム＋ ５００＋
ニッケル ２００ ６″＋３″ ８００（Al） ０.４０
ピンチロール２４１により制御調整される極薄フィルム
２の供給速度と成膜される薄膜の膜厚の関係は以上の表
１に示される。As described above, the ultrathin film 2 wound on the supply roll 21 is continuously wound from the supply roll 21 to the winding roll 28 while the supply speed is controlled and adjusted by the pinch roll 241. An aluminum thin film is vapor-deposited on the surface of the first cathode 6 facing the Al target 61 while being rolled up. The surface region of the ultrathin film 2 on which the aluminum thin film is vapor-deposited is gradually rolled up while the second cathode 7 is being wound.
Moving to the sputtering area of the Ni target 71 of
A nickel thin film is vapor deposited on the surface of the aluminum thin film, and the entire surface of the aluminum thin film is covered with the nickel thin film. Table 1 Sputtering film thickness (Å) Target size DC power supply rate (W) (M / min) Aluminum 500 6 ″ 1000 0.48 Nickel 500 6 ″ 500 0.38 Nickel 300 6 ″ 500 0.45 Aluminum + 500+ Nickel The relationship between the supply rate of the ultrathin film 2 controlled by the 2006 6 ″ +3 ″ 800 (Al) 0.40 pinch roll 241 and the film thickness of the thin film to be formed is shown in Table 1 above.
【００１７】[0017]
【発明の効果】以上の通りであって、この発明によれ
ば、アルミニウム薄膜の厚さはこれを１００Å以上に成
膜して充分な電気的導通を確保することができる。極薄
フィルム２にアルミニウム薄膜を成膜してからアルミニ
ウム薄膜表面にニッケル薄膜或いはチタニウム薄膜を更
に蒸着成膜することにより、アルミニウム薄膜の剥離は
充分に保護される。As described above, according to the present invention, an aluminum thin film having a thickness of 100 Å or more can be formed to ensure sufficient electrical conduction. By forming an aluminum thin film on the ultra-thin film 2 and then further depositing a nickel thin film or a titanium thin film on the surface of the aluminum thin film, peeling of the aluminum thin film is sufficiently protected.
【００１８】そして、真空槽１内においてアルミニウム
薄膜およびニッケル薄膜をスパッタリングにより蒸着成
膜するに際して、極薄フィルム２を捲き取る速度を調整
してアルミニウム薄膜の厚さとニッケル或いはチタニウ
ム薄膜の厚さを制御調整しながら、ニッケル或いはチタ
ニウム薄膜によりアルミニウム薄膜の表面に保護被覆を
形成することにより、合成樹脂より成る極薄フィルム表
面に対して軽量、機械的強度大、耐候性良好な電極薄膜
を一挙に極く容易に廉価に成膜することができる。Then, when the aluminum thin film and the nickel thin film are deposited by sputtering in the vacuum chamber 1, the speed of winding the ultrathin film 2 is adjusted to control the thickness of the aluminum thin film and the thickness of the nickel or titanium thin film. While adjusting, by forming a protective coating on the surface of the aluminum thin film with a nickel or titanium thin film, the electrode thin film that is lightweight, has high mechanical strength, and has good weather resistance can be simultaneously applied to the surface of the ultrathin film made of synthetic resin. The film can be easily and inexpensively formed.
【００１９】また、以上の工程により構成されたニッケ
ル薄膜或いはチタニウム薄膜により被覆保護されたアル
ミニウム薄膜より成る電極薄膜が形成された極薄フィル
ム２は電極薄膜が一様な膜厚であるので、これは電気音
響変換器の振動膜として好適なものとなる。Further, since the electrode thin film 2 formed with the electrode thin film made of the aluminum thin film covered and protected by the nickel thin film or the titanium thin film formed by the above steps has a uniform film thickness, Is suitable as a vibrating film for an electroacoustic transducer.
【図１】実施例の斜視図。FIG. 1 is a perspective view of an embodiment.
【図２】図１の一部の断面を示す図。FIG. 2 is a diagram showing a cross section of a part of FIG.
１ 真空槽 ２ 極薄フィルム ２１ 供給ロール ２２ 第１の供給プーリ ２３ 第２の供給プーリ ２４ 第３の供給プーリ ２４１ ピンチロール ２５ 第１の捲き取りプーリ ２６ 第２の捲き取りプーリ ２７ 第３の捲き取りプーリ ２８ 捲き取りロール ４１ 第１のポリコールド ４２ 第２のポリコールド ５ 冷却ロール ６ 第１のカソード ６１ Ａｌターゲット ７ 第２のカソード ７１ Ｎｉターゲット １００ フィルム供給捲き取り装置 １０１ 台車 １１０ 走行レール ２００ 基台 1 vacuum tank 2 Ultra-thin film 21 Supply roll 22 First supply pulley 23 Second supply pulley 24 Third Supply Pulley 241 pinch roll 25 First winding pulley 26 Second winding pulley 27 Third winding pulley 28 winding roll 41 First Polycold 42 Second Polycold 5 cooling rolls 6 First cathode 61 Al target 7 Second cathode 71 Ni target 100 Film supply and winding device 101 dolly 110 traveling rail 200 base
フロントページの続き (56)参考文献 特開 平１−270495（ＪＰ，Ａ) 特開 昭56−103594（ＪＰ，Ａ) 特開 昭52−65419（ＪＰ，Ａ) 特開 平５−183982（ＪＰ，Ａ) (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) H04R 31/00 H04R 7/02 Continuation of front page (56) Reference JP-A-1-270495 (JP, A) JP-A-56-103594 (JP, A) JP-A-52-65419 (JP, A) JP-A-5-183982 (JP , A) (58) Fields investigated (Int.Cl. 7 , DB name) H04R 31/00 H04R 7/02
Claims (7)
アルミニウム薄膜を蒸着成膜し、更にアルミニウム薄膜
表面にニッケル薄膜或いはチタニウム薄膜を蒸着成膜し
てこれを被覆したことを特徴とする電気音響変換器用振
動膜。1. An electroacoustic device characterized in that an aluminum thin film is vapor-deposited on the surface of an ultrathin film made of a synthetic resin, and a nickel thin film or a titanium thin film is vapor-deposited on the surface of the aluminum thin film. Vibration film for transducer.
振動膜において、 極薄フィルムは厚さ２μｍ程度のポリフェニルサルファ
イド或いはポリエチレンテレフタレートの極薄フィルム
より成ることを特徴とする電気音響変換器用振動膜。2. The vibrating membrane for an electroacoustic transducer according to claim 1, wherein the ultrathin film is an ultrathin film of polyphenyl sulfide or polyethylene terephthalate having a thickness of about 2 μm. Vibrating membrane.
振動膜において、 アルミニウム薄膜或いはチタニウム薄膜の厚さはこれを
１００Å以上に成膜することを特徴とする電気音響変換
器用振動膜。3. The vibrating membrane for an electroacoustic transducer according to claim 2, wherein the aluminum thin film or the titanium thin film is formed to have a thickness of 100 Å or more.
る極薄フィルムをピンチロールが付設される供給プーリ
を含む供給プーリ、冷却ロール、捲き取りプーリにより
案内して捲き取りロールに捲き取る中間部において極薄
フィルムの表面に順次にアルミニウム薄膜を蒸着成膜
し、次いで、アルミニウム薄膜表面にニッケル薄膜或い
はチタニウム薄膜を蒸着成膜することを特徴とする電気
音響変換器用振動膜の製造方法。4. An intermediate winding device for winding an ultra-thin film made of synthetic resin wound on a supply roll to a winding roll by guiding it with a supply pulley including a supply pulley provided with a pinch roll, a cooling roll and a winding pulley. A method for producing a vibrating membrane for an electroacoustic transducer, which comprises sequentially vapor-depositing an aluminum thin film on the surface of an ultra-thin film in a portion, and then vapor-depositing a nickel thin film or a titanium thin film on the aluminum thin film surface.
振動膜の製造方法において、 極薄フィルムは幅を５００ｍｍ、長さを１０００ｍｍ程
度に切断してこれを供給ロールに捲回することを特徴と
する電気音響変換器用振動膜の製造方法。5. The method for manufacturing a vibrating membrane for an electroacoustic transducer according to claim 4, wherein the ultrathin film is cut into a width of 500 mm and a length of about 1000 mm and wound around a supply roll. A method of manufacturing a vibrating membrane for an electroacoustic transducer, which is characterized.
記載される電気音響変換器用振動膜の製造方法におい
て、 ＤＣスパッタパワーを２００〜１０００Ｗ、導入ガスを
アルゴンとし、極薄フィルム２の供給速度を０. ３８〜
０. ４８メートル／分としたことを特徴とする電気音響
変換器用振動膜の製造方法。6. The method for manufacturing a vibrating membrane for an electroacoustic transducer according to claim 4, wherein the DC sputtering power is 200 to 1000 W, the introduction gas is argon, and the ultrathin film 2 is used. Supply rate of 0.38 ~
A method for producing a vibrating membrane for an electroacoustic transducer, characterized in that it is 0.48 m / min.
中心軸に関して対称の位置に付設される第２のカソード
を具備し、 フィルム供給捲き取り装置が取り付け固定されは台車を
具備し、この台車は基台に敷設される走行レールに設置
され、この走行レールは真空槽が設置固定されるところ
迄延伸しており、 台車を真空槽に対して走行せしめてフィルム供給捲き取
り装置を真空槽内に挿入せしめ、或いはフィルム供給捲
き取り装置を真空槽から引き出し、 フィルム供給捲き取り装置は合成樹脂より成る極薄フィ
ルムが捲回される供給ロール、極薄フィルムを案内する
ピンチロールが付設される供給プーリを含む供給プー
リ、冷却ロール、捲き取りプーリおよび捲き取りロール
を具備し、 第１のカソードはＡｌターゲットが取り付け固定されて
これを冷却ロールの周面に対向して位置決めされ、 第２のカソードはＮｉターゲットが取り付け固定されて
これを第１のカソードからみて極薄フィルムの下流にお
いて冷却ロールの周面に対向して位置決めされることを
特徴とする電気音響変換器用振動膜の製造装置。7. A first cathode and a vacuum tank provided with a vacuum tank of a sputter deposition apparatus, a film supply and winding apparatus, and a base for installing and fixing the vacuum tank. It has a second cathode attached symmetrically with respect to the central axis of, and a carriage to which the film feeding and winding device is attached and fixed, and the carriage is installed on a traveling rail laid on the base. The running rail extends to the point where the vacuum tank is installed and fixed, and the carriage is moved to the vacuum tank to insert the film supply winding device into the vacuum tank, or the film supply winding device is removed from the vacuum tank. The pull-out and film supply / winding device includes a supply roll around which an ultra-thin film made of synthetic resin is wound, and a supply pulley attached with a pinch roll for guiding the ultra-thin film. It is equipped with a supply pulley, a cooling roll, a winding pulley and a winding roll. An Al target is attached and fixed to the first cathode and is positioned so as to face the peripheral surface of the cooling roll, and a second cathode is a Ni target. Is attached and fixed, and is positioned so as to face the peripheral surface of the cooling roll downstream of the ultrathin film as viewed from the first cathode, and the apparatus for producing a vibrating membrane for an electroacoustic transducer.
Priority Applications (1)
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|---|---|---|---|
| JP15483498A JP3361456B2 (en) | 1998-06-03 | 1998-06-03 | Vibrating membrane for electroacoustic transducer, method and apparatus for manufacturing the same |
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