JP3357553B2 - 高電圧発生ｆｅｇタンク - Google Patents
高電圧発生ｆｅｇタンクInfo
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- JP3357553B2 JP3357553B2 JP28813296A JP28813296A JP3357553B2 JP 3357553 B2 JP3357553 B2 JP 3357553B2 JP 28813296 A JP28813296 A JP 28813296A JP 28813296 A JP28813296 A JP 28813296A JP 3357553 B2 JP3357553 B2 JP 3357553B2
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Description
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、電界放射型（ＦＥ
Ｇ）透過電子顕微鏡において高電圧の発生及び電界放射
型電子銃のアノード電極用電源などに用いる高電圧発生
ＦＥＧタンクに関する。
Ｇ）透過電子顕微鏡において高電圧の発生及び電界放射
型電子銃のアノード電極用電源などに用いる高電圧発生
ＦＥＧタンクに関する。
【０００２】
【従来の技術】図３は電界放射型透過電子顕微鏡の高圧
発生タンクとＦＥＧタンクからなる従来の構成例を示す
図、図４は高電圧発生タンクの構成例を示す図、図５は
ＦＥＧタンクの構成例を示す図である。
発生タンクとＦＥＧタンクからなる従来の構成例を示す
図、図４は高電圧発生タンクの構成例を示す図、図５は
ＦＥＧタンクの構成例を示す図である。
【０００３】電子顕微鏡等等に用いられる電界放射型電
子銃（ＦＥＧ）は、電子源としてのエミッター、電子線
引き出し電極としてのアノード、電子線加速用の加速管
電極で構成される。従来、加速電圧１００ｋＶ以上の電
界放射型（ＦＥＧ）透過電子顕微鏡では、図３に示すよ
うに加速管電極に所定の加速電圧を印加する高電圧発生
部（高電圧発生タンク）３１と高電圧に浮いているＦＥ
Ｇ回路部（ＦＥＧタンク）３２がそれぞれ別のタンクで
構成され、ブッシング３３の間を高電圧ケーブル３４、
グランドケーブル３５によって接続されている。これら
のうち、高電圧発生タンクは、図４に示すように高電圧
発生回路４１の出力をブッシング４５に接続すると共
に、コロナシールド４４を有するフィルタ部４２と基準
部４３に接続している。ＦＥＧタンクは、図５に示すよ
うにＦＥＧ回路５１にコロナシールド５４を有する分割
抵抗５２とＦＥＧ回路の電源用絶縁トランス５３を接続
し、ＦＥＧ回路５１と分割抵抗５２との接続点にブッシ
ング５５を介して高電圧発生タンクからの高電圧ケーブ
ル５６を接続して、高電圧に浮かしている。
子銃（ＦＥＧ）は、電子源としてのエミッター、電子線
引き出し電極としてのアノード、電子線加速用の加速管
電極で構成される。従来、加速電圧１００ｋＶ以上の電
界放射型（ＦＥＧ）透過電子顕微鏡では、図３に示すよ
うに加速管電極に所定の加速電圧を印加する高電圧発生
部（高電圧発生タンク）３１と高電圧に浮いているＦＥ
Ｇ回路部（ＦＥＧタンク）３２がそれぞれ別のタンクで
構成され、ブッシング３３の間を高電圧ケーブル３４、
グランドケーブル３５によって接続されている。これら
のうち、高電圧発生タンクは、図４に示すように高電圧
発生回路４１の出力をブッシング４５に接続すると共
に、コロナシールド４４を有するフィルタ部４２と基準
部４３に接続している。ＦＥＧタンクは、図５に示すよ
うにＦＥＧ回路５１にコロナシールド５４を有する分割
抵抗５２とＦＥＧ回路の電源用絶縁トランス５３を接続
し、ＦＥＧ回路５１と分割抵抗５２との接続点にブッシ
ング５５を介して高電圧発生タンクからの高電圧ケーブ
ル５６を接続して、高電圧に浮かしている。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】しかし、従来の電界放
射型（ＦＥＧ）透過電子顕微鏡では、上記のように高電
圧発生タンクとＦＥＧタンクからなる２つのタンクで構
成しているため、装置全体の設置面積が大きくなり、コ
ストも高くなるという問題がある。さらに、負荷端（加
速管）で放電があった場合、放電電流がグランドケーブ
ルを流れてＦＥＧタンクから高電圧発生タンクに戻って
くるため、このとき、グランドケーブルのインピーダン
スにより両タンク間に電位差が生じ、この電位差が生じ
ることによって、タンク内の部品が破損するという問題
が生じる。
射型（ＦＥＧ）透過電子顕微鏡では、上記のように高電
圧発生タンクとＦＥＧタンクからなる２つのタンクで構
成しているため、装置全体の設置面積が大きくなり、コ
ストも高くなるという問題がある。さらに、負荷端（加
速管）で放電があった場合、放電電流がグランドケーブ
ルを流れてＦＥＧタンクから高電圧発生タンクに戻って
くるため、このとき、グランドケーブルのインピーダン
スにより両タンク間に電位差が生じ、この電位差が生じ
ることによって、タンク内の部品が破損するという問題
が生じる。
【０００５】
【課題を解決するための手段】本発明は、上記課題を解
決するものであって、装置の設置面積を低減し放電電流
によるタンク内の部品の破損を防止するものである。
決するものであって、装置の設置面積を低減し放電電流
によるタンク内の部品の破損を防止するものである。
【０００６】そのために本発明は、高電圧を発生する高
電圧発生回路と、前記高電圧発生回路により発生した高
電圧に浮かせて電界放射型電子銃のアノード電極用電源
を構成するＦＥＧ回路と、前記ＦＥＧ回路に電力を供給
する電源用絶縁トランスと、前記高電圧発生回路のリッ
プルを低減しコロナシールドのカラムに電位を与えるフ
ィルタ部と、前記高電圧発生回路の出力を安定化する基
準部とを備え、前記高電圧発生回路と前記ＦＥＧ回路と
を１つのタンクで構成することによりコロナシールドの
カラムを１つにまとめて用いるように構成したことを特
徴とするものである。
電圧発生回路と、前記高電圧発生回路により発生した高
電圧に浮かせて電界放射型電子銃のアノード電極用電源
を構成するＦＥＧ回路と、前記ＦＥＧ回路に電力を供給
する電源用絶縁トランスと、前記高電圧発生回路のリッ
プルを低減しコロナシールドのカラムに電位を与えるフ
ィルタ部と、前記高電圧発生回路の出力を安定化する基
準部とを備え、前記高電圧発生回路と前記ＦＥＧ回路と
を１つのタンクで構成することによりコロナシールドの
カラムを１つにまとめて用いるように構成したことを特
徴とするものである。
【０００７】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態を図面
を参照しつつ説明する。図１は本発明に係る高電圧発生
ＦＥＧタンクの実施の形態を示す図、図２は本発明に係
る高電圧発生ＦＥＧタンクの効果を説明するための図で
ある。図中、１は高電圧発生回路、２はＦＥＧ回路、３
はフィルタ回路、４は基準部、５はＦＥＧ回路の電源用
絶縁トランス、６はコロナシールド、７はブッシング、
８は高電圧ケーブル、９はグランドケーブルを示す。
を参照しつつ説明する。図１は本発明に係る高電圧発生
ＦＥＧタンクの実施の形態を示す図、図２は本発明に係
る高電圧発生ＦＥＧタンクの効果を説明するための図で
ある。図中、１は高電圧発生回路、２はＦＥＧ回路、３
はフィルタ回路、４は基準部、５はＦＥＧ回路の電源用
絶縁トランス、６はコロナシールド、７はブッシング、
８は高電圧ケーブル、９はグランドケーブルを示す。
【０００８】図１において、高電圧発生回路１は、加速
電圧としての例えば１００ｋＶ以上の高電圧を発生する
ものであり、ＦＥＧ回路２は、電界放射型電子銃（ＦＥ
ＧＵＮ）のアノード電極用電源などとして、高電圧発生
回路１により発生した高電圧に浮かせて用いるものであ
る。フィルタ回路３は、高電圧発生回路１のリップル低
減及びコロナシールド６のカラムに電位を与えるための
ものであり、従来の高電圧発生タンクにおけるフィルタ
部とＦＥＧタンクにおける分割抵抗とを１つにしたもの
である。コロナシールド６は、電界を緩和するためのも
のであり、図２に示すように従来の高電圧発生タンクに
おけるフィルタ部に設けられていたコロナシールド６−
１とＦＥＧタンクにおける分割抵抗に設けられていたコ
ロナシールド６−２を図１に示すように１つにまとめた
ものである。基準部４は、高電圧発生回路１の出力を安
定化するものである。ＦＥＧ回路の電源用絶縁トランス
５は、高電圧絶縁してＦＥＧ回路２にパワーを供給する
ものである。
電圧としての例えば１００ｋＶ以上の高電圧を発生する
ものであり、ＦＥＧ回路２は、電界放射型電子銃（ＦＥ
ＧＵＮ）のアノード電極用電源などとして、高電圧発生
回路１により発生した高電圧に浮かせて用いるものであ
る。フィルタ回路３は、高電圧発生回路１のリップル低
減及びコロナシールド６のカラムに電位を与えるための
ものであり、従来の高電圧発生タンクにおけるフィルタ
部とＦＥＧタンクにおける分割抵抗とを１つにしたもの
である。コロナシールド６は、電界を緩和するためのも
のであり、図２に示すように従来の高電圧発生タンクに
おけるフィルタ部に設けられていたコロナシールド６−
１とＦＥＧタンクにおける分割抵抗に設けられていたコ
ロナシールド６−２を図１に示すように１つにまとめた
ものである。基準部４は、高電圧発生回路１の出力を安
定化するものである。ＦＥＧ回路の電源用絶縁トランス
５は、高電圧絶縁してＦＥＧ回路２にパワーを供給する
ものである。
【０００９】上記のようにフィルタ回路３により高電圧
発生回路１のフィルタ部とＦＥＧ回路２の分割抵抗を１
つにしてコロナシールド６に電位を与えると共に、これ
と並列に基準部４を接続することにより、従来、高電圧
発生タンクとＦＥＧタンクの２つのタンクからなる構成
を１つにまとめた高電圧発生ＦＥＧタンクの構成とする
ことができる。しかも、単純にタンクを１つにまとめる
だけでは、それぞれのタンクで接続されていたフィルタ
部及び分割抵抗が必要であり、それに伴って２つのコロ
ナシールドのカラムも必要であるが、これらを１つにま
とめることができる。つまり、フィルタ部及び分割抵抗
をフィルタ部だけで構成すると共に、図２に示すように
従来は、高電圧発生回路１とＦＥＧ回路２のそれぞれに
用いていた２つのコロナシールドカラム６−１、６−２
を１つにすることができるので、装置全体として部品を
少なくし、小さくすることができる。
発生回路１のフィルタ部とＦＥＧ回路２の分割抵抗を１
つにしてコロナシールド６に電位を与えると共に、これ
と並列に基準部４を接続することにより、従来、高電圧
発生タンクとＦＥＧタンクの２つのタンクからなる構成
を１つにまとめた高電圧発生ＦＥＧタンクの構成とする
ことができる。しかも、単純にタンクを１つにまとめる
だけでは、それぞれのタンクで接続されていたフィルタ
部及び分割抵抗が必要であり、それに伴って２つのコロ
ナシールドのカラムも必要であるが、これらを１つにま
とめることができる。つまり、フィルタ部及び分割抵抗
をフィルタ部だけで構成すると共に、図２に示すように
従来は、高電圧発生回路１とＦＥＧ回路２のそれぞれに
用いていた２つのコロナシールドカラム６−１、６−２
を１つにすることができるので、装置全体として部品を
少なくし、小さくすることができる。
【００１０】
【発明の効果】以上の説明から明らかなように、本発明
によれば、高電圧発生回路とＦＥＧ回路を１つのタンク
で構成したので、装置の設置面積を小さくし、コストダ
ウンを図ることができる。しかも、コロナシールドのカ
ラムを１つにまとめることができるので、全体としてタ
ンクのサイズを小さくすることができる。また、高電圧
絶縁部品（ブッシング、高電圧ケーブル等）の数を減ら
すことができるので、信頼性の向上を図ると共に、メン
テナンス性の向上を図ることができる。さらに、負荷
（加速管）で放電してタンクのグランド電位が変化して
も、タンクが１つで構成されているため、すべてグラン
ド電位が同じになり、部品等の破損事故をなくすことが
できる。
によれば、高電圧発生回路とＦＥＧ回路を１つのタンク
で構成したので、装置の設置面積を小さくし、コストダ
ウンを図ることができる。しかも、コロナシールドのカ
ラムを１つにまとめることができるので、全体としてタ
ンクのサイズを小さくすることができる。また、高電圧
絶縁部品（ブッシング、高電圧ケーブル等）の数を減ら
すことができるので、信頼性の向上を図ると共に、メン
テナンス性の向上を図ることができる。さらに、負荷
（加速管）で放電してタンクのグランド電位が変化して
も、タンクが１つで構成されているため、すべてグラン
ド電位が同じになり、部品等の破損事故をなくすことが
できる。
【図１】 本発明に係る高電圧発生ＦＥＧタンクの実施
の形態を示す図である。
の形態を示す図である。
【図２】 本発明に係る高電圧発生ＦＥＧタンクの効果
を説明するための図である。
を説明するための図である。
【図３】 電界放射型透過電子顕微鏡の高圧発生タンク
とＦＥＧタンクからなる従来の構成例を示す図である。
とＦＥＧタンクからなる従来の構成例を示す図である。
【図４】 高電圧発生タンクの構成例を示す図である。
【図５】 ＦＥＧタンクの構成例を示す図である。
１…高電圧発生回路、２…ＦＥＧ回路、３…フィルタ回
路、４…基準部、５…ＦＥＧ回路の電源用絶縁トラン
ス、６…コロナシールド、７…ブッシング、８…高電圧
ケーブル、９…グランドケーブル
路、４…基準部、５…ＦＥＧ回路の電源用絶縁トラン
ス、６…コロナシールド、７…ブッシング、８…高電圧
ケーブル、９…グランドケーブル
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) H01J 37/248
Claims (1)
- 【請求項１】 高電圧を発生する高電圧発生回路と、 前記高電圧発生回路により発生した高電圧に浮かせて電
界放射型電子銃のアノード電極用電源を構成するＦＥＧ
回路と、 前記ＦＥＧ回路に電力を供給する電源用絶縁トランス
と、 前記高電圧発生回路のリップルを低減しコロナシールド
のカラムに電位を与えるフィルタ部と、 前記高電圧発生回路の出力を安定化する基準部とを備
え、前記高電圧発生回路と前記ＦＥＧ回路とを１つのタ
ンクで構成することによりコロナシールドのカラムを１
つにまとめて用いるように構成したことを特徴とする高
電圧発生ＦＥＧタンク。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP28813296A JP3357553B2 (ja) | 1996-10-30 | 1996-10-30 | 高電圧発生ｆｅｇタンク |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP28813296A JP3357553B2 (ja) | 1996-10-30 | 1996-10-30 | 高電圧発生ｆｅｇタンク |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH10134755A JPH10134755A (ja) | 1998-05-22 |
| JP3357553B2 true JP3357553B2 (ja) | 2002-12-16 |
Family
ID=17726233
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP28813296A Expired - Fee Related JP3357553B2 (ja) | 1996-10-30 | 1996-10-30 | 高電圧発生ｆｅｇタンク |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3357553B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP4553701B2 (ja) * | 2004-11-30 | 2010-09-29 | 日本電子株式会社 | 荷電粒子ビーム装置の高電圧発生装置 |
-
1996
- 1996-10-30 JP JP28813296A patent/JP3357553B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH10134755A (ja) | 1998-05-22 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
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