JP3357235B2 - Epoxy resin composition for semiconductor encapsulation - Google Patents

Epoxy resin composition for semiconductor encapsulation

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JP3357235B2
JP3357235B2 JP00807896A JP807896A JP3357235B2 JP 3357235 B2 JP3357235 B2 JP 3357235B2 JP 00807896 A JP00807896 A JP 00807896A JP 807896 A JP807896 A JP 807896A JP 3357235 B2 JP3357235 B2 JP 3357235B2
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Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、YAGレーザー又
は炭酸ガスレーザーによるマーキング特性の良好な半導
体封止用エポキシ樹脂組成物に関するものである。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an epoxy resin composition for semiconductor encapsulation having good marking characteristics with a YAG laser or a carbon dioxide laser.

【0002】[0002]

【従来の技術】半導体本体を機械的、化学的作用から保
護するために、エポキシ樹脂系半導体封止用樹脂組成物
は開発、生産されてきた。それに要求される項目は、封
止される半導体パッケージの構造によって相違する。例
えば、従来半導体パッケージ表面はインクマークによっ
て品番等が印刷されていたが、最近は低コスト、短納期
要求のためにレーザーマーキングを利用するケースが増
えてきている。インクマーキングと比較して、レーザー
マーキングには次の特徴があるとされている。長所は、
秒単位でマークできるので、ポストキュアに数時間を要
するインクマークより高速で安価であり、インクマーク
に比べて、設備のトラブルが少ない。また短所は、印字
のコントラストが低い、印字の時に発生するススの除去
の問題が生じる可能性が高いという問題点があった。そ
こで印字のコントラストが高く、印字の時にはススの発
生しない半導体封止用樹脂組成物を開発することが望ま
れていた。
2. Description of the Related Art In order to protect a semiconductor body from mechanical and chemical actions, epoxy resin-based resin compositions for encapsulating a semiconductor have been developed and manufactured. Items required therefor differ depending on the structure of the semiconductor package to be sealed. For example, conventionally, the surface of a semiconductor package is printed with a product number or the like by an ink mark, but recently, the use of laser marking has been increasing in order to meet requirements for low cost and short delivery time. Compared to ink marking, laser marking is said to have the following features. The advantages are
Since it can be marked in seconds, it is faster and cheaper than an ink mark that requires several hours for post-curing, and has less equipment trouble than an ink mark. On the other hand, there are disadvantages in that the contrast of printing is low, and there is a high possibility that a problem of soot removal generated during printing occurs. Therefore, it has been desired to develop a resin composition for semiconductor encapsulation that has high printing contrast and does not generate soot during printing.

【0003】[0003]

【発明が解決しようとする課題】本発明は、半導体パッ
ケージの印字のコントラスト改善とススの発生量の低減
を達成できるYAGレーザー又は炭酸ガスレーザーマー
ク特性が改善された半導体封止用エポキシ樹脂組成物を
提供することにある。
SUMMARY OF THE INVENTION The present invention relates to an epoxy resin composition for semiconductor encapsulation having improved YAG laser or carbon dioxide laser mark characteristics which can improve the contrast of printed semiconductor packages and reduce the amount of soot. Is to provide.

【0004】[0004]

【課題を解決するための手段】本発明は、上記課題を達
成するために鋭意検討を行い、雲母を少量配合すること
により、半導体封止用エポキシ樹脂組成物のレーザーマ
ーク特性の改善にも効果があることが確認され、その結
果、下記組成の半導体封止用エポキシ樹脂組成物が耐半
田性と成形性に優れていることが判明したものである。
即ち本発明は、エポキシ樹脂、フェノール樹脂硬化剤、
硬化促進剤、無機充填材、カーボンブラック及び平均粒
径75μm以下の雲母(K2O・3Al23・6SiO2
2H2O)を必須成分とする半導体封止用エポキシ樹脂
組成物である。
Means for Solving the Problems The present invention has been studied diligently in order to achieve the above-mentioned object, and by adding a small amount of mica, it is also effective in improving the laser mark characteristics of the epoxy resin composition for semiconductor encapsulation. As a result, it was found that the epoxy resin composition for semiconductor encapsulation having the following composition had excellent solder resistance and moldability.
That is, the present invention is an epoxy resin, a phenol resin curing agent,
Curing accelerator, inorganic filler, carbon black and mica having an average particle diameter of 75 μm or less (K 2 O.3Al 2 O 3 .6SiO 2.
It is an epoxy resin composition for semiconductor encapsulation containing 2H 2 O) as an essential component.

【0005】[0005]

【発明の実施の形態】以下に各組成の成分について説明
する。本発明で用いられるエポキシ樹脂は、分子中にエ
ポキシ基を有する化合物を指し、使用される例として
は、オルソクレゾールノボラック型エポキシ樹脂、ビス
フェノールA型エポキシ樹脂、ビスフェノールF型エポ
キシ樹脂、トリフェノールメタン型エポキシ樹脂、ナフ
タレン型エポキシ樹脂、ビフェニール型エポキシ樹脂等
が挙げられる。これらのエポキシ樹脂の重合度、エポキ
シ当量は特に制限されるものではない。ただし、表面実
装対応の半導体封止用樹脂組成物の場合、無機充填材配
合量を多くすることが要求されているので、溶融時の粘
度が極力低いエポキシ樹脂が望まれている。また、耐湿
信頼性向上のために、これらのエポキシ樹脂中に含有さ
れる塩素イオン、ナトリウムイオン、その他フリーのイ
オンは極力少ないことが望ましい。
DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS The components of each composition are described below. The epoxy resin used in the present invention refers to a compound having an epoxy group in a molecule. Examples of the used epoxy resin include an orthocresol novolak type epoxy resin, a bisphenol A type epoxy resin, a bisphenol F type epoxy resin, and a triphenolmethane type. Epoxy resins, naphthalene type epoxy resins, biphenyl type epoxy resins and the like can be mentioned. The degree of polymerization and epoxy equivalent of these epoxy resins are not particularly limited. However, in the case of a resin composition for encapsulating a semiconductor for surface mounting, it is required to increase the amount of the inorganic filler compounded, so that an epoxy resin having a viscosity as low as possible upon melting is desired. Further, in order to improve the moisture resistance reliability, it is desirable that chlorine ions, sodium ions and other free ions contained in these epoxy resins are as small as possible.

【0006】本発明で用いられるフェノール樹脂硬化剤
は、分子中にフェノール性水酸基を含有する化合物を指
し、使用される例として、フェノールノボラック樹脂、
パラキシリレン変性フェノールノボラック樹脂、トリフ
ェノールメタン型フェノールノボラック樹脂、ビスフェ
ノールA型ノボラック樹脂等が挙げられる。これらの硬
化剤はシリコーン等で変性されていてものであっても構
わない。更に水酸基当量、重合度等に関しても特に制限
されるものではない。エポキシ樹脂と同様に、硬化剤に
関しても比較的低粘度のものが表面実装に使用される半
導体封止用樹脂組成物には望ましい傾向にある。また、
これらの樹脂は耐湿信頼性向上のため、不純物として含
有される塩素イオン、ナトリウムイオン、その他フリー
のイオンは極力少ないことが望ましい。
[0006] The phenolic resin curing agent used in the present invention refers to a compound containing a phenolic hydroxyl group in the molecule, and examples thereof include a phenol novolak resin,
Examples include paraxylylene-modified phenol novolak resin, triphenolmethane-type phenol novolak resin, and bisphenol A-type novolak resin. These curing agents may be modified with silicone or the like. Further, the hydroxyl equivalent, the degree of polymerization and the like are not particularly limited. As with the epoxy resin, a curing agent having a relatively low viscosity tends to be desirable for a resin composition for semiconductor encapsulation used for surface mounting. Also,
In order to improve the moisture resistance reliability of these resins, it is desirable that chlorine ions, sodium ions, and other free ions contained as impurities be as small as possible.

【0007】本発明で使用される硬化促進剤は、エポキ
シ基とフェノール性水酸基の化学反応を促進させるもの
であれば良く、使用される例として、1,8−ジアザビ
シクロ(5,4,0)ウンデセン−7、2−メチルイミ
ダゾール、トリフェニルホスフィン、テトラフェニルホ
スフィン・テトラフェニルボレート等が挙げられる。低
粘度のエポキシ樹脂と硬化剤を配合した処方の場合、硬
化促進剤の反応性が高くなければ成形後の硬度が低く、
離型不良が発生するので成形条件において十分硬化反応
を進ませることができるような硬化促進剤の種類と量を
選択することがより望ましい。
The curing accelerator used in the present invention may be any one which promotes a chemical reaction between an epoxy group and a phenolic hydroxyl group. For example, 1,8-diazabicyclo (5,4,0) Undecene-7, 2-methylimidazole, triphenylphosphine, tetraphenylphosphine / tetraphenylborate and the like. In the case of a formulation containing a low-viscosity epoxy resin and a curing agent, the hardness after molding is low unless the reactivity of the curing accelerator is high,
Since mold release failure occurs, it is more desirable to select the type and amount of the curing accelerator that can sufficiently promote the curing reaction under the molding conditions.

【0008】本発明で用いられる無機充填材としては、
溶融シリカ粉末、球状シリカ粉末、結晶シリカ粉末、2
次凝集シリカ粉末、アルミナ等が挙げられ、特に半導体
封止用樹脂組成物の流動性の向上という観点から、球状
シリカ粉末が望ましい。球状シリカ粉末の形状は、流動
性改善のために、粒子自体の形状は限りなく真球状であ
ることが望ましく、更に粒度分布がブロードで有ること
が望ましい。また、この無機充填材は後述するシランカ
ップリング剤やその他のシラン系、チタン系、その他の
表面処理剤によってあらかじめ表面処理されていてもな
んら構わない。無機充填材の配合量についてはなんら制
限するものではない。また、平均、最大粒径に関しても
特に制限はない。
The inorganic filler used in the present invention includes:
Fused silica powder, spherical silica powder, crystalline silica powder, 2
Sub-agglomerated silica powder, alumina and the like are mentioned, and in particular, spherical silica powder is desirable from the viewpoint of improving the fluidity of the resin composition for semiconductor encapsulation. Regarding the shape of the spherical silica powder, in order to improve the fluidity, it is desirable that the shape of the particles themselves be infinitely spherical and that the particle size distribution be broad. The inorganic filler may be previously surface-treated with a silane coupling agent described later or another silane-based, titanium-based, or other surface treatment agent. The amount of the inorganic filler is not limited at all. There is no particular limitation on the average and maximum particle size.

【0009】本発明で使用されるカーボンブラックは、
一次粒子の平均粒径が5〜150nmのものをさす。二
次凝集によって見かけの平均粒径がそれ以上であっても
構わない。レーザーマークにおいては、カーボンブラッ
クをレーザーの照射によっていかに簡単に除去するかが
重要なポイントになってくる。カーボンブラックの平均
粒径が大きい方が、レーザーの熱によって成形品表面か
ら酸化され除去され易いことが判明しているので、一次
粒子の平均粒径は50〜150nmであることが望まし
いが、特に限定されるものではない。また、耐湿信頼性
の点からイオン性不純物の含有量は少ない方がより望ま
しい。
The carbon black used in the present invention is:
The primary particles have an average particle size of 5 to 150 nm. The apparent average particle size may be larger than that due to secondary aggregation. In a laser mark, how to easily remove carbon black by laser irradiation is an important point. It has been found that the larger the average particle size of the carbon black is, the easier it is to be oxidized and removed from the surface of the molded article by the heat of the laser, so that the average particle size of the primary particles is desirably 50 to 150 nm. It is not limited. It is more desirable that the content of ionic impurities is small from the viewpoint of moisture resistance reliability.

【0010】本発明で使用される雲母は、本発明におけ
る技術上の重要なポイントとなるものであり、主として
(K2O・3Al23・6SiO2・2H2O)で表される構
造のものである。雲母は、レーザー光を照射されるとそ
れを吸収し、その照射された部分が吸収した熱エネルギ
ーを放射する。そのため、雲母を配合して半導体封止用
樹脂組成物中に分散させた場合、レーザーの照射によっ
て照射面のみが高温に加熱され、その部分のエポキシ樹
脂とカーボンブラックが速やかに酸化されて空気中に除
去される。カーボンブラックが取り除かれるために照射
面のみエポキシ樹脂組成物本来の白色が現れ、コントラ
ストが発現する。そして、波長が短くてパワーの強いY
AGレーザーのみならず、パワーの低い炭酸ガスレーザ
ーに関しても効率的に印字ができるという特徴がある。
炭酸ガスレーザーの場合、カーボンブラックそのものの
みを酸化し除去することのできるレーザーパワーがな
く、コントラストをつけるためには炭酸ガスレーザーに
対して発色する有機染料を配合するなどの方法があった
が、この有機染料はキノン構造等の複雑なものが多く、
耐湿信頼性に悪影響がある傾向があった。しかし、本発
明の雲母を配合する方法は、耐湿信頼性の低下を引き起
こすことなく、炭酸ガスレーザーマーク特性を向上させ
ることができる方法である。なお、熱可塑性樹脂関係
(PE、PP等)ではこの雲母を添加してレーザーマー
ク特性を向上させる方法は良く知られている。しかし、
現在までこれをエポキシ樹脂に適用して検討したことは
なく、それでレーザーマーク特性が向上することを確認
されてはいなかった。
The mica used in the present invention is an important technical point in the present invention, and mainly has a structure represented by (K 2 O.3Al 2 O 3 .6SiO 2 .2H 2 O). belongs to. When irradiated with laser light, mica absorbs the laser light and emits the heat energy absorbed by the irradiated part. Therefore, when mica is compounded and dispersed in the resin composition for encapsulating a semiconductor, only the irradiated surface is heated to a high temperature by laser irradiation, and the epoxy resin and carbon black in that portion are rapidly oxidized and are exposed to air. Is removed. Since the carbon black is removed, the original white color of the epoxy resin composition appears only on the irradiated surface, and the contrast is developed. Then, Y having a short wavelength and strong power
In addition to the AG laser, there is a feature that efficient printing can be performed even with a low power carbon dioxide laser.
In the case of carbon dioxide laser, there is no laser power that can oxidize and remove only carbon black itself. Many of these organic dyes are complex, such as quinone structures.
There was a tendency for the humidity resistance reliability to be adversely affected. However, the method of blending mica according to the present invention is a method capable of improving the carbon dioxide laser mark characteristics without lowering the humidity resistance reliability. In the case of thermoplastic resins (PE, PP, etc.), a method for improving the laser mark characteristics by adding this mica is well known. But,
Until now, this has not been studied by applying this to an epoxy resin, and it has not been confirmed that the laser mark characteristics are improved thereby.

【0011】本発明で使用される雲母は平均粒径75μ
m以下のものである。これを越える平均粒径では半導体
封止用樹脂組成物に配合した場合、成形時にゲート詰ま
りの原因となる可能性があり、使用することは望ましく
ない。また、雲母の表面は何らかの有機、無機化合物で
コーティングされていても問題はない。更に、雲母表面
を粗化するなどして表面のパール状光沢を消したり、レ
ーザーマーク性を向上させたりして使用することに関し
てもなんら問題はない。雲母の使用量は、全半導体封止
用樹脂組成物中100重量%に対し、0.02〜2重量
%が望ましい。0.02重量%以下であるとレーザーマ
ーク特性が出ない。2重量%以上であるとパール状光沢
が出たり、レーザーマーク時にススが出たり、流動性が
低下したりして所定の性能が発揮できない。
The mica used in the present invention has an average particle size of 75 μm.
m or less. If the average particle diameter exceeds the above range, when it is mixed with the resin composition for semiconductor encapsulation, it may cause gate clogging at the time of molding, and it is not desirable to use it. There is no problem even if the surface of the mica is coated with any organic or inorganic compound. Furthermore, there is no problem in using the mica surface by roughening the surface to eliminate the pearly luster on the surface or improving the laser mark property. The amount of mica used is preferably 0.02 to 2% by weight based on 100% by weight of the entire resin composition for semiconductor encapsulation. When the content is less than 0.02% by weight, no laser mark characteristics are obtained. If the content is more than 2% by weight, predetermined performance cannot be exhibited due to pearly gloss, soot at the time of laser marking, and decrease in fluidity.

【0012】本発明の組成物は上述のもの以外、必要に
応じて、着色剤、ブロム化エポキシ樹脂、三酸化アンチ
モン等の難燃剤、シランカップリング剤、シリコーンオ
イル、ゴム等の低応力成分を添加することができる。本
発明のエポキシ樹脂組成物は、エポキシ樹脂、硬化剤、
硬化促進剤、無機充填材及びその他の添加剤をミキサー
にて常温混合し、ロール、押出機等の一般混練機にて混
練し、冷却後粉砕し成形材料とすることができる。
The composition of the present invention may contain, if necessary, a low-stress component such as a coloring agent, a brominated epoxy resin, a flame retardant such as antimony trioxide, a silane coupling agent, silicone oil, or rubber. Can be added. The epoxy resin composition of the present invention, an epoxy resin, a curing agent,
A curing accelerator, an inorganic filler and other additives are mixed at room temperature with a mixer, kneaded with a general kneader such as a roll or an extruder, cooled, and pulverized to obtain a molding material.

【0013】[0013]

【実施例】以下本発明を実施例にて具体的に説明する。 ・実施例1 下記組成物 ビフェニル型エポキシ樹脂(融点107℃) 8.3重量部 フェノールアラルキル樹脂(重合度3.2) 8.1重量部 1.8−ジアザビシクロ(5,4,0)ウンデセン−7 0.2重量部 球状シリカ粉末 79.5重量部 カーボンブラック(平均粒径18nm) 0.3重量部 雲母(K2O・3Al23・6SiO2・2H2O) (平均粒径15μm) 0.5重量部 カルナバワックス 0.3重量部 臭素化フェノールノボラック型エポキシ樹脂 1.0重量部 三酸化アンチモン 1.3重量部 エポキシシランカップリング剤 0.5重量部 を、ミキサーにて常温混合し、100℃で二軸ロールに
て混練し、冷却後粉砕し樹脂組成物とした。得られた樹
脂組成物を用いて半導体パッケージを成形した後、YA
Gレーザーマーク及び炭酸ガスレーザーマーク特性を評
価し、その結果を表1に示した。
The present invention will be specifically described below with reference to examples. -Example 1 The following composition: Biphenyl type epoxy resin (melting point: 107 ° C) 8.3 parts by weight Phenol aralkyl resin (polymerization degree: 3.2) 8.1 parts by weight 1.8-diazabicyclo (5,4,0) undecene- 7 0.2 parts by weight Spherical silica powder 79.5 parts by weight Carbon black (average particle diameter 18 nm) 0.3 parts by weight Mica (K 2 O.3Al 2 O 3 .6SiO 2 .2H 2 O) (average particle diameter 15 μm) 0.5 parts by weight Carnauba wax 0.3 parts by weight Brominated phenol novolak type epoxy resin 1.0 parts by weight Antimony trioxide 1.3 parts by weight Epoxysilane coupling agent 0.5 parts by weight is mixed at room temperature with a mixer. Then, the mixture was kneaded with a biaxial roll at 100 ° C., cooled and pulverized to obtain a resin composition. After molding a semiconductor package using the obtained resin composition, YA
The properties of the G laser mark and the carbon dioxide gas laser mark were evaluated, and the results are shown in Table 1.

【0014】*評価方法 《YAGレーザーマーク性》調製した半導体封止用エポ
キシ樹脂組成物のタブレットを利用して、梨地の成形品
を成形する。175℃、8時間のポストキュアの後、そ
の表面にYAGレーザーマークした。下記の条件により
マーキングし、印字された文字のコントラスト、かす
れ、ススについて目視で観察し下記のように評価した。 (条件) レーザーマーカー:NEC製のSL476B レーザーパワー :2.0kV パルス幅 :150μsec 《炭酸ガスレーザーマーク性》調製した半導体封止用エ
ポキシ樹脂組成物のタブレットを利用して、梨地の成形
品を成形する。175℃8時間のポストキュアの後、そ
の表面に炭酸ガスレーザーマークした。下記の条件によ
りマーキングし、印字された文字のコントラスト、かす
れ、ススについて黙視で観察し下記のように評価した。 (条件) レーザーマーカー:ルモニクス製ザイマーク7000 レーザー出力 :4J
* Evaluation Method << YAG Laser Marking Property >> A satin-finished molded product is molded using a tablet of the prepared epoxy resin composition for semiconductor encapsulation. After post-curing at 175 ° C. for 8 hours, the surface was marked with a YAG laser. Marking was performed under the following conditions, and the contrast, fading, and soot of the printed characters were visually observed and evaluated as follows. (Conditions) Laser marker: NEC's SL476B Laser power: 2.0 kV Pulse width: 150 μsec << Carbon dioxide laser markability >> Molding a matte product using a tablet of the prepared epoxy resin composition for semiconductor encapsulation. I do. After post-curing at 175 ° C. for 8 hours, the surface was marked with a carbon dioxide laser mark. Marking was performed under the following conditions, and the contrast, fading, and soot of the printed characters were observed with a naked eye and evaluated as follows. (Conditions) Laser marker: Zumark 7000 manufactured by Lumonics Laser output: 4J

【0015】 《評価》 *コントラスト *字のかすれ *ススの発生 ○: 良好 なし なし △: やや欠点あり わずかあり わずかあり ×: 不良 あり あり<< Evaluation >> * Contrast * Character blurring * Soot generation ○: Good None None △: Some defects Slightly slight Slightly poor ×: Positive

【0016】・実施例2〜6 表1の処方に従って配合し、実施例1と同様にして樹脂
組成物を得、同様に評価し、その結果を表1に示す。 ・比較例1〜5 表2の処方に従って配合し、実施例1と同様にして樹脂
組成物を得、同様に評価し、その結果を表1に示す。そ
の他特に問題となった事項としては、比較例3の配合の
ものは流動性が低下し、成形トラブルが発生し、比較例
4の配合のものはゲート詰まり等の成形トラブルが発生
した。 ・使用したエポキシ樹脂、フェノール樹脂及び雲母は下
記のとおり。 ビフェニル型エポキシ樹脂(融点107℃) オルソクレゾールノボラック型エポキシ樹脂(重合度
4.2) フェノールアラルキル型樹脂(重合度3.2) フェノールノボラック型樹脂(重合度4.3) 雲母(K2O・3Al23・6SiO2・2H2O) 雲母A(平均粒径15μm) 雲母B(平均粒径50μm) 雲母C(平均粒径85μm) 雲母D(平均粒径15μm、表面粗化処理)
Examples 2 to 6 Compounded according to the formulation shown in Table 1, a resin composition was obtained in the same manner as in Example 1, and evaluated in the same manner. The results are shown in Table 1. Comparative Examples 1 to 5 Compounded according to the formulation in Table 2 to obtain a resin composition in the same manner as in Example 1, evaluated in the same manner, and the results are shown in Table 1. In addition, as a matter of particular concern, the composition of Comparative Example 3 had reduced fluidity and caused molding problems, and the composition of Comparative Example 4 had molding problems such as gate clogging.・ Epoxy resin, phenol resin and mica used are as follows. Biphenyl type epoxy resin (melting point 107 ° C) Orthocresol novolak type epoxy resin (degree of polymerization 4.2) Phenol aralkyl type resin (degree of polymerization 3.2) Phenol novolak type resin (degree of polymerization 4.3) Mica (K 2 O. 3Al 2 O 3 .6SiO 2 .2H 2 O) Mica A (average particle size 15 μm) Mica B (average particle size 50 μm) Mica C (average particle size 85 μm) Mica D (average particle size 15 μm, surface roughening treatment)

【0017】 表 1 実 施 例 1 2 3 4 5 6 配合(重量部) ビフェニル型エポキシ樹脂 8.3 8.3 8.3 8.3 8.3 オルソクレソ゛-ルノホ゛ラック型エホ゜キシ樹脂 10.2 フェノールアラルキル型樹脂 8.1 8.1 8.1 8.1 8.1 フェノールノボラック型樹脂 6.2 1.8-シ゛アサ゛ヒ゛シクロ(5,4,0)ウンテ゛セン-7 0.2 0.2 0.2 0.2 0.2 0.2 球状シリカ粉末 79.5 79.97 78.2 79.5 79.5 79.5 カーボンブラック(平均粒径18nm) 0.3 0.3 0.3 0.3 0.3 0.3 雲母A 0.5 0.03 1.8 0.5 雲母B 0.5 雲母D 0.5 カルナバワックス 0.3 0.3 0.3 0.3 0.3 0.3 臭素化フェノ-ルノホ゛ラック型エホ゜キシ樹脂 1.0 1.0 1.0 1.0 1.0 1.0 三酸化アンチモン 1.3 1.3 1.3 1.3 1.3 1.3 エポキシシランカップリング剤 0.5 0.5 0.5 0.5 0.5 0.5 特性 YAGレーザーマーク性 コントラスト ○ ○ ○ ○ ○ ○ 字のかすれ ○ ○ ○ ○ ○ ○ ススの発生 ○ ○ ○ ○ ○ ○ 炭酸ガスレーザーマーク性 コントラスト ○ ○ ○ ○ ○ ○ 字のかすれ ○ ○ ○ ○ ○ ○ ススの発生 ○ ○ ○ ○ ○ ○ Table 1 Example 1 2 3 4 5 6 blending (parts by weight) Biphenyl type epoxy resin 8.3 8.3 8.3 8.3 8.3 Orthocreso-Lunophorac type epoxy resin 10.2 Phenol aralkyl type resin 8.1 8.1 8.1 8.1 8.1 Phenol novolak type resin 6.2 1.8-Phase dicyclo (5, 4,0) Undecedene-7 0.2 0.2 0.2 0.2 0.2 0.2 Spherical silica powder 79.5 79.97 78.2 79.5 79.5 79.5 Carbon black (average particle size 18 nm) 0.3 0.3 0.3 0.3 0.3 0.3 Mica A 0.5 0.03 1.8 0.5 Mica B 0.5 Mica D 0.5 Carnauba wax 0.3 0.3 0.3 0.3 0.3 0.3 Brominated phenol-phenolic epoxy resin 1.0 1.0 1.0 1.0 1.0 1.0 Antimony trioxide 1.3 1.3 1.3 1.3 1.3 1.3 Epoxysilane coupling agent 0.5 0.5 0.5 0.5 0.5 0.5 Properties YAG laser mark properties Contrast ○ ○ ○ ○ ○ ○ Blurred characters ○ ○ ○ ○ ○ ○ Generation of soot ○ ○ ○ ○ ○ ○ CO2 laser mark Characteristic Contrast ○ ○ ○ ○ ○ ○ Blurred characters ○ ○ ○ ○ ○ ○ Generation of soot ○ ○ ○ ○ ○ ○

【0018】 表 2 比 較 例 1 2 3 4 5 配合(重量部) ビフェニル型エポキシ樹脂 8.3 8.3 8.3 8.3 8.3 フェノールアラルキル型樹脂 8.1 8.1 8.1 8.1 8.1 1.8-シ゛アサ゛ヒ゛シクロ(5,4,0)ウンテ゛セン-7 0.2 0.2 0.2 0.2 0.2 球状シリカ粉末 80.0 79.99 77.7 79.5 79.8 カーボンブラック(平均粒径18nm) 0.3 0.3 0.3 0.3 雲母A 0.01 2.3 0.5 雲母C 0.5 カルナバワックス 0.3 0.3 0.3 0.3 0.3 臭素化フェノ-ルノホ゛ラック型エホ゜キシ樹脂 1.0 1.0 1.0 1.0 1.0 三酸化アンチモン 1.3 1.3 1.3 1.3 1.3 エポキシシランカップリング剤 0.5 0.5 0.5 0.5 0.5 特性 YAGレーザーマーク性 コントラスト △ △ ○ ○ × 字のかすれ ○ ○ ○ ○ × ススの発生 △ △ △ ○ × 炭酸ガスレーザーマーク性 コントラスト × × ○ ○ × 字のかすれ × × ○ ○ × ススの発生 ○ ○ △ ○ × Table 2 Comparative Example 1 2 3 4 5 Blended (parts by weight) Biphenyl type epoxy resin 8.3 8.3 8.3 8.3 8.3 Phenol aralkyl type resin 8.1 8.1 8.1 8.1 8.1 1.8-Shiasadicyclo (5,4,0) unthecene-7 0.2 0.2 0.2 0.2 0.2 Spherical Silica powder 80.0 79.99 77.7 79.5 79.8 Carbon black (average particle size 18nm) 0.3 0.3 0.3 0.3 Mica A 0.01 2.3 0.5 Mica C 0.5 Carnauba wax 0.3 0.3 0.3 0.3 0.3 Brominated phenol-phenolic phenolic epoxy resin 1.0 1.0 1.0 1.0 1.0 Antimony trioxide 1.3 1.3 1.3 1.3 1.3 Epoxysilane coupling agent 0.5 0.5 0.5 0.5 0.5 Characteristics YAG laser mark property Contrast △ △ ○ ○ × Character fading ○ ○ ○ ○ × Soot generation △ △ △ ○ × Carbon dioxide gas laser mark contrast × × ○ ○ × Blurring of characters × × ○ ○ × Generation of soot ○ ○ △ ○ ×

【0019】[0019]

【発明の効果】本発明の半導体封止用エポキシ樹脂組成
物は、印字のコントラストが高く、ススの発生量の低い
YAGレーザー又は炭酸ガスレーザーマーク特性が高い
半導体パッケージを得ることができるため、生産性が向
上し、半導体メーカーでの生産コストを低減することが
できる。
The epoxy resin composition for encapsulating a semiconductor of the present invention can produce a semiconductor package having high YAG laser or carbon dioxide gas laser mark characteristics with high printing contrast and low soot generation. Performance can be improved and production costs at semiconductor manufacturers can be reduced.

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.7 識別記号 FI H01L 23/31 (56)参考文献 特開 平6−166802(JP,A) 特開 平6−57101(JP,A) 特開 平2−245055(JP,A) 特開 平4−100820(JP,A) 特開 平2−101761(JP,A) 特開 昭63−248821(JP,A) 特開 昭63−226951(JP,A) 特開 平5−331263(JP,A) 特開 昭60−47065(JP,A) 特開 平9−111696(JP,A) 特開 平7−286074(JP,A) 特開 平8−231880(JP,A) 特開 平9−12776(JP,A) (58)調査した分野(Int.Cl.7,DB名) C08L 63/00 - 63/10 C08K 3/04 C08K 3/34 B41M 5/26 H01L 23/29 ────────────────────────────────────────────────── ─── Continuation of the front page (51) Int.Cl. 7 Identification symbol FI H01L 23/31 (56) References JP-A-6-166802 (JP, A) JP-A-6-57101 (JP, A) Japanese Unexamined Patent Publication No. Hei 2-245055 (JP, A) Japanese Unexamined Patent Publication No. Hei 4-100820 (JP, A) Japanese Unexamined Patent Publication No. Hei 2-101761 (JP, A) Japanese Unexamined Patent Publication No. Sho 63-248821 (JP, A) JP, A) JP-A-5-331263 (JP, A) JP-A-60-47065 (JP, A) JP-A-9-111696 (JP, A) JP-A-7-286074 (JP, A) JP Hei 8-231880 (JP, A) JP-A Hei 9-12776 (JP, A) (58) Fields investigated (Int. Cl. 7 , DB name) C08L 63/00-63/10 C08K 3/04 C08K 3 / 34 B41M 5/26 H01L 23/29

Claims (2)

(57)【特許請求の範囲】(57) [Claims] 【請求項1】 エポキシ樹脂、フェノール樹脂硬化剤、
硬化促進剤、無機充填材、カーボンブラック及び平均粒
径75μm以下の雲母を必須成分とすることを特徴とす
る半導体封止用エポキシ樹脂組成物。
An epoxy resin, a phenol resin curing agent,
An epoxy resin composition for semiconductor encapsulation, comprising a curing accelerator, an inorganic filler, carbon black, and mica having an average particle size of 75 μm or less as essential components.
【請求項2】 雲母の主成分が、K2O・3Al23・6
SiO2・2H2Oの構造を有する請求項1記載の半導体
封止用エポキシ樹脂組成物。
2. The main component of mica is K 2 O.3Al 2 O 3 .6.
The epoxy resin composition for semiconductor encapsulation of claim 1 having a structure of SiO 2 · 2H 2 O.
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