JP3347658B2 - テ−ブル類及びその駆動ユニット - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本願発明は、テーブル類及びその
駆動ユニットに係り、詳しくは、例えばミラーやグレー
ティング等の光学素子を保持してその位置や指向性の調
整を行うことが可能とされたテーブル類及びその駆動ユ
ニットに関する。

【０００２】

【従来の技術】周知のように、例えば、ミラー、グレー
ティング、レンズ、光ファイバ等の光学素子を利用した
測定装置或いは実験装置には、当該光学素子の位置調整
や指向性調整を行うことを目的として、各種のテーブル
類が組み込まれている。

【０００３】上記テーブル類としては、移動テーブル体
がＸ軸のみに沿って直線状に移動する型式のＸテーブ
ル、同じく移動テーブル体がＸ軸及びＹ軸の２軸に沿っ
て移動する型式のＸＹテーブル、同じく移動テーブル体
がＸ軸、Ｙ軸及びＺ軸の３軸に沿って移動する型式のＸ
ＹＺテーブル、更にはテーブル体がその垂直軸回りに回
転する回転テーブルなどが存在する。また、これら以外
のテーブル類としては、テーブル体がその表面に平行で
あって相互に垂直な軸を介して回転する型式のもの（ミ
ラーホルダ等のホルダ類に相当する）が存在する。

【０００４】これらのテーブル類は、上記各種のテーブ
ル体を移動もしくは回転させるために、手動による場合
はマイクロメータヘッド等を使用する一方、自動による
場合はステッピングモータ等を使用するのが一般的とさ
れている。

【０００５】その場合に、今日において実用化され或い
は提案されているテーブル類は、上記マイクロメータヘ
ッドやステッピングモータ等がテーブル類に固定的に設
置されてユニット化されているのが実情である。

【０００６】また、上述のＸＹＺテーブルは、３個のマ
イクロメータヘッド等によりそれぞれ３軸方向に移動可
能とされているが、これらのマイクロメータヘッド等
は、それぞれ各移動テーブル体を各軸に沿って直進させ
るようになっているため、３個のマイクロメータヘッド
等がそれぞれＸ軸、Ｙ軸及びＺ軸に沿う方向つまり異な
る３種の方向を指向するように構成されているのが通例
である。

【０００７】

【発明が解決しようとする課題】ところで、上記従来の
ように、マイクロメータヘッドやステッピングモータ等
をテーブル類に固定的に設置していたのでは、例えば当
該テーブル類を真空中で使用したいという要請に対して
は、適切に対処できないという問題がある。

【０００８】即ち、上記マイクロメータヘッド付きのテ
ーブル類を真空容器等の内部に配置した状態で位置調整
を行おうとすれば、大気開放状態にある真空容器等の内
部に作業者が手を挿入してマイクロメータヘッドを操作
し、テーブル類の位置調整が完了した後に、真空容器等
の内部を真空状態にせねばならないことになる。従っ
て、真空容器等の内部を真空状態にした後にテーブル類
の位置調整を行うには、その真空を一旦破壊して大気開
放状態とした上で、その内部に手を挿入してマイクロメ
ータヘッドを操作し、その後再び真空容器等の内部を真
空状態に復帰させねばならないことになる。そして、場
合によってはこれらの動作を繰り返し頻繁に行う必要性
が生じ、極度な煩雑さを余儀なくされるばかりでなく、
このような使用態様には到底耐え得ないという問題が生
じる。

【０００９】これに対して、上記ステッピングモータ付
きのテーブル類を真空容器等の内部に配置した場合に
は、その配線類を真空容器等に対して適切にシールして
おくことにより、真空容器等の内部を真空状態にした上
でその外部よりステッピングモータを制御してテーブル
類の位置調整を行うことが可能になる。しかしながら、
この場合においては、ステッピングモータが真空中での
使用に耐え得る構造になっていなければならず、真空中
で良好に作動するステッピングモータを製作するには、
その内部に焼き付きやかじりが発生し易い多数の摺動部
などが存在していることから、これらの部位を良好に作
動させるための特殊構造が必要になる。このため、製作
コストの上昇を招くばかりでなく、超高真空使用（例え
ば１０^-10Torr 域使用）のステッピングモータを製作す
るには、多大な労苦や時間及び費用が必要になるという
問題がある。

【００１０】一方、上記従来のＸＹＺテーブルにおいて
は、３個のマイクロメータヘッド等がそれぞれ異なる３
方向を指向して取り付けられている関係上、作業者が当
該テーブルの３方向に対する位置調整をする際には、３
個のマイクロメータヘッド等に対して手をあてがう方向
がそれぞれ異なるため、面倒な作業を強いられるという
問題がある。加えて、個々のマイクロメータヘッド等に
対する視認方向もそれぞれ異なるため、目盛の読み取り
が困難化されるばかりでなく、場合によっては読み取り
間違いを生じるという問題もある。

【００１１】本願発明は、上記事情に鑑みてなされたも
のであり、真空容器等の内部にテーブル類を設置して真
空状態の下でこれを外部から容易に位置調整できるよう
にすると共に、テーブル類の位置調整をするに際して操
作の方向性が問題とならないようにすることを技術的課
題とするものである。

【００１２】

【課題を解決するための手段】本願発明に係るテーブル
類及びその駆動ユニットは、上記技術的課題を達成する
ため、以下に示すように構成したことを特徴とする。

【００１３】即ち、本願の請求項１に記載したテーブル
類の駆動ユニットは、押圧力が作用することによりＹ軸
に沿って直線状に移動する移動テーブル体を有し且つ該
移動テーブル体における前記押圧力の作用面がＹ軸に対
して傾斜するように形成されたテーブル類と、該 移動
テーブル体に対して押圧力を作用させる押圧部材と、回
転駆動部と、該回転駆動部からの回転力が付与されると
共にその途中で分離可能とされた回転伝達軸と、該回転
伝達軸の基端部に取り付けられ且つ該回転伝達軸の外周
をシールするシール部材と、該回転伝達軸の先端部に取
り付けられ且つ前記テーブル類に固定され、該回転伝達
軸の回転運動を上記押圧部材の直線運動に変換する運動
変換部材とを有し、且つこれらはユニット化されている
ことを特徴とする。

【００１４】本願の請求項２に記載したテーブル類の駆
動ユニットは、押圧力が作用することによりＸ軸に沿っ
て直線状に移動する移動テーブル体を有し且つ該移動テ
ーブル体における押圧力の作用面がＸ軸に対して直交す
るように形成されたテーブル類と、該 移動テーブル体
に対して押圧力を作用させる押圧部材と、回転駆動部
と、該回転駆動部からの回転力が付与されると共にその
途中で分離可能とされた回転伝達軸と、該回転伝達軸の
基端部に取り付けられ且つ該回転伝達軸の外周をシール
するシール部材と、該回転伝達軸の先端部に取り付けら
れ且つ前記テーブル類に固定され、該回転伝達軸の回転
運動を上記押圧部材の直線運動に変換する運動変換部材
とを有し、且つこれらはユニット化されていることを特
徴とする。

【００１５】本願の請求項３に記載したテ−ブル類の駆
動ユニット群は、上述の請求項１に記載のテ−ブル類の
駆動ユニットと、請求項２に記載のテ−ブル類の駆動ユ
ニットとを前記Ｘ軸及びＹ軸が互いに直交するように組
み合わせて、ＸＹテーブルの２個の移動テーブル体 を
駆動させるようにし、且つそれぞれの押圧部材の直線
運動の方向性を同一方向に統一させたことを特徴とす
る。

【００１６】本願の請求項４に記載したテ−ブル類の駆
動ユニットは、押圧力が２箇所で作用することによりそ
の表面と平行であって相互に垂直なＸａ軸及びＹａ軸か
らなる２つの軸を介して回転可能とされた単一の回転テ
ーブル体を有し且つ該回転テーブル体の前記２箇所にお
ける各押圧力の作用面がそれぞれ前記２軸に対して傾斜
するように形成されたテーブル類と、該 回転テーブル
体の２箇所に対してそれぞれ押圧力を作用させる各押圧
部材と、２個の回転駆動部と、該各回転駆動部からの回
転力が付与されると共にその途中で分離可能とされた各
回転伝達軸と、該各回転伝達軸の基端部に取り付けられ
且つ該各回転伝達軸の外周をシールするシール部材と、
該各回転伝達軸の先端部に取り付けられ且つ前記テーブ
ル類に固定され、該各回転伝達軸の回転運動を上記各押
圧部材の直線運動に変換する各運動変換部材とを有し、
且つこれらはユニット化されていることを特徴とする。

【００１７】

【００１８】

【００１９】

【００２０】本願の請求項５に記載したテ−ブル類の駆
動ユニットは、押圧力が作用することによりその表面と
垂直な支軸を介して回転可能とされた旋回テーブル体を
有し且つ該旋回テーブル体における押圧力の作用面が前
記支軸と平行に形成されたテーブル類と、該 旋回テー
ブル体に対して押圧力を作用させる押圧部材と、回転駆
動部と、該回転駆動部からの回転力が付与されると共に
その途中で分離可能とされた回転伝達軸と、該回転伝達
軸の基端部に取り付けられ且つ該回転伝達軸の外周をシ
ールするシール部材と、該回転伝達軸の先端部に取り付
けられ且つ前記テーブル類に固定され、該回転伝達軸の
回転運動を上記押圧部材の直線運動に変換する運動変換
部材とを有し、且つこれらはユニット化されていること
を特徴とする。

【００２１】本願の請求項６に記載したテ−ブル類の駆
動ユニット群は、上述の請求項１および２に記載のテ−
ブル類の駆動ユニットのうちのいずれか一方または双方
と、請求項４ に記載のテ−ブル類の駆動ユニット
と、請求項５に記載のテ−ブル類の駆動ユニット とを
Ｘ軸とＸａ軸とが平行、Ｙ軸とＹａ軸とが平行、Ｘ軸と
Ｙ軸とが直交、支軸がこれらの全ての軸と直交の関係に
なるように組み合わせて、 １個または２個 の移動テ
ーブル体と１個の回転テーブル体と１個の旋回テーブル
体とをそれぞれ駆動させるようにし、且つそれぞれの押
圧部材の直線運動の方向性を同一方向に統一させたこと
を特徴とするテ−ブル類の駆動ユニット。

【００２２】本願の請求項７に記載した発明は、上述の
請求項１乃至６のいずれかに記載のテーブル類の駆動ユ
ニットにおいて、回転伝達軸が、その途中に屈曲部と伸
縮部とを備えていると共に、上記屈曲部にはユニバーサ
ルジョイントが配設され、且つ上記伸縮部には回転伝達
が可能であって伸縮可能な伸縮部材が配設されているこ
とを特徴とする。

【００２３】本願の請求項８に記載した発明は、上述の
請求項７に記載のテーブル類の駆動ユニットにおいて、
屈曲部が２箇所に備えられていると共に、この両屈曲部
間に伸縮部材が介設されており、該伸縮部材の途中が分
離可能とされていることを特徴とする。

【００２４】本願の請求項９に記載した発明は、押圧力
が作用することにより一方向に沿って直線状に移動する
移動テーブル体を有するテーブル類において、上記移動
テーブル体の隅部に、外側面部方向が開放状態とされた
凹部を形成すると共に、この凹部の底面を、上記押圧力
が作用するための傾斜面としたことを特徴とする。

【００２５】本願の請求項１０に記載した発明は、上述
の請求項９に記載のテーブル類において、凹部が、移動
テーブル体の４隅部のうちの少なくとも２箇所に形成さ
れていることを特徴とする。

【００２６】

【発明の作用及び効果】本願の請求項１に記載した発明
によると、テ−ブル類の駆動ユニットの真空容器への設
置に際しては、先ず、回転伝達軸を分離させることによ
り当該ユニットを２つに分割する。そして、分離された
一方のユニットの構成要素であるテーブル類と押圧部材
と運動変換部材と回転伝達軸の先端側とを真空容器の内
部に取り込み、テーブル類を所定の位置に設置してお
く。一方、分離された他方のユニットの構成要素である
回転駆動部とシール部材と回転伝達軸の基端側とは、真
空容器の外部に位置させておき、このような状態で回転
伝達軸の基端側を真空容器の内部に挿入すると共に、回
転駆動部とシール部材とを真空容器の外方側に設置す
る。この後、上記のようにして一旦分離させた回転伝達
軸を再び当初の非分離状態に復帰させれば、回転伝達軸
はその全長にわたって回転伝達作用を行うことが可能に
なる。

【００２７】この後、真空容器等の内部を真空引きする
ことにより、大気中に存する回転駆動部により得られる
回転運動は、シール部材（駆動ユニットのシール部材以
外のものを含む（以下の実施例で詳述する））により真
空状態に維持されている真空容器等の内部に存する回転
伝達軸に伝達された後、運動変換部材の動作により押圧
部材の直線運動に変換される。

【００２８】この場合において、上記押圧部材が移動テ
ーブル体の移動可能方向と直交する方向に直線運動をし
た場合には、その直線運動の方向に対して傾斜した方向
に上記押圧部材の押圧力が作用することから、当該移動
テーブル体は、押圧部材の直線運動方向と直交する方向
に移動することになる。従って、上記押圧部材は、移動
テーブル体の移動軸に対して９０°異なる方向を指向し
て直線運動をするように配設されることが可能になると
同時に、この押圧部材の直線運動方向と同一もしくは略
同一方向に沿うように回転伝達軸を配設することも可能
になる。このように、押圧部材の直線運動方向と回転伝
達軸の配設方向とが同一もしくは略同一とされることに
より、両者の結合部分の構成が極めて簡素化される。ま
た、真空容器の外方の回転駆動部の配設位置も、移動テ
ーブル体の移動軸と９０°異なる方向の延長線上に移行
させることが可能になる。

【００２９】尚、上記回転駆動部の具体例としては、手
動により操作可能なマイクロメ−タヘッドや単なるツマ
ミ、或いは電気的手法により自動化を図ることが可能な
ステッピングモ−タ等のモータ類などが挙げられる。

【００３０】以上のように、本願の請求項１に記載の発
明によれば、ユニット化されたテ−ブル類の駆動機構を
真空容器に組み付けておくことにより、当該真空容器の
内部を真空状態にした後であっても、回転駆動部を操作
することによって真空を破壊することなく移動テーブル
体の位置調整を行えることになる。また、回転駆動部と
してステッピングモ−タ等のモータ類を使用する場合に
は、そのモータ類を真空中での使用に耐え得る構造とす
る必要性がなくなり、構造の簡素化や製作コストの低廉
化を図ることが可能になる。更に、テ−ブル及び駆動機
構がユニット化されていることから、真空容器への組み
付けを極めて簡便に行えることになり、作業性の向上が
図られると共に、組み付け以後の保守点検も極めて容易
に行えることになる。

【００３１】本願の請求項２に記載した発明は、上述の
請求項１に記載した発明と比較すれば、テーブル類の移
動テーブル体における押圧力の作用面がＸ軸に対して直
交するように形成されている点のみが相違している。従
って、押圧部材の直線運動方向と回転伝達軸の配設方向
とは、上記移動テーブル体の移動軸に沿う方向と一致さ
せることができ、またシール部材及び回転駆動部の設置
箇所もその移動軸の延長線上とすることができる。尚、
その他の作用効果は、上述の請求項１に記載した発明と
同様である。

【００３２】本願の請求項３に記載した発明は、Ｘ軸と
これに直交するＹ軸との両軸に沿って移動テーブル体が
スライドする所謂ＸＹテーブルを製作するに際して、例
えばＸ軸に沿って移動する移動テーブル体を有するテ−
ブル類の駆動ユニットとして上述の請求項２に記載のも
のを使用する一方、Ｙ軸に沿って移動する移動テーブル
体を有するテ−ブル類の駆動ユニットとして上述の請求
項１に記載のものを使用して、この両者をＸＹテーブル
としての機能を有するように組み立てるのである。そし
て、このようにすることにより、両駆動ユニットの押圧
部材の直線運動の方向性を同一にすることができると共
に、両回転伝達軸の配設方向も同一にすることができ、
更には、両回転駆動部を同一箇所に集約して配設するこ
とが可能になる。従って、例えば両押圧部材の直線運動
方向が相互に直交する方向を指向し且つ両回転伝達軸の
配設方向も相互に直交する方向を指向している場合にお
ける真空容器内のスペースの無駄が消失されると共に、
両回転駆動部が真空容器の外部における９０°の角度間
隔を隔てた位置に設置される場合における回転駆動部の
操作性の悪化や設置スペースの無駄が消失されることに
なる。

【００３３】また、この請求項３に記載した発明は、Ｘ
軸とこれに直交するＹ軸とこの両軸に直交するＺ軸との
３軸に沿って移動テーブル体がスライドする所謂ＸＹＺ
テーブルを製作するに際しても適用することができる。
すなわち、例えばＸ軸に沿って移動する移動テーブル体
を有するテ−ブル類の駆動ユニットとして上述の請求項
２に記載のものを使用する一方、Ｙ軸に沿って移動する
移動テーブル体を有するテ−ブル類の駆動ユニット及び
Ｚ軸に沿って移動する移動テーブル体を有するテ−ブル
類の駆動ユニットとしてそれぞれ上述の請求項１に記載
のものを使用して、この両者をＸＹＺテーブルとしての
機能を有するように組み立てるのである。これにより、
３個の駆動ユニットの各押圧部材の直線運動の方向性を
同一にすることができると共に、各回転伝達軸の配設方
向も同一にすることができ、更には、各回転駆動部を同
一箇所に集約して配設することが可能になる。従って、
この場合にも、上述のＸＹテーブルの場合と同様の作用
効果が得られることになる。

【００３４】本願の請求項４に記載した発明によると、
その表面と平行であって相互に垂直なＸａ軸及びＹａ軸
からなる２つの軸を介して回転可能とされた単一の回転
テーブル体を有する 。 この請求項４の発明によれ
ば、各押圧力の作用面がそれぞれ前記２軸に対して傾斜
するように形成されていることから、各押圧部材の直線
運動方向を当該回転テーブル体の表面と平行な状態であ
って且つ相互に平行な状態にすることが可能になる。そ
して、この発明の場合にも、上述の請求項１に記載の発
明の場合と同様の構成要素によって同様の作用効果が得
られることになる。

【００３５】

【００３６】

【００３７】

【００３８】本願の請求項５に記載した発明によると、
押圧力の作用面は支軸と平行に形成されていることか
ら、押圧部材の直線運動方向は、上記のように旋回テー
ブル体の表面に平行な方向であって且つその軸に直交す
る方向となる。また、この発明の場合にも、上述の請求
項１に記載の発明の場合と同様の構成要素によって同様
の作用効果が得られることになる。

【００３９】本願の請求項６に記載した発明によれば、
各駆動ユニットの押圧部材の直線運動の方向性を全て
同一にすることにより、各回転伝達軸の配設方向も容易
に同一にすることができ、更には、各回転駆動部を同一
箇所に集約して配設することが可能になる。従って、例
えば各押圧部材の直線運動方向が相互に異なる方向を指
向し且つ各回転伝達軸の配設方向も相互に異なる方向を
指向している場合における真空容器内のスペースの無駄
が消失されると共に、各回転駆動部が真空容器の外部に
おける９０°や１８０°の角度間隔を隔てた位置に設置
される場合における回転駆動部の操作性の悪化や設置ス
ペースの無駄が消失されることになる。

【００４０】本願の請求項７に記載した発明によると、
回転伝達軸として、ユニバーサルジョイントが配設され
た屈曲部と、回転伝達可能な伸縮部材が配設された伸縮
部とを備えたものを使用するようにしたから、複数個の
回転駆動部を集約して設置する場合に、回転駆動部の相
互間の干渉を回避するという要請のために、必要に応じ
て回転駆動部の位置を僅かに変位させて取り付けても、
円滑な回転駆動が行われることになる。

【００４１】本願の請求項８に記載した発明によると、
上述の請求項７に記載した発明の場合と同様の作用効果
が得られることに加えて、分離可能な伸縮部材の両側に
屈曲部（ユニバーサルジョイント）が配設されているこ
とから、伸縮部材の着脱作業を容易に行えることにな
り、作業性の向上が図られる。

【００４２】本願の請求項９に記載した発明は、移動テ
ーブル体をその移動軸と直交する方向から押圧できる構
成とするため、つまり押圧力の作用面として、移動テー
ブル体に傾斜面を形成するようにしたものである。そし
て、この傾斜面を形成するために、上記移動テーブル体
の隅部に、外側面部方向が開放状態とされた凹部が形成
されており、この凹部の底面が上記傾斜面とされている
のである。これによれば、上記凹部の外側面部方向から
押圧作用を行う部材の先端部を該凹部に侵入させ、その
先端部によって凹部底面の傾斜面を押すことにより、移
動テーブル体は押圧作用を行う部材の移動方向と直交す
る方向に移動する。この場合において、上記移動テーブ
ル体の表面部は、傾斜面の形成に何ら関与していないた
め、換言すれば、移動テーブル体に凹部を形成してもそ
の表面部には所定厚さの肉部が残存しているため、この
移動テーブル体の表面は全面にわたって使用可能な状態
を維持できる。更に、傾斜面の形成に際しては凹部が利
用されていることから、突出部が存在しなくなり、コン
パクト化や軽量化が図られると同時に、充分な周辺スペ
ースを確保することも可能になる。

【００４３】本願の請求項１０に記載した発明は、移動
テーブル体の少なくとも２箇所の隅部に上記凹部（底面
が傾斜面）が形成されていることから、この複数の凹部
のうちのいずれの凹部の傾斜面に対して押圧作用を行う
部材の先端部を押し当てるかに応じて、押圧方向を反対
側に変更させたり或いは押圧位置を移行させたりするこ
とが容易に行えることになり、設計の自由度が増すこと
になる。

【００４４】

【実施例】以下、本願発明に係るテ−ブル類及びその駆
動ユニットの実施例を図面に基づいて説明する。

【００４５】図１は、本願発明の第１実施例に係るテ−
ブル類の駆動ユニットを示す平面図、図２は、その要部
を示す一部縦断拡大正面図である。図１に示すように、
この駆動ユニット１は、押圧力が作用することにより同
図Ｙ−Ｙ方向に沿って直線状に移動する移動テーブル体
２ａを有し且つ該移動テーブル体２ａに対する押圧力の
作用方向が傾斜方向とされたテーブル類２と、該移動テ
ーブル体２ａに対して押圧力を作用させる押圧部材３と
を備えている。

【００４６】更に、この駆動ユニット１は、マイクロメ
−タヘッドでなる回転駆動部４と、該回転駆動部４から
の回転力が付与されると共にその途中で分離可能とされ
た回転伝達軸５と、該回転伝達軸５の基端部に取り付け
られ且つ該回転伝達軸５の外周をシールする磁気シール
ド型のシール部材６と、該回転伝達軸５の先端部に取り
付けられ且つ該回転伝達軸５の回転運動を上記押圧部材
３の直線運動に変換する運動変換部材７とを備えてい
る。そして、上記各構成要素２〜７は、ユニット化され
ている。

【００４７】上記回転伝達軸５は、その途中に屈曲部５
ａ、５ａと伸縮部５ｂとを備えていると共に、上記屈曲
部５ａ、５ａにはそれぞれユニバーサルジョイントが配
設され、且つ上記伸縮部５ｂには回転伝達が可能であっ
て伸縮可能な伸縮部材が配設されている。

【００４８】上記テ−ブル類２について詳述すると（図
１及び図２参照）、固定テーブル体２ｂの上方にクロス
ドローラガイドＧ、Ｇ、Ｇ、Ｇを介して上記移動テーブ
ル体２ａが保持されていると共に、該移動テーブル体２
ａの隅部には、外側面部方向が開放状態とされた平面視
が直角三角形状の凹部８が形成されている。そして、こ
の凹部８の底面は、上記押圧力が作用するための傾斜角
が４５°の傾斜面８ａとされている。尚、この実施例で
は、上記凹部８が、移動テーブル体２ａの４隅部に形成
されている。

【００４９】上記運動変換部材７は（図２参照）、この
実施例では、上記固定テーブル体２ｂの側面に固定状態
に取り付けられたブロック体９に雌ねじ部１０を形成す
ると共に、上記回転伝達軸５の先端部に雄ねじ部１１を
形成し、且つこの両者を螺合させることにより構成され
ている。

【００５０】上記押圧部材３は、この実施例では、上記
ブロック体９の上面に形成されたレール部１２に沿って
Ｘ−Ｘ方向にのみスライド可能なスライド体１３と、該
スライド体１３の先端に回動可能に保持されたローラ体
（ボールベアリング）１４とから構成されている。そし
て、上記回転伝達軸５の先端部（雄ねじ部１１）に埋め
込まれた球状体が、上記スライド体１３に一体形成され
た下方突起部１３ａに当接していると共に、上記スライ
ド体１３の先端のローラ体１４が上記移動テーブル体２
ａの傾斜面８ａに当接している。

【００５１】上記伸縮部材５ｂは、上記回転伝達軸５の
基端側ロッド部１５に固定され且つ一端が開放状態とさ
れた長孔１６ａを有する筒状体１６の内孔に、その先端
側ロッド部１７が軸方向移動可能に嵌合されることによ
り構成されている。この場合、上記長孔１６ａの他端と
上記先端側ロッド部１７の端面との間には、所定の隙間
が設けられている。そして、上記先端側ロッド部１７の
先端部には２個のローラ１８、１８が回動可能に取り付
けられており、一方のローラ１８の外周面は上記筒状体
１６の長孔１６ａの一側縁にのみ当接し、他方のローラ
１８の外周面は上記長孔１６ａの他側縁にのみ当接して
いる。

【００５２】尚、上記移動テーブル体２ａの表面部に
は、その全域にわたって各種部材を取付けるための多数
の取付孔（雌ねじ）１９が形成されていると共に、当該
移動テーブル体２ａは、両テーブル体２ａ、２ｂの間の
隙間に配設されたコイルバネ等でなる弾性体（図示せ
ず）により、図１における下方側に付勢されている。

【００５３】以上のような構成によれば、作業者がマイ
クロメ−タヘッドでなる回転駆動部４の操作ツマミを回
転させることにより、その回転力が回転伝達軸５に付与
されると共に、該回転伝達軸５の回転運動が運動変換部
材７の作用により軸方向つまりＸ−Ｘ方向の直線運動に
変換される。この結果、押圧部材３の先端のローラ体１
４と、移動テーブル体２ａの傾斜面８ａとの当接位置が
変化して、該移動テーブル体２ａは、Ｙ−Ｙ方向に移動
する。

【００５４】尚、 この第１実施例は、回転駆動部４と
して、目盛付きのマイクロメ−タヘッドを使用したもの
であるが、目盛が存在しない単なるツマミであってもよ
く、またステッピングモ−タ等のモータ類であってもよ
い。そして、この第１実施例では、上記３種類の回転駆
動部が容易に取り換え可能とされている。

【００５５】図３及び図４は、本願発明の第２実施例に
係るテ−ブル類の駆動ユニットを示すものであり、この
第２実施例が上述の第１実施例と異なるところは、移動
テーブル体２ａがＸ−Ｘ方向に移動可能とされている点
と、運動変換部材７のブロック体９が断面Ｌ字形を呈し
ている点と、押圧部材３が単に雄ねじ部１１の先端の球
状体１１ａで構成されている点と、この押圧部材３が当
接している移動テーブル体２ａの当接部が押圧部材３の
運動方向と直交する面とされている点とである。従っ
て、この第２実施例によれば、回転駆動部４を操作する
ことにより、移動テーブル体２ａはＸ−Ｘ方向に移動す
ることになる。尚、これ以外の構成要件については、上
述の第１実施例と同様であるので、図３及び図４におい
て、第１実施例と共通の構成要件については同一の符号
を付してその説明を省略する。

【００５６】図５及び図６は、本願発明の第３実施例に
係るテ−ブル類の駆動ユニットを示すものであり、この
第３実施例が上述の第１実施例と異なるところは、固定
テーブル体２２ｂに対して回転テーブル体２２ａがＸａ
軸回りとＹａ軸回りとに回転可能に保持されている点
と、一方の傾斜面８ａが回転テーブル体２２ａに延出し
て取り付けられたブロック体２９の裏面に形成され且つ
他方の傾斜面８ａが回転テーブル体２２ａの裏面に直接
的に取り付けられたブロック体３９の裏面に形成されて
いる点とである。そして、この第３実施例では、２本の
回転伝達軸５、５が平行に配設されている。従って、こ
の第３実施例によれば、図５における下方側の回転駆動
部４を操作することによりＸａ軸回りに回転テーブル体
２２ａが回転するのに対して、同図における上方側の回
転駆動部４を操作することによりＹａ軸回りに回転テー
ブル体２２ａが回転する。この場合、上記回転テーブル
体２２ａは、図外の弾性体により上記両軸に対してそれ
ぞれ所定の方向に回転付勢された状態にある。尚、これ
ら以外の構成要件については、上述の第１実施例と同様
であるので、図５及び図６において、第１実施例と共通
の構成要件については同一の符号を付してその説明を省
略する。

【００５７】図７は、本願発明の第４実施例に係るテ−
ブル類の駆動ユニットを示すものであり、この第４実施
例が上述の第１実施例と異なるところは、固定テーブル
体３２ｂに対して旋回テーブル体３２ａが支軸３３の回
りに旋回可能に保持されている点と、上記旋回テーブル
体３２ａのボス部に螺着固定された突出体３４に対して
一方側から弾性付勢機構３５の先端が当接し且つ他方側
から押圧部材３（雄ねじ部１１の先端の球状体）が 当
接している点と、押圧部材３に接する突出体３４の面が
支軸３３と平行に形成されている点とである。従って、
この第４実施例によれば、回転駆動部４を操作すること
により支軸３３の回りに旋回テーブル体３２ａが回転す
ることになる。尚、これら以外の構成要件については、
上述の第１実施例と同様であるので、図７において、第
１実施例と共通の構成要件については同一の符号を付し
てその説明を省略する。

【００５８】図８は、上記第１〜第４実施例に係るテ−
ブル類の駆動ユニットをそれぞれ組み合わせて得られる
駆動ユニット群４０の概略構成を示すものである。具体
的には、真空容器Ａの内部空間に、下方から順に、第２
実施例に係るテ−ブル類の駆動ユニットＴ２と、第１実
施例に係るテ−ブル類の駆動ユニットＴ１と、第１実施
例に係るテ−ブル類の駆動ユニットＴ１と、第３実施例
に係るテ−ブル類の駆動ユニットＴ３と、第４実施例に
係るテ−ブル類の駆動ユニットＴ４とを、Ｘ軸とＸａ軸
とが平行、Ｙ軸とＹａ軸とが平行、Ｘ軸とＹ軸とが直
交、支軸がこれらの全ての軸と直交の関係になるように
組み付けたものである。そして、この駆動ユニット群４
０によれば、全ての押圧部材３の直線運動の方向性が同
一であり、従って全ての回転伝達軸５の指向性も同一に
できることになる。そして、同図に示すものは、同方向
に存する２つのポートＡ１、Ａ２にそれぞれ、３本ずつ
の回転伝達軸５を導くと共に、その２つのポートの各フ
ランジＦ１、Ｆ２に３個ずつの回転駆動部４を集約的に
設置したものである。

【図面の簡単な説明】

【図１】本願発明の第１実施例に係るテ−ブル類の駆動
ユニットを示す平面図である。

【図２】本願発明の第１実施例に係るテ−ブル類の駆動
ユニットを示す一部破断拡大正面図である。

【図３】本願発明の第２実施例に係るテ−ブル類の駆動
ユニットを示す平面図である。

【図４】本願発明の第２実施例に係るテ−ブル類の駆動
ユニットを示す一部破断拡大正面図である。

【図５】本願発明の第３実施例に係るテ−ブル類の駆動
ユニットを示す平面図である。

【図６】本願発明の第３実施例に係るテ−ブル類の駆動
ユニットを示す要部拡大正面図である。

【図７】本願発明の第４実施例に係るテ−ブル類の駆動
ユニットを示す平面図である。

【図８】本願発明の第１〜第４実施例に係るテ−ブル類
の駆動ユニットを組み合わせて得られる駆動ユニット群
を示す概略正面図である。

【符号の説明】

１ テ−ブル類の駆動ユニット ２ テーブル類 ２ａ 移動テーブル体 ３ 押圧部材 ４ 回転駆動部 ５ 回転伝達軸 ５ａ 屈曲部 ５ｂ 伸縮部 ６ シール部材 ７ 運動変換部材 ８ 凹部 ８ａ 傾斜面

Claims (10)

(57)【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 押圧力が作用することによりＹ軸に沿っ
   て直線状に移動する移動テーブル体を有し且つ該移動テ
   ーブル体における前記押圧力の作用面がＹ軸に対して傾
   斜するように形成されたテーブル類と、該 移動テーブ
   ル体に対して押圧力を作用させる押圧部材と、回転駆動
   部と、該回転駆動部からの回転力が付与されると共にそ
   の途中で分離可能とされた回転伝達軸と、該回転伝達軸
   の基端部に取り付けられ且つ該回転伝達軸の外周をシー
   ルするシール部材と、該回転伝達軸の先端部に取り付け
   られ且つ前記テーブル類に固定され、該回転伝達軸の回
   転運動を上記押圧部材の直線運動に変換する運動変換部
   材とを有し、且つこれらはユニット化されていることを
   特徴とするテーブル類の駆動ユニット。
2. 【請求項２】 押圧力が作用することによりＸ軸に沿っ
   て直線状に移動する移動テーブル体を有し且つ該移動テ
   ーブル体における押圧力の作用面がＸ軸に対して直交す
   るように形成されたテーブル類と、該 移動テーブル体
   に対して押圧力を作用させる押圧部材と、回転駆動部
   と、該回転駆動部からの回転力が付与されると共にその
   途中で分離可能とされた回転伝達軸と、該回転伝達軸の
   基端部に取り付けられ且つ該回転伝達軸の外周をシール
   するシール部材と、該回転伝達軸の先端部に取り付けら
   れ且つ前記テーブル類に固定され、該回転伝達軸の回転
   運動を上記押圧部材の直線運動に変換する運動変換部材
   とを有し、且つこれらはユニット化されていることを特
   徴とするテーブル類の駆動ユニット。
3. 【請求項３】 請求項１に記載のテ−ブル類の駆動ユニ
   ットと、請求項２に記載のテ−ブル類の駆動ユニットと
   を前記Ｘ軸及びＹ軸が互いに直交するように組み合わせ
   て、ＸＹテーブルの２個の移動テーブル体 を 駆動さ
   せるようにし、且つそれぞれの押圧部材の直線運動の方
   向性を同一方向に統一させたことを特徴とするテ−ブル
   類の駆動ユニット群。
4. 【請求項４】 押圧力が２箇所で作用することによりそ
   の表面と平行であって相互に垂直なＸａ軸及びＹａ軸か
   らなる２つの軸を介して回転可能とされた単一の回転テ
   ーブル体を有し且つ該回転テーブル体の前記２箇所にお
   ける各押圧力の作用面がそれぞれ前記２軸に対して傾斜
   するように形成されたテーブル類と、該 回転テーブル
   体の２箇所に対してそれぞれ押圧力を作用させる各押圧
   部材と、２個の回転駆動部と、該各回転駆動部からの回
   転力が付与されると共にその途中で分離可能とされた各
   回転伝達軸と、該各回転伝達軸の基端部に取り付けられ
   且つ該各回転伝達軸の外周をシールするシール部材と、
   該各回転伝達軸の先端部に取り付けられ且つ前記テーブ
   ル類に固定され、該各回転伝達軸の回転運動を上記各押
   圧部材の直線運動に変換する各運動変換部材とを有し、
   且つこれらはユニット化されていることを特徴とするテ
   ーブル類の駆動ユニット。
5. 【請求項５】 押圧力が作用することによりその表面と
   垂直な支軸を介して回転可能とされた旋回テーブル体を
   有し且つ該旋回テーブル体における押圧力の作用面が前
   記支軸と平行に形成されたテーブル類と、該 旋回テー
   ブル体に対して押圧力を作用させる押圧部材と、回転駆
   動部と、該回転駆動部からの回転力が付与されると共に
   その途中で分離可能とされた回転伝達軸と、該回転伝達
   軸の基端部に取り付けられ且つ該回転伝達軸の外周をシ
   ールするシール部材と、該回転伝達軸の先端部に取り付
   けられ且つ前記テーブル類に固定され、該回転伝達軸の
   回転運動を上記押圧部材の直線運動に変換する運動変換
   部材とを有し、且つこれらはユニット化されていること
   を特徴とするテーブル類の駆動ユニット。
6. 【請求項６】 請求項１および２に記載のテ−ブル類の
   駆動ユニットのうちのいずれか一方または双方と、請求
   項４ に記載のテ−ブル類の駆動ユニット と、請求項５
   に記載のテ−ブル類の駆動ユニット とをＸ軸とＸａ軸
   とが平行、Ｙ軸とＹａ軸とが平行、Ｘ軸とＹ軸とが直
   交、支軸がこれらの全ての軸と直交の関係になるように
   組み合わせて、 １個または２個 の移動テーブル体と
   １個の回転テーブル体と１個の旋回テーブル体とをそれ
   ぞれ駆動させるようにし、且つそれぞれの押圧部材の直
   線運動の方向性を同一方向に統一させたことを特徴とす
   るテ−ブル類の駆動ユニット群。
7. 【請求項７】 回転伝達軸は、その途中に屈曲部と伸縮
   部とを備えていると共に、上記屈曲部にはユニバーサル
   ジョイントが配設され、且つ上記伸縮部には回転伝達が
   可能であって伸縮可能な伸縮部材が配設されていること
   を特徴とする請求項１乃至６のいずれかに記載のテーブ
   ル類の駆動ユニットもしくは駆動ユニ ット群。
8. 【請求項８】 屈曲部は２箇所に備えられていると共
   に、この両屈曲部間に伸縮部材が介設されており、該伸
   縮部材の途中が分離可能とされていることを特徴とする
   請求項７に記載のテ−ブル類の駆動ユニットもしくは駆
   動ユニット群。
9. 【請求項９】 押圧力が作用することにより一方向に沿
   って直線状に移動する移動テーブル体を有するテーブル
   類において、上記移動テーブル体の隅部に、外側面部方
   向が開放状態とされた凹部を形成すると共に、この凹部
   の底面を、上記押圧力が作用するための傾斜面としたこ
   とを特徴とするテーブル類。
10. 【請求項１０】 凹部は、移動テーブル体の４隅部のう
    ちの少なくとも２箇所に形成されていることを特徴とす
    る請求項９に記載のテーブル類。