JP3340904B2 - 変位拡大装置 - Google Patents
変位拡大装置Info
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Description
【０００１】
【発明の技術分野】本発明は微小な変位を拡大するため
の拡大装置に関する。
の拡大装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】図７に積層圧電アクチュエータの変位を
拡大する機構の従来例を示す。この機構は拡大倍率を大
きくするために単純な変位拡大機構を２段重ねたもので
ある。図７において、基板１０４の左端に設けてあるヒ
ンジ部Ｈ１と基板１０４に固定された積層圧電アクチュ
エータ１０１のヒンジ部Ｈ２とによってレバーアーム
（変位拡大機構）１０２が保持されている。また、レバ
ーアーム１０２の先端に設けてあるヒンジ部Ｈ３と基板
１０４の右端に設けてあるヒンジ部Ｈ４とによりレバー
アーム（変位拡大機構）１０３が保持されている。
拡大する機構の従来例を示す。この機構は拡大倍率を大
きくするために単純な変位拡大機構を２段重ねたもので
ある。図７において、基板１０４の左端に設けてあるヒ
ンジ部Ｈ１と基板１０４に固定された積層圧電アクチュ
エータ１０１のヒンジ部Ｈ２とによってレバーアーム
（変位拡大機構）１０２が保持されている。また、レバ
ーアーム１０２の先端に設けてあるヒンジ部Ｈ３と基板
１０４の右端に設けてあるヒンジ部Ｈ４とによりレバー
アーム（変位拡大機構）１０３が保持されている。
【０００３】電圧印加により積層圧電アクチュエータ１
０１が伸びると、レバーアーム１０２の先端のヒンジ部
Ｈ３が上方に拡大されて移動し、さらにレバーアーム１
０３の先端Ｐ１０１が上方に拡大されて移動する。
０１が伸びると、レバーアーム１０２の先端のヒンジ部
Ｈ３が上方に拡大されて移動し、さらにレバーアーム１
０３の先端Ｐ１０１が上方に拡大されて移動する。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】上記従来例の構成では
その拡大倍率は各変位拡大機構の拡大倍率の積となる。
すなわち、ヒンジ部Ｈ１，Ｈ２間の距離，ヒンジ部Ｈ
２，Ｈ３間の距離，ヒンジ部Ｈ４，Ｈ３間の距離，レバ
ーアーム１０３の先端Ｐ１０１，ヒンジ部Ｈ３間の距離
をおのおのｔ１０１〜ｔ１０４とすれば、積層圧電アク
チュエータの変位が△ｔのときのレバーアーム１０３の
先端の変位△Ｘは式１０１のようになるが、構成が複雑
な割には拡大倍率が小さいという欠点があった。
その拡大倍率は各変位拡大機構の拡大倍率の積となる。
すなわち、ヒンジ部Ｈ１，Ｈ２間の距離，ヒンジ部Ｈ
２，Ｈ３間の距離，ヒンジ部Ｈ４，Ｈ３間の距離，レバ
ーアーム１０３の先端Ｐ１０１，ヒンジ部Ｈ３間の距離
をおのおのｔ１０１〜ｔ１０４とすれば、積層圧電アク
チュエータの変位が△ｔのときのレバーアーム１０３の
先端の変位△Ｘは式１０１のようになるが、構成が複雑
な割には拡大倍率が小さいという欠点があった。
【０００５】 △x≒[(t101+t102)/t101]*[(t103+t104)/t103]*△t （式１０１） 例えば、ｔ１０１＝２ｍｍ、ｔ１０２＝８ｍｍ、ｔ１０
３＝２．５ｍｍ、ｔ１０４＝２０ｍｍ、△t＝１０ミク
ロンとすると、△Ｘ≒０．４ｍｍであり、拡大倍率は高
々４０倍である。
３＝２．５ｍｍ、ｔ１０４＝２０ｍｍ、△t＝１０ミク
ロンとすると、△Ｘ≒０．４ｍｍであり、拡大倍率は高
々４０倍である。
【０００６】また、レバーアーム１０３の先端Ｐ１０１
を２段階の位置に切り換えればよいような場合でも、積
層圧電アクチュエータに印加する電圧値をアナログ的に
制御しなければならないので、制御回路が複雑になると
いう欠点があった。
を２段階の位置に切り換えればよいような場合でも、積
層圧電アクチュエータに印加する電圧値をアナログ的に
制御しなければならないので、制御回路が複雑になると
いう欠点があった。
【０００７】
【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
に、本発明では圧電素子によって駆動されその変位を拡
大する第１のレバーアーム上に第２のレバーアームを回
動可能に設け、第２のレバーアームの摺動部を所定の面
に対して摺動させることによって、摺動部と作用部とが
支持部から互いに所定の角度をなして延伸する第２のレ
バーアームを回動させ第２のレバーアームの作用部の先
端を変位させるようにし、簡単な構成で変位倍率を大き
くとれるようにし、また、電圧制御などのアナログ的な
制御を行わずにレバーの作用部の先端を複数の位置に切
り換えることを可能にし、回路構成を簡単にすることが
可能となる。
に、本発明では圧電素子によって駆動されその変位を拡
大する第１のレバーアーム上に第２のレバーアームを回
動可能に設け、第２のレバーアームの摺動部を所定の面
に対して摺動させることによって、摺動部と作用部とが
支持部から互いに所定の角度をなして延伸する第２のレ
バーアームを回動させ第２のレバーアームの作用部の先
端を変位させるようにし、簡単な構成で変位倍率を大き
くとれるようにし、また、電圧制御などのアナログ的な
制御を行わずにレバーの作用部の先端を複数の位置に切
り換えることを可能にし、回路構成を簡単にすることが
可能となる。
【０００８】
【発明の実施の形態】本発明による変位拡大機構は、圧
電素子と、圧電素子の変位を拡大する第１のレバーアー
ムと、第１のレバーアーム上に設けてある支持部を中心
に回動可能な第２のレバーアームとを有し、第２のレバ
ーアームは、所定の場所に設けてある壁面に摺動可能に
押圧してある摺動部と、摺動部の変位を拡大する作用部
とを備え、摺動部と作用部とは、支持部から互いに所定
の角度をなして延伸する。
電素子と、圧電素子の変位を拡大する第１のレバーアー
ムと、第１のレバーアーム上に設けてある支持部を中心
に回動可能な第２のレバーアームとを有し、第２のレバ
ーアームは、所定の場所に設けてある壁面に摺動可能に
押圧してある摺動部と、摺動部の変位を拡大する作用部
とを備え、摺動部と作用部とは、支持部から互いに所定
の角度をなして延伸する。
【０００９】または、本発明による変位拡大機構は、第
１および第２の圧電素子と、第１の圧電素子の変位を拡
大する第１のレバーアームと、第１のレバーアーム上に
設けてある支持部を中心に回動可能な第２のレバーアー
ムとを有し、第２のレバーアームは、第２の圧電素子の
所定の面に摺動可能に押圧してある摺動部と、摺動部の
変位を拡大する作用部とを備え、摺動部と作用部とは、
支持部から互いに所定の角度をなして延伸する。
１および第２の圧電素子と、第１の圧電素子の変位を拡
大する第１のレバーアームと、第１のレバーアーム上に
設けてある支持部を中心に回動可能な第２のレバーアー
ムとを有し、第２のレバーアームは、第２の圧電素子の
所定の面に摺動可能に押圧してある摺動部と、摺動部の
変位を拡大する作用部とを備え、摺動部と作用部とは、
支持部から互いに所定の角度をなして延伸する。
【００１０】または、本発明による変位拡大機構は、第
１および第２の圧電素子と、第１の圧電素子の変位を拡
大する第１のレバーアームと、第１のレバーアーム上に
設けてある支持部を中心に回動可能な第２のレバーアー
ムと、第２の圧電素子の変位を拡大する第３のレバーア
ームとを有し、第２のレバーアームは、第３のレバーア
ームの所定の面に摺動可能に押圧してある摺動部と、摺
動部の変位を拡大する作用部とを備え、摺動部と作用部
とは、支持部から互いに所定の角度をなして延伸する。
１および第２の圧電素子と、第１の圧電素子の変位を拡
大する第１のレバーアームと、第１のレバーアーム上に
設けてある支持部を中心に回動可能な第２のレバーアー
ムと、第２の圧電素子の変位を拡大する第３のレバーア
ームとを有し、第２のレバーアームは、第３のレバーア
ームの所定の面に摺動可能に押圧してある摺動部と、摺
動部の変位を拡大する作用部とを備え、摺動部と作用部
とは、支持部から互いに所定の角度をなして延伸する。
【００１１】または、本発明による変位拡大機構は、圧
電素子と、圧電素子の変位を拡大する第１および第３の
レバーアームと、第１のレバーアーム上に設けてある支
持部を中心に回動可能な第２のレバーアームとを有し、
第２のレバーアームは、第３のレバーアームの所定の面
に摺動可能に押圧された摺動部と、摺動部の変位を拡大
する作用部とを備え、摺動部と作用部とは、支持部から
互いに所定の角度をなして延伸する。
電素子と、圧電素子の変位を拡大する第１および第３の
レバーアームと、第１のレバーアーム上に設けてある支
持部を中心に回動可能な第２のレバーアームとを有し、
第２のレバーアームは、第３のレバーアームの所定の面
に摺動可能に押圧された摺動部と、摺動部の変位を拡大
する作用部とを備え、摺動部と作用部とは、支持部から
互いに所定の角度をなして延伸する。
【００１２】好ましくは、支持部と作用部とを結ぶ直線
は支持部と摺動部とを結ぶ直線と鋭角または鈍角をな
す。
は支持部と摺動部とを結ぶ直線と鋭角または鈍角をな
す。
【００１３】さらに好ましくは、第１のレバーアーム上
に設けられた支持部には第２のレバーアームが複数個取
り付けられる。
に設けられた支持部には第２のレバーアームが複数個取
り付けられる。
【００１４】さらに好ましくは、複数個の第２のレバー
アームのうちのいくつかにおいてその支持部と作用部と
を結ぶ直線がその支持部と摺動部とを結ぶ直線と鈍角を
なし、複数個の第２のレバーアームのうちの残りは、そ
の支持部と作用部とを結ぶ直線がその支持部と摺動部と
を結ぶ直線と鋭角をなす。
アームのうちのいくつかにおいてその支持部と作用部と
を結ぶ直線がその支持部と摺動部とを結ぶ直線と鈍角を
なし、複数個の第２のレバーアームのうちの残りは、そ
の支持部と作用部とを結ぶ直線がその支持部と摺動部と
を結ぶ直線と鋭角をなす。
【００１５】
【実施例】本発明による変位拡大機構の第１実施例（請
求項２に相当）について図１，３を参照しながら説明す
る。
求項２に相当）について図１，３を参照しながら説明す
る。
【００１６】図１のように、ケース５には下部に開口部
５ｂが設けてあり、ケース５の左壁面には第１の積層圧
電アクチュエータ（以後「第１のアクチュエータ」とい
う。）１が調整部材５ａを介して設けてある。調整部材
５ａは、ねじ等からなり左右に微動させて第１のアクチ
ュエータ１の位置調整を行うものである。ケース５の下
面には第１のレバーアーム２が支点部（ヒンジ）２ｂに
より固定され、第１のレバーアーム２は力点部２ａを介
して第１のアクチュエータ１の保護部材１ａに押圧され
ている。保護部材１ａはガラスまたはセラミックにより
なり第１のアクチュエータ１の先端の保護および力点部
２ａとの摩擦を減らすものである。
５ｂが設けてあり、ケース５の左壁面には第１の積層圧
電アクチュエータ（以後「第１のアクチュエータ」とい
う。）１が調整部材５ａを介して設けてある。調整部材
５ａは、ねじ等からなり左右に微動させて第１のアクチ
ュエータ１の位置調整を行うものである。ケース５の下
面には第１のレバーアーム２が支点部（ヒンジ）２ｂに
より固定され、第１のレバーアーム２は力点部２ａを介
して第１のアクチュエータ１の保護部材１ａに押圧され
ている。保護部材１ａはガラスまたはセラミックにより
なり第１のアクチュエータ１の先端の保護および力点部
２ａとの摩擦を減らすものである。
【００１７】第２のレバーアーム３は、第１のレバーア
ーム２の自由端部の先端部上に設けられた支持部２ｃを
中心にして回動可能にしてある。支持部２ｃは第１，２
のレバーアーム２，３に設けた軸とこれと嵌合する軸受
を使用したものである。
ーム２の自由端部の先端部上に設けられた支持部２ｃを
中心にして回動可能にしてある。支持部２ｃは第１，２
のレバーアーム２，３に設けた軸とこれと嵌合する軸受
を使用したものである。
【００１８】ケース５の右壁面には第２のアクチュエー
タ４が調整部材５ｃを介して設けてある。調整部材５ｃ
はねじ等からなり左右に微動させて第２のアクチュエー
タ４の位置調整を行うものである。
タ４が調整部材５ｃを介して設けてある。調整部材５ｃ
はねじ等からなり左右に微動させて第２のアクチュエー
タ４の位置調整を行うものである。
【００１９】第２のレバーアーム３は支持部２ｃから互
いに所定の角度をなして延伸する摺動部３ａと作用部３
ｂとを有し、摺動部３ａは第２のアクチュエータ４の面
（保護部材）４ａにバネ等の弾性部材により摺動可能に
押圧されている。作用部３ｂはケース５の開口部５ｂか
らケース５外に突出している。保護部材４ａは第２のア
クチュエータ４の保護および摺動部３ａの摺動をし易く
するとともに磨耗を防止する。
いに所定の角度をなして延伸する摺動部３ａと作用部３
ｂとを有し、摺動部３ａは第２のアクチュエータ４の面
（保護部材）４ａにバネ等の弾性部材により摺動可能に
押圧されている。作用部３ｂはケース５の開口部５ｂか
らケース５外に突出している。保護部材４ａは第２のア
クチュエータ４の保護および摺動部３ａの摺動をし易く
するとともに磨耗を防止する。
【００２０】また、調整部材５ａ、５ｃはこれらの進退
により第２のレバーアーム３の作用部３ｂ先端の初期位
置調整を行う。
により第２のレバーアーム３の作用部３ｂ先端の初期位
置調整を行う。
【００２１】図３は図１と同様の図であるが、各レバー
アームの各部の寸法および第２のレバーアーム３の作用
部３ｂの後述の変位量を示す。第２のレバーアーム３の
作用部３ｂは初期位置（第１，２のアクチュエータ１、
４に電圧が印加されていないときの位置）Ｐ１から２つ
の切り換え位置Ｐ２，Ｐ３に切り換える。第１のレバー
アーム２の力点部２ａと支持部２ｃとの距離、第１のレ
バーアーム２の基端部と力点部２ａとの距離をそれぞれ
ｄ２，ｄ１とし、支持部２ｃと摺動部３ａ先端との距離
をｄ３、第２のレバーアーム３の作用部３ｂ先端と支持
部２ｃとの距離をｄ４とする。第１，２のアクチュエー
タ１、４に電圧が印加されていないときの摺動部３ａと
第２のアクチュエータ４の保護部４ａのなす角度をθと
する。
アームの各部の寸法および第２のレバーアーム３の作用
部３ｂの後述の変位量を示す。第２のレバーアーム３の
作用部３ｂは初期位置（第１，２のアクチュエータ１、
４に電圧が印加されていないときの位置）Ｐ１から２つ
の切り換え位置Ｐ２，Ｐ３に切り換える。第１のレバー
アーム２の力点部２ａと支持部２ｃとの距離、第１のレ
バーアーム２の基端部と力点部２ａとの距離をそれぞれ
ｄ２，ｄ１とし、支持部２ｃと摺動部３ａ先端との距離
をｄ３、第２のレバーアーム３の作用部３ｂ先端と支持
部２ｃとの距離をｄ４とする。第１，２のアクチュエー
タ１、４に電圧が印加されていないときの摺動部３ａと
第２のアクチュエータ４の保護部４ａのなす角度をθと
する。
【００２２】次に図１および図３により動作を説明す
る。まず第１，２のアクチュエータ１、４に電圧が印加
されていない初期（通常）状態では、第２のレバーアー
ム３の作用部３ｂ先端は調整部材５ａまたは５ｃにより
Ｐ１の位置に調整されている。
る。まず第１，２のアクチュエータ１、４に電圧が印加
されていない初期（通常）状態では、第２のレバーアー
ム３の作用部３ｂ先端は調整部材５ａまたは５ｃにより
Ｐ１の位置に調整されている。
【００２３】つぎに、第１のアクチュエータ１に所定の
電圧が印加されると、第１のアクチュエータ１の寸法は
わずかに伸びる（変化量をΔｔ１とする）ので力点部２
ａが右方向に押され、第１のレバーアーム２の支持部２
ｃは第１のレバーアーム２の各部の長さｄ１とｄ２に応
じて拡大されて右方へ移動する。その結果、第２のレバ
ーアーム３の摺動部３ａの先端は保護部材４ａに沿って
下方に移動し、第２のレバーアーム３は右回転し作用部
３ｂの先端は左方へ移動してΔｘ１だけ変位し、Ｐ２の
位置まで移動する。
電圧が印加されると、第１のアクチュエータ１の寸法は
わずかに伸びる（変化量をΔｔ１とする）ので力点部２
ａが右方向に押され、第１のレバーアーム２の支持部２
ｃは第１のレバーアーム２の各部の長さｄ１とｄ２に応
じて拡大されて右方へ移動する。その結果、第２のレバ
ーアーム３の摺動部３ａの先端は保護部材４ａに沿って
下方に移動し、第２のレバーアーム３は右回転し作用部
３ｂの先端は左方へ移動してΔｘ１だけ変位し、Ｐ２の
位置まで移動する。
【００２４】さらに、この状態で第２のアクチュエータ
４に所定の電圧を印加すると、第２のアクチュエータ４
の寸法は僅かに伸びる（変化量をΔｔ２とする）ので、
摺動部３ａの先端は保護部材４ａに沿って更に下方に移
動し、第２のレバーアーム３はさらに右回転し作用部３
ｂの先端はΔｘ２だけ左方へ移動してＰ３の位置まで移
動する。
４に所定の電圧を印加すると、第２のアクチュエータ４
の寸法は僅かに伸びる（変化量をΔｔ２とする）ので、
摺動部３ａの先端は保護部材４ａに沿って更に下方に移
動し、第２のレバーアーム３はさらに右回転し作用部３
ｂの先端はΔｘ２だけ左方へ移動してＰ３の位置まで移
動する。
【００２５】そののち第１のアクチュエータ１の電圧印
加を中止すると、作用部３ｂの先端は位置Ｐ１とＰ３と
の間のある位置まで戻る。
加を中止すると、作用部３ｂの先端は位置Ｐ１とＰ３と
の間のある位置まで戻る。
【００２６】また、作用部３ｂの先端がＰ３の位置にあ
るとき第２のアクチュエータ４の電圧印加を中止する
と、作用部３ｂの先端はΔｘ２だけ右方へ移動してＰ２
の位置まで戻る。
るとき第２のアクチュエータ４の電圧印加を中止する
と、作用部３ｂの先端はΔｘ２だけ右方へ移動してＰ２
の位置まで戻る。
【００２７】すなわち、上記実施例では第１，２のアク
チュエータ１，４への電圧印加をするかしないかのみ
で、すなわちデジタル（非アナログ）的制御により作動
部の先端を複数個の所定の位置に移動することが可能で
ある。
チュエータ１，４への電圧印加をするかしないかのみ
で、すなわちデジタル（非アナログ）的制御により作動
部の先端を複数個の所定の位置に移動することが可能で
ある。
【００２８】作用部３ｂの変位量のおよその量は以下の
式１，２のようになる。 Δx1≒d4*tan(θ-θ’) (式１) Δx2≒d4*tan[θ’-arcsin(sinθ’-Δt2/d3)] (式２) 但しθ’＝arcsin[sinθ-(d1+d2)*Δt1/(d1*d3)] 例えば、従来例と同じようにｄ１＝２ｍｍ、ｄ２＝８ｍ
ｍ、ｄ３＝２．５ｍｍ、ｄ４＝２０ｍｍ、θ＝６０°、
△ｔ１＝△ｔ２＝１０ミクロンとすると、θ'＝５７．
８°,△Ｘ１≒０．７７ｍｍであり、第１のアクチュエ
ータのみでも拡大倍率は７７倍となる。また△Ｘ２≒
０．１５ｍｍであり合計変位量は０．９２ｍｍとなる。
式１，２のようになる。 Δx1≒d4*tan(θ-θ’) (式１) Δx2≒d4*tan[θ’-arcsin(sinθ’-Δt2/d3)] (式２) 但しθ’＝arcsin[sinθ-(d1+d2)*Δt1/(d1*d3)] 例えば、従来例と同じようにｄ１＝２ｍｍ、ｄ２＝８ｍ
ｍ、ｄ３＝２．５ｍｍ、ｄ４＝２０ｍｍ、θ＝６０°、
△ｔ１＝△ｔ２＝１０ミクロンとすると、θ'＝５７．
８°,△Ｘ１≒０．７７ｍｍであり、第１のアクチュエ
ータのみでも拡大倍率は７７倍となる。また△Ｘ２≒
０．１５ｍｍであり合計変位量は０．９２ｍｍとなる。
【００２９】ここで、θは９０°に近くなる程変位量は
大きく取れるが、あまり大きくすると摺動しづらくなる
ので、摺動可能な範囲でできるだけ大きい角度となるよ
うにするのが好ましい。
大きく取れるが、あまり大きくすると摺動しづらくなる
ので、摺動可能な範囲でできるだけ大きい角度となるよ
うにするのが好ましい。
【００３０】次に本発明の第２実施例（請求項３に相
当）について図２を参照しながら説明する。図２におい
て図１，３と同じ符号のものは同じものを表す。第１実
施例と相違する点は、第２の圧電素子の変位を拡大する
第３のレバーアームを設け、第２のレバーアームの摺動
部は、第３のレバーアームの所定の面に摺動するように
してある点である。
当）について図２を参照しながら説明する。図２におい
て図１，３と同じ符号のものは同じものを表す。第１実
施例と相違する点は、第２の圧電素子の変位を拡大する
第３のレバーアームを設け、第２のレバーアームの摺動
部は、第３のレバーアームの所定の面に摺動するように
してある点である。
【００３１】以下、第１実施例との相違点を中心に説明
すると、ケース２５の開口部２５ｂから第２のレバーア
ーム３の作用部３ｂがケース２５外に突出している。第
２のアクチュエータ２４は調整部材２５ｃを介してケー
ス２５の右壁面に第１のアクチュエータ１と対向するよ
うに取り付けてある。調整部材２５ｃは調整部材５ｃと
同様左右に微動させて第２のアクチュエータの位置調整
すなわち第２のレバーアーム３の作動部先端の初期位置
調整を行うものである。第３のレバーアーム６は、支点
部（ヒンジ）６ｂによりケース２５に固定され、力点部
６ａを介して第２のアクチュエータ２４の保護部材２４
ａに押圧してある。
すると、ケース２５の開口部２５ｂから第２のレバーア
ーム３の作用部３ｂがケース２５外に突出している。第
２のアクチュエータ２４は調整部材２５ｃを介してケー
ス２５の右壁面に第１のアクチュエータ１と対向するよ
うに取り付けてある。調整部材２５ｃは調整部材５ｃと
同様左右に微動させて第２のアクチュエータの位置調整
すなわち第２のレバーアーム３の作動部先端の初期位置
調整を行うものである。第３のレバーアーム６は、支点
部（ヒンジ）６ｂによりケース２５に固定され、力点部
６ａを介して第２のアクチュエータ２４の保護部材２４
ａに押圧してある。
【００３２】保護部材２４ａは第２のアクチュエータ２
４の先端の保護およびこれの摩擦を減らすものである。
第２のレバーアーム３の摺動部３ａは第３のレバーアー
ム６の保護部材６ｃにバネ等の弾性部材により摺動可能
に押圧されている。保護部材６ｃは第３のレバーアーム
６の面の保護および摺動部３ａの摺動をし易くするとと
もに磨耗を防止する。
４の先端の保護およびこれの摩擦を減らすものである。
第２のレバーアーム３の摺動部３ａは第３のレバーアー
ム６の保護部材６ｃにバネ等の弾性部材により摺動可能
に押圧されている。保護部材６ｃは第３のレバーアーム
６の面の保護および摺動部３ａの摺動をし易くするとと
もに磨耗を防止する。
【００３３】次に動作を説明する。第１，２のアクチュ
エータ１，２４に電圧が印加されていない初期状態で
は、第２のレバーアーム３の作用部３ｂ先端は、調整部
材５ａまたは２５ｃによりＰ１の位置に調整されてい
る。
エータ１，２４に電圧が印加されていない初期状態で
は、第２のレバーアーム３の作用部３ｂ先端は、調整部
材５ａまたは２５ｃによりＰ１の位置に調整されてい
る。
【００３４】つぎに第１のアクチュエータ１に所定の電
圧が印加されると、第１のアクチュエータ１の寸法はΔ
ｔ１だけ伸びるので、力点部２ａが右方向に押され、第
１のレバーアーム２の支持部２ｃは第１のレバーアーム
の各部の長さｄ１とｄ２に応じて拡大されて右方へ移動
する。
圧が印加されると、第１のアクチュエータ１の寸法はΔ
ｔ１だけ伸びるので、力点部２ａが右方向に押され、第
１のレバーアーム２の支持部２ｃは第１のレバーアーム
の各部の長さｄ１とｄ２に応じて拡大されて右方へ移動
する。
【００３５】その結果、第２のレバーアーム３の摺動部
３ａの先端は第３のレバーアーム６の保護部材６ｃに沿
って下方に移動し、第２のレバーアーム３は右回転し作
用部３ｂの先端は左方へ移動してＰ２の位置までΔｘ１
だけ移動する。
３ａの先端は第３のレバーアーム６の保護部材６ｃに沿
って下方に移動し、第２のレバーアーム３は右回転し作
用部３ｂの先端は左方へ移動してＰ２の位置までΔｘ１
だけ移動する。
【００３６】この状態で第２のアクチュエータ２４に所
定の電圧を印加すると、第２のアクチュエータ２４の寸
法はΔｔ２だけ伸びるので、第３のレバーアーム６の力
点部６ａが左方向に押され、第３のレバーアーム６の先
端部はその変位量が拡大されて左方へ移動する。
定の電圧を印加すると、第２のアクチュエータ２４の寸
法はΔｔ２だけ伸びるので、第３のレバーアーム６の力
点部６ａが左方向に押され、第３のレバーアーム６の先
端部はその変位量が拡大されて左方へ移動する。
【００３７】したがって摺動部３ａの先端は保護部材６
ｃに沿って更に下方に移動し、第２のレバーアーム３は
更に右回転し作用部３ｂの先端はΔｘ３だけ左方へ移動
してＰ４の位置まで移動する。
ｃに沿って更に下方に移動し、第２のレバーアーム３は
更に右回転し作用部３ｂの先端はΔｘ３だけ左方へ移動
してＰ４の位置まで移動する。
【００３８】次に第１のアクチュエータ１の電圧印加を
中止すると、作用部３ｂの先端は位置Ｐ１とＰ４との間
のある位置まで戻る。
中止すると、作用部３ｂの先端は位置Ｐ１とＰ４との間
のある位置まで戻る。
【００３９】また、作用部３ｂの先端がＰ４の位置にあ
るとき第２のアクチュエータ２４の電圧印加を中止する
と、作用部３ｂの先端はΔｘ３だけ右方へ移動してＰ２
の位置まで戻る。
るとき第２のアクチュエータ２４の電圧印加を中止する
と、作用部３ｂの先端はΔｘ３だけ右方へ移動してＰ２
の位置まで戻る。
【００４０】第２の実施例においては、第３のレバーア
ーム６を設けたので、摺動部３ａの先端を下方向に変位
させる量が第１の実施例より拡大されており、作用部３
ｂ先端の移動量も大きくなる。
ーム６を設けたので、摺動部３ａの先端を下方向に変位
させる量が第１の実施例より拡大されており、作用部３
ｂ先端の移動量も大きくなる。
【００４１】作用部３ｂの変位量Δｘ３のおよその量は
式３のようになる。 Δx3≒d4*tan[θ’-arcsin(sinθ’-Δt2*N/d3)] (式３) 但し、Ｎは第３のレバーアーム６による第２のアクチュ
エータ２４の変位量の摺動部３ａと第３のレバーアーム
との接点部分での拡大倍率である。
式３のようになる。 Δx3≒d4*tan[θ’-arcsin(sinθ’-Δt2*N/d3)] (式３) 但し、Ｎは第３のレバーアーム６による第２のアクチュ
エータ２４の変位量の摺動部３ａと第３のレバーアーム
との接点部分での拡大倍率である。
【００４２】今、他の条件を第１実施例と同じにし、Ｎ
＝４とすれば、Δｘ３≒０．５９ｍｍとなり、合計の変
位量は０．７７＋０．５９＝１．３６ｍｍとなる。
＝４とすれば、Δｘ３≒０．５９ｍｍとなり、合計の変
位量は０．７７＋０．５９＝１．３６ｍｍとなる。
【００４３】Ｎを第１のレバーアームの拡大倍率と同じ
５にすれば、Δｘ３≒０．７３ｍｍとなり、これはΔｘ
１とほぼ等しい。
５にすれば、Δｘ３≒０．７３ｍｍとなり、これはΔｘ
１とほぼ等しい。
【００４４】つぎに第３実施例（請求項４に相当）につ
いて図４を参照して説明する。第２実施例と相違する点
は、第１，３のレバーアームが共通の圧電素子の変位を
拡大するようにしてある点である。図４において図１と
同じ符号のものは同じものを表す。
いて図４を参照して説明する。第２実施例と相違する点
は、第１，３のレバーアームが共通の圧電素子の変位を
拡大するようにしてある点である。図４において図１と
同じ符号のものは同じものを表す。
【００４５】以下、第２実施例との相違点を中心に説明
すると、ケース４５の開口部４５ｂからは第２のレバー
アーム３の作用部３ｂが突出している。第３のレバーア
ーム４６は支点部（ヒンジ）４６ｂによりケース４５の
右壁面に固定され、力点部４６ａｂから延伸されたバー
４６ａを介してアクチュエータ１の保護部材１ａに押圧
されている。第２のレバーアーム３の摺動部３ａが第３
のレバーアーム４６の保護部材４６ｃにバネ等の弾性部
材により押圧されているため、てこの原理によりバー４
６ａの先端部４６ａａが保護部材１ａに押圧される。保
護部材４６ｃは第３のレバーアーム４６面の保護および
摺動部３ａの摺動をし易くするとともに磨耗を防止す
る。本実施例では、アクチュエータ１により第１，３の
レバーアームを揺動するので第２のアクチュエータは省
略されている。
すると、ケース４５の開口部４５ｂからは第２のレバー
アーム３の作用部３ｂが突出している。第３のレバーア
ーム４６は支点部（ヒンジ）４６ｂによりケース４５の
右壁面に固定され、力点部４６ａｂから延伸されたバー
４６ａを介してアクチュエータ１の保護部材１ａに押圧
されている。第２のレバーアーム３の摺動部３ａが第３
のレバーアーム４６の保護部材４６ｃにバネ等の弾性部
材により押圧されているため、てこの原理によりバー４
６ａの先端部４６ａａが保護部材１ａに押圧される。保
護部材４６ｃは第３のレバーアーム４６面の保護および
摺動部３ａの摺動をし易くするとともに磨耗を防止す
る。本実施例では、アクチュエータ１により第１，３の
レバーアームを揺動するので第２のアクチュエータは省
略されている。
【００４６】次に動作を説明すると、アクチュエータ１
に電圧が印加されていない初期状態では、第２のレバー
アーム３の先端は調整部材５ａによりＰ１の位置に調整
されている。アクチュエータ１に所定の電圧が印加され
ると、アクチュエータの寸法はΔｔ１だけ伸びるので、
力点部２ａが右方向に押され、支持部２ｃは第１のレバ
ーアームの各部の長さｄ１とｄ２に応じて拡大されて右
方へ移動する。それと同時にバー４６ａの先端部４６ａ
ａも右方向に押されるので、バー４６ａを介して力点部
４６ａｂも右方向に押され、支点部４６ｂを支点として
第３のレバーアーム４６の先端は左方へ移動する。
に電圧が印加されていない初期状態では、第２のレバー
アーム３の先端は調整部材５ａによりＰ１の位置に調整
されている。アクチュエータ１に所定の電圧が印加され
ると、アクチュエータの寸法はΔｔ１だけ伸びるので、
力点部２ａが右方向に押され、支持部２ｃは第１のレバ
ーアームの各部の長さｄ１とｄ２に応じて拡大されて右
方へ移動する。それと同時にバー４６ａの先端部４６ａ
ａも右方向に押されるので、バー４６ａを介して力点部
４６ａｂも右方向に押され、支点部４６ｂを支点として
第３のレバーアーム４６の先端は左方へ移動する。
【００４７】その結果、第２のレバーアーム３の摺動部
３ａの先端は第３のレバーアーム４６の保護部材４６ｃ
に沿って下方に移動し、第２のレバーアーム３は右回転
し作用部３ｂの先端は左方へ移動してＰ５の位置までΔ
ｘ４だけ移動する。
３ａの先端は第３のレバーアーム４６の保護部材４６ｃ
に沿って下方に移動し、第２のレバーアーム３は右回転
し作用部３ｂの先端は左方へ移動してＰ５の位置までΔ
ｘ４だけ移動する。
【００４８】このΔｘ４は第１のレバーアームの変位量
と第３のレバーアームの変位量を加算した変位量にした
がって第２のレバーアーム３を変位させるので、１ヶの
アクチュエータを用いても変位量が大きく取れるという
効果がある。第１，２実施例では、第１のアクチュエー
タの駆動により第１切り換え位置へ移動し、その後更に
第２のアクチュエータの駆動により第２切り換え位置へ
移動というようにデジタル（非アナログ）的制御により
作動部の先端を複数個の所定の位置に移動することが可
能であったが、本実施例では１つのアクチュエータ１に
より作動部を駆動するので、上述のようにデジタル的制
御により作動部の先端を複数個の所定の位置に移動する
のは不可能である。
と第３のレバーアームの変位量を加算した変位量にした
がって第２のレバーアーム３を変位させるので、１ヶの
アクチュエータを用いても変位量が大きく取れるという
効果がある。第１，２実施例では、第１のアクチュエー
タの駆動により第１切り換え位置へ移動し、その後更に
第２のアクチュエータの駆動により第２切り換え位置へ
移動というようにデジタル（非アナログ）的制御により
作動部の先端を複数個の所定の位置に移動することが可
能であったが、本実施例では１つのアクチュエータ１に
より作動部を駆動するので、上述のようにデジタル的制
御により作動部の先端を複数個の所定の位置に移動する
のは不可能である。
【００４９】次に第４の実施例を図５を参照しながら説
明する。本実施例では図５に示すようにアクチュエータ
５１の長手方向と第１のレバーアーム５２の長手方向と
を一致させた構成にして薄型の変位拡大機構を構成して
いる。ケースの左壁面にはアクチュエータ５１が突設し
てあり、ケースの下壁面にはヒンジ５２ｂが立設してあ
り、その上に第１のレバーアーム５２が横方向に延伸し
てその右端に支持部５２ｃが設けてあり、第２のレバー
アーム５３が揺動可能に取り付けてあり、ケースの開口
部から第２のレバーアーム５３の作用部５３ｂがケース
外に突出している。第２のレバーアーム５３の摺動部５
３ａは、第２のレバーアーム５３に取り付けてある引っ
張りバネ等の弾性部材によりケースの下壁面に設けてあ
る壁部材５４に押圧してある。また第２のレバーアーム
５３の摺動部５３ａと支持部５２ｃとを結ぶ直線と作用
部５３ｂと支持部５２ｃとを結ぶ直線とのなす角度は、
摺動部５３ａが壁部材５４に対し摺動可能な範囲で鋭角
にしてある。したがって摺動部５３ａは支持部５２ｃか
ら左下方向に延出した形状をなす。
明する。本実施例では図５に示すようにアクチュエータ
５１の長手方向と第１のレバーアーム５２の長手方向と
を一致させた構成にして薄型の変位拡大機構を構成して
いる。ケースの左壁面にはアクチュエータ５１が突設し
てあり、ケースの下壁面にはヒンジ５２ｂが立設してあ
り、その上に第１のレバーアーム５２が横方向に延伸し
てその右端に支持部５２ｃが設けてあり、第２のレバー
アーム５３が揺動可能に取り付けてあり、ケースの開口
部から第２のレバーアーム５３の作用部５３ｂがケース
外に突出している。第２のレバーアーム５３の摺動部５
３ａは、第２のレバーアーム５３に取り付けてある引っ
張りバネ等の弾性部材によりケースの下壁面に設けてあ
る壁部材５４に押圧してある。また第２のレバーアーム
５３の摺動部５３ａと支持部５２ｃとを結ぶ直線と作用
部５３ｂと支持部５２ｃとを結ぶ直線とのなす角度は、
摺動部５３ａが壁部材５４に対し摺動可能な範囲で鋭角
にしてある。したがって摺動部５３ａは支持部５２ｃか
ら左下方向に延出した形状をなす。
【００５０】動作について説明すると、電圧印加により
アクチュエータ５１が矢印（右）方向に伸びると、第１
のレバーアーム５２は右方へ移動し、支持部５２ｃはヒ
ンジ５２ｂを中心に右回転して右下方に移動し、第２の
レバーアーム５３の摺動部５３ａが左方へ移動し、第２
のレバーアーム５３が右回転して作用部５３ｂが上方へ
移動する。
アクチュエータ５１が矢印（右）方向に伸びると、第１
のレバーアーム５２は右方へ移動し、支持部５２ｃはヒ
ンジ５２ｂを中心に右回転して右下方に移動し、第２の
レバーアーム５３の摺動部５３ａが左方へ移動し、第２
のレバーアーム５３が右回転して作用部５３ｂが上方へ
移動する。
【００５１】次に第５の実施例を図６を参照しながら説
明する。第２のレバーアーム６３の摺動部６３ａが、第
２のレバーアーム６３に取り付けてある引っ張りバネ等
の弾性部材によりケースの下壁面に設けてある壁部材６
４に押圧してある。また第２のレバーアーム６３の摺動
部６３ａと支持部６２ｃとを結ぶ直線と作用部６３ｂと
支持部６２ｃとを結ぶ直線とのなす角度は、摺動部６３
ａが壁部材６４に対し摺動可能な範囲で鈍角にしてあ
る。したがって摺動部６３ａは支持部６２ｃから右下方
向に延出した形状をなす。その他の構成は第４の実施例
と同様である。
明する。第２のレバーアーム６３の摺動部６３ａが、第
２のレバーアーム６３に取り付けてある引っ張りバネ等
の弾性部材によりケースの下壁面に設けてある壁部材６
４に押圧してある。また第２のレバーアーム６３の摺動
部６３ａと支持部６２ｃとを結ぶ直線と作用部６３ｂと
支持部６２ｃとを結ぶ直線とのなす角度は、摺動部６３
ａが壁部材６４に対し摺動可能な範囲で鈍角にしてあ
る。したがって摺動部６３ａは支持部６２ｃから右下方
向に延出した形状をなす。その他の構成は第４の実施例
と同様である。
【００５２】動作について説明すると、電圧印加により
アクチュエータ６１が矢印（右）方向に伸びると、第１
のレバーアーム６２は右方へ移動し支持部６２ｃはヒン
ジ６２ｂを中心に右回転して右下方に移動し、第２のレ
バーアーム６３の摺動部６３ａが右方へ移動し、第２の
レバーアーム６３が左回転して作用部６３ｂが下方へ移
動する。
アクチュエータ６１が矢印（右）方向に伸びると、第１
のレバーアーム６２は右方へ移動し支持部６２ｃはヒン
ジ６２ｂを中心に右回転して右下方に移動し、第２のレ
バーアーム６３の摺動部６３ａが右方へ移動し、第２の
レバーアーム６３が左回転して作用部６３ｂが下方へ移
動する。
【００５３】すなわち、第２のレバーアームの摺動部と
支持部とを結ぶ直線と作用部と支持部とを結ぶ直線との
なす角度を変えることにより、作用部の移動方向を逆に
することが可能である。
支持部とを結ぶ直線と作用部と支持部とを結ぶ直線との
なす角度を変えることにより、作用部の移動方向を逆に
することが可能である。
【００５４】本発明は上記の実施例に限らず種々の変更
が可能である。例えば、第１実施例において、支持部２
ｃは第１，２のレバーアーム２，３に設けた軸とこれと
嵌合する軸受を使用したものであるが、ヒンジ２ｂと同
様に第２のレバーアーム３が第１のレバーアーム２の自
由端部の先端部上に細軸部を介して立設していてもよ
い。また、第１実施例では第２のアクチュエータ４によ
る作用部３ｂの変位△Ｘ２は小さいので、第２のアクチ
ュエータ４を省略して壁部材に第２のレバーアーム３の
摺動部３ａが摺動するようにしてもよい（請求項１に相
当）。
が可能である。例えば、第１実施例において、支持部２
ｃは第１，２のレバーアーム２，３に設けた軸とこれと
嵌合する軸受を使用したものであるが、ヒンジ２ｂと同
様に第２のレバーアーム３が第１のレバーアーム２の自
由端部の先端部上に細軸部を介して立設していてもよ
い。また、第１実施例では第２のアクチュエータ４によ
る作用部３ｂの変位△Ｘ２は小さいので、第２のアクチ
ュエータ４を省略して壁部材に第２のレバーアーム３の
摺動部３ａが摺動するようにしてもよい（請求項１に相
当）。
【００５５】また、第４，５の実施例において、第２，
３実施例のような第３のレバーアームまたは第２のアク
チュエータを追加することもできる。
３実施例のような第３のレバーアームまたは第２のアク
チュエータを追加することもできる。
【００５６】また、第２のレバーアームは第１のレバー
アーム上に複数設けてもよい。そのとき、例えば複数の
レバーアームのうちのいくつかのレバーアームにおい
て、第４の実施例のように第２のレバーアームの摺動部
と支持部とを結ぶ直線と作用部と支持部とを結ぶ直線と
のなす角度を鋭角に、残りのレバーアームにおいて第５
の実施例のように上記なす角度を鈍角にして同時に逆方
向の作用部の変位を得るようにしてもよい。
アーム上に複数設けてもよい。そのとき、例えば複数の
レバーアームのうちのいくつかのレバーアームにおい
て、第４の実施例のように第２のレバーアームの摺動部
と支持部とを結ぶ直線と作用部と支持部とを結ぶ直線と
のなす角度を鋭角に、残りのレバーアームにおいて第５
の実施例のように上記なす角度を鈍角にして同時に逆方
向の作用部の変位を得るようにしてもよい。
【００５７】なお、上記実施例においては、レバーアー
ムの作用部を複数の切り換え位置に移動させるような場
合について説明したが、従来のように各々のアクチュエ
ータに印加する電圧をアナログ的に変化させてレバーア
ームの作用部の所望の変位を得るようにすることももち
ろん可能である。
ムの作用部を複数の切り換え位置に移動させるような場
合について説明したが、従来のように各々のアクチュエ
ータに印加する電圧をアナログ的に変化させてレバーア
ームの作用部の所望の変位を得るようにすることももち
ろん可能である。
【００５８】更に上記の種々の変更例を組み合わせた構
成も考えられる。
成も考えられる。
【００５９】
【発明の効果】本発明によれば、圧電素子によって駆動
されその変位を拡大する第１のレバーアーム上に第２の
レバーアームを回動可能に設け、その摺動部を所定の壁
面に対して摺動させることによって、摺動部と作用部と
が支持部から互いに所定の角度をなして延伸する第２の
レバーアームを回動させ作用部の先端を摺動部の変位量
を拡大した変位量だけ変位させるようにしたので、簡単
な構成で変位倍率が大きくとれ、また、２つの圧電素子
を使用すれば電圧制御などのアナログ的な制御を行わず
にレバーの先端を複数の切り換え位置に移動させるよう
なデジタル的な動作が簡単な回路構成により可能であ
る。
されその変位を拡大する第１のレバーアーム上に第２の
レバーアームを回動可能に設け、その摺動部を所定の壁
面に対して摺動させることによって、摺動部と作用部と
が支持部から互いに所定の角度をなして延伸する第２の
レバーアームを回動させ作用部の先端を摺動部の変位量
を拡大した変位量だけ変位させるようにしたので、簡単
な構成で変位倍率が大きくとれ、また、２つの圧電素子
を使用すれば電圧制御などのアナログ的な制御を行わず
にレバーの先端を複数の切り換え位置に移動させるよう
なデジタル的な動作が簡単な回路構成により可能であ
る。
【図１】第１実施例の構成を示す断面図
【図２】第２実施例の構成を示す断面図
【図３】第１実施例の作用部の変位の拡大倍率を説明す
るための断面図
るための断面図
【図４】第３実施例の構成を示す断面図
【図５】第４実施例の構成を示す断面図
【図６】第５実施例の構成を示す断面図
【図７】従来例を示す正面図
１，５１，６１ 圧電素子または第１の圧電素子 ２，５２，６２ 第１のレバーアーム ２ｃ，５２ｃ，６２ｃ 支持部 ３，５３，６３ 第２のレバーアーム ３ａ，５３ａ，６３ａ 摺動部 ３ｂ，５３ｂ，６３ｂ 作用部 ４，２４ 第２の圧電素子 ６，４６ 第３のレバーアーム
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 高橋 邦▲隆▼ 千葉県四街道市鹿渡934−13番地 株式 会社精工舎 千葉事業所内 (56)参考文献 特開 昭63−262065（ＪＰ，Ａ) (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) H02N 2/00 F16H 21/44 H01L 41/09
Claims (7)
- 【請求項１】 圧電素子と、上記圧電素子の変位を拡大
する第１のレバーアームと、上記第１のレバーアーム上
に設けてある支持部を中心に回動可能な第２のレバーア
ームとを有し、 上記第２のレバーアームは、所定の場所に設けてある壁
面に摺動可能に押圧してある摺動部と、上記摺動部の変
位を拡大する作用部とを備え、 上記摺動部と上記作用部とは、上記支持部から互いに所
定の角度をなして延伸する ことを特徴とする変位拡大装
置。 - 【請求項２】 第１および第２の圧電素子と、上記第１
の圧電素子の変位を拡大する第１のレバーアームと、上
記第１のレバーアーム上に設けてある支持部を中心に回
動可能な第２のレバーアームとを有し、 上記第２のレバーアームは、上記第２の圧電素子の所定
の面に摺動可能に押圧してある摺動部と、上記摺動部の
変位を拡大する作用部とを備え、 上記摺動部と上記作用部とは、上記支持部から互いに所
定の角度をなして延伸する ことを特徴とする変位拡大装
置。 - 【請求項３】 第１および第２の圧電素子と、上記第１
の圧電素子の変位を拡大する第１のレバーアームと、上
記第１のレバーアーム上に設けてある支持部を中心に回
動可能な第２のレバーアームと、上記第２の圧電素子の
変位を拡大する第３のレバーアームとを有し、 上記第２のレバーアームは、上記第３のレバーアームの
所定の面に摺動可能に押圧してある摺動部と、上記摺動
部の変位を拡大する作用部とを備え、 上記摺動部と上記作用部とは、上記支持部から互いに所
定の角度をなして延伸する ことを特徴とする変位拡大装
置。 - 【請求項４】 圧電素子と、上記圧電素子の変位を拡大
する第１および第３のレバーアームと、上記第１のレバ
ーアーム上に設けてある支持部を中心に回動可能な第２
のレバーアームとを有し、 上記第２のレバーアームは、上記第３のレバーアームの
所定の面に摺動可能に押圧された摺動部と、上記摺動部
の変位を拡大する作用部とを備え、 上記摺動部と上記作用部とは、上記支持部から互いに所
定の角度をなして延伸する ことを特徴とする変位拡大装
置。 - 【請求項５】 請求項１ないし４のいずれかにおいて、
上記支持部と上記作用部とを結ぶ直線が上記支持部と上
記摺動部とを結ぶ直線と鋭角または鈍角をなしているこ
とを特徴とする変位拡大装置。 - 【請求項６】 請求項１ないし４のいずれかにおいて、
上記第１のレバーアーム上に設けられた支持部に第２の
レバーアームが複数個取り付けてあることを特徴とする
変位拡大装置。 - 【請求項７】 請求項６において、上記複数個の第２の
レバーアームのうちのいくつかにおいて上記支持部と上
記作用部とを結ぶ直線が上記支持部と上記摺動部とを結
ぶ直線と鈍角をなし、上記複数個の第２のレバーアーム
のうちの残りは上記支持部と上記作用部とを結ぶ直線が
上記支持部と上記摺動部とを結ぶ直線と鋭角をなしてい
ることを特徴とする変位拡大装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP01577296A JP3340904B2 (ja) | 1996-01-31 | 1996-01-31 | 変位拡大装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP01577296A JP3340904B2 (ja) | 1996-01-31 | 1996-01-31 | 変位拡大装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH09215347A JPH09215347A (ja) | 1997-08-15 |
| JP3340904B2 true JP3340904B2 (ja) | 2002-11-05 |
Family
ID=11898108
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP01577296A Expired - Fee Related JP3340904B2 (ja) | 1996-01-31 | 1996-01-31 | 変位拡大装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3340904B2 (ja) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2017184369A (ja) | 2016-03-29 | 2017-10-05 | 株式会社東芝 | 変位変換機構及びチューナブルフィルタ装置 |
| CN110323966A (zh) * | 2019-08-12 | 2019-10-11 | 潍坊聚德电子有限公司 | 一种压电位移放大机构 |
-
1996
- 1996-01-31 JP JP01577296A patent/JP3340904B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH09215347A (ja) | 1997-08-15 |
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