JP3332125B2

JP3332125B2 - 磁歪式アクチュエータ

Info

Publication number: JP3332125B2
Application number: JP03189095A
Authority: JP
Inventors: 勲酒井; 忠彦小林
Original assignee: Toshiba Corp
Current assignee: Toshiba Corp
Priority date: 1995-02-21
Filing date: 1995-02-21
Publication date: 2002-10-07
Anticipated expiration: 2017-10-07
Also published as: JPH08228032A

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、磁歪を有する磁性体を
用いた磁歪式アクチュエータに関する。

【０００２】

【従来の技術】ある種の磁性体に外部磁場を印加した際
に磁性体が変形する磁歪は、変位制御アクチュエータ、
磁歪振動子、磁歪センサ、磁歪フィルタ、超音波遅延線
などの磁気−機械変換デバイスへの応用が以前より試み
られている。またここで用いられる磁歪材料としては、
これまでＮｉ基合金、Ｆｅ−Ｃｏ合金、フェライト系酸
化物などが広く知られている。

【０００３】さらに、近年の計測工学の進歩および精密
機械分野の発展に伴い、ミクロンオーダーの微小変位制
御が可能な変位駆動部の開発が求められており、これに
対してやはり磁歪を利用した磁気−機械変換デバイスが
検討されている。しかしながら上述したような磁歪材料
は、ミクロンオーダーの微小変位制御用としては、変位
の絶対量の点でも精密制御性の点でもいまだ十分ではな
い。

【０００４】一方、最近希土類−鉄系のラーベス型金属
間化合物で、飽和磁歪（λｓ）が1000×10^-6を超えるも
のが報告されており、これを用いた各種の磁気−機械変
換デバイスへの期待が高まっている。ただし、希土類−
鉄系の磁歪材料を用いた例えば磁歪式アクチュエータに
おいても、アクチュエータ自体の大型化を招くことなく
十分な変位の絶対量を得るためには、磁歪材料で作成さ
れた磁性体に印加される外部磁場すなわち駆動磁界を、
磁性体の変形で生じる変位にいかに効率よく変換するか
が重要である。このような観点から特開平４−２２９０
８５号には、あらかじめ弾性体などによる圧縮応力や永
久磁石などによるバイアス磁界を磁性体に印加し、駆動
磁界と変位の絶対量との間の変換効率を高める技術が開
示されているすなわち、希土類−鉄系などの磁歪材料で作成された磁
性体においては、一般に外部磁場を印加した際の磁性体
の変形量を、所定の圧縮応力およびバイアス磁界をあら
かじめ印加することで増大させることができる。従って
上述したような技術では、あらかじめ磁性体に印加され
る圧縮応力とバイアス磁界の値を適正化すれば、駆動磁
界と変位の絶対量との間の変換効率が向上し、結果的に
小型・大出力・高効率の磁歪式アクチュエータを得るこ
とが可能となる。

【０００５】然るに、ここであらかじめ磁性体に印加す
べき圧縮応力とバイアス磁界の適正値には相関関係があ
り、例えば印加される圧縮応力が大きくなると最適なバ
イアス磁界の値も上昇する。このため、これを考慮にい
れつつ磁歪式アクチュエータが設計されたとしても、現
実には磁性体に圧縮応力を印加するための弾性体の加工
精度や弾性率、バイアス磁界印加用の永久磁石の磁気特
性などのバラツキに起因して、設計仕様通りの変位の絶
対量が得られない場合も多く、変位の精密制御は極めて
困難である。

【０００６】

【発明が解決しようとする課題】上述したように、圧縮
応力やバイアス磁界を磁性体に印加することで駆動磁界
と変位の絶対量との間の変換効率を高めた従来の磁歪式
アクチュエータにおいては、十分な変位の絶対量は得ら
れてもその精密制御性がこれまで問題となっていた。す
なわち変位の精密制御が極めて困難であるため、通常は
駆動磁界が印加されたときの変位の絶対量が所定の値に
なるまで、バイアス磁界印加用の永久磁石の着磁量を変
化させてはそのつど変位の絶対量を測定するなど、アク
チュエータの分解、組立てを繰り返す必要があり、製造
性の点で実用的でない。さらに、アクチュエータの外部
から圧縮応力が印加されるような場合で、外部環境によ
る圧縮応力の大きさの変化などに伴って最適なバイアス
磁界の値が変動してもこれに追随することができず、か
つごくわずかな設計仕様の変更に対応することも非常に
難しく、汎用性に欠けるという問題点がある。

【０００７】従って、本発明の目的はこれらの問題点を
解決して、変位の絶対量、精密制御性ともに十分で、製
造性、汎用性に優れた小型・大出力・高効率の磁歪式ア
クチュエータを実現することにある。

【０００８】

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
になされた本発明の磁歪式アクチュエータは、磁歪を有
する磁性体からなる変位発生部材と、この変位発生部材
と接続され変位発生部材の変位発生方向に移動可能な可
動部材と、前記磁性体にバイアス磁界を印加する磁気バ
イアス印加手段と、前記変位発生部材に変位を発生させ
るための磁界を形成する駆動磁界発生手段と、前記磁性
体に印加されるバイアス磁界の値を調整するバイアス磁
界制御手段とから構成される。すなわち本発明の磁歪式
アクチュエータにおいては、磁気バイアス印加手段によ
って磁性体に印加されるバイアス磁界の値がバイアス磁
界制御手段によって調整されることを特徴としている。

【０００９】ここで、このようなバイアス磁界の値を調
整するバイアス磁界制御手段としては、具体的には磁気
バイアス印加手段との間で磁気回路を形成する鉄芯など
が挙げられる。また、前記磁気バイアス印加手段として
は永久磁石などを用いることができ、この永久磁石およ
び磁性体からなる変位発生部材がヨークなどの磁性部材
とともに閉磁気回路を形成することが好ましいが、ヨー
クなどの磁性部材は特に設けられなくても構わない。さ
らに本発明の磁歪式アクチュエータでは、上述したよう
なバイアス磁界とともに適正な圧縮応力を前記磁性体に
印加するために、可動部材を介して前記磁性体に圧縮応
力を印加する弾性体などが適宜配置され得る。

【００１０】

【作用】本発明の磁歪式アクチュエータにおいては、前
記磁気バイアス印加手段およびバイアス磁界制御手段を
具備しているので、変位発生部材としての磁歪を有する
磁性体に印加されるバイアス磁界の値を簡略に調整、最
適化することができる。換言すれば、変位の絶対量、精
密制御性ともに十分で、例えば永久磁石の着磁量を変化
させるためにアクチュエータの分解、組立てを繰り返す
ことなどなく、単に前記バイアス磁界制御手段によって
磁性体に印加されるバイアス磁界の値を調整すれば、所
望の値のバイアス磁界を前記磁性体に印加することが可
能となる。また、外部環境の変化などに伴うバイアス磁
界の最適値の変動にも追随でき、使用条件の変更などに
対する対応性も良好である。

【００１１】

【実施例】以下、本発明の実施例について説明する。図
１は、本発明の磁歪式アクチュエータの構成例を示す縦
断面図である。同図において、１は磁歪を有する磁性体
からなる例えば外径６mm、長さ50mmの磁歪棒であり、こ
の磁歪棒１が変位発生部材に相当する。なお、変位発生
部材としての磁歪棒１は図１に示される円柱状のロッド
に限らず、円筒状、角柱状、積層状などの各種形状のロ
ッドを用いることが可能である。例えば、数ｋＨｚ以上
の周波数で磁歪式アクチュエータを振動させるような場
合は、円筒状、積層状のロッドが表皮効果、渦電流損失
の観点から好ましい。

【００１２】ここで磁歪棒１に用いられる磁歪材料とし
ては、従来から広く知られているＮｉ基合金、Ｆｅ−Ａ
ｌ系合金、フェライト系酸化物などでもよいが、得られ
る磁歪式アクチュエータの小型化、大出力化のうえで
は、飽和磁歪（λｓ）の大きなものほどよい。従って、
希土類−鉄系のラーベス型金属間化合物からなる超磁歪
合金は好ましく、具体的にはＲＦｅ_x （Ｒは希土類元
素）で表したとき、１．５≦ｘ≦２．５を満足する組成
が挙げられる。なおこのとき、好ましい希土類元素Ｒと
してはＬａ、Ｃｅ、Ｐｒ、Ｎｄ、Ｐｍ、Ｓｍ、Ｅｕ、Ｇ
ｄ、Ｔｂ、Ｄｙ、Ｈｏ、Ｅｒ、Ｔｍ、Ｙｂ、Ｌｕなど単
独、あるいはＴｂ−Ｄｙ、Ｔｂ−Ｈｏ、Ｔｂ−Ｐｒ、Ｓ
ｍ−Ｙｂ、Ｔｂ−Ｄｙ−Ｈｏ、Ｔｂ−Ｄｙ−Ｐｒ、Ｔｂ
−Ｐｒ−Ｈｏなど２種以上の組み合わせが例示される。

【００１３】さらに、この希土類元素ＲとＦｅを主体と
する超磁歪合金においては、低温での磁歪特性の向上や
耐蝕性の改善を目的として、Ｆｅの一部をＣｏで置換す
ることも可能である。しかしながら、あまり置換量が多
いと逆に磁歪特性の低下を招く傾向があるため、Ｃｏに
よるＦｅの置換量は95at％以下が好ましい。また、Ｆｅ
の一部はＭｎで置換されてもよい。このようにＭｎでＦ
ｅを一部置換することにより、超磁歪合金中の希土類原
子の磁気異方性が変化し、高磁界下のみならず低磁界下
においても優れた磁歪特性を得ることが可能となる。た
だしＭｎによるＦｅの置換量が多すぎると、超磁歪合金
のキュリー温度が低下して磁歪特性が損なわれるおそれ
があるので、ＭｎによるＦｅの好ましい置換量は50at％
以下である。

【００１４】また、超磁歪合金の強度、耐蝕性、飽和磁
歪などの向上の観点から、Ｆｅの一部はさらに必要に応
じてＮｉ、Ｍｇ、Ａｌ、Ｇａ、Ｚｎ、Ｖ、Ｚｒ、Ｈｆ、
Ｔｉ、Ｎｂ、Ｃｕ、Ａｇ、Ｓｎ、Ｍｏ、Ｃｒ、Ｔａ、Ｐ
ｄ、Ｉｎ、Ｓｂ、Ｉｒ、Ｐｔ、Ａｕ、Ｐｂ、Ｓｉ、Ｇ
ｅ、Ｂなどで置換されてもよい。この場合置換量は、Ｍ
ｎによる置換量と合計してＦｅの50at％以下に設定され
ることが好ましく、これを超えると磁歪量の低下などの
磁歪特性劣化の要因となる。

【００１５】図１に示される磁歪式アクチュエータにお
いて、磁歪棒１の外周囲には駆動磁界発生手段として空
心コイル２が配設されている。ここで空心コイル２は、
磁歪棒１の長さをＬｍ、空心コイル２の長さをＬｃとし
た場合に、０．５Ｌｍ＜Ｌｃ＜２Ｌｍの関係を満足することが好ましい。何となれば、空心コ
イル２の長さＬｃが０．５Ｌｍ以下になると、空心コイ
ル２が形成する駆動磁界を磁歪棒１に対して均一に印加
することが困難となる一方、空心コイル２の長さＬｃが
２Ｌｍ以上となると駆動磁界の磁歪棒１への印加効率は
向上するものの、磁歪式アクチュエータ自体の大型化を
招いてしまうからである。

【００１６】なお図１に示される磁歪式アクチュエータ
では、空心コイル２は多層一様巻き構造とされている
が、このような多層一様巻き構造の空心コイル２は、中
心部で大きく両端部で小さい空間分布を有する駆動磁界
を形成する傾向がある。また制御電流を空心コイル２に
供給する際、電流側の制約から直流抵抗、インダクタン
スなどの値を適正化する必要が生じる。これに対し、空
心コイル２を複数に分割するかあるいは多重化して電源
と並列接続すれば、形成される駆動磁界の空間分布が均
一化されるとともに直流抵抗、インダクタンスが低減さ
れて、その値を適正化することが可能となる。さらに本
発明においては、空心コイル２を磁歪棒１に直接巻き付
けて形成することで空心コイル２と磁歪棒１とを密着さ
せ、駆動磁界の磁歪棒１への印加効率を向上させること
も可能である。ただし信頼性の観点からは、空心コイル
２と磁歪棒１とを非接触とすることが好ましい。

【００１７】また磁歪棒１の両端部近傍には、磁歪棒固
定ヨーク５ａ、５ｂを介して磁歪棒１にバイアス磁界を
印加する、磁気バイアス印加手段としての永久磁石３
ａ、３ｂを具備している。ここで永久磁石３ａ、３ｂ
は、中央部に貫通孔が形成された形状を有し、厚み方向
に着磁されて磁歪棒１に対して所定の直流磁気バイアス
を印加しており、これにより磁歪棒１において、空心コ
イル２に供給される制御電流の正負に対応した変位を発
生させることが可能となる。なお永久磁石３ａ、３ｂの
材料としては、得られる磁歪式アクチュエータの小型化
の点から、Ｓｍ−Ｃｏ系合金やＮｄ−Ｆｅ−Ｂ系合金な
どを用いることが好ましい。

【００１８】さらに、上述したような磁歪棒１、空心コ
イル２、磁歪棒固定ヨーク５ａ、５ｂ、永久磁石３ａ、
３ｂは、変位発生部材である磁歪棒１と接続されその変
位発生方向に移動可能な可動部材６や、この可動部材６
を介して磁歪棒１に圧縮応力を印加する弾性体８ととも
に、円筒型容器７ｃおよびその両端部を封止する固定部
材７ａ、７ｂ内に封入されている。ここで図１に示され
る磁歪式アクチュエータにおいては、可動部材６、固定
部材７ａ、７ｂ、円筒型容器７ｃが磁性部材からなり、
可動部材６や固定部材７ｂ、円筒型容器７ｃがヨークと
して機能することで、磁歪棒１、磁歪棒固定ヨーク５
ａ、５ｂおよび永久磁石３ａ、３ｂと協働して、図示さ
れるような閉磁気回路Ｘを形成している。従って、この
閉磁気回路Ｘ内を流れる磁束がそのまま磁歪棒１に対す
るバイアス磁界となり、結果的に磁束の漏洩が抑えられ
て永久磁石３ａ、３ｂから磁歪棒１にバイアス磁界が効
率よく印加される。ただし、可動部材６、固定部材７
ａ、７ｂ、円筒型容器７ｃは特に磁性部材でなくても、
永久磁石３ａ、３ｂから磁歪棒１へのバイアス磁界の印
加は可能である。

【００１９】図１に示される磁歪式アクチュエータにお
いて、弾性体８は可動部材６と固定部材７ａの間に介在
して、上述した通り可動部材６を介して磁歪棒１に圧縮
応力を印加するとともに、可動部材６を磁歪棒１の変位
発生方向に移動可能とせしめるものである。すなわちこ
の磁歪式アクチュエータは、弾性体８の弾性力が付与さ
れた可動部材６を通じて磁歪棒１の一端が押圧され、か
つ磁歪棒１が固定部材７ａ、７ｂの間に弾性体８ととも
に介在、挟持される、いわゆるランジュバン型の構造を
有している。また可動部材６には、固定部材７ａの中央
部に穿設した貫通孔を通して突出形成された出力端９が
固定されており、可動部材６の移動はこの出力端９から
外部に伝搬される。

【００２０】なおここで、上述したような弾性体８には
バネ系や樹脂系などの部材を用いることができ、具体的
に樹脂系の部材としては、例えばバイトンなどのフッ素
系ゴムやシリコーンゴムなどが挙げられる。またこのと
き、磁歪棒１に印加される圧縮応力の値を最適化する観
点から、好ましくは適正な値の弾性率を有する弾性体８
を選択することはいうまでもない。

【００２１】さらに図１に示される磁歪式アクチュエー
タでは、鉄芯４ａ、４ｂが永久磁石３ａ、３ｂの貫通孔
内で上下動自在となるように付設されている。具体的に
は、鉄芯４ａ、４ｂの外周部にネジ溝が形成されるとと
もに、可動ヨーク６および固定ヨーク７ｂの中央部にネ
ジ穴が設けられて、このネジ穴に鉄芯４ａ、４ｂが装着
されている。ここでこれら鉄芯４ａ、４ｂは、それぞれ
磁歪棒固定ヨーク５ａ、５ｂ、永久磁石３ａ、３ｂおよ
び固定部材７ａ、７ｂと協働して図示されるような磁気
回路Ｙを形成し、磁歪棒１に印加されるバイアス磁界の
値を調整するバイアス磁界制御手段となる。

【００２２】すなわち、このとき鉄芯４ａ、４ｂと永久
磁石３ａ、３ｂなどの間で形成された磁気回路Ｙは、上
述した通り永久磁石３ａ、３ｂと磁歪棒１や磁歪棒固定
ヨーク５ａ、５ｂなどの間で形成され、磁歪棒１へのバ
イアス磁界となる磁束が流れる閉磁気回路Ｘとは並列的
な関係にある。従って、永久磁石３ａ、３ｂからの磁束
Φは閉磁気回路Ｘと磁気回路Ｙに分散して流れ込むこと
になり、閉磁気回路Ｘを流れる磁束Φ_X と磁気回路Ｙを
流れる磁束Φ_Y の合計量はほぼ一定に保たれる。一方磁
気回路Ｙにおいては、鉄芯４ａ、４ｂの可動ヨーク６ま
たは固定ヨーク７ｂへのネジ込み量を調節することで、
鉄芯４ａ、４ｂと磁歪棒固定ヨーク５ａ、５ｂとのギャ
ップ幅が変化するので、結果的にその磁気抵抗を可変と
した構造となっている。ここで永久磁石３ａ、３ｂから
の磁束Φは、閉磁気回路Ｘおよび磁気回路Ｙの磁気抵抗
に応じてそれぞれを流れる磁束Φ_X 、Φ_Y に適宜配分さ
れるため、図１に示される磁歪式アクチュエータでは、
上述したように鉄芯４ａ、４ｂのネジ込み量を調節して
磁気回路Ｙの磁気抵抗を制御すれば、磁束Φの磁束Φ
_X 、Φ_Y への配分度合が変わり、結果として磁歪棒１に
印加されるバイアス磁界となる閉磁気回路Ｘを流れる磁
束Φ_X の値を調整することができる。

【００２３】このような磁歪式アクチュエータについ
て、図１に示される鉄芯４ｂと磁歪棒固定ヨーク５ｂと
のギャップ幅ｌを変化させながら空心コイル２に所定の
制御電流を供給して磁歪棒１で変位を発生させ、発生し
た変位の絶対量のギャップ幅ｌ依存性を具体的に測定し
た。なおここでは、磁歪棒１にＴｂ_0.3 Ｄｙ_0.7 Ｆｅ
_1.95なる組成でかつ結晶配向させた超磁歪合金のロッド
を用い、それぞれ磁歪棒１に印加された圧縮応力の大き
さが異なる４種類の磁歪式アクチュエータに対し、磁歪
棒１における変位の絶対量のギャップ幅ｌ依存性の測定
を行なった。結果を図２に示す。

【００２４】図示される通り、４種類の磁歪式アクチュ
エータ（ａ）〜（ｄ）のいずれについても、上述したよ
うなギャップ幅ｌを適宜変化させることで磁歪棒１にお
いて発生する変位の絶対量が極大値を示すことが確認さ
れた。従って、たとえ磁歪棒１に印加される圧縮応力の
大きさが変化しても、バイアス磁界制御手段である鉄芯
４ａ、４ｂのネジ込み量を調節すれば、磁歪棒１に印加
されるバイアス磁界の値を調整、最適化できることが明
らかである。また、Ｔｂ_0.4 Ｄｙ_0.6 （Ｆｅ_0.91Ｍｎ
_0.09）_1.93なる組成でかつ結晶配向させた超磁歪合金の
ロッドを磁歪棒１に用いた場合についても、同様にギャ
ップ幅ｌを適宜変化させることで発生する変位の絶対量
が極大値を示し、磁歪棒１に印加されるバイアス磁界の
値を調整、最適化できることが判った。

【００２５】さらに、本発明の磁歪式アクチュエータの
他の構成例の縦断面図を図３に示す。ここでは、円筒型
容器７ｃの永久磁石３ａ、３ｂ側方にそれぞれ設けられ
たネジ穴に鉄芯４ａ、４ｂが装着されている以外は、図
１に示した磁歪式アクチュエータと同様である。この場
合、鉄芯４ａ、４ｂはそれぞれ、永久磁石３ａ、３ｂ、
可動部材６または固定部材７ｂおよび円筒型容器７ｃな
どと協働して磁気回路Ｙを形成し、磁歪棒１に印加され
るバイアス磁界の値を調整するバイアス磁界制御手段と
なる。すなわち図３に示される磁歪式アクチュエータに
おいては、上述したような磁気回路Ｙが、磁歪棒１、磁
歪棒固定ヨーク５ａ、５ｂおよび永久磁石３ａ、３ｂの
間で形成される閉磁気回路Ｘと並列的な関係にあり、か
つ磁気回路Ｙ中の鉄芯４ａ、４ｂと磁歪棒固定ヨーク５
ａ、５ｂあるいは永久磁石３ａ、３ｂとのギャップ幅
が、鉄芯４ａ、４ｂのネジ込み量を調節することで変化
する。なお図３中には、鉄芯４ｂと磁歪棒固定ヨーク５
ｂとのギャップ幅をｌ´として図示した。従って図１に
示した磁歪式アクチュエータと同様に、鉄芯４ａ、４ｂ
のネジ込み量を調節して磁気回路Ｙの磁気抵抗を制御す
れば、永久磁石３ａ、３ｂから閉磁気回路Ｘおよび磁気
回路Ｙに流れ込む磁束の配分度合が変わり、結果として
磁歪棒１に印加されるバイアス磁界となる閉磁気回路Ｘ
を流れる磁束Φ_X の値を調整することができる。

【００２６】また図４は、本発明の磁歪式アクチュエー
タの使用形態の一例を示す縦断面図である。なお図４に
おいて、図１と同様の部材は図１と同一の符号を付して
説明を省略する。ここで磁歪式アクチュエータ１０は、
一端が円板状封止部１１で封止され他端の開放側に環状
フランジ部１２を有する円筒型固定治具１３内に、磁歪
式アクチュエータ１０の出力端９が円筒型固定治具１３
の開放側端部に位置するように収納されている。またこ
のとき、磁歪式アクチュエータ１０の出力端９とは反対
側の固定部材７ｂは、円板状封止部１１と接しており、
磁歪式アクチュエータ１０の出力端９の端面が変位伝達
対象物１４と接するように、円筒型固定治具１３の環状
フランジ部１２が変位伝達対象物１４にボルト１５で固
定されている。従って、変位伝達対象物１４に対する変
位駆動部となる磁歪式アクチュエータ１０から、その磁
歪棒１で発生した変位を効率よく変位伝達対象物１４に
伝達することができる。

【００２７】なお、上述したような磁歪式アクチュエー
タ１０は必ずしもランジュバン型の構造を有していなく
てもよく、例えば図４に示す使用形態において、変位伝
達対象物１４の重量を利用して変位発生部材である磁歪
棒１に圧縮応力を印加できれば、磁歪棒１に圧縮応力を
印加する弾性体８は設けられなくても何ら差支えない。
しかもこのとき、重量のそれぞれ異なる変位伝達対象物
１４に対する変位駆動部として磁歪式アクチュエータ１
０を適用する必要が生じても、バイアス磁界制御手段で
ある鉄芯４ａ、４ｂのネジ込み量を調節すれば、変位伝
達対象物１４の重量の差異に基づく磁歪棒１に印加され
る圧縮応力の大きさの変化にも拘らず、磁歪棒１に印加
されるバイアス磁界の値を調整、最適化することが可能
である。さらに本発明の磁歪式アクチュエータは、上述
したような構成例に何ら限定されるものではなく、本発
明の趣旨を逸脱しない範囲で種々変形して実施すること
ができ、図４にその使用形態を示した変位駆動部を始め
音源、ソナーなどの磁歪振動子や磁歪センサなどに幅広
く適用され得る。

【００２８】

【発明の効果】以上詳述したように本発明によれば、変
位の絶対量、精密制御性ともに十分で、製造性、汎用性
に優れた小型・大出力・高効率の磁歪式アクチュエータ
を提供することができ、その工業的価値は大なるものが
ある。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の磁歪式アクチュエータの構成例を示
す縦断面図。

【図２】図１に示す磁歪式アクチュエータについて磁
歪棒における変位の絶対量のギャップ幅ｌ依存性を示す
特性図。

【図３】本発明の磁歪式アクチュエータの他の構成例
を示す縦断面図。

【図４】磁歪式アクチュエータの使用形態の一例を示
す縦断面図。

【符号の説明】

１…磁歪棒、２…空心コイル、３ａ、３ｂ…永久磁石、
４ａ、４ｂ…鉄芯、５ａ、５ｂ…磁歪棒固定ヨーク、６
…可動部材、７ａ、７ｂ…固定部材、７ｃ…円筒型容
器、８…弾性体、９…出力端、１０…磁歪式アクチュエ
ータ、１１…円板状封止部、１２…環状フランジ部、１
３…円筒型固定治具、１４…変位伝達対象物、１５…ボ
ルト。

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献特開平３−169087（ＪＰ，Ａ) 特開平５−63252（ＪＰ，Ａ) 特開平５−283762（ＪＰ，Ａ) 特開平７−240547（ＪＰ，Ａ) (58)調査した分野(Int.Cl.⁷，ＤＢ名) H01L 41/12

Claims

(57)【特許請求の範囲】

【請求項１】磁歪を有する磁性体からなる変位発生部材
と、この変位発生部材と接続され変位発生部材の変位発
生方向に移動可能な可動部材と、前記磁性体にバイアス
磁界を印加する磁気バイアス印加手段と、前記変位発生
部材に変位を発生させるための磁界を形成する駆動磁界
発生手段と、前記磁性体に印加されるバイアス磁界の値
を調整するバイアス磁界制御手段とを具備したことを特
徴とする磁歪式アクチュエータ。
【請求項２】バイアス磁界制御手段が磁気バイアス印加
手段との間で磁気回路を形成する鉄芯からなることを特
徴とする請求項１記載の磁歪式アクチュエータ。