JP3328921B2 - Target for magneto-optical recording media - Google Patents
Target for magneto-optical recording mediaInfo
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- JP3328921B2 JP3328921B2 JP06017496A JP6017496A JP3328921B2 JP 3328921 B2 JP3328921 B2 JP 3328921B2 JP 06017496 A JP06017496 A JP 06017496A JP 6017496 A JP6017496 A JP 6017496A JP 3328921 B2 JP3328921 B2 JP 3328921B2
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Description
【0001】[0001]
【産業上の利用分野】本発明は、光磁気記録媒体の製造
に用いられるスパッタリング用ターゲットおよびその製
造方法に関する。The present invention relates to a sputtering target used for manufacturing a magneto-optical recording medium and a method for manufacturing the same.
【0002】[0002]
【従来の技術】従来、光磁気記録媒体となる希土類金属
と遷移金属との合金薄膜の製造には、ターゲットをスパ
ッタリングして薄膜化するスパッタリング法が適用され
ている。このスパッタリング用ターゲットの製造には、
例えば、特開昭63−45366号公報に記載されるよ
うに、アルゴン雰囲気下で誘導加熱炉による溶解鋳造法
を用いることができる。溶解鋳造法の利点は、酸素含有
量が低く、使用済みターゲットのリサイクルが容易であ
る点である。一方、この溶解鋳造法によって得られたタ
ーゲットは、溶解組織であるため結晶粒径が大きく、ま
た偏析が起こりやすいため組織ムラが生じやすいという
問題がある。さらに光磁気記録特性が得られる組成は、
実質的に金属間化合物となる組成であるため、溶解鋳造
法で得られたターゲットは、脆くて割れやすいという問
題がある。2. Description of the Related Art Conventionally, a sputtering method for forming a thin film by sputtering a target has been applied to the production of an alloy thin film of a rare earth metal and a transition metal as a magneto-optical recording medium. In the production of this sputtering target,
For example, as described in JP-A-63-45366, a melting casting method using an induction heating furnace under an argon atmosphere can be used. The advantage of the melt casting method is that the oxygen content is low and the used target can be easily recycled. On the other hand, the target obtained by the melt casting method has a problem that the crystal grain size is large due to the dissolved structure, and the structure tends to be uneven because the segregation is likely to occur. Further, the composition for obtaining magneto-optical recording properties is as follows:
Since the composition is substantially an intermetallic compound, there is a problem that the target obtained by the melt casting method is brittle and easily cracked.
【0003】近年では、上述した偏析等に起因した組織
むらを低減するために、粉末焼結による製造法が提案さ
れている。例えば、特開昭61−91336号には、ア
ーク溶解した合金インゴットを粉砕し、ホットプレスで
焼結することにより偏析を無くし均一な組織を得る製造
方法が記載されている。また、特開昭61−13963
7号には、急冷合金粉を真空中または不活性ガス雰囲気
中で焼結し、ターゲット組織の結晶粒径を20μm以下
に規定した製造方法が開示されている。この方法は、イ
ンゴット粉砕を行なって合金粉末を製造する場合よりも
焼結体の酸素量を低減することができ、脆さを低減でき
るものである。また、この特開昭61−139637号
にはターゲット組織の結晶粒径を20μm以下に規定す
ることにより、組成のむらをなくすことも提案されてい
る。これらのターゲットは、予め合金化した原料粉末を
使用することからプレアロイターゲットと呼ばれてい
る。[0003] In recent years, a manufacturing method using powder sintering has been proposed in order to reduce the unevenness of the structure due to the segregation described above. For example, Japanese Patent Application Laid-Open No. 61-91336 describes a production method in which an arc-melted alloy ingot is pulverized and sintered by hot pressing to eliminate segregation and obtain a uniform structure. Also, JP-A-61-13963
No. 7 discloses a manufacturing method in which a quenched alloy powder is sintered in a vacuum or an inert gas atmosphere, and the crystal grain size of a target structure is specified to be 20 μm or less. According to this method, the amount of oxygen in the sintered body can be reduced and brittleness can be reduced as compared with the case where an alloy powder is produced by performing ingot grinding. Also, Japanese Patent Application Laid-Open No. 61-139637 proposes that the crystal grain size of the target structure is specified to be 20 μm or less so as to eliminate unevenness in composition. These targets are called pre-alloy targets because they use raw material powders that have been alloyed in advance.
【0004】[0004]
【発明が解決しようとする課題】上述した特開昭61−
139637号に記載の急冷合金粉を原料として用いて
ターゲットの酸素量を減ずる方法は、ターゲットの脆さ
を改善する有効な方法である。しかし、現状ではさらな
る機械的強度の向上が求められている。このような状況
において、機械的強度を高める方法として、希土類金属
の単体と遷移金属を拡散相で結合したターゲットが、特
開昭61−119648号に提案されている。また、希
土類金属と鉄族金属との急冷凝固粉末と、鉄族金属粉末
とを接合した組織のターゲットが、特開平1−2597
7号に提案されている。このようなターゲットは、複合
ターゲットと呼ばれ、機械的強度の向上が達成できるも
のである。SUMMARY OF THE INVENTION The above-mentioned Japanese Patent Application Laid-open No.
The method of using quenched alloy powder as a raw material and reducing the oxygen amount of a target described in 139637 is an effective method for improving the brittleness of the target. However, at present, further improvement in mechanical strength is required. In such a situation, as a method for increasing the mechanical strength, a target in which a rare earth metal element and a transition metal are combined in a diffusion phase has been proposed in JP-A-61-119648. Further, a target having a structure in which a rapidly solidified powder of a rare earth metal and an iron group metal is joined to an iron group metal powder is disclosed in JP-A-1-2597.
No. 7 is proposed. Such a target is called a composite target and can achieve an improvement in mechanical strength.
【0005】最近のスパッタリングにおいては、ターゲ
ット表面に磁場を発生させ、スパッタリング中のプラズ
マを封じ込めることにより、スパッタリング速度を向上
することができるマグネトロンスパッタリング装置が用
いられている。このマグネトロンスパッタリング装置に
おいては、ターゲット表面に十分な漏洩磁束を与えるこ
とが要求される。ところが、上述した複合ターゲットに
おいては、基本的に強磁性を示す鉄族金属を組織中に残
留させるものであり、漏洩磁束が得にくいという問題が
ある。一方、前述の特開昭61−139637号等のプ
レアロイターゲットは、合金化によって透磁率が小さく
なり、上述の複合ターゲットよりマグネトロンスパッタ
リングを適用する上では有利である。[0005] In recent sputtering, a magnetron sputtering apparatus capable of increasing a sputtering rate by generating a magnetic field on a target surface and confining plasma during sputtering has been used. In this magnetron sputtering apparatus, it is required to provide a sufficient leakage magnetic flux to the target surface. However, in the above-described composite target, an iron group metal exhibiting ferromagnetism basically remains in the structure, and there is a problem that it is difficult to obtain a leakage magnetic flux. On the other hand, the pre-alloy target disclosed in the above-mentioned Japanese Patent Application Laid-Open No. 61-139637 has a smaller magnetic permeability due to alloying, and is more advantageous than the above-mentioned composite target in applying magnetron sputtering.
【0006】特に、高価な希土類金属を使用するターゲ
ットにおいては、一枚のターゲットをできるだけ効率良
く使用する必要があり、漏洩磁束を得にくいということ
は大きな問題である。そのため、上述の複合ターゲット
に替わって、プレアロイターゲットが見直されつつあ
る。そして、プレアロイターゲットの問題である機械的
強度のさらなる改善が強く求められるようになってき
た。本発明は、上述した問題点に鑑み、十分な漏洩磁束
を得ることができ、かつ機械的強度の高いターゲットお
よびその製造方法を提供することを目的とする。Particularly, in a target using an expensive rare earth metal, it is necessary to use one target as efficiently as possible, and it is a serious problem that it is difficult to obtain a leakage magnetic flux. Therefore, pre-alloy targets are being reviewed in place of the above-described composite targets. Further, there has been a strong demand for further improvement of mechanical strength, which is a problem of pre-alloy targets. The present invention has been made in view of the above-described problems, and has as its object to provide a target capable of obtaining a sufficient leakage magnetic flux and having high mechanical strength, and a method of manufacturing the same.
【0007】[0007]
【課題を解決するための手段】本発明者は、上述したプ
レアロイターゲットの機械的強度をさらに高める方法を
ターゲットの組織との関係において詳細に検討した。そ
してターゲット組織を均一組織にするのではなく、粉末
冶金法を採用し、実質的に金属間化合物でなるプレアロ
イ化した原料粉末の形態を残した状態に焼結すれば、均
一組織とした場合に比べて機械的強度を高めることがで
きることを見出し、本発明に到達した。Means for Solving the Problems The present inventor has studied in detail the method for further increasing the mechanical strength of the pre-alloy target in relation to the structure of the target. Then, instead of making the target structure a uniform structure, powder metallurgy is adopted, and sintering is performed in a state where the form of the prealloyed raw material powder substantially composed of an intermetallic compound is obtained. The inventors have found that the mechanical strength can be increased as compared with the above, and have reached the present invention.
【0008】すなわち、本発明は、原子%で、15〜3
0%の希土類金属と残部遷移金属からなる合金粉末が、
実質的に合金粉末の形態を残して焼結されたターゲット
組織を有する光磁気記録媒体用ターゲットである。具体
的には、組織中に前記組成の合金原料粉末の粒子表面の
痕跡を残したターゲットである。より具体的には本発明
は、原子%で15〜30%の希土類金属と残部遷移金属
とからなる組成を有する合金粉末の形態を残した粒子状
組織が粒界相を介して連結してターゲット組織を構成し
ており、ターゲットの抗折強度が50MPa以上である
光磁気記録媒体用ターゲットである。好ましくは、ター
ゲットのミクロ組織において合金粉末間の粒界相を介し
て連結する粒子状組織は、その粒径dが実質的にd≦3
50μm、さらに望ましくは、d≦250μmの範囲内
で、かつ体積平均径davを50≦dav≦120μmとす
る。[0008] That is, the present invention relates to the method of
An alloy powder comprising 0% of a rare earth metal and the balance transition metal is
This is a target for a magneto-optical recording medium having a target structure sintered substantially while leaving the form of an alloy powder. Specifically, the target is a target having a trace of the particle surface of the alloy raw material powder having the above composition left in the structure. More specifically, the present invention relates to a method in which a particulate structure having a form of an alloy powder having a composition of 15 to 30% by atom% of a rare earth metal and a balance of a transition metal is connected via a grain boundary phase. This is a target for a magneto-optical recording medium having a tissue and a bending strength of the target of 50 MPa or more. Preferably, in the microstructure of the target, the particulate structure connected via the intergranular phase between the alloy powders has a particle diameter d of substantially d ≦ 3.
50 μm, more preferably d ≦ 250 μm, and the volume average diameter dav is set to 50 ≦ dav ≦ 120 μm.
【0009】またターゲットの密度が相対密度において
99%以上、酸素含有量が1000ppm以下とするこ
とが望ましく、さらにターゲットの抗折強度は70MP
a以上とすることが望ましい。It is desirable that the target has a relative density of 99% or more and an oxygen content of 1000 ppm or less in terms of relative density.
It is desirable to set it to a or more.
【0010】上述したターゲットは、例えば、あらかじ
め原子%で15〜30%の希土類金属と残部遷移金属と
からなるプレアロイ化したターゲット組成の合金粉を製
造し、次いでこの合金粉末をターゲット組成の有する液
相発現温度よりも30℃以上低い温度で、90MPa以
上の高圧下で加圧焼結するという条件で製造することが
必要となる。 For the above-mentioned target, for example, a pre-alloyed alloy powder having a target composition of 15 to 30% by atom% of a rare earth metal and a balance transition metal is manufactured in advance, and then the alloy powder is mixed with a liquid having the target composition. It can be manufactured under the condition that pressure sintering is performed at a temperature 30 ° C. or more lower than the phase onset temperature and a high pressure of 90 MPa or more.
Required.
【0011】[0011]
【作用】上述したように本発明のミクロ組織上の最大の
特徴は、使用する合金粉末を大きさの単位とする粒子状
組織が、粒界相を介して連結してターゲット組織を構成
するようにしたことである。従来のプレアロイからのタ
ーゲットの製造方法においては、金属間化合物組成の合
金粉末同士の焼結を進行させていくと、合金粉末界面の
拡散を通じて組織は均一になって行く。すなわち、最終
的には、元の原料粉末の形態をとどめず、粒子の境界が
なくなったものになる。従来のこの種のターゲットの代
表的ミクロ組織は、図2のようなものである。この状態
はターゲット全体を一つの金属間化合物で構成した状
態、すなわち、溶解鋳造法の組織に近づくことになり、
金属間化合物特有の脆さを有することになる。As described above, the greatest feature of the microstructure of the present invention is that the grain structure whose size is the alloy powder to be used is connected via the grain boundary phase to form the target structure. That is what we did. In a conventional method for manufacturing a target from a pre-alloy, as the sintering of alloy powders having an intermetallic compound composition proceeds, the structure becomes uniform through diffusion at the interface of the alloy powder. That is, finally, the shape of the original raw material powder is not retained, and the boundaries of the particles are eliminated. A typical microstructure of a conventional target of this type is as shown in FIG. In this state, the entire target is composed of one intermetallic compound, that is, it approaches the structure of the melt casting method,
It will have the brittleness peculiar to the intermetallic compound.
【0012】そこで、本発明においては、均一組織にな
るまでには焼結を進行させないで、粒子状組織となる原
料粉末同士が合金粉末間に生じた粒界相を介して連結す
る状態で焼結をとどめ、焼結による拡散の進行をある程
度で中止させたものである。本発明のターゲットは、ミ
クロ組織的には、図1に代表的に示されるように、原料
粉末の表面形態がほとんど残った状態、すなわち原料粉
末の痕跡を残した状態になっている。なお、図1は、ナ
イタル液でエッチングしたものを50倍および100倍
に拡大して観察したものである。本発明の製法のよう
に、加圧焼結を用いると、圧力により個々の粉末の最外
形部は若干の変形した粒子や、若干の拡散部は認められ
るが、粒子の元の形状や大きさは焼結体である本発明の
ターゲットの50倍程度のミクロ組織からも明瞭に認め
られる。「実質的に」合金粉末の形態を残留して焼結さ
れたとは、このような状態を示すものである。この粒子
状組織の存在は、上述したエッチングによって確認され
るものであり、実質的に金属間化合物である粒子状組織
同士の間は、原料粉末から生成したエッチングが進行し
易い粒界相が形成されている。この粒界相の存在により
スパッタリング期間中の熱応力等を緩衝する領域が形成
されることとなり、ターゲットのスパッタリング期間中
の割れ、欠け等の発生を防止できるのである。また、上
述の粒界相形成はターゲット自体の機械的強度を均一組
織のターゲットよりも高めるため、ターゲット形状への
加工が容易であるとともに、ハンドリングも容易とな
る。Therefore, in the present invention, sintering is not advanced until a uniform structure is obtained, and the sintering is performed in a state where raw material powders having a granular structure are connected via a grain boundary phase generated between alloy powders. The sintering was stopped and the progress of diffusion by sintering was stopped to some extent. The microstructure of the target of the present invention is such that the surface morphology of the raw material powder is almost left, that is, a trace of the raw material powder is left, as typically shown in FIG. In addition, FIG. 1 shows what was etched with a nital solution and magnified 50 times and 100 times. When pressure sintering is used as in the production method of the present invention, the outermost portion of each powder is slightly deformed due to pressure, and some diffused portions are recognized, but the original shape and size of the particles are recognized. Is clearly recognized even from a microstructure of about 50 times that of the target of the present invention which is a sintered body. Sintering "substantially" in the form of an alloy powder indicates such a state. The existence of this particulate structure is confirmed by the above-described etching, and a grain boundary phase formed from the raw material powder, in which the etching easily proceeds, is formed between the particulate structures that are substantially intermetallic compounds. Have been. Due to the presence of the grain boundary phase, a region for buffering thermal stress and the like during the sputtering period is formed, and the generation of cracks, chips, and the like during the sputtering period of the target can be prevented. In addition, since the formation of the grain boundary phase increases the mechanical strength of the target itself as compared with a target having a uniform structure, processing into a target shape is easy and handling is also easy.
【0013】本発明において、本発明のターゲットを構
成する粒子状組織、すなわち、合金粉末の組成を原子%
で、15〜30%の希土類金属と残部遷移金属とからな
る組成とした。この組成範囲は、光磁気記録用媒体とし
ての実用特性(保磁力、カー回転角、キュリー温度)を
得ることができる組成範囲に対応するものである。この
組成範囲は、希土類金属と遷移金属との透磁率の低い金
属間化合物を形成する。本発明はこのような透磁率の低
い金属間化合物の粒子状組織が接合界面を介して結合し
て構成されることにより、ターゲット自体の透磁率を低
いものとすることができる。In the present invention, the grain structure constituting the target of the present invention, that is, the composition of the alloy powder is defined as atomic%.
Thus, the composition was made up of 15 to 30% of the rare earth metal and the balance transition metal. This composition range corresponds to a composition range in which practical characteristics (coercive force, Kerr rotation angle, Curie temperature) as a magneto-optical recording medium can be obtained. This composition range forms an intermetallic compound having a low magnetic permeability between the rare earth metal and the transition metal. According to the present invention, the target itself can have a low magnetic permeability because the particulate structure of such an intermetallic compound having a low magnetic permeability is formed by bonding through a bonding interface.
【0014】本発明のターゲットにおいて、ミクロ組織
的に観察される粒子状組織の粒径を好ましくはd≦35
0μm、さらに好ましくはd≦250μmであり、かつ
平均体積径が50≦dav≦120μmとした。粒子状組
織の上限を350μm、好ましくは250μmとしたの
は、粒子状組織が大きくなると、結合界面の存在量が減
り、抗折力が低下し、割れが発生しやすくなるためであ
る。なお、合金粉末の同一粒径のものだけを使用すると
粒子間への充填性が劣化するため、粒径には分布をもた
せることが好ましい。また平均体積径davを50≦dav
≦120μmとしたのは、粒子状組織を微細にするため
に、原料粉末を調製する必要があるが、原料が微細にな
りすぎると酸素を含有しやすくなり、酸素の含有によっ
て脆くなる危険があるためである。また、粒径が小さす
ぎると、高密度化しようとすると拡散が進行し過ぎて粒
子状組織を保ちにくくなり、強度を低下する場合がある
ためである。なお、体積平均径は、次の式に基づく粒子
の平均径である。dav=((Σndp∧3)/Σn)∧1/3 、n:粒
子数,dp:各粒子の粒径,^:べき数を表わすIn the target of the present invention, the particle size of the particulate structure observed microscopically is preferably d ≦ 35.
0 μm, more preferably d ≦ 250 μm, and the average volume diameter is 50 ≦ dav ≦ 120 μm. The reason why the upper limit of the particulate structure is set to 350 μm, preferably 250 μm is that when the particle structure is large, the amount of the bonding interface is reduced, the transverse rupture strength is reduced, and cracks are easily generated. When only alloy powders having the same particle size are used, the filling property between the particles is deteriorated. Therefore, it is preferable that the particle size has a distribution. The average volume diameter dav is set to 50 ≦ dav.
≦ 120 μm means that it is necessary to prepare a raw material powder in order to make the granular structure fine, but if the raw material is too fine, it is likely to contain oxygen, and there is a risk of becoming brittle due to the inclusion of oxygen. That's why. On the other hand, if the particle size is too small, diffusion tends to proceed excessively when trying to increase the density, making it difficult to maintain a particulate structure and reducing the strength in some cases. The volume average diameter is an average diameter of particles based on the following equation. dav = ((Σndp∧3) / Σn) ∧1 / 3, n: number of particles, dp: particle size of each particle, ^: power number
【0015】本発明のターゲットを製造する上で調製す
る原料粉末は、原料粉末の形状を実質的にとどめて、粒
子状組織となるものであり、本発明のターゲット組織の
粒子状組織の粒径を上述した範囲にするには、原料粉末
の粒径を同様に制限する必要がある。このような規定に
より、相対密度99%以上、酸素含有量が1000pp
m以下であり、抗折強度が70MPa以上であるターゲ
ットを得ることができる。The raw material powder prepared for producing the target of the present invention has substantially the same shape as the raw material powder and becomes a particulate structure, and the particle size of the granular structure of the target structure of the present invention. In order to make the above range, it is necessary to similarly limit the particle size of the raw material powder. According to such a rule, the relative density is 99% or more and the oxygen content is 1000 pp.
m or less, and a target having a transverse rupture strength of 70 MPa or more can be obtained.
【0016】本発明の製造方法においては、上述したよ
うに粒子状組織を得るために、あらかじめ原子%で15
〜30%の希土類金属と残部遷移金属とからなるターゲ
ット組成の原料粉をプレアロイとして製造する。そして
原料粉末をターゲット組成の有する液相発現温度よりも
30℃以上低い温度で、90MPa以上の高圧下で加圧
焼結して、ミクロ組織的にターゲットを観た時に、粒子
状組織が、合金粒子間の粒界相を介して連結したターゲ
ット組織を得る。ここで重要なのは圧力と温度と組成の
関係である。液相発現温度は、組成よって大きく変動す
る。液相発現温度に近いと、固相拡散が急速に起こり、
接合界面の見えない組織となり、ターゲットの機械的強
度を低下する。また、圧力が低すぎると、焼結が進まず
空孔が存在することになり、これもターゲットとしての
十分な密度と機械強度が得られない原因となる。本発明
においては、上述した温度と圧力を満たす条件で焼結を
行い、結合界面が存在する状態で焼結を停止することが
必要である。In the production method of the present invention, in order to obtain a particulate structure as described above, 15%
A raw material powder having a target composition consisting of up to 30% of a rare earth metal and a balance transition metal is produced as a prealloy. Then, the raw material powder is pressure-sintered at a temperature of 30 ° C. or more lower than the liquid phase onset temperature of the target composition under a high pressure of 90 MPa or more, and when the target is viewed microscopically, the particulate structure becomes an alloy. A target structure connected via a grain boundary phase between particles is obtained. What is important here is the relationship between pressure, temperature, and composition. The liquid phase onset temperature varies greatly depending on the composition. Near the liquid phase onset temperature, solid phase diffusion occurs rapidly,
The structure becomes invisible at the bonding interface, and reduces the mechanical strength of the target. On the other hand, if the pressure is too low, sintering will not proceed, and pores will be present, which also causes insufficient density and mechanical strength as a target. In the present invention, it is necessary to perform sintering under the conditions satisfying the above-described temperature and pressure, and to stop sintering in a state where the bonding interface exists.
【0017】なお、焼結温度は、あまり低温では圧密不
足を招くため、液相発現温度よりも30〜100℃低い
温度で焼結することが好ましい。本発明の製造原料粉の
製造は、低酸素化のためには粉砕よりも、ガスアトマイ
ズや遠心急冷などの急冷凝固法が好ましい。原料粉の焼
結は、低温・高圧が要求されるため、具体的にはHIP
(熱間静水圧プレス)を用いて加圧焼結を行うことが好
ましい。HIP法により、鋳造したインゴットの密度を
100%とした時に相対密度が99%以上の高密度焼結
体を容易に得ることができる。通常のホットプレスで
は、荷重は10〜20MPa程度が限度であり、真密度
に近い高密度まで十分な圧密化を行うことが難しい。ま
た、ホットプレスは一軸方向の圧縮であるが、HIP法
は等方的な圧縮であるため焼結体に異方性がなく、機械
的強度の向上に有利である。The sintering temperature is preferably 30 to 100.degree. C. lower than the liquid phase onset temperature because too low a temperature causes insufficient consolidation. In the production of the raw material powder of the present invention, a rapid solidification method such as gas atomization or centrifugal quenching is preferable to pulverization for reducing oxygen. Since sintering of raw material powder requires low temperature and high pressure,
It is preferable to perform pressure sintering using (hot isostatic pressing). By the HIP method, it is possible to easily obtain a high-density sintered body having a relative density of 99% or more when the density of the cast ingot is 100%. In a normal hot press, the load is limited to about 10 to 20 MPa, and it is difficult to perform sufficient consolidation to a high density close to the true density. The hot pressing is uniaxial compression, but the HIP method is isotropic compression, so that the sintered body has no anisotropy and is advantageous in improving mechanical strength.
【0018】また、等方的な圧縮が行なえるHIP法
は、原料粉末の形状を維持して結合界面を確保するのに
有効である。ホットプレスのような一軸方向の圧縮で
は、原料粉末同士の焼結が、圧縮方向に進行するため、
密度を高めようとすると、圧縮方向の拡散が進みすぎ、
機械強度を確保するために有効な粒界相が部分的に消失
して、強度不足をまねく場合があり好ましくない。The HIP method capable of performing isotropic compression is effective for maintaining the shape of the raw material powder and securing the bonding interface. In uniaxial compression such as hot pressing, sintering of raw material powders proceeds in the compression direction,
If you try to increase the density, the diffusion in the compression direction will progress too much,
The grain boundary phase effective for securing mechanical strength partially disappears, which may lead to insufficient strength, which is not preferable.
【0019】本発明のターゲットは、光磁気特性を得る
ための遷移金属としては好ましくはFe,Co,Niの
単独または複合の鉄族元素が選択される。また光磁気特
性を得るための希土類金属としては、Nd,Gd,T
b,Dx,Ho,Ev,Tmを単独または複合で用いる
ことができる。また、光磁気記録媒体用薄膜としては、
光磁気特性の基本特性に加えて、耐食性を改善する元素
として、Ti,Al,V,Nb,Ta,Cr,Mo,
W,Pd,Ptを1種または2種以上で15原子%以下
添加することができる。具体的には、Tb 20〜30
%、Fe 60〜80%、Co 10%以下に対して、例
えばCr 1〜4%、あるいはNb 0.5〜3%を単独
または複合で添加を行なうのがよい。これらの耐食性を
改善する元素は光磁気特性にとっては好ましくないもの
であり、要求される耐食性に応じて、できるだけ少ない
量を添加する。添加する形態は、単体として添加しても
良いし、合金化して添加しても良い。In the target of the present invention, a single or composite iron group element of Fe, Co, and Ni is preferably selected as a transition metal for obtaining magneto-optical characteristics. Rare earth metals for obtaining magneto-optical characteristics include Nd, Gd, and Td.
b, Dx, Ho, Ev, and Tm can be used alone or in combination. In addition, as a thin film for a magneto-optical recording medium,
In addition to the basic characteristics of magneto-optical characteristics, as elements for improving corrosion resistance, Ti, Al, V, Nb, Ta, Cr, Mo,
One, two or more of W, Pd, and Pt can be added in an amount of 15 atomic% or less. Specifically, Tb 20 to 30
%, Fe 60 to 80%, and Co 10% or less, for example, Cr 1 to 4% or Nb 0.5 to 3% may be added alone or in combination. These elements for improving the corrosion resistance are not preferable for the magneto-optical properties, and the smallest possible amount is added according to the required corrosion resistance. Regarding the form of addition, it may be added as a simple substance or may be added after being alloyed.
【0020】[0020]
(実施例1)原子%で、Tb26%、Fe68%、Co6
%の組成の希土類−遷移金属合金インゴットを真空高周
波溶解炉で製造した。チャージ重量は12kg、真空度
は6×10マイナス3乗Paであり、溶解終了後に真空
中で鋳造した。このインゴットを用いて、ルツボ底部に
溶湯滴下ノズルのついたアトマイズ装置に入れ、アルゴ
ンガスアトマイズにより粉末化した。ふるい分級により
原料粉の粒径を調整した。なお、沈降式粒度測定装置に
より、原料粉末の最小粒径dminおよび最大粒径dmax、
体積平均径davを求めた。得られた粉末は3元合金であ
り、正確な液相発現温度は不明であるが、状態図におい
て、鉄族の主構成元素であるFeとTbの2元状態図に
より、液相発現温度を1187℃とした。(Example 1) Atomic%, Tb 26%, Fe 68%, Co6
% Of rare earth-transition metal alloy ingots were produced in a vacuum induction melting furnace. The charge weight was 12 kg, the degree of vacuum was 6 × 10−3 Pa, and the casting was performed in a vacuum after the melting was completed. Using this ingot, it was put into an atomizing device having a molten metal dropping nozzle at the bottom of the crucible, and powdered by argon gas atomizing. The particle size of the raw material powder was adjusted by sieving. In addition, the minimum particle size dmin and the maximum particle size dmax of the raw material powder were measured by a sedimentation type particle size analyzer.
The volume average diameter dav was determined. Although the obtained powder is a ternary alloy, the exact liquid phase onset temperature is unknown, but in the phase diagram, the liquid phase onset temperature is determined by the binary phase diagram of Fe and Tb, which are the main constituent elements of the iron group. 1187 ° C.
【0021】次に、この粉末を軟鋼カプセルに封入して
熱間静水圧プレス(HIP)焼結を行い、ターゲット素材
とした。HIP条件は温度1140℃、圧力100MP
a、2時間保持である。得られた、ターゲット素材を、
硝酸5%のエチルアルコール溶液(ナイタル液)を用い
て、表面をエッチングしてから、50倍もしくは100
倍でのミクロ組織観察を行ない、インターセプト法によ
り、抽出した粒子から粒子の体積平均径を求め、粒子状
組織の体積平均径を求めた。また、機械強度として抗折
強度の測定を行うとともに、酸素量の測定、密度の測
定、比透磁率の測定を行なった。また、比較例として、
HIP温度を高めた例を試料No.2、および溶解により製
造した同組成のターゲットを試料No.3を製造した。これ
らのターゲットについても同様の測定を行った。これら
の結果を表1および表2にまとめて示す。なお、密度は
ガスアトマイズ前に製造した鋳造インゴットの密度を10
0%としたときの相対密度である。Next, this powder was sealed in a mild steel capsule and subjected to hot isostatic pressing (HIP) sintering to obtain a target material. HIP conditions: temperature 1140 ° C, pressure 100MP
a, Hold for 2 hours. The obtained target material is
Etching the surface using a 5% nitric acid ethyl alcohol solution (a nital solution), then 50 times or 100 times
The microstructure was observed at × 2, the volume average diameter of the particles was determined from the extracted particles by the intercept method, and the volume average diameter of the particulate structure was determined. In addition to the measurement of the bending strength as the mechanical strength, the measurement of the oxygen amount, the measurement of the density, and the measurement of the relative magnetic permeability were performed. As a comparative example,
Sample No. 2 was manufactured as an example in which the HIP temperature was increased, and sample No. 3 was manufactured using a target of the same composition manufactured by melting. Similar measurements were performed for these targets. These results are summarized in Tables 1 and 2. Note that the density is 10% of the density of the cast ingot manufactured before gas atomization.
This is the relative density when 0% is set.
【0022】[0022]
【表1】 [Table 1]
【0023】[0023]
【表2】 [Table 2]
【0024】また、これら1〜3の試料のエッチングを
行って組織を観察したときの金属ミクロ組織写真をそれ
ぞれ図1、図2および図3に示す。図1〜図3を比較す
ると、本発明の試料No.1を示す図1では、焼結原料粉末
の形状を実質的に維持して粒子状組織となり、この粒子
状組織が合金粒子間の粒界相を介して連結してターゲッ
ト組織を構成していることが分かる。これに対して、試
料No.2を示す図2に示すHIP温度の高いターゲット
は、エッチングによっても粒子状組織の境界を特定する
ことができないものである。そしてこの組織のターゲッ
トは、本発明の試料No.1のターゲットに比べて抗折強度
が低下していることがわかる。FIGS. 1, 2 and 3 show photographs of the metal microstructures when the structures of the samples 1 to 3 were etched and observed. 1 to 3, which show sample No. 1 of the present invention, the shape of the sintering raw material powder is substantially maintained to form a granular structure, and this granular structure is It can be seen that the target tissue is constituted by being connected via the boundary phase. On the other hand, the target having a high HIP temperature shown in FIG. 2 showing the sample No. 2 cannot specify the boundary of the particulate structure even by etching. It can be seen that the target of this structure has a lower bending strength than the target of sample No. 1 of the present invention.
【0025】一方、従来技術の一つである鋳造ターゲッ
トの試料No.3は、酸素量は低いものの、図3に示す様に
偏析のある鋳造組織になり好ましくないことがわかる。
また、抗折強度も本発明の試料No.1のターゲットに比べ
て大きく低下することがわかる。また、比透磁率の測定
結果より、本発明の試料No.1は低い比透磁率と高い抗折
強度を兼ね備えており、マグネトロンスパッタリングに
好適であることがわかる。On the other hand, the casting target sample No. 3, which is one of the prior arts, has a low oxygen content, but has a segregated casting structure as shown in FIG.
Further, it can be seen that the transverse rupture strength is significantly reduced as compared with the target of sample No. 1 of the present invention. Further, from the measurement results of the relative magnetic permeability, it can be seen that Sample No. 1 of the present invention has both low relative magnetic permeability and high bending strength, and is suitable for magnetron sputtering.
【0026】(実施例2)表3に示す組成および粒径の原
料粉末を実施例1と同様に製造した。表3に示す液相発
現温度は、Gd、TbおよびDyの希土類金属のうち最
も含有量の多い元素が希土類金属の総量分を含むとし、
残部Feと仮定して2元状態図から決定したものであ
る。この粉末を軟鋼カプセルに封入して熱間静水圧プレ
ス(HIP)焼結を行い、ターゲット素材とした。HIP
条件は100MPa、2時間で、温度は表3に示す通り
である。Example 2 Raw material powders having compositions and particle diameters shown in Table 3 were produced in the same manner as in Example 1. The liquid phase onset temperatures shown in Table 3 are based on the assumption that the element with the highest content among the rare earth metals of Gd, Tb and Dy contains the total amount of the rare earth metals,
This is determined from the binary phase diagram assuming that the remainder is Fe. This powder was sealed in a mild steel capsule and subjected to hot isostatic pressing (HIP) sintering to obtain a target material. HIP
The conditions are 100 MPa, 2 hours, and the temperatures are as shown in Table 3.
【0027】得られた、ターゲット素材を、硝酸5%の
エチルアルコール溶液を用いて、表面をエッチングして
から、インターセプト法により、抽出した粒子から粒子
の体積平均径を求め、粒子状組織の体積平均径を求め
た。また、機械強度として抗折強度の測定を行うととも
に、酸素量の測定、密度の測定、比透磁率の測定をおこ
なった。なお、原料に細粒を用いた試料No.9は、HIP
温度をやや低めてある(1100℃)。これらの結果を
表4にまとめて示す。なお、密度は鋳造ターゲットの密
度を100%としたときの相対密度である。After the surface of the obtained target material is etched using a 5% nitric acid ethyl alcohol solution, the volume average diameter of the particles is determined from the extracted particles by an intercept method, and the volume of the particulate structure is determined. The average diameter was determined. In addition to the measurement of the bending strength as the mechanical strength, the measurement of the oxygen amount, the measurement of the density, and the measurement of the relative magnetic permeability were performed. Sample No. 9 using fine granules as the raw material was HIP
The temperature is slightly lowered (1100 ° C). These results are summarized in Table 4. The density is a relative density when the density of the casting target is 100%.
【0028】[0028]
【表3】 [Table 3]
【0029】[0029]
【表4】 [Table 4]
【0030】得られた本発明のターゲットをエッチング
した時の組織は、実施例1で観察された図1に示すよう
な粒子状組織と合金粒子間の粒界相が確認されたもので
ある。表2および表3に示すように、他の試料よりも原
料の体積平均径が小さく、ターゲット組織中の粒子状組
織の体積平均径が小さい、試料No.9は酸素量が増加し、
抗折強度がやや低下する傾向が見られる。また、他の試
料よりも原料の平均粒径が大きく、ターゲット組織中の
粒子状組織が大きい試料No.7は、酸素量は低いが、抗折
力がやや低下する傾向があり、またターゲットとしての
密度もやや低くなる傾向があった。これに対し、d≦2
50μmの範囲内で、かつ粒子状組織の体積平均径dav
がほぼ50≦dav≦120μmである試料No.4,5,6,8
は、抗折力が高く機械強度の高いターゲットが得られた
ことが分かる。また、それぞれの試料とも比透磁率が5
以下と低く、マグネトロンスパッタリングに好適なもの
となった。The structure obtained by etching the obtained target of the present invention is such that the grain structure as observed in Example 1 and the grain boundary phase between the alloy particles as shown in FIG. As shown in Tables 2 and 3, the volume average diameter of the raw material is smaller than the other samples, and the volume average diameter of the particulate structure in the target structure is smaller.
There is a tendency for the bending strength to decrease slightly. Sample No. 7, which has a larger average particle size of the raw material than the other samples and a large particulate structure in the target structure, has a low oxygen content, but has a tendency for the transverse rupture strength to decrease slightly, and Also tended to be slightly lower. On the other hand, d ≦ 2
Within the range of 50 μm and the volume average diameter dav of the particulate structure
Sample Nos. 4, 5, 6, and 8 in which approximately 50 ≦ dav ≦ 120 μm
Indicates that a target with high bending strength and high mechanical strength was obtained. The relative permeability of each sample was 5
It was as low as below, and was suitable for magnetron sputtering.
【0031】(実施例3)原子%で、Tb25%、Fe7
0%、Co5%の組成の希土類−遷移金属合金インゴッ
トを真空高周波溶解炉で製造した。チャージ重量は12
kg、真空度は6×10マイナス3乗Paであり、溶解
終了後に真空中で鋳造した。この組成において、実施例
1と同様に液相発現温度を決定すると1187℃であ
る。原料粉末の影響を見るために、まず、このインゴッ
トを用いて、ルツボ底部に溶湯滴下ノズルのついたアト
マイズ装置に入れ、アルゴンガスアトマイズにより原料
粉末(以下アトマイズ粉)を得た。また、同様の原料溶湯
を回転ディスクに適下して遠心急冷して原料粉末(遠心
急冷粉)を得た。またインゴットをボールミル粉砕して
原料粉末(粉砕粉)を得た。これらの原料粉末はふるい分
級により原料粉の粒径を調整し、最大粒径250μm、
最小粒径15μm、平均粒径90μmに調製した。Example 3 Atomic%, Tb 25%, Fe7
A rare earth-transition metal alloy ingot having a composition of 0% and 5% Co was manufactured in a vacuum high-frequency melting furnace. Charge weight is 12
kg, the degree of vacuum was 6 × 10−3 Pa, and after melting was completed, casting was performed in a vacuum. In this composition, the liquid phase onset temperature was determined to be 1187 ° C. in the same manner as in Example 1. In order to see the influence of the raw material powder, the ingot was first used to put it into an atomizing device having a molten metal dropping nozzle at the bottom of a crucible, and a raw material powder (hereinafter, atomized powder) was obtained by argon gas atomization. Further, the same raw material melt was applied to a rotating disk and centrifugally quenched to obtain a raw material powder (centrifugally quenched powder). The ingot was pulverized with a ball mill to obtain a raw material powder (pulverized powder). For these raw material powders, the particle size of the raw material powder is adjusted by sieving classification, and the maximum particle size is 250 μm,
The particles were adjusted to have a minimum particle size of 15 μm and an average particle size of 90 μm.
【0032】また、焼結法としては、1120℃のHI
Pを実施例1と同様に適用して焼結圧密化したもの、1
0マイナス3乗Pa以下の真空下で20MPa、112
0℃、2時間保持のホットプレス(HP)を行ったも
の、およびCIP(冷間静水圧プレス)法により300M
Paで予備成形を行い、10マイナス3乗Pa以下の真
空炉中で1120℃で2時間加熱した常圧焼結法を用い
た。原料粉末の製造方法および焼結法を変えた場合に得
られるターゲットの特性を実施例1と同様に評価した。
結果を表5に示す。なおこの条件においては、エッチン
グにより、粒子状組織が確認された。As a sintering method, HI at 1120 ° C.
P was applied in the same manner as in Example 1, and was sintered and consolidated.
20 MPa, 112 under a vacuum of 0-3 or less Pa
Hot press (HP) at 0 ° C for 2 hours, and 300M by CIP (cold isostatic press) method
Pre-forming was performed at Pa, and a normal pressure sintering method was used in which the mixture was heated at 1120 ° C. for 2 hours in a vacuum furnace having a pressure of 10 −3 Pa or less. The characteristics of the target obtained when the production method of the raw material powder and the sintering method were changed were evaluated in the same manner as in Example 1.
Table 5 shows the results. Under these conditions, a particulate structure was confirmed by etching.
【0033】[0033]
【表5】 [Table 5]
【0034】表5に示す試料No.11,15に示すように、焼
結時の圧力の低いホットプレス(HP)では、この条件では
密度を高めることができないものであった。また、試料
No.13に適用した常圧焼結法はホットプレス法よりもさ
らに低密度のターゲットしか得られず、抗折強度も著し
く小さい値になり、好ましい方法ではないことがわか
る。また、粉末の製造方法としては、急冷凝固法である
アトマイズ法および遠心急冷法を適用するとターゲット
中の酸素量を低く抑えることができ、粉砕法に比べて好
ましいことがわかる。As shown in Samples Nos. 11 and 15 shown in Table 5, in a hot press (HP) having a low pressure during sintering, the density could not be increased under these conditions. Also, sample
In the normal pressure sintering method applied to No. 13, only a target having a lower density than that of the hot press method was obtained, and the transverse rupture strength was extremely small, indicating that this is not a preferable method. In addition, when the atomizing method or the centrifugal quenching method, which is a rapid solidification method, is applied as a method for producing the powder, the amount of oxygen in the target can be suppressed to a low level.
【0035】(実施例4)表6に示すように、合金粉末お
よびCrおよびNb粉末を準備した。合金粉末は実施例
3と同様のガスアトマイズ法で製造した粉末であり、合
金粉末の粒径はふるい分級により原料粉の粒径を調整
し、最大粒径250μm、最小粒径15μm、平均粒径
90μmに調製した。またCrおよびNbは市販の粒径
44μmアンダーの粉末である。これらの粉末を単体粉
末もしくは混合粉末として表6に示す組成に調製した。
これら粉末を軟鋼カプセルに封入して熱間静水圧プレス
(HIP)焼結を行い、ターゲット素材とした。HIP条
件は100MPa、2時間、1120℃である。得られ
たターゲットを実施例1と同様に評価した。結果を表7
に示す。なお、焼結した得られたターゲットのミクロ組
織においては、粒子状組織が存在していることを確認
し、その粒子状組織の粒径を評価した。Example 4 As shown in Table 6, an alloy powder and Cr and Nb powders were prepared. The alloy powder was produced by the same gas atomization method as in Example 3. The particle diameter of the alloy powder was adjusted by sieving to adjust the particle diameter of the raw material powder. The maximum particle diameter was 250 μm, the minimum particle diameter was 15 μm, and the average particle diameter was 90 μm. Was prepared. Cr and Nb are commercially available powders having a particle size of under 44 μm. These powders were prepared to have the compositions shown in Table 6 as simple powders or mixed powders.
These powders are encapsulated in mild steel capsules and hot isostatic pressing
(HIP) sintering was performed to obtain a target material. The HIP conditions are 100 MPa, 2 hours, and 1120 ° C. The obtained target was evaluated in the same manner as in Example 1. Table 7 shows the results
Shown in In addition, in the microstructure of the obtained target obtained by sintering, it was confirmed that a particulate structure was present, and the particle size of the particulate structure was evaluated.
【0036】[0036]
【表6】 [Table 6]
【0037】[0037]
【表7】 [Table 7]
【0038】表6および表7に示すように、CrおよびNb
を添加した場合でも、抗折強度70MPa以上で比透磁率
が5以下という、高い抗折強度と低い比透磁率を兼ね備
えたターゲットが得られたことがわかる。なお、Crおよ
びNbを粉末として混合して得た場合には、組織中にCrお
よびNbの単体相が残留していることが確認された。ター
ゲット中の異相の存在は、スパッタリング期間中のエロ
ージョンの進行の均一化を妨げる恐れがあるため、Crお
よびNbは、単体としてではなく、合金粉末として予め導
入しておくことが望ましい。As shown in Tables 6 and 7, Cr and Nb
It can be seen that a target having both high bending strength and low relative magnetic permeability, that is, a bending strength of 70 MPa or more and a relative magnetic permeability of 5 or less was obtained even in the case where was added. When Cr and Nb were mixed and obtained as a powder, it was confirmed that a single phase of Cr and Nb remained in the structure. Since the presence of a different phase in the target may hinder uniform erosion progress during the sputtering period, it is desirable to introduce Cr and Nb in advance not as a simple substance but as an alloy powder.
【0039】[0039]
【発明の効果】本発明によれば、均一な組織にするので
はなく、原料粉末の形態を残した組織とすることによ
り、透磁率の低いプレアロイターゲットの抗折強度を特
に高いものとすることができる。したがって、本発明の
ターゲットは高強度であると共に、マグネトロンスパッ
タリングに必要なターゲット表面の漏洩磁束を低透磁率
とすることにより十分に確保することが可能となる。そ
のため、ターゲットの使用効率が高まるとともに、スパ
ッタリング中の異常放電等を防止することができる。ま
た、本発明の方法によれば、高い抗折強度に加えて、高
密度化も達成できるため、加工割れ防止、汚染物質の混
入防止、さらなる使用効率の向上(長寿命化)および異
常放電の防止が期待できる。According to the present invention, a pre-alloy target having a low magnetic permeability is made to have a particularly high transverse rupture strength by forming a structure in which the form of the raw material powder is left, instead of a uniform structure. be able to. Therefore, the target of the present invention has high strength, and it is possible to sufficiently secure the leakage magnetic flux on the target surface required for magnetron sputtering by reducing the magnetic permeability. Therefore, the use efficiency of the target is increased, and abnormal discharge or the like during sputtering can be prevented. In addition, according to the method of the present invention, since high densification can be achieved in addition to high bending strength, prevention of processing cracks, prevention of contaminant contamination, further improvement of use efficiency (extension of life), and occurrence of abnormal discharge Prevention can be expected.
【図1】本発明のターゲットの金属焼結ミクロ組織を示
す写真である。FIG. 1 is a photograph showing a metal sintered microstructure of a target of the present invention.
【図2】比較例のターゲットの金属焼結ミクロ組織を示
す写真である。FIG. 2 is a photograph showing a metal sintered microstructure of a target of a comparative example.
【図3】比較例の溶製法によるターゲットの金属ミクロ
組織を示す写真である。FIG. 3 is a photograph showing a metal microstructure of a target manufactured by a melting method of a comparative example.
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.7 識別記号 FI G11B 11/105 546 G11B 11/105 546K (58)調査した分野(Int.Cl.7,DB名) C23C 14/00 - 14/58 B22F 1/00 - 8/00 C22C 1/04 - 1/05 C22C 33/02 ──────────────────────────────────────────────────続 き Continuation of the front page (51) Int.Cl. 7 identification code FI G11B 11/105 546 G11B 11/105 546K (58) Field surveyed (Int.Cl. 7 , DB name) C23C 14/00-14 / 58 B22F 1/00-8/00 C22C 1/04-1/05 C22C 33/02
Claims (8)
残部遷移金属からなる合金粉末が実質的に合金粉末の形
態を残して焼結されたターゲット組織を有することを特
徴とする光磁気記録媒体用ターゲット。1. A magneto-optical device characterized in that an alloy powder comprising 15 to 30% of a rare earth metal and a balance transition metal in atomic% has a sintered target structure substantially in the form of an alloy powder. Target for recording media.
残部遷移金属からなる焼結体であって、前記焼結体をミ
クロ組織的に観察した時に、組織中に前記組成の合金原
料粉末の粒子表面の痕跡を残していることを特徴とする
光磁気記録媒体用ターゲット。2. A sintered body composed of 15 to 30% of a rare earth metal and a balance transition metal in atomic%, wherein when the sintered body is observed microscopically, an alloy material having the above composition is contained in the structure. A target for a magneto-optical recording medium, characterized by leaving a trace on the surface of a powder particle.
残部遷移金属とからなる組成を有する合金粉末の形態を
残した粒子状組織が粒界相を介して連結したターゲット
組織を構成しており、ターゲットの抗折強度が50MP
a以上であることを特徴とする光磁気記録媒体用ターゲ
ット。3. A target structure in which a particle structure in the form of an alloy powder having a composition of 15 to 30% of a rare earth metal and a balance of transition metal in atomic% is connected via a grain boundary phase. And the bending strength of the target is 50MP
a. The target for a magneto-optical recording medium, which is not less than a.
末間の粒界相を介して連結する粒子状組織は、その粒径
dが実質的にd≦350μmであることを特徴とする請
求項3に記載の光磁気記録媒体用ターゲット。4. The target microstructure according to claim 3, wherein the grain structure connected via the grain boundary phase between the alloy powders has a particle diameter d substantially d ≦ 350 μm. Target for magneto-optical recording media.
の範囲内で、かつ粒子状組織の体積平均径davが50≦
dav≦120μmであることを特徴とする請求項1ない
し4のいずれかに記載の光磁気記録媒体用ターゲット。5. The particle size d of the particulate structure is d ≦ 250 μm.
And the volume average diameter dav of the particulate structure is 50 ≦
5. The target for a magneto-optical recording medium according to claim 1, wherein dav ≦ 120 μm.
9%以上であることを特徴とする請求項1ないし請求項
5のいずれか記載の光磁気記録媒体用ターゲット。6. A target having a relative density of 9
6. The target for a magneto-optical recording medium according to claim 1, wherein the target is 9% or more.
m以下であることを特徴とする請求項1ないし請求項6
のいずれか記載の光磁気記録媒体用ターゲット。7. The oxygen content of the target is 1000 pp.
and m or less.
5. The target for a magneto-optical recording medium according to any one of the above.
であることを特徴とする請求項1ないし請求項7のいず
れかに記載の光磁気記録媒体用ターゲット。 8. The target for a magneto-optical recording medium according to claim 1, wherein the transverse rupture strength of the target is 70 MPa or more .
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